TW542902B - Birefringent beam combiners for polarized beams in interferometers - Google Patents

Description

542902 A7 料干涉計通常可藉比較由_物體反射之測量光束的 自:立貝Λ及一參照光束的相位資訊，而來測出至該物體的 ㉛離或其移動距離。-傳統式的干涉計能比較該測量光束 肖參照光束’其係藉干涉該二光束並由可從所形成的干涉 彡、文中測出的相位差來推算出該測量光束與參照光束的光 '長度之差，而來進行。該參照光束具有-固定光徑，因 m!里光束與參照光束之相對相位的任何變化，即代表 該物體的移動。或者，在該測量光束中之都卜勒(D〇pp㈣ /移八可由°亥測里光束與參照光束之頻率相較而來決定 曰代表一物體沿該測量光束之方向的速度。該等測得的 速度f訊將可被整合_段時間而來決定該物體移動的距 離。 冑頻干# 4會具有超過傳統干涉計的優點。第丨圖為一 習知雙頻干涉系統_的方塊圖，其包含一雷射11〇，一 乂 波板120’ 一分光器13〇，一分析系統14〇，及干涉計裝置Μ。 等。 /亥田射110會產生一光束，其包含二具有不同頻率的分 f 不同頻率可使用塞曼（Zee_)分光法在同一 雷射八中產生，其所形成的二光束分量會具有不同的頻 | 率，並會在離開該雷射110時具有相反的圓偏極性。％波板 120會將各具有圓偏極性的分量光束轉變成具有正交的直 線偏極性之分量光束。-光束分光器13G將會反射該二分量 光束的彳伤，而形成第一與第二參照光束送至該分析系 、洗140。該光束的剩餘部份則會進入干涉計裝置1 。 本紙“^ 中國， ------——

裝— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •訂.......— 542902

在δ玄干/歩计裝置u 〇中，右一 ， 一偏振筅（即-頻率光束） β 77光為152會反射其 ,4 "手先束）而形成-第三參照光束來導向一 參照反射器1 5 8，並透身+玄 裝—— (請先閱讀背面之注意事項再磺寫本頁) 來作為線偏振光（即另—頻率光束) ’:卜先束，而投向受測物體16卜在該干涉計裝 之一變化例中，一極化公土。。 、 化刀先益、亦可透射形成測量光束的分 1，而反射形成參照光束的分量。 •、^Γ— 4雙頻干涉系統1G(}會在該測量光束的頻率中造成一 者:卜勒頻移，其可藉組合該測量光束與第三參照光束來形 f 一㈣信號而更容易被測出，該拍差信號具有—頻率存 專於該測量光束與第三參照光束的頻率差。為組合該測量 光束與第三參照光束，該雙頻干涉系統1〇會利用該參昭光 束與測量光束經由％波板154與156的穿出及返回通過，而 來改變該參照光束與測量光束的偏極性。該返回的參照光 束所具的直線偏極性將能通過該極化分光器152而至該分 :線： 析^统140’且該返回的測量光束所具的偏極性亦會被該分 光器152反射而投向該分析系統14〇。 在該測量光束中的都卜勒頻移會使該拍差信號形成一 ’其係為該拍差信號頻率之一較大的百分比，因此將 能容易地測出。該拍差信號的頻率可被相較於另一組合第 一與第二參照光束所產生之拍差信號的頻率，而來精確地 測定該都卜勒頻移。該分析系統140能夠分析出該頻移，而 來決定該物體160的速度及/或移動距離。 該等干涉系統100之一問題，係必須保持該等測量光束 與參照光束的精確相對調準和定向。一般就此問題的解決 本紙张尺度適用中家嫖準 (OK)如规格（2:10X297公 542902 五、發明説明（3 ) 方式係在干涉計裝置150的附近區域來精確地調準雷射 η 〇此固可使一輸入光束能在所需點處精確地傳送，然而 對名干涉计的熱環境而吕，該雷射丨1 〇的靠近設置將會不良 地形成熱源，而會在該干涉計裝置15G中造成熱變化，故可 能會導致信號失誤或測量誤差。 以一光纖來將光束由該雷射〗l0傳輪至干涉計裝置 150’將可使所設的雷射110能更遠離該干涉計裝置15〇,而 得消減該雷射no對其測量精確度的熱影響。但是，目前所 知的極性保持光纖系統仍會有不可接受程度的串擾，其會 混合該二偏極性，而危及測量的精確度。 有見於目前之干涉計系統的限制，故亟需有一種技術 月b夠將心射與—干涉計的熱環境分開，同時可提供精確 的光束傳輸而不會混合偏極性/頻率分量者。 曰依據本發明之一概念，由一雷射發出之不同頻率的分 量將會被分開，而由不同的光纖來傳輸以避免串擾。一含 有雙折射材料的光束組合器，會將來自該二光纖的光束組 合成-具有不同頻率與偏極性之不同分量的單一光束。在 該光束組合器中之雙折射材料，將會區別或者除掉來自光 纖之光束中麵要的偏振光分量，而使在組合光束中之二 頻率分量具有極為直線而且正㈣偏極性。 本發明之一具體實施例係為一干涉計，乃包含一光 2-光束組合器’及干涉計裝置等。該光源可提供一具 偏極性與第一頻率的第—光束，及一具有第二偏極 、、第二㈣的第二光束。該光束組合器包含—雙折射材 本紙張尺度適财關家標半（⑽）顺格（2】〇xJ^7

裝---- C請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) *? ::線-……丨丨： 542902 五、發明説明（4 ··, 料，並被定位及定向成可接受該第一與第二光束而來產生 一組合光束，俾被該干涉計裝置所接收。 该干涉計通常會使用一第一光纖來耦合接收發自該光 源的第一光束，及以一第二光纖來耦合接收發自該光源的 第二光束。該第一與第二光纖會將第一與第二光束送至該 光束組合器，此將可容該所設的光源遠離干涉計裝置。此 在當該光源包含一熱源例如雷射其可能會干擾該干涉計裝 置的操作時，乃是較為有利的。 依據本發明之光束組合器乃具有許多可擇的結構，包 括但不限於若雄稜鏡（R()eh()nprism)，柯頓稜鏡（c〇_ pnsm) ’二元件渥拉斯頓棱鏡（w〇llast〇nprism)，及三元 件渥拉斯頓稜鏡（Wollast〇nprisin)等。 本發明的另一實施例係為一種操作干涉計的方法。該 ^法包括將第-與第二光束導人第_與第二光纖，再“ 等光纖將第-與第二光束導入一含有雙折射材料的光束組 合器。該光束組合器會將第一與第二光束結合成一組合光 束，並將之輸出於該干涉計裝置中。該第一與第二光束進 入光束組合器的光徑，係可與由該光束組合器輸出之光束 形成共線但方相反，在當該光束組合器被作為一極化光束 分光器來使用時。 圖式之簡單說明： 第Ϊ圖為一習知雙頻干涉計之方塊圖； 第2圖為本發明一實施例之雙頻干涉計的方塊圖· 第3A、3B、3C、3D圖分別為本發明之 」擇貫&例中 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) M规格（2]〇Χ297公楚）

五、發明説明（5 ·') 被用來作為光束組合器之一若雄稜鏡（R〇ch〇nprism)，一 柯頓棱鏡（Cotton prism ); 一渥拉斯頓稜鏡（w〇llast〇n

PnSm)，及一三元件渥拉斯頓稜鏡（Wollaston prism)的 光徑示意圖。 在各圖式中所使用之相同標號係指類似或相同的構 件0 依據本發明之一實施例的干涉計系統，會將發自一雷 射之一雙頻光束分成二具有不同頻率及正交偏極性的分開 光束。孩一光束會在分開的極性保持光纖中被傳輸，再組 合成單一光束來輸入該干涉計的構件中。 依據本發明的光束組合器係使用一含有雙折射材料的 光學元件。該雙折射光學元件會組合該等光束中具有所需 偏極性的部份來形成一輸人光束，並除㈣等光束中具有 不正確偏極性的部份。因此，該輸人光束所含的頻率分量 會具有極呈直線而互相正交的偏極性。 第2圖為本發明一實施例之干涉計系統2〇〇的方塊圖。 該干涉計系統200乃包含_雷射波板，_極化分 光器220，聲光調變器（A〇M)23〇與235，光纖25〇與255，調 整裝置260,-光束組合器27〇，—分光器13〇，及干涉計裝 置150等。 雷射11〇與％波板120會形成一光束的射源，該光束會 具有二不同的頻率分量及互呈正交的直線偏極性。該雷射 110之一實例係為一種市面可購得的雷射，例如A糾⑶丈 Technologies公司所產銷的55丨7D，其會如前所述地操作而 尺度適用中國國家標準（CNS)以規格（2]0X2似赞） 542902 A7 .,____B7_ '\五、發明説明（6 ') 使用塞曼（Zeeman)分光法在同一雷射穴中產生該二頻率分 量。在此所用之塞曼分光會產生一外差光束，其包含二頻 率分量乃各具有頻率fl，及f2，，而其頻率差f2，-fl，約為 2MHz。該二頻率分量係具有相反的圓形偏極性。％波板12〇 會改變該等頻率分量的偏極性，而使其具有正交的直線偏 . 極性。 ^ 極化为光器220會將該二頻率分量分開。於所示實施例 中，較低頻率的分量會具有一偏極性而可被該極化分光器 220透射至AOM 230’較高頻率的分量則具有會被該極化分 光器220反射向AOM 235的偏極性。極化分光器22〇可由市 面購得高品質的分光器，其能對在該透射光束中之一直線 偏振光，及在反射光束中之正交的直線偏振光提供高消光 比。為進一步改善該消光比，該極化分光器22〇可被轉動至 一偏轉角度，來形成最佳效果，並使該二頻率分量最清楚 ψ 地分開。因此，該輪入光束的輪入通常不會垂直於該極化 分光器220的入射表面。一申請中的美國專利申請案，名稱 為“使塗層式極化光束分光器之消光比最佳化的調準方 法，代理人編號為Νο·10010512，其内容併此附送，乃進 一步揭述如何調準一極化分光器來使二頻率分量的分開效 果最大化。 該ΑΟΜ 230與235會以不同的頻率（例如8〇與86]^1^) 來操作，並改變該二光束的頻率而進一步分開該二光束的 頻率。由ΑΟΜ 230與235輸出的光束分別具有〇與£2的頻 率，其會約有8MHz的差距。較大的頻率差距可使該干涉計 • * 1 本紙張尺度適用中國國家標芈（CKS ) Μ规格（2 ] 0 X 297公楚·） 裝#------------------線 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) . 542902 A7 五、發明説明（7 ”·） -—~ — 系統200能夠精確地測量更快速移動的物體。 透鏡240與245會分別將各光束聚焦於分開的極性保持 光纖250與255上。在本發明之—實施例中，該等極性保持 光纖250與255皆為市面購得的光纖，例如可購自 Optics公司，C_ing公司，或 Fujikura Amedca公司等。該 等光纖250與255會將分開的光束送至調整裝置26〇，其會將 該二光束導入一光束組合器27〇。利用該等光纖25〇與255 將可使雷射U0及A0M 230與235等設在遠離干涉計裝置 150處。因此，在雷射110及A〇M23〇與235所產生的熱將 會干擾該干涉器裝置150的熱環境。而且，雷射11〇與a〇m 230與235亦不須要相對於干涉裝置15〇有一固定的位置，此 在靠近該受測物體處僅具有很少空間的情況下，將會具有 很大的優勢。 該調整裝置260可精磅地調準來自光纖25〇與255的光 束，俾能在光束組合器270中組合形成一共線光束。有許多 的光學/機械系統能被用來作為該調整裝置，而通常會具有 一結構係依可用的空間及光纖25〇與255之最大曲率而定， 該曲率要能充分地保有被輸送光束的強度和極性。於本發 明之一實施例中，在光纖25〇與255末端的透鏡會被精確設 置並可供調整，而使由該等光纖25〇與255離開的光束能直 接導入光束組合器270中。一申請中的美國專利申請案，名 稱為光纖光束之直接組合，，，代理人編號為N〇1〇〇1〇323， 其内容併此附送，乃進一步揭述用來定位要組合之光束的 調整裝置。 木紙張尺度適用中㈣家標準（CNS) M規格（2]〇χ^^^ 542902 A7 B7 五、發明説明（8 ·') 依據本發明之一態樣，光束組合器270乃包含一雙折射 材料例如方解石（calcite)，其可將具有所需偏極#生的二光 束开y成一單獨的組合光束，並有效地除去在該二光束中不 具有该所需偏極性的成分。具言之，極化分光器220並不一 疋能100%有效地來分離該二正交的直線偏振光。而且，

AOM 230與235及該光纖250、255等所配設的接頭或其它構 件等’亦可能改變該等光束的極性。該光束組合器270會將 "亥等光束中具有不正確極性的部份導離組合光束，因此， 在該組合光束中之二頻率分量將會具有極呈直線而且正交 的偏極性。 第3Α、3Β、3C、及3D圖乃分別示出本發明中之光束 組合器的可擇實施例，其皆含有雙折射材料。含有雙折射 材料之光學元件在該領域中係已知被使用於光束分光器， 而可由各種來源購得，包括例如I1Hn〇is，Chicago，的Karl Lambrecht公司。惟，依據本發明，雙折射光學元件被用來 作為一雙頻干涉計之光束組合器，乃已被發現較諸於薄膜 光束組合器具有更優異的性能。 第3A圖示出一光束組合器27〇A其係為一若雄稜鏡 (Rochonpdsm)。該若雄稜鏡（R〇ch〇nprism) 270A 包含 一方解石稜鏡（cakiteprism ) 370A乃光耦合於一折射率 及色散匹配的同角度玻璃稜鏡372A。方解石稜鏡（calcite prism ) 370A具有一臨界定向，其會透射而不反射具有第 一直線偏極性的光，並反射具有第二直線偏極性的光。 由分開的光束250與255(及調整裝置260)送來的光束 本紙張尺度適用中國國家標芈（CTS)从规格（2]0\297公货） 542902

310與320會入射於玻璃稜鏡372八上。光束31〇雖說是具有 一第一頻率及該第一直線偏極性，但亦可能包含其它頻率 或極性的成分，其係可能由下列原因所產生者，例如該由 塞又刀光苗射輸出之光束未能具有完全正交極性的頻率分 1 ’或分光器220未能提供100%的分離效果，在分光器22〇 與若雄稜鏡（Rochon prism ) 270A之間可能發生極性變化， 及光纖250之定向失誤等等。光束32〇雖說是具有第二頻率 及第二直線偏極性，但亦可能包含其它頻率或極性的成 刀。-玄光束3 10係垂直入射於若雄稜鏡（R〇ch〇n pf]jsm )27〇八 的表面，而光束320則以一依據該若雄稜鏡（R〇ch〇nprism) 270A之性質所擇的角度來射入。 該垂直入射之光束310具有第一直線偏極性的部份將 會筆直穿過若雄稜鏡（Rochon prism ) 270A，而不會被該 方解石稜鏡（calcite prism ) 370A所偏轉。該光束32〇具 有第二偏極性的部份會在該玻璃棱鏡372A的入射表面被 折射，並在該二稜鏡370A與372A之間的介面被偏轉，但該 光束320的入射角度會被選擇為，能使該光束320具有第二 偏極性的部份結合該光束310具有第一偏極性的部份，而來 形成一組合光束330。通常，該等輸入光束31〇與32〇之間的 間隔及角度，會匹配於所造成的輸出光束之間的間隔及角 度，假使該若雄稜鏡（Rochon prism ) 270A係被用來作為 一輸入光束與組合光束330共線但方向相反的光束分光器 時。 在第3A圖中，一偏轉光束31〇,係代表光束31〇中未具 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

542902 A7 -—~___ B7_ ，五、發明説明（10 ) 有第一偏極性的部份。方解石稜鏡（calcitepdsm ) 37〇A 會偏轉該光束3 10 ’ +之任何分量，而使該光束3丨〇的偏極性 . 形成橢圓形或偏離該第一軸。因此，方解石稜鏡（calcite prism )370A會分開該光束3 1〇中不具有該第一偏極性的部 份，而來形成光束310’，其並非組合光束33〇的一部份。光 束320中具有第一偏極性的部份並不會在該二稜鏡370A與 37犯之間的介面偏轉，而會形成一光束310,，其同樣地會 與該組合光束330分開。該二光束31〇，及32〇,可被遮阻或者 再引導以免污染該組合光束330。 第3B圖係示出一光束組合器27〇b，其乃為一柯頓稜鏡 (Cotton Pdsm)。該柯頓稜鏡（c〇u〇nprism) 27〇B 係為一 cakite稜鏡，而具有一臨界定向不會在入射表面反射一具 有該第一直線偏極性之垂直射入的光束。該柯頓稜鏡 (Cotton prism) 270B會接收垂直射入的光束31〇，及以依 | 該稜鏡270B的性質所選擇之角度來入射的光束32〇。因 此’该光束310具有第一偏極性的部份將會穿過入射表面而 不會偏轉’並會在該柯頓稜鏡（C〇ttoxl prisrn) 270B之一 内部表面處被全部内反射。該光束32〇的入射角度會使其具 有第一偏極性的部份在入射表面偏轉，並在該内部表面以 所需量來偏轉，而與該第一光束31〇具有第一偏極性的部份 結合來形成組合光束330。 光束310中具有第二偏極性的部份將被偏轉成一光束 310’，其會與組合光束33〇分開。同樣地，第二光束中 具有第一偏極性的部份係僅會在入射表面折射，而形成一 冰赚尺 裝—— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .訂丨，· :線丨 542902 hi _ —_B7_ 五、發明説明（11 ) 與組合光束330分開的光束320,來離開該柯頓稜鏡（Cotton prism) 270B。 第3C圖示出一光束組合器270C，其係為一二元件渥斯 斯頓稜鏡（Wollaston prism)，包含二同角度的方解石稜鏡 (calcite prism ) 370C與370C，乃具有互相垂直交叉的光 軸。該稜鏡370C可使具有第一直線偏極性的光通過而不會 不正常地偏轉，另一稜鏡370C，則可容具有第二直線偏極性 的光通過而不會不正常地偏轉。該二光束31〇與32〇的入射 角度係被選成，能使光束31 〇具有第一偏極性的部份在進入 方解石稜鏡（calciteprism )的偏轉，與光束32〇具有第二 偏極性的部份在進入方解石稜鏡（calcite prism )的偏轉 會形成一組合光束330。但，該等光束31〇與3 20具有不正確 極性的部份，則會偏轉成光束31〇，與32〇，，而與該組合光束 330分開。 第3D圖示出一光束組合器27〇1)，其係為一三元件渥拉 斯頓稜鏡（Wollaston prism)，包含二同角度的方解石稜鏡 (alcite prism ) 370D與37〇D，，其具有相同的光軸，及 一方解石稜鏡（calcitepdsm ) 372D具有一光軸正交於前 述一稜鏡370D與370D’的光軸。該渥拉斯頓稜鏡（Wollaston prism)270D會以類似於前述的方式來操作形成一光束組合 器。具言之，入射光束310與320在當該稜鏡270D被用來作 為一極化光束分光器時，所具的入射角度及光徑將會對應 於該稜鏡270D的輸出光束。因此，該等光束31〇與320具有 所需極性的部份，在當該稜鏡27〇D被當作分光器時，將會 本紙張尺及遍用中國家捣芈（CTS)如规格（2]0X297公势） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

542902 A7 * ___ B7 '\五、發明説明（12') 倒反先前所見的光徑來形成組合光束33〇。而該等光束3i〇 與320未具有所需極性的部份，並不會依循結合成光束33〇 所需的光徑，故會與組合光束330分開。 /方解石（caiclte)分光器當如上述被使用作光束組 ’ 纟㈣，將能使可見光形成高至1〇6··丨的消光比，而在輸 - 入该光束組合器之光中的任何極性不穩定性，將會使所形 I, 《的光能產生變化。該等小量的強度變化通常會比極性不 穩定性對測量精讀度更為無害。例如，若一固定光能之光 束的混合極性變化於1000··丨與忉㈧！之間，則其不良的洩 漏會呈10倍地增加，而會對測量精確度有極大影響。但， 當通過-具有10000 ·· 1之消光比的組合器之後，所輸出的 混合極性將會以非常接近於10000: i地來穩定變化，故其 光能僅會以大約0.9%來改變，此將幾乎不會影響測量精確 度。 , _方解石（calcite)組合器在輸出光束的共線穩定性 上亦具有其優點。具言之，相較於一反射式組合器，一折 身于 < 組合器的輸出光束共線度，t由於光機械的偏差或意 外的衝振，而對該組合器的動態斜傾較為不敏感。當一光 學組合器在該等情況下傾斜時，一透射光束不會在角度上 偏差，但其光軸卻會因入射及輸出角度的改變而產生平 移。一反射光束將會以該元件斜傾角度的兩倍來偏移。而 | 一折射光束則會以對應於該二構件間之折射率差的量來 偏移角度。若為一雙折射極化光束分光器，則其折射率差 典型係為正常與不正常折射率之間的差異。就以63311阳的 ^—__ ^ -一 / '人如v/U!則巧㈣料（CNS)域袼(2]0X297公釐) ^ " * —- 分先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 奉 訂----- ..線_ 542902 Ά7 _______B7 五、發明説明（13 ) 方解石（calcite)而言，若該組合器以一角度a來斜傾， 則被折射光束會在該入射平面中以約〇·24χΑ的斜角來偏 移’而在該入射平面外以约〇·〇28χΑ的斜角來偏移。 如上所述，雙折射組合器會產生高度線性而正交的偏極 性，即使輸入光束之偏振有點呈橢圓形或非正交的。此等 能力的結果，可使會減低干涉計測量之某種精確度的極性 不穩定性轉化為光能不穩定性，其將會對測量精確度有較 小的影響。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

雖本發明係參照特定實施例來說明，惟所描述者僅為 本發明之應用例而已 ，而不應被視為限制。所揭實施例之 特徵的各種變化和組合，乃包含於以下申請專利範圍所 界定之本發明的範缚 内。 元件標號對照 100··.雙頻干涉系統 110...雷射 220…極化分光器 120+¾波板 230、235…聲光調變器(AOM) 130·..分光器 240、245··.透鏡 140···分析系統 250、255…光纖 150···干涉計裝置 260…調整裝置 152···極化分光器 270···光束組合器 154、156··. % 波板 310、320···光束 158…參照反射器 330···組合光束 16 0...物體 3 7 0 A…方解石禮鏡[caldte prism) 200···干涉計系統 372A…玻璃稜鏡

Claims (1)

1. 542902 IT 經濟部智慧財產局員工消f合作社印製 A8 § ^^〜---™_ '申請專利範圍 1 · 一種干涉計，包含·_ 一射源可提供一第一光束具有第一偏極性與第一 頻率，及一第二光束具有第二偏極性與第二頻率，· -光束組合器包含-雙折射材料，而被定位及定向 成可接收該第一與第二光束來產生一組合光束，·及 干涉计裝置可由該光束組合器接收該組合光束。 2.如申請專利範圍第i項之干涉計，其中該光束組合器包 δ 右雄禮鏡（Rochon prism )。 3·如申請專利範圍第！項之干涉計，其中該光束组合器包 含一柯頓稜鏡（Cotton prism)。 4·如申請專利範圍第i項之干涉計，其中該光束組合器包 含一渥拉斯頓稜鏡（W〇llaSt〇n prisin )。 5.如申請專利範圍第4項之干涉計，其中該渥拉斯頓棱鏡 (W〇llaston prism )係為一三元件渥拉斯頓稜鏡 (Wollaston prism) 〇 6·如申請專利範圍第1項之干涉計，更包含： 一第一光纖係被耦合來承接該射源的第一光束；及 一第二光纖係被耦合來承接該射源的第二光束； 其中 e亥苐一與第二光纖會將該第一與第二光束送至光 束組合器。 7·如申凊專利範圍第6項之干涉計，其中該射源包含： 一雷射會產生一光束，其包含一第一分量具有該第 一偏極性，與一第二分量具有該第二偏極性；及 17 042902

   申％專利範圍 經濟部智慧財產局員工消費合作-'£印制y 分別以第一與第二光纖來導送第一與第二光束 將該第-與第二光纖之第—與第二光束導入一 有雙折射材料的光束組合器，而該光束組合器會將第 與第二光束結合成一組合光束；及 將該組合光束輪入於干涉計裝置。 一極化分光器可將發自該雷射之該光束分成二分 量光束。 、土 f叫專利乾圍第7項之干涉計，其中該雷射係被設成 退離忒干涉計裝置，俾減少該雷射所生之熱對該干涉計 襄置的影響。 9· 一種組合光束的方法，包含： …將一第一光束由一第一光徑導至一含有雙折射材 料的光束組合器；及 將一第二光束由一第二光徑導至該光束組合器；i 中 八 二“田忒光束組合器被作為一極化光束分光器時，進入 該光束組合ϋ之第―與第二絲，會與㈣光束组合琴 輸出之光束的光徑形成共線而方向相反。 10·如申凊專利範圍第9項之方法，其中該第一光束包含— 第一分量具有-第-偏極性，及-第二分量具有一第二 偏極性’該光束組合器會導引該第—分量來與該第二光 束結合成-組合光束，並導引該第二分量離開該組合光 束。 11· 一種操作干涉計的方法，包含·· 含 297公犮） -----------裝--------訂--------- (請先阶讀背面之注意事項再填寫本頁) 542902 A8 B8 C8 D8 申請專利範圍 12.如申請專利範圍第11項之方法，其中當該光束組合器被 用來作為一極化光束分光器時，進入該光束組合器之第 一與第二光束的光徑，會與由該光束組合器輸出之二光 束形成共線但方向相反。 -------------^--------^---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消货合作社印製 本紙张尺度適州屮國@家標芈（CNSM4規格（2.]ϋ X 297公釐）