TW557468B - Plasma display device and method of producing the same - Google Patents

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557468 A7 B7 五、發明説明（1 發明背景 本發明關係-電漿顯示裝置及其製造方法，及較具體， 關係一具有如在一維持電極上形成介電層材料特徵的電漿 顯示裝置，及其製造方法。 由於影像顯不裝置係用來取代目前為主流的陰極射線管 (CRT)’已經研究許多不同平面表面型（平板型）的顯示裝置 。屬於那種平面表面型顯示裝置，提及的有液晶顯示裝置 (LCD) ’場致發光顯示裝置（ELD)及電漿顯示裝置（PDP)。其 中’電衆顯示裝置具有優點包括比較容易放大螢幕及觀看 角度，良好的環境影響抵抗如溫度，磁力，震動，較長的 使用壽命’及可以用於家用的壁上懸掛的電視機及大尺寸 的公共資訊終端設備。 電漿顯示裝置為一顯示裝置其中一電壓施加在放電單元 上包括一放電氣體包含密封在放電空間内的稀有氣體，及 放電單元的碟層由根據放電氣體中的輝光放電產生的紫外 線激發而達成發光。即是，各放電單元由螢光燈的相似原 理驅動’及，一般為數十萬的放電單元結合構成一單一顯 示螢幕。電漿顯示裝置大致根據施加在放電單元上的電壓 系統分成直流驅動型（DC型）及交流驅動型（AC型），而兩種 型式各具有優點及缺點。 交流型電漿顯示裝置適合用於增進細度因為顯示螢幕中 具有’例如，為帶型的分隔壁用來分隔個別放電單元。另 外，因為放電電極表面覆蓋一介電層，這是一項優點即電 極不易磨損及使用壽命增長。 -4- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐） 557468 A7 一 "11 . B7 五、發明説明（2 ) ~~------- 目前市售的交流型電漿顯示裝置中，一介電層係在一第 一基板内表面上的維持電極上形成，及介電層_般包括一 由糊狀=刷然後烘烤形成的氧化石夕。交流型電裝顯示裝置 中電荷積集在介電層及由外加一反向電壓於維持電極上 而放電，因而產生一電漿。 不過，在交流型電漿顯示裝置中，其中介電層由糊狀印 刷方法形成，而有亮度及發光效率的問題。解決這種問題 ，认什一種介電層形成的方法，如氧化矽由真空膜形成方 法形成如喷濺方法，蒸發法，化學蒸發法（(：¥]〇)及其他。 不過，根據先前技藝的交流型電漿顯示裝置其中介電層 包括氧化矽由真空膜形成法形成，會有介電層的電壓電阻 特性用於顯示放電會造成不正常放電的問題。另外，如果 不發生不正常放電，則有放電不穩定及可靠性低的問題。 發明概要 所以’本發明的一目標為提供一電漿顯示裝置具有優良 電壓電阻特性，其中不易發生不正常放電既使介電層厚度 減少’及具有良好的放電穩定性，耐久性及可靠性，及其 製造方法。 根據本發明的一特徵，提供一電漿顯示裝置包括·· 一第 一平板具有放電維持電極及一位於其内的介電層，及一層 叠在第一平板上的第二平板以便形成内部放電空間，其中 介電層包括一氧化矽層具有一不少於6.1 χ丨〇22原子/cm3的 密度。 較理想，氧化矽層的密度不少於6.4 X 1〇22原子/cm3。氧 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐） 557468

化石夕層的密度的上限沒有特別限制，&高的密度更為理想 ’石夬結晶的密度為其上限。 在本發明中，較理想，介電層包括一單氧化石夕層，但可 以為多層結構。如此，只需多層中至少其中一層為氧化石夕 層。 氧化石夕層的厚度沒有特別限制，—般μιη，較理 想，1 至 10 μτη。 根據本發明的電聚顯示裝置為—交流驅動型t漿顯示裝 置’其中杈理想’位址電極，分隔放電空間的帶型分隔壁 ，及位於分隔壁之間的磷層都在第二平板的内面。 在根據本發明的電漿顯示裝置中，介電層具有的氧化石夕 層具有一密度，較理想，不小於61 χ 1〇22原子/cm3 ;致使 介電層的電壓電阻特性增強，防止放電空間中的不正常放 電’及裝置的耐久性及可靠性增強。 根據本發明的另一特徵，提供一種產生一電漿顯示裝置 的方法包括一具有放電維持電極的第一平板及一位於其内 的介電層，及一層疊在第一平板上的第二平板以便形成内 部放電空間，其中形成介電層的同時形成一氧化矽層具有 一不少於6·1 X 1〇22原子/cm3的密度。 形成具有不少於6· 1 X 1〇22原子/cm3的密度的氧化矽層的 方法並k有特別限制，例如包括喷錢方法，化學蒸發（Cvd) 方法，蒸發方法及其他。 如果使用喷濺法作為形成氧化矽層的一方法，由喷濺法 形成膜，較理想，其注入喷濺裝置的大氣的氧氣濃度為5至 -6 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐) 557468 A7 ___B7_ 五、發明説明（4~T " — 30%體積。如果氧氣體積比太低，要獲得具有高密度的氧 化矽層會有困難，另一方面，如果氧氣體積比太高，要達 到膜的形成會有困難。 作為大氣’氣體含有一惰性氣體如使用氬氣作為主要成 分。如果使用氬氣（Air)作為惰性氣體，大氣中氧氣（〇2)的體 積濃度以〇2/(Ar+〇2)表示。 如果使用蒸發法作為形成氧化矽層的方法，較理想，由 蒸發法形成膜，期間注入蒸發裝置的氧氣不少於i X 1〇·3 Pa 。如果氧氣注入量太小，要獲得一具有高密度的氧化矽層 便有困難。另一方面，如果注入太多氧氣，要由蒸發方法 達成蒸發便成困難；所以，注入氧氣量的上限係根據能蒸 發的範圍作決定。 根據本發明，可以實現一電漿顯示裝置具有優良電壓電 阻特性’其中不易發生不正常放電既使介電層厚度減少， 及具有良好的放電穩定性，耐久性及可靠性。 圖式簡單說明 圖1為根據本發明一具體實施例的一電漿顯示裝置的主要 部份的斷面示意圖。 較佳具體實施例詳細說明 現在，根據圖中顯示的具體實施例說明本發明如下。 圖1為根據本發明一具體實施例的一電漿顯示裝置的主要 部份的斷面示意圖。 電漿顯示裝置的總構造 首先，根據圖1，說明一交流驅動型（Ac型）電漿顯示裝置 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐） 557468

A B 的總構造（以下簡稱電漿顯示裝置）。 圖1所示的AC型電漿顯示裝置2屬於所謂三電極型，其中 放電發生於一對放電維持電極12之間。AC型電襞顯示裝置 2包括一第一平板10相當一前平板，及一第二平板2〇相當一 後平板，彼此相互層疊。從第二平板2〇上面的磷層25R , 25G，25B發射的光，例如，要經過第一平板1〇觀看。即是 ，第一平板10位於顯示器表面側。 第一平板10包括一透明第一基板Η，複數對放電維持電 極12成帶型位於第一基板U上及由一透明導電材料製成， 匯流排電極13用於降低放電維持電極12的阻抗及由具有電 阻率低於放電維持電極12的材料製成，一介電層14位於第 一基板11上包括匯流排電極13及放電維持電極12上的面積 ，及其上具有一保護層15。保護層15非屬必要，但是具有 較理想。 另一方面，第二平板20包括一第二基板21，複數個位址 電極（也稱為資料電極）22成帶狀位於第二基板21上，一介電 膜（未顯示）位於第二基板21上面包括位址電極22上的面積， 絕緣分隔壁24與相鄰的位址電極22之間的介電膜上的位址 電極22平行。及一磷層位於介電膜面積及分隔壁24侧壁表 面的上面。磷層包括一紅磷層25R，一綠磷層25G ,及一藍 碌層25Β。雖然沒有顯示，分隔壁24為一晶格形。 圖1為顯示裝置的部份透視圖，及實用上，第二平板20的 側面上分隔壁24的頂部接觸第一平板10的側面上的保護層 15 ° —對放電維持電極12與位址電極22的重疊區位於兩分 A4 規格(21〇Χ297公爱)

557468 A7 ______B7 五、發明説明（6 ) 隔壁24之間對應一單放電單元。另外，由相鄰分隔壁24 , 磷層25R，25G，25B及保護層15包圍的各放電空間4中的放 電氣體被密封。第一平板10及第二平板20使用釉玻璃在其 周圍互相連接。 密封在放電空間4内的放電氣體沒有特別限制，及為一惰 性氣體如氙氣（Xe)，氖氣（Ne)，氦氣（He)，氬氣（Ar)及氮氣 (NO或這些惰性氣體的混合氣體。密封放電氣體的總壓力沒 有特別限制，一般為6 X 103 Pa至8 X 104 Pa。 放電維持電極12投射影像方向及位址電極22投射影像方 向大約相互垂直（雖然如此，但不需要垂直），及一對放電維 持電極12與一組磷層25R，25G，25B的重疊區發射三元色 光對應一像素。因為在一對放電維持電極丨2之間產生輝光 放電，這種電漿顯示裝置因而稱為"平面放電型”。例如， 在施加電壓至一對放電維持電極12之前，施加一低於放電 單元的放電開始電壓的平板電壓於位址電極22上，壁電荷 因而積集在放電單元内（顯示用放電單元的選擇），及表現放 電開始電壓下降。其次，一對放電維持電極12之間的開始 放電可以維持在一比放電開始電壓低的電壓。在放電單元 内，磷層由根據放電氣體中輝光放電產生的真空紫外線激 發以發光根據磷層材料的種類的特別彩色光。產生具有一 根據放電空間密封放電氣體的種類的波長的真空紫外線。 根據本具體實施例的電漿顯示裝置2稱為反射型電漿顯示 裝置，其中從磷層25R，25G , 25B發光經過第一平板1〇觀 看。所以，由導電材料構成的位址電極22可以為透明或不 -9- 本纸張尺度適財Η國家標準(CNS) A4規格(21GX 297公董) 557468 A7 _____ _Β7 ______ 五、發明説明（7 ) 透明，但是由導電材料構成的放電維持電極12必須透明。 本文，名詞”透明”及”不透明，，為根據導電材料對磷層材料的 特別的光發光波長（可見光）的光透射性質。即是，包括放電 維持電極及位址電極的導電材料可以認為透明如果對由磷 層發光透明。 作為不透明導電材料可使用材料如Ni、Al、Au、Ag、 Pd/Ag、Cr、Ta、Cu、Ba、LaB6，及 Ca〇.2La〇.8Cr03，單一 或適當結合。作為透明導電材料，提及的有IT〇 (氧化銦錫） 及Sn〇2。放電維持電極12或位址電極22可由喷濺法，蒸發 法，網板印刷法，噴砂法，電鍍法，發射法等形成。放電 維持電極12的電極寬度沒有特別限制，約為2〇〇至4〇〇 μιη。 一對放電維持電極12之間的距離沒有特別限制，較理想約 為5至150 μτη。位址電極22的寬度，例如，約為5〇至1〇〇 μπι。 匯流排電極13，一般，可由單層金屬膜由以下金屬材料 之一組成，例如，Ag、Au、Α卜Ni、Cu、Mo、Cr或其他 ，或一 Cr/Cu/Cr疊層膜或其他。在反射型電漿顯示裝置中， 匯流排電極13由一金屬材料組成減少磷層發射的可見光量 及通過第一基板11透射，並減少顯示器螢幕的亮度。所以 ，匯流排電極13的寬度，較理想，在全部放電維持電極需 要的電阻能獲得的範圍内儘可能小。在一具體實施例中， 匯流排電極13的電極寬度小於放電維持電極12的寬度，例 如，約為30至200 μπι。匯流排電極13可由喷濺法，蒸發法 ，網板印刷法，喷砂法，電鍍法，發射法等形成。 在放電維持電極12表面上形成的介電層14 ,在本具體實施 -10- $紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210Χ 297公袭) --------—--- 557468 A7 B7 五 發明説明（8 例中’由一單氧化矽層組成，及具有一密度不小於61 X if2 原子/cm3。介電層14由氧化矽層組成，在本具體實施例， 由噴錢法形成’如以下說明。介電層丨4的厚度沒有特別限 制，本發明為1至10 μπι。 藉由介電層14的形成，可以防止放電空間4產生的離子及 電子直接接觸放電維持電極丨2 ^結果，可以防止維持放電 維持電極12磨損。介電層14具有積集定址期間產生的壁電 荷’作為一電阻器用於限制超高的放電電流，及一記憶體 功能用來維持放電條件。 放電空間側面的介電層14的表面形成的保護層15顯示防 止離子及電子直接接觸維持放電維持電極12的作用。結果 ’可以有效防上維持放電維持電極12磨損。另外，保護層 15也具有發射放電所需的二次電子的功能。構成保護層15 的材料的例子，提及的有氧化鎂（Mg〇),氟化鎂（MgF2)及氟 化鈣（CaF；〇。其中，氧化鎂為較理想材料具有一些特性如化 學穩疋性’低喷減比’鱗層發光波長的高透光率，低放電 開始電壓及其他。保護層15具有一層疊膜結構由至少二種 選自上述材料組的材料組成。 構成第一基板11及第二基板21的材料的例子，提及的有 局應變點玻璃’鈉玻璃（NazO · CaO · Si〇2)，蝴酸梦玻璃 (Na20 · B20 · Si02)，鎂撖欖石（2MgO · Si02),及鉛玻璃 (NazO · PbO · SiOO。構成第一基板11的材料與構成第二基 板21的材料可以相同或不同。 磷層25R、25G、25B，例如，由選自包括發紅光的磷層 -11 · 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) 557468 A7 B7 五、發明説明（9 ) 材料，發綠光的磷層材料，及發藍光的磷層材料的磷材料 組，及位於位址電極22的上部表面。如果電漿顯示裝置用 作彩色顯示器，在一具體實施例中，例如，一由發紅光的 磷層材料（紅磷層25R)組成的磷層位於位址電極22的上表面 ，一由發綠光的填層材料（綠碌層25G)組成的鱗層位於位址 電極22的上表面，一由發藍光的碟層材料（藍碟層25B)組成 的碟層位於位址電極22的上表面，及一組發三原色光的構 層按預定順序配置。如上述，一對放電維持電極12與一組 發光三原色光的磷層25R，25G，25B的重疊區域對應一像 素。紅磷層，綠磷層及藍磷層可以為帶型或晶格型。 作為構成磷層25R，25G，25B的磷層材料，這種對真空 紫外線具有高量子效率及低飽和的鱗層材料可從已知的罐 層材料中加以適當選擇並使用。如果設定為彩色顯示器， 較理想結合具有NTSC規定的三原色的彩色純度的磷層材料 ’如此在三原色混合後會獲得一良好的白色平衡，具有短 餘輝時間，及其中三原色的餘輝時間幾乎相等。 以下說明碗層材料的具體實施例，作為發紅光的礙層材 料的例子，提及的有（Y2〇3:Eu)、（YB03Eu)、（YV04:Ei〇、 (Y〇.96P〇.6〇V〇.4〇〇4 : Eu0.04)、[(Y，Gd)B〇3:Eu]、（GdB〇3:Eu)、 (ScB03:Eu)、及（3.5MgO · 0.5MgF2 · Ge02:Mn)。作為發綠 光的礙層材料的例子，提及的有（ZnSi02:Mn)、（BaAl12〇i9:Mr〇 、（BaMg2Al16027:Mn)、（MgGa204:Mn)、（YB03:Tb)、（LuB03:Tb)、 及（Sr4Si3〇8CU:Eu)。作為發藍光的鱗層材料的例子，提及 的有（Y2Si05:Ce)、（CaW04:Pb)、CaW04、γρ〇 85v〇 15〇4、 -12- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公f) 557468 A7 ______B7 五、發明説明（1〇 ) (BaMgAl14〇23:Eu)、（Sr2 P207:Eu)、及（Sr2P207:Sn)。 作為形成磷層25R，25G，25B的方法，提及的有，一種 厚膜印刷法，一種磷層粒子喷射法，一種預先在磷層形成 區塗一層黏性材料及將磷層粒子貼上的方法，一種使用光 敏碌層糊及利用曝光及顯影成形磷層表面及然後利用喷砂 法除去磷層不需要的部份的方法。 磷層25R，25G，25B可直接在位址電極22上面形成，或 在位址電極22表面上及分隔壁24的側壁表面上形成。或， 磷層25R，25G , 25B可在位於位址電極22上面的介電膜上 面形成，或在位址電極22表面上及分隔壁24的側壁表面上 的介電膜上面形成。另外，碟層25R, 25G, 25B可以只在 分隔壁24的側壁表面上形成。作為構成介電膜的材料，提 及的有，例如，低熔點玻璃及Si〇2。 如上述，分隔壁24在第二基板21上形成並與位址電極22 平行。分隔壁24具有曲流結構。如果介電膜在第二基板21 及位址電極22的上面形成，在某些情況下分隔壁以在介電 膜上形成。作為構成分隔壁24的材料，可使用已知的傳統 絕緣材料；例如，廣泛使用由混合金屬氧化物如氧化鋁於 低熔點玻璃調製而成的材料。例如，分隔壁24具有一寬度 不大於50 μπα及一高度約為100至15〇 μιη。分隔壁“的節二 ，例如，約為100至400 μπα。 作為形成分隔壁24的方法的例子，提及的有網板印刷法 ’喷砂法，乾膜法，及光感應法。乾膜法為—種方法其中 -光感應膜在基板上層整，在分隔壁形成的區域的光感應 φ 裝 訂

k· -13 - 557468 A7 B7 五、發明説明（n 膜利用曝光及顯影拆除，拆除光感應膜產生的開口部份插 入分隔壁形成材料，及進行烘烤。烘烤並除去光感應膜， 及留下開口部份插入的分隔壁形成材料，形成分隔壁24。 光感應方法為一種方法其中形成分隔壁的光感應材料層在 基板上形成，材料層利用曝光及顯影成形，及然後進行烘 烤。分隔壁24黑化形成一所謂黑矩陣，因而可以達成顯示 螢幕對比增加。作為黑化分隔壁24的方法的例子，提及的 有一種使用染成黑色的耐色材料形成分隔壁的方法。 一對分隔壁24在第二基板21上面形成，及放電維持電極 12 ’位址電極22及磷層25R、25G、25B佔有由該對分隔壁 24圍繞的區域結合構成一放電單元。一由混合氣體組成的 放電氣體密封在各放電單元内，較具體，在由分隔壁圍繞 而成的各放電空間内，及磷層25R、25G、25B根據放電空 間4中放電氣體產生ac輝光放電所產生的紫外線放射發光。 產生電漿顯示裝置的方法 其次’根據本發明一具體實施例說明產生電漿顯示裝置 的方法。第一平板1〇可用下列方法產生。首先，一 IT〇層 由’例如’一喷濺法在一由高應變點玻璃或鈉玻璃組成的 第一基板11的整個表面上形成，及ΙΤ〇層由微影技術及蝕刻 技術成形成為一帶型，藉由形成複數對的放電維持電極12 。放電維持電極12沿第一方向伸長。 其-人’ 一紹膜’例如，由一蒸發法在第一基板11的整個 内表面上形成，及該鋁膜由微影技術及蝕刻技術成形，藉 由沿各放電維持電極12邊緣部份形成匯流排電極13。然後 -14- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(21〇 χ 297公釐)

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，一氧化矽層組成的介電層14在具有匯流排電極i3的第一 基板π的整個内表面上形成。 在本具體實施例中，使用喷濺法形成介電層14，為了形 成一氧化矽層具有密度不少於61 x 1〇22原子/cm3,注入喷 濺裝置的大氣（主要由心氣體組成）中氧氣（〇2)的（〇2/(Ar +〇^))濃度控制成5至30 %體積。如果氧氣體積比太低，要 獲得一具有高密度的氧化矽層便有困難。另一方面，如果 氧氣體積比太高，要達成膜形成便有困難。 其次，一由氧化鎂（MgO)組成及具有厚度〇·6 μπι的保護層 15利用一電子束蒸發法在介電層14的上面形成。藉由上述 操作步驟便可完成第一平板1〇。 第一平板20可用下列方法產生。首先，例如，由一網板 印刷法在由高應力點玻璃或鈉玻璃組成的第二基板21上面 印刷一銀糊成帶型，及烘烤以形成位址電極22。位址電極 22 Μ第一方向伸長並垂直第一方向。其次，利用網板印刷 方法在整個表面上形成一低熔點玻璃糊層，及烘烤該低熔 點玻璃糊層以形成介電膜。 然後，例如，利用網板印刷方法在相鄰位址電極22之間 區域上面印刷一低熔點玻璃糊層。然後，第二基板21放入 火爐内烘烤，以形成分隔壁24。烘烤（分隔壁烘烤步驟）在空 氣中進行，及烘烤溫度約為560°C。烘烤時間約為2小時❶ 其次，三原色的磷層漿順序在第二基板21上面形成的分 隔壁24之間印刷。然後，第二基板21放入火爐内烘烤以在 分隔壁24之間介電膜上的面積上面及分隔壁24的側壁表面 -15· 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐) 557468 A7 B7 五、發明説明（13 ) 上面形成磷層25R、25G、25B。烘烤（磷烘烤步驟）在空氣中 進行，及烘烤溫度約為51〇cc。烘烤時間約為1〇分鐘。 其次’完成電漿顯示裝置的組合。即是，首先，例如， 利用網板印刷在第二平板2〇的周圍部份形成一密封層。其 次，第一平板10及第二平板20互相層疊，然後烘烤以硬化 该密封層。然後，第一平板1〇及第二平板2〇之間形成的空 間抽真空，將放電氣體注入該空間，及密封該空間以完成 電漿顯示裝置2。 現在，說明上述構成的電漿顯示裝置的一 AC輝光放電操 作的例子。首先，例如，短時間施加一高於放電開始電壓 Vbd的平板電壓於所有放電維持電極12的一端。因而產生輝 光放電，由於放電維持電極12一端附近的介電層14表面介 電極化而產生壁電荷，及壁電荷累積，藉由降低表現放電 開始電壓。然後’在施加一電壓於位址電極22的同時，施 加一電壓於包含在非顯示放電單元内放電維持電極12的一 端，藉由放電維持電極12的一端及位址電極22之間發生的 輝光放電，及消除累積的壁電荷。消除放電在各位址電極 22順序執行。另一方面，包含在顯示放電單元内的放電維 持電極12的一端並不施加電壓《如此，保持累積的壁電荷 。然後’一預定脈衝電壓施加在所有放電維持電極丨2各對 之間，藉由壁電荷在單元中累積，各對放電維持電極丨2之 間開始輝光放電。及，在放電單元内，磷層由根據放電空 間中放電氣體中輝光放電產生的真空紫外光射線激發磷層 以發光根據磷層材料的種類的特別彩色光。施加在放電維 -16- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) 557468 A7 _B7 五、發明説明（14~) " ' 持電極一端的放電維持電壓的相位與放電維持電極另一端 的相位互相交錯半個周期，及根據AC頻率電極的極性相反。 在根據本發明的電漿顯示裝置2及其製造方法中，介電層 14由具有一密度，不小於6·1 X 1〇22原子/cm3的氧化石夕層組 成。致使介電層14的電壓電阻特性增強，防上放電空間4中 的不正常放電，及裝置2的耐久性及可靠性增強。 其他具體實施例 本發明並不限於上述具體實施例’在本發明的範圍内可 能有各種修改。 例如，雖然在上述具體實施例中介電層丨4由喷濺法形成 一單氧化石夕層，本發明的膜形成方法並無限制，只要可以 形成具有密度不小於6·1 X 1〇22原子/cm3的氧化矽層，並可 使用蒸發法’ CVD法或其他。此外，在本發明中，介電層 14不需要由單氧化矽層組成，及可由多層膜組成只要至少 多層的一層為氧化矽層具有密度不小於61χ 1〇22原子/cm3。 另外，本發明中，電漿顯示裝置的具體構造不限於圖1所 示的具體實施例，及可以為其他結構。例如，雖然所謂的 二電極型電衆顯不裝置已在圖i所示的具體實施例顯示，根 據本發明的電漿顯示裝置可以為所謂的二電極型電漿顯示 裝置。如此，成對的放電維持電極，一邊的電極在第一基 板上形成，及另 ·一邊的電極在第二基板上形成。此外，一 邊的放電維持電·極沿第一方向投影，而另一邊的放電維持 電極沿第二方向投影（較理想，幾乎與第一方向垂直），及放 電維持電極對的位置彼此反向面對。在二電極型電聚顯示 •17- 本紙張尺度適用中國國豕標準(Cns) A4規格(210X297公釐） 557468 A7 ______B7 五、發明説明（15~) 一 ^ 裝置中’上述具體實施例中的”位址電極，，一詞可作為另一 邊的”放電維持電極"解釋。 此外，雖然根據上述具體實施例的電漿顯示裝置為所謂 的反射型電襞顯示裝置其中第一平板在顯示平面側上， 根據本發明的電漿顯示裝置可以為所謂的透射型電漿顯示 裝置。如此，在透射型電漿顯示裝置中，從鱗層發射的光 要透過第二平板20觀看。所以，雖然構成放電維持電極的 導電材料可以為透明或不透明，位於第二基板21上的位址 電極22必須透明。 實例 現在，本發明根據詳細的實例作進一步說明，但本發明 並不限於這些實例。 實例1 第一平板10可用下列方法產生。首先，一 ITO層由，例如 ’ 一喷濺法在一由高應變點玻璃或鈉玻璃組成的第一基板 11的整個表面上形成，及ITO層由微影蝕刻技術及蝕刻技術 成形成為一帶型，以形成複數對的放電維持電極12。 其次，一鋁膜，例如，由一蒸發法在第一基板11的整個 内表面上形成，及該鋁膜由微影蝕刻技術及蝕刻技術成形 ，以形成沿各放電維持電極12邊緣部份的匯流排電極13。 然後，一氧化矽層組成的介電層14在具有匯流排電極13 的第一基板11的整個内表面上形成。形成介電層14，使用 一種具有Si02標靶的RF喷濺法，及注入喷濺裝置的大氣（主 要由Ar氣體組成）中氧氣（〇2)的（〇2/(Αγ+02))濃度控制為20% -18- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210 X 297公釐） 557468 A7 ____ Β7 五、發明説明（16~) 體積。氧化石夕層的厚度為約6 μχη ^氧化石夕層的密度用 Rutherford反向散射分析法測量，結果為6 48 X 1〇22原子 /cm3 ’如表1所示。氧化矽層的電壓電阻特性經過測量並經 證實為高達2.15MV/cm。 其次，一由氧化鎂（MgO)組成及具有厚度〇·6 μπι的保護層 15利用一電子束蒸發法在由氧化矽組成的介電層14的上面 形成。藉由上述操作步驟便可完成第一平板1〇β 第一平板20可用下列方法產生。首先，例如，由一網板 印刷法在由高應力點玻璃或鈉玻璃組成的第二基板21上面 印刷一銀糊成帶型，及烘烤以形成位址電極22。位址電極 22沿垂直第一方向的第二方向伸長。其次，利用網板印刷 方法在整個表面上形成一低熔點玻璃糊層，及烘烤該低熔 點玻璃糊層以形成一介電膜。 然後，例如，利用網板印刷方法在相鄰位址電極22之間 區域上面的介電膜上面印刷一低溶點玻璃糊層。然後，在 一火爐内烘烤第二基板21以形成分隔壁24。烘烤（分隔壁烘 烤步驟）在空氣中進行，及烘烤溫度約為56(rc，烘烤時間 為約2小時。 其次，三原色的磷層漿順序在第二基板21上面形成的分 隔板24之間的面積上印刷。然後，第二基板21放入火爐内 烘烤以在分隔壁24之間介電膜上的面積上面及分隔壁24的 側壁表面上面形成罐層25R、25G、25B，溫度為51(rc在空 氣中烘烤10分鐘，以完成第二平板2〇。 其次’完成電漿顯示裝置的組合。即是，首先，例如， -19- 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐） -------- 557468 A7

利用網板印刷在第二平板2〇的周圍部份形成一密封層。其 次，第一平板10及第二平板20互相層疊，然後烘烤二硬^匕 該密封層。然後，第一平板10及第二平板20之間形成的空 間抽真空，將放電氣體注入該空間，及密封該空間以完成 電漿顯示裝置2。 電聚顯示裝置2經加速試驗其中測試期間至測量出亮度下 降至原有亮度（開始試驗後的亮度）的1/2為止。如表！所示， 獲得不低於10000小時的可靠度。另外，完成一加速試驗其 中測試期間至測量出在相同驅動電壓下電漿發光變為不可 能為止。如表1所示，獲得不低於10000小時的可靠度。 表1 噴濺期間注 入的氧氣量 (〇2 /Αγ+〇2) °/。體積 電壓電 阻特性 (MV/cm) 密度 (χΙΟ22 原 子/cm3) 加速試驗亮度 下降 加速試驗 驅動電壓 比較 實例1 0% 0.15 6.05 $ 2000小時 千小時 實例3 6% 0.25 6.11 $ 5000小時 ^ 1000小時 實例2 10% 1.05 6.29 2 8000小時 ^ 5000小時 實例1 20% 2.15 6.48 $ 10000小時 2 10000小時 實例2 以例1相同的方式組合一電漿顯示裝置除了由喷濺法形成 氧化矽介電層14的氧氣（〇2)濃度（02/(Αι·+02))設定為10%體 積以外，如例1電漿顯示裝置完成同樣試驗。其結果如表1 -20- 本紙張尺度制中_家標準(CNS) Α视格(210Χ 297公楚) 557468 A7 B7 五、發明説明（18 ) 所示。 實例3 以例1相同的方式組合一電漿顯示裝置除了由喷濺法形成 氧化碎層構成介電層14的氧氣（〇2)濃度（〇2/(Αγ+〇2))設定為 6%體積以外，如例丨電漿顯示裝置完成同樣試驗。其結果如 表1所示。 比較實例1 以實例1相同的方式組合一電漿顯示裝置除了由喷濺法形 成氧化矽層構成介電層14的氧氣（02)濃度（〇2/(Αγ+〇2))設定 為〇%體積以外，如例1電漿顯示裝置完成同樣試驗。其結果 如表1所示。 實例4 以實例1相同的方式組合一電漿顯示裝置除了由CVD法形 成氧化矽層構成介電層14以外，及如實例1電漿顯示裝置完 成同樣试驗。其結果如表2所示。 表2 電壓電阻特性 (MV/cm) 密度(xlO22原子 /cm3) 加速試驗亮度 下降 加速試驗驅動電壓 例4 2.40 6.49 ^ 10000小時 ^ 10000小時 實例5 以例1相同的方式組合一電漿顯示裝置除了由具有Si〇2標 乾的電子束（EB)加熱蒸發法形成氧化矽層構成介電層14以 外，及蒸發期間注入膜形成室1 X l〇-2Pa的氧氣。 評估 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐) 557468 A7 B7 五、發明説明（19 ) 如表1及表2所示證實，如果介電層由氧化矽組成具有密 度不少於6.1 X 1〇22原子/cm3便可實現一電漿顯示裝置具有 高電壓電阻特性，其中既使介電層厚度減少也不易發生不 正常放電’及具有良好的放電穩定性，耐久性及可靠性。 此外，如表1所示證實，如果注入喷濺裝置的大氣（^氣 體是主成份）中氧氣（〇2)的濃度（OAAr+O2))不少於5%體積 ’便可製造一電漿顯示裝置具有高電壓電阻特性，其中既 使介電層厚度減少也不易發生不正常放電，及具有良好的 放電穩定性，耐久性及可靠性。 -22-

本纸張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐）

Claims (1)

1. 557468 A8 B8 C8

   le 一種電漿顯示裝置，包括： 一第一平板供給放電維持電極及一位於其内的介電層 ，及 一第二平板層疊在該第一平板上以便在該内部形成玫 電空間， 其中該介電層包括一具有一密度不小於61 χ 1〇22原子 /cm3的氧化矽層。 2·如前述申請專利範圍第1項之電漿顯示裝置，其中該氧 化石夕層的該密度不小於6.4 X 1022原子/cm3。 3·如前述申請專利範圍第1或2項之電漿顯示裝置，其中該 電漿顯示裝置為一交流電流驅動型電漿顯示裝置及位址 電極，一帶型或一晶格型的分隔壁用於分隔該放電空間 ，及一位於該分隔壁之間的磷層，都在該第二平板内表 面上提供。 4· 一種製造一電漿顯示裝置的方法，包括一供給放電維持 電極的第一平板及一位於該其内的介電層，及一層叠在 第一平板上的第二平板以便形成該内部放電空間， 其中一具有一密度不小於6·1 X 1022原子/cm3的氧化石夕 層與提供該介電層同時形成。 5.如前述申請專利範圍第4項之製造電漿顯示裝置的方法 ，其中膜的形成係利用一喷濺法以傳導該氧氣濃度為5 至30%體積的一大氣注入一喷濺裝置，藉由在提供該介 電層的同時形成該具有一密度不小於6·1 χ 1〇22原子/cm3 的該氧化矽層。 ____-23· 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐)

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   6. 如則述申请專利豸圍第4項之製造一電襞顯示裝置的方 法中膜的形成係利用一化學蒸發法的使用來傳導， 藉由提供4介電層的同時形成該具有_密度不小於6ι X 1〇22 原子/cm3的該氧化矽層。 如則述申請專利範圍第4項之製造一電漿顯示裝置的方 法，其中膜的形成係利用一蒸發法的使用來傳導，其間 注入一蒸發裝置的氧氣不小於！ χ 1〇-3 Pa，藉由在提二 該介電層的同時形成該具有—密度不小於61 χ 1〇22_ /cm3的該氧>(匕矽層。 24- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐）