TW550967B - The manufacturing apparatus of organic light-emitting diode (OLED) devices - Google Patents

Description

【發明所屬技術領域】

本發明係有關於一種 a μ 藉由令加熱蒸發單元所產生機電激發光元件之製造裝置， 基板上之蒸鍍法，而在基板之有機原料之蒸發氣體附著於 電激發光元件之製造萝上形成有機薄膜，即使在有機 L白知技術】 亦可補充蒸發單元。 如有機電激發光顯示哭 ，、全固態型之面發光顯；有機電激發光元件係薄 在顯示器之領域受到注^精細、高對比之高晝質，近年來 極，藉著蒸鍍金屬材料而。$機電激發光元件具備透明電 光元件之有機薄膜，在在70成時成為陽極；有機電激發 ”屬電· ’在該有機;#:日:電二上所形成之發光層；以 70成時成為陰極。這 胰上，在印刷電路板等基板上在 空瘵鍍法或濺鍍法機電激發光元件例如藉著利用真 鍍法形成有機薄膜‘製：屬電極和透明電極，制真空蒸 具體而士 、 部收容有作:三雜機薄膜之真空蒸鍍係在真空槽内將在内 原料蒸發，IΙΪ t材料之有機原料之蒸發源加熱而令有機 上方所配置之其' &之氣體狀之有機原料附著於在蒸發源之 採用收容有:板之朝下之被蒸鍍面而令成膜。蒸發源可 之材料邢 機原料之例如用由陶瓷製、透明玻璃等適當 之正上或ϊ Γ如坩堝之容器所形成之蒸發單元。在蒸發源 器。在亨土反之正下之位置設置用以控制蒸鍵之可動開閉 " 条鑛之初期將可動開閉器設為關閉狀態，防止含有

550967 五、發明說明（2) 雜質之蒸發物 定之固定時間 定之狀態進行 以在基板上配 將有機薄膜成 將有機原 成原料容器， 電而將掛禍加 藉著將溶點高 自增高電阻之 料容器而令其 製造裝置之構 在將有機原料 接照射電子束 •雷射光束蒸 以往在蒸 回收在真空室 在該既定位置 •更換蒸發單 之製造裝置之 真空室内之真 再真空化。此 間，妨礙有機 因有機原 之一種 熱器， 電阻加 屬材料 器，使 料蒸發 已普及 外之方 能量令 原料蒸 置之蒸 機原料 元位於 換蒸發 蒸發單 空室之 造裝置 宜的供 過原料之蒸發 器，在蒸鑛速 之成膜。每次 狀態蒸錢，以 方法， 藉著對 熱蒸鍍 加工成 直流電 之方法 於真空 法上， 原料蒸 發光之 發單元 之蒸發 有機電 單元時 元後， 再真空 之高效 、給有機 附著於基板，在經 ，並打開可動開閉 對基板之被蒸鍍面 置有既定之遮罩之 形。 料間接加熱而氣化 並在其周圍設置加 熱之方法。又，在 之鎢、鈕、鉬等金 金屬板製作原料容 發熱，以使有機原 造簡單而且便宜， 間接加熱之方法以 或雷射光束，用其 錢法 〇 發單元所含之有機 内之既定位置所配 裂填收容有新的有 元。因新的蒸發單 外部，在補充•更 空’在補充•更換 作業之中，尤其真 電激發光元件之製 料很昂貴，為了便 速度變成固 度之控制穩 成膜時藉著 既定之圖案 係用坩堝形 該加熱器通 法上，也有 薄板狀，並 流流向該原 。本方法因 蒸鑛法中。 有對原料直 發之電子束 情況，藉著 之容器，並 單元，補充 激發光元件 ，一度解除 將真空室内 化需要時 率運轉。 電激發光元

五 發明說明（3) ___ 件，降低有機電激發光元件之制 ^ 要使製造裝置連續運轉，在製用係重要的，尤其需 造儘量多之有機電激發光元件。我置之一次連續運轉中製 狀態之製造裝置之室内進行有機^ : 在變成高度真空 更換有機原料而使製造裝置頻繁的^之翁發’為了補充或 真空室之真空和再真空化，穿晋夕二f時’每次需要解除 本上升。使用―次;效率惡化，產品成 元型蒸發源之情況，也在一度變 二大量之原料量之單 槽連續的對基板蒸鍍較好。 〃上之製造裝置之真空 在特開2_-223269號公報公開 置例，在用閘閥和真空室分離成可 有機A膜形成袭 ::有機原料之多個坩堝，選擇 ：：内：備充 具有手和臂之搬運機器人機構將該個，用 :(加熱源）。搬運機器人機構 雜U:發 内之坩堝之搬運氙丄 心吸雜，又，對真空室 法改變，纟法，待：只限一個。因蒸發源之高度位置也無 【發明要解決之蒸發源之冷卻等之彈性。 士口 F 戶斤 w ’關於有機電激發光元件之製造，因每次 办，兩 、、停止製造裝置運轉，並解除真空室之真 =狀需要在補充•更換蒸發單元後將真空室再真空化，製 ^ H ^之運轉政率無法提高’無法降低有機電激發光元件 之=造費用。又，令補充後之蒸發單元移至加熱位置為止 之，，複雜’製造裝置之製造費用上漲而且運轉效率也無 法提阿’結果’令有機電激發光元件之製造費用更上漲。

550967 五、發明說明（4) 因此，在使得在不令有機電 保持真空室之真空下，可自 補充蒸發單元，用簡單之機 移至加熱位置為止上具有應 本發明之目的在於提供 裝置，藉著在不令有機電激 並保持真空室之真空下，自 在補充後令蒸發單元迅速的 裝置之運轉效率，而且使得 始，使得可便宜的製造有機 【解決課題之方式】 為解決上述之課題，本 造裝置，具備驅動裝置，具 卡合成可脫離之卡合部，而 置為止；及加熱裝置，為了 上升位置之該蒸發單元加熱 發早元所条發之有機原料對 光元件之製造裝置，具備補 可真空化，而且對於外部及 態；搬運台，可收容於該補 發單元放置成定位狀態之放 充槽内之裝填位置和該真空 搬運該搬運台；該驅動裳置 出位置之該搬運台之下方之 激發光元件之製造裝置停止並 外部供給真空室内蒸發單元， 構令補充後之蒸發單元迅速的 解決之課題。 一種有機電激發光元件之製造 發光元件之製造裝置停止運轉 外部供給真空室内蒸發單元， 移至加熱位置為止，提高製造 有機原料之蒸發可迅速的再開 電激發光元件。 發明之有機電激發光元件之製 有和收容有機原料之蒸發單元 且令該蒸發單元升降至上升位 令該有機原料蒸發，將位於該 •’在真空室之内部進行自該蒸 基板之蒸鑛’在本有機電激發 充槽’裝在該真空室且内部係 該真空室各自封閉成密封狀 充，而且具有將補充用之該蒸 置"卩，以及驅動機構，在該補 室内之進出位置之間可往復的 可下降至將該卡合部搬至該進 下降位置為止，該蒸發單元和

550967 五、發明說明— 而和t工之該卡合部卡合後自該放置部被抬起， 該放置過L運台之該卡合部脫離卡合後殘留放置於 驅動有機電激發光元件之製造褒置，利用 止部，蒸蒸發單元卡合並通過卡 上升位置，萨著利用，5 σ卩再上升而被搬至上升位置。在 體狀之有機原曰料藉著附自蒸發單元蒸發之氣 之下側面而蒸鑛。因力置：基板 發光時，驅動裝置率向。療發單元之有機原料蒸 止，在下降通過搬運台^ 至，運^之下降位置為 殘留在搬運台上之放；部。：白之蒸發單元放置成 裝置補充蒸發單元時;:和i:!機電激發光元件之製造 外部供給補充槽蒸發單元，補；密G態’自 部之間設為密封狀態，，丁開補充槽和直者將和外 蒸發單U運台向真空室内進出；的；:單在f換 動裝置之卡δ部卡合，利用驅動裝置在該〔兀和驅 言之，在供給補充槽蒸發單元時，將摹升。詳而 槽所收容之搬運台。在搬運台已收容^ 於補充 上將蒸^元放置於搬運台1充槽因對於夕曰卜’馬 關閉成氣枪’内部可再真空化1充槽和直* 空室 後，搬運台可通過，利用驅動機構動珈ς =之間打開 内之裝填位置搬往真空室内之進出 知運口自補充槽 利用驅動機構將 第11頁 550967 五、發明說明（6) 搬運台搬往真空 正確的控制在有 搬運台放置成定 之放置部被交給 在本有機電 容許該蒸發單元 門，在該真空室 過之打開狀態和 設於外部和補充 打開，那時，為 真空室和補充槽 態之補充槽變成 態之閘閥，利用 空室内之進出位 在本有機電 運方向間隔的放 置設於與將各列 合或脫離卡合之 上沿著搬運方向 台對補充槽補充 台之列數相同之 次更換蒸發單元 換時，用驅動機 次停在預設之多 室内時，藉 機電激發光 位狀態之蒸 驅動裝置之 激發光元件 自外部向該 和該補充槽 密閉的關閉 槽之間之開 了保持真空 之間之閘閥 真空狀態時 驅動機構動 置。 激發光元件 置多列該蒸 之蒸發單元 位置為止對 間隔配置多 蒸發單元一 多次，在有 以供使用。 構進行在真 個進出位置 著控制 元件之 發單元 卡合部 之製造 補充槽 之間設 之關閉 閉門在 室内之 只當開 打開。 作自補 之製造 發單元 搬至和 應之多 列蒸發 次，即 機電激 關於蒸 空室内 。此時 搬運台 製造裝 為了更 〇 裝置， 出入之 置可在 狀態之 供給補 真空， 閉門關 搬運台 充槽之 之進出位置，可 置内之位置，在 換而自搬運台上 在該補 可密封 容許該 間切換 充槽蒸 閘閥關 閉而變 通過變 裝填位 裝置，該 ，該搬運 該驅動 個位置。 單元的方 f於次數 發光元件 發單元之 之搬運台 ，放置於 充槽設置 之開閉 搬運台通 之閘閥。 發單元時 閉。設於 成密封狀 成打開狀 置搬往真 搬運台 台之該 置之卡 藉著在 式，利 和放置 之製造 更換， 之進給 搬運台 可在搬 進出位 合部卡 搬運台 用搬運 在搬運 裝置依 於其更 ，令依 之多列

第12頁 550967 五、發明說明（7) 蒸發單元一 離卡合 在 轉動之 側部形 齒條唾 支自由 儘可能 構造， 輪喷合 機構上 個 之位置 本有機 多支輥 成；小 合；以 轉動之 的小。 藉著具 之在搬 簡單且 接一個的 為止。 電激發光 支樓，該 齒輪，在^ 及驅動馬 輥支撐， 又，驅動 有傳動驅 運台之側 動作確實 移至和驅動裝 元件之 焉區動機 1亥補充 達，驅 搬運搬 機構採 動馬達 部形成 製造裝 構具備 槽被支 動該小 運台時 用將轉 之驅動 之齒條 置之卡合部卡 卜Ό或脫 置，該搬運Α ώ Α 齒條，在兮Γ由自由 柃 在该搬運台 梂成自由轉勤 齒輪。η 動’和該 輪。因搬運 ’搬運由夕 ^ ° 行駛阻力 勒轉換為往復刀 力之小齒於1動之 W輪和該小# ，驅動機構之構造； 在本有機電激發光元件之製造裝置， 支撐被搬至該真空室内之該搬運台之前端部Μ真空室配設 搬運台在自補充槽向真空室内進出時，因寸邛較好。 樓，無因自重而傾斜等不良。在承部，Α 3承部支 掩 m + ❺f以低摩擦去 蘇，用輥支撐搬運台之下面較好。 /、又 在本有機電激發光元件之製造裝置，該蒸發單元由 内部收容該有機原料而且具有可和該驅動裝置之該$人$ 卡合之底部之筒狀容器構成，在該搬運台之該放置部^成 不谷许該蒸發單元通過但是遠驅動裝置之該卡合部可通過 之貫穿孔較好。在蒸發單元補充用之驅動機構所搬運之搬 運台位於真空室内之進出位置，設於搬運台之放置部之貫 穿孔之位置和設於驅動裝置之前端部之安裝部之升降位置 一致。又，將搬運台之搬運方向設為水平方向，令和驅動

550967 五、發明說明（8) 裝置之卡合部之垂直方向之升降方向正 台之定位或令驅動裝置之卡合部和放 勺交叉，在搬運 之蒸發單元卡合上較好。 丨*放置於搬運台之放置部 在本有機電激發光元件之製造裝置 該搬運台搬運之該進出位置之間之^ ，在該上升位置和 置冷卻該蒸發單元之單元冷卻裝置。=向中間位置可設 蒸鍍完了時，加熱裝置停止對茱發單:板之有機原料之 用驅動裝置下降至中間位置為：，並利力口；，單元利 卻。蒸發單元之溫度急速降低，自s ~郃裝置予以冷 蒸發急速停止。蒸發單元之加熱和冷‘：之f機f料之 於不同之位置進行，但是蒸發單元之在在療發早70位 動利用驅動裝置之簡單之升降動作平滑=些各位置間之移 因加熱裝置和冷卻裝置彼此無干;歩，有$速的進打，又 製造裝置之構造變得簡單而且運轉效率’電激發光元件之 冷卻裝置急速的冷卻蒸發單元’有機：；：：因利： 用效率高。 十之浪費篁少，使 【發明之實施例】 以下參照附加之圖面說明本發明 之製造裝置之實施例。圖1係表示本發機電激發光兀件 元件之製造裝置之一實施例之縱向剖面之有機電激發光 有機電激發光元件之製造裝置使用之A二二圖2係表示在 < ~部裝置例放大表示 之縱向剖面圖’係圖3之A-A剖面圖，圖3係圖2所示冷卻裝 置之在平面B _ B剖開之平面圖，圖4係表示本發明之具備有 蒸發單元補充機構之有機電激發光元件之製造裝置之一實

550967

發單兀補充裝置之在平面D-D剖開之平面圖，圖6係圖4所 五、發明說明（9) 施例之縱向剖面圖，係圖5之C — C剖面圖，圖5係圖4所示蒸 示蒸發單元補充裝置之在平面E — E剖開之平面圖。 圖1所示之有機電激發光元件之製造裝 2,由裝置機架支樓；蒸發筒3,在真空室=配置備二 放置狀恶而且配置在上端應成膜之基板8 ;蒸發單元4，具 有可收容應蒸鍍於基板8之有機原料9 (參柙圖2、3 )，而且 位於蒸發筒3内之上升位置u、搬運台（後述）之下方之下降 位置u和下降位置L之間’並在蒸發筒3外之 下動作；驅動裝置5，令蒸發單元4上 料9 f Ρ ^衣置6，為了令收容於蒸發單元4内之有機原 料9療發，將位於上升位詈I丨夕节 σσ 梦署7 蒸發早兀4加熱；以及冷卻 衣置7，將位於中間位置^!之蒸發單元*冷 真空室2具有適當之形狀，剎二 面基台上。真空室2之内部機架10設置於地 (低溫幻平常保持在高度真空]狀未首示之抽真空裝置 去仿罢#里π i 狀怨。在真空室2，可在適 ^ "又置可看内部11之耐壓玻璃窗，作是円卜夫千Jr 真空室2之内部U，以利用支樓腳座1疋圖上在 發筒3。蒸發筒3由如銅般導埶 支按之狀悲5又置瘵 置之角筒ϋ、圓筒體等筒體構成，至屬構成之縱向放 口…、2 5 b。蒸發筒3具有導引\ / =下端各自成為開 原料氣體(以下稱*「蒸發氣體:、、/ 704之令裔發之有機 在圖示之例子，在真空室2^广基板8上升之作用。 可排列收容多個蒸發筒發筒3’但是也 匕『月况，在各蒸發筒3，配設

550967 五、發明說明（10) 上述之蒸發單元或驅動裝置5、單元冷卻裝置7以及後述之 蒸發單元補充裝置’但是在各蒸發單元4内所收容之有機 原料9可按照蒸鍍於基板8之順序設為種類不同之原料。 蒸發單元4尤其為了自外部目視確認有機原料之殘留 量，採用上端開口之透明之玻璃製坩堝較好。加熱裝置6 裝在蒸發筒3内，蒸發單元4利用驅動裝置5上升至蒸發筒3 =之上升位置U時，蒸發單元4不會被裝在加熱裝置:但 是變成被包圍之狀態。加熱裝置6係具有筒狀加熱器之形 狀之間接加熱裝置，該加熱器具備經由自真空室2之外部 延伸之電線供給電源之電阻加熱線，為了令收容於蒸發 二ί内之有機原料9蒸發，將蒸發單元4自周圍例如加埶"至 2〇〇 °C〜40 0 X：為止。 … 驅動裝置5具有馬達15 ;皮帶傳動機構16，傳動馬 2動輸出；聯軸器17，傳動皮帶傳動機構16之輸出側 L :利用聯㈣7轉動；滾珠螺㈣” :2;軸=合；升降筒體20，裝在滾珠螺帽Η，·以及卡1 =二升降筒體20之前端形成，可和蒸發 卡， 驅動衣置5又具有外殼22，將自聯軸器^至 m圍成密封狀態，保持真空室口: f止 ^外，在升降筒體20形成在縱向延 3、二 真空室2之管制件24和縫隙23卡合。申之對縫隙23 ’裝在 皮帶傳動機構16和聯軸器17向螺桿轴:由馬達15之 18和受到管制件24管制轉動之】；=動，㈣螺桿軸 升降筒體20升降。升降筒體2〇之=^ =絲作用驅動 〜寸降知：照馬達丨5之轉動方

第16頁 550967 五、發明說明（11) 可採用由氣麼缸等 向決定。所圖示之驅動裝置5係一例 構成之致動器係理所當然。 "ί 之上側之開口253之上方’靠近開口…配 = 開閉器26。在和真空室2連接之開閉器進退通 Γ動=，广1閉器26之開閉動作用上，可設置例如和 驅動衣置5 —樣之機構，藉著令這種機構動作， 26在開閉，通路27進退，可進行開閉器⑶之開 作二開U6藉著在蒸鑛以外之期間關閉，阻止墓發氣體 自瘵發筒3向基板8再上升而附著。藉著在基正下 設置開閉器（圖上未示），使得f防+人古她所 < 止卜也 in n r ^朴 便侍更防止3有雜貝之可能性高 之最初開始瘵發之蒸發氣體對基板8之墓鍍也可。 在真空室2之上壁，在開閉器2、6之正： 保持器28，在蒸發筒3之正上 :政基板 與基板保持器28共同之伴持二Λ 保持器28和 基板8而保持。在基板保持㈣之正下方，❹m之 32可保持具有既定之圖宰 呆持器 31 -«t ^ s, ^ Λ Λ ； # 7, V ^ ^ ^ ^ 空室2之上壁部23貫穿成;^有^原料。可利用在真 持件29及主保持器32之成動1 作封狀悲之知作軸33、34進行保 如圖2及圖3所示，留-、人、 40、40，對於位於中間位部裝置:具備單元冷卻體 近。單元冷卻體4〇、4〇為之瘵發早704可自其側方接 速的奪熱’例如採用導執=接近狀態自蒸發單元4迅 單元4之下端，將叙入在=數/之銅製外殼較好。在蒸發

隹鳊動裝置5之支撐部21形成之支 550967 、發明說明（12) 撐孔35而卡合之支撐棒36安裝成突 備棚部42，在面向蒸發單元4之各平^冷卻體4〇具 筒面37之-半之半筒形之彎曲二'有在包圍：發單元4之外 單元4之底面38對應之扇形之棚面43 „彳部具有和蒸發 著相之棚面43襄載蒸發單元4之底面:: f 40 : 持蒸發單元4而且自底面3 8也冷卻蒸發單元* °心疋、’、 作為冷卻媒體之攝氏3度〜4度^卻 配 室2之外部之熱更換器5〇(參照圖υ通過作為冷卻又導管、: 給官45流入在各皁兀冷卻體4〇之内部形成之冷卻室 , 通過回流管46回到熱更換器50。如圖μ示q共 回流管46在真空室2之周壁部2b貫穿成密封狀態，兼 =至作為配設於真空室2之外側之動作機構之&壓致^器 J、47(只圖不一個）為止之連結部，利用氣壓致動器47、 47驅動，可令各單元冷卻體4〇相對於蒸發單元4進退。 在令有機原料對基板8之蒸鍍停止時，停止對加熱裝 置6之通電，而且利用驅動裝置5令蒸發單元4降至中間位 置Μ為止，令作為動作機構之氣壓致動器0、ο動作，令 單元冷卻體40、40對於蒸發單元4進出。接近了蒸發單 之單元冷卻體4〇、40藉著自蒸發單元4奪熱開始冷卻，令 有機原料之蒸發馬上停止。結果，昂貴之有機原料停止7蒸 發，抑制不蒸鍍於基板8而擴散之有機原料之浪費，可高 效率的使用有機原料，可令有機電激發光元件之製造 降低。 藉著打開開閉器2 6，蒸發氣體向基板8流出。至於停

550967 五、發明說明（13) 在蒸發筒3内之蒸發氣體及白芡 向真空室2内擴散之筒^下^之開口心想 μ曰试^ ^乳體’错著冷卻蒸發筒3，因令直 升/^叙…同3之内面3a而可回收。即，為了冷卻菽發 ^胃3_置本發明之冷卻裝置54。如 所不，冷部裝置5 4具備；人外加「〔 荃Y夕丁山立〇 部5，裝在下端部3b，具有沿 者瘵电同3、之下鈿部扑之環形形狀；冷卻導管56、57，和 ~部4 5 5連接，用以令冷卻媒體口 ^ ^ ^ ^ * 室2之外部之埶更換哭uΜ μ ^又％具工 裝置7之情況：樣= 管56、57抓晋//亩\ 氏3度〜4度之冷卻水。冷卻導 # ^人叹置成在真二室2之周壁部2b貫穿成密封狀能。 精者β部瘵發筒3，蒸發筒3 心 置！之維修檢查等適當時期自真空室2取出牛1製造裝 :面3a削下昇華之固態之有機原料，可回收“V並1 再利用。 ’铖原料並供 —如圖4〜圖6所示，在有機電激發光元件之 瘵發單元補充機構60具備裝在直空室2之下=坆裴置1之 ，槽Π，補充槽61在其内部具有可收容可將補之側部之補 早兀*4放置成定位狀態之搬運台63之空間。充用之蒸發 f連接時保持真空室2内之真空，補充槽61、、之內在a和真空 扁在補充槽61之底壁6ia之抽真空管64(圖4)，郢62經由 在補充槽61之真空化可和用以將直空室2直办°真空化。 共用。 … 八工化之真空泵 在補充制之内部62沿著搬運台63之搬運方向設置

550967 五、發明說明（14) 體65、65，搬運台63由在各支樓體65等間隔的隔開 位置設置成在橫軸周圍自由轉動之多支支樓輥66支撑。 而’:方之支樓輥66之列（纟圖6之左侧）直接支樓搬運台 鉻错ί 一方之支撐輥66之列（在圖6之右侧）經由後述之齒 台63。各支撐細6之列在上下具；； f 差，將搬運台63支撐成水平狀態。在支 由韓動欠、t ^ ±置夕支導引輻67，配設成在橫軸周圍自 $ ，σ ¥弓丨輥67碰觸搬運台63之側面68、68，管制搬 =’使得不會橫向擺動’在搬運州 間形成通路以、s t引/、搬運在真空室2和補充槽61之 J❿成通路69，通路69利用後述之 閥以之打開狀態搬運台63經由通路移動。”1，在閘 ，72，利用電動馬達71驅動，‘二卜：；輪 …丄：：;申在=3,裝在輸_之前端; 輪7 3喷a之4 Ϊ和在搬運台6 3之-方之側部形成之小* 轴72之轉動：由電動馬達71轉動時，輪： 單的構成ii利用小齒輪73和齒條74之嚙合卡ί ? 峨_驅動搬運台63時，搬二;;;;σ

第20頁 550967 _---- _ 五、發明說明（15) 受到支撐輥66和導引^R7 y 導引輥67轉動一面搬^之限制，且係一面令支撐輥6.6和 在更換使用完之;” J : 台未6 :可用 態，為了容許基發單^山早704和未使用之蒸發單元4之形 可開閉之開閉門8; :4出/補充槽61 ’在補充_設置 分之寬度成寬口孔81 :開；;;==侧在其大部 蓋。寬口孔81之大小係^ 1又置為覆盍寬口孔81之 本身之大小。開閉門/n 、、且立當初可取出或裝上搬運台63 狀態。在將補;:61'〇#丄用安裝㈣ 開閉門80和外部門 ^62真空化時’為了保持閉鎖之 83。 卜』之間之役封，在寬口孔81之周圍配設。環 關於在真空室2和補#β 可切換通路69之開閉狀能曰間形成之通路69，配設 閉，設於補充槽61之外；」二4等為閘閥“開 86在補充槽61之底壁6 °°專^作破置85之輸出軸 置閥88。藉著操作操作装置85，輸 2杯機構87设 轴86之上升闕88碰到止動器_時 升，隨者輸出 碰到止動哭, 行上升之輸出軸86至 路69之開口周圍69a(圖5)。=機構87壓住通 〜之真 將蒸發單元補充機構60應用於 造裝置“寺’將設於真空室2和裝在直”激电光元件之製 -、空至2之補充槽61之 第21頁 550967 五、發明說明（16) 間之閘閥84關閉，在通路μ 之開閉mo。在補充閉之狀態打開設於補充槽61 63，將補充用之放7放置蒸發單元4之謝 已收容於補充槽6心；4,放可置二搬運台63。在搬運台63 政押；/1私班 可自打開之開閉門80馬上將蒸 封=運台i3。然後，關閉開閉門80，將補充 ^ 62 ^覃循L吉161 "又為對於真空室2也密閉之狀態，内 ， /、空化。在補充槽61之内部62變成真空之狀 I 1 :甲閥84。閘閥84在打開之狀態因容許搬運台63通 過，=用驅動機構70之動作將搬運台63自補充觸内之回 位位置搬到真空室2内之進出位置。 一搬運口 6 3可在搬運方向亦即水平方向放置多列蒸發單 兀4。在本實施例，因在真空室2内同時使用2個蒸發單元 4、4，為了可更換3次，將卡止部90設置成2 X 3之格子 狀。卡止部90尤其如圖6所示，設置為接合器（adapter)， t口與，子對應的在搬運台63形成之安裝孔91嵌合，而且和 =發單元4卡合並定位。卡止部9〇在和安裝孔91嵌合之狀 在其中心部形成蒸發單元4之支撐棒36通過之縱的貫 =孔92，貫穿孔92係在驅動裝置5之垂直方向上下之升降 同體20之前端部形成之卡合部21和其桿一起可插穿正 狀態。 二驅動機構7 0也用於每次更換蒸發單元4時令搬運搬運 。在此情況，搬運台6 3之進出位置設於與將各列之蒸 發單搬至和驅動裝置5之卡合部21卡合或脫離卡合之位 置為正對應之多個位置。在利用驅動機構7 〇之搬運，搬運

550967 五、發明說明（17) 台63依次停於在真空室2内所預設之多個 於搬運台63之多列蒸發單元4、4 一個接一個出、置，放置 裝置5之卡合部21卡合或脫離卡合之位 和驅動 動機構70將搬運台6 3搬向真空室2 茲—。利用驅 r…之進出位置，可正:2:控V往^ 換位置之移動。於是，藉著在搬運台63放2=4之更 隔配置之多列蒸發單元4、4， 在搬運方向間 完之蒸發單元4以殘留放置於卡止二,、？4時，使用 接受後，驅動機構70令搬運台63之一大進運台63 L下-列之蒸發單元4、4到達真空二之進上位置置二多 =料之更換位置為止。在補充槽61，藉動/對置:二 ;”發早兀4 一次或和使用完之蒸發單元 1 : 二“…4之補充·更換），在和放置於搬運台固 =次數(3次）’於有機電激發光元件 = 目 更換蒸發單元4並使用。 、展置1可依次 在真空室2配設支撐被搬至真空室2内之 二部之承部95。承部95設於高度和補充槽61之== 同之延長線上，具備支撐搬運台63之下面之承=66目 低内摩f支撺搬運台63。搬運台63在自補充槽“進1 蓉内時，因前端部用承部95支撐，無因自重而傾 寺不良，可將搬運台63保持水平姿勢。 、针 在利用蒸發單元補充機構60之驅動機構70搬 ==真空室2内之位置，設於搬運台63之卡止：之運 貝牙孔92之位置和驅動裝置5之卡合部21之升降位置一

第23頁 550967 五、發明說明（18) __ =。：者驅動裝置5動作而上升之卡合部21和蒸發 ，五f通過卡止部90之貫穿孔92，蒸發單元4利用卡：4卡 以6升對而上升位置U。關於在上升位別… 、人名隹、〇叙早兀4之加熱、在中間位置Μ之蒸發單元4 i ‘ ί5’Λ上二之說明所示。有機原料全部蒸發光時，驅 置F為止自降至更下方之更換位 卡合之狀態。驅動裝置5還為了避免=之 d二卡合部21下降至比更換位置以…二 移至下…逸=更換蒸發單元4時，令搬運台63在搬運方向 移至下一進出位置為止，令新 人^ 〇 之升降位置即可。 悄“、、么早兀4移至卡合部21 【發明之效果】 傷：本激發光元件之製造裝置，具 外部及該真空‘各自n π部係可真空化，而且對於 該補充槽而且具有將補搬運台，可收容於 之敌置部；以及驅動機構，放置成定位狀態 ί空室内之進出位置之：可置和該 ^上卡合部利用驅動裝置可下降至被搬=sD ;因在構 二之下方之下降位置為止，基發單元 j出位置之搬運 卡合部卡合，並自該放置 升通過搬運台之 :合部脫離卡合，而殘留==置運台之 乃可在不令有機電激發光元错由則述構照， k衷置停止運轉，亦未 第24頁 550967 五、發明說明（19) 解除而保持真 •更換蒸發單 發光元件之製 蒸發單元移至 之搬運台和相 單之構造構成 的移至加熱位 裝置之製造費 發可迅速的再 用降低之有機 機電激發光元 蒸發單元多次 解除真空室之 造裝置之運轉 更降低，也可 空室之真空 元後不必g 造裝置之運 加熱位置為 對於搬運台 ，用簡單之 置為止。結 用降低，運 開始，可提 電激發光元 件之製造裝 ，在該期間 真空而再開 效率更提高 更便宜的製 下由外部補 真空室再真 轉效率提高 止之機構由 在垂直方向 機構可令補 果’因有機 轉效率提高 供令有機電 件之製造裝 置，補充蒸 ，也不必因 始運轉時將 ，有機電激 造有機電激 充蒸發 空化，。又， 具有在 動作之 充後之 電激發 ，而且 激發光 置。又 發單元 製造裝 真空室 發光元 發光元 單元 可令 因令 水平 驅動 蒸發 光元 有機 元件 ，在 有機 補充 方向 裝置 單元 件之 原料 之製 ，若依據 一次，可 置停止運 再真空化 件之製造 件。 補充 電數 後之 槪運 之簡 迅速 製造 之蒸 造費 本有 更換 轉或 ，製 費用

第25頁 550967 圖式簡單說明 圖1係表示本發明之應用了蒸發單元補充裝置之有機 電激^光/元件之製造裝置之一實施例之縱向剖面圖。 士 圖2係將在有機電激發光元件之製造裝置使用之冷卻 裝置例放/大表示之縱向剖面圖，係圖3之A-A剖面圖。 圖3係圖2所示冷卻裝置之在平面b_b之剖面圖。 圖4係#表示本發明之具備了蒸發單元補充機構之有機 〃激發光7L件之製造裝置之一實施例之縱向剖面圖，係圖 5之C-C剖面圖。

圖5係圖4所示蒸發單元補充裝置之在平面d — d之剖面 圖 圖6係圖4所示蒸發單 元補充裝置之在平面E-E之剖面 【符號說明】 1有機電激發光元件之製造裝置 2真空室 2b周壁部 3蒸發筒 4蒸發單元 5 驅動裝置 6加熱裝置 7單元冷卻裝置 8基板 9有機原料

第26頁 550967 圖式簡單說明 11 真空室之内部 21 卡合部 4 0 單元冷卻體 6 〇蒸發單元補充機構 61補充槽 61内部 6 3 搬運台 6 6支樓親 6 8侧部

7 0 驅動機構 7 1 驅動馬達 7 3小齒輪

7 4齒條 80開閉門 84 閘閥 9 0 卡止部 9 2貫穿孔 9 5 承部 U 上升位置 Μ 中間位置 L 下降位置 F 更換位置

第27頁

Claims (1)

1. 550967 六 、申請專利 範圍 種有機電 和收容有 該蒸發單 該有機原 自該蒸發 之内部進 機電激發 ，裝在該 該真空室 ，可收容 成定位狀 構，可於 之間往復 装置可下 方之下降 卡合部卡 之該卡合 激發光 機原料 元升降 料蒸發 單元所 行； 光元件 真空室 各自封 於該補 態之放 該補充 地搬運 降至將 位置為 合，由 部脫離 元件之製造裝置， 之蒸發單元卡合成 至上升位置為止； ’將位於該上升位 蒸發之有機原料對 之製造 ，且其 閉成密 充槽， 置部； 槽内之 該搬運 該卡合 止，該 該放置 卡合並 而且 |置，具有 合部，且令 卜以； 單元加熱； 係在真空室 在該有 補充槽 對於外部及 搬運台 發單元放置 驅動機 之進出位置 該驅動 搬運台之下 運台之該 過該搬運台 部。 2. 如 造裝置，其 $補充槽出 <間設置町 夂關閉狀態 3. 如 裝置中，另 内部係可真 封狀態； 且具有將補 以及 裳填位置和 台； 部搬至該進 蒸發單元和 部被抬起， 被殘留放置 具備：驅動 可脫離之卡 及加熱裝 置之該蒸發 基板之蒸鍵 具備 空化 充用之該蒸 該真空室内 出位置之該 上升通過該 而和下降通 於該放置 申請專利範圍第1項之有機電激菸伞一 私无7L件之制 中’在該補充槽設置谷终該蒸發置- k早7〇自外都向 入之可密封之開閉門，在該真空言 "、二至和該插右播 在容許該搬運台通過之打開狀態和衆Μ _ I ^ 之間切換之間闕。 在、閉的關閉 申請專利範圍第1或2項之有機電激狄^ 电敬發光元件之

   第28頁 550967 六、申請專利範圍 製造裝置，其中，該搬運台可載置沿搬運方向間隔配置之 多列該蒸發單元，該搬運台之該進出位置係設定於多個位 置，該多個位置係與各列之蒸發單元被搬運至和該驅動裝 置之卡合部卡合或脫離卡合之位置為止的情形相對應。 4. 如申請專利範圍第1或2項之有機電激發光元件之 製造裝置，其中，該搬運台由自由轉動之多支輥支撐，該 驅動機構具備齒條，在該搬運台之侧部形成；小齒輪，在 該補充槽被支撐成自由轉動，和該齒條嚙合；以及驅動馬 達，驅動該小齒輪。

   5. 如申請專利範圍第1或2項之有機電激發光元件之 製造裝置，其中，在該真空室配設支撐被搬至該真空室内 之該搬運台之前端部之承部。 6. 如申請專利範圍第1或2項之有機電激發光元件之 製造裝置，其中，該蒸發單元由在内部收容該有機原料而 且具有可和該驅動裝置之該卡合部卡合之底部之筒狀容器 構成，在該搬運台之該放置部形成不容許該蒸發單元通過 但該驅動裝置之該卡合部可通過之貫穿孔。

   7. 如申請專利範圍第1或2項之有機電激發光元件之 製造裝置，其中，在該上升位置和該搬運台搬運之該進出 位置之間之上下方向中間位置，設置冷卻該蒸發單元之單 元冷卻裝置。

   第29頁