JP6050093B2 - フッ素含有化合物の分解処理装置及び分解処理方法 - Google Patents
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Description
これらフッ素含有化合物としては、CF4、C2F6、C3F8、C4F8、SF6、NF3、CHF3、CClF3、CHClF2、CBrF3などが挙げられ、これらは高い温暖化係数を示す温室効果ガスであり、また一部ガスはオゾン層破壊ガスでもあり、地球温暖化の防止、オゾン層破壊防止のために、従来、これらフッ素含有化合物を含む被処理ガスを無害化する装置及び方法が知られている。
また、従来、吸着剤(例えば、CaO)からなる充填層を備えた反応管に、含フッ素化学物質(例えば、CBrF3(ハロン1301))を含む被処理ガスを連続的に導入・導出して、被処理ガスを分解させながら前記吸着剤に反応吸着させて含フッ素化学物質の分解処理を行う装置であって、前記充填層が、被処理ガスの流れ方向に沿って、被処理ガス導入口を備えたガス拡散帯と、被処理ガス導出口を備えた反応帯とを備え、前記反応管の反応帯対応部位には加熱手段が配され、前記反応管に前記吸着剤を連続的又は間欠的に供給・排出するようにした含フッ素化学物質の分解処理装置が知られている(例えば、特許文献2参照)。
したがって、CF4を検知するには、例えば、フーリエ変換赤外分光光度計のような高価な検知器を使用しなければならないという課題と、ガス反応部を通過した被処理ガス中の未反応のCF4を検出した後に処理剤の交換又は供給を行うため、被処理ガスの分解処理が完全ではなく一部未処理状態となるという課題とがある。
したがって、特許文献2に記載された従来の技術も特許文献1と同様に、例えば、フーリエ変換赤外分光光度計のような高価な検知器を使用しなければならないという課題と、被処理ガスの分解処理が完全ではなく一部未処理状態となるという課題とがある。
前記分解剤を充填するとともに前記被処理ガスを連続して供給排出することにより前記被処理ガス中のフッ素含有化合物を分解処理する反応筒と、
前記反応筒内における前記被処理ガスの流通方向に沿って上流側に反応ゾーンを、下流側に吸着ゾーンを形成して、前記反応ゾーンの前記分解剤を前記フッ素含有化合物が分解可能な分解温度に加熱するとともに前記吸着ゾーンの前記分解剤を前記分解温度未満に保持する加熱制御手段と、
前記反応ゾーンにおける前記被処理ガスの流通方向の中間域から前記被処理ガスを抽出してフッ素ガスを検出するフッ素ガス検出手段と、
前記フッ素ガス検出手段により前記フッ素ガスを検出することにより、前記反応ゾーンにおける前記被処理ガスの抽出箇所よりも上流側の前記分解剤の分解性能の低下を検出して、新たな前記分解剤を充填するとともに分解性能の低下した前記分解剤を排出することを間欠的又は連続的に行うことが可能な充填排出手段と、
前記充填排出手段による前記分解剤の充填排出方向と前記被処理ガスの流通方向とを対向流に形成する手段と、を備えたものである。
反応筒内に前記分解剤を充填するとともに前記被処理ガスを連続して供給排出することにより前記被処理ガス中のフッ素含有化合物を前記分解剤に接触させ、
前記反応筒内における前記被処理ガスの流通方向に沿って上流側に反応ゾーンを、下流側に吸着ゾーンを形成して、前記反応ゾーンの前記分解剤を前記フッ素含有化合物が分解可能な分解温度に加熱するとともに前記吸着ゾーンの前記分解剤を前記分解温度未満に保持し、
前記反応ゾーンにおける前記被処理ガスの流通方向の中間域から前記被処理ガスを抽出して前記フッ素含有化合物の分解生成物であるフッ素ガスを検出することにより、前記反応ゾーンにおける前記被処理ガスの抽出箇所よりも上流側の前記分解剤の分解性能の低下を検出して、新たな前記分解剤を充填するとともに分解性能の低下した前記分解剤を排出することを間欠的又は連続的に行い、
前記分解剤の充填排出方向と前記被処理ガスの流通方向とを対向させるようにしたものである。
このように、分解性能の低下した交換の必要な分解剤の交換を間欠的又は連続的に行うので、分解剤全量の交換に伴う温度低下による除害性能の低下が生ずることもないのである。
また、前記反応ゾーンにおける前記被処理ガスの流通方向の中間域におけるフッ素ガスは、前記反応ゾーンにおける前記中間域よりも下流側の前記分解剤で分解処理でき、前記反応筒から排出される前記被処理ガスを確実に無害化することができるのである。
さらに、前記反応ゾーンにおいて前記分解剤により分解処理されて固定化された、例えばCaF2は高温状態の継続により、CaF2から少量のフッ素ガスの脱離が生ずることがあるが、脱離したフッ素ガスは前記吸着ゾーンで再度CaF2として固定化され、前記反応筒から排出される前記被処理ガスをより確実に無害化することができるのである。
また、被処理ガスの供給排出及び分解剤の充填排出を連続的に行い、かつ、前記分解剤の充填排出方向と前記被処理ガスの流通方向とを対向流としているから、被処理ガスの分解剤による分解反応を良好に行なうことができるのである。
このように、分解性能の低下した交換の必要な分解剤の交換を間欠的又は連続的に行うので、分解剤全量の交換に伴う温度低下による除害性能の低下が生ずることもないのである。
また、前記反応ゾーンにおける前記被処理ガスの流通方向の中間域におけるフッ素ガスは、前記反応ゾーンにおける前記中間域よりも下流側の前記分解剤で分解処理でき、前記反応筒から排出される前記被処理ガスを確実に無害化することができるのである。
さらに、前記反応ゾーンにおいて前記分解剤により分解処理されて固定化された、例えばCaF2は高温状態の継続により、CaF2から少量のフッ素ガスの脱離が生ずることがあるが、脱離したフッ素ガスは前記吸着ゾーンで再度CaF2として固定化され、前記反応筒から排出される前記被処理ガスをより確実に無害化することができるのである。
また、被処理ガスの供給排出及び分解剤の充填排出を連続的に行い、かつ、前記分解剤の充填排出方向と前記被処理ガスの流通方向とを対向流としているから、被処理ガスの分解剤による分解反応を良好に行なうことができるのである。
図1において、1は、フッ素含有化合物を含む被処理ガス11を無害化するフッ素含有化合物の分解処理装置である。
前記被処理ガス11に含まれるフッ素含有化合物としては、CF4、C2F6、C3F8、SF6、NF3、CHF3、CClF3、CHClF2、CBrF3などが挙げられ、これらは高い温暖化係数を示す温室効果ガスであり、また一部ガスはオゾン層破壊ガスでもあり、地球温暖化の防止、オゾン層破壊防止のために、前記分解処理装置1により無害化するのである。
前記反応筒2は、高温耐食性の合金であるインコネル(INCONEL 登録商標)を用い縦型円筒状に形成して、内部に前記分解剤12を充填するとともに前記被処理ガス11を連続して供給排出することにより前記被処理ガス11中のフッ素含有化合物を分解処理するようにしている。
前記反応筒2の上方に前記分解剤12の充填口51aを備えた分解剤充填部51を設けるとともに、前記反応筒2の下方に前記分解剤12の排出口52aと、前記排出口52aに設けた排出量を調整可能な調整手段52bとを備えた分解剤排出部52を設けて、前記分解剤12を前記反応筒2の上方から充填し下方から排出する充填排出手段5を形成している。
また、前記反応筒2内を下方から冷却吸着ゾーン21と、中間の反応ゾーン22と、上方の吸着ゾーン23とを形成して、各ゾーン21、22、23に前記分解剤12を充填している。
前記被処理ガス11は、前記冷却吸着ゾーン21に供給ライン61から供給し、前記反応筒2内の前記冷却吸着ゾーン21において前記分解剤12を冷却するとともに前記被処理ガス11中の低温で分解又は吸着可能なガスが吸着され、次に、前記反応ゾーン22において前記分解剤12により前記被処理ガス11中の前記フッ素含有化合物が分解され、前記吸着ゾーン23に接続の排出ライン62から前記反応筒2外に排出されるのである。
前記加熱制御手段3は、図示しないが、例えば、前記反応ゾーン22における前記被処理ガス11の流通方向(上下方向)の中間域の温度を検出する温度センサを設け、検出する温度が設定温度となるように前記電気ヒータ31の加熱量を制御して、前記反応ゾーン22の前記分解剤12を前記フッ素含有化合物が分解可能な分解温度に加熱するとともに前記吸着ゾーン23の前記分解剤12及び前記冷却吸着ゾーン21の前記分解剤12を前記分解温度未満に保持するようにしている。
この実施の形態では、具体的には、前記フッ素ガス検出手段4のフッ素ガス検出器41で検出したフッ素ガス濃度に応じて、前記充填排出手段5の前記調整手段52bの排出量の調整を制御装置53により行って、分解性能の低下した交換の必要な前記分解剤12の排出及び新たな分解剤12の充填が前記分解剤12の重力により連続的に前記反応筒2内を上方から下方に移動することによりなされるようにしている。
前記対向流に形成する手段6は、前記充填排出手段5により前記分解剤12を上方から下方に連続的に充填排出させ、前記被処理ガス11を下方から上方に連続的に供給排出させて、前記被処理ガス11と前記分解剤12とを対向流で接触させることにより、前記被処理ガス11中の前記フッ素含有化合物の前記分解剤12による分解反応を良好に行なうようにしている。
ここで、フッ素含有化合物の一例としてCF4を含む被処理ガス11を酸化物系触媒であるγ−Al2O3と固体アルカリ剤であるCaOとの粒状の混合物からなる分解剤12と反応させると、下記(1)式及び/又は(2)式で表わされる反応が生じて、CaF2として固定化される。この反応でγ−Al2O3は触媒としての機能を発揮する。
CF4+3CaO→2CaF2+CaCO3・・・(1)
CF4+2CaO→2CaF2+CO2・・・(2)
CF4→C+2F2・・・(3)
したがって、前記充填排出手段5により新たな前記分解剤12を前記反応筒2内に充填するとともに分解性能の低下した交換の必要な前記分解剤12を排出するようにしている。
なお、前記フッ素ガス検出器41によりフッ素ガス濃度を検出するために抽出した被処理ガス11は、前記フッ素ガス検出器41でフッ素ガス濃度を検出後に前記供給ライン61に戻され、フッ素ガスがそのまま前記排出ライン62から排出されることはない。
なお、前記(1)式及び/又は(2)式で表わされる反応により生じたCaF2は、例えば、800℃よりも高温の状態が継続すると、CaF2から少量のフッ素ガスが脱離するが、脱離したフッ素ガスは前記吸着ゾーン22で再度CaF2として固定化されるのである。
(実施例)
フッ素ガス含有化合物の分解処理装置1は、反応筒2の内径を240mm、反応筒2の高さを740mmとし、分解剤12をγ−Al2O3とCaOとを重量比で1:1で混合した粒状の混合物とし、反応筒2の内部全体に分解剤12を充填し、反応筒2の外周壁における高さ方向中間に内周壁を熱伝導可能に密着させた円筒状の抵抗式の電気ヒータ31を設けている。
反応筒2の下方部に被処理ガス11の供給ライン61を接続し、反応筒2の上方部に被処理ガス11の排出ライン62を接続して、被処理ガス11として濃度1.0%(容積割合)のCF4をN2希釈で調整して50L/minの処理流量で反応筒2内に供給するようにした。
電気ヒータ31により反応筒2内を上記のように通電制御することにより、反応筒2の上端から下方に605mmの位置L2(電気ヒータ31の下端から上方に50mmの位置)における反応筒2内の温度が800℃となり、反応筒2内の中間部分における高さ方向の330mm(上記L1からL2)に亘って温度が800℃以上となる分解ゾーン22が形成された。
この実施例においては、反応筒2内に充填した分解剤12の被処理ガス11との分解反応状態(分解性能の低下状態)を確認するために、被処理ガス11の抽出位置として、電気ヒータ31の下端と対応する第一位置P1、上記第一位置P1から上方に100mmの第二位置P2、前記第一位置P1から上方に215mmの第三位置P3(前記抽出箇所42と同じ位置)及び被処理ガス11の反応筒2の出口となる第四位置P4の4箇所を設定した。
そして、反応筒2内に分解剤12を充填し、電気ヒータ31により電気ヒータ31の上端から下方に50mmの位置における温度が800℃となる状態で、被処理ガス11を連続的に反応筒2内に供給開始して、前記第一位置P1〜前記第四位置P4の4箇所の位置における被処理ガス11の供給開始からの経過時間とCF4ガス濃度(容積割合)との関係及びフッ素ガス濃度3ppm(容積割合)を検知するまでの被処理ガス11の供給開始からの経過時間を図2にそれぞれ示した。
また、フッ素ガス濃度3ppmを検知するまでの被処理ガス11の供給開始からの経過時間は、第二位置P2で86min、第三位置P3で250minであり、第一位置P1及び第四位置P4では経過時間800minまでには検知されなかった。
しかしながら、CF4濃度が飽和状態となっている経過時間に至ると、分解剤12はCF4に対して所定の分解率を発揮できなくなり、交換が必要となった状態を示している。
これらの反応筒2内の電気ヒータ31下端からの交換の必要な分解剤12の位置と分解剤12の交換の必要となるまでの経過時間のデータは直線関係(一次関数)の下記(4)式で表わすことができる。
反応筒2内の電気ヒータ31下端からの交換の必要な分解剤12の位置(mm)=0.52×分解剤12の交換の必要となるまでの経過時間(min)−37.4・・・(4)
具体的には、この実施例では、反応筒2内の電気ヒータ31下端からの分解剤12の位置が215mm(第三位置P3)で、フッ素ガス検出器41により3ppmのフッ素ガスを検出したのが250minであり、上記(4)式で反応筒2内の電気ヒータ31下端からの交換の必要な分解剤12の位置を計算すれば92.6mmであるから、分解剤12を約80mm下方に移動すれば、交換の必要な分解剤12の大部分を冷却吸着ゾーン21に送り出すことができる。
また、フッ素ガス検出器41により3ppmのフッ素ガスを検出した場合に、間欠的に分解剤12を80mm下方に移動することに替えて、反応筒2の高さ方向80mmの分解剤12の容積分を250minの時間で下方に移動するように前記調整手段52bの排出量を調整することにより分解剤12を連続的に充填排出するようにすることもできる。
以上の実施例から、汎用の安価なフッ素ガス検出器41を用いて交換の必要な分解剤の分解性能の低下を的確に監視して交換の必要な分解剤12の交換を行うことができることを確認することができたのである。
さらに、以上の実施例から、前記反応ゾーン22において前記分解剤12により分解処理されて固定化された、例えばCaF2は高温状態の継続により、CaF2から少量のフッ素ガスの脱離が生ずることがあるが、脱離したフッ素ガスは前記吸着ゾーン22で再度CaF2として固定化され、前記反応筒2から排出される前記被処理ガス11をより確実に無害化することができることを確認することができたのである。
他のフッ素含有化合物として、フッ素含有化合物の分解反応の数例を下記に例示する。
C2F6(交換が必要でない場合):C2F6+4CaO→3CaF2+CaCO3+CO
C2F6(交換が必要な場合):C2F6→2C+3F2
C3F8(交換が必要でない場合):C3F8+5CaO→4CaF2+CaCO3+2CO
C3F8(交換が必要な場合):C3F8→3C+4F2
C4F8(交換が必要でない場合):C4F8+4CaO→4CaF2+4CO
C4F8(交換が必要な場合):C4F8→4C+4F2
SF6(交換が必要でない場合):SF6+4CaO→3CaF2+CaSO4
SF6(交換が必要な場合):SF6→S+3F2
NF3(交換が必要でない場合):2NF3+3CaO→3CaF2+NO+NO2
NF3(交換が必要な場合):2NF3→N2+3F2
また、以上の実施の形態では、加熱制御手段として抵抗式の電気ヒータを反応筒の外周に設けた場合を説明したが、分解剤の温度分布の均一化のために分割して反応筒の外周及び反応筒内の中心部分に設けるようにしてよく、抵抗式の電気ヒータに替えて誘導加熱式ヒータ、燃焼加熱式ヒータでもよい。
また、以上の実施の形態では、フッ素ガス検出器として、フッ素ガス濃度を検出できる場合を説明したが、閾値(検出限界)以上のフッ素ガスを検出する安価なフッ素ガス検出器でもよい。
そして、第二設定値による排出時に、フッ素ガス検出器によりフッ素ガスを検出すれば上記第一設定値による排出というように交互に排出量を切り換えるのである。
2 反応筒
3 加熱制御手段
4 フッ素ガス検出手段
5 充填排出手段
6 対向流に形成する手段
11 被処理ガス
12 分解剤
21 冷却吸着ゾーン
22 反応ゾーン
23 吸着ゾーン
42 抽出箇所
51a 充填口
52a 排出口
52b 調整手段
Claims (14)
- フッ素含有化合物を含む被処理ガスを固体アルカリ剤を含む分解剤により分解処理するフッ素含有化合物の分解処理装置において、
前記分解剤を充填するとともに前記被処理ガスを連続して供給排出することにより前記被処理ガス中のフッ素含有化合物を分解処理する反応筒と、
前記反応筒内における前記被処理ガスの流通方向に沿って上流側に反応ゾーンを、下流側に吸着ゾーンを形成して、前記反応ゾーンの前記分解剤を前記フッ素含有化合物が分解可能な分解温度に加熱するとともに前記吸着ゾーンの前記分解剤を前記分解温度未満に保持する加熱制御手段と、
前記反応ゾーンにおける前記被処理ガスの流通方向の中間域から前記被処理ガスを抽出して前記フッ素含有化合物の分解生成物であるフッ素ガスを検出するフッ素ガス検出手段と、
前記フッ素ガス検出手段により前記フッ素ガスを検出することにより、前記反応ゾーンにおける前記被処理ガスの抽出箇所よりも上流側の前記分解剤の分解性能の低下を検出して、新たな前記分解剤を充填するとともに分解性能の低下した前記分解剤を排出することを間欠的又は連続的に行うことが可能な充填排出手段と、
前記充填排出手段による前記分解剤の充填排出方向と前記被処理ガスの流通方向とを対向流に形成する手段と、を備えたことを特徴とするフッ素含有化合物の分解処理装置。 - 前記反応筒内には、前記被処理ガスの流通方向に沿って上流側から、前記分解剤の冷却と前記被処理ガス中の一部ガスの吸着とが可能な冷却吸着ゾーンと、前記反応ゾーンと、前記吸着ゾーンとを形成して、前記冷却吸着ゾーンに前記被処理ガスを連続して供給し、前記吸着ゾーンから前記被処理ガスを連続して排出することを特徴とする請求項1に記載のフッ素含有化合物の分解処理装置。
- 前記分解剤の充填口を前記反応筒の上方に設けるとともに、前記分解剤の排出口を前記反応筒の下方に設けて、前記分解剤が重力により前記反応筒内を上方から下方に移動可能に前記反応筒を立設状態に設け、
前記充填排出手段の前記排出口に排出量を調整可能な調整手段を設け、前記フッ素ガス検出手段はフッ素ガス濃度を検出可能とし、検出したフッ素ガス濃度に応じて前記調整手段を調整して前記分解剤を連続的に充填排出可能としたことを特徴とする請求項1又は2に記載のフッ素含有化合物の分解処理装置。 - 前記分解剤は、酸化物系触媒と固体アルカリ剤との混合物であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のフッ素含有化合物の分解処理装置。
- 前記酸化物系触媒がγ−Al2O3であることを特徴とする請求項4に記載のフッ素含有化合物の分解処理装置。
- 前記固体アルカリ剤がCaOであることを特徴とする請求項4又は5に記載のフッ素含有化合物の分解処理装置。
- 前記被処理ガスは、フッ素含有化合物であるCF4を含むことを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のフッ素含有化合物の分解処理装置。
- フッ素含有化合物を含む被処理ガスを固体アルカリ剤を含む分解剤により分解処理するフッ素含有化合物の分解処理方法において、
反応筒内に前記分解剤を充填するとともに前記被処理ガスを連続して供給排出することにより前記被処理ガス中のフッ素含有化合物を前記分解剤に接触させ、
前記反応筒内における前記被処理ガスの流通方向に沿って上流側に反応ゾーンを、下流側に吸着ゾーンを形成して、前記反応ゾーンの前記分解剤を前記フッ素含有化合物が分解可能な分解温度に加熱するとともに前記吸着ゾーンの前記分解剤を前記分解温度未満に保持し、
前記反応ゾーンにおける前記被処理ガスの流通方向の中間域から前記被処理ガスを抽出して前記フッ素含有化合物の分解生成物であるフッ素ガスを検出することにより、前記反応ゾーンにおける前記被処理ガスの抽出箇所よりも上流側の前記分解剤の分解性能の低下を検出して、新たな前記分解剤を充填するとともに分解性能の低下した前記分解剤を排出することを間欠的又は連続的に行い、
前記分解剤の充填排出方向と前記被処理ガスの流通方向とを対向させたことを特徴とするフッ素含有化合物の分解処理方法。 - 前記反応筒内には、前記被処理ガスの流通方向に沿って上流側から、前記分解剤の冷却と前記被処理ガス中の一部ガスの吸着とが可能な冷却吸着ゾーンと、前記反応ゾーンと、前記吸着ゾーンとを形成して、前記冷却吸着ゾーンに前記被処理ガスを連続して供給し、前記吸着ゾーンから前記被処理ガスを連続して排出することを特徴とする請求項8に記載のフッ素含有化合物の分解処理方法。
- 前記分解剤の充填口を前記反応筒の上方に設けるとともに、前記分解剤の排出口を前記反応筒の下方に設けて、前記分解剤が重力により前記反応筒内を上方から下方に移動可能に前記反応筒を立設状態に設け、
前記排出口に排出量を調整可能な調整手段を設け、前記反応ゾーンにおける前記被処理ガスの流通方向の中間域から前記被処理ガスを抽出してフッ素ガス濃度を検出することにより、検出したフッ素ガス濃度に応じて前記調整手段を調整して前記分解剤を連続的に充填排出可能としたことを特徴とする請求項8又は9に記載のフッ素含有化合物の分解処理方法。 - 前記分解剤は、酸化物系触媒と固体アルカリ剤との混合物であることを特徴とする請求項8〜10のいずれかに記載のフッ素含有化合物の分解処理方法。
- 前記酸化物系触媒がγ−Al2O3であることを特徴とする請求項11に記載のフッ素含有化合物の分解処理方法。
- 前記固体アルカリ剤がCaOであることを特徴とする請求項11又は12に記載のフッ素含有化合物の分解処理方法。
- 前記被処理ガスは、フッ素含有化合物であるCF4を含むことを特徴とする請求項8〜13のいずれかに記載のフッ素含有化合物の分解処理方法。
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