KR100922801B1 - 액정표시장치의 제조 장치 및 액정표시장치 제조 방법과 이를 위한 액정표시장치 제조 공정용 경화 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정표시장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 풋프린트 저감 및 택 타임의 저감을 이룰 수 있도록 함과 더불어 합착 기판의 제전 효과는 향상시킬 수 있도록 한 새로운 구조의 액정표시장치의 제조 장치 및 액정표시장치 제조 방법과 이를 위한 액정표시장치 제조 공정용 경화 장치에 관한 것이다.
이를 위해 본 발명은 한 쌍의 액정표시장치 제조용 기판을 합착하는 합착부와, 상기 합착된 기판을 반송받아 씨일재를 경화하고, 상기 씨일재의 경화를 위한 동작이 수행되는 도중에 상기 기판으로 이온을 제공하는 이온 제공부가 구비되어 이루어진 경화부가 포함되어 구축됨을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 장치 및 (가) 한 쌍의 액정표시장치 제조용 기판을 합착하는 단계; (나) 상기 합착된 기판을 반송받아 상기 기판의 씨일재를 경화함과 동시에 상기 기판으로 이온을 제공하여 상기 기판을 제전하는 단계; 그리고, (다) 상기 경화 및 제전이 완료된 기판을 반송하는 단계:가 포함되어 진행되는 방법을 제공한다.
Figure R1020050053127
액정표시장치, 레이아웃, 제조 방법, 제전, 이오나이저, 경화 장치

Description

액정표시장치의 제조 장치 및 액정표시장치 제조 방법과 이를 위한 액정표시장치 제조 공정용 경화 장치{Manufacturing device for LCD and manufacturing method for LCD and hardening device for LCD}
도 1 은 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치 제조 공정용 레이아웃의 구조를 나타낸 개략적인 블럭도
도 2 는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치 제조 방법을 설명하기 위한 개략적인 순서도
도 3 은 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치 제조 공정용 열경화 장치의 내부 구조를 설명하기 위한 개략적인 측단면도
도 4 는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치 제조 공정용 열경화 장치의 내부 구조를 설명하기 위한 개략적인 정단면도
도면의 주요 부분에 대한 부호 설명
10. 합착부 20. UV 경화부
30. 열경화부 31. 이온 제공부
310. 챔버부 311. 도어
312. 선반 313. 제1순환통로
314. 제2순환통로 320. 열발생부
330. 송풍부 340. 구획부
341. 필터체 350. 이오나이저
본 발명은 액정표시장치에 관련된 것으로써, 특히, 액정표시장치를 제조하기 위한 제조 장치와, 이를 이용한 액정표시장치의 제조 방법 및 액정표시장치 제조 공정용 열경화 장치에 관한 것이다.
일반적으로 액정표시장치(LCD;Lipuid Crystal Display Device)는 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 특징에 따른 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)을 대체하고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송신호를 수신하여 디스플레이 하는 텔레비전 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.
상기한 액정표시장치는 통상 화상을 표시하는 액정 패널과 상기 액정 패널에 구동신호를 인가하기 위한 구동부로 크게 구분될 수 있으며, 상기 액정패널은 일정 공간을 갖고 합착된 한 쌍의 기판과, 상기 각 기판 사이에 주입된 액정층으로 구성된다.
통상, 액정표시장치의 제조는 합착 공정과, 경화 공정이 순차적으로 진행되면서 이루어진다.
상기 합착 공정은 씨일재(sealant)의 도포 및 액정 적하 후 소정 영역의 셀 (cell)을 만들기 위해 C/F(Color Filter) 기판과 TFT(Thin Film Transistor) 기판을 서로 합착하는 공정이다.
상기 경화 공정은 상기 합착 공정을 수행한 후에 상기 씨일재를 경화하기 위한 공정으로써 UV경화 공정 및 열경화 공정을 각각 포함한다.
이때, 상기 UV경화 공정은 상기 합착된 합착 기판을 반송 받은 후 일차적으로 빛의 조사를 이용하여 씨일재의 경화를 수행하는 공정이다.
또한, 상기 열경화 공정은 상기 UV경화 공정에 의해 일차적으로 광 경화된 합착 기판을 반송 받아 고온의 열을 이용하여 상기 씨일재 뿐만 아니라 액정 모두에 대한 전반적인 경화를 수행하는 공정이다.
그러나, 전술한 종래의 액정표시장치 제조 과정에서 상기 합착 공정은 진공 상태로 진행된다.
특히, 각 기판은 정전기에 의해 척(chuck)에 흡착된 상태에서 서로간의 합착이 이루어지기 때문에 합착 공정 후에도 상기 기판에는 많은 정전기가 존재하게 되고, 이러한 정전기에 의해 불량 발생율이 증가된 문제점이 있었다.
이에 따라, 종래에는 상기 UV경화 공정 후(後) 열경화 공정을 수행하기 전에 별도의 제전(除電) 공정을 수행할 수 밖에 없었다.
이로 인해, 상기 제전 공정을 위한 장비의 추가 설치 공간이 필요시되어 전체적인 레이아웃의 길이 즉, 풋프린트(footprint)가 증가되었을 뿐 아니라, 택 타임(tact time)이 증가될 수 밖에 없었던 문제점이 있었다.
또한, 상기한 제전 공정은 전체적인 액정표시장치의 제조를 위한 택 타임의 증가를 최소화할 수 있는 시간 내에서 짧게(대략 10분 이내)만 수행되었기 때문에 기판의 충분한 제전이 이루어지지 못하였으며, 이로 인해 정전기로 인한 불량 발생의 위험이 항상 존재할 수 밖에 없었던 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 각종 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 본 발명의 목적은 액정표시장치 제조 장비의 풋프린트 저감 및 택 타임의 저감을 이룰 수 있도록 함과 더불어 합착 기판의 제전 효과는 향상시킬 수 있도록 한 새로운 구조의 액정표시장치의 제조 장치 및 액정표시장치 제조 방법과 이를 위한 액정표시장치 제조 공정용 경화 장치를 제공하고자 한 것이다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조 장치는 한 쌍의 액정표시장치 제조용 기판을 합착하는 합착부; 상기 합착된 기판을 반송받아 씨일재를 경화하고, 상기 씨일재의 경화를 위한 동작이 수행되는 도중에 상기 기판으로 이온을 제공하는 이온 제공부가 구비되어 이루어진 경화부:가 포함되어 구축됨을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 액정표시장치 제조 방법은 (가) 한 쌍의 액정표시장치 제조용 기판을 합착하는 단계; (나) 상기 합착된 기판을 반송받아 상기 기판의 씨일재를 경화함과 동시에 상기 기판으로 이온을 제공하여 상기 기판을 제전하는 단계; 그리고, (다) 상기 경화 및 제전이 완료된 기판을 반송하는 단계:가 포함되어 진행됨을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 액정표시장치 제조 공정용 경화 장치는 다수의 기판이 수납되는 챔버부; 상기 챔버부 내에 수납된 기판을 경화하도록 고온의 열기를 발생하는 열발생부; 상기 챔버부 내의 공기 및 고온의 열기를 상기 챔버부 내의 각 부위로 순환시키는 송풍부; 그리고, 상기 챔버부 내로 이온을 제공하는 이온 제공부:가 포함되어 구성됨을 특징으로 한다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 액정표시장치의 제조 장치 및 액정표시장치의 제조 방법과 이를 위한 액정표시장치 제조 공정용 경화 장치를 첨부한 도 1 내지 도 4를 참조하여 보다 상세히 설명하면 하기와 같다.
먼저, 첨부된 도 1과 같이 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치의 제조 장치는 합착부(10)와 경화부가 순서대로 구축됨을 특징으로 한다.
여기서, 상기 합착부(10)는 한 쌍의 액정표시장치 제조용 기판(도시는 생략됨)을 합착하는 역할을 수행하는 장치이다.
그리고, 상기 경화부는 상기 합착된 기판의 씨일재를 경화함과 동시에 제전(除電) 공정의 수행이 가능하도록 구성된 장치이다.
상기한 씨일재의 재료로는 UV경화형 씨일재를 사용하는 것이 바람직하며, 상기 UV경화형 씨일재로는 양 말단에 아크릴기가 결합된 폴리머를 개시제와 혼합하여 사용하거나, 한쪽 말단에는 아크릴기가 다른쪽 말단에는 에폭시기가 결합된 폴리머를 개시제와 혼합하여 사용할 수 있다.
본 발명의 실시예에서는 상기 경화부가 서로 별개로 이루어진 UV 경화부(20) 및 열경화부(30)를 포함하여 구성됨을 제시하지만, 상기 UV 경화부(20) 및 열경화 부(30)는 서로 일체형을 이루도록 구성될 수도 있다.
상기한 경화부 중 UV 경화부(20)는 상기 합착부(10)에 의해 합착된 기판을 반송받아 UV를 이용하여 상기 합착 기판의 씨일재(sealant)를 일차적으로 경화하는 역할을 수행하는 장치이다.
이때, 상기 UV 경화부(20)에 의해 경화되는 씨일재는 완전히 경화되지 않고, 그 형태의 고정이 가능할 정도로만 경화되도록 동작됨이 바람직하다.
또한, 상기한 경화부 중 열경화부(30)는 제전용 이온 제공부(31)를 포함하여 구성되며, 상기 UV 경화가 완료된 합착 기판을 반송받아 상기 합착 기판을 고온의 열기로 열경화함과 동시에 상기 이온 제공부(31)를 통해 제공되는 이온으로 상기 합착 기판을 제전하는 역할을 수행한다.
이때, 상기 열경화부(30)에서는 씨일재 뿐만 아니라 액정 모두에 대한 전반적인 경화가 수행된다.
전술한 바와 같은 본 발명의 실시예에 따른 레이아웃의 배치 구조는 전술한 레이아웃의 각 장치에 의해 진행되는 공정 중 열경화 공정이 가장 긴 시간 동안 진행됨을 고려할 때 상기 열경화 공정의 진행 도중 제전이 동시에 이루어지도록 함으로써 충분한 기판의 제전이 이루어질 수 있도록 구현한 것이다.
물론, 이온 제공부(31)를 합착부(10)에 구비할 수도 있고, UV 경화부(20)에 구비할 수도 있다.
하지만, 상기 이온 제공부(31)를 합착부(10)에 구비하여 합착 공정이 진행되는 도중 제전이 이루어지도록 구성된다면 정전기로 척(chuck)(도시는 생략됨)에 흡 착된 기판이 떨어질 수 있다는 문제점이 야기된다. 이로 인해 합착부(10)에서 제전 공정을 진행하기 위해서는 합착 공정이 완료된 후 반송전에 수행되어야 하는데 이의 경우 제전 공정이 합착 공정과는 별도로 진행됨에 따라 결국, 별도의 제전 시간이 소요된다.
또한, 상기 UV 경화부(20)에 의한 경화 시간은 짧기 때문에 상기 이온 제공부(31)를 상기 UV 경화부(20)에 구비하더라도 상기 기판의 충분한 제전이 이루어질 수 없기 때문에 바람직하지는 않다.
따라서, 제전 공정은 열경화 공정이 진행되는 도중 상기 열경화 공정과 함께 진행되도록 한 본 발명의 실시예에 따른 구조가 가장 바람직하다.
이하, 전술한 본 발명의 실시예에 따른 레이아웃을 이용하여 액정표시장치를 제조하는 과정을 첨부된 도 2의 순서도를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
우선, 합착부(10)를 이용하여 한 쌍의 액정표시장치 제조용 기판을 합착(S110)한다.
이때, 한 쌍의 기판간 합착은 정전기를 이용하여 기판을 척(chuck)에 흡착한 후 진행되기 때문에 두 기판간 합착이 완료된 후에는 합착 기판에 많은 정전기가 존재하며, 씨일재는 경화되지 못한 상태로 유지된다.
그리고, 전술한 과정이 완료되어 상기 합착부(10)로부터 반송된 합착 기판은 UV 경화부(20)로 반송(S120)된다.
이때, 상기 UV 경화부(20)에서는 UV 광을 조사하여 상기 합착된 기판의 씨일재를 일차적으로 경화(S130)하게 된다.
계속해서, 상기 일차적인 가경화가 이루어진 합착 기판은 열경화부(30)로 반송되고, 상기 합착 기판은 상기 열경화부(30)에서 고온의 열기로 전반적인 열경화가 이루어진다.
이때, 상기 열경화부(30)에 의한 열경화가 진행되는 도중에는 이온 제공부(31)에 의해 이온이 생성되고, 이렇게 생성된 이온은 상기 열경화가 진행 중인 합착 기판으로 제공된다. 따라서, 상기 합착 기판은 제전(S140)된다.
특히, 상기 열경화부(30)에 의해 진행되는 공정은 장시간(예컨대, 대략 1시간 이상) 동안 진행되기 때문에 상기 합착 기판으로는 충분한 이온이 제공되고, 이로 인해 합착 기판의 보다 완전한 제전이 이루어진다.
그리고, 상기 열경화 및 제전이 완료된 합착 기판은 이후 공정으로 반송(S150)된다.
한편, 첨부된 도 3 및 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치 제조 공정용 열경화 장치의 구성을 개략적으로 나타내고 있다.
즉, 본 발명의 실시예에 따른 열경화 장치는 크게 챔버부(310)와, 열발생부(320)와, 송풍부(330) 및 이온 제공부를 포함하여 구성된다.
상기 챔버부(310)는 열경화 장치의 몸체를 형성하며, 그 내부로는 다수의 기판이 수납되는 소정의 수납 공간을 가진다.
상기 챔버부(310)의 전방에는 도어(311)가 결합되며, 상기 챔버부(310)의 수납 공간에는 상기 각 기판의 수납이 가능하도록 다단의 선반(312)이 구비된다.
또한, 상기 챔버부(310) 내부는 후술하는 송풍부(330)에 의해 송풍되는 공기 가 지속적으로 순환될 수 있는 구조를 이루도록 함이 바람직하다.
이는, 예컨대, 챔버부(310)의 상하측 공간 및/혹은, 양측 공간 상에 별도의 제1순환통로(313)를 형성하고, 도어(311)의 내부에는 상기 챔버부(310)의 수납 공간 내부로 송풍된 공기를 유입받아 상기 제1순환통로(313)로 전달하는 제2순환통로(314)를 설치함으로써 가능하다.
그리고, 상기 열발생부(320)는 상기 챔버부(310) 내에 수납된 기판(2)을 경화하도록 고온의 열기를 발생하는 역할을 수행한다.
상기 열발생부(320)는 상기 챔버부(310) 중 상하측 내부 공간에 구비됨이 바람직하며, 도시하지는 않았지만 열기의 발생을 위한 구조는 통상의 발열히터로 구성될 수도 있고, 히트펌프(heat pump) 구조로 구성될 수도 있으며, 열전도를 이용하는 히트파이프(heat pipe) 구조로 구성될 수 있는 등 다양한 구조로 구성될 수 있다.
그리고, 상기 송풍부(330)는 상기 챔버부(310) 내의 후방측 공간에 구비되고, 상기 챔버부(310) 내의 높이 방향을 따라 다수 구비됨이 바람직하다.
상기한 송풍부(330)는 챔버부(310) 내의 공기 및 고온의 열기를 상기 챔버부(310) 내의 각 부위로 순환시키는 역할을 수행한다. 이는, 챔버부(310) 내의 각 선반(312)에 수납된 각 기판(2)의 전 부위로 고르게 열기가 제공될 수 있도록 하기 위함이다.
특히, 상기 송풍부(330)는 비록 구체적으로 도시되지는 않았지만 고온의 환경에서 사용 가능한 송풍팬 및 팬모터로 구성됨이 바람직하다.
상기 각 송풍부(330)가 구비된 공간과 상기 챔버부(310) 내의 기판(2)이 수납되는 공간 사이에는 상호간의 공간을 구획하되, 공기의 유동은 가능한 구획부(340)가 더 구비됨이 바람직하다.
이때, 상기 구획부(340)의 각 부위 중 상기 각 송풍부(330)의 공기 토출측 부위와 대향되는 부위는 개구되게 형성된다. 상기 개구된 부위에는 토출 공기로부터 불순물을 걸러주는 필터체(341)가 더 구비됨이 바람직하다. 물론, 상기 구획부(340)는 그 전체가 필터체를 이루도록 구성할 수도 있다.
그리고, 상기 이온 제공부는 상기 챔버부(310) 내로 이온을 제공하도록 구성된 것으로써, 고전압을 인가받아 방전함으로써 이온을 생성하는 이오나이저(350)를 포함하여 구성됨을 제시한다.
특히, 본 발명의 실시예에서는 상기 이오나이저(350)가 상기 각 송풍부(330)의 공기 토출측에 각각 일체로 구비됨을 제시한다.
이하, 전술한 본 발명의 실시예에 따른 열경화 장치로 합착 기판을 열경화하는 과정을 보다 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
먼저, 반송장치(도시는 생략됨)에 의해 챔버부(310) 내의 각 선반(312)에 합착 기판(2)이 수납된다. 이후, 도어(311)가 닫히면 챔버부(310) 내부의 수납 공간은 외부 공간으로부터 폐쇠된다.
이의 상태에서 열발생부(320)가 동작되면서 챔버부(310) 내부의 공간 상으로 고온의 열기가 제공되고, 각 송풍부(330)가 동작되면서 챔버부(310) 내로 공기를 송풍시킴에 따라 상기 챔버부(310) 내의 고온의 열기는 상기 챔버부(310) 내의 공 간을 순환하게 된다.
또한, 이 때에는 각 송풍부(330)에 일체로 결합된 이오나이저(350)가 고전압을 인가받아 방전됨으로써 이온이 발생되고, 상기 이온은 상기 각 송풍부(330)의 동작에 의해 송풍되는 공기에 편승되어 상기 챔버부(310) 내의 합착 기판(2)이 수납된 공간으로 제공된다.
따라서, 상기 챔버부(310) 내에 수납된 합착 기판(2)은 상기 고온의 열기에 의해 씨일재 및 액정 모두에 대한 전반적인 경화가 이루어지고, 상기 이온에 의해 정전기의 제거가 이루어진다.
이때, 상기 열경화 장치에 의해 진행되는 열경화 과정은 합착 기판(2)의 전반적인 경화를 위해 충분한 시간동안 진행됨을 고려할 때 상기 합착 기판(2)이 상기 이온을 제공받는 시간 역시 충분함에 따라 상기 합착 기판(2)의 완전한 제전 효과를 얻을 수 있게 된다.
한편, 열경화 장치는 전술한 본 발명의 실시예에 따른 구조로만 구성되어야 하는 것은 아니다.
일 예로써, 이온 제공부를 송풍부(330)와 일체형으로 구성하는 것이 아니라 상기 이온 제공부를 상기 송풍부(330)에 의해 송풍되는 공기의 유동 경로상에 구비할 수도 있다.
이때, 상기 송풍되는 공기의 유동 경로라 함은 예컨대, 구획부(340)의 필터체(341)가 구비된 위치, 챔버부(310) 내의 수납 공간 내부, 제1순환통로(313) 혹은, 제2순환통로(314) 등 다양한 위치에 구비할 수도 있는 것이다.
하지만, 제조 단가의 저감 및 송풍되는 공기에 이온의 편승됨을 보다 원활히 이루어질 수 있도록 하기 위해서는 전술한 바와 같이 송풍부(330)와 이온 제공부가 서로 일체형을 이루도록 구성됨이 가장 바람직하다.
이렇듯, 본 발명에 따른 열경화 장치는 그 필요에 따라 다양한 변경이 가능하다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치의 제조 장치 및 액정표시장치 제조 방법과 이를 위한 액정표시장치 제조 공정용 경화 장치는 기존에 비해 별도의 제전 공정을 진행하기 위한 장비 설치나 상기 제전 공정의 진행을 위한 시간의 소요가 필요치 않기 때문에 풋프린트의 최소화를 이룰 수 있을 뿐 아니라 전체적인 공정의 택 타임(tact time)이 단축된다는 효과를 가진다.
뿐만 아니라, 상기 별도의 제전 공정을 진행하기 위한 장비가 제거됨으로써 초기 투자 비용의 저감 역시 얻을 수 있게 된 효과를 가진다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치 제조 공정용 열경화 장치는 기판의 열경화가 진행되는 도중 상기 기판으로 다량의 이온이 장시간 동안 제공될 수 있도록 함으로써 상기 기판이 완전히 제전될 수 있게 된 효과를 가진다.
특히, 상기 기판으로 제공되는 이온이 챔버부 내를 송풍하는 공기에 편승되어 유동되도록 함으로써 상기 기판의 제전이 보다 원활히 이루어질 수 있게 된 효과를 가진다.

Claims (10)

  1. 한 쌍의 액정표시장치 제조용 기판을 합착하는 합착부;
    상기 합착된 기판을 반송받아 씨일재를 경화함과 아울러 상기 씨일재의 경화를 위한 동작이 수행되는 도중에 상기 기판으로 이온을 제공하는 이온 제공부가 구비된 경화부를 포함하며,
    상기 이온 제공부는 상기 경화부의 내부에 형성된 송풍부의 공기 토출측에 일체로 구비되고,
    상기 이온 제공부와 일체형으로 이루어진 상기 송풍부는
    상기 경화부를 이루는 챔버 내의 후방측 공간에 상기 챔버 내의 높이 방향을 따라 다수개 구비되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 경화부는
    UV 경화를 수행하는 UV 경화부와, 상기 UV 경화된 기판을 고온의 열기로 열경화하는 열경화부를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 이온 제공부는 상기 열경화부의 내부에 형성된 송풍부의 공기 토출측에 일체로 구비됨을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조 장치.
  4. 한 쌍의 액정표시장치 제조용 기판을 합착하는 단계와;
    상기 합착된 기판을 반송받아 상기 기판의 씨일재를 경화함과 동시에 상기 기판으로 이온을 제공하여 상기 기판을 제전시키는 단계; 및
    상기 경화 및 제전이 완료된 기판을 반송하는 단계를 포함하고,
    상기 기판을 경화 및 제전 시키는 단계는
    상기 합착된 기판을 이온 제공부가 구비된 경화 장치에 안착시키는 단계와,
    상기 경화 장치를 이루는 챔버 내의 후방측 공간에 상기 챔버의 높이에 따라 다수개 형성된 송풍부 및 상기 각 송풍구의 공기 토출측에 각각 구비된 상기의 이온 제공부를 이용하여 상기 기판에 이온을 공급하는 단계를 포함한 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조 방법.
  5. 다수의 기판이 수납되는 챔버부;
    상기 챔버부 내에 수납된 상기 기판을 경화하도록 고온의 열기를 발생하는 열발생부;
    상기 챔버부 내의 공기 및 고온의 열기를 상기 챔버부 내의 각 부위로 순환시키는 송풍부; 및
    상기 챔버부 내로 이온을 제공하는 이온 제공부를 구비하고,
    상기 이온 제공부는 상기 송풍부의 공기 토출측에 일체로 구비되며,
    상기 이온 제공부와 일체형으로 이루어진 상기 송풍부는
    상기 챔버부 내의 후방측 공간에 구비되며 상기 챔버부 내의 높이 방향을 따라 다수 구비됨을 특징으로 하는 액정표시장치 제조 공정용 경화 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 이온 제공부는 고전압을 인가받아 이온을 생성하는 이오나이저를 포함하여 구성 됨을 특징으로 하는 액정표시장치 제조 공정용 경화 장치.
  7. 삭제
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 송풍부가 구비된 챔버부 내의 후방측 공간과 기판이 수납되는 챔버부 내의 전방측 공간 사이에는
    상호간의 공간을 구획하되 공기의 유동은 가능하게 형성된 구획부가 더 구비됨을 특징으로 하는 액정표시장치 제조 공정용 경화 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 챔버부의 내부 공간 상에는
    기판을 통과한 송풍 공기를 제공받아 상기 송풍부가 구비된 공간으로 유동되도록 안내하는 순환통로가 더 형성됨을 특징으로 하는 액정표시장치 제조 공정용 경화 장치.
  10. 제 5 항에 있어서,
    상기 송풍부의 공기 유입측에는
    유입되는 공기 내의 불순물을 걸러주는 필터부가 더 구비됨을 특징으로 하는 액정표시장치 제조 공정용 경화 장치.
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