TW542748B - Trap device and method - Google Patents

Description

542748 五、發明說明（1) [發明之技術領域] 本發明係有關於半導體製造裝置之製程裝置等在真空 排氣之際，使來自製程裝置等廢氣中之各種產物變成固狀 物而捕捉之分離裝置。 [相關技術之記載] 半導體製造裝置等，在半導體基板之成膜或蝕刻等之 際，有時需作製程裝置之真空排氣。施行成膜或蝕刻等處 理後之廢氣中，含大量未反應之反應氣體，及含經反應新 生之反應產物之氣體。這些在排氣通路上衝撞凹凸部而溫 度、流速、流向改變，凝結成固狀物。若固狀物附著於真 空泵之管路或轉子，則因而排氣傳導度（conductance)下 降，有時會引起真空泵之故障。 特別是，半導體製造裝置之製程處理中若真空泵故 障，有時也會於製程處理中之半導體基板產生大問題。這 些廢氣中所含之反應產物，其作為捕捉機構之分離裝置已 廣為採用。該分離裝置係將例如金屬板體、篩網、折流板 (Ba f f 1 e )等分離構件冷卻，使廢氣與其接觸將氣體產物凝 固，而附著於上述經冷卻之分離構件。使用該分離裝置 時，這些產物一般具有在高溫下為氣體，低溫下成為固體 之氣相/固相溫度特性。因此，使含產物之廢氣與低溫分 離構件接觸，該氣體中所含之產物接觸經冷卻之分離構件 表面，凝結成固體而附著於此。 然而，該習知分離裝置中構成分離構件之篩網等若網 目變小，則氣體中產物之收集效率提升。然而，另一方

313918.ptd 第8頁 542748 五、發明說明（2) 面，分離構件堵塞頻繁，維修費事，且導致分離裝置壽命 縮短。另一方面，構成分離構件之篩網等若網目變大，則 氣體中產物之固化所致之堵塞問題固然減少，卻有捕捉效 率下降之問題。 [發明概要] 本發明鑒於上述實情，其目的在提供可以高收集效率 捕捉廢氣中之產物，同時簡化維修作業，並延長使用壽命 之分離裝置及方法。 · 本發明係自製程裝置藉真空泵排出之廢氣中之產物， 使其接觸分離構件成固狀物而加以捕捉之分離裝置，其特 徵為：容納上述分離構件之分離容器，對上述廢氣之流入 口，於上述廢氣流向截面積擴大，且將流路配置成上述廢 氣可於上述分離容器内轉換其流向，並在流動中接觸上述 分離構件。 根據上述之本發明，於分離容器内配置連接於其流入 口之寬廣空間，即廢氣納入空間，可擴大廢氣流入口與廢 氣納入空間之截面積比。藉此，可減緩廢氣之流速，有利 於使產物接觸經冷卻之分離構件，易於析出固狀物。於 是，分離容器内廢氣之流向轉為略成正交之方向，一面放 慢流速一面與分離構件接觸，將廢氣中之產物接觸分離構 件而捕捉固狀物之機率增加，因而可提高分離效率。 上述分離構件之沿廢氣納入空間之表面，係以配置波 紋篩網之分離濾器為佳。藉此，可於波紋篩網之分離表面 形成廢氣停滯，而能提高分離效率。

313918.ptd 第9頁 542748 五、發明說明（3) 再者，上述分離構件係以由具有多種網目尺寸之多數 分離濾、器構成，並將上述分離渡器配置成網目尺寸沿上述 氣體之流向依序縮小為佳。 藉此，可藉大網目尺寸之分離濾器將廢氣中之大產物 以固狀物捕捉，並藉小網目尺寸之分離濾器將廢氣中之小 產物以固狀物捕捉。因此，藉由將多數之分離濾器以多重 間隙配置，可無固態產物之集中吸附於部份濾器，可分散 固狀物之堆積，而延長維修週期。 [較佳實施例之詳細說明] 以下參照所附圖式說明本發明之實施形態。 第1至第3圖係表示本發明之第一實施形態之分離裝 置。分離容器1係如圖之箱狀容器，配置於自製程裝置經 真空泵排出之廢氣流路之途中。具有流入口 2及流出口 9。 如圖所示，流入口 2係配置於分離容器1之側面，流出口 9 則係配置在靠近分離容器1相對側面之頂面。如此，即具 備廢氣納入空間3，係連結於分離容器1内之流入口 2之寬 廣空間，於廢氣納入空間3之内側備有分離構件之金屬板 材4。該金屬板材4係用以增大與廢氣接觸之表面積，增加 固狀物之附著量，係組合多數金屬板材而自容器内壁面突 出於該空間内，沿氣體流入方向平行延伸配置而成。該容 器1配備有冷卻水流路，於該流路通以冷卻水，將容器1整 體冷卻，分離容器内壁面及與其接觸之金屬板材等之分離 構件降溫，廢氣中所含之氣態產物與此接觸，即冷卻凝 固。

313918.pul 第10頁 542748 五、發明說明（4) 流入口 2之截面積，及廢氣納入空間3之截面積差異 大，自流入口 2進入廢氣納入空間3之氣體流速急遽變慢。 亦可將流入口 2設成愈接近分離容器處口徑愈大之推拔 狀。藉此，可減緩產物凝固成之粉狀物體對流入口之堵 塞。廢氣納入空間係圍繞以，平行於分離容器1之内壁及 氣體流向配置之波紋篩網之分離濾器，更具備平行於氣體 流向配置之金屬板材4，這些均以冷卻水冷卻。因此，進 入廢氣納入空間3而速度下降之氣體，與這些壁面及分離 構件接觸之機會增加，氣體中之產物即以固狀物而受到捕 捉。 而上述實施形態係就組合金屬板，延伸於廢氣納入空 間3之分離構件加以說明。取而代之，或與其併用，亦可 將波紋篩網之分離濾器6 d沿容器内壁面平行於氣流方向配 置。藉此可更擴大廢氣納入空間之表面積，更加提高分離 效率。此時，波紋篩網分離濾器6 d之最上游位置係以與流 入口 2保持相當之間隔L為佳。藉此，可防止分離容器内流 入口 2附近因固狀物之堆積不均勻，造成流入口 2堵塞之問 題。 鄰接廢氣納入空間3，配置有多數之分離濾器積層體 構成之分離構件5。分離構件5沿廢氣納入空間3之面備有 波紋篩網之分離濾器6，其次，配置有網目尺寸略小之波 紋篩網之分離濾器6 s。更於氣體流路下游側配置有多數之 波紋網分離濾器之積層體7。該篩網濾器之積層體7係設定 為例如，自上游側起1平方英吋中有1 4目，其次3 0目，再

313918.ptd 第11頁 542748 五、發明說明（5) 次8 0目，之後150目等之網目尺寸愈往下游側愈細。於 是，保持各網濾器間隔於2至5毫米左右，成為凝固捕捉之 固狀物之成長基地。網濾器7之下游側設有例如開口率3 0 % 左右之衝孔金屬7a，藉此可形成壓降（Pressure drop)。 衝孔金屬7 a之更下游側配置有壓降小之分離構件，篩網除 霧器8。因此，通過衝孔金屬7a之廢氣，可較自由地流往 壓降較低之分離構件8中，導向流出口 9。 鄰接廢氣納入空間3所配置之分離構件5，因係如此整 體產生壓降，流入廢氣納入空間3之廢氣一旦於此滞留， 並經衝孔金屬7 a等分離濾器之整流作用，形成自廢氣納入 空間3之垂直於分離構件5之氣流。亦即，氣流自流入方向 轉為略正交之方向。因此，隨分離構件5中氣流路徑截面 積之進一步擴大，氣體更緩慢通過分離構件5中，其間廢 氣中之產物即易於凝固，可析出於分離構件表面。 通過波紋篩網之分離濾器6、6 s之廢氣，一面通過一 面接觸第二網濾器積層體7，於此更使產物凝固，而析出 固狀物。如此，自廢氣納入空間3於垂直方向首先通過由 較大網目尺寸之波紋篩網之分離濾器6，中度網目尺寸之 濾器及細網目尺寸濾器所構成之濾器積層體7，整體可得 高分離效率。分離濾器7之網目數係以使用例如1平方英吋 中有14目、30目、80目、150目等之網目尺寸者為佳。藉 此，首先捕捉較大產物，隨網目尺寸縮小捕捉較小之產 物。 該波紋篩網之分離濾器6，如第4A圖，係以例如不銹

313918.ptd 第12頁 542748 五、發明說明（6) 鋼細線編成網狀，形成稜紋之波紋篩網6a，及第4B圖所示 之平編網6b之組合物。藉此，如第4C圖所示於垂直方向流 入之廢氣，及如第4D圖所示於平行方向流入之廢氣，沿波 紋面形成氣流，藉此形成氣流之停滯。氣流之停滯若形 成，該部份廢氣中之產物長時間接觸金屬線網，凝固附著 於此，廢氣中之產物可以固狀物大量捕捉。波紋篩網之分 離濾器6，因係大網目尺寸之濾器加工成波紋狀，以若干 片疊合而成故空間率高，有產物附著時仍易保留氣體通 路，濾器内部不易堵塞。 第5 A至C圖係例示使用波紋篩網之分離濾器之構造。 如第5A圖所示，波紋篩網6a係例如0. 3毫米0不銹鋼細線 編成網狀，加工成稜紋狀（波紋狀）者。該例中網目尺寸係 1平方英吋中有1 4目左右，稜紋間隔約1 5毫米，稜紋高度 約1 0毫米。 於是，波紋篩網之分離濾器6，如第5 B圖所示，將如 此之波紋篩網6a以多數層（例如3至5層）重疊，固定於例如 1. 5毫米0左右之不銹鋼粗線之平編篩網（多孔性構 材）6b。該不銹鋼粗線之篩網6b具剛性，將材質極其柔軟 之波紋篩網6 a繫缚而固定。而固定方法亦可用焊接等其它 方法。因此，以多數層波紋篩網6a與平編篩網（多孔性構 材）6b構成之分離濾器6之厚度即在例如2 5毫米之譜。又因 平編篩網6 b係為固定柔軟材質之波紋篩網6 a而設，係採用 例如1平方英吋3目左右之較大網目尺寸。 第5 C圖係例示篩網除霧器（C v i r e d e m s t e r )之構造。

313918.ptd 第13頁 542748 五、發明說明（7) 此係如第5 A圖所示有多層波紋網，於其兩側配置上述之平 編多孔性構件（金屬粗線網）6b而成。如此構成之蒒網除 霧器，係配置於第1至3圖之分離裝置中衝孔金屬7a之下游 側使用。使用該篩網除霧器則因有波紋網，可得較佳廢氣 中反應產物之捕捉效率，且因壓降小，於衝孔金屬7a垂直 方向流出之氣體，可較自由轉換方向導向流出口 9。而， 該構造例僅係一例，當然亦可對波紋濾器之層數、網目尺 寸、金屬線徑等作適當變更。 上述實施形態中，波紋篩網之分離濾器係以使用通常 之網狀分離濾器、衝孔板、篩網除霧器之例作說明。然 而，當然亦可使用例如折流板（b a f f 1 e p 1 a t e )等其它形式 之濾器，而組合網目尺寸及選定濾器間隔等時，須隨真空 泵之設置現場等之狀況選用恰當之尺寸。 第6圖係另一實施形態之衝孔金屬濾器，於金屬板設 有多數圓形開口部。該開口部係以配置成如圖之交錯格子 狀為佳，並且縮小上部開口面積，放大下部開口面積，於 上部設流出口時，可保持通過該濾器面之氣體流量全面均 勻。又，此時開口之大小、形狀係如圖之圓形，但未必須 係圓形，應隨適當設計條件而變更。 第7A至D係圖示對各種分離容器1之流入口 2之連接。 第7A圖係對分離容器1直線狀配置廢氣流入口 2之例。以該 配置，分離容器1内之流入口 2開口部之周圍1 a部份，即易 有廢氣中之產物凝固成固狀物附著。因此，如第7B圖所示 之構造係設有突出部2 a，使流入口 2突出於分離容器1内

313918.ptd 第14頁 542748 五、發明說明（8) 部。又，第7C圖所示之構造係於流入口 2設推拔狀部份 2b，開口於分離容器1内部。藉此，可防產物之附著於流 入口 2之入口附近，廢氣流動受阻等之問題。而第7D圖係 於分離容器1内部設擋板2 c，正對自流入口流入之廢氣。 藉此，可擾亂分離容器1内部之廢氣氣流，延長分離容器1 内部廢氣之滯留時間，以提高捕捉效率。而上述實施形態 係就配置波紋篩網於廢氣之最上游側之例作說明，當然亦 可反之將波紋篩網配置於廢氣流路之下游側。 第8圖係沿第3圖分離容器之V I I I -V II I線之剖視圖， 呈示冷卻水流路1 0配置有分流板1 1，藉以形成冷卻分離容 器整體及分離濾器6、7、8等之流路。藉該構造可抑制冷 卻水之滞留於單一處所，以順暢水流冷卻分離濾器6、7、 8及金屬板材4等。 濾器之更換，須依流入口側及流出口側之排氣壓力 (壓差）之變化而更換。又，濾器之堵塞狀況係以沿氣流方 向配置之具備投光部及受光部之光感測器，量測通過多數 濾器之透光量，可判定各分離濾器之固狀物附著狀況，以 及分離濾器之清洗時機等。容器内之高溫部份以用熱電偶 (T h e r m 〇 c 〇 u p 1 e )量測溫度，監視粉體之附著狀況為較佳。 上述之高溫部份有例如廢氣納入空間。 濾器清洗係如下列之步驟施行。首先，取下分離容器 1之頂蓋1 3，然後沿固定導軌等拉出各濾器6、7、8。再將 濾器放入清洗液清洗，水洗後以空氣吹乾等使之乾燥。然 後各濾器6、7、8沿原導軌等裝填於容器1。然後再固定頂

313918.ptd 第15頁 542748 五、發明說明（9) 蓋1 3，完成一次濾器維護作業。以氮氣清除（purge )亦可 造成廢氣中之產物易於凝固之環境。此即因於廢氣流動之 逆向導入氮氣，使該氣體於容器内形成旋渦亂流。 第9圖係表示本發明第二實施形態之分離裝置。該分 離裝置係於圓筒形外殼2 1將蓋體3 0固定，構成密閉容器。 容器中具備有流入口 2 2及流出口 2 3，使藉乾式真空泵等作 真空排氣之廢氣於内部流動，捕捉氣體中所含之產物。自 流入口 2 2流入之廢氣，係首先導入廢氣納入空間2 5，藉以 轉換方向，通過分離濾器2 6、2 7、2 8、2 9之濾材，經流出 口 2 3流出。 面向廢氣納入空間2 5之濾器2 6係如上述之波紋篩網之 分離濾器。分離濾器2 7、2 8係愈靠近沿廢氣流動方向之流 出口側，濾網之網目尺寸愈小。連接於流出口 2 3之分離濾 器2 9，係網目尺寸大之濾器。更於圓筒形外殼2 1上具備有 冷卻部3 1，冷卻水流過以冷卻分離容器之外殼2 1及各濾器 2 6、2 7、2 8、2 9，藉此即易於凝結固化廢氣中所含之產 物。 該分離裝置之動作如下。首先，自流入口 2 2流入之廢 氣係沿推拔部2 4流入廢氣納入空間2 5。因該空間係封閉空 間，廢氣行進停滯，於各濾器2 6、2 7、2 8、2 9之垂直方向 流動，經最粗目濾器2 9再轉換方向為廢氣之流入方向，由 流出口 2 3流出外部。流入廢氣納入空間2 5之廢氣，因係沿 波紋篩網濾器2 6之表面流動，連同該空間之係封閉空間， 於波紋面之部份產生停滯，藉以高效率凝結廢氣中之產

313918.ptd 第16頁 542748 五、發明說明（ίο) 物，而捕捉固狀物。 在此，濾器2 6、2 7、2 8、2 9各係同軸隔以間隙配置。 自流入口 2 2流入之廢氣，在廢氣納入空間2 5内沿波紋篩網 濾器2 6流動，於波紋篩網濾器2 6表面附近產生停滯。藉 此，波紋濾器2 6即可以高效率捕捉廢氣中之產物。於是， 廢氣更朝向半徑方向之中心部，於粗目之中心部濾器2 9部 份氣流更轉向流入方向，經流出口排出。其中，濾器2 6、 2 7、2 8、2 9各係配置為具有足夠之間隙，即使有反應產物 凝固附著於篩網濾器，亦不輕易堵塞。 再者，各分離濾器2 6、2 7、2 8、2 9因其配置具有足夠 之間隙，如同上述第一實施形態，清洗等維修工作易於進 行。而各濾器2 6、2 7、2 8、2 9因係固定於蓋體3 0，將蓋體 3 0自圓筒形外殼2 1拉起，清洗即可輕易進行。 該形態中，除篩網濾器以外可用衝孔板，或折流板等 其它形式之濾器作為分離濾器。使用金屬板上設有任意口 徑、數目之開口之衝孔板時，藉調整該衝孔板之孔徑及開 口數，可對廢氣流量產生任意壓降，可使廢氣長時間滯留 於分離容器内部。 第1 0 A至C圖係說明上述實施形態中，分離裝置於真空 排氣系統之各種配置例。第1 0 A圖係例示使用真空室3 6及 乾式真空泵3 2作真空排氣，將分離裝置3 7配置於其下游 側，經切換式分離構件3 3以廢氣處理裝置3 4處理廢氣，然 後排入大氣内。該例中係具有循環流路3 5，真空泵清除用 惰性氣體於此流動，以切換式分離構件3 3分離真空廢氣及

313918.ptd 第17頁 542748 五、發明說明（11) 惰性氣體，使乾式真空泵可經常作真空排氣而一面進行氣 體清除。該裝置中，分離裝置3 7亦可配置於圖中所示點線 之位置。當然，這些之併用亦無不可。 第1 Ο B圖係將循環氣體流路配置於乾式真空泵3 2之排 氣側及真空室3 6之間。該實施形態中，為防來自真空室之 廢氣產物中固化成分於真空室3 6逆流，備有濾器等構成之 氣體·固體分離機構3 8。該實施形態中分離裝置3 7係配置 於真空泵3 2之下游側。第1 0 C圖中係將氣體循環流路3 5設 置成可自分離裝置3 7之出口側循環至入口側。並於廢氣處 理裝置3 4之入口側設有調壓閥3 9。調整該調壓閥3 9之開口 (opening)，可使通過分離裝置37之部份廢氣再循環至分 離裝置3 7。藉此，廢氣即可循環於分離裝置3 7，捕捉廢氣 中所含產物之機率可以更高。 這些真空排氣系統中分離裝置3 7係皆具備有：於真空 廢氣之流入方向截面積擴大之廢氣納入空間，及該廢氣納 入空間内廢氣流向轉換為略垂直方向而通過之分離構件 等。因此，將這些分離裝置3 7安裝於真空泵3 2之排氣側， 即可以高效率捕捉廢氣中之產物。並且，分離容器内因有 廢氣納入空間及分離構件，延伸之表面積極大，因而可大 量捕捉固狀物。因此，真空泵之排氣側即無以往之粉狀物 質堆積之問題，可經常維持排氣之傳導度於良好狀態。又 因可如上述大量捕捉固狀物，清洗等之維修週期可予延 長。 上述之實施形態中雖係以箱形及圓筒形二類之分離容

313918.ptd 第18頁 542748 五、發明說明（12) 器作說明，但容器形狀及濾器之配置等可有種種變化，自 不待言。 [發明之效果] 如以上說明，根據本發明可提供廢氣產物之捕捉效率 高，並且維修容易之分離裝置。

313918.ptd 第19頁 542748 圖式簡單說明 [圖式之簡單說明] 第1圖係本發明之第一實施形態中分離裝置之俯視 圖。 第2圖係第1圖之分離裝置之前視圖。 第3圖係第1圖之分離裝置沿I I I - I I I線之剖視圖。 第4A圖係波紋篩網之部份側視圖，第4B圖係平編網之 部份側視圖，第4C圖係於垂直方向流入之氣體，其停滯形 成之示意圖，第4D圖係於水平方向流入之氣體，其停滯形 成之示意圖。 第5 A圖係例示波紋篩網之構造之部份側視圖，第5 B圖 示波紋網之分離濾器，第5 C圖係篩網除霧器之示意剖視 圖。 第6圖例示衝孔金屬濾器之構造。 第7A圖至第7D圖係呈示各種分離容器與流入口之連接 狀態之剖視圖。 第8圖係沿第3圖之V I I I -V I I I線之剖視圖。 第9圖係本發明之第二實施形態中分離裝置之剖視 圖。 第1 0A圖至第1 0C圖係例示各種真空排氣系統之構造之 方塊圖。 [元件符號說明] 1 阻陷 容器 2、22 流入口 2a 突出 部 2b 推拔狀部分 2c 擋板 3> 25 廢氣納入空間

313918.ptd 第20頁 542748 圖式簡單說明 4 金屬板材 5 阻陷構件 6U 滤器 6a 波紋篩網 6b 平編網 6d、6 s 波紋篩網阻陷濾器 7 篩網濾器積層體 7a 衝孔金屬 8 篩網除霧器 23 流出口 10 水流路 11 分流板 13 頂蓋 21 外殼 24 推拔部 26> 27^ 28^ 29 阻陷濾器 31 冷卻部 32 真空泵 33 切換式阻陷構件 35 氣體循環流路 34 廢棄處理裝置 36 真空室 37 阻陷裝置 38 氣體固體分離機構 39 調壓閥

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Claims (1)

1. 542748 六、申請專利範圍 1. 一種分離裝置，係使自製程裝置排出之廢氣中之產物 接觸分離構件而加以捕捉之分離裝置，其特徵為： 容納上述分離構件之分離容器，係連接於上述廢 氣之流入口，具備於上述廢氣之流入方向截面積擴大 之廢氣納入空間，上述廢氣之流路係配置成，在廢氣 納入空間内其流向轉為略正交方向，並在流過時接觸 上述分離構件。 2. 如申請專利範圍第1項之分離裝置，其中於上述分離構 件之沿上述廢氣納入空間之表面，配置波紋篩網之分 離渡器。 3. 如申請專利範圍第1項之分離裝置，其中上述分離容 器，係自上述廢氣納入空間之内壁面延伸於上述廢氣 納入空間内配置分離構件。 4. 如申請專利範圍第3項之分離裝置，其中延伸於上述納 入空間内之分離構件係，配置成平行於上述廢氣之流 入方向之金屬板。 5. 如申請專利範圍第3項之分離裝置，其中延伸於上述納 入空間内之分離構件係，配置成平行於上述廢氣之流 入方向之波紋篩網之分離濾器。 6. 如申請專利範圍第1項之分離裝置，其中於上述廢氣納 入空間，氣流方向轉換為略正交方向之氣體所通過之 分離構件，係由具有多種網目尺寸之多數分離濾器之 積層體所構成，配置成沿上述氣體之流向，網目尺寸 依序變小。

   313918.ptd 第22頁 542748 六、申請專利範圍 7. 如申請專利範圍第1項之分離裝置，其中於上述分離容 器内配備冷卻水流路。 8. 如申請專利範圍第1項之分離裝置，其中上述分離構件 係以可拆卸的方式安裝於上述分離容器。 9. 一種分離方法，係使自製程裝置排出之廢氣中之產物 接觸分離容器内之分離構件而加以捕捉之分離方法， 其特徵為· 將上述廢氣導入上述分離容器内之寬廣空間，使 該廢氣減速，其流向轉為上述廢氣流入方向之略正交 方向，而通過上述分離構件。 1 0 .如申請專利範圍第9項之分離方法，其中上述分離容器 内之寬廣空間，沿上述廢氣流入方向配置波紋篩網之 分離濾器，使其與上述廢氣接觸。 1 1.如申請專利範圍第9項之分離方法，其中鄰接上述分離 容器内之寬廣空間，配置產生壓降之分離構件，藉此 將上述廢氣流向自其流入方向轉為略正交方向，通過 上述分離構件。 1 2 .如申請專利範圍第11項之分離方法，其中上述產生壓 降之分離構件包括衝孔金屬。 1 3 .如申請專利範圍第11項之分離方法，其中通過上述產 生壓降之分離構件之上述廢氣，係通過壓降小之分離 構件而導至流出口。 1 4 .如申請專利範圍第1 3項之分離方法，其中上述壓降小 之分離構件係篩網除霧器。

   313918.ptd 第23頁 542748 六、申請專利範圍 1 5 .如申請專利範圍第9項之分離方法，其中上述分離容器 内之寬廣空間，沿上述廢氣流入方向延伸自上述分離 容器内壁面配置分離構件，將該分離構件冷卻，使與 上述廢氣接觸。 1 6 .如申請專利範圍第1 5項之分離方法，其中延伸於上述 寬廣空間之分離構件，係配置成平行於上述廢氣流入 方向之金屬板。 1 7 .如申請專利範圍第1 5項之分離方法，其中延伸於上述 寬廣空間之分離構件，係配置成平行於上述廢氣流入 方向之波紋篩網之分離濾器。 1 8. —種真空排氣裝置，其特徵為··將真空泵連接於分離 容器，該容器具備真空廢氣之流入方向截面積擴大之 廢氣納入空間，及上述廢氣納入空間内上述廢氣流向 轉為略正交方向而通過之分離構件。 1 9 .如申請專利範圍第1 8項之真空排氣裝置，其中上述分 離容器係連接於上述真空泵之排氣側。 2 0. —種分離濾器，其特徵為：係由將金屬細線編成網狀 ，形成稜紋狀之波紋篩網，及固定該波紋篩網之平編 多孔性構件所構成。 2 1.如申請專利範圍第2 0項之分離濾器，其中具備多數層 之上述波紋篩網。 2 2 .如申請專利範圍第2 0項之分離濾器，其中上述平編多 孔性構件係將金屬粗線編成筛網狀所形成。 2 3 .如申請專利範圍第2 0項之分離濾器，其中具備多數層

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