TW559593B - Novel electrode patterns for piezo-electric ink jet printer - Google Patents

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Hongsheng Zhang
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Description

559593 五、發明說明（1) 【發明背景】 ( 0 00 1 )本發明係有關«V t： f / ^ τ，關於噴墨式列印，其特別有關於用於 壓電喷墨印頭（printhead)的新穎電極圖案。 J 0002 ) # -個電場施加於一個壓電材料或複合材料會改 二八尺寸。在壓電式需求滴下噴墨列印（piez〇_electric drop-on-demand ink jet printing)中，當使用一壓電 轉換器（transducer)或是一個促動器（actuat〇r)造成一墨 水腔中壓力的改變使該腔的薄壁變形時可產生促動，因而 從一小噴嘴孔（orifice hole)形成並射出一液滴。 ( 0003 )目前要達到高解析度壓電印頭的困難之一是如何 =制列印印頭的尺寸。㈣印頭的尺寸直接與壓電轉換器 ::寸相關。4 了達成足夠的墨水排出量，需要相對而言 j大的轉換器。然而，這卻與在相對而言較小的區域中且 有大量轉換器以達成列印品質以及密度（即解析度） 要形成對比 (0 004 )另一個困難是列印促動器的設計，其必須於乂$ 的施加電壓下提供足夠的排出量以射出一墨滴。、Q j〇〇〇5) —個已用以處理前述之困難的方法係將一個壓電 1或其他結構的一端接上一個搆成該墨水腔之壁的輕薄可 i i i薄膜。當施加—個電性訊號時，該壓電材料係被以 5 = 1式（direct mode)供給能量，使得其擴張並推擠 膜，而造成該腔中體積的改變。這種腔中體積的改 使侍一墨滴形成然後經由該噴嘴孔射到一頁面上。 (0006)有兩種主要類型的直接模式。第一種通常被稱之
00540.ptd 559593
為「D31模式」（D31 mode )。在D31模式中，壓電轉換器 的變形方向係垂直於壓電材料的極化（p〇larizati〇n )'二 及被施加的電場。一般而言’使用於D31模式的壓電轉換 器係配置排列成彼此平行的陣列，並具有電極置放於每、一 個別的轉換器之間。雖然對個別的轉換器而言施加單位電 壓的排出量相對而言較大，然而墨水腔薄膜的總排出量受 限於每一個個別的轉換器的排出量。換句話說，個別的轉 換器的排出量係彼此平行，且沒有累積排出量。因此，大 量個別的轉換器元件以及相應的大列印印頭係為達成高解 析度列印所必須的。 (0007)另一種直接模式通常被稱之為「D33模式」 mode )。在D33模式中，壓電轉換器的變形方向係平行於 壓電材料的極化以及被施加的電場。在D33模式中，堆疊 具有累積排出量之壓電層是可能的。 且 (0008 ) D33模式的困難是如何精確地控制個別的列印贼 動器以實現需求滴下列印（drop-on-demand printing驗 )。為了控制該促動器必須要將它們連接上一控制訊號。 該促動器電極設於一個暴露之外表面，存取（access)相對 ，言較簡單。然而，為了達成高解析度，需要將多個促動 器以彳艮小的間距排列成陣列，在這樣的排列之下，存取内 部電極經常是很困難的。因此，儘管有兩個平行縱列的促 動器被使用，至少有兩個内部電極表面不容易存取。 (00〇9 )因此，需要一個壓電印頭，其能在小巧或袖珍的 的總成中提供高解析度的列印。期待這種壓電印頭係裝配
00540.ptd 第6頁 559593 五、發明說明（3) _ι J容易存取（即連接）的電極用以控制該列印印頭的操 :0010)另需要-種方法用以製造一壓電印 ”於容易地製造-個在有限面積包含 ; 印頭，以毫無困難地達成高解析度的要求。換器的列印 【發明概要】 =)—種壓電印頭包含一第_壓電促 :堡電促動器設置，該第_以及第 =2 促動器之-外表面上以及_ mi t該第—壓電 促動器之一外表面上。帛-控制電極設於該第二壓電 該器由一個單―陶究塊件製造而成，該 ί::=ίίΐ;於…層結構具卢 促動器的一第一面上，以及一 電促動器的一第二面上。在一鲁#二電的電極叹於 經由該塊件之基座的導電通u · 1 控制電路系統係 (0013)太㈣亦： （Vla)連接於該電極。 種方法包含‘驟：提：方法用以製造-壓電印頭。這 -陶㈣：該；2 =塊件具有-壓電㈣ 其中。該壓電層被切二具ΓΓ一金屬膏的形式故入 以及-第二縱列之壓電 1以二:：歹;之壓電促動器， 第-縱列設置。每一縱列且；=:陣列的方式相鄰於該 欠力具有一内面以及一外面。一南 電極形成於该内面上以及一被施加相反電性之電極形^於 00540.ptd 第7頁 559593 五、發明說明（4) i = U中該共用電極係作為接地，該被施加相反電 列導電材枓。該陶究塊件被切割成一個壓電促動器的陣 二…匕二㈡施例：’料電層係以至少兩個不 門隙私ίΐ圖案设置。一第一圖案設以界定至少一第一 圖案的導 圖案的導 (0015 ) 包含步驟 一層狀壓 繼的壓電 該壓電結 連接之第 複數個個 基座之中 才虽° 電層係 電層係 本發明 ••提供 電結構 層中； 構係被 二電極 別的促 。該控 電性連接於該第一控制電極，並且該第二 電性連接於該第二控制電極。 亦預示一種方法用以製造一壓電印頭，其 一陶瓷塊件，該塊件具有一陶瓷基座設於 下’ 5亥層狀壓電結構具有一導電層嵌入相 以及切割該壓電結構，以暴露該導電層。 電鑛以形成一第一電極以及一與該導· 。該方法包含切割該壓電結構以形成^^ 動器之陣列以及切割導電通孔於該塊件的♦ 制電路系統係經由該導電通孔連接到該電 Α隙於一 f 一縱向位置。—第二圖案設以形成至少-第二 間隙於一不同於該第一縱向位置之第二縱向位置。該第一
(0 0 1 6 )在一個較佳的方法中，一第一切割口形成一第— 預先設定深度在該壓電層中，以及一第二切割口平行於該 第一切割口形成於該壓電層中。該第二切割口形成一第二 預先設定深度係不同於該第一預先設定深度。該第一及第 二切割口界定一縱列之壓電促動器。該促動器縱列具有—
00540.ptd
559593 五、發明說明（5) 内面以及一外面，具有一共 加相反電性之電極於該外面 (0017 )該方法另包含於該 材料，以及以橫截該切割口 於該第一以及第二預先設定 以形成一壓電促動器之陣列 (0 0 1 8 )本發明另預示一種 其包含步驟：將該控制電路 之下的導電通孔連接至該壓 系統提供一信號至該壓電促 傳導到一與該促動器連接之 (0019 )以下的詳細說明以 範圍將使本發明之其他特徵 明顯。 用電極於該内面上以及一被施 上。 壓電層之一外表面上鍍上導電 的方式切割該陶瓷塊件至一介 深度之第三預先設定深度處， 〇 方法用以控制一壓電促動器， 系統經由一設於一壓電促動器 電促動器，以及從該控制電路 動器。該訊號經由該導電通孔 控制電極。 及配合圖示和後附之申請專利 和優點對於熟悉該技藝者能更 【發明說明】 (〇〇33)雖然本發明 _ 恭+杜—虫 斤以各種型式實施例加以實旆 發明之特定實施例和方 =也U ^ 下〆 圖用 即 要 於此 需瞭解的是，所掘-土 / 、；圖中颂不而且將描述於 以限制本發明發明的-例示，而非意 (0034) ”的特疋實施例和方法。 另外應瞭解的县太％ 查 「發明的詳細說明^疋本說明書於此部分的標題（ 求，而非企圖、非二係有關於美國專利與商標局的 的標的以及本發明二I亦不應被推論為用以限制揭示 ( 0035 )在—個 圍。
00540.ptd 第9頁 &則中，本發明係有關於一種壓電 559593 五、發明說明（6) 頭，其具有一電極以及連接配置以達成一D33直接模式矩 陣。 ( 0 036 )首先參照第1圖，其顯示 at 他η入旧瓦释偁 2。该結構2具有一陶莞材料的基座4設於一多層結構6下ν 多層結構6係由以導電膏形式埋藏於導電層丨〇的壓電材料8 开> 成，该導電貧係在尚溫下燒結。熟悉該技藝者將認識以 及體會這種結構的形成以及用以燒結該結構的溫度。 ( 0 037 )簡短地參照第8以及n —12圖，可看到該導電層1〇 係插入壓電材料8中。該層層1 〇係以交錯的方式插入材料8
中。即’有兩個不同的層狀圖案彼此交錯。在這種排列 中’該層1 0並未完全延伸跨越該材料8的橫切方向。例 如，如第i圖所示，層10a、10c、10e未完全延伸橫越該材 料8 ;更確切地說，每一層1〇3、1〇c、1〇e係配置形成一 央間隙（如11 a、11 c、11 e所標示）。該交錯或是中間層
i〇b、i〇d係設於中央（即，未延伸到該材料8的末端）曰 並且各形成相鄰於層l〇b、i〇d側邊的間隙（如Ub、 標示），藉此交錯安排該層。這些間隙Ua、Ub、 lid 1 1 e · ••的形成係為了 （將描述於下）告雷拖带点 能將該電極彼此電性隔離。 N田電極形成時
圖示’熟悉該技藝者將很快地認識以及 ::間♦、…、…、…係在一第一縱向 及 所標不），間隙11 b、11 d係在一盥位罟]ς 位置（如箭頭17所標示）。、位置15不同之第二縱向 (0 039 )現在參照第2圖’可見到該多層結構6係被切割以
559593 五、發明說明（7) 暴路該導電層1 〇。該切割較佳以一個穿過該多層結構6且 延=進入該基座4表面的第一深切割口12完成。第二以及 第二切割口丨4、1 6分別作在該深切割口丨2的兩側。該第二 以及第二切割口 1 4、1 6穿過該多層結構6的部分但是未延 伸進該基座4。由於這些切割口12、I*、16，產生兩個不 同縱列1 8、2 0 (以壓電材料8製成），該壓電材料8具有嵌 入的導電層1 0設於該深切割口丨2的兩側。 (〇 〇 4 0 )在該深切割口 1 2兩侧上且最靠近該深切割口丨2的 縱列18、20 ’在此之後稱為促動縱列（actuat i〇ri column ):相對於該深切割口 1 2的最外面之縱列2 4、2 6提供機械 支撐這些縱列2 4、2 6在此之後稱為支撐縱列（s u p p 0 r t column) ° (〇 〇 41 )現在參照第3圖，可見到該促動縱列丨8、2 〇係被 鍍上導電層2 2。該導電層2 2沿著每一促動縱列1 8、2 0側表 面作為一第一電極28以及一第二電極30。最靠近該深切割^ 口的電極在此之後稱為内電極28、29共用一共同電荷 (common charge)。該外電極30、31係被施加相反於内 極28、29的電荷。在較佳的配置中，該内電極28、29係被 施加負電並作為接地。該外電極3 〇、3 1係被施加正電。 ( 0 042 )現在參照第4圖，可見到一淺切割口32、33形成 於母一促動縱列1 8、2 〇的頂部表面。這些淺切割口 3 2、3 3 分隔每一促動縱列的内及外電極。 (0043)可見於第5圖，兩個另外的切割口34、36被形 成’其為橫向且較佳地垂直於先前的切割口。這些橫向切
00540.ptd
第11頁 559593 五、發明說明（8) 割口 34、36係形成於靠近該塊件2的每一端38、40且穿過 該促動縱列18、20和支撐縱列24、26，以於該塊件2的每 一端38、40界定出支撐柱4 2、44。 (0 0 4 4 )參照第6圖’該塊件2係暴露於一電壓下而被偏極 化，該電壓正向施加於該個別的層狀壓電8以及金屬元件 10 ° (0 0 4 5 )仍參照第6圖，其可見到接下來的單一化步驟， 在該步驟中促動縱列1 8、2 0被大致標示4 9的橫向切割口分 割成個別的促動元件4 6。該個別的促動器的平行陣列的立 體透視圖係示於第7圖。第7圖中可見，該促動縱列1 8、2 0 被分割成平行縱列陣列分佈的個別的促動器丨8a、b、c... 以及2 0a、b、c· · ·。在這個配置中，支撐縱列24、26係位 於該促動陣列的兩邊，該支撐柱4 2、4 4位於該陣列的末 端。 (0 0 4 6 )重要的是要注意，在形成個別促動器的單一化& · 驟中’在個別的促動器之間的切割口之深度需要精確地控3 制。更具體地說，橫向切割口49較第二及第三切割口 14、、^ 16深，但是比深切割口12淺。在這種方式中，被第二及第 三切割口 1 4、1 6界定的溝槽中的導電層2 2被切割，但是被 深切割口 1 2界定的溝槽中的導電層2 2未被切割。就其本身 而論，在深切割口丨2溝槽中的導電層22係形成一共同電 極’反之在第二及第三切割口14、16溝槽中的導電層22係 被單一化形成個別的促動器18a、b、c、d···以及2〇a、 b、c、d· · · · 〇
00540.ptd 第12頁 559593 五、發明說明（9) (〇 0 4 7 )該列印印頭配置的剖視圖係示於第8圖，圖中可 見一個第一壓電促動器4 5係平行於一第二促動器4 7設置。 促動器45、47具有一共用内電極48設於它們之間，一第一 控制電極50設於該第一壓電促動器45之一外表面52上以及 一第二控制電極54設於該第二壓電促動器47之一外表面56 上。在一個較佳配置中，該共同電極48係被施加負電並且 作為一接地。如前所提出的，因為由該深切割口丨2形成之 溝槽中的導電層2 2未被切割（在分割中），該内電極係為 共同電極。控制電極50、54係被施加正電，且可連接於控 制電路系統。亦如前所提出的，因為該第二及第三切割口 1 4、1 6溝槽中的導電層22被切割（在分割中），該控制或 中央電極5 0、5 4係被個別地控制。該橫向切割口 4 9在此圖 中係以虛線表示用以透視以及能明瞭地相對於該深切割口 1 2以及該（較淺的）第二及第三切割口 1 4、1 6。 (0 048 )現在參照第9圖，可見到完成的列印印頭亦可包 含一可撓墨水腔60 (亦稱之為腔板（chamber plate ΐ )。該例示腔板6 0具有一墨水腔6 2以及墨水集流腔< (manifold ) 64。腔板60以及隔膜66係設於其上並且與該 壓電促動器連通。當一訊號從控制電路系統傳送至設於該 特定喷嘴孔6 9 (設於該腔板頂部，見第1 〇圖）下之該壓電 促動器’墨水係由一特定喷嘴孔6 9喷出。見於第9圖，一 孔板68可與該腔板60分開，或是如第1〇圖所示與其一體成 形。 (0 0 4 9 )現在參照第1 〇圖，可見到腔板7 〇具有一體成形的
00540 etd 第 13 頁 559593 發明說明（ίο) 孔板7 2，該孔板包含一墨水集流腔7 4設於一個壓電促動器 陣列7 6上並與其連通。一聚合物6 8係設於每一促動器7 6之 間。該促動器7 6設於一基座板8 0上。 (0 0 5 0 )現在參照第11圖，可見到共用内電極4 §的配置， 列印印頭的空間係被保存，並且促動器45、47的存取 (access)被簡化。該外電極5〇、54很容易從用以連接提供 訊號控制促動之控制電路系統的側邊存取。 (0 0 5 1 )在另一個貫施例中，如第1 2圖所示，電極1 4 8、 150、154係從底部（以丨56標示）存取，而非從側邊。在 這種配置，通路1 5 8係被切割進入該陶瓷基座4。該通路 1 5 8係為一金屬貧1 6 〇填滿，使用例如類似於用在半導體製 程的網版印刷製程，其中舉例的網版印刷製程係為熟悉該 技藝者可體會。信號針162設於基座4之下，連接於該導電 通孔158 ’以輸送信號給壓電層。共同接地針164亦設於基 座4之下，經由該導電通孔連接到促動縱列的内電極。 (0052 )熟悉該技藝者可瞭解該通路158可於整個壓電g 動為的製程中不同的時刻以及不同的點形成於該基座材㈣j 4中。/列如該基座材料4可由複數層所形成，該通路可在該 層被增層」形成該基座4之後形成。另外，該通路1 5 8可 ί形^ ^基座4材料中被「切割」。熟悉該技藝者認識且 能體會多種其他的方法或技術用以形成該通路158，而其 他的方法係落在本發明之範圍和精神之中。 (0 5 3 )這個底部存取1 5 6方法可允許更袖珍的列印印頭 e又#以及簡化的製程。其亦允許額外的促動器縱列以提供
559593 五、發明說明（11) 提高的列印密度。 (〇义4 )⑼圖示以及以上敘述可知，無論其連接配置 層4为10a、l〇c...形成電極5〇的一部分（或是電性μ 而層部分1〇b、1〇d...形成電極48的-ΐ 刀（或疋電性連接於電極48 ) 。 ^ 列印印頭喷出之液滴的方“山…“、、第1 0圖可知，從 喷出方向Ε係平行於施力° ，、由前頭Ε表示。因此，液滴 本身而論該列印印頭係以於？電促動器的電場方向，就其 (。〇冗）從前』可T”：D33模式運作。 離本發明新穎概念之直的修改和變化可實行而不會脫 描述的特定實施例以及積神和範圍。應瞭解有關所揭示 制。該揭示係意圖 法係意圖或應被推論為沒有限 請專利範圍中之修改所涵蓋 '、、、<附之申請專利範圍及其所有落在申 00540.ptd 第15頁 559593 圖式簡單說明 【圖示說明] (0 0 2 0 )本發明之好處和優點將在熟悉該相關技藝者看完 下列詳細說明以及所附圖示之後能更明顯，其中 (0021 )第1 圖 塊件之上視圖以 造該列印印頭的 (0022)第2 圖： 的上視圖以及剖(0023 )第 3 圖： 後的上視圖以及(0024 )第4 圖： 割以分離該電極 (〇 〇 2 5 )第 5 圖： 切割口之後的上 柱分離； :圖示用以形成一壓電印頭之該陶瓷起始 及剖視圖’以及一種根據本發明之原理製 方法； 圖示該陶瓷塊件在第一次切割步驟之後 視圖； 圖示該陶瓷塊件在鍍上導電金屬塗層之 剖視圖； 圖示該陶瓷塊件於該促動器縱列被淺切 之後的上視圖以及剖視圖； 、圖示該陶瓷塊件經過另一切割橫切該淺 現圖’其中橫切將該促動器縱列與該支撐 (0026 )第6 圖： 之後的上視圖； ( 0 027 )第7 圖： 圖； 圖示該陶兗塊件在將個別的促動器分割 係為該列印促動器陣列的概要立體$ (00 28 )第8 圖 (0029 )第9 圖 板； 係為該列印印頭的剖視圖； 圖示列印印頭總成，顯示一分離的孔 ( 00 30 )第 10 圖： 的噴嘴孔板； 圖示一列印印頭總成 顯不一 一^體成形
559593 圖式簡單說明 (0 0 3 1 )第1 1圖：係為該電極以及連接圖案之實施例的概 要剖視圖，其中係從該壓電促動器之一邊存取電極；以及 ( 0 032 )第12圖：係為該電極以及連接圖案之另一實 的概要剖視圖，其中係從該壓電促動器之底部存取電極。， 【圖號說明】 2 塊件 6 多層結構 1〇 導電層 12 深切割口 15 縱向位置 17 縱向位置 2 0 促動縱列 24 支撐縱列 28 内電極 30 外電極 3 2 淺切割口 34 橫向切割口 38 端 42 支撐柱 45 壓電促動器 47 壓電促動器 49 橫向切割口 5 2 外表面 4 基座 8 壓電材料 11 間隙 14 切割口 16 切割口 18 促動縱列 22 導電層 26 支撐縱列 29 内電極 31 外電極 33 淺切割口 3 6 橫向切割口 40 端 44 支撐柱 46 促動器元件 48 内電極 50 控制電極 54 控制電極
00540.ptd 第17頁 559593 圖式簡單說明 56 外表面 60 腔板 62 腔 64 集流腔 66 隔膜 68 孔板 69 喷嘴孔 70 腔板 72 孔板 74 集流腔 76 壓電促動器 80 基座板 148 電極 150 電極 154 電極 156 底部 160 金屬膏 162 針 164 接地針 1f !
00540.ptd 第18頁

Claims (1)

  1. 559593 修正 ___案號 91114Q08 六、申請專利範圍 係彼此平行並且具有間隔。 l依申請專利範圍第6項之壓電印頭，其中該插入 係以至少兩個不同的、交錯的圖案設於該壓電材料中，^ =-第-圖案設以界定至少—第—間隙於—第—縱向位” ί二i其中一第二圖案設以形成至少一第二間隙於-不 導電層係電性連接於該第二控制電極。 圏案的 9、一種壓電印頭，包含·· 一:壓電促動器由一單一陶瓷塊件製造而成，該塊件具有 電以及導電層 構下’該多層結構具有交錯的壓 一，施加正電的電極設於該壓電促動器的一第一面上， 及？施加負電的電極設於該壓電促動器的一第二面上；以 極Γ制電路系統經由該塊件之基座的導電通孔連接於該電 1 〇、依申請專利範圍第g項 器包含一壓電促動器陣列 11、依申請專利範圍第g項 之壓電印頭，其中該壓電促動 之壓電印頭，其中該壓電促動
    559593 Λ：_η 案號 91114908 六、申請專利範圍 器係為一第一壓電促動器以及包含一第二壓電促動器，該 第二壓電促動器由一單一陶瓷塊件製造而成，該塊件具有 一陶瓷基座設於一多層結構下，該多層結構具有交錯的壓 電以及導電層，該第二壓電促動器包含一被施加正電的 極。又於八第面以及一被施加負電的電極設於其_第二 U:ΐ二：ΐ及第二壓電促動器的被施加正電的電： 或被奴加負電的電極係為一共用電極。 电让 12、依中請專利範圍第9項之㈣ 二壓電促動器係各自係由以一 〃中》亥苐一及第 形成，並界定第一及第二縱列'，，=:壓電促動器陣列 列係彼此平行並且具有間隔。 及，、中該第一及第二縱 1 3、依申請專利範圍第丨丨 係為一接地。 整電印頭，其中該共用電極 14第 、依申請專利範圍第9項之壓電 二壓電促動器係由一多層結構形义 其中該第一以及 1 5、、依申請專利範圍第1 4項 係為一具有插入導電層的壓 之壓電印頭 電材料。 其中該多層結構 1 6、依申請專利範圍第丨5項之壓 層係彼此平行並且具有間隔。 頭，其中該插入導
    00540. ptc 第21頁 559593 案號91114908 年月日 修正 六、申請專利範圍 1 7、依申請專利範圍第1 6項之壓電印頭，其中該插入導電 層係以至少兩個不同的、交錯的圖案設於該壓電材料中， 其中一第一圖案設以界定至少一第一間隙於一第一縱向位 置，以及其中一第二圖案設以形成至少一第二間隙於一不 同於該第一縱向位置之第二縱向位置，使得該第一圖案的 導電層係電性連接於該第一控制電極，以及該第二圖案的 導電層係電性連接於該第二控制電極。 1 8、一種用以製造一壓電印頭的方法，包含下列步驟： 提供一塊件，該塊件具有一壓電層設於一陶瓷基座上， 該壓電層具有層狀電極以一金屬膏的形式嵌入其中； 形成一具有一第一預先設定深度之第一切割口在該壓電 層中； 形成一第二切割口在該壓電層中，該第二切割口平行於 該第一切割口並具有一不同於該第一預先設定深度之第二 預先設定深度，該第一及第二切割口界定一縱列之壓電促 動器，該促動器縱列具有一内面以及一外面，具有一共用 電極於該内面上以及一被施加相反電性之電極於該外面 上； 於該壓電層之一外表面上鍍上導電材料；以及 以橫戴該切割口的方式切割該陶瓷塊件至不同於該第一以 及第二預先設定深度之第三預先設定深度，以形成一壓電 促動器之陣列。
    00540. ptc 第22頁 559593
    19、依申請專利範圍第丨8項之用以製造一壓電印頭的方 法，包含將該導電層以至少兩個不同的、交錯的圖案 ;該壓電材料中的步驟，其中-第-圖案設以界定至少： ::間： 一第一縱向位置，以及其中-第二圖案設以形 成= > 一第二間隙於—不同於該第一縱向位置之第二縱^ =置’使得該第—圖案的導電層係電性連接於 & ΐ性：i:第二圖案的導電層係電性連接於該被施加：反 20 法 21 法 統 依申請專利範圍第1 8項 包含將該共用電極接地 依申請專利範圍第2 0項 包含將被施加相反電性 之用以製造一壓電印頭的方 之步驟。 之用以製造一壓電印頭的方 之電極連接於一控制電路系 22、依申請專利範圍第18項之用以製造一壓電印頭 ^ j其中該第二預先設定深度係較該第一預先設定深度 23、依申請專利範圍第18項之用以製造一壓電印頭 法，其中該第三預先設定深度係較該第一預
    -- 559593 ----襄號 91114908 羊月日_修正___ 六、申請專利範圍 2 4、依申請專利範圍第2 3項之用以製造一壓電印頭的方 法’其中該第三預先設定深度係介於該第一與該第二預先 設定深度之間。 2 5、一種用以製造一壓電印頭的方法，包含下列步驟： 提供一陶竟塊件，該塊件具有一陶瓷基座設於一層狀壓 電結構下’該層狀壓電結構具有一導電層嵌入相鄰的壓電 層中； 一第一切割口於一第一預先設定深度處切割該壓電結 構，以暴露一些導電層； 一第二切割口於不同於該第一預先設定深度之第二預先 設定深度處切割該壓電結構，以暴露其他導電層； 鍍該壓電結構以形成一第一電極與一些該電極連接以及 一第二電極與其他導電層連接； 於不同於該第一及第二預先設定深度之第三預先設定深 度處切割該壓電結構以形成一個別的促動器之陣列；於嗲 塊件之基座中形成導電通孔；以及 、μ 經由該導電通孔將控制電路系統連接到該電極。 2Ί、
    依申請專利範圍第則之“製造—壓電印頭的方
    559593 案號91114908 年月日 修正_ 六、申請專利範圍 法，包含將該導電層以兩個不同的圖案形成於該壓電材料 中的步驟，其中一第一圖案設以界定至少一第一間隙於一 第一縱向位置，以及其中一第二圖案設以形成至少一第二 間隙於一不同於該第一縱向位置之第二縱向位置，使得該 第一圖案的導電層係電性連接於該第一電極，以及該第二 圖案的導電層係電性連接於該第二電極。 2 8、依申請專利範圍第2 5項之用以製造一壓電印頭的方 法，將該第一或該第二電極其中之一形成為一共用電極。 2 9、依申請專利範圍第2 8項之用以製造一壓電印頭的方 法，包含將該共用電極接地之步驟。 3 0、依申請專利範圍第2 8項之用以製造一壓電印頭的方 法，包含將被施加相反電性之電極連接於一控制電路系 統。 3 1、依申請專利範圍第2 5項之用以製造一壓電印頭的方 法，其中該第二預先設定深度係較該第一預先設定深度 淺。 32、依申請專利範圍第25項之用以製造一壓電印頭的方 法，其中該第三預先設定深度係較該第一預先設定深度 淺0
    00540. ptc 第25頁 559593 -----案號 91114Q0S 年 月 g 修正__ 六、申請專利範圍 3 3、依申請專利範圍第2 5項之用以製造一壓電印頭的方 法，其中該第三預先設定深度係介於該第一與該第二預先 設定深度之間。 3 4、依申請專利範圍第2 5項之用以製造一壓電印頭的方 法’包含從一陶瓷材料之複數個增層層形成該陶瓷基座之 步驟。 3 5、依申請專利範圍第3 4項之用以製造一壓電印頭的方 法’包含於該陶瓷材料之複數個增層層中形成該導電通孔 之步驟。 3 6、依申清專利範圍第3 5項之用以製造一壓電印頭的方 法，包含在該層被增層時形成該層中之該導電通孔之步 37 通 :一種用以控制一壓電促動器之方法，包含下列步驟： 將“控制電路系統經由一設於一壓電促動器之下的導電 孔連接至該壓電促動器；以及 從該控制線路系統提供 經由該導電通孔傳遞到一 —信號至該壓電促動器，該訊號 與該促動器連接之控制電極。
    38 項之用以控制一壓電促動器之方 依申請專利範圍第37
    559593 案號 91114908 年 月 曰 修正 六、申請專利範圍 法，其中該壓電促動器以D33直接模式操作。 liBi 00540. ptc 第27頁
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