TW548478B - Detection and repair of active substrate - Google Patents

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五、發明說明（1 ) 本發明乃關於一種主動基板之檢查及修復技術，其係 用於液晶裝置尤其是主動型液晶裝置之老化、針孔檢查及 修復者。 _ L年來由於精岔加工技術、液晶材料技術及高密度 裝配技術等之進步，使用5〜50cm對角線長度液晶控制板之 電視及其他各種影像顯示器材已以商用為主而大量供應。 又，於構成液晶控制板之兩片玻璃基板之一上預先形成 RGB著色層，以便輕易顯示其彩色的方法亦已被採用。尤 其是，將開關元件内藏於每一晝素内之所謂主動型之液晶 控制板，更可顯示漏話少且具有快速應答之高對比影像， 而更促其趨勢之形成。 又，該等液晶影像顯示裝置（液晶控制板）一般係編製 成掃描線200〜1200條及信號線2〇〇〜1600條左右之矩陣， 而’最近則為因應提高顯示品質之要求，正同時進行著大 影像化及高精細化（畫素密度提高則色調等級亦增大）的開 發。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第1圖係顯示液晶控制板之各部裝配狀態。如本圖所 示，構成液晶控制板1其中一方之透明絕緣基板係藉COG 及TCP等的裝配方式而使電氣信號或影像信號供入影像表 示部，其中該COG方式（Chip-On-Glass)，舉例言之係將用 以供給驅動信號於形成在玻璃基板2上之掃描線的電極端 子群6之半導體積體電路接頭3以導電性接著劑連接；而該 TCP(Tape-Carrier-Package)方式，舉例言之則係以聚醯亞 胺系樹脂薄膜作為基材，將具有金或鍍焊藥之銅猪端子 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） -4- 548478 A7

五、發明說明（2 ) 經 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 中未示）之TCP膜4以含有導電性媒體之合適接著劑壓接固 定於信號線之端子群5上。又，本圖中雖為了廣泛揭示習知 技術而顯示了兩種裝配方式，但在製造實際之顯示裝置 時，則當然可適當的只選取其中一種方式。 圖中7、8為配線路徑，係將位於液晶控制板丨之略中 央部上之影像顯示部及信號線及掃描線之電極端子5.6間 加以連接者，其等將無須利用與電極電子群5、6相同之導 電材料而構成。9為對向玻璃基板，即另一片透明性絕緣基 板w亥透明性絕緣基板在對向面上具有與所有液晶單元丘 通（共同接通）之透明導電性對向電極。 第2圖顯示一種於每一畫素内配置絕緣閘型電晶體⑺ 作為開關元件之主動型液晶控制板之等價迴路圖。在本圖 中8係掃描線，7係信號線，13係液晶單元，該液晶單元在 電路配置上係作為容量元件之用。在本圖中，以實線描繪 之元件及信號線係形成於構成液晶控制板丨之一的玻璃基 板（陣列側基板）2上，以虛線描繪之與所有液晶單元共通之 對向電極14則形成於另一片玻璃基板（對向基板）9上。 進而，當絕緣閘型電晶體1〇2〇FF電阻或液晶單元之 電阻低時，及，須重視顯示影像之色調等級時，則考慮將 用以將田作負荷之液晶單兀之時定數加大之補助蓄積容量 15並列加入液晶單元13等，而於迴路設計上下工夫。又， 本圖之16即係蓄積容量之共通母線。 第3圖係顯示液晶控制板畫素部之重要部分截面圖。 如本圖所示’構成液晶控制板之兩片玻璃基板2、9係藉樹 請 先 閱- 讀 背 之- 注 意 事 項應 填I裝 頁 訂

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548478 A7 五、發明說明（ 脂性纖維及玻璃珠等的填隙材料（圖中未示）形成數# m左 右預定距離之間隔’其間隔（gap)係於玻璃基板9之周緣部 以有機性樹脂製之密封材料及封口材料（二者圖中皆未示） 密封之而形成之密閉空間，而液晶則以真空填充法等充填 在該密閉空間内。 又’彩色之顯示則係於玻璃基板9之密閉空間（液晶層） 側附著一所謂之濾色片18，該濾色片18係一含有染料或顏 料之一或兩者且厚度在1〜2 # m左右之有機薄膜者。例如要 顯示紅色時則僅屬只可透過紅光之紅色濾色片部的液晶層 使背面之背光通過而發光。又，因此在實際之液晶顯示裝 置中紅（R)、綠（G)、藍（B)之濾色片係配置於鑲嵌及雙鍵上。 但’由於該等技術係屬周知之技術，因此予以省略， 不加贅言。此時，玻璃基板9別名稱之為濾色片（c〇1〇r Fiher 簡稱CF)。而，依液晶材料17之性質於玻璃基板9上面或玻 璃基板2下面任一處或兩面上貼附偏光板19，液晶控制板1 乃可作為電氣光學元件使用。現在，在大部分市售之液晶 控制板係使用TN(扭轉向列；twist nematic)型者作為液晶 材料，通常需要兩片偏光板19。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又，在上述圖示之透過型液晶影像表示裝置中，由圖 中未示卻設置於下方之裏面光源而照射出白光。又，在反 射型液晶表示裝置中，於下部（反對使用者方面）之（當作原 貝II )陣列基板上形成反射鏡，又於其上部側形成透明導電 膜’更於其上部形成TFT及信號線。進而，又有賓主型之 顯示彩色及多層式之基板型式等。 548478

五、發明說明（4) 20係用以將液晶分子朝決定方向配置之配向膜。在兩 片玻璃基板2、9之液晶側上形成厚度如01//m左右之聚亞 胺系樹脂薄膜。21係與絕緣閘型電晶體1〇之洩極及透明導 電性之畫素電極22連接之洩極電極（配線），經常與信號線 (源線）12同時形成。23係位於信號線12及洩極電極21間之 半導體層，並詳細說明如後。24係由厚度〇.1 V m左右之 Cr(鉻）薄膜層所構成，在彩色濾光器9上形成相鄰之著色層 18的疆界。其作用在防止外部光照入半導體層、掃描線^ 及佗號線12，及改善色彩之顯示特性。因此，通常被稱為 黑色矩陣（Black Matrix、簡稱BM)。 其次’將當作開關元件使用之絕緣閘型電晶體之構造 及製造方法加以說明。現在，有兩種絕緣閘型電晶體經常 被使用，但在此說明其中一種腐蝕中止型。第4圖係顯示構 成習知液晶控制板之主動基板矩陣基板之單位晝素之完成 狀恶平面圖，將P边製造本圖A-A截面部之進步的變化顯示 於第5圖。以下，主要是一面參照本圖一面將其製造步驟簡 單地加以說明。又，形成於掃描線丨丨之突起部5〇及畫素電 極22以閘絕緣層為中介而重疊之領域48(第4圖右下方之斜 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 線部分）形成有上述之蓄積容量丨5，但在此省略將其詳細說 明。 關於第5圖說明如下： (1)將厚度為0.5〜l.im&右之玻璃基板2當作耐熱性、 耐藥性及透明性鬲之絕緣性基板，例如在寇寧格< 3 一二 ^夕 >公司製之商品名為1737之片面上使用SPT(陰極真空 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規；X 297公釐） 548478 A7

五、發明說明（5 ) 鍍膜）等的真空製膜裝置當作膜厚0.^0.3 μηι左右之第1金 屬層，例如將Cr(鉻），Ta(鈕），Μο(鉬）等或其等之合金加以黏 附，藉光聲圖譜等的精密加工技術而選擇性的形成兼作掃 描線之閘電極11。 又，相對應於液晶控制板之大晝面化欲將掃描線之 電阻值降低係使用AL(鋁）當作掃描線材料較為理想。AL之 耐熱性低，因此進行與上述耐熱金屬Cr(鉻），Ta(鈕），m〇(翻） 或其等之矽化物積層化並使用，或在AL表面以陽極氧化附 加氧化層（AL203)。極’掃描線11 一般係由多數之金屬層等 所構成。 (2) 將3種薄膜層以如〇·3-〇·〇5-0·1 # m左右之厚度依序 加以黏附，該3種薄膜層係在玻璃基板之整個面上使用 PCVD(plasma CVD)裝置而形成閘絕緣層之第iSiNx(石夕氮 化）層30、形成幾乎不含不純物之絕緣閘型電晶體通道之第 1非晶質（amorphous)矽（a-Si)層 31及第 2SiNx層 32。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又’除上述當形成閘絕緣層時與其他種類之絕緣層 (例如TaOx及SiCh等或前述之AL203)相積層，亦或經常進 行將SiNx層分成兩次製膜並中途附加洗淨步驟等的提昇 產量對策。又，閘絕緣層並不限於一種或單層。進而，進 行藉非晶質石夕之雷射锻燒之多結晶化（聚石夕）。但，該等技 術可謂周知技術，因此省略其說明。 (3) 藉精密加工技術而將較閘11窄之閘11上之第2SiNx 層選擇性的留下（只在預定之位置留下），換言之露出第1非 晶質矽層3 10以作為島狀320，相同的使用PCVD裝置將作 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 548478 五、 發明說明（6) 為不純物之含磷第2非晶質矽層330以如0.05 // m左右之膜 厚度加以黏附。 只在閘11附近呈島狀留下第丨非晶質矽層及第2非晶 質矽層33以露出絕緣層30。 (4) 使用SPT(陰極真空鍍膜）等的真空製膜裝置作為膜 厚度0.1〜0·2μπι左右之透明導電層如IT〇(Indium_Tin〇xide) 並加以黏附，並藉精密加工技術而選擇性地形成化素電極。 進而’雖於圖中未示卻形成對掃描線丨丨之電連接所 須之影像表示部周邊部上之對掃描線上的閘絕緣層3〇之選 擇性開口部。 (5) 使用SPT等的真空製膜裝置作為膜厚度〇1 # m左右 之耐熱金屬層，例如以Ti(鈦），Cr(鉻），Mo(鉬）等的耐熱金屬 薄膜層作為低電阻配線層，將膜厚度〇 · 3 # m左右之al薄膜 層依序加以黏附，藉精密加工技術選擇性的形成由耐熱金 屬層340及低電阻配線層350所構成之絕緣閘型電晶體的洩 極電極2 1以及兼作信號線之源電極12。將用以形成該選擇 性圖形之感光性樹脂圖形作為掩蔽，去除源電極電極間之 SiNx層上之第2非晶質石夕層330而露出第2SiNx層320，同時 在其他領域中去除苐1非晶質石夕層3 1 〇而露出閘絕緣層3 〇。 絕緣閘型電晶體不形成偏移構造則源洩極電極 12、21將與閘11配置形成一部分平面重疊之位置關係。又， 一般设计即在影像表示部之周邊部包含有掃描線丨丨上之開 口部與信號線12—同形成將掃描線側之端子電極6、掃描線 11及知^描線侧之端子電極6加以連接之配線路8。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公f ) A7

548478 五、發明說明（7 ) 取後，在玻璃基板2之整個面上與閘絕緣層刈相同 地使用PCVD裝置並將〇·3〜〇·7 # m左右膜厚度之加以 黏附以作成純化絕緣層。 (6)在畫素電極22上形成開口部38而露出絕大部分的 晝素電極22，同時圖中雖未示於周邊部之端子電極5、6上 卻形成開口部而露出絕大部分之端子電極5、6以完成主動 基板。 又，由於顯示控制板之尺寸較小等而不產生信號線12 之電阻問題時，由AL所構成之低電阻配線層並非必須物， 使用Cr(鉻），Ta(组），Mo(銦）等的耐熱金屬材料，藉此可將源 Λ極配線12、21加以單層化。又，關於絕緣閘型電晶體之 耐熱性係先行詳細揭示於日本公開公報特開平第 號上。除以上所述亦注入不純物等，但由於該等可謂周知 事項而省略其說明。 於此’除去晝素電極22上之純化絕緣層37係防止外加 於液晶單元之實效電壓降低、純化絕緣層之膜質為劣等 者、迴避於純化絕緣層内儲存電荷而產生影像之硬化。又， 矣巴緣閘型電晶體之耐熱性不甚高，因此純化絕緣層之製膜 溫度與閘絕緣層相比較後，溫度必將達到減少數1〇°c以上 之250°C以下之低溫。 其次，由於可廣角晝面顯示而最近商品化就稱為活潑 之電場方式或ips(In-Plain-Switching)方式之液晶控制 板加以說明。第6圖係顯示該IPS型液晶控制板之晝面表示 部之重要部位截面圖。與第3圖習知之主流方式之差別，即 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 χ 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -10- 548478 A7 _B7 五、發明說明（ 之 注 液晶單位以預定間隔由形成之導電性對向電極4〇、晝素電 極41(21)及液晶17所構成，液晶17在對向電極4〇及晝素電 極4!間運作且以橫向之電場存在於開關點（動作）。藉此， 乃將不需在彩色濾光器基板上設置透明導電性之對向電 極’又，不需在主動基板上設置透明導電性之畫素電極。 即，亦同時進行主動基板之製造步驟的削減。 第7圖係IPS型液晶控制板之主動基板之單位晝素平面 圖三將隨本圖A-A線上截面製造之進步而產生之變化顯示 於第8圖。以下，主要一邊參照第8圖’一邊舉該液晶控制 板之製造步驟及採用Η型通道作為絕緣閘型電晶體為例加 以簡單說明。又，在第7圖中對向電極4〇(共通容量線）及畫 素電極41(21)之其中一部分以閘絕緣層為中介而重疊之領 域49(雙重斜線部分）係形成有蓄積容量15，但於此省略^ 細說明。 關於第8圖說明如下： (1) 在玻璃基板2之某一面上使用SPT(陰極真空鍍膜） 等的真空製膜裝置以將膜厚度為0.^0.3 V m左右之第1金 屬層黏附，且藉精密加工選擇性地形成兼作掃描線之閘電 極11及對向電極40。 (2) 以如0·3-0·2-0·05μηι左右之膜厚度依序形成3種薄 膜層，該3種薄膜層係在玻璃基板之整個面上使用 PCVD(plasma CVD)裝置而形成閘絕緣層之⑴^層3〇、形成 幾乎不含不純物之絕緣閘型電晶體通道之第1非晶質石夕層 3 1及含有不純物質且形成絕緣閘型電晶體之源线極之第2 本紙張尺度適用中關家標準（C_NS)A4規格⑽x 297公^3 _ 548478 Α7 Β7 五、發明說明（9) 非晶質矽層33。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (3) 在閘11上呈島狀31〇、33〇留有由第1及第2非晶質矽 層所構成之半導體層以露出閘絕緣層3〇。接著於圖中未 不’但進行對掃描線丨丨之電連接所須之影像表示部周邊部 上之對知4田線上的閘絕緣層3 〇之選擇性開口部之形成。 (4) 使用SPT等的真空製膜裝置作為膜厚度〇 ;1 a m左右 之耐熱金屬層’例如WTi(鈦）作為低電阻配線層，將膜厚 度0.3 # m左右之AL薄膜層依序加以黏附，藉精密加工技術 選擇性的形成兼作晝素電極41之絕緣閘型電晶體的洩極電 極21以及兼作信號線之源電極丨2。該該選擇性圖形之形 成’係以使用於形成源洩極配線之感光性樹脂圖形為掩 蔽，將AL薄膜層350、Ti(鈦）薄膜層340及第2非晶質矽層330 依序加以姓刻（藉老化步驟而形成），第1非晶質矽層31〇由 於留下0.05〜0.1 // m左右蝕刻而稱為通道η。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (5) 去除感光性樹脂圖形43後，在玻璃基板2之整個面 上與閘絕緣層相同地使用PC VD裝置作為透明性之絕緣 層，並將0.3/zm左右膜厚度之SiNxM以黏附以作為純化絕 緣層3 7 ’於圖中未示卻在周邊部之端子電極上形成開口部 而露出絕大部分之端子電極5、6，以完成主動基板。 由以上說明可清楚明白對向電極4〇與掃描線丨丨同時形 成’又’晝素電極41與源洩極配線丨2、21同時形成，因此 成為晝素電極之透明導電層22將不需要，若與先前記載之 製造過程相比較則將進行製造步驟之削減。 一方面，Η型通道之絕緣閘型電晶體由製膜製程及 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公髮） 五、發明說明（10) 亥J衣私之均一性觀點可見與H終止型相比較且必需將不含 不純物之第1非晶質矽層加以增厚製膜，pcVD裝置之運轉 及粒子之產生係生產力上的問題，又，由於電子移動度小 而有性能上的問題，但在此省略其等之說明。 由以上說明可知主動型液晶影像表示裝置之製造，係 相當複雜且被要求具高度精密性。因此，必定有各種形式 進 之不良問題產生。因此，當工廠出貨時將遵照規定之品質 基準實施各種檢查、評價及測試。其結果，於該等各種檢 查時將產生檢出或成為檢查對象之不良問題形式，而帶給 消費者及最後使用者之麻煩及損害之情形將非常稀少。然 而，其他之製品亦相同，若不經長時間之運轉及使用將不 發生不良問題形式。而，對於其等之不良問題形式進行 分配老化（經過一段時間）檢查及曝曬於高熱下等之加 速測試環境，且必須確認其不產生不良問題。且，該老 化檢查若以特定之生產批量為對象並花數小時以^ 行生產全部的產品，則其成本相當高。

又，在液晶顯示裝置中將該老化檢查當作必須之不 良問題形式代表，以長時間使用則原本應顯示白色者々 產生黑色污點漸漸擴大（藉此，顯示黑色形式及顯示命P 色形式等情形’亦有可能形成白色污點)之形式為：： 以說明。

五、發明說明（11) 以下則、之針孔44時產生。當製作主動基板2所使 =絕緣層形成時，微小之異物及粒子所帶來之影響卻 、、、糸笔不產生針孔之狀態於此刻之技術上純是不可能 ' 在數_人相片飿刻步驟（光聲圖譜）中絲毫不產生 感光性樹脂中之針孔亦是不可能的，尤其在間絕緣層上 可避免粕塵之產生及容易產生針孔而當作pc VD裝 置之特性。 ^ 且，通常在整個主動基板2形成有純化絕緣層37。 因此，例如縱然在閘絕緣層上存在丨以㈤以上之針孔， 其亦無以純化絕緣層P覆蓋而露出掃描線11及對向電 極40之狀態。又，在純化絕緣層37上形成開口部％之照 片蝕刻步驟之解像力亦無1 # m，在形成純化絕緣層37 之開口部時絲毫無產生1 // m以以下粒子之憂慮。 然而’由一般的SiNx構成之純化絕緣層如前述般以 低溫而形成，因此可達範圍較差且在閘絕緣層3〇上有i # m以下之針孔時則如第9圖所示在純化絕緣層3 7上亦 將形成微小之孔44，此時，將露出一部分之掃描線u 及對向電極40。（又，當閘絕緣層3〇上產生1//m以上之 時’由於將純化絕緣層37填入該針孔而不產生上述之不 良問題形式。） 此外在對向電極上形成前述之〇· 1 # m左右厚度之 配向膜20，但對向電極14之面積亦可能較大而在配向膜 上亦容易產生針孔。如此一來，在主動液晶控制板之掃 4田線上通常連縯供給〇〜一（負）數伏特之電位，因此在對 五、發明說明（I2) 向電極14(—般之™系液晶控制板)或鄉PS型液晶控 制板)之間外加直流電位，針孔44附近之液晶係藉加水 分解而惡化，因此原本應顯示為白色者將由褐色更進一 步變化成黑色。此乃產生上述不良問題形式之原因。 “即，當在閘絕緣層上產生4m以下之針孔時，將 不藉純化絕緣層埋針孔，因此不可能阻止不良問題之 生。 、 、又。，因針孔為以下之微小物而縱然在加熱加 速至60 C左右之狀態下但液晶惡化之時間仍需數小時〜 數日I化k查之負擔將相當龐大。尤其將lps形式之 液曰a铨制板與NT开〉式之液晶控制板相比較，則對向電 極之面積小且換言之電流難以流通，因此較長之時間。 作為其對策，縱然使用最新之形式檢查機並以主動 基板之製造步驟進行針孔檢查，於此刻其解像力仍顯不 足（樣本值中解像力為丨.5//111)，又即使提供具高解像力 之形式檢查機仍於其檢查時間内容易想像超過丨張主動 基板，因此又必須產生莫大之費用。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

針對產生1 // m以下之針孔而作為有效對策之先前 事例係可形成Ι/zm左右厚度之純化絕緣層並以純化絕 緣層本身填入針孔，但此將造成純化絕緣層形成步驟之 成本提高。當作另一對策，係為改善純化絕緣層之可達範 圍而將形成溫度升高至爾左右，但半導體層為…時耐 熱性較低因此電子之移動度#將變小，且絕緣閘型電晶體 之電氣特性將變i，而難以適用於大畫面或高精密之液晶

本紙張尺度翻+¾¾¾標準（C^S)A4規格— X 297公釐） 548478 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（13 ) 控制板。 又，當進行基板上、陽極氧化等的電氣化學處理時， 如第10圖所不在將基板2加以垂直保持之狀態下使之浸潰 於絕緣性容器50中，將基板2上部留在一部分之液面上之狀 態下必須藉夾子等的連接工模對形成於基板2上部之接續 圖形52供給直流電位。在本圖中，又兄係直流電源、“係 電錶，55係由SUS板所構成之陰極板。 但是，就該方法中基板之大小由現在的55〇χ 65〇mm變 大至600x 720mm甚至850χ 950mm時，由於以垂直方向升 降基板之機構系增大而陽極氧化裝置之高度必須超過 3m。因此，不僅搬入或設置入工廠内需要相當的工時，因 淨室之天花板增高而使淨室之容積增加及空調成本增高係 令人憂慮的事。又，在同樣進行藥液處理裝置中產生大量 藥液之霧氣，因此由安全衛生觀點可見大量排氣將變得必 要，淨室之維持費將變高。 如此，以毫無針孔之絕緣層將基板上之導電性圖形加 以覆蓋是困難的，而該針孔特別是在顯示用基板上容易變 成產生各種不良問題之主要原因。 因此，期盼實施不需要進行老化檢查之掃描線上及對 向電極上或蓄積容量線上之絕緣層之針孔測試。進而，因 其及其他種種目的而可在基板内之特定領域施行電氣化學 處理，而且可以枚葉式進行電氣化學處理，並其期盼進行 與基板大型化相對應之小型生產裝置之開發。 本發明乃鑒於以上之問題而作成，係在水平設置之基 ‘紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 裝 16- 五、發明說明（14 ) 板上面黏附預定之藥液，在電氣化學裝置上發現絕緣膜之 針孔，以絕緣膜及其他絕緣膜物質填入發現之針孔内者。 具體而言，如以下所示範。 如申請專利範圍第1項之一種基板，係於導電性圖形 上具有以與其本身相異材質之絕緣物至少填入針孔下部之 絕緣層者。 依该構造，將以絕緣層將導電性圖形完全覆芸。 如申請專利範圍第2項之一種顯示裝置用之基板，係 於導電性圖形上具有以與其本身相異材質之絕緣物填入針 孔之絕緣層者。 依該構造，將可輕易獲得無缺陷之影像顯示裝置。 如申請專利範圍第3項之一種於基板内進行選擇性電 氣化學處理之裝置，包含有： 一保持裝置，係以處理對象之絕緣性基板為原則，水 平且形成固定位置並加以保持之台等； 一電極，係藉絕緣性基板之周邊部而與形成於該經固 持之絕緣性基板上之導電性圖形相連結，而提供任一且一 定值之電位者； 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

一藥液滯留裝置，係用以使藥液僅滯留在比該絕緣性 基板上之絕緣性基板小之預定領域或比形成於絕緣性基 板上之主動基板之晝面顯示部稍大之預定領域上者； 一逆極性電極板，係用以對該藥液供給與該導電性圖 形相反極性且一定值之電位者；及 一樂液供給排出裝置，係用以對該絕緣性基板上預定

本紙張尺度翻中國國家鮮（CNS)A4規格（21〇 x 297公釐） 548478 五、發明說明（！5) 位置供給及排出藥液者。 依該構造，縱然不合併使用特別之掩蔽材料仍可形成 只在基板上之特定領域進行針孔檢查等的電氣化學處理。 又，依以上其他需要而測量絕緣性基板與逆極性電極 板之距離’當然亦具有調整機構例如雷射距離記測哭、差 動變壓器及油壓汽缸等。 其次，不包含絕緣性基板上藥液滞留及保持之部分、 化素領域及其周邊之驅動迴路部。但’亦有以製品之檢查 用等的目的在表示部周邊形幻行、列之畫素的情形，此 時其部分將適用於每-種情況。進而，現在畫素部及驅動 迴路部之距離為lmm左右，但將來亦有可能變動。又，檢 查晝素部時若在基板上尚未形成其驅動用迴路部及以任 何方法加以保護，則應有未來驅動迴路部之部分亦可暴露 於藥液中。 * 如申請專利範圍第4項之於基板内進行選擇性電氣化 4*处理之衣置，其中该逆極性電極板為一具有預定尺寸及 形狀之逆極性電極板，其係比該絕緣性基板小或形成於絕 、、彖丨生基板上之主動基板之畫面顯示部稍大，且以該逆極性 電極板接近該絕緣性基板之處理對象部時所得之在缝隙 間具有以其表面張力及密封材料等使藥液滯留之裝置者。 依該構造，形成可在基板上只在放置有電極板之領域 進行選擇性的電氣化學處理。 如申請專利範圍第5項之於基板内進行選擇性電氣化 本處理之裝置，其中該逆極性電極板（只包含後述之海綿等） -18- 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 x 297公釐 548478 A7 B7 發明說明（10 比絕緣性基板小或比形成於絕緣性基板上之主動基板之 晝面顯示部稍大，且該逆極性電極板並為一兼作輕按壓於 絕緣性基板之逆極性電極板，其係藉在與該絕緣性基板相 對向之面貼上由多孔質軟性材料所製（薄的）而可使藥液滲 入之板，以兼作前述藥液滯留部者。 β依該構造，形成可在基板上只在兼用逆極性電極板按 壓之領域（或，其下面之海綿等所按壓之領域）進行選擇性 的電氣化學處理。 如申明專利範圍第6項之於基板内進行選擇性電氣 化學處理之裝置，其中該逆極性電極板係比該絕緣性基 板小或比形成於絕緣性基板上之主動基板之晝面顯示 邛稍大又，於其上下端具有比逆極性電極板稍大之開 口部，且於下端側之開口部周邊上填入具耐藥品性且柔 =密封材料’；而且在略偏下方處具有將突出之框狀 容器按壓入絕緣性基板之機構者。 依該構&，在基板上藥液不會露至外部且不會對基板 施加過度之按壓力’形成可在放置有框狀容器之領域㈣ 行選擇性的電氣化學處理。 消 五、 如申請專利範圍第7項之於基板内進行選擇性電氣化 學處理之裝置’其中該藥液滞留部係一升斗狀容器型藥液 滞留部’將該逆極性電極板保持於其内部’且比該絕緣性 基板小或比形成於絕緣性基板上之主動基板之晝面顯示 部稍：之開口端下侧開口周邊填入柔軟之密封材料之升 斗和谷，此外，並具有一按壓裝置係將此以適當之壓力 -19- 本紙張尺度㈣國家標準（CNS^^⑵Q χ挪公髮） 548478 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（17 ) 按壓入絕緣性基板者。 依該構造，不僅可在基板上選擇性地在放置有升斗狀 容器之領域内進行電氣化學處理，亦可抑制藥液之霧氣的 發生、大幅緩和電氣化學處理裝置之耐藥性及藥品之消費 性。 、 如申請專利範圍第8項之於基板内進行選擇性電氣化 學處理之裝置，其並具有一洗淨裝置，可於檢查等之處 結束後，以洗淨用液體洗淨填充於藥液處理空間内之罙 液’而該藥液處理空間則係將該框狀容器型藥液滯留部按 壓於該絕緣性基板時所得者，而該框狀容器係在上下端具 有比該逆極性電極板稍大之開口部，且在下側開口部周 填入柔軟之密封材料者。 依該構造，可藉純水將用於電氣化學處理之藥液加Μ 洗淨，因此無藥液黏附於絕緣性基板而擴散之顧慮，首先 將可輕易的防止電氣化學處理裝置腐蝕。 如申請專利範圍第9項之於基板内進行選擇性電氣化 學處理之裝置，其並具有一逆極性電極板溫度調整裝置， 係可使調溫用液體流過該逆極性電極板内部以調整逆極 性電極板之溫度者。 依該構造，可防止因電氣化學反應而產生之藥液之溫 度變化，並可提高電氣化學反應之反應速度等的安定μ 如申請專利範圍第10項之於基板内進行選擇2 化學處理之裝置，包含有用以使藥液循環之藥液循環 及將藥液溫度加以調整之藥液溫度調整裝置 藥 邊 以 性。 電氣 裝置 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 訂·. ‘紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 Χ 297公髮 -20- 548478

依該構造，可防止因電氣化學反應而產生之藥液之溫 度艾化’並可提向電氣化學反應之安定性。 申明專利範圍第丨丨項係如申請專利範圍第3或5項之 於基板内進行選擇性電氣化學處理之裝置，將具有導電性 圖形之緣性基㈣持於檯面上，在絕緣性基板之周邊部 將電極連接於導電性圖形上，將所定量之藥液供給於絕緣 性基板上而滯留，使逆極性電極板接近絕緣性基板而與絕 、，彖〖生基板上之藥液相接觸，在連接於導電性圖形之電極與 逆極性電極板間外加直流電場，而進行陽極氧化及真孔檢 查等之處理。 申請專利範圍第12項係如申請專利範圍第7項之於基 板内進行選擇性電氣化學處理之裝置，將具有導電性圖形 之絕緣性基板保持於檯面上，將藥液供給於框狀或升斗狀 之容器内，在絕緣性基板之周邊部將電極連接於導電性圖 形上，在該電極與容器内之逆極性電極板間外加直流電 場，而進行處理。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 如申請專利範圍第13項之液晶晝面顯示裝置，係在一 絕緣性基板及一與該絕緣性基板相對之基板或濾色片間填 充液晶而構成者，其中該絕緣性基板係具有： 在主平面上由多條一層以上之金屬層所構成之掃描線或除 該掃描線外並加上共通容量線及對向電極中至少其一、 以一層以上之絕緣層為中介而與該掃描線相交且由多條一 層以上之金屬層所構成之信號線、 設於該等掃描線及信號線之各交點之絕緣閘型電晶體、及 -21 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 548478 A7

五、發明說明（19 ) 連接於該絕緣閘型電晶體沒極之畫素電極；其特徵於··除 信號線及洩極配線外，形成於掃描線上或更加上共通容量 線上及對向電極上至少其一之绍纟矣猛 甘*7·丨/么 ^ 之纟巴緣層，其針孔係以絕緣物 填入0 依該構造，電流由針孔内之掃描線（及共通容量線上 或對向電極上）流向液晶内而可阻止液晶惡化之現象。 如申請專利範圍第14項之液晶影像顯示裝置，該液晶 裝置中基板之掃描線（及共通容量線或對向電極）係由可陽 極氧化之金屬所構成，絕緣層之針孔（至少底部）則係以該 金屬之陽極氧化物填入者。 依該構造，針孔内係以為絕緣物之陽極氧化金屬加以 絕緣，電流由針孔内之掃描線（及共通容量線或對向電極） 流向液晶内而可阻止液晶惡化之現象。 如申請專利範圍第15項之液晶裝置，其形成於該掃描 線上（及共通容量線上或對向電極上）之絕緣層，其針孔係 藉電著而以有機絕緣體填入者。 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 依該構造’不論掃描線之材質皆以為絕緣體之有機絕 緣體填入針孔内，電流由掃描線（及共通容量線或對向電極） 流入液晶而可阻止液晶惡化之現象。 如申請專利範圍第16項之液晶顯示裝置之檢查方法， 係用於下述液晶裝置之檢查者，該液晶裝置係在一絕緣性 基板及一與該絕緣性基板相對之基板濾色片間填充液晶而 構成者，其中該絕緣性基板並具有： 在主平面上由多條一層以上之金屬層所構成之掃描線或除

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五、發明說明（2〇) 该掃描線外並加共通容量線及對向電極中至少其一、 ----；----.----·裝— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 以一層以上之絕緣層為中介而與該掃描線相交且由多條一 層以上之金屬層所構成之信號線、 設於該等掃描線及信號線之各交點之絕緣閘型電晶體、及 連接於該絕緣閘型電晶體洩極之畫素電極； 而該主動基板之檢查方法，則包含以下步驟： 藥液滯留步驟，在該絕緣性基板及該電極板間將電解液加 以保持之步驟；及 針孔檢出步驟，係於掃描線或更加上該共通容量線及對向 電極中至少其一與該逆極性電極板之間外加一電場，而進 行形成於掃描線上或更加上該共通容量線上及對向電極中 至少其一上之絕緣層有無針孔之測試步驟。 依該構造，進行液晶控制板化且若不實施老化測試則可以 主動基板之狀態將無法檢查之掃描線上之針孔加以檢出。 如申請專利範圍第17項之主動基板之修正方法，係用 於下述液晶裝置之檢查者，該液晶裝置係在一絕緣性基板 及一與該絕緣性基板相對之基板或濾色片間填充液晶而構 成成者，其中該絕緣性基板係具有： 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在主平面上由多條一層以上之金屬層所構成之掃描線或除 該掃描線外並加上共通容量線及對向電極中至少其一、 以一層以上之絕緣層為中介而與該掃描線相交且由多條一 層以上之金屬層所構成之信號線、 叹於该等掃描線及信號線之各交點之絕緣閘型電晶體、及 連接於絕緣閘型電晶體洩極之畫素電極；而該主動基板之 -23 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 548478 A7

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548478 A7 B7 五、 發明說明（22 申請專利範圍第19項之修正方法㈣如申請專利範 圍第17項之主動基板之修正方法，在主動基板及電極板間 將電著液加以保持’於掃描線（或更加上該共通容量線及對 向電極）電極板之間外加電場，並以有機絕緣體填人形成於 知描線上（或更加上該共通容量線上及對向電極）之絕緣層 之針孔中者。 依該構造，不論掃描線之材質皆以為絕緣體之有機絕 緣體填入針孔内，電流由掃描線（及共通容量線或對向電極） 流入液晶而可阻止液晶惡化之現象。 訂 申請專利範圍第20項之修正方法亦係如申請專利範圍 第Π項之主動基板之修正方法，掃描線（及共通容量線或對 向電極）在由可電解處理之金屬層所構成之主動基板及電 極板間將電著液加以保持，於掃描線（及共通容量線或對向 電極）及電極板間外加電場，並對形成於該掃描線上或更加 上該共通容量線上及對向電極中至少其一上之絕緣層之針 孔内之掃描線或更加上該共通容量線及對向電極中至少其 一進行電蝕者。 依該構造，針孔内之掃描線（及共通容量線或對向電 極）將被電蝕而消失，電流由掃描線（及共通容量線或對向 電極）流入液晶而可使液晶惡化之現象將難以產生。 如申凊專利範圍第21項之於基板内進行選擇性化學處 之衣置係如申請專利範圍第7項之於基板内進行選擇性 化予處理之I置，其並具有一機構係對以升斗狀容器及絕 彖〖生基板所形成之空間内進行藥液、純水及乾燥氣體等供 -25- 本紙張尺度中國國家各咖X 297公爱） Λ發明說明（23) 、給及排出者。 依該構造，不僅可在基板上放置有升斗狀容 内進行選擇性的化學處理，還可抑制藥液之霧氣㈣生貝域 大幅緩和化學處理裝置之耐藥品性等。 玉 如中請料m"22項之於基㈣進㈣擇性化風 处理之裝置’係如申請專利範圍第17項之一種處理方法干 係將絕緣絲㈣持於檯面上，料斗狀容於絕緣 性基板上，將藥液供人升斗狀容器内以進行預定化學處 理’排出藥液後供給純水等並將升斗狀容器及絕緣性基板 ::洗淨，排出純水等後供給溫熱之乾燥氣體以使升：狀 容器及絕緣性基板乾燥者。 。亥構k，不僅可在基板上放置有升斗狀容器之領域内 進行選擇性的化學處理，還可抑職液之霧氣的發生並大 幅緩和設備之耐藥品性。 (圖示之簡單說明） 第1圖係例示一液晶控制板之裝配狀態之透視圖。 第2圖係例示一液晶控制板之等價迴路圖。 第3圖係例示一習知主要使用之液晶控制板之截面圖。 第4圖係例示一習知主動基板之平面圖。 第5圖（1)〜（6)係例示一習知例主動基板之製造步驟截面圖。 第6圖係例示一 ips方式之液晶控制板之截面圖。 第7圖係例示一 ips方式之主動基板之平面圖。 第8圖（1)〜（5)係顯示一依IPS方式之主動基板製造步驟之進 548478 A7 B7 五、發明說明（24 ) 展而變化之情形。 第9圖係顯示形成於掃描線上絕緣層之針孔之情形。 第10圖係顯示習知分批處理式之陽極氧化裝置之構造概 要。 第11圖係顯示第1實施態樣電氣化學處理裝置之構造及處 理之概要。 第12圖係顯示第2實施態樣電氣化學處理裝置之構迭及處 理之概要。 第13圖（1)〜(2)係例示一藉第3實施態樣電氣化學處理裝置 而進行處理之概要構造圖。 第14圖（1)〜(2)係例示一藉第4實施態樣電氣化學處理裝置 而進行處理之概要構造圖。 第1 5圖（1)〜(2)係例示一針孔内掃描線之陽極氧化處理後及 電著處理後之截面圖。 第16圖係例示一針孔内掃描線之電解處理後之戴面园 第17圖⑴〜(3)係例示一藉其他實施態樣電氣化學處理襄置 而進行處理之概要構造圖。 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) · 裝 . ' 經 濟 部 智 慧 財 產 局 消 費 合 作 社 印 製 以下，將本發明之實施態樣加以說明。 (第1實施態樣） 就弟11圖將本實施態樣加以說明。又，> 士 任本圖中關於 與習知例相同之部分、要素附加上同一符辨 1了 I而省略其說 明。而’該情形在其他圖及其他實施態例中亦相同。 -27- 548478 A7

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經濟部智慧財產局員工消費合作社印

成直列或並列之端子65由直流電源53賦予_(負）電位，對電 極板6丨由直流電源賦予+(正）電位，使用電流計測量流動於 端子65及電極板61間之電流值。因電流測量之範圍為# a 以上，而該測量系統不需要特別之高感度或高精度，因此 外加電壓亦為1〇V以下則將無任何問題。在掃描線8之絕緣 層上若不存在缺損部及針孔則電流將不流動，若存在有缺 損部及針孔則其大小及數量成比例之電流將流動，因而針 孔之檢出將極為容易。又，此時縱然針孔之直徑小於丨以爪 以下但絕緣層之厚度仍顯小，因此相當於掃描線等及藥液 間之距離之電位差將變大’進而藥液順利地滲入針孔内。 又，若無已整合之端子亦可如裝配步驟一般，以導電 f生媒體ACF67為中介將適當之導電性金屬板％按麼於掃描 線8之端子群6上’亦可順利的以導電性金屬板66代替端子 65。不僅可測量針孔之有無甚至欲測量針孔之分布，不與 全部之掃描線8接觸，而使用探針以測定每一條掃描線上之 泄漏電流即可。 在ips型液晶控制板上，如第7及8圖所示之共通容量線 4〇與掃描線相異且無需附加各一條電極端子，經常整合連 接^衫像顯不部外之領域，因此與該端子65相同的處理該 接~點’可進行對向電極或共通容量線4G上之針孔檢查。 針孔仏查結束後’藉電極板61之注入用孔反過來藉吸 引將表面之藥液加以回收或除纟，此後離開主動基板2使 (逆極性之)電極板61遠離，同時使主動基板由檯面離開， 進而形成以純水將殘留之藥液加以洗淨並除去後搬出化學 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 ·

本紙張尺度適用中國規格 :297公釐） -29- 548478 A7 五、發明說明（27 ) 處理裝置外。 (第2實施態樣） 本實施態樣，係在電極板内面貼上海綿以預先使藥液 滲入者。 在本實施態樣中，如第12圖所示在與主動基板2相對向 之電極板61内面預先貼上使藥液滲入之海綿6〇〇，由於將電 極板6 1按壓於主動基板2而使藥液僅滯留於特定領域者。針 孔檢查結束後藉主動基板2遠離電極板61，將附著於主動基 板2之藥液加以回收或除去並使主動基板由檯面離開，進而 形成將藥液加以除去後搬出化學處理裝置外。又，將海綿 貼或固定於電極板6丨上之元件的材質必須依藥液之化學性 質而預先考慮其耐藥性。 在本實施態樣中，由於併用海綿而使藥液藏在海綿 内又，藥液之補給僅在圖中未示之海綿内之藥品量減少 牯Ik日守進行即可，向基板2上移轉之量將變少。換言之，就 附著於基板2上以拿出或消費之藥液量及損失較少這點，若 預先將海綿之厚度增厚數111111以上，則對電氣化學處理外加 100V以上之高電壓將變得容易。 又，僅將海綿作成主動基板之檢查領域之形狀及 寸’電極板亦可作為廣泛運用之定型品。 更進一步，此時亦可貼上電極板之多數海綿。 (第3實施態樣） 本紙張尺度適用^國國家標準(5i^4規格（210 x 297公爱 頁 訂 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 尺 30- 548478 A7 B7 五、發明說明（28 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣 本實施態樣，係使用框狀容器者。 一邊參照第13圖，一邊就本第3實施態樣加以說明。 首先，將主動基板2移載至檯面60上以保持水平。其次， 於上下端具有比電極板稍大之開口部，且將下端側填入 柔軟密封材料68狀容器按押入主動基板2，將電極板61 插入框狀容器69内在距離主動基板2數111111處靜止，在框 狀容器69内滴入適當之電解液62如〇1規定之硝酸。64 係用以將電極板61加以保持及升降之支持棒。但，將框 狀容器69加以保持及升降之機構係容易且不影響到本 發明之宗旨，因此將圖示加以省略。 其次，在主動基板2之周邊部上對該端子65由直流電源 53賦予-(負）電位，對電極板61由直流電源賦予+(正）電位， 測i *動於端子6 5及電極板61間之電流值。針孔檢查結束 後雖於圖中未示以適當之方法將電解液62由框狀容器69内 除去後，將純水注入框狀容器69内，如此藉排出以進行電 解液之除去，較為理想之情形係以適當之方法將基板2乾燥 後’使電極板61及框狀容器69遠離基板2，繼續使2遠離檯 面60並搬出化學處理裝置外。 在本實施態樣中，由於併用框狀容器69而可將電解液 62藏入框狀容器69内。因此，在基板上可進行電解液之回 收及除去且同時不使電解液擴散及飛散，並可使電極板遠 離主動基板’因此對電氣化學處理外加l〇〇V以上之高電壓 將變得容易。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ·· 裝 本紙張尺度適用中_ ¥標準（CNS)A4規格咖χ撕公爱） 31 - 五、發明說明（29) (弟4實施態樣） 本實施態樣，係使用框狀容器者。 理2本：把：樣中使用不易使藥液擴散及飛散之專用處 :益。即’在前述之第3實施態樣中將對使用之框狀容器 力二之容器當作在開口部上填入柔軟密封材料⑼之升斗狀 谷器80。 以下’一邊參照第14圖，-邊將本實施態樣加以說明。 "先如本圖之⑴及⑺所示將主動基板2移載至檯面 6士0上以保持水平。其次，如⑺所示在内部具有電極板η同 時在下端具有較影像顯示部稍大之開口部，在下端側將填 入柔軟密封材料之升斗狀容㈣按壓於主動基板2上，藉藥 液供給口 8：1將適當之電解液62如〇1規定之确酸供給於升 斗狀谷时80内，由藥液排出口 82 _邊回收，—邊進行循環 供給。又，電極板61係固定配置於升斗狀容器内。而，圖 中未示，由於對該端子由直流電源賦予_(負）電位以及對電 極板61由直流電源賦予+(正）電位而進行電氣化學處理，電 亂化學處理結束後之電解液的排出及由於電解液之純水洗 淨的排出藉吹送乾燥氣體而進行升斗狀容器8〇内及基板之 乾蚝後使升斗狀谷為80遠離基板2，繼續使基板2遠離檯 面60以搬出電氣化學處理裝置外。 用以使電解液62循環之配管系統，係如本圖之（2)所示 將具有電解液供給桶85、電解液供給卿筒86之供給配管83 及升斗狀容态8 0以及電解液回收配管§ 2加以閉路化。又， 87係用以將電解液中之粒子及異物加以除去之濾光器， 548478 A7 五、發明說明（30) 係用以將循環之電解液62之溫度加以控制之冷卻器等的溫 度調整系統。又，由純水供給口 1〇1所供給之純水及乾燥供 給口 102所供給之惰性氣體如氮氣，藉切換閥9卜％之切換 而供入升斗狀容器8 〇。相同的由藥液回收口 8 2所回收之電 解液62及將升斗狀容器内加以洗淨之處理水以及用於將升 斗狀容器69内加以乾燥之處理氣體，藉切換閥93、94之板 項 合而與藥液循環桶85或排液（包含排氣）口 1〇3二者中任一 相連接。 在本貝^悲樣中，毫無在基板2周圍產生電解液及電解 液之霧氣的憂慮，而形成具極高安全性之電氣化學處理裝 置 在掃描線1 1上（及對向電極或共通容量線40上）之 針孔檢查中，泄漏電流導致電解液62之溫度上升幅度小， 因此不而電解液62之猶環，此時停止循環哪筒崎能減少 泄漏電流之u呆音而獲得理想之結果。

(第5實施態樣） 本貫施態樣，係使用以上之電氣化學處理裝置，且當 掃描線上之絕緣層存在有針孔時將矩陣基板加以修正者。 濟 部 智 員 工 消 費 、如主動基板2之製造步驟中之說明，使用各種金屬材料 作為掃描線。當掃描線材料藉陽極氧化而形成如“(鈕），AL 或其等之梦化物等的絕緣層時，使用在已述之實施態樣中 所說明之電氣化學處理裝置，選擇草酸或乙二醇等的形成 液作為藥液，當對掃描、㈣賦予+(正）電位，又，對由高純 度sus所構成之電級板61或塗佈有重金屬之⑽板^賦予 本紙張尺_ _家標準χ挪公髮）

I 五、發明說明（3i) —⑷電位時，如第15圖⑴所示針孔44内之掃描線⑴皮陽 極氧化而分別形成Ta*A1之陽極氧化層70且—部分填入 針孔44内。此時，形成電aAl〇〇〜2〇〇v又陽極氧化㈣之 厚度為0.2〜0.5/zm，且具有足夠之絕緣耐壓。 (第6實施態樣） 本實施態樣，係關於以有機絕緣物填入針孔者。雖以 有機絕緣體埋人針孔，但作為裝置若能確保必須之絕緣特 性亦無任何阻礙。由此觀點可見可形成電著之材料中，平 成4年亦揭示有電學論0112眷12號，以含有〇〇1%左右醯胺 酸鹽之溶液當作電著液，對掃描線丨i賦予—（負）電位，如 第15圖（2)所示可以聚亞胺層71填入針孔料内。電著電壓在 ιον左右時將會容易使聚亞胺層71之厚度成為丨#瓜。^出 聚亞胺層71後，以進行200〜3〇(rc、數分至數十分之熱處 理而提高聚亞胺層71之絕緣特性為理想，但藉絕緣閘型電 晶體之耐熱性及液晶材料之組成而支配，因此加熱條件係 以實驗性的決定較佳。該修正方法具有不限掃描線（及對向 電極或共通容量線）材質之優點。 (第7實施態樣） 本實施態樣，係將針孔部之掃描線加以斷線化者。 與前述兩個實施態樣相反地，當藉藥液進行之電解處 理之掃描線材料為Cr(鉻），M〇(鉬），Ti(鈦）等時使用本發明 之電氣化學處理裝置，選擇〇.〗規定左右之硝酸或鹽酸等的 548478 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 五、發明說明（32 ) 電解液作為樂液620，若對掃描線丨丨供給+(正）電位或對由 SUS板所構成之電極板61供給_(負）電位，針孔内料之掃描 線11將分別形成正的Cr(鉻）離子，Mo(鉬）離子，Ti(鈦）離子 亚溶於電解液62中，稀出於電極板61表面作

Cr(鉻），Mo(鉬），Τι(鈦）薄膜。在此以適當之時間繼續進行數 分至數十分之電解處理，如第16圖所示使針孔内44之掃描 線溶出數//m左右而形成缺損部71。亦接近掃描線丨丨之圖 形覓，但縱然使針孔發生部之掃描線丨丨消失成針孔狀，但 若準備有冗長構造或救濟迴路則容易使該主動基板回復成 優良產品。通常電解電壓為1〇〜5〇v即足夠。如此一來，僅 管因預先使針孔44内之掃描線n消失，而使液晶由針孔44 滲入而與殘留之掃描線丨丨產生電氣化學反應，因電氣化學 反應而產生離子等通過掃描線丨丨厚度為最多〇 · 3 # m之狹 窄空間卻花費相當的時間，可延緩顯示影像出現異常之時 間。 (弟8實施態樣） 本實施態樣，係關於裝置之冷卻者。 在上述說明中，在掃描線上之絕緣層上存有針孔時之 矩陣基板之修正方法亦與在掃描線上之絕緣層上存有針孔 時之檢查方法相同，因形成電流或電解電流而使藥液溫度 之上升幅度變小，因此無須電解液之循環。 然而，使用於基板内進行選擇性電氣化學處理之裝置 而進行電氣化學處理時，有藥液溫度之上升幅度大之情形 泰紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公蝥） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -35- 五 、發明說明（33 ) 結板大小為5—一之玻璃基板上 成：衣5型之XGA控制板之步驟，當將紹合金所構 =:加:陽極氧化時，若為定電形成則形成電壓為 务雷” ^ 、二過數“里而流動，因此無法避 =液之溫度上升。因此’必須使用適當之方法以避免 溫度上升。此時，若電解液之滯留量小則使溫度 调土水流動於電極板内部以調整電極板之溫度為佳。 若電解液之滯留量大，則使電解液循環以進行1溫度 調節較為合理。 / 將上述於基板内進行選擇性電氣化學處理之裝置之概 念加以擴大而得者係本發明於基板内進行選擇性電氣化學 處理之裝置，包含有： 一檯面60，係如第14圖所示用以固持絕緣性基板者，· 一按壓機構’係用謂升斗狀容㈣按壓於比主動基板 稍大之領域上者；其中該主動基板係形成於較該絕緣 性基板2小之領域或該絕緣性基板上者；其中該升斗狀 容器係於比該領域小之開口端填入柔軟之密封材料⑽ 者；及 一供給及排出機構，係用以對經按壓之升斗狀容器8〇内 供入及排出藥液或純水或乾燥氣體等者； 與前述於基板内進行電氣化學處理之裝置之差異有以 下3點，係不需直流電源及電極板、不需藉電力連接掃描線 及h號線等的電極線之方法及機構、比形成於絕緣性基板 上之主動基板稍大。當使用於基板内進行電氣化學處理之 -36- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 五、發明說明（34) 裝置而將主動基板進行化學處理時之處理方法如下。 首先，將絕緣性基板2保持於檯面60上且將升斗狀容器 80按壓於絕緣性基板2上。其次，—邊將藥液㈣由藥液供 給口 81供給於升斗狀容器80内，一邊藉藥液回收口 82回收 而進行藥㈣0之循環’以進行預料間之化學處理。其 後’停止藥液620之供、給’由（使用氮氣）升斗狀容器8〇内下 部之排出孔（圖中未示）以壓力將藥液咖排出後，供給純水 以將升斗狀容器80内急絕緣性基板2加以洗淨。進而，將洗 淨水由升斗狀容器排幻4，供給溫熱之氮氣以將升斗狀容 益80内及絕緣性基板2加以乾燥。絕緣性基板2之化學處理 結束後停止乾燥氣體之供給，使升斗狀容器8〇遠離絕緣性 基板2且使纟巴緣性基板2遠離檯面6〇，而收納至化學處理裝 置内之基板收納器或搬出化學處理裝置外。又，可清楚明 白化學處理結束後之藥液回收及洗淨水回收係除使用氮氣 將升斗狀谷為80内洗淨並押出外，特別於單邊裝配時是如 此，亦有使檯面60傾斜而由升斗狀容器8〇内流入回收口 82 之方法’因此亦必須與按壓升斗狀容器8〇之機構相對應。 (其他實施態樣） 第17圖上顯示有數個本發明之其他實施態樣。 本圖之（1)係在定型之電極板61上貼適合被檢查對象 之基板形狀及尺寸之海綿600者。（1.1)係同時檢查多數較 小尺寸之基板之狀態、（1.2)係只檢查一張較大尺寸之基板 之狀態。 -37- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） 548478 A7

五、發明說明（35 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制农 本圖之（2)係用以正確且迅速地進行基板之針孔檢 查，而在電極板上連接有藥液供給部、藥&吸㈣及㈣ 氣體送氣部之檢查裝置。 本圖之（3)係顯示藉紅外線（IR)加熱使溫度達到25〇它 左右，在此狀態下輸送臭氧等的氧化性氣體，藉氧化將針 孔部之鐵、鉬及鎢等的信號線加以絕緣化之情形。又，此 %必然以蓋套等將各基板之電極端子群加以保護。該實施 態樣中可同時進行多數及各種之基板修正，因此適用=多 種及多數之生產。尤其，預先準備適合各基板之蓋套等並 揉成本上之問題，因此依針孔之發生機率將形成大幅度之 成本削減。 以上’依數個貫施悲樣將本發明加以說明，但本發明 當然不限於該等實施態樣。即，例如以下之情形亦可。 (1) 第11圖所示並非1倒稜，如第13圖所示若將多數例 如4張55〇x 650mm之玻璃基板及15型之主動基板配置於1張 基板上時，個別或4個一起進行化學處理。 (2) 在導電性圖形上具有絕緣層之基板即顯示裝置，並 非在實施態樣中所取得之液晶影像顯示裝置，係 PDP(plamsa · display · panel)及有機EL等的矩陣型影像顯 示裝置之基板。 (3) 反射型之顯示裝置。 (4) 升斗狀容器之形狀，係上部呈尖狀等且嚴密地來說 並非長方體狀及升斗狀。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 38 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 0 裂 訂 五、發明說明（36) 由以上之說明可清楚明白，若藉本發明之於基板内進 行選擇性電氣化學處理之裝置，不將整個基板浸潰於藥液 可在基板上之特定領域進行選擇性電氣化學處理。 因此’使用枚葉式之小型電氣化學處理裝置即足夠。因此， 對於依基板之大型化㈣行之淨室設計及轉將不產生過 重之負擔。又，亦可能絲毫不產生藥液之霧氣及蒸氣。 人白知之化學處理裝置不同而可獲得不需排氣之 化學處理裝置，化學裝置之壽命將格外的延長，不需維持 費。進而，由安全性之觀點來看亦極為理想。 其次，在主動基板之狀態下，使用本發明之電氣化學 處理裝置可檢查出形成於主動基板上之掃描線上之絕緣層 之針孔之有無，因此可於早期發現進行液晶控制板化而不 進行長打間老化所無法檢得因針孔產生之斑狀污點，與成 本損失之削減及老化測試所相關之設備費及維持費將大幅 度減低。 進而，使用本發明之電氣化學處理裝置將形成於主動 基板上之絕緣層之針孔内之掃描線加以進行不活性化時， 發生因針孔引起之斑狀污點之憂慮將消失，且製品之產量 及品質將可獲得提昇。 元件標號對照表 1 液晶控制板 2 主動基板（玻璃基板） 548478 A7 B7 五、發明說明（37) 經 濟 部 智 慧 財 產 局 消 費 合 作 社 印 製 3 半導體積體電路接頭 23 半導體層 4 TCP膜 24 黑色矩陣 5 端子電極 30 閘絕緣層（第ISiNx層） 6 端子電極 31 不含不純物（第1)非晶 7 信號線（源配線、源電 質矽層 極） 32 第2SiNx層 8 掃描線（閘） 33 第2非晶質層矽層 9 彩色濾色片（對向之玻 37 純化絕緣層 璃基板） 38 形成於畫素電極上純 10 絶緣閘型電晶體 化絕緣層之開口部 11 掃描線 40 (IPS液晶控制板之）晝 12 ;ί言號線 素電極 13 液晶單元 41 (21)(IPS液晶控制板之 14 對向電極 晝素電極 15 蓄積容量 43 感光性樹脂圖形 16 共通容量線 44 針孔 17 液晶 48 領域 18(B)藍色濾色片 49 重疊之領域49(雙重斜 18(G)濾色濾色片 線部分） 18(R)紅色濾色片 50 (絕緣性）藥液容器 19 偏光板 51 樂液（畫誠液） 20 配向膜 52 接續圖形 21 洩極電極 53 直流電源 22 (透明導電性）晝素電極 54 電流計 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -40- 548478 A7

經濟部智慧財產局員工消費合作社印制衣 55 陰極（板） 94 切換閥 60 (基板）擾面 101 純水供給口 61 電極板 102 乾燥氣體供給! 62 電解液 103 排液口 63 藥液注入口 310 第1非晶質矽層 64 支持棒 320 第2SiNx層 65 端子 330 第2非晶質矽層 66 導電性金屬板 340 耐熱金屬層 67 導電性媒體ACF 350 低電阻配線層 68 密封材料 600 海绵 69 框狀容器 620 藥液 70 (掃描線之）陽極氧化層 71 (掃描線之） 80 框狀容器 81 藥液（純水）供給口 82 藥液（洗淨水）回收口 83 供給配管 85 電解液供給桶 86 電解液供給馬達 87 濾光器 88 溫度調整系統 91 切換閥 92 切換閥 93 切換閥 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ·. 線： 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -41 -

Claims (1)

1. ’ I告本

   經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

   本紙張尺㈣财關家鮮“ .一種基板，係於導電性圖形上具有以與其本身相異材質 之絕緣物埋入針孔之絕緣層者。 2· —種顯示裝置用之基板，係於導電性圖形上具有以與其 本身相異材質之絕緣物埋入針孔之絕緣層者。 3 ·種於基板内進行選擇性電氣化學處理之裝置，包含 有： 一保持裝置，係用以固持絕緣性基板者； 電極係藉絶緣性基板之周邊部而與形成於該經固持 之絕緣性基板上之導電性圖形相連結者； 某液π邊衣置，係用以使藥液僅滯留在比該絕緣性基 板上之絕緣性基板小之預定領域或比形成於絕緣性基板 上之主動基板之晝面顯示部稍大之預定領域上者； 逆極丨生電極板，係用以對該藥液供給與該導電性圖形 相反極性之電荷者；及 -藥液供轉φ裝置，係用以對制雜基板供給及排 出藥液者。 4·如申明專利範圍第3項之於基板内進行選擇性電氣化學 、之衣置其中该逆極性電極板為一具有預定尺寸及 片、之逆極f生電極板，其係遵照預定規則而比該絕緣性 基板小或遵照預定規則而比形成於絕緣性基板上之主 動基板之晝面顯示部稍大，且以該逆極性電極板接近該 絕緣性基板時所得之缝隙兼作滯留藥液用之藥液滯留 裝置者。 5·如申請專利範圍第3項之於基板内進行選擇性電氣化 χ297公釐） 請 讀f、 背 面 S1 意 事 項

   -42- 申叫專利範圍 处理之裝置，其中該逆極性電極板係遵照預定規則而比 忒繞緣性基板小或遵照預定規則而比形成於絕緣性基 板上之主動基板之晝面顯示部稍大，且該逆極性電極板 並為一兼作前述該藥液滯留部之逆極性電極板，其係藉 在與該絕緣性基板相對向之面上安裝由多孔質軟性材 料所製而可使藥液滲入之板，以兼作前述藥液滯留部 者。 6·如申凊專利範圍第3項之於基板内進行選擇性電氣化學 處理之裝置，其中該逆極性電極板係遵照預定規則而比 該絕緣性基板小或遵照預定規則而比形成於絕緣性基 板上之主動基板之晝面顯示部稍大之預定尺寸及形狀 者；又，該藥液滯留部係一框狀容器型藥液滯留部，於 其上下端具有比該預定尺寸及形狀之逆極性電極板稍 大之開口部，且於下端側之開口部周邊上安裝有柔軟之 密封材料之框狀容器；此外，並具有一按壓裝置，可於 该逆極性電極板放入其内之狀態下將該框狀容器型藥 液滯留部按壓於該絕緣性基板者。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 7.如申請專利範圍第3項之於基板内進行選擇性電氣化學 處理之裝置，其中該藥液滞留部係_升斗狀容器型藥液 滯留部，將該逆極性電極板保持於其内部，且於遵照預 定規則而比該絕緣性基板小或遵照預定規則而比形成 於絕緣性基板上之主動基板之晝面顯示部稱大之開口 端上埋人柔軟之㈣㈣之升斗狀容器：此外，並具有 一按壓裝置，可以其㈣材料為中介而將該升斗狀i器 六、申請專利範圍 型藥液滯留部按壓於該絕緣性基板上者。 8.如申請專利範圍第6項之於基板内進行選擇性電氣化學 處理之裝置，其並具有一洗淨裝置，可於檢查等之處理 結束後，以洗淨用液體洗淨填充於藥液處理空間内之藥 液，而該藥液處理空間則係將該框狀容器型藥液滯留部 按壓於該絕緣性基板時所得者。 9·如申請專利範圍第4或5項之於基板内進行選擇性電氣 化于處理之裝置，其並具有一逆極性電極板溫度調整裝 置，係可使調温用液體流過該逆極性電極板内部以調整 逆極性電極板之溫度者。 10.如申請專利範圍第6、7 4 8項之於基板岐行選擇性 電氣化學處理之裝置，包含有： 一藥液循環裝置，係用以使將該框狀容器型藥液滯留部 或升斗狀容器型藥液滯留部按壓於該絕緣性基板時所得 藥液處理空間内所填充之藥液循環者；及 某液/JBL度肩整裝置，係用以將該藥液之溫度加以調整 之藥液溫度調整裝置者。 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製

   1 1 ·種基板之電氣化學處理方法，係以如下用以於基板内 進行選擇性電氣化學處理之裝置進行者，該裝置包含 有·· 一保持裝置，係用以固持絕緣性基板者； 電極係藉纟巴緣性基板之周邊部而與形成於該經固持 之絕緣性基板上之導電性圖形相連結者； 一藥液滞留裝置，係用以使藥液僅滞留在比該絕緣性基

   本紙張尺㈣財ϋ鮮（CNS)A4祕⑵Q χ 六、申請專利範圍 板上之絕緣性基板小之預定領域或比形成於絕緣性基 之主動基板之晝面顯示部稍大之預定領域上者； -逆極性電極板，制以對㈣液供給與該導電性圖形 相反極性之電荷者；及 一藥液供給排出裝置’係用以對該絕緣性基板供給及排 出藥液者； 而該處理方法則包含有以下步驟： 固持步驟，係將具有該導電性圖形之絕緣基板固持於該 保持裝置上之步驟； 藥液滯留步驟，係將預定量之預定藥液供入該絕緣性基 板上預定領域並予滯留之步驟； 接觸步驟’係使該逆極性電極板接近該絕緣性基板並與 其上表面之藥液相接觸之步驟； 電極連結步驟，係在該絕緣性基板周邊部上將電極連接 於其導電性圖形之步驟；及 處理步驟，係在該電極及該逆極十生電極板間外加預定直 流電以進行預定處理之步驟。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 12·種基板之電氣化學處理方法，係以如下用以於基板内 進行選擇性電氣化學處理之裝置進行者，該裝置包含 有·· 一保持裝置，係用以固持絕緣性基板者； 一電極，係藉絕緣性基板之周邊部而與形成於該經固持 之絕緣性基板上之導電性圖形相連結者； 一逆極性電極板，係具有遵照預定規則比該絕緣性基板 本紙用中國國家標準伽)八4規格（21〇_ 297公釐） 六、申請專利範圍 小敦遷照料規職形成於絕緣絲板上之主動基相 之f面顯示部稍大之預定尺寸及形狀者； 一谷益型藥液滯留部’係於下端或上端具有比逆極性電 極板稱大之開口部，且於下端側之開口部周邊上安裝有 柔軟之密封材料之框狀或升斗狀容器者；及 知壓震置，係於將該逆極性電極板放人其内之狀態下 可將該容器型藥液滞留部按壓於該絕緣性基板者；U 而该處理方法則包含以下步驟： 口持V .驟係、將具有该導電性圖形之絕緣係基板固持於 該保持裝置上之步驟； C液ί、給步驟’係在該容器型藥液滞留部及絕緣性基板 上所形成之空間内供給預定藥液之步驟； 電極連結步驟，係在該絕緣性基板周邊部上將電極連接 於其導電性圖形之步驟；及 基板處理步驟，係在該電極及該逆極性電極板間外加預 定直流電並對基板進行預定處理之步驟。 13·—種液晶裝置，係在一絕緣性基板及一與該絕緣性基板 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 相對之基板或濾色片間填充液晶而構成者，其中該絕緣 性基板係具有： 在主平面上由多條一層以上之金屬層所構成之掃描線或 除該掃描線外並加上共通容量線及對向電極中至少其 以一層以上之絕緣層為中介而與該掃描線相交且由多條 一層以上之金屬層所構成之信號線、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公f ) -46- 548478 A8 g _______ D8 六、申請專利範圍 没於該等掃描線及信號線之各交點之絕緣閘型電晶體、 及 連接於該絕緣閘型電晶體洩極之畫素電極；其特徵於·· 除信號線及洩極配線外，形成於掃描線上或更加上共通 谷1線上及對向電極上至少其一之絕緣層，其針孔係以 絕緣物埋入。 14·如申請專利範圍第13項之液晶裝置，該液晶裝置中基 板之掃描線或更加上共通容量線及對向電極中至少其 一係由可陽極氧化之金屬所構成；又，將該掃描線或更 加上共通容量線及對向電極中至少其一加以覆蓋之絕 緣層’其針孔底部則係以該金屬之陽極氧化物埋入。 15.如申請專利範圍第13項之液晶裝置，其形成於該掃描 線上或更加上共通容量線上及對向電極中至少其一上 之絕緣層’其針孔係藉電著而以有機絕緣體埋入者。 16 · —種主動基板之檢查方法，係用於下述液晶裝置之檢查 者，該液晶裝置係在一絕緣性基板及一與該絕緣性基板 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 相對之基板濾色片間填充液晶而構成者，其中該絕緣性 基板並具有： 在主平面上由多條一層以上之金屬層所構成之掃描線或 除該掃描線外並加共通容量線及對向電極中至少其一、 以一層以上之絕緣層為中介而與該掃描線相交且由多條 一層以上之金屬層所構成之信號線、 設於該等掃描線及信號線之各交點之絕緣閘型電晶體、 及 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公f ) - 47- 548478 A8 B8 C8

   /、、申明專利範圍 經濟部智慧財產局員工消費合作社印制农 連接於該絕緣閘型電晶體洩極之晝素電極；而"亥主動基板之檢查方法，則包含以下步驟： 固持步驟，係將具有該絕緣性基板之掃描線及信號線之 面固持於上方之步驟；電極連結步驟，係將電極連結於該經固持之絕緣性基板 之掃描線上之步驟； 某液π遠步驟，係將該電極及逆極性電極板固持於該經 固持之&緣性基板上，並在該逆極性電極板及該絕緣性 基板上預疋位置間將電解液加以保持之步驟；及 針孔檢出步驟，係一面與該藥液滯留步驟整合，同時由 於掃杬線或更加上該共通容量線及對向電極中至少其 一與該逆極性電極板之間外加一電場並測定電流，而進 仃形成於掃描線上或更加上該共通容量線上及對向電 極中至少其一上之絕緣層有無針孔之測試步驟。 17·—種主動基板之修正方法，係用於下述液晶裝置之檢查 者，該液晶裝置係在-絕緣性基板及_與該絕緣性基板相對之基板或濾色片間填充液晶而構成成者，其中該絕 緣性基板係具有··在主平面上由多條-層以上之金屬層所構成之掃描線或除該掃描線外並加上共通容量線及對向電極中至少其 —— 、以一層以上之絕緣層為中介而與該掃描線相交且由多條 一層以上之金屬層所構成之信號線、设於该等掃描線及信號線之各交點之絕緣閘型電晶體、 請 先 閱 讀 背 面 之 注 意 事 項 填響·f裝 頁 丁 % 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 ： -48- 548478

   申請專利範圍 及 連接於絕緣閘型電晶體細之畫素電極；而該主動基板 ，修正方法則包含以下步驟：固保持步驟，係將具錢 名巴緣性基板之掃描線及信號線之面固持於上方之步驟； 電極連結步驟’係將電極連結於該經固持之絕緣性基板 之掃描線上之步驟； 藥液滞留㈣’係將該電極及逆極性電極板固持於該經 固持之絕緣性基板上，並在該逆極性電極板及該絕緣性 基板上預定位置間將電解液加以保持之步驟；及 不活性化步驟，係一面與該藥液滯留步驟整合，同時於 掃描線或更加上該共通容量線及對向電極中至少其一 與該逆極性電極板之間外加一電場，對形成於掃描線上 或更加上該共通容量線上及對向電極中至少其一上之 絕緣層之針孔内之掃描線或更加上該共通容量線及對 向電極中至少其一進行電氣性不活性化步驟。 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 8 ·如申明專利範圍第17項之主動基板之修正方法，其中 忒不活性化步驟係一陽極氧化步驟，即，於掃描線或更 加上該共通容量線及對向電極中至少其一係由可陽極 氧化之金屬所構成之活性基板及與其逆極性之電極板 ]外加電％，並對形成於該掃描線上或更加上該共通容 夏線上及對向電極中至少其一上之絕緣層之針孔内之 掃描線或更加上該共通容量線及對向電極中至少其一 進行陽極氧化者。 19·如申請專利範圍第17項之主動基板之修正方法，其中 -49 - 548478 六、申請專利範圍 該藥液滯留步驟係一電著液滯留步驟，即用以將絕緣性 有機電著液滞留以作為藥液之用者； 又，該不活性化步驟則係一埋設絕緣化步驟，即，於掃 描線或更加上該共通容量線及對向電極中至少其一與 該逆極性電極板之間外加電場，並以有機絕緣體埋入形 成於掃描線上或更加上該共通容量線上及對向電極中 至少其一上之絕緣層之針孔中者。 20·如申請專利範圍第17項之主動基板之修正方法，其中 該不活性化步驟係電蝕步驟，即，於掃描線或更加上該 共通容量線及對向電極中至少其一係由可陽極氧化< 金屬所構成之活性基板及與其逆極性之電極板間外办 電％，並對形成於该^f描線上或更加上該共通容量線 及對向電極中至少其一上之絕緣層之針孔内之掃描線 或更加上該共通容量線及對向電極中至少其一進行 名虫者。 21·如申請專利範圍第7項之於基板内進行選擇性化學％ 理之裝置，其並具有一流體供給排出裝置，俾對該升斗 狀容器内進行藥液、洗淨液及乾燥氣體中至少其一之供 給及排出者。 22·—種基板之化學處理方法，係以如下用以於基板内進行 選擇性化學處理之裝置進行者，該裝置包含有·· 一檯面，係用以固持絕緣性基板者； 一升斗狀容器，係在比絕緣性基板小之領域或比形成於 絕緣性基板上之主動基板稍大之領域上將柔軟之密封 I f 之 上 訂 電 處 線 本紙張尺度刺中目目家鮮（CNS)A4規格（210x297公爱 -50- 548478 T Α8 Β8 C8 1)8 六、申請專利範圍 材料埋入比該韻试0日 、或小之開口端周圍而構成者； 一按壓機構，係用U技在、丨 上· 、用謂料狀容器按壓於絕緣性基相 者，及 一供給及排出機構李 — 糸用乂對經按壓之升斗狀容器内你 入及排ϋ藥液或純水或乾燥氣體等者； 而，該基板之化學處理方法則包含有以下步驟： 一固持步驟，係用以將絕緣性基板固持在檯面上 驟； 減機構，係用以將升斗狀容器按壓於絕緣性基板之 步驟； 一預定處理步驟，係將藥液供人升斗狀容器内，而以絕 緣性基板為對象進行預定化學處理之步驟； 先淨γ驟係、排出藥液後供給洗淨用之流體並將升斗 狀谷益及絕緣性基板加以洗淨之步驟·，及 -乾燥步驟，係排出洗淨用之流體後，供給乾燥氣體， 而使升斗狀容器及絕緣性基板乾燥之步驟。 23·-種具有導電性圖形之基板，其上部有絕緣膜之金屬製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 信號線之絕緣膜的針孔部係藉#金屬之氧化物而絕緣 者。 24·如申請專利範圍帛！項或23項之基板，其中該基板係 作為液晶顯示裝置、光快門及光邏輯元件中任一之基板 者。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公f ) -51 -