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TECHNISCHES
GEBIET
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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung und ein
Verfahren zum Einfangen von festen Substanzen, verschiedenen Produkten, die
in Abgasen enthalten sind, die von einer Prozessvorrichtung wie
einer evakuierten Halbleiterfabrikationsvorrichtung entladen wird.
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STAND DER
TECHNIK
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Prozessvorrichtungen
wie Halbleiterfabrikationsvorrichtungen werden für das Filmwachstum und Beizen
von Halbleitersubstraten hierin evakuiert. Abgase, die von solchen
Prozessvorrichtungen nach dem Filmwachstum und Beizen der Halbleitersubstrate
entladen sind, enthalten viele Gase, die unreagierte Gase und Reaktionsprodukte
umfassen, die neu durch Reaktionen kreiert wurden. Während diese
Gase durch eine Abgaspassage strömen,
kollidieren sie durch Oberflächenirregularitäten in der
Abgaspassage, und werden in eine feste Substanz durch einen Temperatur-,
Geschwindigkeits- und Richtungswechsel verfestigt.
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Wenn
die festen Substanzen in Rohren und auf Rotoren der Vakuumpumpe
festgesetzt werden, die zu einer Prozessvorrichtung verbunden sind,
verringern sie die Ableitung des Abgases, was dann dazu neigt, dass
die Vakuumpumpe ausfällt.
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Wenn
die Vakuumpumpe während
des Prozesses ausfällt,
der durch die Halbleiterfabrikationsvorrichtung durchgeführt wird,
dann können
Halbleitersubstrate, die durch die Halbleiterfabrikationsvorrichtung
durchgeführt
werden, möglicherweise
technische Schwierigkeiten bekommen. Einfangvorrichtungen sind weit
verbreitet so verwendet worden, dass sie Mittel für Einfangreaktionsprodukte
sind, die in Abgasen enthalten sind. Die Einfangvorrichtungen haben
ein Einfangglied, wie zum Beispiel eine Metallplatte, ein Maschengitter
oder ein Prallblech, das gekühlt
ist. Abgase, die von der Prozessvorrichtung abgesetzt wurden, werden
mit den gekühlten
Einfanggliedern in Kontakt gebracht, worauf Gasprodukte, die in
den Abgasen enthalten sind, in feste Substanzen verfestigt werden,
die dann auf dem gekühlten Einfangglied
abgelagert werden. Die Produkte, die in den Abgasen enthalten sind,
haben im Allgemeinen eine solche gasförmige/feste Temperaturcharakteristik,
dass sie in gasförmiger
Form eine höhere
Temperatur besitzen und in der festen Phase niedrigere Temperaturen
besitzen. Wenn Abgase, die Produkte enthalten, mit dem Einfangglied
bei niedrigen Temperaturen in Kontakt kommen, werden die Produkte
mit der Oberfläche
des kalten Einfangglieds in Kontakt gebracht und werden in feste
Substanzen verfestigt, die dann auf dem Einfangglied abgelagert
werden.
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Wenn
die Maschengittergröße der Maschengitter
des Einfangglieds reduziert wird, dann vergrößert sich die Einfangeffizienz,
mit der die Produkte in den Abgasen eingefangen werden. Trotzdem
neigt die reduzierte Maschengittergröße dazu, bei dem Einfangglied
zu bewirken, häufig
glatt zu sein. Deshalb muss die Einfangvorrichtung häufig gewartet werden
und die Lebenserwartung wird verringert. Und auf der anderen Seite
ist das Maschengitter anfällig
für die
Glättung
durch die festen Substanzen, wenn die Maschengittergröße des Maschengitters des
Einfanggliedes vergrößert wird,
aber die Einfangeffizienz verringert sich.
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US 6,156,107 beschreibt
eine Einfangvorrichtung, die ein Gehäuse, das für ein Abgassystem bereitgestellt
ist, das für
einen Film verwendet wird, der eine Ausrüstung baut, welche einen Filmformungsprozess
auf ein Objekt ausführt,
eine Gasversorgungsstelle, die in dem Gehäuse hergestellt wird und mit
einem Abgasrohr Abgassystems verbunden ist zur Einführung eines
Abgasstroms durch einen Innenraum durch das Gehäuse zu dem Abgasrohr, eine
Vielzahl an Partitionsplatten, die in dem Gehäuse so angeordnet sind, dass
sie den Innenraum des Gehäuses
in eine Vielzahl von Räumen
zwischen der Gasversorgungsstelle und der Abgasstelle, eine Gasverteilungsstelle,
die in einigen der Partitionsplatten bereitgestellt ist, so dass
das Abgas, das in das Gehäuse
durch die Gasversorgungsstelle durch die Räume strömen kann, die durch die Partitionsplatten getrennt
sind, in der Reihenfolge, und dann von der Abgasstelle ausgegeben,
einen Einfangmechanismus, der in jedem der Gehäuse durch die Gasversorgungstelle
zu finden ist, und einen Temperaturkontrollmechanismus zur individuellen
Kontrolle der Temperaturen in den durch Partitionsplatten getrennten Räumen umfasst.
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GB 1 400 117 beschreibt
eine Gasreinigungsvorrichtung, die ein turmartiges oder zylinderförmiges Gehäuse mit
einem unreinen Gaseinlass, einem reinen Gasauslass, ein Filterbett
mit Düsen, das
hierüber
angeordnet ist, um eine Reinigungsflüssigkeit und zwei Batterien
des Tropftyptrenners einzuführen
und entfernt vom Bett und voneinander angeordnet, aus Batterie bestehende
von geneigten Sätzen
parallel glatten Rückstoßoberflächen, aus Batterie
aufweisende Rückstoßoberflächen trapezförmig in
vertikaler Ebene und Spüldüsen, um
eine Grundflüssigkeit
zumindest zur niedrigsten Batterie zu transportieren, aufweist.
In beiden Sätzen
sind die Oberflächen
zur Ebene der Oberflächen
gesehen V-förmige
Leitnuten. Kammerpartitionswände
sind auch vorhanden.
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US 3,856,487 I umschließt einen
Gasreiniger zur Entfernung von Partikeln und chemischen Verunreinigungsmitteln
aus der Luft und anderen Gasen. Die Partikel und chemischen Verunreinigungsmittel werden
von Gas, das durch den Reiniger gesaugt wird durch Trägheitsseparation
entfernt, indem Wasser oder flüssige
Chemikalien gesprüht
werden und durch Filtertechniken. Ein Einschnürungsabschnitt einer anpassungsfähigen Querschnittsfläche wird
in dem Reiniger zur Verfügung
gestellt, um eine optimale Luftgeschwindigkeit und Turbulenz für maximale Reinigungseffizienz über eine
große
Reichweite an Luftbearbeitungskapazität bereitzustellen. Eine zweistufige
Versitzgrube ist für
den Wassersprüher
oder Verflüssiger
vorhanden, um die Glättung
der Spritzdrüse
zu vermeiden. Entfernbare Filterkörbe von variabler Tiefe werden
während
der letzten Luftbehandlung oder der Gassäuberung eingesetzt.
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US 5,211,729 umschließt eine
Prallblech-/Bereinigungskammer, die feste Partikel von dem Abgas
einer Halbleiterabstellausrüstung
entfernt, während
die Druckfluktuation im Abgas reduziert wird, um mehr gleichartige
Abstellchemikalien bereitzustellen. Ein Container mit einem Einlassprallblech,
einem Auslassprallblech und drei Bereinigungsplatten, die dort aufgestellt
sind, sind in einer Kammer aufgestellt und bleiben fortlaufend in
dem Abgasstrom.
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US
2001/003892 umschließt
eine Vorrichtung zur Verbesserung der Effizienz der Sammlung von
Verfestigungsbestandteilen und Feststoffen im Abgas und für das Verhindern
der frühen
Blockade der Filter ohne die Beschädigung der Vakuumpumpe. Im
Abgasweg 48a sind eine Vakuumpumpe und eine Abgasfiltrationseinrichtung
bereit gestellt. Diese Abgasfiltrationseinrichtung ist durch eine
Einfangeinrichtung, einen Vorfilter und einen Filter errichtet.
Der Vorfilter reduziert die Abgasstromrate, die durch das Innere
des Abgaswegs strömt
durch die Kontrolle des Abgasstromwegs in dem Behälter. Der
vorher genannte Abgasweg ist durch die Verbindung dieser Vakuumpumpe,
der Einfangeinrichtung, des Vorfilters und des Filters errichtet,
die in dieser Reihenfolge von der Seite des Luft verschlossenen
Behälters angeordnet
sind und durch die Röhre
falls nötig
verbunden sind.
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Gemäß der vorliegenden
Erfindung sind eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Kontrolle
der Gewinnung eines Momentensensors wie in Anspruch 1 bzw. Anspruch
6 aufgezeigt, bereitgestellt. Bevorzugte Ausführungsbeispiele sind in den
dazugehörigen Ansprüchen beansprucht.
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OFFENBARUNG
DER ERFINDUNG
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Deshalb
ist es Gegenstand der vorliegenden Erfindung, eine Vorrichtung für Einfangprodukte
bereitzustellen, die in Abgasen mit einer relativ hohen Einfangeffizienz
enthalten sind, dessen Vorrichtung weniger häufig gewartet werden muss und
eine größere Lebenserwartung
als herkömmliche
Einfangvorrichtungen besitzt und ein Verfahren zum Einfangen von
Produkten, die in Abgasen enthalten sind, die durch die Einfangvorrichtung
ausgeführt
wird.
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Gemäß der vorliegenden
Erfindung ist eine Vorrichtung zum Einfangen von festen Substanzen bereitgestellt,
die von Reaktionsprodukten konvertiert werden, die in Abgasen vorhanden
sind, die von einer Prozessvorrichtung durch eine Vakuumpumpe entladen
werden, die wiederum ein Einfangglied für den Kontakt der Abgase aufweist
und Reaktionsprodukte einfängt,
die in den Abgasen enthalten sind, und ein Einfanggehäuse beherbergt
das Einfangglied hierin, wobei das Einfanggehäuse einen Einlassanschluss
zur Einführung
der Abgase besitzt und einen Abgasraum, der mit dem Einlassanschluss
verbunden ist und eine vergrößerte Querschnittsfläche in die Richtung
besitzt, in die die Abgase strömen,
und wobei das Einfanggehäuse
eine Strompassage besitzt, die dadurch definiert ist, dass die Abgase
in den Abgasraum strömen
und dann die Richtung wechselt, in die die Abgase strömen, so
dass der Strom vom Abgasraum im Wesentlichen rechtwinklig zu dem
Einfangglied strömt,
so dass die Abgase das Einfangglied passieren, während sie mit ihm in Kontakt
stehen.
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Mit
der oben erwähnten
Anordnung kann der Abgasraum, der in dem Einfanggehäuse definiert
ist und mit dem Einlassanschluss verbunden ist, eine größere Querschnittsfläche besitzen
als der Einlassanschluss. Die Abgase, die von dem Einlassanschluss
in den Abgasraum eingeführt
werden, strömen
bei reduzierter Geschwindigkeit, was Reaktionsprodukten, die hierin
enthalten sind, den Kontakt zum Einfangglied, das gekühlt wird
und das Absetzen und das Ablagern als feste Substanzen erlaubt.
Wenn die Abgase ihre Richtung in dem Einfanggehäuse ändern, so dass sie von den
Abgasen, die im Wesentlichen rechtwinklig zu dem Einfangglied aufgestellt sind,
strömen
die Abgase langsam zum Kontakt mit dem Einfangglied. Deshalb werden
die Reaktionsprodukte, die in den Abgasen enthalten sind, zuverlässig mit
dem Einfangglied in Kontakt gebracht und als feste Substanzen mit
hoher Wahrscheinlichkeit auf eine erhöhte Einfangeffizienz eingefangen.
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Vorzugsweise
erstreckt sich ein Einfangfilter eines welligen Maschengitters entlang
einer Oberfläche
des Einfanggliedes und entlang des Abgasraumes. Das wellige Maschengitter
stellt eine Einfangoberfläche
zur Produktion von stagnierenden Regionen in dem Strom der Abgase
für die
Erhöhung
der Einfangeffizienz bereit.
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Das
Einfangglied weist vorzugsweise eine beschichtete Anordnung des
Einfangfilters auf, der besonders unterschiedliche Maschengittergrößen besitzt,
die nacheinander entlang der Richtung kleiner werden, in die die
Abgase durch die beschichtete Anordnung strömen.
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Der
Einfangfilter der größeren Maschengittergröße fängt die
größeren Reaktionsprodukte
ein, die in den Abgasen der festen Substanzen enthalten sind. Da
die Einfangfilter durch Lücken
zwischen ihnen auseinander gezogen werden, werden feste Substanzen
daran gehindert, sich auf nur einigen Einfangfiltern abzusetzen,
aber sie werden einheitlich über
die Einfangfilter verstreut. Deshalb muss die Einfangvorrichtung
zur Reinigung oder anderen Erhaltungsaktivitäten weniger häufig eingesetzt
werden.
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Die
oben genannten und weitere Objekte, Funktionen und Vorteile der
vorliegenden Erfindung werden durch die folgende Beschreibung offensichtlich
werden, wenn sie mit den zugehörigen
Zeichnungen zusammen betrachtet werden, die die bevorzugten Ausführungsbeispiele
der vorliegenden Erfindung beispielhaft illustrieren.
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KURZE BESCHREIBUNG DER
ZEICHNUNGEN:
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1 ist
ein Grundriss einer Einfangvorrichtung gemäß eines ersten Ausführungsbeispiels
der vorliegenden Erfindung
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2 ist
eine Vorderdraufsicht einer Einfangvorrichtung wie in 1 gezeigt;
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3 ist
eine Querschnittsansicht, hergenommen von den Linien III-III aus 1
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4A ist
eine unvollständige
perspektivische Ansicht eines welligen Maschengitters;
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4B ist
eine unvollständige
perspektivische Ansicht eines geraden Web- bzw. Bindungsmaschengliedes;
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4C ist
eine Querschnittsansicht, die stagnierte Regionen zeigt, die gebildet
werden, wenn Abgase rechtwinklig zu einem Einfangfilter strömen;
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4D ist
eine Querschnittsansicht, die stagnierte Regionen zeigt, die gebildet
werden, wenn Abgase parallel zu einem Einfangfilter strömen;
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5A ist
eine unvollständige
perspektivische Ansicht eines welliges Maschengitters;
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5B ist
eine unvollständige
Querschnittsansicht einer Anordnung eines Einfangfilters;
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5C ist
eine unvollständige
Querschnittsansicht eines Drahtdemisters bzw. -entneblers;
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6 ist
eine Ansicht einer anderen perforierten Metallplatte;
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7A bis 7D sind
Draufsichten, die verschiedene gemeinsame Konfigurationen zwischen
den Einfanggehäusen
und den Einlassanschlüssen
zeigen;
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8 ist
eine Querschnittsansicht, hergenommen von den Linien VIII-VIII von 3;
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9 ist
eine Querschnittsansicht einer Einfangvorrichtung gemäß eines
zweiten Ausführungsbeispiels
der vorliegenden Vorrichtung und
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10A, 10B und 10C sind Blockdiagramme von verschiedenen Evakuierungssystemen.
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BESTE ART
DER AUSFÜHRUNG
DER ERFINDUNG
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1 bis 3 zeigen
eine Einfangvorrichtung gemäß einem
ersten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung.
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Wie
in 1 bis 3 gezeigt, besitzt die Einfangvorrichtung
ein boxenförmiges
Einfanggehäuse 1,
das auf dem Weg der Abgase angeordnet ist und von einer Prozessvorrichtung
durch eine Vakuumpumpe entlastet wird. Die Einfangvorrichtung besitzt
einen Einlassanschluss 2, der an einer Seitenwand des Einfanggehäuses 1 montiert
ist und einen Auslassanschluss 9, der an einer oberen Wand
des Einfanggehäuses 1 in
der Nähe
einer ihrer Seitenwand montiert ist, die gegenüber von der Seitenwand ist,
auf der der Einlassanschluss 2 montiert ist. Das Einfanggehäuse 3 hat
in sich einen breiten Abgasraum 3 definiert, der mit dem
Einlassanschluss 2 in Verbindung steht und eine Metallplattenanordnung 4 als
Einfangeinheit in sich hat, die in einer Region des Abgasraumes 3 entfernt
von dem Einlassanschluss 2 angesiedelt ist. Die Metallplattenanordnung 4 stellt einen
großen
Kontaktbereich mit den Abgasen zur Verfügung, die von dem Einlassanschluss 2 in
den Abgasraum 3 eingeführt
wurden, um eine große Menge
an festen Substanzen hierein hineinzuführen. Die Metallplattenanordnung 4 weist
eine Vielzahl an kombinierten Metallplatten auf. Die Metallplattenanordnung 4 projiziert
von einer Innenwandoberfläche des
Einfanggehäuses 3 in
den Abgasraum 3 und erstreckt sich parallel in die Richtung,
in die die Abgase von dem Einlassanschluss 2 in den Abgasraum 3 strömen. Das
Einfanggehäuse 1 besitzt
eine Kühlwasserstrompassage 10 (siehe 3)
und wird durch gekühltes
Wasser, dass durch die Kühlwasserstrompassage
fließt,
gekühlt,
und deshalb werden die Temperaturen der Innenwandoberfläche des
Einfanggehäuses 3 erniedrigt
und die Metallplattenanordnung 4 damit verbunden. Wenn
gasförmige
Reaktionsprodukte, die in den Abgasen im Abgasraum 3 enthalten
sind, die Innenwandoberfläche
des Einfanggehäuses 3 und
die Metallplattenanordnung 4, die demzufolge dann gekühlt ist,
kontaktieren, werden die gasförmigen
Reaktionsprodukte in feste Substanzen verfestigt.
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Der
Einlassanschluss 2 besitzt einen querschnittsförmigen Bereich,
der sehr viel kleiner ist, als der querschnittsförmige Bereich des Abgasraumes 3. Deshalb
wird die Geschwindigkeit der Abgase reduziert, wenn die Abgase von
dem Einlassanschluss 2 in den Abgasbereich 3 eingelassen
werden. Der Einlassanschluss 2 kann kegelförmig mit
einem progressiv in Richtung Einfanggehäuse 1 größer werdenden Durchmesser
sein, um die Blockierung des Einlassanschlusses 2 mit pulverartigen
Substanzen zu vermeiden, die produziert werden, wenn gasförmige Produkte,
die in den Abgasen vorhanden sind, verfestigt werden.
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Wie
oben beschrieben wird der Abgasraum 3 an die Innenwandoberfläche des
Einfanggehäuses 3 und
die Metallplattenanordnung 4 angrenzend positioniert, die
durch Kühlwasser
gekühlt
wird, das durch die Kühlwasserstrompassage
fließt.
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Als
Konsequenz werden die Abgase, wenn sie von dem Einlassanschluss 2 in
den Abgasraum 3 gelenkt werden, in den Abgasraum 3 langsam
hineingeführt
und dann neigen sie dazu, mit der Innenwandoberfläche und
der Metallplattenanordnung 4 in Verbindung zu bleiben.
Gasförmige
Reaktionsprodukte, die in den Abgasen vorhanden sind, werden deshalb
in feste Substanzen verfestigt, die dann in dem Abgasraum 3 eingefangen
werden.
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Die
Metallplattenanordnung 4 kann durch einen Einfangfilter 6d ersetzt
oder kombiniert werden, in der Form eines welligen Maschengitters,
das auf der Innenwandoberfläche
des Einfanggehäuses 3 montiert
ist und sich parallel in die Richtung erstreckt, in die die Abgase
in den Abgasraum 3 strömen.
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Der
Einfangfilter stellt, wenn er so positioniert ist, eine große Kontaktfläche mit
Abgasen für
eine vergrößerte Einfangeffizienz
zur Verfügung.
Der Einfangfilter besitzt ein Ende, das sich hauptsächlich stromaufwärts befindet,
das vorzugs weise von dem Einlassanschluss 2 durch eine
bestimmte Entfernung L verteilt ist. Weil der Einfangfilter 6d so
von dem Einlassanschluss 2 verteilt ist, werden die festen
Substanzen, die aus gasförmigen
Reaktionsprodukten konvertiert wurden, daran gehindert, sich in
der Nähe der
Einlassanschluss 2 festzusetzen und folglich den Einlassanschluss 2 zu
blockieren.
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Das
Einfanggehäuse 1 beherbergt
in sich außerdem
eine Einfanganordnung 5, die eine beschichtete Anordnung
an Einfangfiltern aufweist, die an den Abgasraum 3 angrenzen.
Genauer gesagt weist die Einfanganordnung 5 einen Einfangfilter 6 auf,
der ein welliges Maschengitter umfasst, das entlang einer Fläche des
Abgasraumes 3 liegt und einen Einfangfilter 6s,
der ein welliges Maschengitter umfasst, das eine kleinere Maschengittergröße besitzt
als die Einfangfilter 6 und angrenzend an und abwärts vom
Einfangfilter 6 in eine Gasstrompassage in ein Einfanggehäuse 1 angeordnet
ist, und eine beschichtete Anordnung 7 von mehreren Maschengitterfiltern,
die entsprechende Maschengittergrößen besitzen, die abwärts des
Einfangfilters 6 in der Gasstrompassage angeordnet sind.
Noch genauer weist die beschichtete Anordnung 7 eine Vielzahl
an Maschengitterfiltern auf, die eine sukzessive kleinere Maschengittergröße in einer
Stromabwärtsrichtung
besitzen, z.B. 14 Maschengitter, 30 Maschengitter, 80 Maschengitter
und 150 Maschengitter pro Quadratzoll (entspricht ca. 2 Maschengittern,
5 Maschengittern, 12 Maschengittern und 23 Maschengittern pro Quadratzentimeter). Diese
Maschengitterfilter werden in Intervallen verteilt, die von 2 bis
zu 5mm variieren, die als Bereiche dienen, um feste Substanzen einzufangen
und darin wachsen zu lassen. Auf die beschichtete Anordnung 7 folgt
eine perforierte Metallplatte 7a, die stromabwärts direkt
danach angeordnet ist und ein Durchlassverhältnis von ca. 30% besitzt.
Die perforierte Metallplatte 7a dient der Entwicklung eines
Druckverlustes. Nach der perforierten Metallplatte 7a folgt
eine Vielzahl an Drahtdemistern bzw. -entnebler 8, die stromabwärts direkt
danach folgen. Die Drahtdemister bzw. -entnebler 8 dienen
als Einfangglieder zur Entwicklung eines kleineren Druckverlustes
als dem der perforierten Metallplatte 7a. Abgase, die die
perforierte Metallplatte 7a passiert haben, strömen relativ
frei durch die Drahtdemister bzw. -entlader 8 in den Auslassanschluss 9.
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Die
Einfanganordnung 5, die so angrenzend an und stromabwärts des
Abgasraumes 3 festgesetzt ist, entwickelt als ganzes einen
Druckverlust. Abgase, die in den Abgasraum 3 strömen, bleiben
vorübergehend
in dem Abgasraum 3 und strömen dann von dem Abgasraum 3 rechtwinklig
zur Einfanganordnung 5 wegen der stromverbessernden Handlung der
Einfangfilter, die die perforierte Metallplatte 7a umfasst.
Deshalb strömen
die Abgase, wenn sie in das Einfanggehäuse gelenkt werden, zuerst
in den Abgasraum 3 parallel zur Einfanganordnung 5 und ändern dann
ihre Richtung, um rechtwinklig zur Einfanganordnung 5 zu
strömen.
In der Einfanganordnung 5 strömen die Abgase durch einen
vergrößerten querschnittsförmigen Bereich
in einer Richtung rechtwinklig zur Einfanganordnung. Deshalb passieren
die Abgase langsam die Einfanganordnung 5, währenddessen
die Reaktionsprodukte, die in den Abgasen vorhanden sind, verfestigt
werden und sich auf der Oberfläche
der Einfangfilter der Einfanganordnung 5 festsetzen.
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In
der Einfanganordnung 5 passieren die Abgase zunächst den
Einfangfilter 6 und passieren dann die beschichtete Anordnung 7 der
Machengitterfilter, während
sie mit ihnen in Kontakt stehen, in der die Reaktionsprodukte, die
in den Abgasen enthalten in feste Substanzen verfestigt werden,
die dann wiederum auf den Oberflächen
der Maschengitterfilter festgesetzt sind. Da die Gase rechtwinklig den
Einfangfilter 6 von relativ großer Maschengittergröße passieren
und dann rechtwinklig die beschichtete Anordnung 7 der
Maschengitterfilter von relativ kleiner Maschengittergröße passieren,
können
die Reaktionsprodukte, die in den Abgasen enthalten sind, hocheffizient
durch die Einfanganordnung als Ganzes eingefangen werden. Die Maschenfilter
der beschichteten Anordnung 7 sollten vorzugsweise sukzessive
kleinere Maschengittergrößen in Stromabwärtsrichtung
besitzen, z.B. 14 Maschengitter, 30 Maschengitter, 80 Maschengitter
und 150 Maschengitter pro Quadratzoll (entspricht ca. 2 Maschengittern,
5 Maschengittern, 12 Maschengittern und 23 Maschengittern pro Quadratzentimeter).
Deshalb fängt
die beschichtete Anordnung 7 zuerst relativ große Reaktionsprodukte
ein und fängt
danach die relativ kleinen Reaktionsprodukte ein.
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Wie
in 4A gezeigt, besteht jede der welligen Maschengitter 6a aus
dünnen
Drähten
rostfreien Stahls, die in eine welliges Maschengitter mit Graten
eingewebt sind. Wie in 4B gezeigt, besteht jede der
geraden Web- bzw. Bindungsmaschenglieder 6b aus dünnen Drähten rostfreien
Stahls, der in ein gerades Web- bzw. Bindungsmaschenglied eingewebt
ist. Sobald Abgase in die Einfanganordnung 5 eingeführt werden,
strömen
sie zunächst
rechtwinklig zu den Einfangfiltern 6a und kollidieren dann mit
den welligen Maschengittern 6a, wie in 4C aufgezeigt.
Dann strömen
die Abgase weiter und parallel zu der Wellenoberfläche der
welligen Maschengitter 6a, wie in 4C und 4D gezeigt.
Während
die Abgase entlang strömen
und parallel zur Wellenoberfläche
der welligen Maschengitter 6a strömen, werden stagnierte Regionen
in dem Abgasstrom entwickelt. In den stagnierten Regionen bleiben
in den Abgasen enthaltene Reaktionsprodukte mit den Maschengitterdrähten für eine relativ
lange Zeitperiode in Kontakt, und werden dann in feste Substanzen
verfestigt, die auf den welligen Maschengittern 6a festgesetzt
werden. Die festgesetzten festen Substanzen werden dann von den
welligen Maschengittern 6a eingefangen. Da die welligen
Maschengitter 6a übereinander
angeordnet sind, stellen sie eine große Fläche hierin zur Verfügung, die
dazu neigt, eine Gaspassage in den welligen Maschengittern 6a zu
hinterlassen, und das sogar, wenn sich die festen Substanzen auf
den welligen Maschengittern 6a festgesetzt haben. Dementsprechend
sind die Einfangfilter 6a gegen Blockierung resistent.
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5A zeigt
einen Einfangfilter in der Form eines welligen Maschengitters für den Gebrauch
als jede der welligen Maschengitter 6a. Der Einfangfilter aus 5A besteht
aus dünnen
Drähten,
die je einen Durchmesser von 0,3mm besitzen, von rostfreiem Stahl
in ein welliges Maschengitter mit Graten gewebt. Der Einfangfilter
hat eine Maschengittergröße von 14
Maschengittern pro Quadratzoll (ca. 2 Maschengitter pro Quadratzentimeter)
und hat seine Graten auf einem Intervall von ca. 15mm und einer Höhe von ca.
10mm verteilt.
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5B zeigt
eine Anordnung des Einfangfilters 6. Wie in 5B gezeigt,
ist eine Vielzahl (drei, vier oder fünf) von welligen Maschengittern 6a übereinander
angeordnet und fest auf den geraden Web- bzw. Bindungsmaschengitter
(poröse
Glieder) angeordnet, wobei jedes aus dicken Drähten rostlosen Stahls mit einem
Durchmesser von ca. 1,5mm besteht. Da die geraden Web- bzw. Bindungsmaschengitter 6b relativ
starr sind, und die welligen Maschengitter 6a relativ weich
sind, werden sie an die geraden Web- bzw. Bindungsmaschengitter 6b gebunden.
Alternativ können
die welligen Maschengitter 6a an die Web- bzw. Bindungsmaschengitter 6b angeschweißt oder
andersartig befestigt werden. Der Einfangfilter 6, der
aus den welligen Maschengittern 6a und den gerade Web-
bzw. Bindungsmaschengittern (poröse Glieder) 6b besteht,
hat eine Dicke von ca. 25mm. Da die geraden Web- bzw. Bindungsmaschengitter 6b dazu
dienen, die relativ weichen welligen Maschengitter 6a zu
tragen, haben die welligen Maschengitter 6b eine relativ
große
Maschengittergröße von ca.
3 Maschengittern pro Quadratzoll (entspricht ca. 0,5 Maschengittern
pro Quadratzentimeter).
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5C zeigt
einen Drahtdemister bzw. -entlader für den gleichen Gebrauch wie
jeden der Drahtdemister bzw. -entlader 8. Der Drahtdemister
bzw. -entlader weist eine Vielzahl an welligen Maschengittern 6a,
wie in 5A gezeigt und ein Paar von
Sätzen
von geraden Web- bzw. Bindungsmaschengittern 6b auf, wie
in 5B gezeigt, die auf jeder Seite der welligen Maschengitter
festgesetzt sind. In der Einfangvorrichtung, die in 1 bis 3 gezeigt
ist, sind die Drahtdemister bzw. -entlader 8 abwärts der perforierten
Metallplatte 7a angeordnet. Die Drahtdemister bzw. -entlader 8,
die jeweils wellige Maschengitter umfassen, sind in der Lage, Reaktionsprodukte mit
hoher Effizienz einzufangen, die in den Abgasen enthalten sind.
Da die Drahtdemister bzw. -entlader 8 einen relativ niedrigen
Druckverlust verursachen, können
sie relativ frei die Richtung der Abgase ändern, die rechtwinklig die
perforierte Metallplatte 7a passieren und sie können die
Abgase zu dem Auslassanschluss 9 führen. Der Drahtdemister bzw.
-entlader, der in 5C gezeigt ist, ist nur ein
Beispiel und kann in Bezug auf die Anzahl der welligen Maschengitter 6a und
die geraden Web- bzw. Bindungsmaschengitter 6b, deren Maschengittergrößen und die
Durchmesser der Draht modifiziert werden, die die welligen Maschengitter 6a und
die Web- bzw. Bindungsmaschengitter 6b ausmachen.
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In
der obigen Ausführung
weist die Einfangvorrichtung eine Einfanganordnung auf, die einen Einfangfilter
inklusive welliger Maschengitter und gerade Web- bzw. Bindungsmaschengitter, eine perforierte
Metallplatte und einen Drahtdemister bzw. -entlader benötigt. Trotzdem
können
für die
Einfanganordnung auch andere verschiedene Filtertypen, eine Kombination
von Maschengittergrößen und
Räumen verwendet
werden oder Entfernungen zwischen Filtermaschengittern können ausgewählt werden,
abhängig
von dem Ort, an dem die Vakuumpumpe installiert ist, und von anderen
Faktoren.
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6 zeigt
ein anderes Ausführungsbeispiel einer
perforierten Metallplatte 14, die in der Einfangvorrichtung
gemäß der vorliegenden
Erfindung verwendet werden kann. Wie in 6 gezeigt,
besitzt die perforierte Metallplatte 14 eine Anzahl an
kreisförmigen
Löchern
in einer Metallplatte. Die kreisförmigen Löcher werden vorzugsweise gestaffelt
angeordnet und besitzen offene Bereiche, die progressiv abwärts kleiner
werden von einer oberen Ecke der Metallplatte in Richtung einer
niedrigeren Ecke. Wenn der Auslassanschluss der Einfangvorrichtung
in der Nähe
der oberen Ecke der perforierten Metallplatte positioniert ist,
dann kann die perforierte Metallplatte die Rate der Abgase uniformieren,
die die perforierte Metallplatte über dessen gesamte Oberfläche passieren.
In 6 sind die Löcher,
die in der Metallplatte definiert sind, kreisförmig gezeigt, können aber dennoch
mit Sicht auf Designüberlegungen
vielfältig anders
geformt sein.
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7A bis 7D zeigen
viele gemeinsame Gestaltungen von Einfanggehäusen und Einlassanschlüssen. In 7A weist
ein Einlassanschluss 2 zur Einführung von Abgasen in ein Einfanggehäuse einen
geraden Anschluss auf. Wenn Abgase von dem geraden Einlassanschluss 2 in
das Einfanggehäuse 1 eingeführt werden,
ist es wahrscheinlich, dass Reaktionsprodukte, die in den Abgasen
enthalten sind, verfestigt werden und als feste Substanzen auf einer peripheren
Region um die Öffnung
der Einlassstelle 2 festgesetzt werden. Um zu verhindern, dass
sich solche feste Substanzen auf peripheren Regionen um die Öffnung des
Einlassanschlusses 2 festsetzen, hat ein Einlassanschluss 2 wie
in 7B gezeigt, ein inneres Ende, das in das Einfanggehäuse 1 vorsteht.
Ein Einlassanschluss 2 wie in 7C besitzt
eine kegelförmige
Röhre 2b,
die mit dem Einfanggehäuse 2 verbunden
ist und sich hierein öffnet. Die
kegelförmige
Röhre 2b ist
effektiv, um Reaktionsprodukte daran zu hindern, sich nahe des Eingangendstückes des
Einlassanschlusses 2 festzusetzen und folglich den Abgasen
zu erlauben, gleichmäßig in das
Einfanggehäuse 2 zu
strömen. 7D zeigt
ein Prallblech 2c, das in dem Einfanggehäuse 1 angeordnet
ist, um Abgase umzulenken, die von einem Einlassanschluss 2 kommen.
Das Prallblech 2c dient dazu, den Abgasstrom in dem Einfanggehäuse 1 zu stören, um
damit die Abgase dazu zu bringen, eine verlängerte Zeitperiode in dem Einfanghaus 1 zu
bleiben, womit folglich die Effizienz mit der feste Substanzen in
dem Einfanggehäuse 1 eingefangen
werden, zu steigern. In dem obigen Ausführungsbeispiel und in den in 7A bis 7D aufgezeigten
Strukturen sind die welligen Maschengitter an der größten Aufwärtsrichtung
der Einfanganordnung 5 in Bezug auf den Abgasstrom im Einfanggehäuse 1 angeordnet.
Trotzdem können
die welligen Maschengitter in der größten Abwärtsrichtung der Einfanganordnung 5 in
Bezug auf den Abgasstrom im Einfanggehäuse 1 angeordnet werden.
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8 ist
eine Querschnittsansicht entlang der Linien VIII-VIII von 3.
In den 3 und 8 sind eine Vielzahl an gestaffelten
Teilplatten 11 in der Kühlwasserstrompassage 10 angeordnet,
um einen sich schlängelnden
Kühlwasserstrompassagenweg zur
Verfügung
zu stellen, der das Einfanggehäuse 1, die
Metallplattenanordnung 4 und die Einfanganordnung 5 genügend kühlt. Das
Kühlwasser,
das durch den sich schlängelnden
Kühlwasserstrompassagenweg
strömt,
wird daran gehindert, in lokalen Regionen zu bleiben, wird aber
gezwungen, gleichmäßig zu strömen, um
die Metallplattenanordnung 4 und die Einfanganordnung 5 zu
kühlen.
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Die
Elemente 6, 7, 8 der Einfanganordnung 5 müssen mit
neuen ersetzt werden, abhängig
von Beobachtungen in Druckänderungen
der Abgase in dem Einlassanschluss 2 und dem Auslassanschluss 9,
z.B. der Druckunterschied zwischen dem Einlassanschluss 2 und
dem Auslassanschluss 9. Der blockierte Zustand dieser Elemente 6, 7, 8 der
Einfanganordnung 5 kann folgendermaßen bestimmt werden: Ein optischer
Sensor mit einer Licht abgebenden Komponente und einer Licht aufspürenden Komponente
wird entlang des Abgasstroms durch die Einfanganordnung 5 angeordnet.
Die Lichtintensität,
die von der Licht abgebenden Komponente abgegeben wird, passiert
die Elemente 6, 7, 8 der Einfanganordnung 5 und
wird von der Licht erfassenden Komponente gemessen, um zu bestimmen,
wie feste Substanzen auf den Elementen 6, 7, 8 festgesetzt
werden und um zu urteilen, wann die Elemente 6, 7, 8 gereinigt
werden. Ein Thermoelement sollte vorzugsweise in einer Region des
Einfanggehäuses 1 angeordnet
sein, die auf einer hohen Temperatur geheizt ist, und sollte die
Temperatur in der Region messen, um zu überwachen, wie sich die pulvrigen
Substanzen festsetzen. Die Region des Einfanggehäuses 1, die zu einer
bestimmten hohen Temperatur geheizt ist, ist zum Beispiel der Abgasraum 3.
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Die
Elemente 6, 7, 8 der Einfanganordnung werden
wie folgt gereinigt: Ein oberer Deckel 13 (siehe 2)
wird von dem Einfanggehäuse 1 entfernt, die
Elemente 6, 7, 8 werden aus dem Einfanggehäuse 1 entlang
fester Hilfsschienen gezogen (nicht gezeigt). Dann werden die Elemente 6, 7, 8 hineingetaucht
und mit einer Reinigungsflüssigkeit
gereinigt, dann mit Wasser gewaschen und danach durch ein Druckluftgebläse oder ähnliches
getrocknet. Die Elemente 6, 7, 8 werden
dann zurück
in das Einfanggehäuse 1 entlang
der festen Hilfsschienen geladen. Danach wird der obere Deckel 13 auf
dem Einfanggehäuse 1 gesichert.
Auf diese Art und Weise ist ein Reinigungszyklus der Elemente 6, 7, 8 vollendet.
Ein N2 Säuberungsgas
kann dazu verwendet werden, in dem Einfanggehäuse 1 eine Umgebung
zu kreieren, in der Reaktionsprodukte, die in Abgasen enthalten sind,
sich sehr leicht verfestigen können.
Genauer gesagt wird ein N2 Gas in das Einfanggehäuse 1 als Gegenstrom
in Bezug auf Abgase, die in das Einfanggehäuse 1 gelangen, eingeführt und
folglich werden Wirbel in dem Einfanggehäuse 1 produziert.
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9 zeigt
eine Einfangvorrichtung gemäß einem
zweiten Ausführungsbeispiels
der vorliegenden Erfindung. Wie in 9 gezeigt,
besitzt die Einfangvorrichtung einen kreisförmigen Kasten 21 mit einem
daran fixierten Deckel 30 und stellt deshalb ein geschlossenes
Gehäuse
zur Verfügung.
Das Gehäuse
besitzt einen Einlassanschluss 22 an einem Ende hiervon
und einen Auslassanschluss 23 an dem anderen Ende hiervon.
Wenn das Gehäuse
durch eine trockene Vakuumpumpe evakuiert wird, die mit der Auslassanschluss 23 verbunden
ist, strömen
Abgase, die von dem Einlassanschluss 22 in das Gehäuse eingeführt werden,
in das Gehäuse
und Reaktionsgase, die in den Abgasen enthalten sind, werden in dem
Gehäuse
eingefangen. Genauer gesagt strömen
die Abgase, die von dem Einlassanschluss 22 eingeführt wurden,
in einen Abgasraum 25. Die Abgase wechseln dann ihre Rechtung,
wenn sie von dem Abgasraum 25 in die Einfanganordnung strömen, die
Einfangfilter 26, 27, 28, 29 aufweist,
die in dem Gehäuse
angeordnet sind. Die Abgase, die die Einfanganordnung passiert haben,
strömen
aus dem Gehäuse
durch den Auslassanschluss 23.
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Der
Einfangfilter 26, der dem Abgasraum gegenüberliegt,
weist ein welliges Maschengitter auf. Die Einfangfilter 27, 28,
die abwärts
des Einfangfilters 26 in Bezug auf den Abgasstrom bereitstehen,
weisen Maschengitter auf, deren Maschengittergröße progressiv kleiner wird
in Richtung Auslassanschluss 23 entlang dem Abgasstrom.
Der Einfangfilter 29, der abwärts der Einfangfilter 27, 28 angeordnet
ist, ist mit dem Auslassanschluss 23 verbunden und weist
ein Maschengitter mit relativ kleiner Maschengittergröße auf.
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Der
zylinderförmige
Kasten 21 trägt
eine Kühlungseinheit 31 auf
seiner äußeren Umfangsfläche für die Kühlung des
Gehäuses 21 und
die Einfangfilter 26, 27, 28, 29,
um Reaktionsprodukten, die in den Abgasen in dem Gehäuse vorhanden
sind die einfache Verfestigung in feste Substanzen zu erlauben.
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Operationen
der Einfangvorrichtung wie in 9 gezeigt
werden unten beschrieben werden. Abgase, die von dem Einlassanschluss 22 eingeführt werden,
strömen
entlang einer kegelförmigen
Düse 24 in
den Abgasraum 25. Da der Abgasraum 25 geschlossen
ist, suchen sich die Abgase ihren Weg sukzessive und im Wesentlichen
rechtwinklig in die Einfangfilter 26, 27, 28, 29.
Wenn die Abgase den Einfangfilter 29 der größten Maschengittergröße passieren, ändern sie
ihre Richtung parallel zu der Richtung, in die die Abgase von dem
Einlassanschluss 22 eingeführt werden. Danach strömen die
Abgase aus dem Gehäuse
durch den Auslassanschluss 23. Wenn die Abgase in den Abgasraum 25 strömen, strömen die
Abgase entlang der Oberfläche
des welligen Maschengittereinfangfilters 26. Weil der Abgasraum 25 geschlossen
ist, werden stagnierende Regionen in dem Strom der Abgase entlang
der Wellenoberfläche
des Einfangfilters 26 entwickelt. Deshalb werden Reaktionsprodukte,
die in den Abgasen enthalten sind in feste Substanzen in den stagnierenden Regionen
verfestigt und die festen Substanzen werden durch den Einfangfilter 26 mit
einer hohen Effizienz eingefangen.
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Die
Einfangfilter 26, 27, 28, 29 werden
koaxial zueinander mit Lücken
oder Abständen
zwischendrin angeordnet. Wie oben beschrieben strömen die Abgase,
die von dem Einlassanschluss 22 eingeführt werden, in den Abgasraum 25 und
strömen
entlang des welligen Maschengittereinfangfilters 26, und
produzieren stagnierende Regionen in der Nähe der Oberfläche des
welligen Maschengittereinfangfilter 26. Der wellige Maschengittereinfangfilter 26 kann daher
hoch effizient Reaktionsprodukte, die in den Abgasen als feste Substanzen
vorhanden sind, einfangen. Die Abgase passieren dann radial innenseitig
von dem Einfangfilter 26 in Richtung Gehäusemitte über die
Einfangfilter 27, 28, 29. Wenn die Abgase den
Einfangfilter 29 passieren, ist der Abgasstrom axial in
Richtung Auslassanschluss 23 orientiert, von wo die Abgase
aus dem Gehäuse
strömen.
Die Abstände
oder Entfernungen zwischen den Einfangfiltern 26, 27, 28, 29 werden
so gewählt,
dass sie groß genug
sind, um feste Substanzen, die aus Reaktionsprodukten konvertiert
wurden, am Blockieren der Einfangfilter 26, 27, 28, 29 zu
hindern.
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Insofern
die Einfangfilter 26, 27, 28, 29 in
geeigneten Intervallen oder Entfernungen voneinander aufgestellt
sind, können
sie leicht als Reinigung oder anderen Erhaltungsprozessen dienen.
Die Einfangfilter 26, 27, 28, 29 haben
zugehörige
Enden, die zu einem Deckel 30 fixiert sind, der an einem
axialen Ende des zylinderförmigen
Kastens 21 befestigt ist. Die Einfangfilter 26, 27, 28, 29 können folglich
leicht von dem Gehäuse
zum Reinigen oder zur Entfernung nur durch das Ablösen des
Deckels 30 von dem zylinderförmigen Kasten 21 entfernt
werden.
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Die
Einfanganordnung kann eine Metallplatte, ein Prallblech oder eine
von vielen anderen Filtern außer
den Einfangfiltern in Form von Maschengitter besitzen. Wenn eine
perforierte Metallplatte mit einer gewünschten Anzahl an Löchern der
gewünschten Durchmesser,
die hierin definiert sind, verwendet, dann kann die perforierte
Metallplatte einen gewünschten
Druckverlust in dem Strom der Abgase erzeugen, basierend auf der
Anpassung der Anzahl an Löchern
und der Durchmesser der Löcher
in der perforierten Metallplatte, und hierdurch Abgase dazu zwingen,
in dem Gehäuse über eine
lange Zeitperiode zu verweilen.
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10A, 10B und 10C zeigen viele Evakuierungssysteme in Blockform,
wobei jede eine Einfachvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung
umfasst, die entweder die Einfangvorrichtung aus 1 oder
die Einfangvorrichtung aus 9 ist. Identische
Bezugszeichen bezeichnen identische Teile in 10A, 10B und 10C.
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In 10A ist eine Vakuumpumpe 36 durch eine
trockene Vakuumpumpe 32 evakuiert und eine Einfangvorrichtung 37 ist
gemäß der vorliegenden Erfindung
mit der trockenen Vakuumpumpe 32 stromabwärts hiervon
verbunden. Eine Abgasbehandlungsvorrichtung 34 ist mit
der Einfangvorrichtung 37 durch Umschaltfalle 33 verbunden.
Abgase, die von der Vakuumkammer 36 von der trockenen Vakuumpumpe 32 herbeigebracht
werden, sind für die
Einfangvorrichtung 37 bereitgestellt, die feste Substanzen
von den Abgasen einfangen. Die Abgase werden dann von der Einfangvorrichtung 37 abgesetzt und
werden durch die Umschaltfalle 33 an die Abgasbehandlungseinrichtung 34 bereitgestellt,
die die Angase behandelt und dann die Abgase in die Atmosphäre entlässt. Eine
Volumenstrompassage 35 ist von der Umschaltfalle 33 bis
zu der trockenen Vakuumpumpe 32 verbunden. Ein inaktives
Gas zur Säuberungsaktion
der trockenen Vakuumpumpe 32 ist von stromaufwärts zu der
trockenen Vakuumpumpe 32 bereitgestellt. Die Umschaltfalle 33 dient
dazu, die Abgase und das inaktive Gas durch die Volumenstrompassage 35 zirkulieren
zu lassen, so dass die trockene Vakuumpumpe 32 die Vakuumkammer 36 gleichmäßig evakuieren
kann, während
die Abgase von der trockenen Vakuumpumpe 32 zu jeder Zeit von
dem inaktiven Gas gesäubert
werden. Die Einfangvorrichtung 37 kann stromaufwärts der
trockenen Vakuumpumpe 32 positioniert sein, wie es durch die
gepunkteten Linien in 10A angedeutet
ist. Alternativ können
zwei Einfangvorrichtung 37 stromaufwärts bzw. stromabwärts der
trockenen Vakuumpumpe positioniert werden.
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In 10B ist die Volumenstrompassage 35 von
dem Auslassanschluss der trockenen Vakuumpumpe 32 bis zu
der Vakuumkammer 36 verbunden. Die Volumenstrompassage 35 besitzt
einen gasförmigen/festen
Separator 38, der einen Filter oder ähnliches besitzt, um zu verhindern,
dass feste Substanzen, die von Reaktionsprodukten konvertiert werden, die
in Abgasen, die sich von der Vakuumpumpe abgesetzt haben, enthalten
sind, zurück
in die Vakuumkammer 36 strömen. Die Einfangvorrichtung 37 ist gemäß der vorliegenden
Erfindung mit der trockenen Vakuumpumpe stromabwärts hiervon verbunden.
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In 10C ist die Volumenstrompassage 35 von
dem Auslassanschluss der Einfangvorrichtung 37 bis zum
Einlassanschluss hiervon verbunden. Ein Druck regulierendes Ventil 37 ist
mit dem Einlassanschluss der Abgasbehandlungseinrichtung 34 verbunden.
Durch die Anpassung der Öffnung
des Druck regulierenden Ventils 37 wird ein Teil der Abgase,
die sich von der Einfangvorrichtung 37 abgesetzt haben
zurück
in den Einlassanschluss der Einfangvorrichtung 37 zirkuliert.
In dieser Art und Weise werden die Abgase durch die Einfangvorrichtung 37 zum Einfangen
von Reaktionsprodukten, die in den Abgasen vorhanden sind, mit größerer Wahrscheinlich eingefangen.
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In
jedem der in 10A, 10B und 10C gezeigten Evakuierungssysteme besitzt die Einfangvorrichtung 37 einen
Abgasraum mit einem vergrößerten querschnittsförmigen Bereich
in der Richtung, in der die Abgase reinströmen und eine Einfanganordnung
zum Einfangen von festen Substanzen, die aus Reaktionsprodukten
konvertiert werden, die in Abgasen enthalten sind, die wiederum von
dem Abgasraum rechtwinklig zu der Einfanganordnung eingeführt werden.
Die Einfangvorrichtung 37, die mit dem Auslassanschluss
der trockenen Vakuumpumpe 32 verbunden ist, kann hoch effizient feste
Substanzen einfangen, die von Reaktionsprodukten konvertiert werden,
die in Abgasen enthalten sind. Da der Abgasraum und die Einfanganordnung gemeinsam
einen großen
Oberflächenbereich
für den
Kontakt mit Abgasen zur Verfügung
stellen, kann die Einfangvorrichtung 37 eine große Menge
an festen Substanzen einfangen. Deshalb kann es verhindert werden,
dass sich pulvrige Substanzen stromabwärts der trockenen Vakuumpumpe
festsetzen, anders als bei herkömmlichen
Einfangvorrichtungen, indem ein hoher Level an Abgasleitfähigkeit
stromabwärts
der trockenen Vakuumpumpe aufrechterhalten wird. Da die Einfangvorrichtung
gemäß der vorliegenden
Erfindung in der Lage ist, eine große Menge an festen Substanzen
einzufangen, kann die Einfangvorrichtung zur Reinigung oder andern
Erhaltungstechniken weniger häufig
verwendet werden.
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In
den obigen Ausführungsbeispielen
ist das Einfanggehäuse
in Form einer Box oder eines Zylinders. Trotzdem können die
Form des Einfanggehäuses
und das Layout der Filterelemente nach Wunsch modifiziert werden.
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Wie
oben beschrieben kann die Einfangvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung
Reaktionsprodukte hoch effizient einfangen, die in Abgasen enthalten
sind, und sie kann leicht zur Reinigung oder anderen Aufrechterhaltungsaktivitäten dienen.
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Obwohl
bestimmte bevorzugte Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung aufgezeigt und im Detail beschrieben
wurden, soll verstanden werden, dass viele Änderungen und Modifizierungen hieran
ohne den Spielraum der angehängten
Ansprüche
zu verlassen, gemacht werden können.
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GEWERBLICHE
ANWENDUNG
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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung und Methode
des Einfanges, wie von festen Substanzen, verschiedenen Produkten, die
in Abgasen enthalten sind, die von einer Prozessvorrichtung wie
einer Halbleiterfabrikationsvorrichtung abgegeben werden, wenn sie
evakuiert wird. Deshalb kann die vorliegende Erfindung bei vielen Arten
von Vakuumevakuierungssystemen verwendet werden, die in der Halbleiterfabrikationsindustrie
und so weiter gebraucht werden.