TW548446B - Method and device for connecting display panel substrates - Google Patents

Description

548446 五、發明說明（1) 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於顯示面板美 裝置。 败I板之貼合方法及實施該方法之 【習知之技術】 顯示面板係貼合2片基板而製成者 明習知戶斤進行之基板貼〇驟。如圖U所*，由具^ ^ 驅動機構132之第1定盤（也稱為上部定盤）ΐ42保持美 11 0。相同地，由具備γ軸驅動祕M q /N 土板 下邳—般π 動機構之第2定盤（也稱為 下。卩疋盤）144保持配設密封材的第2基板112。觀察附於 1基板11 0和第2基板11 2的對準用標誌，由χ軸、γ軸及更 於第2定盤1 44之下部位置之0台丨6 2調節0軸。也就是 說，由旋轉驅動機構136在水平面内旋轉第2基板η 2 與第1基板進行位置對準。然後，藉由可沿箭頭八方^ 第1定盤142或是第2定盤144之定盤之上下升降機構138以 及加壓氣缸1 6 0，結果可壓迫基板以便進行基板貼合之動 作。在該2片基板之間隔（以下稱為單元間隙）並不一定之 情況下則會產生顯示不勻。由此，為了維持顯示品質， 必要適度維持單元間隙之穩定。該技術被稱為單元間隙 制（CELL GAP CONTROL)。又，眾所周知，以往至今已發^ 有多種藉由上述X軸驅動機構132、Y軸驅動機構丨34、^ 驅動機構1 3 6、上下升降機構1 3 8以及加壓氣缸1 6 0組成之 基板按壓機構。因此，若為熟悉該項技術者應可容易地組 成該等機構，在此，省略此等詳細之說明。 例如，使用玻璃基板等之液晶顯示元件製造之貼合步

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驟，係將玻璃纖維等組成之 同時，於基板間之單元内部 之間隔物來進行者。然而， 度下降等的負面效果。因此 於單元内部不配置間隔物而 所謂無間隔物液晶顯示器。 間隔物混入密封劑予以使用， 全面散佈樹脂、氧化矽等組成 精由間隔物之結果會招致對比 ’為了提升顯不品質，期望能 可進行精密的單元間隙控制之 此外’在近年來需求大增之有機EL面板等中，由於無法 在單兀内部全面配置間隔物，因此無法實現精密的單元間 隙控制。 又’在使用玻璃等基板的液晶顯示元件的情況，為了完 全密封單元内部，由於必須具有如下步驟：即、最初設置 密封材之步驟；及隨後於密封材上設置注入液晶媒體用的 開口部、且密封該開口部之步驟；因此，無法配佈密封材 以便由單一步驟來完全密封單元内部。由此，在注入液晶 媒體後，因加上密封該開口部的步驟，以致成為極為不易 確保密封部之接合強度的原因，因而有密封後會有液晶媒 體洩漏等的問題。 此外，於有機EL面板的情況，也因為必須於基板貼合時 排除單元内部的空氣，因此，大多採用所謂藉由密封材不 完全密封該面板，而是於其局部設置微小間隙’按壓基板 以便決定單元間隙，同時、再密封該間隙的加工步驟。然 而，因該間隙密封部之接合強度屢屢產生問通，由此會有 造成面板之顯示品質的下降，同時、也使製品之壽命變短 的問題。

91101304.ptd 第6頁 548446 五、發明說明（3) 【發明所欲解決之問題 本發明之目的在 明者，其提供一種 度設定單元間隙， 驟、亦即、單一之 基板之貼合方法及 【解決問題之手段 為了解決上述問 如下步驟： (1) 使第1基板， 内側區域間形成工 致合併後予以保持 (2) 於上述第1、 步驟； (3 )按壓上述第1 驟； 於，係鑑於上述習知問題點而提出之發 於基板貼合步驟時，可容易正確且高精 同時、由使用密封材之一次性密封步 密封步驟’可密封單元全周之顯示面板 實施該方法之裝置。 ] 題’根據本發明之貼合方法，其包含有 和配設有用以於第1、第2基板之端緣部 藝區域之密封材的該第2基板1 2位置一 的步驟； 第2基板間之上述工藝區域插入隔片的 、第2基板藉以決定上述單元間隙的步 (4) 硬化上述密封材的步驟；以及 (5) 抽出上述隔片的步驟。 如上所述，根據本發明，係由隔片來調節、決定兩基板 間的單元間隙後再硬化密封材。由此，可正確、高精度及< 各f地設定單元間隙。據此，本發明除適用於採用所謂貼 合前注入步驟之液晶面板之外，於有機讥面板等-的製造。 〃 關於本發明之實施形態部分，其較適宜包括在氣密之處·

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548446 五、發明說明（6) 件之總厚設定為 1、第2基板之相 及與此等外側$ 抽成真空，同日寺 盤並予以保持。 真空之狀態下， 構件之隔片插入 1基板接觸。 若為上述構成 於上側的基板， 持’其結果可防 板和定盤間成為 本身之彎曲，因 又，最好於顯 照射來進行密封 或是，也可藉 此外，根據本 施例，其主要可 内部具有分別保 片，隔片操作機 與指定之單元間 將隔片插入或抽 機構係為用以使 根據上述裝置 輔助隔片構 成為用以輔 的落下。結 以保持基板 實現更為穩 基板之貼合 化處理。 來進行該密 顯示面板基 下之構成要 、第2基板之 密封硬化機 之厚度。該 間而操作該 硬化者。 利用插入基 ，由於 因而， 止基板 真空藉 此，可 示面板 材的硬 由力口熱 發明之 具有如 持第1 構以及 隙相等 出基板 密封材 構成， 大於指定之單元間隙。其次，將分別與第 互對向之内側面呈相反側之各外側面，以 分別對面之第1、第2定盤的各接觸面間' ，使第1、第2基板分別密接於第j、第2定 再者，使處理室從常壓變化為真空。二 取代上^述步驟（2)之隔片，將附輔助隔片以 第1、第2基板間，並使輔助隔片構件和第 件係於重力方向支持設 助藉定盤之基板的保 合此後，不只是利用基 之情況，還可抑制基板 定之單元間隙。 方法中，可藉由紫外線 封材的硬化處理。 板之貼合裝置之較佳實 素。亦即，該裝置於豆 第1定盤及第2定盤，^ 構。該隔片具有實質上 隔片操作機構係為用以 隔片動作者。密封硬化 板間之隔片的厚度可決

548446 五、發明說明（7) 定單元間隙值，同時，在保持決定之單、 使密封材硬化之後，可抽出該隔片。因1隙值之狀態下 度地控制單元間隙，據此可提供高品質 可十確且咼精 此外，根據本發明之顯示面板基板之貼j不态。 佳實施例，又可包括將基板和定盤密接德5裝置之其他較 基板保持機構。該基板保持機構可將分用以保持基板之 之相互對向之内側面呈相反側之各外側與第1、第2基板 側面分別對面之第丨、第2定盤的各接，以及與此等外 同Ν'，使第1、第2基板分別密接於第1、★門，抽成真空， 關於本發明之貼合裝置之實施形態部八弟2定盤。 以區劃成貼合用處理室的處理室區劃 & ·’最好可包括用 在地將處理室從常壓改變為真空或從直办，以及可任意自 化用的壓力調整機構，又，該處理^ :改變為常壓之變 1及第2定盤所構成。 品s彳機構係主要由第 根據上述構成，可高精度控制上一 將裝置本身構成小型化裝置。 旱7^間隙，同時，可 又，根據本發明之貼合裝置， 隔片構件構成積層型構造之隔片萨 片以上之多片 獨立地操作各隔片構件，來調節=瞌二積層為可藉由相互 根據構成此種積層構造之隔片；：之士、厚度。 容易微調整單元間隙，因而可 2由抽出隔片構件，可 控制。 疋订更高精度之單元間隙的 此外’根據本發明之貼合裝置 塊狀隔片構件構 2實=，在由-個 茨^片構件為可改變單元間

91101304.ptd $ 11頁 548446 五、發明說明（8) 隙之形狀。 根據上述此蘇 該：片之基板間侧：構：如，使該隔片成為 的塊體’亦即為附錐二:越向前端而厚度減薄的；1 J隙即可决定單元間抽；更量?二或長度乂厂?為 、 更r^精度地微調整單一 ，根據本發明之貼合 ^ " 舌；：::面為由圓滑之橢圓曲線構：好使上述隔片構件包 5亥凝轉頭部可具有在工蓺冓成之旋轉頭部， 觸第】及第2基板藉以控制；；^空調間内進行旋轉而接 此外’第1定盤及第2定盤之雙’：：形狀。 時，其硬化機構最好為紫外線照射二=一方為石英定盤 盤外部直接將紫外線照射於宓封好、 该情況，係從定 此外，第!定盤及第2定盤i好；由=;=封：： 盤。該情況，通過定盤之加熱可使密封==熱定 【發明之實施形態】 頻小1 Φ W，土肝+放％又程度阳匕，並非為藉此來 特別限定本發明者。此外，對於以下之說明中所使用之各 圖内具有之相同構成部分，則賦予相同之元件編號，並省 略該重複說明。 此外，在本發明之實施形態部分，參照圖式1 1適宜地使 用已說明之藉定盤、X軸驅動機構、Y軸驅動機構、旋轉驅 以下，參照圖式說明本發明之實施形態。又，圖式僅為 概略地顯示可幫助理解本發明之程度而已，並非為藉此^ 別限定本發明者。此外，對於以下之說明中所使用之久 91101304.ptd 第12頁 °%446 °%446 五、發明說明（9) 勒機構、上 才冓，但是， =時，又並 等詳細之說 此外，在 曰曰曰顯示裝置 ^顯示裝置 板中一基板 ~前或密封 液晶注入方 密封後注 片基板中一 確定單元空 裁切密封材 再密封該裁 際預先設置。 另一方面，由於開發 晶亦不會對液晶不產生 能。該種密封材料，可 —v 商品名為「wor 1 d 1 〇ck 變性丙烯酸樹脂作為主 材塗敷於一方之基板上 壁，於該壁之内側區域 元空間區域充滿液晶之 下升降機構 此等機構本 非為本發明 明。 以下之實施 及有機EL顯 之情況，係 上。但是， 後將液晶注 法可通用， 入液晶之方 片基板上塗 間之單元間 ’並從該裁 切口。又， 以及加壓氣缸組成之基板按壓機 身之構成及功能為以往所公知者， 之要點所在’因此’也一併省略該 形態之說明中’係將本發明用作液 示裝置雙方之例子進行說明。有機 預先將有機EL層形成於貼合之2基 液晶顯示裝置之情況，係在基板密 入單元空間。因為在各構例中此等 因此先予以說明。 法’與習知方法相同，在貼合之2 敷密封材後進行2基板之貼合\在 隙後使密封材硬化。密封材硬化後 切口（液晶注入口）將液晶注入後， 液晶注入口也可於密封材之塗敷之 出了一種密封材料’即使有觸及液 不良影響’使彳寻密封前注人成為可 舉例有：由共立化學產業所販售之 No· 71 7」。该密封材料係以特殊 成份，具有適度的黏性。將該密封 、’形成單元空間用的封閉環狀的 滴下液晶。在包圍密封材之壁的單 後，確定單元間隙並進行2基板之

91101304.ptd 第13頁 548446 五、發明說明（ίο) 貼合。隨後再硬化該密封材。根據該密封前注入法，具有 不鵷於岔封材形成液晶〉主入口、及密封該注入口的步驟的 優點。 乂 * 又，省略顯示液晶注入步驟所必須之液晶注入裝置之圖 式、或注入口之形成、密封等的處理的圖式。 < 1 >關於貼合方法之說明 <第1實施形態> 圖1為顯示本發明之第1實施形態的圖。圖1(A)為顯示從 上方俯視顯示面板基板之貼合裝置（以下簡稱為貼合裝置) 内之基板形態的概略俯視圖。圖丨（B)為顯示沿著圖丨（A)中 之B — β虛線所作之剖面切口的圖。為了說明基板和隔片之 配置關係，對於實際上存在、且於貼合步驟中使用之第 1、（上邛）疋盤、第2 (下部）定盤，以及此等之操作機構只要 並無特別之需要則不予圖示（以下之各圖中也相同）。 參照圖1 (A )及圖1 (Β )，說明本發明之第1實施形態如 下。與習知方法相同，使第1基板丨〇和第2基板丨2對向使位 置一致。在保持該位置一致之狀態下，同時，使此等基板 在成為離開之狀悲下使基板相互對向並予以保持。與習知 方法，同’預先配設硬化前之柔軟之密封材丨4於第2基板 上’並在第1基板1 0和第2基板1 2間的端緣部内側區域間， 形成^藝區域30。工藝區域3〇為不用作顯示區域之空置區 域。该情況誠如眾所周知之方法，係使各基板丨〇及丨2之對 向面形成實質上相互平行之狀。 另一方面，隔片操作機構2 2係預先安裝好隔片2 〇。最好

548446 五、發明說明（11) 藉由隔片操作機構22進行操作以便將具有實質上與指定之 單元間隙d相等厚度的隔片2 0插入第1基板1 〇和第2基板工2 間的工藝區域3 〇内。然後，利用習知之按壓機構、例如未 圖示之伺服馬達或加壓氣缸，與習知方法相同，按壓第j 基板1 0和第2基板1 2以便使兩者向相互平行之對向面間接 近。藉由該按壓之過程，兩基板1〇、12並列挾持隔片2〇， 同時，使密封材之高度逐漸成為與指定之單元間隙d相 等，從而可決定單元間隙d。接著，與習知方法相同地， 在使密封材硬化之後，操作隔片操作機構22藉以抽出隔片 2 0 ° 在該圖1之構成例中，單元内部32為矩形狀空間，穷封 材14形成為圍住該單元内部32之矩形狀之柵攔或壁，^ 外，工藝區域30係為該密封材14之外側周邊的空間區域。 七此外，該構成例中，隔片20為塊狀之長方體塊，其所決 定基板間之間隔的厚度為固定。該構成例中，由於&用矩 形基板，因此，因此可將相同大小的隔片從東南西北之* 個，=同時插入較隔片之厚度更寬間隔的兩基板之間。 ，實施形態中，例如，玻璃基板、塑膠基板以及環 脂等均可適用於第1基板1〇和第2基板12，但阡 於此等材料。 儿个/、I艮 其ΐίϊ，在第1基板1〇和第2基板12為通常所使用之玻璃 基板的h況，習知方法中必須要有將樹脂、氧化矽等組 而，為滿足增高液晶顯示品質等的要求，此後之過程中， 之顆粒狀間隔物散佈於單元内部32全區域上的步驟。然

548446 五、發明說明（12) — 在玻璃基板、液晶禅辦# % 由將間隔物散佈於1:::1生質將不斷被改良’而使得藉 則^不必再需要此^^之配置變得並不需要的情況， 也Ϊ ^於Ϊ實施f態最好為有機EL面板基板之貼合步驟， 賢。此外早=:°P被無間隔物化之液晶面板基板之貼合步 片.....80片製取等的多片制取的$可，用於4片、8 同）。 夕片衣取的情況（以下之圖中也相 此外，該例中雖說明了 例子，但是並不僅限：： ：!："才14施於第2基板12上的 雖可將以往既已開始;^田也可配設於第1基板10上。 為間隔物的紫外線硬：型】/之二如包括含有以玻璃纖維作 密封材14，但是，只尊e f或。熱硬化型密封材用作為該 内此ΐ不ΐ Γ等!t料有：任=:到本發明之目的之範圍 斷而連續之密封材“係配設為中途不切 (B))。此外，考慮到以：；：:匕2(圖1⑴以及圖！ =声最好配置該密封材之厚；i大：;ίϊ定單元間隙’ 的厗度。但是，在 要大於彳曰疋之皁元間隙d 脹質事項的情況：；並:使得該密封材膨 …硬：紫外線硬化型密封材 熱在有必要組合2或3種以上種材之情況則進 ___ 重類的费封材的情況， 91l〇1304.ptd 第16頁 548446 五、 只 首 粒 合 液 隨 定 態 之 步 後 此 貼 度 的 段 隔 大 的 等 使 發明說明（13) 要進行各自必要之方法及步驟之組合即可。 於是’在製造採用玻璃基板等之液晶顯示元件的情況， 先’預先於構成單元内部32之基板内面上散佈間隔物顆 。然後，對向配 第1基板1 0及第2 晶媒體注入構成 後’進行本發明 、洽、封材硬化及 因尤其適合於會 主流型的，所謂 驟而極佳。然而 注入液晶媒體的 隔片20具有實質 ，「實質上與指 合步驟中，隔片 、溫度及紫外線 意思。 置第1及第2基板並進行定位。隨後在貼 基板1 2前，由未圖示之液晶注入裝置將 第2基板12之單元内部32的基板内面。 中採用之基板間插入隔片、單元間隙決 隔片抽出的各個步驟。該情況之實施形 成為今後液晶面板製作步驟中之預想中 「貼合前注入」步驟的液晶面板的製造 ’當然其在適用於第1及第2基板之貼合 習知基板貼合步驟方面也極為理想。 上與指定之單元間隙d相等的厚度。在 定之單元間隙相等」係指在上述基板之 所使用之條件，例如、在大氣愿、濕 照射等的條件下使用時與單元間隙相等

也就是却，T H

的條件^盥·«疋扣—定要在例如、隔片20本身之製造R η 2 'n * :人早兀間隙d完全相等的意思。因此，在製造 氣壓U:有必要留意在貼合隔片20之步驟所使用々 =步=溫度！的環境條件、及紫外線照射们" ，以隔片成為與指定之單元間隙“目 匕不叹叶製造隔片20本身。 之，

後封材硬化、抽出隔 、口 之厚度J 抽出丨阳片後之早元間隙，作為設計值之/ 548446

其較佳形態為，兮阪μ ^ 只要按照設計 ^片之厚度因依賴於單元間隙值 入|叩峄夂為較佳俏g θ 了復，而 裝置的單S間、ff 疋，在現時之題- 或約，厚度左右之程度。〗h且使^ “度為3〇_ 本二：書中’只要是在不損害到本 宜變更該隔片2G之形狀。例如，圖中2範圍 片』20以平面方式支持第1基板及第2基板之形能八j不將隔 型例，但是，也可盔如丄 日_ 攸&办也刀別作為典 或戥古4、±壮了為例 具螺紋梳形之複數齒，而i綠 m式支持上下基板之形態。由線 此等複數齒相互獨立動作的形態。 了為例如分別使 關於隔片20之材皙， 範圍内，可適宜丄到本發明之目的之 該材質。且進仏擇，但疋’最好可使用純鎳來作為 於疋隔片2 〇之製造方法最好例如藉由電鑄來執行。 一隔片操作機構22係由圖1(A)及圖1(B)中之長方塊所顯 =，該隔片操作機構22只要為向插入隔片20之方向或抽出 2片之方向來操作隔片2〇的構成，可為按照設計之任意適 宜構成之機構。例如，隔片操作機構22，只要是在不== 到本發明之目的之範圍内，可適宜進行選擇，但是，較& 之機構例如、可列舉出微型馬達、微型鍵控機構等。 圖1(A)及圖1(B)顯示相對於基板端緣呈垂直向地從東 南西北之4個方向插入隔片20藉以支持第1基板10及第2基 板1 2的形態，但是，作為不損害到顯示面板之品質的條

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五、發明說明（15) 件’也可僅從對向之2個方向插入隔片藉以支持基板等。 或是，例如，在基板的多個邊角部、如在4個部位或在對 向之2個部位的工藝區域插入隔片藉以支持此等基板。 作為決定單元間隙之機構，使用有按壓基板之機構。在 上述之構成例中，列舉有利用伺服馬達或加壓氣缸等機輔 式地按壓基板使基板抵觸隔片的方法，也可替代伺服馬達 或加壓氣缸，而使用例如藉壓縮空氣之空氣壓二 意合適的機構。 〃 藉由該構成，可以簡單之步驟正確地控制單元間隙。

外，在貼合前注入液晶媒體之情況，習知所需之注入口 ^封步驟變得沒有必要。在此基礎上，因為提高了單 氣密性，而可預防液晶媒體的漏出等，其結果可期待良率 之上升。 卞 <第2實施形態> =2為顯示本發明之第2實施形態的圖。圖以 上方俯視基板貼合裝置之狀態的概略俯視圖。: 示沿著圖2(〇中之B-B虛線所作之剖面切口的圖/ )為畜

參照圖2⑴及圖2⑻’說明本發明之第2實 下。在此說明之例子係為在氣密之處理室4〇内貼合 2板之方法。也就是說，該處理室4G係以第！（上部 =第2(下部)定盤44為主要之構成。第2 ): 器狀之，，第i(上部)定盤42 1 盍：功能？氣密性密封上下兩定盤。第1(上部)。 、…於，、空排軋糸，成為可使處理室内部進行真空排氣:

548446 五、發明說明（16) 構成。此外，處理室内部為可進行如上述般之種種基板驅 動、隔片驅動的構成。 在該處理室内，預先將隔片20安裝於隔片操作機構22 上。 該處理室40，與第1實施形態之說明相同，在含有第 1(上部）定盤42之處理室40内，使第1基板10和第2基板12 位置一致後，保持兩基板。在第1基板丨0和第2基板1 2中任 一基板上預先配設密封材1 4，以便在第1基板1 〇和第2基板 1 2間的端緣部内側區域間形成工藝區域3 〇。

然後’在本實施形態中，進行處理室4 〇内的排氣，以便 從常壓變化為真空狀態。該真空排氣處理係通過使用介由 具未圖示之壓力調整閥之配管而連接設於第1定盤之處理 室用供排氣口 48的處理室用真空泵52來進行者。於是，與 第1實施形態之情況相同，將實質上與指定之單元間隙4 ^目 等厚度的隔片20插入第1基板10和第2基板12間的工藝區域 八乂後使未圖示之祠服馬達或加壓氣缸進行操作藉以 t C弟1基板1 〇和弟2基板1 2以便於決定單元間隙d。接 者，與上述第1實施形態之情況相同，在使密封材硬化之 後’抽出隔片2 0。

士本說明書中，處理室4〇係指包括在密封材丨4被硬化前 日1、’ f為密封基板間前之單元内部32之預定空間（以下、 稱為單元内部預定空間）。 上::態:是顯====

91101304.ptd 第20頁 548446 五、發明說明（17) ' " ' ' ------ 脂等的任意合適的黏合劑，也可使用例如類似〇型環 i 他構件。 、' 又，該實施形態中，顯示使處理室40、亦即、單元内部 丁只定空間及該外部處理室空間為真空之形態，但是，; 其目的主要係使單7C内部預定空間成為真空，因此， 採用某種機構而僅使單元内部預定空間成為真空。 在此，本說明書中，「常壓」係指環繞本發明之裝置之 大氣壓，「真空」之用語係指藉由吸引空氣而使壓力低於 大氣壓之事項。該真空程度係藉由排放空氣時之吸引力來 進行比杈。该真空程度可按照該目的作適當之選擇。 預 藉由上述構成，尤其是於該製造所使用之材料對濕氣和 氧氣較弱的有機EL面板之製造步驟中，可排除對面板品 產生很大影響之此等要因，同時，可以簡單之步驟進行正 確之單元間隙控制。此外，並無如習知需設置空氣口般設 置密封材的必要，因而可削減製造之面板之用於品質管理 之工夫及成本等。此外，因為提高面板本身之氣密性，而 可寄望於顯示品質及製品壽命的上升。 圖3為顯示本發明之第2實施形態之變形例的圖。圖3(a) 為顯示從上方俯視基板之貼合裝置之狀態的概略俯視圖。 圖3(B)為顯示沿著圖3(A)中之B-b虛線所作之剖面切口的 圖。 參照圖3(A)及圖3(B)，與第2實施形態相同，在處理室 40内預先將隔片20安裝於隔片操作機構22上。使第1基板 1 0和在第1基板1 〇及第2基板1 2間的端緣部内側區域間形成

91101304.ptd 第21頁 548446 五、發明說明（18) 工藝區域3 0般配設密封材1 4之第2基板1 2位置一致後並予 保持。然後，通過使用介由具未圖示之壓力調整閥之配管 而連接處理室用供排氣口 48的處理室用真空泵52來吸引包 ^第1定盤42及第2定盤44之處理室40内之空氣藉以使處理 室4 〇從常壓變化為真空狀態。接著，將實質上與指定之單 元間隙d相等厚度的隔片2 0插入第1基板1 〇和第2基板1 2間 的工藝區域30内。 一咳變形例中，尤其是使被真空化之處理室4 〇、亦即、單 元内部預定空間和該預定空間外的區域，在此等空間區域 間的氣壓差實質上維持成為零之狀態下，返回常壓。 、於是，與第2實施形態之情況相同，使未圖示之伺服馬 達或加壓氣缸進行操作藉以按壓第1基板1 〇和第2基板1 2以 便決定單元間隙d ’接著，在使密封材硬化之後，抽出隔 片2〇。 讀變形例中’加上使單元内部預定空間和該外部處理室 a間之大氣壓實質上維持在相等之狀態下返回常壓的理由 $下。藉由急劇地將空氣流入處理室4 0，使單元内部預定 ^間和該外部處理室空間之大氣壓產生氣壓差。在殘留該 氣壓差之狀態下，若密封基板間則基板會產生彎曲，因 此’該單元間隙d例如、在單元中央部和周邊部會產生差 異。藉此，使其不產生氣壓差而返回常壓，可防止該基半 之彎曲的產生。 從真空返回常壓之步驟，最好在接近第1基板1〇和第2基 板1 2之狀態下進行。

第22頁 548446 五、發明說明（19) 此％供應之空氣最好係介由例如濾淨器等而可以 在此如圖2之說明，也可具傷僅使單元内部預定空間 產生真空之某種機構。 f由上述構成’在例如使用易彎曲性之基板之顯示面板 ^造步驟中’可以簡單之步驟進行正確之單元間隙控 制。 第2此A外板;2圖之3(位A)晋及圖ΓΒ)之構成例中，在從第1基板1〇及 =2基板1 2之位置一致化直至密封材之硬化結束的步驟 4伴：ΓΛ板10/第2基板12分別和第1定盤42及第2定盤 相Ϊ = 定盤之密接，係、分別在與各基板之 相互對向之内側面呈相反側之外側面、及盥此 別對面之各定盤42及44的各接觸面間進行。了二 接’藉由自設於第1定盤42及第2定般；了達成6亥 口 4fii去* Λ 盤之基板保持用排氣 通過八未在此圖示之壓力調整閥之配 ，持用真空泵50的真空福’進行排氣藉以直 J。又，此等基板保持用供排氣口4 ;= 分別吸引保持第丨基板丨。及第2基板12用== 在此’保持基板用的真空程度，與處理室 J關，只要可充分保持基板即可。在有必要使處理； 成真空的情況，有必要調節保 ^ 排放空氣用的吸引力不致使重Λ =二一工的私度以便使 板，本構成例中、尤其是第i基板1〇落下。、上側的基

548446 五、發明說明（20) 該構成不僅在第2實施形態之變形例為如此，也可適用 於本發明之所有實施形態。 此外，排氣口之大小、設置數等可藉由所需之面板規 作任意變更。 ’ 彎：由該構成，在保持基板之同時可有效防止基板本身的 的ίϊ :圖3⑻所示，在使處1里室40形成真空 外t ί ，於使處理室40形成真空的空氣吸引力，最好係 = 比讼接第！基板!。及第2基板12用的空氣吸引力要、 第2定盤44 基板10的落下，或是、由 元間隙。持之弟2基板12的偏離’因此，可正確控制單 <第3實施形態〉 圖4為顯示本發明之第3實施 =基板剖面之切口的概略圖。=合裝置 視；=(A)中的情況相同而省略說明。方俯視基板之俯 中：隔、片心明3 施形態如下。該構成例 構件心、第：二^ 積層型隔片。此笼最展别隔片構件2〇c等所構成之 相同’但也可為片之各隔片構件之厚度最好為 可相互分離狀：ίϊ ί隔=插各；片構件係重疊成為 ^片之插入步驟前，預先分別將 91101304.Ptd 第24頁 548446

第1隔片構件2〇a、第2隔片構件2〇b及第3隔片構件2〇c之浐 部安裝於各隔片操作機構22a、22b、22c上。 此等隔片構件20a、2013及2〇(：係在重疊之狀態下插入某 板間。如上所^般，密封材硬化後’將單元間隙(1保持^ 一定。因此，密封材硬化後，對單元間隙d間無任何妨礙 地，可抽出重疊隔片構件之隔片中位於中間位置的隔片構 件0

藉此，該構成例中，留下接觸並支持第1基板1 〇和第2 J 板12之隔片構件、亦即第！隔片構件2〇a及第3隔片構件j 2 0 c，也就是說，在由隔片構件支持上下基板之狀態下， 藉由操作第2隔片操作機構22b抽出實質上位於中央部的阳 片構件、亦即第2隔片構件2〇b。接著，藉由操作第j隔片P 操作機構22a及第3隔片操作機構22c，分別抽出留下之隔 片構件、亦即第1隔片構件2 0a及第3隔片構件2〇c。藉由」 述步驟之後，利用抽出前之多個隔片構件的總厚度可老 制單元間隙d。 '

在此，在抽出部分隔片構件之步驟中，支持基板之隔片 構件不一定要限制在1片，也可藉由2片或3片以上之隔片 構件來支持基板。此外，實質上位於中央部之隔片構件也 =同。藉此’ 「實質上位於中央部」不一定為包括以隔片 整體為中心線的隔片構件，其也包括不接觸上下基板亦不 予支持之隔片構件的意思。 在抽出實質上位於中央部之隔片構件、亦即第2隔片構 件2〇b之際，有必要極為小心地相對於基板呈水平地進行

第25頁 548446

548446 五、發明說明（23) 此外’如圖4所示’本發明之實施形態係由3個隔片構件 來構成隔片’因而最好利用抽出前之3個隔片構件之總厚 度來控制單元間隙。 圖5 ( A )及圖5 (B)為顯示本發明之第3實施形態之變形例 的概略圖。又’因其從上面俯視基板之俯視圖與圖丨（A)中 之情況實質上相同而省略說明。

^照圖5(A)及圖5(B)進行說明時，該實施形態係為在肩 有貝貝上與才曰疋之單元間隙d相等厚度的隔片上加上輔助 隔片構件21，之使用附輔助隔片之隔片的例子。該輔助傾 片？二2 1之厚度為’例如、H厚度的#，當將附輔助隔片 ί U入ί板間日”需確保有比指定之單元間隙d大的 π二4丄山#丨隹保為d + H的厚度。接著，在密封材14硬 片構件21，藉由按壓基板而微調整其成為 ^。 疋8家d。然後，硬化密封材1 4後來控制單元間 厚：實Si單；隔片之隔片也可為使其本身:

為厚度總計實質上盥卜目4,1塊狀的隔片。或是，也、 片構件，亦即、、由重^之早元間隙d相等的2片以上的F

及第3隔片構件2〇c等隔片構件2〇a、第2隔片構件2〇 ^ ,.. 寸尸斤構成之積層型隔片。 邊附輔助隔片構件_妒 1 ^ 下基板不接觸的配置。又最 没為如圖5(Α)所示般與· 然而’本發明之實

液晶顯示元件之製限於上述情況。尤其I ^ V驟中，在該實施形態適用於包括]

548446 五、發明說明（24) _ 合=入液晶媒體之步驟的貼合方法的情 兀内部預定空間保持為高直空。 要將早 的指對貼合前注入液晶媒趙之情-… 此日守，在使第1基板丨〇和第j定盤42之 :藉以保持第!基板!。的情況， 二為吸广狀態 ，理室4。、亦即使單元内部預定 之了及引力與 ^ ^ ^ ^ ^^ ^ l 1" 在此，該情況中，如圖R m π — 冷Γ幻&愿。 第1基板10的位置配置輔助不構：採取併用於接觸支持 盤間成為真空的保持機構構成。，並和使基板及定 先二：r實施形態之構成例，首 該附輔助隔片隔片總厚度比單元間隙大。將 而，产隔片s又於處理室内之指定位置。另一方 外側面？及與及此第等之；互對向之内側面之各相反側之 面間藉抽取以便達成^=分別對面之第1及第2定盤的接觸 接保持於第i及第is: ’同時，分別將第1及第2基板密 真空。將輔助隔片槿：土。接著’使處理室由常壓變化為 第1基板藉以支持基板入基板間，使輔助隔片構件接觸

在此，追加之錦日A 片。 補助^片構件不僅限於1片，也可為多 藉此，在將多片輔 況，最好先抽出夫j隔片構件配置成支持上部基板的情 接觸上部基板之輔助隔片構件，最後再

91101304.ptd 548446 五、發明說明（25) 抽出接觸上部基板的輔助隔片構件。 圖5(B)中為容易理艇 ^ u ^ , 易里解而將輔助隔片構件21圖示Α mr短’但是’只要是在不損害到本發ί 此外，在有必要使構件相同或較長。 :狀隔片構件21的形狀做成例如：螺= 回狀4，以確保將該間隙作 —文梳形之 如此，藉由使用輔助隔片 ^孔 可保持上下之基板，從目^接近之狀態下 此外，尤其是將基板和:合位置。 持，將單元内部預定空間成；；；觸=真空進行保 行貼合的情況，藉由隔片及定二 ^疋成為高真空進 的狀態下確實支持基板，而可二其二二，此之間隔變窄 是可提高易彎曲性之基板的貼合^产:一空，因此，尤其 此外，為了要求將單元内部預二 顯示元件的製造，在適用於貼人‘ =4成為尚真空的液晶 力方向配設成接觸上部基板之配=沾入步驟的情況，於重 輔助定盤之基板保持而可防止基^的，助隔片構件，藉由 可利用在基板與定盤間形成真^來=落下。加上此，不僅 板本身的彎曲，因此可實現^ 二持基板，也可抑制基 又，本發明之實施形態中，最^的單元間隙控制。 型密封材，而硬化密封材之步驟总，密封材為紫外線硬化 者。 ’、藉由紫外線照射來進行 又，本發明之實施形態中，最 1史遗封材為熱硬化型密 第29頁 9lI〇】3〇4.ptd J幷δ待40 五、發明說明（26) __ 封材，而硬化密封材之步驟 如上所述，在密封材為外』加熱來進行者。 第1定盤及/或第2定盤為石英定私硬化型密封材的情況，使 置即可。 、土，並設置紫外線照射裝 < 2 >貼合裝置之說明 ::明之構成例。 板1 2的第i定盤42及第2定二4 : : :1基板1 〇及第2基 置。該裝置包括如下主要槿占· ^ =面板基板之貼合裝 間隙d相等厚度的隔片2() . •將貫質上具與指定之單元 把鬥二m 片為了將隔片2〇插入或抽出於其 板間而用以操作隔片2〇的摔 飞抽出於基 ^ 又么封材1 4的硬化機構。 明it二照圖11 ’與說明之習知技術的情況相同，本發 以纲=置弟1疋盤及第2定盤係於χ軸和γ軸上再加上具有用 2定^Λ軸的各驅動機構，又具有升降第1定盤42及/或第 如二,Λ升降機構。又，為了決定單元間隙d，具有例 此黧=壓氣缸或伺服馬達的按壓基板及定盤用的機構。 =4栈構由於為普通常用機構，故在此省略該具體構 動作的說明。

此外， 壞，最好 又，最 除去機構 的溶劑， 本發明之貼合裝置中，為了防止基板受到帶電破 可在接觸基板之所有部分形成絕緣性的素材。 好於本發明之貼合裝置上裝備如離子淋浴的靜電 。或是，於處理室内壁預先適度塗敷例如酒精等 可有效防止基板帶電。

548446 五、發明說明（27) 此外’根據本發明之貼合裝置，如圖3(示 形態為包括分別將基板密接保捭於定和μ # t 60。該基板保持機構6。，例：持板保持機構 基板!2之外侧面、及與此等]卜側：匕與第1純10和第2 凡矛外側面分別相對面之第1定 =定=和第2定盤、亦即下部定盤“的接觸 面間抽成真工，同日守，可分別將第j基板 ; = = ;上：該基板保持機構6〇係為兩定盤42、“； 真工排，糸者，包括將設於各定盤42、“上的貫穿孔仏作 2 η口’及連接該供排氣口之例如介由 閥的配管（未圖示）而連接的基板保持用真空泵5〇等。乃正 又，根據對應於本發明之圖3的貼合裝置，最好 以！畫巧貼合用之處理室4〇的處理室區劃機構58 ;以及可 任思自在地將處理室40從常壓變化為真空或從直空 遷力調整機構62。該處理室區劃機構58在 5亥構成例中主要係由第1及第2定盤42和44所構成。如此， 藉由利用定盤42及44來構成處理室4〇，可將裝 造小型化。 ^ ^ 在該構成例巾’壓力調整機構62係為真空排氣系， 將，於一方之定盤、如各定盤42、44上的貫穿孔48作為供 排ί 口及-連接该供排氣口之例如介由具備壓力調整閥的 配官（未圖不）而連接的基板保持用真空泵5 2等。 真空排氣系’可共用和上述基板保持機 另外，最好在真空泵附近設置如防塵、水分除去、有機 m 91101304.ptd 第31頁 548446 五、發明說明（28) —- 溶媒等的除去用的如類似濾淨器的機構。 又’根據對應於本發明之圖4的貼合裝置，最好係由3 以上之多片隔片構件、亦即第1隔片構件20&、第2隔3片 件20b及第3隔片構件20c等構成積層構造之隔片。藉 使各隔片構件可相互獨立地進行操作而可調節該隔片9之雜 厚。該情況，各隔片構件之插入基板間側的部分係為重〜 疊，但是，隔片構件操作機構22a、22b、22c側的部'分， 可相互預先分離以便可個別地取出各隔片構件。此外77，’ 可不使相互分離，而為相互接觸狀，只要為可一片一 ^ 抽出各隔片構件之狀態即可。 隶好疋由3片隔片構件來構成該隔片。 又’根據本發明之貼合裝置，最好是由1片隔片構件來 構成該隔片。該情況使隔片具有可變化單元間隙之形狀 者。該情況之構成例將參照圖6(A)及圖6(B)進行說 <第4實施形態> 圖6(A)及圖6(B)為說明本發明之第4實施形態的概略 圖，為=包括貼合裝置内之基板及隔片之剖面切口者。 又丄因二從上方俯視基板之俯視圖與圖1 (A)中的情況相同 此爹=、，6(A)及圖6(B)進行說明時，本發明之第4實施形 1ί有隔片形狀為在插入基板10及基板12侧的- H前 厚度減薄之楔形之楔形隔片24。 圖6 (A )顯不剖面鼻物， ,..^ ΰ 9/| ^ 马彳六形板狀隔片形狀的例子。根據該構 成例’ 片24係為附錐面之塊，· ·.—…· · … 548446 五 、發明說明（29) 由正、長方體之塊體上加上三角柱體之塊體的形態組成之 —體構造。構成三角柱體之稜線前端係為該長方塊體的插 入端’而與該長方體之三角柱體相反側部分係為安裝於隔 片操作機構2 2側。該圖6 ( A )所示之構成例中，該三角柱體 之剖面可為正三角形或二等邊三角形者。 >又’作為隔片例如也可使用複數之鉛筆狀的隔片構件 等’只要是在不損害到本發明之目的之範圍内，可變更隔 片的形狀。 例如’圖6(B)所示之隔片24之構成例中，與第1基板1 〇 接，側之面為傾斜面，以便越向前端該隔片24之厚度形成 越f狀’但是’與第2基板1 2接觸側之面則為水平面。 藉由該附，面之隔片之構成，利用一種隔片即可應對複 g :斤期待之單兀間隙的控制。由於以1片1%片操作機構2 2 因此，在有關隔片本身之製造成本、運用成本等方 句可獲得成本顯著降低的優良效果。 <第5實施形態> 圖7 Β為顯示將貼合裝置内之基板及隔片卹切之力 形態用的剖面切口的概略圖。轉"…之早獨動作 圖8(A)為從上方俯視對應於圖了（ 之概略俯視圖，相同地，圖 （度可變型隔片2 7⑻之厚度可變型隔片26之二：=方；視對應於圖 中之C-C虛線俜Λρι7(<λ、Ώ门，，視圖。圖8(A)及圖8(Β. 線係為圖7(Α)及圖7⑻之剖面用的虛線。 五、發明說明（30) 根據該實施形態之裝晋， 面由圓滑之糖圓曲線構成的；；可變型隔月26包括其縱剖 可為橢圓柱或旋轉橢圓體=碩部26a。s亥旋轉頭部26a 係將橢圓之長軸和短軸之$ =。此外，这紅轉頭部26a 或短軸旋轉的構造。 ”、、乍為旋轉中心而構成繞長軸 該旋轉頭部26a藉由在工蓺 於改變該旋轉頭部26&之# = 了或30之工隙間内旋轉，由 觸的仿罢m Fb表面與第1基板10和第2基板12接 觸：位置，因此，可控制單元間隙d。 “反12接 在厚度可變型隔片26中， 30之空隙門肉％丄A 疋轉頭426a最好在工藝區域 所一 ’二B ，猎由靛轉頭部操作機構26b，使沿圖 轉，—旋轉： =此，「縱剖面」係指將如圖8(A)及圖8(β ^型隔片26之旋轉頭部26a作為隔片上方向 /度 向朝下方向由C-C虛線剖開之剖面。 ^上方 此外，該實施形態中，不只有完全交替旋轉頭部26a剖 面之長軸和紐軸的情況，也包括在中途、亦即在旋轉頭部 之紐轴或長軸相對於基板不呈垂直之傾斜狀態下來支持 板的形態。 口在此，旋轉頭部26a係為橄欖球狀之立體形狀的構件， f要是在不損害到本發明之目的之範圍内，也包括藉由此 等j旋轉來接觸支持基板之形態。 藉由該構成，由於基板和隔片之接觸面變得極小，從而 減沙了損害到基板面的可能性。此外，若旋轉頭部2 6 &在

第34頁 548446 五 發明說明（31) 態下可支持基板，，於可以i種類 二 期待之單元間隙，因此，在 片二狀來 用成本方面，可發揮優良之成本降低效果。成本及運 ，根據本發明之貼合裝置，上部 ^好係為石英定盤，又，硬化機構最好為次下部定盤 裝置者。 ~八’象外線照射 二：據本發明之貼合裝£，上部定盤及下部定 為由金屬構成之加熱定盤。 JHL 可 :土述已說明之道理，上述各實施形態中 組貼合基板制】告1 H α 了 k 1 ^ 衣k1片顯不面板之例子，但是，不難理組太 組貼合基板分離、製取多片顯示面板之適 用於夕面基板製取之形態。 圖9為用以將本發明適用於多面製取基板之情況的單元 間隙的說明圖。 圖1 0為用於比較之用途而將習知技術適用於相同多面製 取基板之情況的單元間隙的說明圖。 、 在此所使用之多面製取基板，其中一例為40 0mm x 400mm 的正方形玻璃基板。從此等基板之貼合基板，區劃成例如 個之個別單元（或顯示區域（窗））。由元件編號7〇代表該 單το。各單元區域係由設於格子狀的密封材所圍住。由元 件編號72代表該密封材。在該例中，單元形狀為長方形 狀，其長邊為34· 54mm，短邊為25. 91 _。例如，配設為8 行1 0列的矩陣狀’使鄰接之單元之行及列方向之各中心間 距離為4 0 m m。

91101304.ptd 第35頁 548446 五、發明說明（32)

測定如此之1組貼合基板之 外周（周邊）區域、包括中心點的部位。之單元間隙，求得 左右上下的區域的各平均值。、中心區域、中心側的4個 圖9及圖1 〇中，外周區域係為 域，包括中心點的中心區域係 點線和虛線所圍住之區 域，及中心側的4個左右上下區1由2點虛線所圍住之區 線和2點虛線所圍住之區域。使域之各區域係為分別由虛 為中心區域之平均值，c為右上&區為外周區域之平均值，b 域之平均值，e為右下區域之平1之平均值，d為左上區 值。 句值，f為左下區域之平均 根據本發明，在使用隔片所貼合 板）的情況，a = l. 33mm、b = 1. 32mm、d 32^圖9所示之基 d = 1.32㈣、e = 1_31mm 及 f = 13l_。根據該二、 單it _和最小單元間隙的差值為Q.^ =

隙精度也極為優良。又，該情況使用之隔片，ς B 示之1片構成的隔片。 回 另一方面，不使用隔片，在根據習知方法所獲得之貼合 基板（圖10所示之基板）的情況，a=1.43mm κ 3imm、、 c=1.33mm、d = 1.34mm、e = 1.32nim 及f = 1.32mm。根據該結 果，顯示最大單元間隙和最小單元間隙的差值為〇 i 此後其單元間隙精度也極為惡劣。 ’ram 【發明之效果】 如上所述，根據本發明之顯示面板基板之貼合方法及實 施該方法用之裝置，可以簡單之步驟正確地控制單元門

548446 五、發明說明（33) 隙。此外，對適用於含有貼合前注入液晶媒體之步驟之貼 合步驟及有機EL面板之貼合步驟之情況而言也極佳，由於 習知所需之液晶注入口之密封步驟已成為無必要，因此， 可在製造成本削減以及面板品質上升等方面作出極大的貢 獻。 【元件編號之說明】 d 單元間隙 10 第1基板 12 第2基板 14 密封材 20 隔片 20a 第1隔片構件 20b 第2隔片構件 20c 第3隔片構件 21 輔助隔片構件 22 隔片操作機構 22a 第1隔片操作機構 22b 第2隔片操作機構 22c 第3隔片操作機構 23 輔助隔片操作機構 24 楔形隔片 26 厚度可變型隔片 2 6a 旋轉頭部 26b 旋轉頭部操作機構

91101304.ptd 第37頁 548446 五、發明說明（34) 2 6c 旋轉頭支持部 30 工藝區域 32 單元内部 40 處理室 42 第1 (上部）定盤 44 第2(下部）定盤 46 供排氣口 48 供排氣口 50 真空泵 52 真空泵 58 處理室區劃機構 6 0 基板保持機構 6 2 壓力調整機構 70 單元 72 密封材 110 第1基板 112 第2基板 132 X軸驅動機構 134 Y軸驅動機構 136 旋轉驅動機構 138 上下升降機構 142 第1定盤（上部定盤） 144 第2定盤（下部定盤） 16 0 加壓氣缸

91101304.ptd 第38頁 548446 五、發明說明（35) 162 0 台 162 91101304.ptd 第39頁 548446 圖式簡單說明 圖1 (A)及圖1 (B)為_ - 4 v w ΑΛ ^ 冷顯不本發明之第1實施形能的同 1(A)為顯示本發明之韻 心〜、的圖，圖 略俯視圖’圖1 ( B )為_ _ 要4的概 夕^頌不沿著圖i (A)中之B —R声& _ m 剖面圖。 可口 uγ b虚線所作之 圖2(A)及圖2(B)為_ 冗nR马颂不本發明之第2實施形態的圖，FI 以A )為顯不本發明之晶首 口 圖 略俯視圖，圖2⑻為板基板之貼合裝置之要部的概 剖面圖。 ）為顯不沿著圖2⑴中之Η虛線所作之 圖3 ( A )及圖3 (Β)為兮阳士 a 仏、 巧况月本發明之第2實施形態之變形办丨 的說明圖，圖3(A)為顯干士 & n 〈夂形例

巧”、、貝不本發明之顯示面板基板 置之要部的概略俯視圖，mβ胃 土攸 < 貼合I η η上 凡131圖3 (Β )為顯示沿著圖3 (A )中夕 B-B虛線所作之剖面圖。 u v/w甲之 圖4為說明本發明之箆q… 弟3 κ轭形恶的說明圖，為提供 之一例之說明用的概略剖面圖。 供^片 圖5(A)及圖5(B)為說明本發明 < 第3 f施形態之 的說明圖’為提供隔片之又一其他構成例之說明用的概例略 剖面圖。 圖6(A)及圖6(B)為說明本發明之第4實施形態的的 例的概略®，為提供隔片之再-其他構成例之說明用的概 略剖面圖。 圖7 (A )、圖7 (B)及圖7 (C)為說明本發明之第5實施形熊 的概略圖，為提供隔片之再一其他構成例之說明用的概〜略 剖面圖。 圖8(A)及圖8(B)為說明圖7(A)及圖7(B)之隔片26用之概

91101304.ptd 第40頁 548446 圖式簡單說明 略俯視圖。 圖9為說明根據本發明使用隔片而獲得貼合基板之單元 間隙的說明圖。 圖1 0為說明不使用隔片而利用習知方法而獲得貼合基板 之單元間隙的說明圖。 圖1 1為說明習知基板貼合步驟及貼合裝置用之要部的概 略模式圖。

91101304.ptd 第41頁

Claims (1)

1. 公 告本 專利範ΐΐ "" " --—_ 1 · 種顯不面板基板之貼合方、、土 包含有如下步驟： 方去，其特徵為： (1)使弟1基板，和配設有/^以 ^ 内側區域間形成工藝區域之密封鉍、第2基板之端緣部 致後並予保持的步驟； “才的該第2基板位置一 步Τ於上述第1、第2基板間之上述工藝區域插入隔片的 驟⑻按壓上述以、第2基板藉以決定上述單元間隙的步 (4 )硬化上述密封材的步驟；以及 (5 )抽出上述隔片的步驟。 2.如申請專利範圍第1項 ;步驟⑴和步驟(2)之間，將處理室= 上 的步驟。 1攸吊壓變化為真空 3 ·如申請專利範 _ 其中，包括在上、十、ΐ第 面板基板之貼合方法， 上述處理t，在步驟(3)<間，使被真空後之 間外之空間之間的；；；：二：：定空間和該預定空 回常壓的步.驟。£差只貝·1始終維持&零之狀態下返 4中如：請專利範園第μ之顯示面板基 及與此；==向之内側面呈相反側之各外側面，以 專外側面分別對面之第1、第2定盤的各接觸面間，

   91101304.ptd 第42頁 548446 六、申請專利範圍 抽成=同時’使上述第1、第2基板分別密接於上述第 1、第2疋盤並予保持。 5 ·申明專利範圍第4項之顯示面板基板之貼合方法， 其I敕i處理室内進行上述貼合之情況，設定用以使該處 理至甘工4奴成為真空之空氣吸引力，比用以密接上述第1、 第2基板之空氣吸引力要小。 6.如申請專利範圍第丨項之顯示面板基 ::積二°係由3片以上之多片隔片構件構=可* 二構造時’利用該多片隔片之總厚度來調整由上 述步驟U )所決定的單元間隙， 上述步驟（5)係按如下步驟執行，首先，留下接觸、支 持上述第1、第2基板的隔片構件，抽出實質上位於中央部 位置的隔片構件，然後再將留下之隔片構件抽出。 、° 7 ·如申請專利範圍第1項之顯示面板基板之貼合方法， 其中’上述隔片係由呈一定比例使厚度變化之附錐面塊狀 的隔片構件構成時，從插 入狀態抽出該隔片，同時，氕敫 由上述步驟（3 )所決定之單元間隙。 1 8·如申請專利範圍第1項之顯示面板基板之貼合方法， 其中’再於上述隔片上加上輔助隔片構件，預先σ將該隔’片 與輔助隔片構件之總厚度設定為大於指定之單元間隙， 於上述步驟（2)中將上述附輔助隔片構件之隔片插入第 1、第2基板間，以及， 藉由抽出輔助 於上述步驟（2)之後、上述步驟（3)之前 隔片構件來微調整指定之單元間隙。

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   六、申請專利範圍 其9中如圍第2項之顯示面板基板之貼合方法’ 與輔助隔加上輔助隔片構件，預先將該隔片 尚片構件之總厚度設定為大於指 將分別與上述第丨、 又早兀間隙， 側之各外側s 土 互對向之内側面呈相反 第2定盤的各接及f此等外側面分別對面之上述第卜 皿的各接觸面間，抽成真空，同時 進Λ'密接於上述第1、第2定盤並予保持； 在：理/從常壓變化為真空的上述步驟； 上述第1第ΤΓΛ，將上述附輔助隔片構件之隔片插人 基板接觸^ ▲板間’亚使上述輔助隔片構件和上述第！ 盆中0.，Ύ專利範圍第1項之顯示面板基板之貼合方法， 丄。申上射來進行上述密封材的硬化處理。 盆中.，利Λ㈣1項之顯示面板基板之貼合方法， '中糟由加熱來進行上述密封材的硬化處理。 第卜第2二不面法=之貼合裝置，係為具有分別保持 弟1弟2基板之第！定盤及第2定 裝置，其特徵為：包括 2之』不面板基板之貼合 隔片，具有實質上虚指宏夕 _ 操作機構，係為用；;將上π等之厚度； 作該隔片動作者；以及 隔片插入或抽出基板間而操 硬化機構，係、為用以使密封材硬化者。 置1 w 12項之顯示面板基板之貼合裝 置其中，又包括基板保持機構，係將分別與上述第卜

   91101304.ptd 第44頁 ^446 ^446 六 第申請專利範圍 --" ~----- ^反之相互對向之内側面呈相反側之各外側面，以θ 間，分別對面之上述第！、第2定盤的各接：面及 迷第1第2Ϊ盤同時，使上述第1、第2 3 4基板分別密接於上 置1 (其如申請專利範圍第1 2項之顯示面板基板之貼合 構心;及可it κ區劃成貼合用處理室的處理室區割機 從真空變化在地將上述處理室從常壓變化為直空或 室區~ ^ ί吊之變化用的壓力調整機構，又，ΐ #或 1551機構係主要由第1及第2定盤所構成Λ该處理 .。申請專利範圍第12項之 直其中，在τ^μ 々 叫傲暴板之貼合裝 時，該隔片ίΓΛ以上 隔片構件來構成上述隔片 忒隔片之總厚度的積層構造。 隔片構件，來調節 1 6如申清專利範圍第} 2項之顯示面 置’其中，上述隔片係由3片之隔片=之貼合裝 1 7.如申請專利範圍第1 2項之顯示面板。 置，其中，在由-個隔片構件構成隔反基板之貼合裝 具有可使單元間隙變化之形狀。 月蚪，使該隔片構件

   91101304.ptd 第45頁 1 8·如申請專利範圍第1 7項之顯示面 置，其中，插入上述隔片之基板間側 土板之貼合裝 2 知而居度減涛的彳契形狀者。 、纟而，係為越向前 3 1 9·如申請專利範圍第12項之顯示面 4 置，其中，上述隔片構件包括其縱 基板之貼合裝 5 線構成之旋轉頭部， ° 為由圓滑之橢圓曲 548446 六、申請專利範圍 該旋轉頭部具有在工藝區域之空隙間内進行旋轉而接觸 第1及第2基板藉以控制單元間隙的形狀。 2 0.如申請專利範圍第1 2項之顯示面板基板之貼合裝 置，其中，上述第1定盤及第2定盤之雙方或任一方係為石 英定盤，並且， 上述硬化機構係為紫外線照射裝置。 、 2 1.如申請專利範圍第1 2項之顯示面板基板之貼合裝 置，其中，上述第1定盤及第2定盤係由金屬構成之加熱定 盤。

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