JP3757231B1 - 強誘電性液晶素子の製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】上基板及び下基板を保持する上ステージ及び下ステージと、各ステージに備えられ、基板をそれぞれ強誘電性液晶のSmC*−X(XはSmC,SmA,N*,またはN)相転移温度より高い温度に加温するための基板加熱部と、ステージに備えられ基板をそれぞれ真空吸着するための吸着部と、下ステージに吸着された下基板に強誘電性液晶を滴下する液晶滴下部及び下基板にシール材を塗布するシール材塗布部を備えた液晶滴下シール塗布機構部と、液晶滴下部に備えられ液晶滴下部内の強誘電性液晶を前記相転移温度より高い温度に加温するための液晶加熱部と、液晶滴下シール塗布機構部により液晶が滴下されシール材が塗布された下基板と前記上基板とを減圧空間内で位置合わせして貼り合わせるための貼り合わせ機構部を備える。
【選択図】図1
Description
F=(P1−P2)×S>W
2,6 多孔質板
2a,6a, 空間
3 上チャンバ
3a,7a 側壁部
3b 蓋部
5 下ステージ
7 下チャンバ
7b 底部
7c 真空シール用Oリング
8 アライメント機構
9 下ステージ用Y移動機構
10a パイプ
10 連結部
11 X移動機構
12 Z移動機構
13 シール塗布部
14 液晶滴下部
21,23 減圧用パイプ
22 上ステージ用上下移動機構
31 基板積載部
32 貼り合わせ機構部
33 液晶滴下シール塗布部
Claims (7)
- 上基板及び下基板をそれぞれの各電極面が互いに上下方向に対向するように保持するための上ステージ及び下ステージと、
前記上ステージ及び下ステージをそれぞれ内部に収容しており、それらの互いに対向する側がそれぞれ開口部となっており、それらの各開口部の周縁部が互いに当接されることにより「真空シール可能な閉塞空間」を形成するように構成された、上チャンバ及び下チャンバと、
前記閉塞空間を所定の減圧状態にするための減圧手段と、
前記減圧手段により前記閉塞空間が減圧されているとき、前記上基板に対する前記下基板の位置決めを行うために、前記下ステージを前記下チャンバとは独立に、水平方向と平行なX方向及び水平方向と並行でX方向と直交するY方向に移動させるため並びに水平方向に所定角度回動させるためのアライメントユニットと、を備え、
前記アライメントユニットは、
前記下チャンバとは別個にその下方に配置され、前記下チャンバとは独立にX方向への移動、Y方向への移動、及び水平方向の回動を行うアライメント機構と、
その内部が空洞に形成されていると共にその外周部が外力により変形可能な蛇腹状に形成されており、且つ、その下端部が前記アライメント機構に固定されていると共にその上側縁部が前記下チャンバの底部に固定されている連結部と、
前記閉塞空間と前記連結部内の空間とをそれらが「同じ減圧状態に保持された一つの気密の空間」となるように繋ぐために前記下チャンバの底部に挿通されたパイプと、
前記アライメント機構の各移動及び回動の動作をそのまま前記下ステージに伝えて前記下ステージを高精度に各移動及び回動させるために前記アライメント機構と前記下チャンバとを連結する複数のシャフトであって、前記連結部の内部及び前記パイプの内部に挿通されている複数のシャフトと、により構成されており、
前記上基板及び下基板のアライメントマークを撮像するカメラからの画像に基づいて前記アライメント機構が前記下チャンバとは独立に前記各移動及び回動するとき、前記複数のシャフトにより、前記アライメント機構の前記各移動及び回動がそのまま前記下ステージに伝えられて、前記下ステージが、前記下基板と前記上基板との位置合わせのために、前記下チャンバとは独立に且つ高精度に移動及び回動するようになっている、ことを特徴とする強誘電性液晶素子の製造装置。 - 請求項1において、
前記上ステージ及び下ステージにそれぞれ備えられ、前記上基板及び下基板をそれぞれ強誘電性液晶のSmC*−X(Xは、SmC,SmA,N*,またはN)相転移温度より高い温度に加温するための各基板加熱部と、
前記各ステージに備えられ、前記各基板をそれぞれ真空吸着するための各吸着部と、
前記下ステージに吸着された下基板に強誘電性液晶を滴下する液晶滴下部及び前記下基板にシール材を塗布するシール塗布部を備えた液晶滴下シール塗布機構部と、
前記液晶滴下部に備えられ、前記液晶滴下部内の強誘電性液晶をそのSmC*−X(Xは、SmC,SmA,N*,またはN)相転移温度より高い温度に加温するための液晶加熱部と、
前記アライメントユニットを含み、前記液晶滴下シール塗布機構部により液晶が滴下されシール材が塗布された下基板と前記上基板とを減圧空間内で位置合わせして貼り合わせるための貼り合わせ機構部と、
を備えたことを特徴とする強誘電性液晶素子の製造装置。 - 請求項2において、
前記下ステージを前記液晶滴下シール塗布機構部及び前記貼り合わせ機構部との間を結ぶY方向に移動させるための下ステージ用Y方向移動機構と、
前記下基板への強誘電性液晶の滴下及びシール材の塗布を行うとき、前記液晶滴下シール塗布機構部を、前記下ステージ用Y方向移動機構によりY方向に移動される前記下ステージに対して、前記Y方向と垂直でかつ同じ平面方向であるX方向、及び/又は前記Y方向と垂直でかつ鉛直方向であるZ方向に移動させるための液晶滴下シール塗布用XZ方向移動機構と、
を備えたことを特徴とする強誘電性液晶素子の製造装置。 - 請求項3において、
前記下ステージを含む下チャンバが前記下ステージ用Y方向移動機構により前記貼り合わせ機構部に移動されたとき、前記上チャンバの開口部の縁部と前記下チャンバの開口部の縁部とを当接させて閉塞空間を形成するために、前記上チャンバを前記下チャンバの方へ下降させるための上チャンバ用上下移動機構を備えた、ことを特徴とする強誘電性液晶素子の製造装置。 - 請求項2から4までのいずれか一つにおいて、前記上ステージに備えられ前記上基板を吸着するための真空配管と、前記閉塞空間に備えられ前記閉塞空間の内部を排気して減圧するための真空配管との間には、前記上基板の前記上ステージへの吸着を開放するときに前記上ステージ側の真空配管と前記閉塞空間側の真空配管とを互いに同圧とするための接続配管が備えられている、ことを特徴する強誘電性液晶素子の製造装置。
- 請求項1から5までのいずれか一つにおいて、前記上チャンバ又は下チャンバには、前記閉塞空間を大気圧に戻すためのガスを導入可能なバルブが接続されている、ことを特徴とする強誘電性液晶素子の製造装置。
- 請求項2から6までのいずか一つにおいて、前記上ステージに備えられた前記上基板吸着用の吸着部は、多孔質状の板により構成されている、ことを特徴とする吸着機構を有する強誘電性液晶素子の製造装置。
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