TW576800B - Liquid discharging device and drive method, film making device and film making method, method for making color filter, method and electronic equipment for making organic electro-luminescence device - Google Patents
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Description
576800 (1) 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關在配置於作業台上的基板上塗佈液滴之 液滴噴出裝置’更詳而言之,是有關具備控制其沖洗動作 的機構之液滴噴出裝置及其驅動方法,製膜裝置及製膜方 法,彩色濾光片的製造方法,有機電激發光裝置的製造方 法,以及電子機器。 【先前技術】 就噴出油墨等的液滴來進行薄膜形成或圖案形成等之 液滴噴出裝置而言’ 一般有應用噴墨技術的裝置。此裝置 具備:接受來自液狀材料供給部的液狀材料的供給之液滴 噴出頭’及使基板對液滴噴出頭相對移動之基台,並且根 據噴出資料來一邊使液滴噴出頭移動,一邊使液滴噴出於 基板上,而來進行薄膜形成或圖案形成等。 液滴噴出頭是搭載於配置在基台上的搬運器,而使能 夠對基台而Η例如移動於X方向。並且,在上述基台上設 有使基板例如移動於Υ方向的移送機構,藉此,液滴噴出 頭對基板而言可移動於ΧΥ方向。 又’液滴噴出頭是形成平面矩陣狀者,其中具有縱橫 整列的多數個噴嘴,供以將液滴噴出至基板上,且支持該 液滴噴出頭的軸可藉由轉動機構來使能夠轉動,而使能夠 在噴嘴列形成傾斜的姿勢下(對X方向及Υ方向而言)進 行液滴噴出。在此,之所以要在噴嘴列形成傾斜的狀態下 -6 - (2) (2)576800 進行液滴噴出,乃爲了使形成一定之相鄰接的噴嘴間的間 距能夠比實際更爲狹窄,藉此來進行精密且具連續性的薄 膜形成或圖案形成。 亦即,如第1 5 ( a )圖所示’在以正規的姿勢’亦 即使液滴噴出頭Η的噴嘴N的列L垂直於其移動方向(X 方向)來進行液滴噴出時,所被噴出之液滴Τ間的間距 ρ 2會與噴嘴Ν,Ν間的間距Ρ 1形成相同。 相對的,如第1 5 ( b )圖所示,在以傾斜的姿勢, 亦即使液滴噴出頭Η的噴嘴N的列L傾斜於其移動方向( X方向)來進行液滴噴出時’所被噴出之液滴τ間的間距 Ρ 3會形成比噴嘴Ν,Ν間的間距Ρ 1還要狹窄,因此可 使噴嘴間的間距比實際上來得狹窄。 但,就如此的裝置而言’特別是當所噴出之液狀材料 中的溶媒的揮發性高時,在液狀材料的噴出爲非連續的噴 嘴中,滯留於其開口的液狀材料會因溶媒揮發而造成黏度 上升,而使得液狀材料會固化’或者在此附著塵埃,甚至 會因氣泡混入等而導致噴嘴開口阻塞’引發噴出不良。 爲了防止如此的噴出不良,以往是在基台的一方側或 雙方側設置沖洗區。此沖洗區是供以強制性地對液滴噴出 頭的各噴嘴進行噴出,尤其是對於長時間未進行噴出的噴 嘴而言,可防止噴出不良。 【發明內容】 [發明所欲解決之課題] (3) 但,在如此的沖洗區的沖洗中會有以下應改善的課題 發生。 亦即,一般在沖洗區中,是在一旦使對作業台(基板 )之液滴噴出頭的移動停止的狀態下進行沖洗。如此一來 ,會導致薄膜形成或圖案形成的全體過程時間變長,而有 損生產性。 爲了解決如此的課題,雖可邊使液滴噴出頭移動,邊 於沖洗區內進行沖洗,但尤其是在傾斜配置液滴噴出頭時 ’一部份的噴嘴會容易超出沖洗區,若此刻也從該超出的 噴嘴來進行沖洗的話,則其周邊會因液滴飛散而造成污染 ,對製膜或圖案形成造成不良的影響,甚至裝置本身也會 遭到污染,導致維修趨於繁雜。 本發明是有鑑於上述情事而硏發者,其目的是在於提 供一種不會有損生產性,甚至可防止對製膜或圖案形成造 成不良的影響或污染裝置之液滴噴出裝置及其驅動方法, 製膜裝置及製膜方法,彩色濾光片的製造方法,有機電激 發光裝置的製造方法,以及電子機器。 [用以解決課題之手段] 爲了達成上述目的,本發明之液滴噴出裝置係具有: 液滴噴出頭;該液滴噴出頭是設置於基台的上方,可 對基板於一方向來回移動,且具備縱橫整列噴出液滴於上 述基板的複數個噴嘴;及 沖洗區;該沖洗區對上述基台上的基板而言,是設置 -8 - (4) (4)576800 於上述一方向的至少一方的側方;及 控制手段;該控制手段是在於控制上述液滴噴出頭的 動作; 上述液滴噴出頭對上述一方向而言,是使其噴嘴列傾 斜配置; 其特徵爲: 上述控制手段是邊使上述液滴噴出頭移動,邊於沖洗 區內使沖洗動作進行於該液滴噴出頭,且在至少一個噴嘴 到達自預設的沖洗區內離開的位置時,使能夠控制成停止 所有噴嘴的沖洗動作。 若利用此液滴噴出裝置,則因爲可邊使液滴噴出頭移 動,邊於沖洗區內使沖洗動作進行於該液滴噴出頭,所以 不會因進行該沖洗而有損生產性。又,因爲是在至少一個 噴嘴到達自預設的沖洗區內離開的位置時,使能夠控制成 停止所有噴嘴的沖洗動作,所以可防止因超出沖洗區來進 行沖洗時對製膜或圖案形成造成不良影響,或者導致裝置 污染。 又,本發明之另一液滴噴出裝置係具有: 液滴噴出頭;該液滴噴出頭是設置於基台的上方,可 對基板於一方向來回移動,且具備縱橫整列噴出液滴於上 述基板的複數個噴嘴;及 沖洗區;該沖洗區對上述基台上的基板而言,是設置 於上述一方向的至少一方的側方;及 控制手段;該控制手段是在於控制上述液滴噴出頭的 -9 - (5) 動作; 上述液滴噴出頭對上述一方向而言,是使其噴嘴列傾 斜配置; 其特徵爲: 上述控制手段是邊使上述液滴噴出頭移動,邊於沖洗 區內使沖洗動作進行於該液滴噴出頭,且在噴嘴到達自預 設的沖洗區內離開的位置時,使能夠控制成停止該噴嘴的 沖洗動作。 若利用此液滴噴出裝置,則因爲可邊使液滴噴出頭移 動’邊於沖洗區內使沖洗動作進行於該液滴噴出頭,所以 不會因進行該沖洗而有損生產性。又,因爲是在噴嘴到達 自預設的沖洗區內離開的位置時,使能夠控制成停止該噴 嘴的沖洗動作,所以可防止因超出沖洗區來進行沖洗時對 製膜或圖案形成造成不良影響,或者導致裝置污染。 又’在上述液滴噴出裝置中,上述控制手段最好是在 對噴嘴進行使沖洗動作停止的控制之後,控制成可對該噴 嘴進行微振動動作。 如此一來’更可確實地防止因液滴噴出頭內的液體的 溶媒揮發而造成粘度上升。 又’在上述液滴噴出裝置中,最好上述沖洗區對基台 上的基板而言,是設置於上述一方向的兩側。 如此一來,在來回移動於上述一方向時,在任何一側 皆可進行沖洗,因此更可確實地防止因液滴噴出頭內的液 體的溶媒揮發而造成粘度上升。 -10- (6) (6)576800 又’在上述液滴噴出裝置中,最好上述控制手段是在 液滴噴出頭朝外側移動於沖洗區上時,不進行沖洗動作, 而只在液滴噴出頭朝內側移動於沖洗區上時,進行沖洗動 作。 如此一來,由於只在朝內側(亦即朝基板側)移動時 進行沖洗動作,因此可在液滴噴出至基板上之前進行沖洗 ,而使能夠更爲有效地防止噴嘴的噴出不良。並且,在朝 外側移動時不進行沖洗動作,所以可降低液體的浪費。 又,在上述液滴噴出裝置中,最好上述液滴噴出頭是 被設置成能夠轉動於其周方向,且該轉動動作是藉由上述 控制手段來控制; 上述控制手段是在上述液滴噴出頭移動於沖洗區內進 行沖洗時,事先使該液滴噴出頭轉動成其噴嘴列能夠對上 述一方向垂直,且在所有噴嘴停止沖洗動作之後,再度控 制成能夠傾斜轉動。 如此一來,因爲可使液滴噴出頭轉動成其噴嘴列能夠 對上述一方向垂直,而於此狀態下進行沖洗,所以可防止 因液滴噴出頭傾斜而造成其一部份的噴嘴超出沖洗區的狀 態下進行沖洗。 又,此情況最好是使對上述液滴噴出頭的動作,亦即 使其噴嘴列能夠對上述一方向垂直而轉動的動作進行於沖 洗區上。 如此一來,可在不影響基板上的液滴噴出下進行沖洗 -11 - (7) (7)576800 又’本發明之製膜裝置的特徵是具備上述液滴噴出裝 . β。 若利用此製膜裝置,則因爲具備上述液滴噴出裝置, 所以不會因進行該沖洗而有損生產性,且可防止因超出沖 洗區來進行沖洗時對製膜造成不良影響,或者導致裝置污 染。 ’ 又’本發明之液滴噴出裝置的驅動方法,其係在配置 於基台上之基板上塗佈液滴者,其特徵爲: φ 上述液滴噴出裝置具有: 液滴噴出頭;該液滴噴出頭是設置於上述基台的上方 ’可對基板於一方向來回移動,且具備縱橫整列噴出液滴 於上述基板的複數個噴嘴;及 沖洗區;該沖洗區對上述基台上的基板而言,是設置 於上述一方向的至少一方的側方; 上述液滴噴出頭對上述一方向而言,是使其噴嘴列傾 斜配置; φ 在邊使上述液滴噴出頭移動,邊於沖洗區內使沖洗動 作進行於該液滴噴出頭之下進行沖洗,然後在至少一個噴 嘴到達自預設的沖洗區內離開的位置時,使所有噴嘴的沖 洗動作停止。 若利用此液滴噴出裝置的驅動方法,則因爲可邊使液 滴噴出頭移動’邊於沖洗區內使沖洗動作進行於該液滴噴 出頭’所以不會因進行該沖洗而有損生產性。又,因爲是 在至少一個噴嘴到達自預設的沖洗區內離開的位置時,使 -12- (8) (8)576800 所有噴嘴的沖洗動作停止,所以可防止因超出沖洗區來進 行沖洗時對製膜或圖案形成造成不良影響,或者導致裝置 污染。 又,本發明之液滴噴出裝置的驅動方法,其係在配置 於基台上之基板上塗佈液滴者,其特徵爲: 上述液滴噴出裝置具有: 液滴噴出頭;該液滴噴出頭是設置於上述基台的上方 ,可對基板於一方向來回移動,且具備縱橫整列噴出液滴 於上述基板的複數個噴嘴;及 沖洗區;該沖洗區對上述基台上的基板而言,是設置 於上述一方向的至少一方的側方; 上述液滴噴出頭對上述一方向而言,是使其噴嘴列傾 斜配置; 在邊使上述液滴噴出頭移動,邊於沖洗區內使沖洗動 作進行於該液滴噴出頭之下進行沖洗,然後在噴嘴到達自 預設的沖洗區內離開的位置時,使該噴嘴的沖洗動作停止 〇 若利用此液滴噴出裝置的驅動方法,則因爲可邊使液 滴噴出頭移動,邊於沖洗區內使沖洗動作進行於該液滴噴 出頭,所以不會因進行該沖洗而有損生產性。又,因爲是 在噴嘴到達自預設的沖洗區內離開的位置時,使該噴嘴的 沖洗動作停止,所以可防止因超出沖洗區來進行沖洗時對 製膜或圖案形成造成不良影響,或者導致裝置污染。 又,上述液滴噴出裝置的驅動方法中,最好是在使噴 •13· (9) 嘴的沖洗動作停止之後,對該噴嘴進行微振動動作。 如此一來,更可確實地防止因液滴噴出頭內的液體的 溶媒揮發而造成粘度上升。 又’上述液滴噴出裝置的驅動方法中,最好上述沖洗 區對基台上的基板而言,是設置於上述一方向的兩側。 如此一來,在來回移動於上述一方向時,在任何一側 皆可進行沖洗,因此更可確實地防止因液滴噴出頭內的液 體的溶媒揮發而造成粘度上升。 又’上述液滴噴出裝置的驅動方法中,最好在液滴噴 出頭朝外側移動於沖洗區上時,不進行沖洗動作,而只在 液滴噴出頭朝內側移動於沖洗區上時,進行沖洗動作。 如此一來,由於只在朝內側(亦即朝基板側)移動時 進行沖洗動作,因此可在液滴噴出至基板上之前進行沖洗 ,而使能夠更爲有效地防止噴嘴的噴出不良。並且,在朝 外側移動時不進行沖洗動作,所以可降低液體的浪費。 又,上述液滴噴出裝置的驅動方法中,最好上述液滴 噴出頭是被設置成能夠轉動於其周方向,且該轉動動作是 藉由上述控制手段來控制; 當上述液滴噴出頭移動於沖洗區內進行沖洗時,事先 使該液滴噴出頭轉動成其噴嘴列能夠對上述一方向垂直, 且在所有噴嘴停止沖洗動作之後,再度使傾斜轉動。 如此一來,因爲可使液滴噴出頭轉動成其噴嘴列能夠 對上述一方向垂直,而於此狀態下進行沖洗,所以可防止 因液滴噴出頭傾斜而造成其一部份的噴嘴超出沖洗區的狀 -14- (10) (10)576800 態下進行沖洗。 又’此情況最好使對上述液滴噴出頭的動作,亦即使 其噴嘴列能夠對上述一方向垂直而轉動的動作進行於沖洗 區上。 如此一來,可在不影響基板上的液滴噴出下進行沖洗 〇 又’本發明之製膜方法的特徵是具備上述液滴噴出裝 置的驅動方法。 若利用此製膜方法,則因爲具備上述液滴噴出裝置的 驅動方法,所以不會因進行該沖洗而有損生產性,且可防 止因超出沖洗區來進行沖洗時對製膜造成不良影響,或者 導致裝置污染。 又’本發明之彩色濾光片的製造方法的特徵是藉由上 述製膜方法來形成彩色濾光片。 若利用此彩色濾光片的製造方法,則不會有損生產性 ’且可防止對製膜造成不良影響,或者導致裝置污染,因 此可生產性佳且良好地形成彩色濾光片。 又’本發明之有機電激發光裝置的製造方法的特徵是 藉由上述製膜方法來形成有機電激發光裝置的構成要件的 薄膜。 若利用此有機電激發光裝置的製造方法,則不會有損 生產性’且可防止對製膜造成不良影響,或者導致裝置污 染’因此可生產性佳且良好地形成有機電激發光裝置的構 成要件之薄膜。 -15· (11) (11) 576800 又,本發明之電子機器的特徵是具備利用上述製3莫$ 法而形成的裝置。 若利用此電子機器,則可藉由利用上述製膜方法而% 成的裝置來生產性佳且良好地予以形成。 【實施方式】 以下,詳細說明本發明。 第1圖是表示將具備本發明之液滴噴出裝置的製膜裝 置作爲彩色濾光片製造裝置使用時之一實施形態例。在第 1圖中,元件符號3 〇爲形成製膜裝置的液滴噴出裝置。 此液滴噴出裝置3 0具有:基座3 1 ,基板移動手段3 2 ,噴頭移動手段3 3,液滴噴出頭3 4,液體供給手段 3 5,控制裝置(控制手段)40等。基座3 1是在其上 面設置上述基板移動手段3 2及噴頭移動手段3 3。 基板移動手段3 2是設置於基座3 1上,具有沿著Y 軸方向而配置的導軌3 6。此基板移動手段3 2是藉由線 性馬達(未圖示)來沿著導軌3 6使滑件3 7移動。 在滑件3 7上固定有基台3 9。此基台3 9是供以定 位保持基板S者。亦即,此基台3 9具有習知的吸著保持 手段(未圖示),藉由作動此吸著保持手段來將基板S吸 著保持於基台3 9上。基板S是例如藉由基台3 9的定位 銷(未圖示)來正確地定位於基台3 9上的預定位置,而 使能夠予以保持。 在基台3 9上的基板S兩側’亦即在液滴噴出頭3 4 -16- (12) (12)576800 的移動方向(Y軸方向)的兩側設有供以對液滴噴出頭 3 4進行沖洗的沖洗區4 1。該等沖洗區4 1 ’ 4 1是沿 著Y軸方向而形成的平面視矩形狀者,藉由設置於基台 3 9側方的基座3 1上的容器開口部等所形成。又,如此 的沖洗區4 1 ,4 1在基座3 1上的位置會事先被決定, 且該位置會被記憶於後述的控制裝置中。 噴頭移動手段3 3具備:架設於基座3 1的後部側的 一對架台3 3 a ,及設置於該等架台3 3 a上的行走路徑 3 3 b,而使該行走路徑3 3 b沿著X軸方向,亦即與上 述基板移動手段3 2的Y軸方向垂直的方向而配置。並且 ,行走路徑3 3 b具有:橫跨架台3 3 a ,3 3 a之間的 保持板3 3 c ,及設置於該保持板3 3 c上的一對導軌 33d,33d,而使搭載液滴噴出頭34的搬運器42 能夠移動保持於導軌33d,33d的長度方向。又,搬 運器4 2是藉由線性馬達(未圖示)等的作動來行走於導 軌33d,33d上,藉此來使液滴噴出頭34能夠移動 於X軸方向。 在此,該搬運器4 2可例如以1 //m單位來移動於導 軌3 3 d,3 3 d的長度方向,亦即X軸方向,如此的移 動是藉由控制裝置4 0來控制。因此,如上述,沖洗區 4 1 ,4 1的位置會被記憶於控制裝置4 0中,所以可使 用此控制裝置4 0來控制液滴噴出頭3 4的各動作與沖洗 區4 1 ,4 1的位置關係。 液滴噴出頭3 4是經由安裝部4 3來可轉動地安裝於 -17- (13) (13)576800 上述搬運器4 2。在安裝部4 3設有馬達4 4,且、液_ 出頭3 4的支持軸(未圖示)會連結於馬達4 4。液g _ 出頭3 4可根據如此的構成來轉動於其周方向。又,_ ^ 4 4亦連接於上述控制裝置4 0,藉此,液滴噴出頭3 4 往其周方向的轉動會被控制於控制裝置4 0。 在此,液滴噴出頭3 4,如第2 ( a )圖所示% 具備:不鏽鋼製的噴嘴板1 2及振動板1 3 ,且隔毫:胃_ 板1 4來接合兩者。在噴嘴板1 2與振動板1 3之間會胃 由間隔板1 4來形成複數個的空間1 5及液體滯留部1 6 。各空間1 5與液體滯留部1 6的內部充滿液狀材料,& 各空間1 5與液體滯留部1 6會經由供給口 1 7來連通。 並且,在噴嘴板1 2中,供以自空間1 5噴射液狀材料白勺 噴嘴孔1 8會在縱橫整列的狀態下複數形成。另一方胃, 在液體滯留部1 6中形成有用以供給液狀材料的孔1 9。 此外,在與對向於振動板1 3的空間1 5的一面呈年目 反的面上,如第2 (b)圖所示,接合有壓電元件2〇。 此壓電元件2 0是位於一對的電極2 1間,若通電,則會 突出於外側而彎曲。又,根據如此構成來接合壓電元件 2 0的振動板1 3會與壓電元件2 0形成一體而同時往外 側彎曲,藉此,空間1 5的容積會增大。因此,相當於空 間1 5內增大後的容積部份的液狀材料會從液體滯留部 1 6經由供給口 1 7而流入。又,若從如此的狀態來解除 往壓電元件2 0的通電,則壓電元件2 0與振動板1 3會 恢復到原來的形狀。因此,空間1 5也會恢復到原來的容 -18- (14) 積,所以空間1 5內部的液狀材料的壓力會上升,液狀材 料的液滴2 2會從噴嘴孔1 8朝向基板噴出。 另外,如此構成的液滴噴出頭3 4的底面形狀大致呈 矩形狀,如第1 5 ( a ) ,( b )圖所示,會在縱橫整列 的狀態下配置成矩形狀。在本例中,是以配置於縱方向, 亦即長邊方向的噴嘴群作爲噴嘴列。並且,各噴嘴N (噴 嘴孔1 8 )會分別獨立設有壓電元件2 0,藉此來分別獨 立進行其噴出動作及後述的微振動動作。 液體供給手段3 5是由:供應液狀材料給液滴噴出頭 3 4的液體供給源4 5,及供以從該液體供給源4 5來將 液體傳送至液滴噴出頭3 4的液體供給管4 6所構成。 控制裝置4 0是由電腦等所構成,如後述,記憶沖洗 區4 1的位置,具體而言,平行於Y軸的兩側邊的X座標 ,且檢測記憶液滴噴出頭3 4的位置資訊,亦即液滴噴出 頭34之導軌33d,33d上的位置(X座標)及此刻 各噴嘴的位置(X座標)。而使能夠根據這些記憶來對噴 嘴進行通常的噴出動作及沖洗動作,以及後述的微振動動 作之控制。 在此’說明控制裝置4 0之沖洗動作的具體控制。在 本發明中,可以幾種的形式來進行控制,大致可分成以下 兩種的控制。並且,以下所示的控制,皆是以液滴噴出頭 3 4的噴嘴列能夠形成傾斜的方式來轉動配置於所期望的 角度,而使其噴嘴間的間距形成所期望的軸向間距。 第一種控制’是邊使液滴噴出頭3 4移動,邊於沖洗 -19- (15) (15) 576800 區4 1內使沖洗動作進行於該液滴噴出頭3 4,且當至少 一個的噴嘴到達自沖洗區4 1內離開的位置時,會予以檢 測出,而使全體噴嘴的沖洗動作停止。 第二種控制,是邊使液滴噴出頭3 4移動,邊於沖洗 區4 1內使沖洗動作進行於該液滴噴出頭3 4,且當噴嘴 到達自沖洗區4 1內離開的位置時,會針對該噴嘴,亦即 針對離開沖洗區4 1內的各個噴嘴,停止其沖洗動作。 亦即,在這些方式中,首先會如上述,事先將沖洗區 4 1的兩邊位置作爲液滴噴出頭3 4的移動方向之X軸的 座標來記憶。此刻,如第3圖所示,當沖洗區4 1位於基 台3 9 (基板S )的兩側時,記憶基台3 9 (基板S )側 ,亦即形成內側的X座標的X 2 ,X 3 ,且形成外側的 X 1 ,X 4也會記憶。 又,在上述第一種方式中,會記憶位於液滴噴出頭 3 4的最外部的噴嘴,亦即如第4 ( a )圖中所示,對液 滴噴出頭3 4的移動方向(X軸方向)而言,爲傾斜配置 之液滴噴出頭3 4的X軸方向的最外位置的角落部的噴嘴 N1 ,N2的位置。然後,在藉由液滴噴出頭34的移動 來使該等噴嘴N 1 ,N 2到達自預設的沖洗區4 1內離開 的位置時,例如第4 ( a )圖所示,在液滴噴出頭3 4自 沖洗區4 1側移動至基台3 9側時,當該噴嘴N 2到達沖 洗區4 1的內側的座標(X 2 )時,會使所有噴嘴N的沖 洗動作停止。 又’如此沖洗動作,雖亦可在液滴噴出頭3 4通過位 -20- (16) 於沖洗區4 1上的所有期間進行,但當噴出的液體爲高價 時,最好是液滴噴出頭3 4在沖洗區4 1上朝外側移動時 不進行沖洗,而如第4 ( a )圖所示,只在沖洗區4 1上 朝內側移動時進行沖洗動作。 如此一來,在往基板S上噴出液滴之前進行沖洗之下 ,更可有效地防止噴嘴N的噴出不良,且可減少沖洗液無 謂的浪費。 又’如此地只在朝內側移動時進行沖洗動作時,該沖 洗動作的開始時期雖無特別加以限定,但例如液滴噴出頭 3 4在沖洗區4 1上朝外側移動,一旦自沖洗區4 1離開 後,再度回來,如第4 ( b )圖所示,其噴嘴N 1到達沖 洗區4 1的外側的座標(X 1 )時,使能夠對所有的噴嘴 N進行沖洗動作。又,當液滴噴出頭3 4不會自沖洗區 4 1上離開’在上面,亦即在所有噴嘴N位於沖洗區4 1 上的狀態下改變移動方向而折返時,會在該折返點對所有 的噴嘴N進行沖洗動作。 另一方面’在上述第二種方式中,會記憶傾斜配置的 液滴噴出頭3 4的所有噴嘴N的位置。然後,在藉由液滴 噴出頭3 4的移動來使該等噴嘴n到達自預設的沖洗區 4 1內離開的位置時,停止對該噴嘴N進行沖洗動作,亦 即停止對自沖洗區4 1內離開的各個噴嘴N進行沖洗動作 。例如’第4 ( a )圖所示,在液滴噴出頭3 4自沖洗區 4 1側移動至基台3 9側時,當噴嘴N 2到達沖洗區4 1 的內側的座標(X 2 )時,會控制成只停止對該噴嘴n 2 -21 - (17) (17) 576800 進行沖洗動作,而之後到達χ 2的其他噴嘴N也是同樣的 依次停止其沖洗動作。 此外’在如此沖洗動作中,雖亦可在各噴嘴N分別通 過位於沖洗區4 1上的所有期間進行,但如上述,當噴出 的液體爲高價時,最好是液滴噴出頭3 4在沖洗區4 1上 朝外側移動時不進行沖洗,而只在沖洗區4 1上朝內側移 動時進行沖洗動作。 另外’在該等方式中,在液滴噴出頭3 4進行沖洗時 ’亦可事先使該液滴噴出頭3 4的噴嘴列能夠轉動成垂直 於X軸方向,在此狀態下進行沖洗。亦即,如第5 ( a ) 圖所示,在基台3 9 (基板S )上進行液滴噴出動作後, 保持原狀移動至沖洗區4 1時,藉由控制裝置4 0來使馬 達4 4作動,如第5 ( a )圖中的兩點虛線所示,使液滴 噴出頭3 4移行成正規的姿勢(不傾斜的姿勢),藉此, 在沖洗區4 1上,噴嘴列會形成與γ軸方向一致的姿勢。 並且,在轉動液滴噴出頭3 4時,亦可如第5 (b )圖所 示,在到達沖洗區4 1的上面之後,進行轉動動作。 再者,即使是在如此進行沖洗時使液滴噴出頭3 4轉 動時,照樣可以使用上述兩種的控制方式來進行有關該沖 洗的控制。 若如此地進行沖洗動作,則液滴噴出頭3 4會形成傾 斜,藉此可防止其一部份的噴嘴逾越沖洗區4 1上,而於 此狀態下進行沖洗。 又,在到達沖洗區上之後進行轉動動作時,可在不影 -22- (18) (18)576800 響基板S上的液滴噴出下進行沖洗。 又,就控制方式而言,特別是在採用上述第二種方式 時,因爲在沖洗區4 1上,液滴噴出頭3 4的噴嘴列方向 與Y軸方向一致,所以構成噴嘴列的各噴嘴會同時到達自 預設的沖洗區4 1內離開的位置。因此,無論是針對各個 噴嘴來控制其沖洗的方式,實質上還是可以藉由對各噴嘴 列所進行的控制來使能夠不在沖洗區4 1以外噴出液滴的 情況下進行沖洗動作,近而能夠謀求控制的簡略化。 又,在如此進行沖洗時使液滴噴出頭3 4轉動時,最 好液滴噴出頭3 4在沖洗區4 1上朝外側移動時不進行沖 洗動作,而僅於沖洗區4 1上朝內側移動時進行沖洗動作 〇 又,上述兩種的控制方式,最好皆是針對進行沖洗動 作後停止該沖洗動作的噴嘴執行印字前微振動動作。 在此,所謂的微振動動作,是針對對應於液滴噴出頭 3 4的各噴嘴的壓電元件2 0來施加非常小的電壓,藉此 來使振動板1 3微小振動,對第2 ( a ) ,( b )圖所示 空間1 5內的液狀材料賦予微振動,壓制液狀材料的黏度 增力α。 亦即,在基板s上進行液滴噴出及沖洗時,是對壓電 元件2 0施加第6圖中的波形Τ所示之較大的電壓,相對 的在微振動動作中,是施加第6圖中的波形Β所示之較小 的電壓,在不進行液滴噴出下只賦予液狀材料微振動。並 且,在微振動動作中具有:在基板S上噴出液滴的動作之 -23- (19) (19)576800 前進行的第1微振動,在噴嘴間,對不進行噴動作的噴嘴 而言,其他的噴嘴會進行噴出動作時進行的第2微振動, 在液滴噴出頭3 4開始動作前進行的第3微振動,以及與 該等微振動無關,經常會進行的微振動等。在本發明中, 特別是針對進行沖洗動作後停止該沖洗動作的噴嘴執行上 述第1微振動。 如此一來,更可確實地防止因液滴噴出頭3 4內之液 體的溶媒揮發而造成的黏度增加。 其次,針對適用於彩色濾光片的製造時的一例來說明 使用由如此構成所形成的液滴噴出裝置3 0的驅動方法之 製膜方法。 在此例中,首先將基板S設置於基台3 9上的預定位 置,且將該設定位置輸入控制裝置4 0。並且,藉由控制 裝置4 0來使馬達4 4作動,以噴嘴間的間距能夠取得所 期望的間距,亦即以能夠形成第1 5 ( b )圖所示之液滴 T間的間距P 3所能取得的角度之方式來轉動液滴噴出頭 3 4,使其噴嘴列傾斜。 上述基板S具有適度的機械強度,且爲光透過性高的 透明基板。具體而言,可使用透明玻璃基板,鹼玻璃,塑 膠玻璃,塑膠薄膜及該等的表面處理品等。 又’本例中,例如第7圖所示,爲了提升生產性,在 長方形形狀的基板S上,將複數個彩色濾光片領域5 1形 成矩陣狀。該等彩色濾光片領域5 1可藉由之後基板s的 切斷來作爲適合於液晶顯示裝置的彩色濾光片用。並且’ -24- (20) (20)576800 就彩色濾光片領域5 1而言,如第7圖所示,會分別將r 的液狀材料,G的液狀材料,及b的液狀材料形成預定的 圖案’在本例中是形成習知的條紋形。而且,此形成圖案 ’除了條紋形以外,亦可爲馬賽克形,三角形,或四方形 等。 在形成如此的彩色濾光片領域5 1時,首先如第8 ( a )圖所示,對透明的基板s的一方的面形成黑色矩陣 5 2。就此黑色矩陣5 2的形成方法而言,是以旋轉塗佈 等的方法來將無光透過性的樹脂(最好爲黑色)塗佈成預 定的厚度(例如2 // m )。有關以此黑色矩陣5 2的格子 所圍繞的最小顯示要素,亦即濾光片元件5 3是例如將X 軸方向的寬度形成3 // m,以及將Y軸方向的長度形成 1 0 0 // m 〇 其次,如第8 (b)圖所示,由上述液滴噴出頭34 來噴出液滴5 4,且予以供應給濾光片單元5 3。有關噴 出的液滴5 4量,是在考量加熱過程時液狀材料的體積會 減少之下的充分量。 在此,液滴5 4的噴出,是沿著噴頭移動手段3 3的 導軌3 3 d,3 3 d來使液滴噴出頭3 4往返移動於X軸 方向,但此刻會在每個通路或每數個通路使液滴噴出頭 3 4移動至沖洗區4 1 ,在此進行上述沖洗。此情況,亦 可進行前述兩種方式的其中之一。並且,亦可選擇是否進 行印字前微振動,以及是否一旦使液滴噴出頭3 4轉動後 來進行沖洗,或者選擇進行沖洗的時序(只在沖洗區4 1 -25- (21) (21)576800 上朝向內側移動時進行沖洗)。 如此一來,一旦在基板s上的所有濾光片單元5 3中 充塡液滴5 4,則會進行加熱處理,亦即利用加熱器來使 基板S形成預定的溫度(例如7 〇 t左右)。藉此加熱處 理,液狀材料的溶媒會蒸發,而使得液狀材料的體積會減 少。s此體積減少的非常明顯時’會重複進行噴出過程及 加熱過程’直到彩色濾光片取得充分的膜厚爲止。藉此處 理,液狀材料的溶媒會蒸發,最後只留下液狀材料的固體 · 部份而膜化’如第8 ( c )圖所示,形成顏色材料層5 5 〇 其次,使基板S形成平坦化,且爲了保護顏色材料層 5 5 ,而如第8 ( d )圖所示,在基板s上形成保護膜 5 6來覆蓋顏色材料層5 5或黑色矩陣5 2。此保護膜 5 6的形成,可採用旋轉塗佈法,滾筒塗佈法等,但亦可 與顏色材料層5 5的形成同樣,利用第1圖所示的液滴噴 出裝置30來進行。 Φ 其次,如第8 ( e )圖所示,在該保護膜5 6的全面 上,藉由濺鍍法或真空蒸鍍法等來形成透明導電膜5 7。 然後’對透明導電膜5 7進行圖案形成,使畫素電極5 8 對應於上述濾光片單元5 3 ,而進行圖案形成。並且,當 液晶顯示面板的驅動爲使用T F T ( Thin Film Transistor )時,則不用進行此圖案形成。 在利用如此的液滴噴出裝置3 0來製造彩色濾光片時 ,由於是邊移動液滴噴出頭3 4邊進行該沖洗動作,因此 -26- (22) (22) 576800 不會因爲進行沖洗而有損生產性。 又,因爲是在噴嘴到達自預設的沖洗區4 1內離開的 位置時,以能夠使所有的噴嘴或離開的各個噴嘴的沖洗動 作停止之方式來構成控制裝置4 0,所以可確實地防止因 超出沖洗區4 1來進行沖洗時對製膜或圖案形成造成不良 影響,或者導致裝置污染。如此一來,因爲可防止對製膜 或圖案形成造成不良影響,所以能夠生產性佳且良好地來 形成彩色濾光片5 5。 又,利用本發明的液滴噴出裝置3 0的驅動方法之製 膜方法,亦可適用於形成有機電激發光元件的構成要件之 薄膜的形成。第9圖及第1 0圖是供以說明具備有機電激 發光元件的電激發光顯示器之一例的槪略構成。圖中,元 件符號7 0是表示電激發光顯示器。 此電激發光顯示器7 0,如電路圖的第9圖所示,在 透明的顯示基板上分別配置有:複數條的掃描線1 3 1 , 及延伸於與該等掃描線1 3 1交叉的方向之複數條的訊號 線1 3 2,以及與該等訊號線1 3 2並列延伸之複數條的 共通給電線1 3 3,並且在掃描線1 3 1與訊號線1 3 2 的各交點設有畫素(畫素領域)7 1。 又,對訊號線1 3 2設有具備位移暫存器,位準位移 器’視頻線,及類比開關之資料側驅動電路7 2。 另一方面,對掃描線1 3 1設有具備位移暫存器及位 準位移器之掃描側驅動電路7 3。並且,在各畫素領域 7 1中設有:經由掃描線1 3 1來將掃描訊號供應給閘極 -27- (23) (23)576800 電極之開關薄膜電晶體1 4 2,及經由此開關薄膜電晶體 1 4 2來保持自訊號線1 3 2所供給的晝像訊號之保持電 容c a p,及藉由保持電容c a ρ來予以保持的畫像訊號 會被供應給閘極電極之電流薄膜電晶體1 4 3 ’及經由此 電流薄膜電晶體1 4 3來電性連接於共通給電線1 3 3時 會自共通給電線1 3 3流入驅動電流之晝素電極1 4 1 ’ 及夾持於該畫素電極1 4 1與反射電極1 5 4之間的發光 部 1 4 0。 在如此的構成下,若掃描線1 3 1被驅動’而使開關 薄膜電晶體1 4 2形成〇N狀態的話’則此刻的訊號線 1 3 2的電位會被保持於保持電容c a p,按照該保持電 容c a p的狀態來決定電流薄膜電晶體1 4 3的〇N · 〇F F狀態。然後,電流會經由電流薄膜電晶體1 4 3的 通道來從共通給電線1 3 3流入畫素電極1 4 1 ,且電流 會通過發光部1 4 0來流入反射電極1 5 4,藉此發光部 1 4 0會按照該電流量來發光。 在此,各畫素7 1的平面構造,如第1 0圖所示(去 掉反射電極或有機電激發光元件的狀態下的擴大平面圖) ,平面形狀爲長方形的畫素電極141的四邊會藉由訊號 線1 3 2,共通給電線1 3 3,掃描線1 3 1及未圖示的 其他晝素電極用的掃描線來予以圍繞配置。 其次,利用第1 1〜1 3圖來說明此類的電激發光顯 示器7 0中所具備之有機電激發光元件的製造方法。並且 ’在第1 1〜1 3圖中,爲了使說明簡略化,而僅圖示單 -28- (24) 一的畫素7 1 。 首先,準備一基板。在此,就有機電激發光元件而言 ,可由基板側來取出後述之發光層的發光光,或者由與基 板呈相反的一側來取出發光光。在由基板側來取出發光光 時,基板材料可使用玻璃,石英,或樹脂等透明或半透明 者,尤其是以玻璃最適合。 又,亦可於基板上配置含顏色濾光片膜或螢光性物質 的顏色變換膜,或者介電質反射膜,而使能夠控制發光顏 色。 又,由與基板呈相反的一側來取出發光光時,基板可 爲不透明,此情況,可使用在氧化鋁等的陶瓷或不鏽鋼等 的金屬片上施以表面氧化等的絕緣處理之熱硬化性樹脂及 熱可塑性樹脂等。 就本例的基板而言,如第1 1 ( a )圖所示,是使用 由鈉玻璃等所構成的透明基板1 2 1。又,可因應所需, 以TEOS (四氯乙氧基矽烷)或氧氣等作爲原料,藉由 電獎CVD法來形成由厚度約2 0 0〜5 0 0 nm的氧化 矽膜所構成的底層保護膜(未圖示)。 其次,將透明基板1 2 1的溫度設定成約3 5 0 t, 而於底層保護膜的表面,藉由電漿CVD法來形成由厚度 約3 〇〜7 0 n m的非晶質矽膜所構成的半導體膜2 〇 〇 。其次’對該半導體膜2 0 0進行雷射退火或固相成長法 等的結晶化過程’使半導體膜2 0 〇結晶化成多晶矽膜。 就雷射退火法而言,例如可使用準分子雷射,光束長爲 -29 - (25) (25)576800 4 0 〇 n m的線光束,其輸出強度,例如爲2 0 0 m J / c m 2。有關線光束方面,是以相當於其短方向的 雷射強度的峰値的9 0 %的部份能夠重疊於每個領域之方 式來掃描線光束。 其次,如第1 1 ( b )圖所示,對半導體膜(多晶矽 膜)2 0 0進行圖案的形成,而形成島狀的半導體膜 2 1 0,且於其表面,以TEOS或氧氣等作爲原料,藉 由電漿CVD法來形成由厚度約6 0〜1 5 0 nm的氧化 矽膜或氮化膜所構成的閘極絕緣膜2 2 0。並且,雖然半 導體膜2 1 0會形成如第1 0圖所示之電流薄膜電晶體 1 4 3的通道領域及源極•汲極領域,但在不同的剖面位 置也會形成開關薄膜電晶體1 4 2的通道領域及源極•汲 極領域。亦即,在第1 1〜1 3圖所示的製造過程中,雖 然兩種類的電晶體142,143會同時被製作,但由於 是以同樣的程序來製作,因此在以下的說明中有關電晶體 方面,會只針對電流薄膜電晶體1 4 3來進行說明,而省 略開關薄膜電晶體1 4 2的說明。 其次,如第1 1 ( c )圖所示,藉由濺鍍法來形成由 鋁,鉬’鉬,鈦,鎢等的金屬膜所構成的導電膜,然後予 以形成圖案,而形成閘極電極1 4 3 A。 其次’在此狀態下植入高濃度的磷離子,在半導體膜 2 1 〇中形成對閘極電極1 4 3 A自我整合的源極•汲極 領域1 4 3 a ,1 4 3 b。並且,未被導入雜質的部份會 形成通道領域1 4 3 c。 -30- (26) (26)576800 其次,如第1 1 ( d )圖所示,在形成層間絕緣膜 230之後,形成接觸孔232 ’ 234 ’且於該等接觸 孔232 ,234中埋入中繼電極236 ’ 238。 其次,如第1 1 ( e )圖所示,在層間絕緣膜2 3 0 上形成訊號線1 3 2 ’共通給電線1 3 3及掃描線(第 1 1圖中未圖示)。在此,中繼電極2 3 8與各配線亦可 於同一過程中形成。此刻,中繼電極2 3 6是藉由後述的 I T〇膜來形成。 又,以能夠覆蓋各配線的上面之方式來形成層間絕緣 膜2 4 0,在對應於中繼電極2 3 6的位置形成接觸孔( 未圖示),且以能夠埋入該接觸孔內之方式來形成I T〇 膜,然後再對該I T ◦膜進行圖案的形成,而在被圍繞於 訊號線1 3 2,共通給電線1 3 3及掃描線(未圖示)的 預定位置形成電性連接於源極•汲極領域1 4 3 a的畫素 電極1 4 1。在此,被夾在訊號線1 3 2及共通給電線 1 3 3以及掃描線(未圖示)的部份會形成後述之正孔注 入層或發光層的形成場所。 其次,如第1 2 ( a )圖所示,以能夠圍繞上述形成 場所之方式來形成隔壁1 5 0。此隔壁1 5 0具有作爲間 隔構件的機能,最好是以聚醯亞胺等的絕緣性有機材料來 形成。有關隔壁1 5 〇的膜厚,例如形成1〜2 // m的高 度。並且’隔壁1 5 0最好是對液體(由液滴噴出頭3 4 所噴出的液體)具有撥液性。爲了使隔壁1 5 0具有撥液 丨生’例如可採用藉由氟系化合物等來對隔壁1 5 0的表面 -31 - (27) (27)576800 進行表面處理之方法。在此,就氟系化合物而言,例如有 CF4,SFe ’ CHF3等。就表面處理而言,例如有電 漿處理,U V照射處理等。 又,根據如此的構成,在正孔注入層或發光層的形成 場所,亦即在該等形成材料的塗佈位置及其周圍的隔壁 1 5 0之間形成有充分高度的段差1 1 1。 其次’如第1 2 ( b )圖所示,在使顯示基板1 2 1 的上面向上的狀態下,藉由液滴噴出頭3 4來選擇性地將 正孔注入層的形成材料塗佈於被上述隔壁1 5 〇所圍繞的 位置,亦即隔壁1 5 0內。 在此,如此之正孔注入層的形成材料的噴出,是沿著 噴頭移動手段3 3的導軌3 3 d,3 3 d來使液滴噴出頭 3 4往返移動於X軸方向,但此刻會在每個通路或每數個 通路使液滴噴出頭3 4移動至沖洗區4 1 ,在此進行上述 沖洗。此情況’與先則彩色濾光片的製造時同樣的,可進 行則述兩種方式的其中之一。並且,亦可選擇是否進行印 字前微振動,以及是否一旦使液滴噴出頭3 4轉動後來進 行沖洗’或者選擇進行沖洗的時序(只在沖洗區4 1上朝 向內側移動時進行沖洗)。 就上述正孔注入層的形成材料而言,例如有:聚合物 先驅物爲聚四氫硫苯基苯之聚苯乙烯、1 ,i 一雙一(4 一 N,N -一甲苯基胺基苯基)環乙烷、三(8一羥基喹 啉酚)鋁等。 此刻,液狀的形成材料丨i 4 A雖會因爲流動性高而 -32 - (28) (28)576800 擴散於水平方向’但由於形成有隔壁1 5 〇 (圍繞所被塗 佈的位置),因此可防止形成材料1 1 4 A越過隔壁 1 5 0而擴散至外側。 其次’如第1 2 ( c )圖所示,藉由加熱或光照射來 使液狀的先驅物1 1 4 A的溶媒蒸發,而於畫素電極 1 4 1上形成固形的正孔注入層χ 4 〇 a。 其次’如第1 3 ( a )圖所示,在使顯示基板1 2 1 的上面向上的狀態下,藉由液滴噴出頭3 4來將液狀材料 ,亦即發光層的形成材料(發光材料)1 1 4 B予以選擇 性地塗佈於上述隔壁1 5 0內的正孔注入層1 4 0 A上。 在此發光層的形成材料噴出時,也會在每個通路或數個通 路,使液滴噴出頭3 4移動至沖洗區4 1,在此進行前述 的沖洗。 就發光層的形成材料而言,最好是例如使用含:共轭 系高分子有機化合物的先驅物,及供以使所取得之發光層 的發光特性變化的螢光色素者。 共軛系高分子有機化合物的先驅物是在與螢光色素等 一起從液滴噴出頭3 4噴出形成於薄膜之後,例如下式( I )所示,藉由加熱硬化來產生成爲共軛系高分子有機電 激發光層的發光層,例如爲先驅物的锍鹽時,藉由加熱處 理來使毓基脫離,形成共軛系高分子有機化合物。 -33- 576800 (29) 【化1】 15Cncx4hr
PPV -^Q-ch-ch2-3- όα 如此的共軛系高分子有機化合物爲固體且具有強螢光 ’可形成均質的固體超薄膜。並且,與I Τ ◦電極的密著 性亦高。而且,如此之化合物的先驅物硬化後會形成強固 的共軛系高分子膜,所以在加熱硬化前可將先驅物溶液調 整成適用於後述之利用液滴噴出頭的製膜法的所期望黏度 ’而能夠以簡便且短時間來進行最適條件的膜形成。 就如此的先驅物而言,例如最好爲Ρ Ρ V (聚(對苯 乙烯))或其衍生物的先驅物。Ρ Ρ V或其衍生物的先驅 物可溶於水或有機溶媒,且因爲可聚合物化,所以光學性 地取得高品質的薄膜。又,Ρ Ρ V具有強螢光,且因爲雙 重結合的7Γ電子在聚合物鏈上亦爲非極在化的導電性高分 子,所以可取得高性能的有機電激發光元件。 就如此之Ρ Ρ V或Ρ Ρ V衍生物的先驅物而言,例如 有化學式(I I)所示之PPV (聚(對苯乙烯))先驅 物、Μ ◦ — PPV (聚(2 ,5 —二甲氧基一 1 ,4 —苯 乙烯))先驅物、CN - PPV (聚(2,5 —雙己氧基 —1 ,4 一伸苯基一(1 一胺基乙烯)))先驅物、 MEH—PPV (聚[2 —甲氧基一 5 — (2,一乙基己氧 基)]一對苯乙烯)先驅物等。 -34- (30)576800
Hi3C6〇 cn
ρ Ρ V或ρ ρ ν衍生物的先驅物,如前述 可藉由製膜後的加熱來高分子化而形成ρ ρ ν ρ Ρ V先驅物的含量,最好對組成物全體而言 〇 · 01〜10 . 〇wt%,更理想爲0 . 1 w t %。若先驅體的添加量過少,則形成共車尼 時會不夠充分,若過多,則組成物的黏度會變 (Π) 溶於水, 。上述 爲 5 . 0 高分子膜 ’有可能 -35- (31) (31)576800 會無法適用於利用液滴噴出頭的製膜法來進行高精度的圖 案形成。 又,就發光層的形成材料而言,最好是含至少一種的 螢光色素。藉此,可使發光層的發光特性變化,例如可有 效提高發光層的發光效率’或者用以改變光吸收極大波長 (發光色)。螢光色素並非單單是作爲發光層材料用,亦 · 可具有作爲發光機能的色素材料用。例如,可將共轭系高 . 分子有機化合物上的載流子再結合下所產生的激發子 鲁 (excition)的能量予以幾乎移至螢光色素分子上。此情況 ’因爲發光會只由螢光量子效率高的螢光色素分子來引起 ’所以發光層的電流S子效率也會增加。因此,在發光層 的形成材料中添加螢光色素的同時,發光層的發光光譜亦 爲螢光分子,所以亦可有效作爲改變發光色的手段。 在此,所謂的電流量子效率是供以根據發光機能來考 察發光性能的尺度,亦即根據以下所示的式子來加以定義 C E =所被放出之光子的能量/輸入電氣能量 又,可藉由光吸收極大波長的變換(利用螢光色素的 摻雜)來使紅,藍,綠等3原色發光,其結果可取得全彩 顯示體。 又,藉由螢光色素的摻雜來大幅度地提高電激發光元 件的發光效率。 就螢光色素而言,在形成紅色的發色光的發光層時, 最好是使用具有紅色發光色的若丹明或若丹明衍生物。由 -36- (32) (32)576800 於該等的螢光色素爲低分子,因此可溶於水溶液,且與 P P V相容性佳,容易形成均一且安定的發光層。如此的 螢光色素’具體而言,例如有若丹明B,若丹明B基底, 若丹明6 G,若丹明1 〇 1高氯酸鹽等,或者予以混合兩 種以上者。 又,在彤成綠色的發色光的發光層時,最好是使用具 有綠色發光色的喹吖啶酮及其衍生物。該等的螢光色素與 上述紅色螢光色素同樣的,由於爲低分子,因此可溶於水 溶液,且與P P V相容性佳,容易形成發光層。 又’在形成藍色的發色光的發光層時,最好是使用具 有藍色發光色的一'本乙嫌基聯苯基及其衍生物。g亥等的營 光色素與上述紅色螢光色素同樣的,由於爲低分子,因此 可溶於水•醇混合溶液,且與p p V相容性佳,容易形成 發光層。 又,就具有藍色發光色的其他螢光色素而言,例如可 爲香豆素及其衍生物•該等的螢光色素與上述紅色螢光色 素同樣的,由於爲低分子,因此可溶於水溶液,且與 P P V相容性佳,容易形成發光層。如此的螢光色素,具 體而言,例如有香豆素,香豆素- 1 ,香豆素一 6 ,香豆 素一 7,香豆素120,香豆素138,香豆素152, 香豆素15 3,香豆素3 11 ,香豆素3 14,香豆素 334,香豆素337,香豆素343等。 又,就具有其他的藍色發光色的螢光色素而言,例如 有四苯基丁二烯(TPB)或TPB衍生物。該等的螢光 -37- (33) (33)576800 色素與上述紅色螢光色素同樣的,由於爲低分子’因此可 溶於水溶液,且與P P V相容性佳,容易形成發光層。 就以上的螢光色素而言,各顏色可只使用一種,或者 混合兩種以上。 又,有關該等的螢光色素,最好是針對上述共轭系局 分子有機化合物的先驅物固型部份添加1 · 0〜5 . 0 w t %。若螢光色素的添加量過多,則發光層的耐候性及 · 耐久性的維持不易,另一方面,若螢光色素的添加量過少 鲁 ,則會無法充分取得像上述那樣加諸螢光色素所產生的效 果。 又,有關上述先驅物及螢光色素,最好是以溶解或分 散於極性溶媒者來作爲液狀材料,而從液滴噴出頭3 4來 噴出此液狀材料。由於極性溶媒可使上述先驅物及螢光色 素等容易地溶解或均一地分散,因此可防止發光層形成材 料中的固型部份附著或阻塞於液滴噴出頭3 4的噴嘴孔 18。 Φ 就如此的極性溶媒而言,具體而言,例如有:水、甲 醇、乙醇等具有與水相容性的醇、N,N -二甲基甲醯胺 (DMF) 、N —甲基吡咯烷酮(NMP)、二甲基咪唑 啉(DMI )、二甲基亞颯(DMSO)等有機溶媒或無 機溶媒’或者亦可適當地將該等的溶媒混合兩種以上。 此外,在上述形成材料中最好添加溼潤劑。藉此,可 有效防止形成材料乾燥•凝固於液滴噴出頭3 4的噴嘴孔 1 8。就溼潤劑而言,例如有甘油,二甘醇等的多元醇, -38- (34) (34)576800 或者予以混合兩種以上者。並且,此溼潤劑的添加量,最 好是對形成材料的全體量而言’添加5〜2 〇wt %左右 〇 另外’亦可添加其他的添加劑,被膜安定化材料,例 如可使用安定劑,黏度調整劑,老化防止劑,p Η調整劑 ’防腐劑,樹脂乳膠,平坦劑等。 若從液滴噴出頭3 4的噴嘴孔1 8噴出如此發光層的 形成材料1 1 4 Β ’則形成材料1 1 4 Α會被塗佈於隔壁 150內的正孔注入層14〇六上。 在此’利用形成材料1 1 4 A的噴出之發光層的形成 ’是藉由使紅色的發光色發光之發光層的形成材料,使綠 色的發光色發光之發光層的形成材料,及使藍色的發光色 發光之發光層的形成材料,分別噴出塗佈於所對應的畫素 7 1來進行。並且,對應於各色的晝素7 1是以能夠形成 規則性的配置之方式來事先決定。 如此一來’若噴出塗佈各色的發光層形成材料,則會 藉由使發光層形成材料1 1 4 B中的溶媒蒸發,在正孔注 入層1 4 0A上形成固形的發光層1 4 0B (如第1 3 ( b)圖所示),藉此來取得由正孔注入層14 0 A與發光 層140B所構成的發光部140。在此,有關發光層形 成材料1 1 4 B中的溶媒蒸發’雖可因應所需,進行加熱 或減壓等的處理’但因爲發光層的形成材料通常乾燥性良 好且具速乾性,所以不必特別進行如此的處理,因此可藉 由依次噴出塗佈各色的發光層形成材料來依此塗佈順序形 -39- (35) 成各色的發光層1 4 OB。 然後,如第5 ( c )圖所示,在透明基板1 2 1的表 面全體形成條紋狀的反射電極1 5 4,取得有機電激發光 元件。 在利用如此的液滴噴出裝置3 〇來製造有機電激發光 元件的構成要件之正孔注入層1 4 0 A或發光層1 4 0 B 時,因爲是特別使液滴噴出頭3 4邊移動邊進行沖洗動作 ,所以不會因進行該沖洗而有損生產性。 又’因爲是在噴嘴到達自預設的沖洗區4 1內離開的 位置時,以能夠使所有的噴嘴或離開的各個噴嘴的沖洗動 作停止之方式來構成控制裝置4 0,所以可確實地防止因 超出沖洗區4 1來進行沖洗時對製膜或圖案形成造成不良 影響,或者導致裝置污染。如此一來,因爲可防止對製膜 或圖案形成造成不良影響,所以能夠生產性佳且良好地來 形成正孔注入層1 4 0A或發光層1 4 0 B。 又’本發明之液滴噴出裝置及其驅動方法,以及具備 彼之製膜裝置及製膜方法,並非是只利用於形成彩色濾光 片或有機電激發光元件的構成要件之薄膜的製造,亦可適 用於其他種種的薄膜或圖案的形成。例如,利用於投影用 銀幕等之微透鏡的形成等。 其次,說明有關本發明的電子機器。本發明的電子機 器是藉由使用上述液滴噴出裝置3 0的驅動方法的製膜方 法來形成其中所具備之裝置的構成要件或製造上形成的薄 膜。亦即,本發明的電子機器爲具備上述彩色濾片的液晶 -40- (36) (36)576800 顯示裝置,或者具備有機電激發光元件的電激發光顯示器 〇 第1 4 ( a )圖是表示行動電話之一例的立體圖。在 第14 (a)圖中,500是表示行動電話本體,501 是表示由上述液晶顯示裝置或電激發光顯示器等所構成的 顯示裝置。第14 (b)圖是表示打字機,個人電腦等攜 帶型資訊處理裝置之一例的立體圖。在第14 (b)圖中 ,6 0 0是表示資訊處理裝置,6 0 1是表示鍵盤等的輸 入部,603是表示資訊處理本體,602是表示由上述 液晶顯示裝置或電激發光顯示器等所構成的顯示裝置。 第1 4 ( c )圖是表示手錶型電子機器之一例的立體 圖。在第14 (c)圖中,700是表示手錶本體, 7 0 1是表示由上述液晶顯示裝置或電激發光顯示器等所 構成的顯示裝置。 由於第1 4 ( a )〜(c )圖所示的電子機器是具備 由上述液晶顯示裝置或電激發光顯示器等所構成的顯示裝 置,因此可生產性佳且良好地來形成。 [發明之效果] 如以上所述,若利用本發明的液滴噴出裝置,則因爲 可邊使液滴噴出頭移動,邊於沖洗區內使沖洗動作進行於 該液滴噴出頭,所以不會因進行該沖洗而有損生產性。又 ,因爲是在至少一個噴嘴到達自預設的沖洗區內離開的位 置時,使能夠控制成停止所有噴嘴的沖洗動作,所以可防 -41 - (37) (37)576800 止因超出沖洗區來進行沖洗時對製膜或圖案形成造成不良 影響,或者導致裝置污染。 若利用本發明之另一液滴噴出裝置,則因爲可邊使液 滴噴出頭移動,邊於沖洗區內使沖洗動作進行於該液滴噴 出頭,所以不會因進行該沖洗而有損生產性。又,因爲是 在噴嘴到達自預設的沖洗區內離開的位置時,使能夠控制 成停止該噴嘴的沖洗動作,所以可防止因超出沖洗區來進 行沖洗時對製膜或圖案形成造成不良影響,或者導致裝置 污染。 又,若利用本發明的製膜裝置,則因爲具備上述液滴 噴出裝置,所以不會因進行該沖洗而有損生產性,且可防 止因超出沖洗區來進行沖洗時對製膜造成不良影響,或者 導致裝置污染。 又,若利用本發明之液滴噴出裝置的驅動方法,則因 爲可邊使液滴噴出頭移動,邊於沖洗區內使沖洗動作進行 於該液滴噴出頭,所以不會因進行該沖洗而有損生產性。 又,因爲是在至少一個噴嘴到達自預設的沖洗區內離開的 位置時,使所有噴嘴的沖洗動作停止,所以可防止因超出 沖洗區來進行沖洗時對製膜或圖案形成造成不良影響,或 者導致裝置污染。 又,若利用本發明之另一液滴噴出裝置的驅動方法, 則因爲可邊使液滴噴出頭移動,邊於沖洗區內使沖洗動作 進行於該液滴噴出頭,所以不會因進行該沖洗而有損生產 性。又,因爲是在噴嘴到達自預設的沖洗區內離開的位置 -42- (38) (38)576800 時’使該噴嘴的沖洗動作停止,所以可防止因超出沖洗區 來進行沖洗時對製膜或圖案形成造成不良影響,或者導致 裝置污染。 又’若利用本發明的製膜方法,則因爲具備上述液滴 噴出裝置的驅動方法,所以不會因進行該沖洗而有損生產 性’且可防止因超出沖洗區來進行沖洗時對製膜造成不良 _ 影響,或者導致裝置污染。 . 又’右利用本發明之彩色爐光片的製造方法,則不會 · 有損生產性,且可防止對製膜造成不良影響,或者導致裝 置污染,因此可生產性佳且良好地形成彩色濾光片。 又’若利用本發明之有機電激發光裝置的製造方法, 則不會有損生產性,且可防止對製膜造成不良影響,或者 導致裝置污染,因此可生產性佳且良好地形成有機電激發 光裝置的構成要件之薄膜。 又’若利用本發明之電子機器,則可藉由利用上述製 膜方法而形成的裝置來生產性佳且良好地予以形成。 · 【圖式簡單說明】 第1圖是表示本發明之液滴噴出裝置的一實施形態例 的槪略構成立體圖。 第2圖是用以說明液滴噴出頭的槪略構成圖,其中圖 (a )爲要部立體圖,圖(b )爲要部側剖面圖。 第3圖是用以說明作業台與沖洗區的位置關係平面圖 -43- (39) (39)576800 第4 ( a ) , ( b )圖是用以說明沖洗區與液滴噴出 頭的位置關係平面圖。 第5 ( a ) , ( b )圖是用以說明液滴噴出頭的轉動 平面圖。 第6圖是表示對壓電元件之施加電壓的波形圖。 第7圖是表示基板上的彩色濾光片領域。 第8 ( a )〜(f )圖是用以依過程順序來說明彩色 濾光片領域的形成方法之要部側剖面圖。 第9圖是表示具備有機電激發光元件的電激發光顯示 器的一例電路圖。 第1 0圖是表示第9圖的電激發光顯示器的畫素部的 平面構造之擴大平面圖。 第1 1 ( a )〜(e )圖是用以依過程順序來說明有 機電激發光元件的製造方法之要部側剖面圖。 第1 2 ( a )〜(c )圖是用以依次說明接續於第3 圖的過程之要部側剖面圖。 第1 3 ( a )〜(c )圖是用以依次說明接續於第4 圖的過程之要部側剖面圖。 第1 4圖是表示本發明之電子機器的具體例,其中圖 (a )是表示適用於行動電話時的一例立體圖,圖(b) 是表示適用於資訊處理裝置時的一例立體圖,圖(c )是 表示適用於手錶型電子機器時的一例立體圖。 第1 5 ( a ) , ( b )圖是用以說明液滴噴出頭的姿 勢(安裝角度)與被噴出之液滴的關係圖。 -44- (40) (40)576800 【符號之說明】 3 0 :液滴噴出裝置 3 4 :液滴噴出頭 3 9 :基台 4 0 :控制裝置(控制手段) 41:沖洗區 5 :基板 -45-
Claims (1)
- (1) (1)576800 拾、申請專利範圍 1、 一種液滴噴出裝置,其係具有: 液滴噴出頭;該液滴噴出頭是設置於基台的上方,可 對基板於一方向來回移動,且具備縱橫整列噴出液滴於上 述基板的複數個噴嘴;及 沖洗區;該沖洗區對上述基台上的基板而言,是設置 於上述一方向的至少一方的側方;及 控制手段;該控制手段是在於控制上述液滴噴出頭的 動作; 上述液滴噴出頭對上述一方向而言,是使其噴嘴列傾 斜配置; 其特徵爲: 上述控制手段是邊使上述液滴噴出頭移動,邊於沖洗 區內使沖洗動作進行於該液滴噴出頭,且在至少一個噴嘴 到達自預設的沖洗區內離開的位置時,使能夠控制成停止 所有噴嘴的沖洗動作。 2、 一種液滴噴出裝置,其係具有: 液滴噴出頭;該液滴噴出頭是設置於基台的上方,可 對基板於一方向來回移動,且具備縱橫整列噴出液滴於上 述基板的複數個噴嘴;及 沖洗區;該沖洗區對上述基台上的基板而言,是設置 於上述一方向的至少一方的側方;及 控制手段;該控制手段是在於控制上述液滴噴出頭的 動作; -46- (2) (2) 576800 上述液滴噴出頭對上述一方向而言,是使其噴嘴列傾 斜配置; 其特徵爲: 上述控制手段是邊使上述液滴噴出頭移動,邊於沖洗 區內使沖洗動作進行於該液滴噴出頭,且在噴嘴到達自預 設的沖洗區內離開的位置時,使能夠控制成停止該噴嘴的 沖洗動作。 3、 如申請專利範圍第1或2項之液滴噴出裝置,其 中上述控制手段是在對噴嘴進行使沖洗動作停止的控制之 後,控制成可對該噴嘴進行微振動動作。 4、 如申請專利範圍第1或2項之液滴噴出裝置,其 中上述沖洗區對基台上的基板而言,是設置於上述一方向 的兩側。 5 '如申請專利範圍第1或2項之液滴噴出裝置,其 中上述控制手段是在液滴噴出頭朝外側移動於沖洗區上時 ’不進行沖洗動作,而只在液滴噴出頭朝內側移動於沖洗 區上時,進行沖洗動作。 6、如申請專利範圍第1或2項之液滴噴出裝置,其 中上述液滴噴出頭會被設置成能夠轉動於其周方向,且該 轉動動作是藉由上述控制手段來控制; 上述控制手段是在上述液滴噴出頭移動於沖洗區內進 行沖洗時’事先使該液滴噴出頭轉動成其噴嘴列能夠對上 述一方向垂直,且在所有噴嘴停止沖洗動作之後,再度控 制成能夠傾斜轉動。 -47- (3) 7、 如申請專利範圍第6項之液滴噴出裝置,其中使 對上述液滴噴出頭的動作,亦即使其噴嘴列能夠對上述一 方向垂直而轉動的動作進行於沖洗區上。 8、 一種製膜裝置,其特徵是具備申請專利範圍第1 〜7項的其中任一項所記載之液滴噴出裝置。 9、 一種液滴噴出裝置的驅動方法,其係在配置於基 台上之基板上塗佈液滴者,其特徵爲: 上述液滴噴出裝置具有: 液滴噴出頭;該液滴噴出頭是設置於上述基台的上方 ,可對基板於一方向來回移動,且具備縱橫整列噴出液滴 於上述基板的複數個噴嘴;及 沖洗區;該沖洗區對上述基台上的基板而言,是設置 於上述一方向的至少一方的側方; 上述液滴噴出頭對上述一方向而言,是使其噴嘴列傾 斜配置; 在邊使上述液滴噴出頭移動,邊於沖洗區內使沖洗動 作進行於該液滴噴出頭之下進行沖洗,然後在至少一個噴 嘴到達自預設的沖洗區內離開的位置時,使所有噴嘴的沖 洗動作停止。 1 0、一種液滴噴出裝置的驅動方法,其係在配置於 基台上之基板上塗佈液滴者,其特徵爲: 上述液滴噴出裝置具有: 液滴噴出頭;該液滴噴出頭是設置於上述基台的上方 ,可對基板於一方向來回移動,且具備縱橫整列噴出液滴 -48- (4) (4) 576800 於上述基板的複數個噴嘴;及 沖洗區;該沖洗區對上述基台上的基板而言,是設置 於上述一方向的至少一方的側方; 上述液滴噴出頭對上述一方向而言,是使其噴嘴列傾 斜配置; 在邊使上述液滴噴出頭移動,邊於沖洗區內使沖洗動 作進行於該液滴噴出頭之下進行沖洗,然後在噴嘴到達自 預設的沖洗區內離開的位置時,使該噴嘴的沖洗動作停止 〇 1 1、如申請專利範圍第9或1 0項之液滴噴出裝置 的驅動方法,其中在使噴嘴的沖洗動作停止之後,對該噴 嘴進行微振動動作。 1 2、如申請專利範圍第9或1 〇項之液滴噴出裝置 白勺驅動方法’其中上述沖洗區對基台上的基板而言,是設 置於上述一方向的兩側。 1 3 '如申請專利範圍第9或1 〇項之液滴噴出裝置 白勺驅動方法’其中在液滴噴出頭朝外側移動於沖洗區上時 ’ ^行沖洗動作,而只在液滴噴出頭朝內側移動於沖洗 區上時,進行沖洗動作。 1 4、如申請專利範圍第9或1 〇項之液滴噴出裝置 白勺驅動方法’其中上述液滴噴出頭會被設置成能夠轉動於 其周方向’且該轉動動作是藉由上述控制手段來控制; 當上述液滴噴出頭移動於沖洗區內進行沖洗時,事先 使读液滴噴出頭轉動成其噴嘴列能夠對上述一方向垂直, -49- (5) (5)576800 且在所有噴嘴停止沖洗動作之後,再度使傾斜轉動。 1 5、如申請專利範圍第1 4項之液滴噴出裝置的驅 動方法,其中使對上述液滴噴出頭的動作,亦即使其噴嘴 列能夠對上述一方向垂直而轉動的動作進行於沖洗區上。 1 6、一種製膜方法,其特徵是具備申請專利範圍第 9〜1 5項的其中任一項所記載之液滴噴出裝置的驅動方 法。 1 7、一種彩色濾光片的製造方法,其特徵是藉由申 請專利範圍第1 6項所記載的製膜方法來形成彩色濾光片 〇 1 8、一種有機電激發光裝置的製造方法,其特徵是 藉由申請專利範圍第1 6項所記載的製膜方法來形成有機 電激發光裝置的構成要件的薄膜。 1 9、一種電子機器,其特徵是具備利用申請專利範 圍第1 6項所記載的製膜方法而形成的裝置。 -50-
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