TW576777B - Substrate transmission method - Google Patents

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TW576777B
TW576777B TW090130680A TW90130680A TW576777B TW 576777 B TW576777 B TW 576777B TW 090130680 A TW090130680 A TW 090130680A TW 90130680 A TW90130680 A TW 90130680A TW 576777 B TW576777 B TW 576777B
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Takayuki Tsugueda
Yoshio Sunaga
Masasuke Matsudai
Masato Shishikura
Hiroki Oozora
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Ulvac Inc
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    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
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Description

576777 A7 B7 五、發明説明（1) 〔發明所屬之技術領域〕 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明，係關於一種在於真空中運送硅晶元或玻璃基 板的方法。 〔先行的技術〕 f 以往’在於半導體製造工程或液晶顯示面板製造工程 中，在真空中利用機器人手臂運送直徑3 〇 〇腿或3 〇 〇 mm正方等的大型基板，而在於液晶顯示面板的製造工程中 ，超過6 0 0腿正方的玻璃基板需利用大.約7 5 〇腿的機 器人手臂運送。 * 這種基板，係爲了成膜在真空中逐次地被運送到數個 真空室，但是在於返復的運送中由於來自基板的熱度或濺 度室內的熱源的熱使得機器人手臂本身的溫度上升而膨脹 〇 經濟部智慧財凌局員工消費合作社印製 例如擁有3節的長度之從1 5 0 0 mm到2 0 0 0 mm的 機器入手臂，當溫度到達2 0 0 °C時大約增長6〜9腿。 由於基板，係被設置在真空室內的所定的位置後被成膜的 緣故，爲了設定該位置必須準備定位的放置或機械挾.爪。 機械挾爪，係作成利用挾爪元件抓取自基板端部起大約5 mm的範圍的緣故，因此若機器人手臂無法正確地被運送， 會形成無法挾‘住，導致無法在正確的位置成膜。同時，在 於擺放時造成基板無法放入的原因，也形成無法在正確的 位置成膜。由於這種位置的不穩定導致成膜區和非成膜區 產生位置偏移時，導致基板的溫度分佈或膜厚分佈、膜特 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 576777 A7 B7 _：_ 五、發明説明（2) 性的穩定性不佳，形成每一批次的統一性惡化。半導體的 製造工程會比液晶顯示面板，的製造工程更爲嚴格。 本發明的目的，係提供一種在於真空中運送硅晶元或 玻璃基板的方法。 〔·解決的課題手段〕 本發明爲了達成上述目的，在真空中檢測運送基板的 機器人手臂的增長量後，將該增長量回饋到該機器人手臂 的驅動控制裝置後用以補正手臂驅動量。補正作業可依每 次運送基板的所定片數執行，或當該增長量超過所定數値 時予以進行。 〔發明的最佳實施形態〕 佐以附圖說明·本發明的實施形態，第1圖係在液晶顯 示面板用的玻璃基板處理成膜的裝置，同一圖之符號1係 顯示具備設置在真空的運送室2之機器人手臂3 @機器人. 。在於該運送室2的周圍，介隔關閉自如的閘閥9設置玻 璃基板4的準備取放室5、加熱室6、C V D室7、濺度 室8後，乘載該玻璃基板4到擁有3個關節的機器人手臂 3的承接部運送到各室後，進行成膜處理。在加熱室6將 玻璃基板4加熱到2 5 0〜4 Ό 0 °C，在C V D室7則被 加熱到4 0 0 t以下，在濺度室8則被加熱到2 5 0 °C以 下。 該機器人手臂3，係藉著利用驅動控制裝置1 〇控制
本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) Z --。--^------，訂------線 * *·· (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 576777 A7 B7 五、發明説明（3) 3個關節的旋轉進行運送動作，當在運送過程中加熱時發 生如第2圖的曲線所示的增長量會導致運送位置無法正確 ，但是若在真空中設置檢測該增長量的檢測裝置1 1 ，將 該增長量回饋到該驅動控制裝置1 0用以補正手臂驅動量 後，可以作成導正該運送位置的變化。 更進一步地說明的話，在於第1圖的範例中，該檢測 裝置1 1 ，係由：設置在加熱室6的相對向牆壁的光線透 過窗1 2、1 2 ;及面朝各窗所設置的雷射光源1 3及受 光素子1 4 ;及擁有設置在該手臂3的雷射透過孔1 5的 測定片1 6所構成。當該手臂3的增長量變大時·，測定片 1 6便遮斷雷射光後輸出對驅動控制裝置1 0的補正信號 ，在於容許範圍內的增長量作成透過雷射透過孔1 5不輸 出補正的信號。此時，藉由手臂3的熱所形成的延伸導致 該基板4的各設置位置抵達各室的內側的緣故，補正信號 會控制各手臂3的旋轉角度後輸出可以將基板4設置到各 室的入口側的定位置的信號。此一補正信號，係當預先預 想的增長量發生在手臂3時被輸出，且當接收此一信號後 驅動控制裝置1 0僅以預定數値對手臂驅動量的旋轉角度 補正，由於利用修正手臂3的位置使受光素子1 4重新接 收雷射光，修正運送動作用以作成乘載基板4到定位置。 也可以將輸出脈波信號作爲該補正的信號，且以每一脈波 旋轉手臂3直到利用受光素子1 4接收到雷射光爲止。 該檢測裝置1 1 ，係也可以由：設在手臂3的承接部 3 a的適切的位置之標誌；及介隔著各視窗監視各房室內 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公董) " -------ΊΙΛ------^訂：--：----線. (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 576777 A7 B7 五、發明説明（5) 動’但是由於檢測裝置1 1在增長量超出0 · 5醒時會對 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 驅動控制裝置1 〇輸出補正値用以補正手臂驅動量，因此 即使連續地處理1 〇 〇片的基板4該運送位置也不會產生 太大的偏移。 採用上述本發明時，係在真空中檢測運送基板的機器 人手臂的增長量用以將該資料輸入到機器人手臂的驅動裝 置後’補正手臂驅_量的緣故，即使手臂產生熱膨脹也可 以運送基板到所定的位置，對基板的溫度分佈或膜厚分佈 、膜特性等執行不會發生不穩定的基板之處理，獲得利用 長的手臂可以處理大基板等的效果。 〔發明的效果〕 · 如上述說明，本發明，係可以利用到在於真空中運送 硅晶元或玻璃基板的方法。 〔圖面之簡單說明〕 第1圖，使用在本發明的實施中之裝置的說明圖。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第2圖，手臂的增長量之線圖。 第3圖，係沿著第1圖之3 - 3線段斷面圖。 第4圖，係第1圖之主要部分的立體圖。 〔元件對照表〕 1 :機器人 2 :運送室. 3 :機器人手 4 :玻璃基板 -8- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） 576777 A7 B7 五、發明説明（6) 5:準備取放室 7 : C V D 室 9 :閘閥 1 1 :檢測裝置 18:處理台 6 :加熱室 8 :濺度室 10:驅動控制赛置 1 7 :平台 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -訂 -線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -9 -

Claims (1)

  1. 576777 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 附件4 : 第901 30680號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 民國92年10月13日修正 1 . 一種基板運送方法，是在真空中，以驅動裝置使 複數個手臂構件相對地移動，來驅動機器人手臂，將基板 運送至複數個不同的溫度領域的機器人之基板運送方法， 其特徵爲： 包括：位置檢測手段檢測前述機器人手臂的熱伸縮量 之步驟；將前述熱伸縮量回饋到前述機器人手臂的驅動裝 置，前述驅動裝置根據前述熱伸縮量來補正手臂驅動童之 步驟；以及 前述驅動裝置根據已被補正的前述手臂驅動量，來驅 動前述機器人手臂之步驟。 2 ·如申請專利範圍第1項基板運送方法，其中針對 每次運送預定的基板的片數進行上述補正。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 3 ·如申請專利範圍第1項基板運送方法，其中當上 述熱伸縮量超過預定的數値時進行上述補正。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇χ：297公釐）
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