TW524712B - Reactive agent for decomposing fluorine compounds and decomposing process - Google Patents

Description

i '發明説明（1) 本發明係有關將氯氟碳類（以下稱「CFC」。）、 氫氯氟碳類（以下稱「HCFC」。）、全氟碳類（以下 稱「PFC」。）、氫氟碳類（以下稱「HFC」。）、 全氟醚類（以下稱「PFE」。）、氫氟醚類（以下稱「 HFE」。）或氟化硫黃等各種氟化合物及此等化合物用 於如：半導體裝置製造過程之蝕刻或洗淨工程時所生成之 HF、S i F4或C 〇 F2等化合物同時分解後，爲進行 無害化之反應劑及分解方法者。 先行技術中，該氟化物通常爲安定者，大多對於人體 無害之化合物，因此，被廣泛用於各種領域中。特別是最 近汽車空調等冷媒用之H F C之使用量與半導體製造過程 中之鈾刻用及洗淨氣體用之P F C使用量均增大。且，由 電氣絕緣特性優之面，於冷凝器或變壓器等多童六氟化硫 黃被使用之。惟，此等氟化合物雖爲安定之化合物，而地 球溫暖化係數大，若直接釋放於地球環境則長期持續造成 影響之慮。特別是，S F 6、C F 4、C 2 F 6等爲極安定 之氣體者，大氣壽命亦極長，使用後之排出務必分解不影 響地球環境之無害物質後才可排出。更且，考慮做爲此等 之取代化合物之P F Ε、H F Ε亦同樣有地球溫暖化之隱 憂之化合物者，用於半導體裝置製造工程後，被排出之氣 體中亦含有如：HF、SiF4、CoF2等氣體，因此 ，務必與此等化合物同時分別安全被分解後排出。 另外，先行技術中多量使用C F C及其代替化合物做 爲冷媒、洗淨劑等之H C F C其臭氧層之破壞爲極嚴重之 -4- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 二張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） i、發明説明（2) 環境問題被提出，因此，務必分解爲無害物質者，不可直 接排出。 先行技術中，做爲此氟化合物之分解技術者，例如： ①與燃料同時進行處理之燃燒分解法（W0 9 4/ 0 5 3 9 9號公報）、②二氧化矽、沸石等反應劑之利用 後進行熱分解法（特開平7 - 1 1 6 4 6 6號公報）、③ 使用氧化鋁等之觸媒分解法（特開平1 0 - 2 8 6 4 3 4 號公報）等爲公知者。 惟，①之方法係務必藉由燃燒後所生成之Ν Ο X生成 抑制、多量稀釋氣體爲必要者，結果造成分解率降低，更 且，含於分解後排氣中之H F務必進行2次處理等問題出 現。②之方法特別是以十足之速度分解P F C ( C F 4、 C 2 F 6等）時務必爲1 0 0 0 °C以上之高溫，同時，含 於分解後之排氣中之S i F 4等化合物必要另外2次處理 等問題點。又，③之方法與①與②之方法比較後雖可於低 溫下分解，惟，PFC以1〇〇%分解時，供與氣體中之 P F C濃度務必於空氣等稀釋後做成低濃度者。更且，爲 使氧化鋁進行觸媒作用，例如：爲使氧化鋁表面所蓄積之 氟化物等之水解因此共存大量水蒸氣乃不可缺者。因此’ 針對高溫下水與氧化鋁表面氟化物分解後所生成之H F其 耐蝕材料與H F之2次處理之必要等問題點存在。 如此氟化合物藉由工業上有利之方法進行有效分解之 方法截至目前尙未爲人所知，故咸待能進行改善。 有鑑於上述技術背景，本發明爲解決該課題，提供一 -5- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ·,張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（21〇χ297公釐） 524712 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（3 ) 種將氟化合物於未加水以較低溫下進行熱分解後，將被分 解之氟化合物之分解生成物（F、S Ο X等）於反應劑進行 固定化之反應劑與特別難分解性之P F C可有效分解之方 法。 本發明者爲解決上述問題，進行精密硏討後結果發現 爲有效分解氟化合物而利用含有氧化鋁與鹼土類金屬化合 物之反應劑可解決此課題。更且，本發明於分解氟化合物 之方法中，使氟化合物於上述反應劑與2 0 0 °C以上溫度 下進行接觸熱分解後，所生成之氯原子、氟原子及/或硫 黃原子做爲反應劑中之鹼土類金屬之氯化物、氟化物及/ 或硫酸鹽被固定後可呈無害化，更於必要時，於該反應劑 中添加金屬氧化物後，只要於氟化合物中含有氧則所生成 之一氧化碳亦同時氧化後可呈無害化者，進而完成本發明 。本發明係有關如下（1 )〜（2 8 )所示之氟化合物之 分解用反應劑及分解方法。 (1 )以含有氧化鋁與鹼土類金屬化合物者爲特徵之 氟化合物之分解用反應劑。 (2 )該氧化鋁之比表面積爲5 0m2/g以上之該（ 1 )所載之氟化合物之分解用反應劑。 (3 )該氧化鋁爲擬勃母石氧化鋁之上記（1 )或（ 2 )所載之氟化合物之分解用反應劑。 (4 )該氧化鋁係擬勃母石氧化鋁經燒成者，其燒成 溫度爲400〜1 0 0 Ot之範圍之上記（1 )或（2) 所載之氟化合物之分解用反應劑。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -6 - % -訂---------線11^" (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 524712 A7 B7 五、發明說明（4 ) (5 )該鹼土類金屬化合物爲鎂、鈣、緦或鋇之碳酸 鹽之上記（1 )或（2 )所載之氟化合物之分解用反應劑 〇 (6 )含於該反應劑之氧化鋁與鹼土類金屬化合物之 粒徑分別爲1 Ο Ο V πί以下之粉狀物之上述（1 )或（2 )所載之氟化合物之分解用反應劑。 (7 )含於該反應劑之氧化鋁與鹼土類金屬化合物之 含量以質量比爲1 : 9〜1 : 1之上記（1)或（2)所 所載之氟化合物分解用反應劑。 (8 )該反應劑係至少1種選自銅、錫、鎳、鈷、鉻 、鉬、鎢及釩所成群之金屬氧化物所含有之該（1 )或（ 2 )所載之氟化合物分解用反應劑。 (9 )該金屬之氧化物含有量與該氧化鋁與鹼土類金 屬化合物之合計質量比爲1:99〜5:95之上述（8 )所載之氟化合物之分解用反應劑。 (1 0 )含於該反應劑之鹼金屬含量爲〇 · 1質量％ 以下之上述（1 )或（2 )所載之氟化合物分解用反應劑 〇 (1 1 )該反應劑係以4 0 0〜7 0 0 °c所燒成之粒 狀品之上述（1 )或（2 )所載之氟化合物分解用反應劑 〇 (1 2 )該反應劑其粒徑爲0 · 5〜1 〇 m m之粒狀 品之上述（1 1 )所載之氟化合物分解用反應劑° (1 3 )含於該反應劑之水份含量爲1質量％以下之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -----------------線 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 524712 A7 B7 五、發明說明（5 ) 上述（1 )或（2)所載之氟化合物分解用反應劑。 (1 4 )該氟化合物係至少1種選自全氟碳、氫氟碳 、氯氟碳、氫氯氟碳、全氟醚、氫氟醚、氟化烯烴、氟化 硫、SiF4及CoF2所成群之氟化合物之上述（1)或 (2 )所載之氟化合物分解用反應劑。 (1 5 )該氟化合物爲含氯化氫及/或氟化氫之上述 (1 4 )所載之氟化合物分解用反應劑。 (1 6 )任一該（1 )〜（1 5 )所載之反應劑與氟 化合物以2 0 0 °C以上之溫度下相互接觸者爲特徵之氟化 合物之分解方法。 (1 7 )任一該（1 )〜（1 5 )所載之反應劑與之 接觸之被處理氣體中之氟化合物濃度爲〇 · 〇 1〜1 0 V ◦ 1 %之上述（1 6 )所載之氟化合物分解方法。 (1 8 )任一該（1 )〜（1 5 )所載之反應劑與氟 化合物於氧氣之存在下以5 0 0 °C以上之溫度相互接觸後 ，抑制一氧化碳之生成者爲特徵之氟化合物之分解方法。 (19) 被處理氣體中之氧氣濃度爲2〇vo1%以 下之該（1 8 )所載之氟化合物之分解方法。 (20) 任一該（1)〜（1 5)所載之反應劑與氟 化合物相互接觸後所生成之氯原子、氟原子及/或硫黃原 子做爲鹼土類金屬鹽化物、鹼土類金屬氟化物及/或鹼土 類金屬硫酸鹽進行固定之任一該（1 6 )〜（1 9 )所載 之氟化合物之分解方法。 (2 1)至少1種選自全氟碳、氫氟碳、氯氟碳、氫 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -8- -------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 524712 A7 _ B7 五、發明說明（6 ) 氯氟碳 '全氟醚、氫氟醚、氟化烯烴及氟化硫所成化合物 群之氟化合物做爲蝕刻氣體或洗淨氣體使用之蝕刻工程與 洗淨工程以及由此等工程所排出之氟化合物之含有氣體用 於任一該（1 )〜（1 5 )所載反應劑後，具有分解之分 解工程者爲特徵之半導體裝置之製造方法。 (2 2 )由該蝕刻工程或洗淨工程所排出之氣體含有 至少1種選自全氟碳、氫氟碳、氯氟碳、氫氯氟碳、全氟 醚、氫氟醚、氟化烯烴、氟化硫黃、S i F 4及C 〇 F 2所 成之化合物群之氟化合物之氣體之該（2 1 )所載之半導 體裝置之製造方法。 _ (2 3 )含該氟化合物之氣體係含有氯化氫及/或氟 化氫之該（2 2 )所載之半導體裝置之製造方法。 (2 4 )於該分解工程中被處理氣體中氟化合物之分 解溫度爲2 0 0 °C以上之該（2 1 )〜（2 3 )之任一項 所載之半導體裝置之製造方法。 (2 5 )該分解工程中被處理氣體中氟化合物之濃度 爲0·0 1〜lOvol%之任一該（21)〜（24 )所載之半導體裝置之製造方法。 (26)該分解工程於氧氣之存在下，500 t以上 溫度下進行後，可抑制一氧化碳之生成者爲特徵之半導體 裝置之製造方法。 (2 7 )該分解工程中被處理氣體中之氧氣濃度爲 2 0 v ο 1 %以下之該（2 6 )所載之半導體裝置之製造 方法。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -9 - ------------P------- —訂----- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 524712 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7____ 五、發明說明（7 ) (2 8 )使用由該鈾刻工程或洗淨工程所排出之氣體 之任一該（1 )〜（1 5 )所載之反應劑後，於分解之分 解工程所生成之氯原子、氟原子及/或硫原子做爲鹼土類 金屬鹽化物、鹼土類金屬氟化物及/或鹼土類金屬硫酸鹽 進行固定之任一該（2 1 )〜（2 7)所載之半導體裝置 之製造方法。 亦即，本發明係「以含有分解臭氧層破壞係數或地球 溫暖化係數之高氟化合物後，進行無害化之氧化銘與驗土 類金屬化合物者爲特徵之氟化合物之分解用反應劑」、「 使氟化合物於該反應劑與2 0 0 °C以上溫度下進行接觸者 爲特徵之氟化合物之分解方法」、「藉由氟化合物中含氧 、該反應劑於5 0 0 °C以上之溫度下進行接觸後，抑制一 氧化碳之生成者爲特徵之氟化合物之分解方法」以及「使 蝕刻工程或洗淨工程及此等工程所排出之氟化合物所含之 氣體使用該反應劑後具有分解之分解工程爲特徵之半導體 裝置之製造方法」者。 該先行技術之①燃燒分解法、②與反應劑之熱分解法 、③氧化鋁觸媒分解法中，氟化合物之分解生成物仍對環 境有不良影響之有害物質者，因此，於分解工程之後段務 必附加別途、分解生成物之除害處理工程、造成裝置小型 化時產生問題。其中又有由半導體裝置之製造過程所排出 之氣體，例如：蝕刻或洗淨所使用之P F C之排氣亦含有 PFC以外之HF、SiF4、C0F2等之氟化合物者。 因此，於觸媒分解方法下進行處理時，前段亦務必進行 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -10- --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 524712 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明說明（8 ) S i F 4等之除害處理工程，裝置上不但複雜且煩瑣。又， 特別是P F C爲難分解性者、分解時非高溫不可，因此， 造成反應器材質劣化之問題出現。 針對此，本發明於電氣絕緣用、冷媒用、半導體裝置 製造用等所使用之氟化合物可於低溫下有效分解。本發明 之氟化合物與例如蝕刻等使用後所生成之S i F 4等同時分 解後，例如：分解後所生成之氟做爲鹼土類金屬氟化物（ 以C a F : 2 )進行固定化後，同時進行無害化之反應，故 可同時分解問題。 以下，針對本發明進行詳細說明。 本發明相關反應劑可分解之氟化合物如：C F C有 C C 1 F 3 , C C 1 2 F 2 . C C 1 3 F . C 2 C 1 3 F 3 . C 2 C 1 2 F 4 , C2C1F5等之化合物，如：HCFC有 C H C 1 F 2 . C2HC12F3等之化合物等例。又，如： PFC 有 CF4、C2F6、C3F8、C4F8(辛氟環丁烷 )等化合物，如：HFC 有 CH3F、C Η 2 F 2 . C H F a 、C 2 Η 2 F 4等之化合物之例。又，如·· Ρ F Ε者有 CF3〇CF3、 CF3〇CF2CF3等化合物、如： HFE 者有 CHF2〇CHF2、 CHF2OCH2CF3. C Η 3〇C F 2 C F 3等之化合物例者。又，做爲氟化硫之 例者如：S F 6、S 2 F i ^等之化合物例。本發明之反應劑 除此以外之化合物亦可適用之，例如··不飽和化合物之 CF3〇CF = CF2、CsF8(辛氟環戊烯）等之化合物 ，或如上述之含於P F C之蝕刻工程之排氣之H F、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -11 - --------------------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 524712 A7 B7 五、發明說明（9 ) S i F 4、C 〇 F 2等化合物亦同樣分解後爲無害化者。 此等之氟化合物亦可以氦、氬、氮等不活性氣體或空 氣中被稀釋者，常溫下通常爲液體狀者，亦可爲伴隨其他 不活性氣體或空氣後爲0 · Οίνο 1%以上之含其蒸氣 之溫合氣體者。另外，氟化物可單獨亦可爲2種以上之混 合物者。 以下針對本發明氟化合物之分解用反應劑進行說明。 本發明之氟化合物分解用反應劑係以含有氧化鋁與鹼 土類金屬化合物之點爲特徵者。反應劑中之氧化鋁爲代表 性之酸性物質（固體酸）者，即使單獨者亦可分解氟化合 物者爲公知者。例如：觸媒（V 〇 1 · 3 4，Ν 〇 · 7， Ρ464〜469 (1992))中，以氧化鋁可做爲 C F C之分解觸媒使用者被記載之。其內容槪要以使用氧 化鋁（A 1 2〇3 )後，分解C F C之後，分解後所生成之 氟使氧化鋁表面被氟化，做爲A 1 F 3者中毒之觸媒活性於 短時間內失活。惟，一般金屬鹵化合物易於高溫下水解’ 因此，利用此性質使A 1 F 3共存水蒸氣後分解（ 2A 1 F3+3H2〇 —A 1 2〇 + 6HF)則再生之氧化 鋁可做爲觸媒使用之。惟，如上述水份共存下之反應於 A 1 F3之分解下生成氟化氫，而易造成裝置腐蝕之問題。 因此，本發明者以水之不存在下，可於低溫下連續分解氟 化合物，特別是難分解性之P F C之分解劑進行各種硏討 後結果證明使用含有氧化鋁與鹼土類金屬化合物之反應劑 後，反應溫度2 0 0 °C以上可分解氟化合物、所生成之氟 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -12- --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 524712 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（1Q ) 化氫亦可做爲鹼土類金屬氟化物進行固定化、因此，無腐 飩裝置之困擾可呈無害化者。 更且，含氧化鋁與鹼土類金屬化合物之本發明氟化合 物之分解用反應劑可藉由以下所示氟化合物之種類生成一 氧化碳者。 (1 ) C F 4 + 2 C a C 〇 3 / A12 〇 3 — 2 C a F 2 + 3 C 〇 2 (2 ) C2F6 + 3CaC〇3/Ah〇3— 3CaF2 + 4C〇2 + C〇 此一氧化碳之氧化只要氧化時於充份之氧分壓下者即 可，惟，氧分壓限制時於該反應劑中藉由至少1種選自銅 、錫、鎳、鈷、鉻、鉬、鎢、及釩所成群中之金屬氧化物 之添加後，則低氧分壓亦可於二氧化碳進行氧化者被證明 之。又，此等金屬之氧化物亦可做爲切斷氟化合物之碳-碳結合之助觸媒作用者。 本發明所使用之氧化鋁並無特別限定，通常氧化鋁取 決於氟化合物之分解活性點與取決於氟化合物之吸著比表 面積，亦即，選擇充份發現細孔（細孔之直徑與容積）者 爲重點。因此，氧化鋁之比表面積以5 0 m 2 / g以上者宜 ，更佳者爲1 0 0〜3 0 〇m2/g者。又，選定不純物少 之適當之啓始原料爲重要者，本發明中，做爲氧化鋁原料 者可使用如：活性氧化鋁、擬勃母石氧化鋁、較佳者以使 用擬勃母石氧化鋁者。擬勃母石氧化鋁可直接與鹼土類金 屬化合物混合後使用之，惟，燒成時，使擬勃母石氧化鋁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -13- -------I I-----------訂---------線 {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 524712 A7 ___ B7 五、發明說明（11 ) 於氮等不活性氣體或空氣中4 0 0〜1 0 0 〇 °c，較佳者 500〜800°C ’更佳者爲500〜6〇0°C下進行數 小時之燒成者即可。 又，氧化鋁其做爲不純物所含之鹼金屬含量爲〇 · 1 質量％以下者宜，較佳者爲〇 · 〇 1質量％以下者，更理 想者爲0 · 0 0 1質量％以下者。更且，氧化鋁之粒徑爲 1 0 0 //m以下者宜，較佳者爲3 0 /zm以下者，更佳者 爲5 // m以下者，可使用粉狀物者。 以下針對反應劑成份之1之鹼土類金屬化合物進行說 明。 鹼土類金屬化合物可使用鹼土類金屬之碳酸鹽、氫氧 化物或氧化物、較佳者可使用鎂、鈣、緦或鋇之碳酸鹽、 特別理想者爲鈣之碳酸鹽。反應劑中使用碳酸鈣時，藉由 與氧化鋁共存後，氟化合物分解所生成之氟做爲C a F 2進 行固定下具有防止氧化鋁之氟化，可維持氧化鋁氟化合物 之分解機能（活性）。 鹼土類金屬化合物亦與氧化鋁相同，做爲不純物含有 之鹼金屬含量爲0·1質量％以下者宜，較佳者爲 〇· 0 1質量％以下者，更理想者爲〇 · 〇〇 1質量％以 下者。又，鹼土類金屬化合物之粒徑爲1 〇 〇 //m以下者 宜，較佳者爲3 0 //m以下，更佳者爲5 /zm以下者，可 使用粉狀物者。鹼土類金屬化合物之粒徑與氧化鋁同爲 1 0 0 //m以下者使用時，由於爲微粉末者各原料相互容 易分散，因此’各原料之比表面積增大，此乃藉由氧化銘 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -14- --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 524712 A7 _ B7 五、發明說明（12 ) 與鹼土類金屬化合物之接觸後，相互無限接近’氟化合物 於氧化鋁之比表面上被分解後生成之氟與鹼土類金屬化合 物反應機會增大所致。因此，鹼土類金屬化合物之比表面 積爲5 m 2 / g以上者宜。做爲特別理想所使用之碳酸鈣原 料者如：重質碳酸鈣（使石灰岩進行微粉碎者）與輕質碳 酸鈣（亦稱沈降性碳酸鈣、於石灰乳吹入二氧化碳者）以 及生石灰或消石灰中和於碳酸之例。較佳者以鹼金屬等不 純物少之輕質碳酸鈣者，更佳者爲高純度碳酸鈣者。 又，本發明之反應劑於低溫下分解氟化合物之詳細機 序雖不明，於氧化鐵、氧化猛等之金屬氧化物中幾無效果 ，氧化鋁與鹼土類金屬化合物，特別是氧化鋁與鹼土類金 屬之碳酸鹽共存後卻可發揮特異之複合效果。 更針對本發明反應劑成份之1之銅、錫、鎳、鈷、鉻 、鉬、鎢及釩之氧化物進行說明。 該金屬之氧化物可添加至少1種之氧化銅、氧化錫、 氧化鎳、氧化銘、氧化鉻、氧化鉬、氧化鎢及氧化釩於反 應劑者。此等之金屬氧化物以氧化銅、氧化錫或氧化釩爲 理想使用者、更佳者爲氧化銅或氧化錫。此等金屬氧化物 被認爲可做爲分解氟化合物之助觸媒作用，而，反應劑中 使用如；氧化銅或氧化錫時，藉由氧化鋁與鹼土類金屬化 合物共存後，依氟化合物之種類不同分解後所生成之一氧 化碳於低氧分壓下可氧化至二氧化碳者。 又，此等之金屬氧化物亦與該反應劑之各原料相同， 做爲不純物所含之鹼金屬含量爲0·1質量％以下者宜， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -15- --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 524712 A7 B7 五、發明說明（13) (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 較佳者爲0 · 0 1質量％以下者，更佳者爲0 . 00 1質 量％以下者。又，金屬氧化物之粒徑以1 0 0 // m以下者 宜，較佳者爲3 0 //m以下者，更佳者爲5 //m以下者， 可使用粉狀物者。 以下，針對本發明之反應劑製造方法進行說明。 本發明之氟化合物分解方法係以使用含氧化鋁與鹼土 類金屬化合物之反應劑之點爲特徵者。此反應劑所添加之 氧化鋁與鹼土類金屬化合物之含有比例其質量比爲1 : 9 〜1:1者宜，較佳者爲1:4〜2:3者。反應劑中之 氧化鋁藉由鹼土類金屬化合物共存後，可有效分解氟化合 物，而其含量隨著分解反應之進行亦有變動，至少於分解 反應初期反應劑整體之質量爲1時，其質量比爲0·1以 上含有者宜，此比小於0 · 1時，則氟化合物之分解則無 法充份進行。反之，質量比大於0 · 5時，含有氧化鋁後 ，伴隨此鹼土類金屬化合物之量降低後，反應劑之有效利 用率降低。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 更且，含金屬氧化物之比例其氧化鋁與鹼土類金屬化 合物之合計質量比以1:99〜5:95者宜。此質量比 太小時則效果消失，太大則氧化鋁與鹼土類金屬化合物之 總量相對降低，金屬氧化物之效果亦呈飽和，因此’無法 有效分解氟化合物。 本發明氟化合物之反應劑係將該氧化鋁與鹼土類金屬 化合物以該質量比進行混合後’必要時添加金屬氧化物混 合後直接使用之。惟，分別含於原料中之水份儘可能愈少 -16- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 524712

A7 B7 五、發明説明（1$ 愈佳’做爲含於反應劑之水份者以1質量％以下者宜。 又’反應劑可做爲造粒、粒劑之使用。反應劑於造粒 時’藉由水或原料之粒徑後可與水同時添加粘合劑。粘合 劑只要於配合原料中未受不良影響者即可，無特別限定， 一般配合原料之總質量爲1 · 0時之質量比可添加 〇· 0 3〜0 · 〇 5者。較佳者以微粉氧化鋁使用者，藉 由添加微粉氧化鋁後更可提昇各原料之分散性，解決鹼土 類金屬化合物之難造粒性。做爲此粘合劑所添加之氧化絕 粒徑爲0 · 1 // m以下者宜，做爲不純物所含之鹼金屬含 量爲0 · 1質量％以下者宜，較佳者爲〇 · 〇1質量％以 下者。此微粉氧化鋁少量亦有效果，反應劑之單位容積有 效成份含量相對的未降低爲其優點。惟，只要不影響所取 得該反應劑性能之粘合劑者，則不限定其種類或量者。 如上述反應劑中之各配合原料含做爲粘合劑所添加之 微粉氧化銘、任一驗金屬含量爲〇·1質量％以下者宜。 反應劑中之鹼金屬含量爲0.1質量％以上時，氧化鋁表 面上之活性點減少、特別是C F 4、C 2 F 6等之P F C之 分解率降低。 又，製造本發明所使用之粒狀反應劑時，配合各原料 後，加入適量水後，將混煉物進行造粒後做成粒狀物，做 爲此粒狀物之必要調製之混煉器者，混合及造粒同時進行 者較爲方便，而，混合與造粒分開進行者亦可。例如：使. 用高速攪拌式混合器、縱型混合器使用後，可同時進行混 合與造粒者，將原料之混合以高速攪拌式混合器，V型混 1張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ~ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 524712 A7 _ B7 五、發明說明（15 ) 合器進行之，再以皿型造粒器、轉筒造粒器進行造粒亦可 〇 爲使粒狀物於氮等不活性氣體或空氣中，1 0 0〜 2 0 0 °C下蒸發水份進行乾燥之。做成粒狀物之理由者爲 提高反應劑之分解活性與塡充於反應容器及操作時破損、 粉化之防止，爲提高硬度者。爲此，粒狀物之燒成更佳， 亦即，該造粒乾燥品於氮等之不活性氣體或空氣中4 0 0 〜7 0 0 °C者，較佳者於5 0 0〜7 0 0 °C下進行燒成。 4 0 0 °C以上之燒成於造粒工程所添加之水份更進行蒸發 後可提高分解活性更可提高硬度者。若大於7 0 0 °C之高 溫時，是否可分解鹼土類金屬化合物（例“ C a C 0 3 -> C a 0 + C 0 2 )未定，而，反應劑之分解率（活性）下降 。亦即，反應劑活性未降低之7 0 0 °C以下氧化鋁結合水 幾乎完全脫水者爲重要者，含於燒成後之反應劑之含水量 於不活性氣體或空氣中5 5 0 °C加熱時其水份釋出量以1 質量％以下者宜。又，做爲燒成所使用之設備者，可使用 旋轉審等之連續式者，於固定式之爐進行者亦可。 如上述，本發明之氟化合物之分解用反應劑係以氧化 鋁與鹼土類金屬化合物做爲必需成份含有者。更，生成一 氧化碳時，於低氧分壓條件下爲使氧化至二氧化碳，因此 ，至少含有1種選自銅、錫、鎳、鈷、鉻、鋁、鎢、釩所 成群之金屬氧化物。此反應劑爲提昇與供與分解之氟化合 物之接觸機會，因此，以粒狀者宜，當粒徑太大時’氟化 合物氣體之吸著擴散相關之表面積相對變大，擴散速度變 -----------Φ------- — 訂---------^^^1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -18- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 524712 A7 B7 五、發明說明（16) 快，欲處理之氣體量變大則差壓亦變大，對於反應容器之 成形化等出現不良影響。因此，反應劑粒徑以0 · 5〜 1 Omm之範圍者宜，較佳者爲1〜5mm者。 以下，針對本發明氟化合物之分解方法進行說明。 該方法所製造之反應劑中以適當溫度接觸氟化合物後 ，氟化合物分解後，藉由分解所生成之氯原子及/或氟原 子做爲鹼土類金屬之氯化物及/或氟化物被固定於反應劑 。又，含S F 6等氟化硫於被處理氣體時，藉由分解所生成 之硫原子做爲鹼土類金屬之硫酸鹽被固定於反應劑後，可 防止硫黃氧化物之生成。 亦即，本發明使用分解用反應劑則有害之分解生成氣 體，例如：HF、SiF4、C0F2或S〇x等化合物未 被排出、可有效分解氟化合物。惟，分解氣體中爲不排出 此生成物更務必適當調整反應條件，例如：反應溫度’供 與分解之被處理氣體中氟化合物之濃度、氧存在之有無、 反應劑之形態、被處理氣體供給速度等，其中又以反應（ 分解開始）溫度爲重要之條件者。 此反應溫度依含於被處理氣體中氟化合物種類而異。 例如：P F C於氟化合物中被分類爲難分解性之化合物， 其中又以C F 4、C 2 F 6等爲最難分解性者，僅熱分解下 之分解務必以1 2 0 0〜1 4 0 0 °C之高溫進行’而本發 明方法可於5 5 0 °C以上者分解。又，H C F C之 CHC 1 F2可藉由本發明之方法於2 0 0°C以上之溫度下 分解之。如此藉由氟化合物之種類’其分解溫度有極寬之 --------------------訂---------線 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 19- 524712 A7 B7 五、發明說明（17) 空間，藉由其化合物種類設定最適溫度之反應器者爲重要 之一環。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 又，藉由此化合物之種類、結構其反應溫度有所不同 ，因此，如半導體裝置製造過程之蝕刻或洗淨工程之排氣 中含多種類之P F C、H F C時’由於此每化合物均爲無 害化、因此，反應溫度爲5 5 0 °C以上即可。其中鹼土類 金屬化合物中如使用碳酸鹽時’原於氟化合物之碳其碳酸 鹽藉由分解後釋出之氧被氧化之’幾乎以c 〇2被釋出。又 ，藉由氟化合物種類後有時被生成C ◦、惟，被處理氣體 藉由共存氧後C 0亦於同一反應劑輕易被氧化’可呈完全 無害化。 亦即，本發明之氟化合物之分解處理可藉由含於塡充 於該反應劑之反應容器中之氟化合物氣體經透氣後進行之 ，此時，因應氟化合物之分解性維持分解溫度即可。更且 ，做爲反應氣體者既使爲非氧化性氣體亦可充份達成目的 ，而所生成之C 0爲容許濃度以下時’其氧化性氣體如： 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 以2 Ο V ο 1 %以下之氧氣於含於被處理氣中之氣分下進 行處理則可同時處理C 0。其中氧氣體濃度爲2 0 v ο 1 %以下者，做爲稀釋氣體者以使用空氣者宜，因此 ，氧氣即使大於其濃度則效果呈飽和不再提昇分解能。 又，被處理氣體中之氟化合物濃度並無特別限定，惟 ，太小則對於經濟面不利。太高則依氟化合物之種類而異 ，藉由其分解生成熱提昇反應溫度，造成反應容器溫度控 制不易，通常以0·01〜ΙΟνο1%者宜。較佳者爲 -20- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 524712 五

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -L A7 B7 '發明説明（1令 0 · 01 〜5vo 1%，更佳者爲 0 · 01 〜3v〇 1% ^ ’以不活性氣體或含有氧之氣體（含空氣）下進行稀釋 者佳，而，強制使分解生成熱去除後，並未限定儘可能調 整爲此濃度者。 考量供與此分解之被處理氣體中之氟化合物之種類及 濃度，被處理氣體中之氧氣體濃度、SV (空塔速度）、 L V (線速度）及與其他氣體之混合狀態後，分別設定理 想之反應條件。 此分解處理可於設置塡充該反應劑之反應容器與通過 此反應容器內之被處理氣體導入口、及由該反應器內排出 反應後之氣體之氣體排出口、更有收容該反應容器之爐以 及爲提高至此爐內所定之溫度之熱源所組成之分解裝置中 ，藉由以配管接續該被處理氣體導入口與氟化合物氣體源 之後進行之。 圖1代表本發明之實施裝置之1例者。預先使氮氣供 給管線2或空氣或氧氣供給管線3做爲攜帶氣體以一定量 之氣體流動之同時，將充塡於反應容器8內之被處理氣之 預熱部9與其下流側之反應劑1 2與藉由設置於反應容器 8內之溫度傳感器7與控制溫度裝置1 〇後，於電氣加熱 器1 1上昇至所定溫度，進行一定溫度之控制。 控制所定溫度後，將被處理氣體藉著各活門由氟化合 物氣體供給管線1與氮氣供給管線2或空氣或氧氣供給管. 線3導入混合器及聯管箱4。將混合之被處理氣體藉著氣 體導入管6導入反應容器8。導入反應容器8後，於預熱 紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇χ297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -21 - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 524712 A7 B7 五、發明說明（19) 部9所加熱之被處理氣體藉由與上昇至所定溫度之反應劑 進行接觸後，氟化合物被分解之。被分解之處理氣體（排 氣）係於冷卻器1 4 (水冷、空冷均可）冷卻至所定溫度 藉由釋出管1 6被排氣。又，於做爲氣體取樣用之反應容 器8之入口及出口附近分別設置被處理氣體用5及處理氣 體用1 5之取樣舟後可進行各氣體之成份分析。 如此，被處理氣體中之氟化合物幾乎可完全分解（接 近1 0 0 %之分解率）。所分解之氟化合物中之氟成份例 如做爲C a F 2之安定之鹼土類金屬之氟化物被固定於反應 劑，碳大部份做爲C 〇2與氮氣等之稀釋氣體同時被排出。 因此，被處理之氣體爲實質上未殘留氟成份或一氧化碳等 有害物質之無害氣體者。 塡充反應劑之分解能到底後分解反應完成’此分解反 應終點可確定被檢出氟化合物開始之時點。氟化合物被檢 出後，失去反應劑之分解能力，裝置之作動停止後，重新 塡充反應劑後，分解反應開始之分批方式與同一裝置依序 或預先與反應劑被塡充之預備反應容器交換後，可進行氟 化合物之分解。 爲使此分批式進行連續化，可採用倂設複數相同之反 應容器、一邊反應容器進行時，另一邊反應容器置入反應 劑，或預先進行塡充反應劑反應容器之交換，一邊反應容 器停止時另一邊反應容器進行切換氣體流路，亦可採用複 塔切換方式者。又，連續或間歇往反應容器內供給反應劑 後，使用可由使用過反應劑之反應容器連續或間歇性排出 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -22- --------------------訂---------線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 524712 A7 ___________________ B7 五、發明說明（2〇 ) 者，則於同一裝置可長時間連續進行。 (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) 如以上說明，本發明可有效分解氟化合物，被排出之 氣體中實質上未殘留氟成份或一氧化碳等之有害物質。此 所敘述之氟化合物可做爲半導體裝置製造工程中之蝕刻工 程中之蝕刻氣體或洗淨工程中之洗淨氣體使用之。至少一 種選自上述之全氟碳、氫氟碳、氯氟碳、氫氯氟碳、全氟 醚、氫氟醚、氟化烯烴及氟化硫所成化合物群之氟化合物 者。本發明係使做爲蝕刻氣體或洗淨氣體者以該氟化合物 使用之蝕刻工程或洗淨工程與含有由其工程所排出之氟化 合物之氣體利用含有該氧化鋁與鹼土類金屬化合物之反應 劑後具有分解之分解工程之半導體裝置之製造方法者，可 將鈾刻工程或洗淨工程所排出之該氟化合物氣體有效分解 後呈無害化者。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 LSI、 TFT等半導體裝置之製造過程中，利用 C V D法、濺射法或蒸鍍法等形成薄膜、厚膜後，爲形成 回路型板進行蝕刻。又，形成薄膜、厚膜之裝置中，爲去 除堆積於裝置內壁，冶具等不用之堆積物而進行洗淨。若 不用之堆積物產生將造成崩散之困擾，因此，爲製造良質 膜務必隨時去除之。 其中，例如使用該氟化合物之蝕刻方法可於等離子蝕 刻、微波蝕刻等各種乾式蝕刻條件下進行之。由此蝕刻工 程被排出之氣體中，除該氟化合物之外，將出現例如： S i F4或c〇F2之化合物與氯化氫或氟化氫之氣體被產 生，而，如上述，藉由本發明之反應劑使用後可同時分解 -23- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 524712 A7 B7 五、發明說明（21 ) 處理此等之化合物，氯原子或氟原子做爲鹼土類金屬之氯 化物或氟化物進行固化後，碳原子分解至二氧化碳後可呈 無害化。 又，藉由氟化合物之種類有時生成C 0，而於分解工 程中於被處理氣體中共存氧氣體後，C ◦亦可輕易被氧化 成c〇2,可完全呈無害化。 又，本發明之方法可使用載於特開平1 0 -1 2 6〇5號公報、特開平2 0 0 0 — 5 8 8 4 0號公報 之半導體裝置之製造方法者。 〔實施例〕 以下，利用實施例更進行詳細說明，惟，本發明並非 僅限於此等實施例者。 (反應劑之調製例） 試驗所使用之反應劑之各種原料如表1所示。 ------I--------------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -24- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 524712 A7 B7 五、發明說明（22 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 不純物〔質量％〕 cn <0.0001 Ο Ο ο ο\ ο ο 1 Sl〇2 0.0066 1 Sl〇2 0.01 Sl〇2 0.01 un o 〇 V 〇 o V 〇 〇 V 1 <0.001 Si〇2 57.73 (D Ph <0.0001 0.0010 0.005 0 0.005 F e 2 〇 3 0.0034 1 6 ^ ^ 〇 CD Uh ° 6 ^ T, 〇 CD * Ph ° \ < o o V r-H 〇 o V r—H 〇 〇 V i H 〇 o V <0.001 6 ^ (D · IX ^ 0.0005 0.0008 0.0027 1-< ο ο ο τ— O o o V 1 <0.001 t—H o o o V \ 1 o o V i I 〇 o V \ 1 o o V \ H 〇 〇 V <0.001 ^ 〇 ^ 〇 cd 0.0012 0.005 6 0.0104 0.0107 0.0027 1 0.067 oo csl o T—H o o V r-H 〇 o V <0.01 H 〇 o V r—H 〇 〇 V Ο ^ 〇 之〇 比表面積 [m2/g] 1 I I I r—H 寸 C^l CO O' i " Ί 255 H o CSI 1 1 1 1 1 1 1 粒子徑 /—\ a Ο 寸 un 1 S 1 O 0 1 1 \ 寸 o \1 Ί X 寸 o \ < \ 寸 o <0.1 ft 蚝 蘅 CaC〇3-a (高純度炭酸鈣） CaC〇3-b (輕質碳酸鈣） CaC〇3-c (重質炭酸鈣） SrC〇3 (炭酸緦） Ah〇3-a[A10(OH)] (擬勃母石氧化鋁） 6 ® 二 4 ^ ^ 4117 6<x 二 < Ο uo Ϊ學 Al2〇3-d i活性氧化鋁） C u〇 (氧化第2銅） Sn〇2 (氧化第2錫） 6^5 > Jif W ，、 u祕 、〆 粘合劑-1 (超微粉氧化鋁） 粘合劑-Π (粘土） --------------------訂---------線(請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 524712

A7 B7 五、發明説明（2》 對表1反應劑各原料物質名爲同一物質而言’欲區別 各等級，於其物質化學式後附記英文字母（例C a C 0 3 - a )或阿拉伯數字。此區別同時對應實施例、比較例所 載之表2〜表6。 以表1所示物質做爲原料使用後，配合如：表2所示 之試驗條件1之各物質與粘合劑後以高速攪拌式混合器進 行混合後，加水之後進行造粒，於1 1 0 °C下進行3小時 乾燥處理，之後，過篩之後取得粒徑爲0 · 8 5〜2 · 8 m m之粒狀物。所取得粒狀物於空氣中如表2之試驗條件 2所示之燒成溫度5 5 0 °C或7 0 0°C (電氣爐）下進行 3小時熱處理後，脫水燒成之後，調製反應劑。 (反應例） 使用與圖1所示之同原理裝置後，實施本發明法。亦 即，沿著藉由通電進行發熱之發熱體（合金）所裝置之環 狀爐（電氣容量1 · 4KW、長4 0〇mm)之軸中心後 ’貫通由內徑16mm、長度500mm之600 (或 s U S 3 1 0 S )所成之反應管後，於此反應管內之爐中 心部使氟化合物分解用之反應劑3 5 c c進行充電。 使用供與分解之氣化合物後，如圖1所示，於此化 合物中添加氧氣或，以氮氣做爲攜帶氣體導入該反應管內 。此時做成如下。 被處理氣體之流量 ：0.20</rnin 被處理氣體之親化合物濃度：〇 . 5〜3 νο 1% 被處理氣體之空塔速度 ：34：3hr 一1 <紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ~ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

524712

A7 B7 ____ 五、發明説明（滹 被處理氣體之線速度 ：l.〇m/min 被處理氣體之氧氣濃度 ：2〇vol%以下 又，部份試驗其被處理氣體中共存HF、SiF4或 C〇氣體，亦實施反應管之連結。 任何試驗於被處理氣體之導入時，開始往發熱體通電 後，均可維持插入反應劑中心部（反應劑之容積中最高溫 之剖位）之熱電對所測計之溫度；控制環狀爐之通電量。 各表中之反應溫度代表反應時所維持之該溫度者。 被處理氣體、處理氣體之組成分析如圖1所示’分別 由取樣舟再進行取樣，針對〇2、N2、C〇、C〇2、氟 化合物利用氣體分析器，更針對F離子置入鹼性蘇打溶液 後以氟吸收瓶進行取樣後分別進行分析。 表2〜表6之試驗條件1所載之反應劑組成（各物質 之組合）及粘合劑與表1之反應劑各原料物質各對應之。 例如：高純度碳酸鈣爲C a C〇3 - a、擬勃母石氧化鋁 爲A 1 2〇3 - a、超微粉氧化鋁粘合劑爲粘合劑一 I記 載之。更將配合氧化銘與鹼土類金屬化合物後之質量做成 1 · 0、粘合劑—I時其質量比爲0 · 〇 5、粘合劑— I I時質量比爲0 · 1添加後，調製反應劑。分解試驗以 表2〜表6分別代表之試驗條件1之反應劑與試驗條件2 之各條件爲基準進行之，其結果代表導入被處理氣體中每· 1小時之氟化合物之分解率及含於C〇、F離子之處理氣 體中之濃度（vol%)者。 弋紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ~ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 524712 A7 _____ B7 五、發明說明（25) 分解率=(被處理氣體中氟化合物濃度-處理氣體中氟化合物 濃度）+(被處理氣體中氟化合物濃度）x 100(%) (實施例1 一 3 ) 針對將反應劑氧化鋁與碳酸鈣之配合比變更爲如表2 所示之反應劑進行C F 4之分解反應。以擬勃母石氧化鋁做 爲氧化鋁（以下稱A 1 2〇3 - a )使用之，以高純度碳酸 鈣做爲鹼土類金屬化合物（以下稱C a C〇3 — a )使用之 。又，反應溫度做成固定之6 5 0°C、氧濃度設定爲 3 · 5 v 〇 1 %。 結果如表2所示、顯示任何配合比被處理氣體通氣後 3小時爲止爲9 9 %以上之分解率。更如表2所示，實施 例1之處理氣體中幾乎未被檢出F離子與C〇。 (實施例4〜6 ) 針對以實施例2相同條件下所調製之反應劑，變更反 應溫度後進行C F 4之分解反應。結果如表2所示，顯示反 應溫度於6 0 0 °C時爲9 9 %以上之分解率，7 0 0 °C時 被處理氣體通氣後5小時爲止爲9 9 · 9 %以上之分解率 0 (實施例7 ) 除將反應劑之燒成溫度由5 5 0 °C變更爲7 0 0 °C以 外’與實施例6相同條件下進行c F 4之分解反應。結果如 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱) ^^ Φ 丨訂----- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 524712 A7 -- - B7 五、發明說明（26 ) 表2所示。C F 4之分解率均爲9 9 %以上者，惟，與實施 例6比較後，出現漸漸降低分解率。 (實施例8〜9 ) 將反應劑中之氧化鋁變更爲擬勃母石氧化鋁於5 5 0 °C下進行燒成3小時（以下稱A 1 2〇3 - b )以外，與實 施例2及實施例7相同條件下進行C F 4之分解反應。而， 針對實施例8添加粘合劑- I I時亦進行分解反應。其結 果如表2所示，顯示實施例8與實施例幾乎呈相同之分解 率，未出現粘合劑之差，又，實施例9與實施例7相同， 燒成溫度及反應溫度均設定於7 0 0 °C下進行試驗，可維 持高分解率者。 (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -29- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 524712 Α7Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 咿 帐煺盤、^CNI#:·盤'緘 Ιφ}攀繼緘ilf 說-^-----1-明 〔cx!t(〕發 1 2 【％1〇>£靡^〇3_【〗，鹋_^屮齷減^( 一條邀φ^ϋ嫉鬆仞^纏Nfl-鹦嫉_顿。鹚驼_ £ς 5-ΗΗ 寸 v-tHcn vhhi 【％1〇乙 祕靡 銶驟®^ 馨仞与纏

【％1 侧瓣祕 【OJ 001 【OJ 侧頰链0 (丑如區銶如1|^»鬆砍) 『飯鹦吆

(丑¥»^»鬆姝) i54n2M (链一IN Μ鬆妳) 【10000〉〕 6-S6 【1〇0.0>1 1.66 【Ι00·0>1 6·66 〔10°0>〕 6.66Λ 【1000〉】 6.66Λ οτ έ Ι°°ο/6Ι.Ο f ό3βυ^-όΜν 56 L.66 6·66< 6·66< 6·66< 0S9 ςε 0//0/02 寸-09 s.006 6.66Λ 6·66< 6·66< ςς·ο/ς寸.0

cd_03eo/c^-0 二 V 009 600 66 寸6 寸6 寸6 66 Ο.ΟΟΑ ΓΙΟΟ οτοο VI% ΟΤ έ ουης 〇ςς 0//0/0Γ0

a3_03a3u/c^-0 二 V //寸6 °°οο6 L'66 S.66 ς.ε 009 SCO 〇ςς 0Γ002 σ3_ό3β3^-όΜν 6·66< 6·66< 6.66Λ 6·66< 00Α owns ΟΖ/Ο/ΟΓΟ

0ueu/f0MV 0·66 °°66 6.66Λ 6·66<

o.coS re 00Α SCO 00Α 0/ζοοΓΟ

丫 ό3βυ/α3-ό 二 V 寸.66 6·66< 6·66< 6.66Λ o.e ά

rc OS ς.66 6·66< 6.66Λ 6.66Λ 6.66Λ 6.66Λ 6·66< 6.66Λ s.e ΟΟΑ --------訂----- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) scn 00Α τ「 ΟΑ.Ο/ΟΓΟ os—0uCXJu/q-0 二 ν

II οζ/ο/οε.ο

crfffvoocdu/qioMV 線«-

摩 W 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -30- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 524712 A7 -_ B7 五、發明說明（28) (實施例1 0〜1 3 ) 除變更反應劑中之碳酸鈣爲輕質碳酸鈣（以下稱 C a C〇3 — b)與重質碳酸鈣（以下稱c a c〇3— c ) 之外，與實施例2及6相同條件下進行C F 4之分解反應。 結果如表3所示，C F 4之分解率對應如表1所示之各碳酸 齡之不純物總量，C a C〇3 — a (實施例2、6 ) > C a C 0 3 - b (實施例 1〇、11) >CaC〇3— c ( 實施例1 2、1 3 )之順序出現降下傾向。 (實施例1 4〜1 6 ) 將反應劑中之氧化鋁變更如表1所示之各氧化鋁（ A 1 2 0 3 - b , A 1 2 Ο 3 - c , A 1 2 Ο 3 — d Λ )之外 ’與實施例3同條件下進行C F 4之分解反應。結果如表3 所示，CF3之分解率對應表1所示之各種A 1 2〇3之不 純量後，顯示A 1 2〇3 — a (實施例1 3 ) 2 A 1 2〇3 — b (實施例14) >A12〇3— c (實施例15) > A 1 2〇3 — d (實施例1 6 )之順序降低。 (實施例1 7 ) 將氟化合物由C F 4變更爲C 2 F 6之外，與實施例1 相同條件下進行分解反應。結果如表3所示，顯示被處理 通氣後3小時爲止C2F6之分解率爲8 0%以上者。 (實施例1 8〜2 0 ) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ^31- --------------------訂---------線^^丨 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 524712 A7 B7 五、發明說明（29) 除變更反應溫度與氧濃度之外，與實施例2相同條件 下進行C 2 F 6之分解反應。結果如表3所示。實施例1 8 中設定反應溫度爲60 0°C、氧濃度爲3 · 5v〇 1%， 惟，C 2 F 6之分解率與實施例1 7同程度、控制C 〇生成 之效果不足。 實施例1 9與2 0中，其反應溫度爲6 5 0 °C、氧氣 體濃度變更爲Ονο 1%與2〇vo 1%後，進行分解反 應。其結果顯示C 2 F 6之分解率被處理氣體通氣後3小時 爲止均爲9 0%以上者。又，CO對於實施例19中近3 %之生成而實施例2 0中被處理氣體通氣後3小時爲止未 被檢出相較下’幾乎完全抑制C ◦之產生’§登明只要存在 氧氣體即可。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -32 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 524712 A7B7 五、發明說明（30 £ς 』hcni£1 1%0>】鹋_^〇3喊【】，鹋靡β屮鎧纏筚()【沴 】嫌邀φ^ϋιιι鬆如安植^旮聽嫉剧螋^盤· 帐煺繼絕 wnoo6 6.寸6 【csloorol 【卜寸.0】 //6寸 【CNIrl〕 ζ/ς寸 【0〇〇0·0】 rse 0.66 9.66 6·66 寸.66 寸·6οο

【880.0】 UL

09.0】 Z.QL

【ST】 i.iL 【900d】 ι·τΓ~ ς.66 6.66Λ 00006 6.66Λ 6.66 °°A6 oCSIod〕 °°s 〔CNrs ΓΙΟΟ 【9rcnj Γ6οο 【00·0】 ΓΙ6 6·66λ 6·66< 6·66 6.66Λ 6.66Λ //66 r lz orvlod】 6·寸οο 【π·01 6·寸οο 【η.ζ】 寸·Α6 【sodvl 寸·Α6 6.66Λ 6·66< 6.66Λ 6·66< 6·66< 6.66<

6.S 【uodl 8·ςοο 【寸1.0〕 Γ98 【ατ〕 Γ006 【sodv】 Γ66 【函0>1ϋ 驟ρβ 鬆仞安减 【虔0>1 0 00 【OJ 鹋||觸赵 ο。】 ¥蘅 toJ鹋頰璲0 0.£ έ ο.Γηέ ΟΤ έ 0·£ a 0$9

s.e OOA

re OS ς.ε 目 ς.ε ΟΟΑ 0S9 009

ο 0S 0.0CNI 0S9 ςΓη 〇ςς ςοη

scn OSS --------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

(Τ1Φ2Ι 鄹如键^«鬆 Φ) S (丑_ ΜβΜ鬆妳) qi^nal 0//0/0Γ0 0//0/0Γ0

Ί〇3σ33^-ό 二 V ΟΖ/Ο/ΟΓΟ

Ϊ〇3α3υ/?ό 二 V ΟΖ/Ο/ΟΓΟ

Ϊ〇3σ33/〒ό 二 V ΟΑ.Ο/ΟΓΟ 0//0/0Γ0 ΟΖ/Ο/ΟΓΟ Ι8.0/6Γ0 0//0/0Γ0 0/ζοοΓΟ ΟΓΟΟΓΟ

o-0uaju/q-0二 V

ϊοοΰ/ο-ό二 V

Ϊ033Ρ-0二 V β — ό3β3/σ3-όΜν σ3_ό3α33^-όπν

σ3-όοα33^-ό 二 V σ3-ό3β3/〒όΜν ι<握孽 οι

II

CNII π

91 FT π 001 61 0£± 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -33- 524712 A7 B7 五、發明説明（3) (實施例2 1〜2 4 ) 以實施例20，其質量比爲A 12〇3 - a/ CaC〇3— d = 〇 · 3/0 · 7之反應劑中加入各金屬 氧化物（實施例2 1— V2〇5、實施例22 — Sn〇2、 實施例23 — Cu〇 + Sn〇2、實施例24 — Cr2〇3 )之反應劑之使用，與將氧濃度由2 0 v ο 1 %變更爲 3 · 5vo 1%之外與實施例20同條件下進行C2F6· 之分解反應。其結果如表4所示，顯示其〇2厂6之分解 率與實施例18〜20之結果幾乎未變、氧氣濃度3·5 v ο 1 %亦幾乎完全未檢出C 0、藉由反應劑中添加金屬 氧化物後，於低氧分壓下可完全使C 0氧化。 (實施例2 5〜2 6 ) 反應管進行雙連結（反應劑35x2 = 7〇cc)， 反應溫度變更爲5 5 0 °C與6 5 0 °C之外，與實施例同條 件下進行C F4與C2F6之混合氣體之分解反應。其結果 如表4所示，實施例2 1之反應溫度爲5 5 0 °C時， C2F6之分解率爲7 0%之低分解率，與C F4之分解率 幾乎同等維持其分解率者。又，實施例2 2之反應溫度 650 t：時，可使CF4、C2F6共同維持高分解率。 (實施例27〜28) 除改變C〇、H F、S i F 4共存之濃度外，與實施例 2相同條件下進行C F 4之分解反應。結果如表4所示，其 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -34- 524712 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（32) C〇共存下之實施例2 3之處理氣體中未檢出C〇。又， HF、 SiF4共存下之實施例24之處理氣體中未被檢出 F離子。 (實施例2 9〜3 9 ) 除氟化合物之種類與濃度及反應溫度之外，與實施例 2相同條件下進行分解反應。結果如表5所示’顯示任一 氟化合物分別之反應溫度雖不同，卻均爲高度分解率者。 其中實施例3 1〜3 9之氟化合物之結構如下。 實施例 31 CF2 = CF2 實施例 32 CHCIFCF3 實施例 33 CC1F2CC1F2 實施例 34 CH2FCF3 實施例 35 CFsCHFCFs 實施例 36 CF3〇CF = CF2 実施例3 7 【化1】

実施例3 8 【化2】

(實施例4〇） 実施例3 9 SF6 除變更反應劑中之C a C〇3爲S r C〇3之外，與實 施例2相同條件下進行C F 4之分解反應。其結果如表5所 示，雖然S r C〇3多少有降低分解率，卻可做爲氟化合物 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 35- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 524712 A7 B7 五、發明說明（33 ) 分解用反應劑使用之。 (比較例1〜2 ) 以相同於反應例等實施例之方法進行反應劑調製例之 試驗。 反應劑僅以氧化鋁依表6所示之試驗條件下進行C F 4 之分解反應。其結果顯示被處理氣體通氣後2小時下分解 率急劇下降。 (比較例3〜4 ) 除變更反應劑中之CaC〇3爲Mn〇2、Fe2〇3之 外，與實施例2相同條件下調製反應劑，於7 0 〇 °C下進 行C F 4之分解反應。結果如表6所示，顯示均由一開始良口 爲低分解率者。 ------------Φ--------T — (請先閱讀背面之注音？事項再填寫本頁)

1 ϋ ϋ I 線%- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (CN 準 標 家 國 國 中 用 適 度 尺 張 紙 本 釐 公 97 2 X 10 (2 格 規 524712 A7B7 五、發明說明（34 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

試驗結果 嫌5 « 〇 φ Η 碱， Μ 聽W _鎧 蝤植 V-t wn 35.0 [0.010] 40.3 [0.023] 36.3 [<0.00!] 38.6 [0.030] 99.4 62.8 >99.9 99.5 90.2 [<0.00!] >99.9 (<0.000!) 寸 72.3 [0.006] 72.0 [0.024] 73.2 [<0.00!] 72.7 [0.047] 99.5 62.9 >99.9 99.8 99.8 [<0.00!] >99.9 (<0.0001 ) X cn 90.3 [0.001] 91.5 [<0.00!] 91.2 [<0.00!] 90.1 [0.027] 99.7 68.9 >99.9 >99.9 >99.9 [<0.00!] >99.9 (<0.0001 ) K CN 97.4 [0.001] 96.7 [<0.00!] 97.3 [<0.00!] 97.0 [0.003] 99.7 68.9 >99.9 >99.9 >99.9 [<0.00!] >99.9 (<0.0001 ) K t—H 99.0 [<0.00!] 99.0 [<0.00!] 98.9 [<0.00!] 98.7 [<0.00!] 99.7 68.9 >99.9 >99.9 >99.9 [<0.00!] >99.9 (<0.000!) 試驗條件2 4π驟鹋g ^ W * ? 練W ^ 〇 cn ιΖ ό wn ^ r—1 ' u， Ph ^ U un a h - (£ ' CM 。：J O ^ cn 〇 (£ 〇 u u 〇 tn wn Ο O h ^ u K C/D 反應溫度 [°c ] 氧濃度 [vol%] 〇 wn uo . \〇 cn 〇 wn wn . u^) cn 〇 un m . \〇 cn 〇 wn . Μ Si J 蘅 77 链。一鳛兄 ^ - 550 35 X 2 -^ un 1 試驗條件1 )~1 1—1 f-H f—I )—H 1~i HH /^、 ·=, U\ S啦 nri 配合比 (各物質之質量比） 0.97/0.03 0.97/0.03 0.98/0.005 + 0.015 0.97/0.03 0.30/0.70 0.30/0.70 0.30/0.70 0.30/0.70 % 組成 (各物質之組成） Sf g 9 IK 〇 只 Sf 辑$ {|i( ^ A) ^ 2 6 i$\ 口! ig + IK ? u n=r ο θ 寒Ί |i( u Al2〇3-a/CaC〇3-a 1 Al2〇3-a/CaC〇3-a AhOs-a/CaCOs-a Al2〇3-a/CaC〇3-a 徘皿（辑摩 CN Oi cn C<l CNl VO cs Csl oo CN ----- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

I I I I 線m· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 37- 524712 A7 B7 五、發明說明（35) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 試驗結果 Ϊ ^ S觸 Τ： 嫉〇 >99.9 >99.9 >99.9 >99.9 >99.9 1 >99.9 1 >99.9 >99.9 >99.9 1 >99.9 >99.9 I_____________ ! 65·5 V-t 寸 >99.9 >99.9 >99.9 >99.9 >99.9 1 >99.9 1 >99.9 >99.9 >99.9 >99.9 1___ >99.9 1— 76.5 騵*N 嫉Η*7 刮鎧 螋練 麵5 ν-ί κ CO >99.9 >99.9 >99.9 >99.9 99.9 1 >99.9 1 >99.9 >99.9 >99.9 >99.9 >99.9 91.3 ν-ί CN >99.9 >99.9 >99.9 >99.9 >99.9 1 >99.9 1 >99.9 >99.9 >99.9 >99.9 >99.9 1_ 94.3 Vh E >99.9 >99.9 >99.9 >99.9 >99.9 1 >99.9 1 >99.9 >99.9 >99.9 >99.9 1_ >99.9 1_ 96.0 試驗條件2 ㈣ 鬆*1 g <!□銶 〇 CHC1F2 0.5 CHFs 0.5 C2F4 0.5 C2HCIF4 0.5 C2CI2F4 0.5 C2H2F4 0.5 C3HF7O 0.5 C3F7O 0.5 CaF6 0.5 CsF6 0.5 0 v〇 PH GO 〇 cn u fes E目鬥®^ * Μ * 〇 [«上 〇 wn Ο . 〇 vo un . cn co 〇 un 〇 . CsJ CO 〇 〇 · co cn 〇 m 〇 · 〇 0 . CSJ CO 〇 m 〇 · \〇 cn 〇 l〇 0 · 〇 un 〇 . Ό cO 〇 wn wn · cn 燒成溫度 [°C] 反應劑量 [CC] 〇 wn v〇 cn wn 試驗條件1 k—t h-H 1—H H-4 1—( h-H 1—1 1—H HH 4π ss 配合比 1 (各物質之質量比） 0.30/0.70 0.30/0.70 0.30/0.70 0.30/0.70 0.30/0.70 0.30/0.70 0.30/0.70 0.30/0.70 0.30/0.70 0.30/0.70 0.30/0.70 0.30/0.70 ^^ 組成 (各物質之組成） Ah〇3-a/CaC〇3-a Ah〇3-a/CaC〇3-a 1 Ah〇3-a/CaC〇3-a Ah〇3-a/CaC〇3-a 1 Ah〇3-a/CaC〇3-a Ah〇3-a/CaC〇3-a Ah〇3-a/CaC〇3-a Al2〇3-a/CaC〇3-a Ah〇3-a/CaC〇3-a Ah〇3-a/CaC〇3-a Ah〇3-a/CaC〇3-a Ah〇3-a/SrC〇3-a On 0^1 Oi m m ITi <m cn 〇〇 CO ON CO 〇 Γ -n ϋ n .^1 *^1 ϋ n 1 ϋ 0 n ϋ 1 n 1 1 n J ，I ·ϋ I ·ϋ ϋ 言 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 線«- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -38^ 524712 A7B7 五、發明說明（36 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 試驗結果 1之氟化合物氣體之分解率[ S度、[]爲〇〇之濃度[vol%] 5Hr 1 1 1 1 1 1 4Hr 1 1 38.3 1 1 3Hr 1 1 40.8 [<0.00!] 1 1 廿 酆 m ^ μ 屮 剧黯 魆減 键^ 2Hr 19.7 [<0.00!] 47.8 [0.003] ο m 32.3 lHr >99.9 [<0.00!] >99.9 [<0.005] oo 43.4 試驗條件2 ；5 ι,κ 5 ^ e « ? 滅 w ^ 〇 £ U ο cn ιΖ U o CO u 〇 CO U 反應溫度 [°c ] 氧濃度 [vol%] 650 3.5 750 0 700 3.5 ,700 3.5 Μ _ II ^ 77 550 35 700 35 I 550 550 35 試驗條件1 1~1 Ι-Η H-H 1—( /^、 S S 配合比 (各物質之質量比） 〇 T—Η ο i 0.30/0.70 0.30/0.70 鬆 、^f 組成 (各物質之組成） Ah〇3-a A12 0 3 - b AI2O3- a/Mn〇2 Al2〇3-a/Fe2〇3 {_ 辑孽 r—Η Csl CO 寸 ^39- --------------------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 524712 A7 _ B7 五、發明說明（37 ) (實施例4 1 ) 由 CF4 爲 20sccm、 CHF3 爲 2〇sccm、 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 氬氣體爲4 0 0 s c c m所成之蝕刻氣體使用後，使聚矽 氧氧化膜進行飩刻。由此乾式蝕刻工程所排出之氣體一部 份以氮攜帶氣體使用後，與實施例2 3相同反應劑被塡充 之，導入圖1所示之裝置進行分解實驗。分解實驗開始後 3小時使分解裝置出口氣體取樣後，以氣體層析法進行分 析後，其CF4及CHF3之濃度均爲l〇vo 1 ppm以 下、CO濃度亦爲lOvolppm以下。又，以萃取離 子色譜法進行氟離子濃度之分析後，爲1 v ο 1 p pm以 下者。 〔發明效果〕 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 如以上說明，本發明之反應劑可於較低溫下且以簡單 處方有效分解氟化合物，分解之氟亦做爲無害物固定之。 亦即，本發明可以簡易之分解裝置進行實施，處理操作簡 單、分解效率亦高，與氧共存可抑制一氧化碳之生成。且 ，分解生成物爲C a F 2等之安定鹼土類金屬氟化物，因此 ，後處理極容易。又，反應劑之廉價性面可完成目前無法 成效者，特別是於半導體裝置製造工程可分解含有產生使 用後之氟化合物氣體爲極大之貢獻者。 〔圖式之簡單說明〕 〔圖1〕 -40- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 524712 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（38 ) 代表實施本發明裝置之1例之機器配置系統圖者。 〔符號之說明〕 1 氟 化合 物 氣 體 供 給 管線 2 氮 氣 體 供 給 管 線 3 空 氣 或 氧 氣 供 給 管 線 4 氣 體 混 合 及 聯 管 箱 5 取 樣 舟 6 氣 體 導 入 管 7 溫 度 傳 感 器 ( 測 定 管） 8 反 應 容 器 9 發 熱 器 1 0 溫 度 控 制 裝 置 1 1 電 氣 加 熱 器 1 2 反 應 劑 1 3 透 氣 性 床 1 4 冷 卻 管 1 5 取 樣 舟 16 氣體釋出管 (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

Claims (1)

1. 524712

   91· 8. 30 年Λ

   8 8 8 8 ABCD 六、申請專利範圍 第8 9 1 〇 7 6 2 4號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 民國91年8月30日修正 1 · 一種氟化合物之分解用反應劑’其特徵係含有氧 化鋁與鎂、鈣、緦、或鋇之碳酸鹽的鹼土類金屬化合物且 該氟化合物係至少1種選自全氟碳、氫氟碳、氯氟碳、氫 氯氟碳、全氟醚、氫氟醚、氟化烯烴、氟化硫、S i F 4 及C 0 F 2所成化合物群的氟化合物。 2 ·如申請專利範圍第1項之氟化合物之分解用反應 劑，其中該氧化鋁之比表面積爲5 0 m 2 / g以上者。 3 ·如申請專利範圍第1項或第2項之氟化合物之分 解用反應劑，其中該氧化鋁爲擬勃母石氧化鋁者。 4 ·如申請專利範圍第1項或第2項之氟化合物之分 解用反應劑，其中該氧化鋁係擬勃母石氧化鋁經燒成者， 其燒成溫度爲4 0 0〜1 0 0 0°C之範圍者。 經濟部智慧財產局員工涓費合作社印製 5 .如申請專利範圍第1項或第2項之氟化合物之分 解用反應劑，其中含於該反應劑之氧化鋁與鹼土類金屬化 合物之粒徑分別爲1 0 0 // m以下之粉末狀者。 6 .如申請專利範圍第1項或第2項之氟化合物之分 解用反應劑，其中含於該反應劑之氧化鋁與鹼土類金屬化 合物之含量質量比爲1:9〜1:1者。 7 ·如申請專利範圍第1項或第2項之氟化合物之分 解用反應劑，其中該反應劑係至少含有1種選自銅、錫、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 524712 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 鎳、鈷、鉻、鉬、鎢、及釩所成之金屬氧化物者。 8 ·如申請專利範圍第7項之氟化合物之分解用反應 劑，其中該金屬氧化物之含量之該氧化鋁與鹼土類金屬化 合物之合計質量比爲1:99〜5:95者。 9 ·如申請專利範圍第1項或第2項之氟化合物之分 解用反應劑，其中含於該反應劑之鹼金屬含量爲〇 . 1質 量％以下者。 1 0 .如申請專利範圍第1項或第2項之氟化合物之 分解用反應劑，其中該反應劑係於4 0 0〜7 0 0 °C被燒 成之粒狀物者。 1 1 .如申請專利範圍第1 〇項之氟化合物之分解用 反應劑，其中該反應劑爲粒徑0 . 5〜1 0 m m之粒狀物 者。 1 2 .如申請專利範圍第1項或第2項之氟化合物之 分解用反應劑，其中含於該反應劑之含水量爲1質量％以 下者。 1 3 .如申請專利範圍第1項之氟化合物之分解用反 應劑，其中該氟化合物爲含有氯化氫及/或氟化氫者。 1 4 .如申請專利範圍第1項或第2項的氟化合物之 分解用反應劑，其中該反應劑係使用於與氟化合物於 2 0 0 °C以上之溫度下相互接觸而進行氟化合物之分解者 〇 1 5 .如申請專利範圍第1 4項之氟化合物之分解用 反應劑，其中該與如申請專利範圍第1項至第1 3項中任 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210Χ297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1Τ

   經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 524712 A8 B8 C8 D8 々、申請專利範圍 一項之反應劑相接觸之被處理氣體中之氟化合物濃度爲 0 · 01 〜ΙΟνο 1% 者。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 6 .如申請專利範圍第1項或第2項的氟化合物之 分解用反應劑，其中藉由使用該反應劑與氟化合物於氧氣 存在下5 0 0 °C以上之溫度相互接觸後，可抑制產生一氧 化碳而進行氟化合物之分解。 1 7 .如申請專利範圍第1 6項之氟化合物之分解用 反應劑，其中該被處理氣體中之氧氣濃度爲20vo 1% 以下者。 1 8 ·如申請專利範圍第1 4項之氟化合物之分解用 反應劑，其中將如申請專利範圍第1項至第1 3項中任一 項之反應劑與氟化合物接觸所產生之氯原子、氟原子及/ 或硫原子做爲驗土類金屬氯化物、驗土類金屬氟化物及/ 或鹼土類金屬硫鹽予以固定者。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 9 ·如申請專利範圍第1 5項之氟化合物之分解用 反應劑，其中將如申請專利範圍第1項至第1 3項中任一 項之反應劑與氟化合物接觸所產生之氯原子、氟原子及/ 或硫原子做爲鹼土類金屬氯化物、鹼土類金屬氟化物及/ 或鹼土類金屬硫鹽予以固定者。 2 〇 ·如申請專利範圍第1 6項之氟化合物之分解用 反應劑，其中將如申請專利範圍第1項至第1 3項中任一 項之反應劑與氟化合物接觸所產生之氯原子、氟原子及/ 或硫原子做爲鹼土類金屬氯化物、鹼土類金屬氟化物及/ 或鹼土類金屬硫鹽予以固定者。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -3- 524712 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 _ D8六、申請專利範圍 2 1 .如申請專利範圍第1 7項之氟化合物之分解用 反應劑，其中將如申請專利範圍第1項至第1 3項中任一 項之反應劑與氟化合物接觸所產生之氯原子、氟原子及/ 或硫原子做爲鹼土類金屬氯化物、鹼土類金屬氟化物及/ 或驗土類金屬硫鹽予以固定者。 2 2 · —種半導體裝置之製造方法，其特徵係包含使 用至少1種選自全氟碳、氫氟碳、氯氟碳、氫氯氟碳、全 氟醚、氫氟醚、氟化烯烴及氟化硫所成之化合物群之氟化 合物做爲蝕刻氣體或洗淨氣體之蝕刻步驟或洗淨步驟，以 及由此等步驟所排出之氟化合物之氣體經使用如申請專利 範圍第1項至第1 3項中任一項之反應劑分解之分解步驟 者。 2 3 ·如申請專利範圍第2 2項之半導體裝置之製造 方法，其中該由鈾刻步驟或洗淨步驟所排出之氣體係含有 至少1種選自全氟碳、氫氟碳、氯氟碳、氫氯氟碳、全氟 醚、氫氟醚、氟化烯烴、氟化硫、S i F 4及C 0 F 2所 成化合物群之氟化合物的氣體者。 2 4 .如申請專利範圍第2 3項之半導體裝置之製造 方法，其中該含有氟化合物之氣體爲含有氯化氫及/或氟 化氫者。 2 5 ·如申請專利範圍第2 2項至第2 4項中任〜項 之半導體裝置之製造方法，其中該分解步驟中被處理氣體 中之氟化合物分解溫度爲2 0 0 °C以上者。 2 6 ·如申請專利範圍第2 2項至第2 4項中任〜項 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） < 請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) --裝· 訂 絲 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 524712 A8 B8 C8 _____D8 六、申請專利範圍 之半導體裝置之製造方法，其中該分解步驟中被處理之氟 化合物濃度爲0 . 0 1〜IQyo 1%者。 2 7 ·如申請專利範圍第2 2項的半導體裝置之製造 方法，其中該分解步驟爲藉由氧氣之存在下，於5 〇 〇 以上之溫度下進行，以抑制一氧化碳之生成者。 2 8 .如申請專利範圍第2 7項之半導體裝置之製造 方法，其中該分解步驟中被處理氣體中氧氣濃度爲2 〇 v ο 1 %以下者。 2 9 ·如申請專利範圍第2 2項〜2 4、2 7或·2 8 項中任一項之半導體裝置之製造方法，其中將該蝕刻步驟 或洗淨步驟所排出之氣體，以使用如申請專利範圍第1項 至第1 3項中任一項之反應劑分解之分解步驟所生成之氯 原子、氟原子及/或硫原子，使其做爲鹼土類金屬氯化物 、鹼土類金屬氟化物及/或鹼土類金屬硫酸鹽予以固定者 〇 3 0 · —種氟化合物之分解方法，其特徵爲將含有氧 化鋁與鎂、鈣、緦、或鋇之碳酸鹽的鹼土類金屬化合物之 反應劑，與氟化合物於200°C以上溫度下接觸者。 3 1 ·如申請專利範圍第30項之氟化合物之分解方 法，其中與含有氧化鋁與鎂、鈣、緦、或鋇之碳酸鹽的鹼 土類金屬化合物之反應劑接觸之被處理氣體中的氟化合物 濃度爲0.01〜lOvol%範圍。 3 2 · —種氟化合物之分解方法，其特徵爲將含有氧 化鋁與鎂、鈣、緦、或鋇之碳酸鹽的鹼土類金屬化合物之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁)

   524712 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 反應劑’與氟化合物於氧氣存在下，且爲500°C以上溫度 下接觸，以抑制一氧化碳的生成。 3 3 ·如申請專利範圍第3 2項的氟化合物之分解方 法’其中被處理氣體中的氧氣濃度爲20 v ο 1 %以下者 〇 3 4 ·如申請專利範圍第30項至第33項中任一項之 氟化合物的分解方法，其中將含有氧化鋁與鎂、鈣、緦、 或鋇之碳酸鹽的鹼土類金屬化合物之反應劑，與氟化合物 接觸所生成之氯原子、氟原子及/或硫原子，做爲鹼土類 金屬氯化物、鹼土類金屬氟化物及/或鹼土類金屬硫酸鹽 予以固定者。 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -6 - 本紙張尺度適用中國國家摞準（CNS ) A4規格（2l〇X297公釐）