576760 A7 B7 五、發明説明（1 ) 【發明所屬技術領域】 本發明係關於在基板上描繪任意形狀之膏狀物圖案的 膏狀物塗布機，特別是關於對塗布面能高精度予以追隨的 膏狀物塗布機。 【習知技術】 習知技術之膏狀物塗布機，乃採取將保持有膏狀物收 納筒及噴嘴以及基板起伏測定用量程計之Z軸台，藉滾珠 螺絲及伺服馬達所成之移動機構依據量程計之測定結果予 以上下方向移動以控制基板與噴嘴之間隙，同時使噴嘴與 基板相對性移動於XY方向，在基板表面進行塗布描繪任意 形狀膏狀物圖案之構成。 【發明欲解決之課題】 惟，上述習知技術卻在使用伺服馬達與滾珠螺絲組合 之Z軸台移動機構。此爲，膏狀物塗布中需將噴嘴突端與 基板表面間之間隔保持於一定，因此，以量程計經常測定 該間隔，促使該間隔呈一定，而依據該量程計之測定結果 將噴嘴上下方向加以移動控制所使用者。 然，以伺服馬達與滾珠螺絲組合之Z軸台移動機構， 欲將Z軸台高速移動時，由於機構系統與伺服系統之響應 特性，致追隨性自有其界限。 例如，在膏狀物塗布動作中，裝置以固有頻率等振動 ，而噴嘴之振動與基板側之振動（Z軸方向之上下移動）不一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） I---------装-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -4- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 576760 A7 _ B7 五、發明説明（2 ) 致時，則無法使噴嘴之振動追隨於基板側之振動。即，雖 依據量程計之測定結果進行噴嘴之上下方向移動控制，亦 無法使噴嘴之上下移動速度（振動）追隨於基板側之上下移動 速度（振動）予以移動（振動），致在膏狀物塗布中無法將噴嘴 突端與基板表面間之間隔保持於一定，而有無法提升膏狀 物圖案之塗布描繪精度之問題。 如此問題，在將噴嘴與基板之XY方向相對移動速度設 成高速，俾使描繪曲線圖案之XY方向的方向轉換愈呈高速 時，X方向或Y方向之噴嘴與基板之相對移動調速愈加變 大，以致裝置以高速振動，且顯著出現膏狀物圖案之塗布 描繪精度減低。 本發明之目的即爲解除該種問題，而在提供一種能追 隨膏狀物塗布速度被設成高速時之裝置振動週斯，將噴嘴 與基板表面間之間隔加以高精度追隨控制，以實現膏狀物 圖案之塗布描繪精度提升的膏狀物塗布機。 【解決課題之手段】 爲達成上述目的，本發明乃被構成爲：在以Z軸台之 移動機構可粗大移動於上下方向之粗調手段，予以重疊設 置能微細且高速移動之微調手段，而將噴嘴裝設於微調手 藉形成如此構成，則能以高速進行膏狀物圖案之描繪 塗布，雖發生裝置振動，亦可追隨振動以高速且高精度控 制噴嘴突端與基板表面間之間隔，以提升膏狀物圖案之塗 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
576760 A7 __B7__ 五、發明説明（3 ) 布描繪精度。 【圖示之簡單說明】 圖1爲本發明膏狀物塗布機之一實施形態立體顯示圖。 圖2爲將圖1之塗布機頭擴大顯示之立體圖。 圖3爲圖1之膏狀物收納筒與量程計之配置關係立體顯 示圖。 圖4爲圖1所示實施形態之主控制部構成及控制系統方 塊顯示圖。 . 圖5爲圖1所示實施形態之全體動作流程顯示圖。 圖6爲本發明膏狀物塗布機之其他實施形態立體顯示圖 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝·
*1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 主要元件對照 1 座架 2 Z軸移動台支承座架 2a 縱柱構件 2b 橫樑構件 3 X軸移動台 4 X軸伺服馬達 5 Y軸移動台 6 Y軸伺服馬達 7 基板保持機構 8 0軸移動台 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -6- 576760 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Α7 Β7 -、發明説明 (4) 8a 伺服馬達 9 基板 10 Z軸移動台支承托架 11 Z軸移動台 12 Z軸伺服馬達（粗調促動器） 13 膏狀物收納筒（注射器） 13a 噴嘴 14 噴嘴支持具 15 畫像認識攝影機 16 量程計 17 主控制部 17a 微型電腦 17b 馬達控制器 17c 資通訊母線 17d 外部介面 17e 畫像認識裝置 17f X軸驅動器 17g Y軸驅動器 17h 0軸驅動器 17i Z軸驅動器 17j 高速Z軸驅動器 18 副控制部 18a 硬碟 18b 軟碟 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝. 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210Χ297公釐） 576760 A7 B7 五、發明説明（5 ) 19 馬達 20 鍵盤 21 信號線 22 負壓源 23 正壓源 22a,23a 穩壓器 24 閥元件 25 大氣 26 高速Z軸移動台 (微調促動器） 26a 線性促動器 E 編碼器 EL 移動距離感知器 (線性感知器） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 [胃明之實施形態】 以下，利用圖示說明本發明之實施形態。 圖1爲本發明膏狀物塗布機之一實施形態立體顯示圖， 其中符號1爲座架、2爲Z軸移動台支承座架、3爲X軸移動 台、4爲X軸伺服馬達、5爲Y軸移動台、6爲Y軸伺服馬達 、7爲基板保持機構、8爲0軸移動台、9爲基板、10爲Z軸 移動台支承托.架、11爲Z軸移動台、12爲Z軸伺服馬達（粗 調促動器）、13爲膏狀物收納筒（注射器）、14爲噴嘴支承具 、15爲晝像認識攝影機、16爲量程計、17爲主控制部、18爲 副控制部、18a、18b爲外部存儲裝置、19爲監控器、20爲 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -8- 576760 經濟部智慧財產局K工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（6 ) 鍵盤、21爲信號線、26爲高速Z軸移動台（微調促動器）。 在同圖，座架1係設有Z軸移動台支承座架2及X軸移 動台3。X軸移動台3則設有藉X軸伺服馬達4移動於X軸方 向之Y軸移動台5。Y軸移動台5上卻設有藉Y軸伺服馬達6 移動於Y軸方向之基板保持機構7及0軸移動台8。該0軸 移動台8即藉伺服馬達（即在圖4後述之伺服馬達8a)旋轉移動 於Θ方向。基板保持機構7上在膏狀物塗布時，即固定·保 持基板9 座架1底側乃設有伺服馬達4、6、21及0軸移動台8之上 述伺服馬達、控制高速Z軸移動台26等之主控制部17，且 將該主控制部1 7與外部裝置之副控制部1 8用信號線21加以 連接。該副控制部18卻具有外部存儲裝置18a、18b與監控 器19、鍵盤20等。 在該主控制部1 7實行各種處理（詳細待後述）所需之資料 即由鍵盤20予以輸入。又，畫像認識攝影機15捕捉之畫像 或主控制部17之處理狀況，則在監控器19加以顯示。又， 自鍵盤20輸入之資料等，卻被存儲保管於外部存儲裝置之 硬碟18a或軟碟。 圖2爲將圖1之Z軸移動台支承座架2部分予以擴大顯示 之立體圖，對應圖1部分乃附上相同符號。 在同圖，Z軸移動台支承座架2則被設置Z軸移動台支 承托架10，且在該Z軸移動台支承托架1〇裝設z軸移動台 Π。該Z軸移動台11係構成由未圖示之滾珠螺絲與z軸伺 服馬達1 2加以驅動之粗調促動器，而在該z軸移動台11上 本^^度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ' ~ -9- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝· 訂 線 576760 A7 B7 五、發明説明（ 經 濟 部. 智 慧 財 A 局 消 費 合 作 社 印 製 配設當作微調促動器之高速Z軸移動台26。 該高速Z軸移動台26與Z軸移動台11之間，卻設有當 作高速Z軸移動台26驅動手段之線性馬達（線性促動器）。Z 軸移動台11乃與高速Z軸移動台26之間具有直動導體，而 被設成不致發生橫向搖擺或脫落可上下滑動於兩移動台11、 26。該Z軸移動台11具有促使高速Z軸移動台26移動之線 性馬達之定子，並在高速Z軸移動台26設置轉子。線性馬 達由於亦能將定子與轉子設成逆轉，故雖在Z軸移動台1 1 裝設轉子，及在高速Z軸移動台26配設定子亦無妨，惟將 高速Z軸移動台26盡量予以輕量化，對於能源節省化及高 速移動而言較宜。 高速Z軸移動台26乃設有膏狀物收納筒（注射器）13，與 連接於該膏狀物收納筒13之噴嘴支承具14，並在該噴嘴支 承具14突端部設有噴嘴（後述之圖3噴嘴13a)。且，該高速Z 軸移動台26設有具作爲照明源之光源的鏡筒之畫像認識攝 影機15與量程計16。 如此，本實施形態爲上下方向定位噴嘴支承具14突端 部所設噴嘴，而具有兩個促動器。其一爲雖動作遲緩，卻 能當作可較大變位之粗調促動器促使Z軸移動台11移動之Z 軸伺服馬達12，另一爲雖動作迅速，則能當作變位幅度較 小之微調促動器促使高速Z軸移動台26移動之線性促動器 〇 如後述，當在膏狀物塗布動作中，裝置以固有頻.率等（ 例如130〜200Hz)振動時，由於基板保持機構7之基板支承台 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝-
，1T 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 10 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 576760 A7 __B7_ 五、發明説明（8 ) 與噴嘴支承具14之噴嘴突端部之振動不一致，而會發生噴 嘴與基板間之間隔變動之情形。此時之間隔變動爲1〇〜30 /z m左右。本實施形態乃如上述，藉裝設可追隨其間隔變 動之高速促動器，故能將基板與噴嘴間之間隔保持於略一 定。 圖3爲將圖1之膏狀物收納筒1 3與量程計1 6之部分予以 擴大顯示之立體圖、其中1 3a爲噴嘴，而對應圖1部分即附 上相同符號。 在同圖，膏狀物收納筒13係介噴嘴支承具14設有噴嘴 13a。且在自膏狀物收納筒13至噴嘴13a之噴嘴支承具14內 部，埋設輸送膏狀物所需之管體。 量程計16之下端部則形成有三角形之缺口部，並在該 缺口部裝設發光元件及多數受光元件。 噴嘴13a乃被定位於量程計16之缺口部底部。量程計16 即以非接觸三角測法進行測定自噴嘴1 3a突端部至玻璃製基 板9表面（上面）之距離。即，上述三角形缺口部之一側斜面 設有發光元件，將該發光元件放射之雷射光L在基板9上之 測定點S予以反射，並由上述缺口部之另一側斜面所設多 數受光元件之任一加以受光。 因此，雷射光L不會被膏狀物收納筒13或噴嘴13a所遮 住。又，基板.9上之雷射光L之測定點S與噴嘴13a之直下 位置，在基板9上僅會錯移稍微距離△ X、△ Y。此種稍微距 離ΔΧ、ΔΥ程度之錯移，由於基板9表面並無凹凸差異，故 量程計16之測定結果與自噴嘴13a突端部至基板9表面（上面） 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
-11 - 576760 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（9 ) 之距離間幾乎不存在差異。 於是，藉依據量程計16之測定結果進行控制Z軸移動 台11或高速Z軸移動台26，而能配合基板9表面之凹凸（起伏 )及自噴嘴13a突端部至基板9表面（上面）之距離的隨著高頻 振動所致變動，將該距離追隨控制於一定。 如是，藉將噴嘴13a突端部至基板9表面（上面）之距離（ 間隔）維持於一定，且把自噴嘴13a所吐出每單位時間之膏 狀物量維持於定量、而可使塗布描繪於基板9上之膏狀物圖 案呈同樣幅度及厚度。 圖4爲顯示主控制部17構成及其控制系統之方塊圖，8a 爲伺服馬達、17a爲微型電腦、17b爲馬達控制器、17c爲 資料通訊母線、17d爲外部介面、17e爲畫像認識裝置、17f .爲X軸驅動器、17g爲Y軸驅動器、17h爲0驅動器、17i 爲Z驅動器、17j爲高速Z驅動器、22爲負壓源、23正壓源 、22a、23a爲穩壓器、24爲閥元件、25爲大氣、26a爲線性 促動器、且對應於前面所出現圖示之部分即賦予相同符號 ，並省略其重複說明。 在同圖，主控制部17係由微型電腦17a及馬達控制器 17b、畫像認識裝置17e、外部介面17d等予以構成。即，主 控制部17介資料通訊母線17c與馬達控制器17b及外部介面 17d以及畫像認識裝置17e相連接。又，馬達控制器17b則 連接於X軸驅動器17f及Y軸驅動器17g、0驅動器17h、Z 驅動器17i、高速Z驅動器17j。 各軸之驅動器乃與所對應之伺服馬達4、6、12或Θ軸移 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) " — -12- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝. 訂 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 576760 A7 B7_ 五、發明説明（10) 動台之伺服馬達8a、線性促動器26a連接，而驅動控制各自 之馬達。 晝像認識裝置1 7e係進行處理自晝像認識攝影機1 5所得 之影像信號。 外部介面17d則與副控制部18之間進行信號傳輸，或傳 輸穩壓器22a、23a、閥元件24之控制信號，又，將量程計16 之測定結果以信號之形式加以輸入。 又，微型電腦17a雖未圖示，卻具有：可容納實行運算 或後述塗布描繪膏狀物所需處理程序之ROM，與可容納運 算處理結果及自外部介面17d或馬達控制器17b之輸入資料 的RAM，以及與外部介面17d或馬達控制器17b進行資料互 相交換之輸出入部等。 各伺服馬達4、6、8a、12乃內藏有可檢測旋轉量之編碼 器E、又，在線性促動器26a設有移動距離感知器（線性感知 器）LE。編碼器E及感知器LE之檢測結果即被回授至X、Y 、Z、0之各軸驅動器17f〜17j，而進行位置控制。 各伺服馬達4、6、8a、12及線性促動器26a係根據自鍵 盤20先前即輸入且被收納於微型電腦17a之RAM的資料進 行正反旋轉。 而，基板保持機構7所保持之基板9則針對Z軸移動台 11與高速Z軸移動台26所支承噴嘴13a，沿X、Y軸方向進 行移動任意距離。並在其移動中，自正壓源23介閥元件24 將穩壓器23a所調壓之氣體連續施加於膏狀物收納筒1 3。 藉此，自噴嘴1 3a突端部之吐出口即吐出膏狀物，在基 本紙張尺度f用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
-13- 576760 A7 B7 五、發明説明（11) 板9塗布描繪所盼膏狀物圖案。 當完成塗布時.，乃停止正壓源23，自負壓源22介閥元 件24將穩壓器22a所調壓之負壓力施加於膏狀物收納筒13。 藉此，基板9上不致流出膏狀物，膏狀物即自噴嘴13a 突端部退回至膏狀物收納筒1 3內。當膏狀物退回至不會自 噴嘴1 3a突端流出之位置時，則停止施加負壓，將大氣壓25 施予膏狀物收納筒1 3，而完成吐出作業。 如上，本實施形態係具有由正壓源23、負壓源22、大 氣開放閥所成之壓力供應機構，以及切換該等使其連接於 膏狀物收納筒13之切換手段。 在基板保持機構7所保持之基板9沿X、Y軸方向進行水 平移動中，量程計16即進行測定噴嘴13a與基板9間之間隔 。且根據其測定結果，Z驅動器17i與高速Z驅動器17j分 別控制伺服馬達12及線性促動器26a，將基板9與噴嘴13a突 端部間之間隔經常維持於一定。 其次，參照圖5說明本實施形態之動作。 在同圖，當將電源予以投入時（步驟100)，首先，即實 行塗布機之初期設定（步驟200)。 在該初期設定工程，於圖1，藉驅動伺服馬達4、6、8a( 圖4)、12，係可使基板保持機構7移動於X、Y、0方向予以 定位於所定之.基準位置，並使噴嘴13a(圖3)之膏狀物吐出口 位於膏狀物塗布開始位置（即膏狀物塗布開始點）地，加以設 定於所定之原點位置。且，進行設定膏狀物圖案或基板位 置資料、膏狀物吐出結束位置資料。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 装-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -14- 576760 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 _ B7 _五、發明説明（12) 該種資料輸入則由鍵盤20(圖1)予以進行’所輸入資料 即如上述被收納於微型電腦17a所內藏之RAM。 當完成該初期設定工程（步驟200)時，接著將基板9裝載 保持於基板保持機構7(步驟300)。且，進行基板預備定位處 理（步驟400)。 在該步驟400之處理，卻由畫像認識攝影機1 5攝影裝載 於基板保持機構7之基板9的定位用標記。並自所攝影標記 以畫像處理予以求出定位用標記之重心位置，而檢出基板9 之Θ方向傾斜。且對應檢測結果驅動0軸移動台8之伺服馬 達8a，進行補正基板9之0方向傾斜。 又，膏狀物收納筒1 3內之膏狀物殘量少時，爲避免膏 狀物在其次膏狀物塗布作業途中中斷，乃事先將膏狀物收 納筒13與噴嘴13a —起加以更改。在更換噴嘴13a時，有時 會發生位置錯移，故更換噴嘴後，應在基板9上之未形成膏 狀物圖案部位，使用所更換之新噴嘴13a予以進行十字描繪 。並由畫像處理求取該十字描繪交點之重心位置，以算出 該重心位置與基板9上定位用標記之重心位置間之距離，將 其算出結果作爲噴嘴13a膏狀物吐出口之位置錯移量dx、dy 予以收納於微型電腦17a內藏之RAM。而藉此，結束基板 預備定位處理（步驟400)。 此種噴嘴13a之位置錯移量cU、dy，卻在以後進行之膏 狀物圖案塗布描繪動作時加以補正。 其次，進行膏狀物圖案描繪處理（步驟500)。 在本處理（步驟500)，首先，爲使噴嘴13a吐出口位於塗 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝·
、1T 線 -1 A - 576760 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（13) 布開始位置，即令基板9移動。並進行調整噴嘴13a之位置 。因此，需進行判斷先前在基板預備定位處理（步驟400)所 得且容納於微型電腦17a之RAM的噴嘴13a之位置錯移量 dx、dy，是否位於圖3所示噴嘴13a位置錯移量之容許範圍 △ X、△ Y內。如在容許範圍內（△ X2 dx及△ Y - dy)，即維 持原樣、如在容許範圍外（△ X < dx或△ Y < dy)，則藉根據 該位置錯移量cU、dy促使基板9移動，可使噴嘴13a之膏狀 物吐出口與基板9之所盼位置間之錯移消失，將噴嘴13a定 位於所盼位置。 其次，使伺服馬達12動作，將噴嘴13a高度設定於膏狀 物圖案描繪高度，並依據噴嘴之初期移動距離資料，使噴 嘴1 3a下降初期移動距離分。繼之，由量程計1 6測定基板9 之表面高度，進行確認噴嘴13a突端是否在膏狀物圖案之描 繪高度。如不在描繪高度時，係以量程計1 6進行測定，並 由線性促動器26a(參照圖4)驅動微調位置對合用高速Z軸移 動台26，使噴嘴13a下降微小距離同時，將噴嘴13a突端設 定於膏狀物圖案塗布描繪高度（高度設定）。又，膏狀物收納 筒13未被更換時，由於無噴嘴13a之位置錯移量dx、dy資 料，故在進入膏狀物圖案描繪處理（步驟500)時，立即進行 上述噴嘴13a之高度設定。 完成以上處理時，接著，伺服馬達4、6即依據微型電腦 17a之RAM所容納膏狀物圖案資料進行動作，藉此，以噴 嘴13a之膏狀物吐出口對向於基板9之狀態，基板9乃對應該 膏狀物圖案資料移動於X、Y方向同時，對膏狀物收納筒1 3 (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
T 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -16- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 576760 A7 B7 五、發明説明（14) 施加壓縮氣體，自噴嘴1 3a之膏狀物吐出口開始吐出膏狀物 。且，進而開始對於基板9之膏狀物圖案塗布描繪。 與其同時，如先前說明，微型電腦17a係自量程計16輸 入噴嘴1 3a之膏狀物吐出口與基板9表面之間隔實測資料， 以測定基板9表面之起伏及振動所伴隨之變位量。並藉對應 其測定値進行驅動高速Z軸移動台26，而可將自基板9表面 之噴嘴13a設定高度維持於一定。 在此，就膏狀物塗布動作中之高速Z軸移動台26動作 ，利用圖2加以詳細說明。 提高膏狀物塗布速度予以塗布描繪膏狀物圖案時，基 板9表面與噴嘴13a突端即以裝置固有之振動頻率振動，該 等間之間隔則會變動。因此，會發生噴嘴1 3a突端壓潰膏狀 .物圖案之現象，致無法獲得所期待之圖案精度。’ 於是，本實施形態乃將重疊設置於Z軸移動台11之高 速Z軸移動台26,以較裝置固有之振動頻率更高速予以移 動’且使噴嘴13a突端追隨於基板9表面之振動變位動作， 而令該等間之間隔呈一定。 藉此’雖提高膏狀物塗布速度時，亦不會壓潰膏狀物 圖案，可予以形成所盼之膏狀物圖案。 如上’係在膏狀物圖案塗布描繪中，進行判斷噴嘴i 3a 之膏狀物吐出口是否爲上述膏狀物圖案資料所決定基板9上 之描繪圖案終端、如非終端，即再回至基板9表面起伏等之 測定處理’以下，反覆進行上述膏狀物之塗布描繪動作， 繼續膏狀物圖案形成至達描繪圖案終端爲止。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
576760 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（IS) 且，到達該描繪圖案終端時，乃驅動伺服馬達12及線 性促動器26a俾使噴嘴13a上升，而結束該膏狀物圖案描繪 工程（步驟500)。 其次，進入基板排出處理（步驟600)，在圖1，解除基板 9之保持，予以排出至裝置外。並判定是否停止以上所有工 程（步驟700)，且如在多數張基板予以形成相同形狀之膏狀 物圖案時，則自基板裝載處理（步驟300)反覆進行，當對於 所有基板完成如此一連串之處理時，即完成所有作業（步驟 800” 如上，在本實施形態，除了設有使噴嘴移動於Z軸方 向的習知伺服馬達之移動手段外，尙設有線性促動器之移 動手段、故藉由伺服馬達調整較大變位量且較緩慢之動作 ，及藉由線性促動器應付需要以微動變位量且高速進行調 整之振動，而能描繪精度良佳之膏狀物圖案。 又，如上，在本實施形態，雖將粗調促動器與微調促 動器之控制藉由切換操作予以進行，惟當然亦可將兩者之 控制藉由協調控制加以進行。 且，本實施形態，雖被設成：與噴嘴支承具14、噴嘴 13a或量程計16—起將膏狀物收納筒13裝設於高速Z軸移動 台26之構成、惟予以設成：將膏狀物收納筒13固定於Z軸 移動台11，並與噴嘴支承具14或噴嘴13a —起將量程計16裝 設於高速Z $自移動台26，而使膏狀物收納筒13以低速上下 移動較大距離，及使噴嘴支承具14與噴嘴13a或量程計16以 高速上下方向（Z軸方向）僅移動微小距離之構成亦可。如設 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂 線 -1R - 576760 A7 _ B7_ 五、發明説明（16) 成如此構成，則能圖高速Z軸移動台26之輕量化。 爲使Z軸移動台11能移動正確距離，除了設在高速Z 軸移動台26之量程計16外，在Z軸移動台11亦設置量程計 ，以測定粗調促動器所致自Z軸移動台1 1之移動原點位置 至基板9表面之距離亦可。 又，當作使高速Z軸移動台26微小距離移動之高速促 動器而使用壓電元件或磁致伸縮元件等亦可。此時，將Z 軸移動台11與高速Z軸移動台26以直動導體予以連結呈滑 動自如、且在Z軸移動台11與高速Z軸移動台26之間裝設 壓電元件或磁致伸縮元件等之高速促動器。 茲說明圖6所示之本發明膏狀物塗布機之其他實施形態 〇 本實施形態，係在座架1與Z軸移動台支承座架2之兩 支縱柱構件2a間予以介設振動絕緣手段3 1。 且，在立設於座架1上之Z軸移動台支承座架2之兩支 縱柱構件2a與支承Z軸移動台11之橫樑構件2b間予以設置 振動絕緣手段亦可。 作爲振動絕緣手段，卻以靜壓軸承浮動構造、氣墊、 橡膠薄板等之彈性材料等較爲有效。 在膏狀物圖案塗布描繪中，X軸移動台3或Y軸移動台 5高速移動時，.有時在座架1側會發生振動。 振動絕緣手段乃是避免座架1側所發生振動傳到Z軸移 動台11所設者，藉使所傳輸振動雖少量亦加以消除，該高 速Z軸移動台2 6乃能在膏狀物塗布中，將噴嘴突端與基板 本紙張尺度適财關家鮮（CNS ) A4規格（21GX297公釐) '~~ -19- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝· 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 576760 A7 _B7_____ 五、發明説明（17) 表面間之間隔保持於一定。 藉振動絕緣手段，如能使座架1側所發生具裝置固有振 動數等之振動不完全傳至Z軸移動台11，則可省略高速z 軸移動台26，在Z軸移動台11予以裝設膏狀物收納筒13、 噴嘴支承具14、畫像認識攝影機15、量程計16。 如上所作說明，依據本發明，雖膏狀物塗布速度爲高 速，亦能追隨裝置振動週期以高精度追隨控制噴嘴與基板 表面間之間隔呈一定，而促使膏狀物圖案之塗布描繪精度 更加提升。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29?公釐） .?n - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)