TW522761B - Method and apparatus having pin electrode for surface treatment using capillary discharge plasma - Google Patents

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522761 A7 B7 五、發明説明（1 ) 本發明之背景 本發明之界定範圍 本發明係論及一種電漿放電裝置，以及係更明確論及 一種具有一些針電極以便使用毛細管放電電裝籙流來做表 面處理用之方法和裝置。雖然本發明係適用於寬廣之應用 範圍，其係特別適用於大氣壓下或一高氣壓下之工件的電 漿處理，藉以無論工件之尺寸，而可提供事實上無限制之 應用。 相關技藝之說明 一電漿放電業已廣泛地在許多不同工業中，被使用來 處理多種工件之表面。特言之，一用以清洗或蝕刻一些類 似印刷電路板（PCB)、引線框、微電子裝置、和晶圓等電 子元件之工作站，業已採用在電子工業中，因為其可提供 一些與傳統式化學清洗裝置相比之優點。舉例而言，其電 漿程序係發生於一密閉式系統中，而非在一開放式化學池 中。因此，此電漿程序比起其傳統式化學程序，可較不危 險及較不具毒性。一相關背景技藝式之電漿程序和裝置的 範例，係揭示在美國專利編號第5,766,404號中。 其相關背景技藝式之另一範例，係揭示在1987年之 Journal of Applied Polymer Science (應用聚合物科學期刊） 中第 1913 至 1921 頁的 ” Surface Modification of Polvtetrafluoroethylene by Ar+ Irradiation for Improved Adhesion to Other Materials’’（ Ar+照射表面修飾聚四氟乙 烯以改進對其他材料之黏合性），其中，該電漿程序係應用 4 (請先閲讀背面之注意事項再填窝本頁) 衣紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 五、發明説明（2 ) 在彼等塑膠工件之表面上面，以企圖改進該等工件之濕化 性或黏合性。 然而，所有背景技藝式電漿程序，必須在一處理室内 進行，因為該等背景技藝式電漿程序，僅能在一真空條件 下被執行。因此，當一工件過大而無法在該室中被處理時， 其背景技藝式電漿程序，將無法被用來處理該工件。結果， 其背景技藝式電漿程序，在應用上係十分有限。 本發明之概要 因此，本發明係專注於一種使用毛細管放電電漿來做 電漿處理之方法和裝置，其可實質上免除其相關技藝之限 制和缺點所致一或多之問題。 本發明之另-目地，旨在提供一種使用毛細管放電電 装來做電聚處理之方法和裝置，其可在高氣壓或大氣壓條 件下’應用於薄膜之殺菌'清洗、姓刻、表面修飾、或殿 積中。 不贫明之額外目地和優 时°丨物地列舉在後繼之說 明中，以及部份地由其說明而臻明顯，或者可藉由實行本 發明而習得。本發明之目地和優點，將可藉由所附申請專 利範圍中所特別指出之元素和組合，來加以實現及獲得。 書 置 和 為達成該等目地及依據本發明之目地，誠如本說明 令所具現及廣泛說明’-使用-電漿來處理-工件之裝 係包括：至少一可接收一電源之針電極；—具有一第二 側 -第二側部之介電體’其中’第一側部係轉合至其針電極 以及其弟二側部’係具有至少一延伸於其介電 五 、發明説明（3 ) π的方向上之毛細管’以及每—毛細管實質上係與每 2㈣齊；和一反電極’其係以電氣方式與其針電極相轉 &，藉以自每一毛細管產生電漿。 在本發明之另一特徵中，_使用—電聚來處理— 之裝置係包括：一介電體，其具有至少一延伸過其中之開 口’至少一具有一第-和-第二開口之介電管，其中，此 介電管係經由該介電體之開口轉合至此介電體；至少 合，該介電管之第-開口的針電極；和—反電極，其係以 電乳方式與其針電極相耦合，藉以產生電漿。 在本發明之另一特徵中，一 便用电漿放電裝置來處 工件之方法所包括之步驟右··士 驟有·佈置该工件使緊鄰此裝 置，其中之裝置係包括：至少-可接收-電源之針電極， 有一第一和一第二側部之介電體，其中，第—侧部係 至其針電極’以及其第二側部，係具有至少一延伸於 其介電體之第一側部的方向上 一研 之毛細官，以及每一毛細管 貫貝上係與每一針電極對齊，〆 .^ 以电氣方式與其針電極 =反電，；施加—電位至該等針電極和反電極；以 及自該寻毛細管產生出一電漿。 在本發明一又一特徵中，一 使用一電漿放電裝置來處 理一工件之方法所包括之步 ^ ^ 哪有·佈置該工件使緊鄰此裝 1 ’其中之裝置係包括：_呈右 α 其 少 ，、有至少一延伸過其中之開 的介電體.，至少一具有一第一 T 弟一開口之介電管， 中之介電管係經由該介電體之鬥 心之開口耦合至此介電體，至/ 一耦合至該介電管之第一開口 ΐ节極，和一以電氣方式 衣纸張尺度適用中國國家標準（CNS) Α4規格 6 522761 五、發明説明（4 與此針電極相_合以產生電漿之反電極；施加一電位至該 等針電極和反電極；以及自該等毛細管產生出一電聚。 此外，藉由將若干工件佈置在一經過其電漿下方之輸 送帶上面，將可自動地處理此等裝置。 理應暸解的是，上文之一般說明和下文之詳細說明兩 者，係例示性和解釋性，以及係需要提供本發明如申請專 利範圍之進一步解釋。 圖示之簡單說明 所附被納入來提供本發明之進一步瞭解及被合併進 而構成此說明書之一部份的繪圖，係例示本發明之若干實 施例，以及係與其之說明，一起用以解釋本發明之原理。 在諸繪圖中： 第1Α圖係一用以顯示本發明中處理一些導電性工件 有關電漿之A-類型裝置的毛細管放電電漿頭之示意剖 圖； 第1B圖係一用以例示本發明中電漿表面處理一些 電性工件有關之A-類型裝置的示意剖面圖； 第1C圖係一用以例示本發明中電漿表面處理一些佈 置在一氣體至内之導電性工件有關電漿的A_類型裝置之 示意剖面圖； 第2 A圖係一用以顯示本發明中處理一些非導電性基 質有關電漿之B-類型裝置的毛細管放電電漿頭之示意剖 面 導 面 ------------------------裝------------------、可…-..............線· (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 圖， 第2B圖係一用以顯示本發明中電漿表面處理一歧 各紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 522761 五、發明説明（5 ) 導電性工件有關之B_類型裝置的示意剖面圖； 第3 A圖係一用以顯示本發明中處理一些導電性、半導 、和非導電性工件有關電漿之c•類型裝置的毛細管放電 電漿頭之示意剖面圖； 第3B圖係一用以顯示本發明中電漿表面處理一些導 電性、半導體、和非導電性工件有關之C-類型裝置的示意 剖面圖； ^ 第3C圖係本發明中一具有一些置於其表面上之電極 的介電體頂之俯視圖； 第3D圖係一用以例示本發明中一介電體和一其中置 有一些電極之介電板的示意剖面圖； 第4圖係一介電體之平面圖，其中之毛細f，在本發 月中，係佈置在此具有一平行四邊形之形狀的介電體内； 第：> 圖係一用以顯示本發明中電漿表面處理一些導電 性' 半導體、和非導電性工件有關之D.類型裝置的示意剖 面圖； “ 第6圖係一用以顯示本發明中電漿表面處理一些非導 電性基質有關之E-類型裝置的示意剖面圖； 一、 第7圖係一用以顯示本發明中電漿表面處理一些導電 性、半導體、和非導電性工件有關之F·類型裝置的；意= 面圖； ^ ° 第8圖係一用以顯示本發明中電漿表面處理一此導 性、丰導體、和非導電性工件有關之G_類型裝置的=音 面圖； “ 訂 t 電 剖 木紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公复） 522761 五、發明説明（6 第9圖係顯示在本發明用以產生電漿中，在760托之大 氣壓力下，就多種氣體，相對於其毛細管之長度和直徑間 的比率，有關之外加電壓； 第10圖係顯示在本發明中，就不同之氣體，相對於其 毛細管之直徑的外加電壓； 第11A圖係顯示在本發明中，其在一空氣環境中用以 產生連續性電漿之電装鎮流頭的俯視圖； 第11B圖係顯示在本發明中，其在_Ar環境中用以產 生電聚之裝置頭的俯視圖； 第11C圖係顯示在本發明中 生電漿之裝置頭的俯視圖； 第12 Α圖係顯示在本發明中 理之印刷電路板上面的小水滴； 第12 B圖係顯示在本發明中 理之印刷電路板上面在2〇秒電漿處理後的小水滴； 第12C圖係例示在本發明中，該印刷電路板在秒 漿處理後的一個空氣電漿處理區域； 第12D圖係顯示在本發明中，其被置於該空氣電漿處 理之印刷電路板上面在8〇秒電漿處理後的小水滴； 第13A圖係顯示在本發明中，一最初被置於一未經處 理之印刷電路板上面的小水滴·， 苐1 j B圖係顯示在本發明中，其被置於一 Ar電漿處理 之印刷電路板上面在20秒電漿處理後的小水滴； 第13 C圖係例示在本發明中，該印刷電路板之一 αγ電 其在一 He環境中用以產 一最初被置於一未經處 其被置於一空氣電漿處 電 ------------------------裝------------------訂------------------線· (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 本纸張又度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 522761 五、發明説明（ 漿處理區域；而 第別圖則係顯示在本發明中，其被置於該Μ電装處 理之印刷電路板上面在⑽秒電聚處理㈣小水滴。 較佳貫^例之詳細說明

兹將詳細參考本發明之較佳實施例，其範例係例示在 所附諸繪圖中。口r L 、 ^要有可此，相同之參考數字，將被使用 遍及諸圖中’以表示相同或相似之零件。 第1A圖係一用以顯示在表面處理一些導電性工件中 出自每-毛細管之電漿的Α·類型裝置之毛細管放電電漿 頭的示意剖面圖。誠如第1A圖所例示，該等針電極並未暴 露至該等毛細管。此等特徵將參照第1B圖做更詳細之說 明。 第1B圖係一用以例示其電漿表面處理一些導電性工 件有關之A·類型裝置的示意剖面圖。誠如第_所例示， -依據本發明之一第一實施例使電漿處理有關之A_類型 裝置係包括：-AC電源供應器1〇、一些針電極u、一介電 體12、-些形成在此介電體12内之毛細管13、_導電性2 件14、和一以電氣方式耦合至該等針電極之反電極1:。 其電源供應器之-端？’係&合至該等針電極η，而 其另一端子係耦合至該反電極15 ’以及係接地。其介電體 η係具有一第一和第二側部’其第一側部，係耦合至“ 針電極11，以及其第二側部，係具有至少一毛細管，其係 延伸進一部份之介電體12内。該等針電極丨丨和毛細管 實質上係相對齊’以及通常係具有_對一之相應關係。 衣紙張尺度適用中國國家標準（CNS) Α4規格（210X297公复）

、\*ΰ ·_· (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 10 五、發明説明（8 ) 然該介電體12之厚度，並無嚴格 制，此介電體12之厚 度，可在1 mm至3 cm之範圍内。每一 .a 母毛細官之直徑，最好 疋在〇.2_纽8_之範圍内。-非導電性基質，係被佈 置在该寻連接至其電源供應器1G之針電㈣與反電極15 間，以及係遭受到—使用毛細管放電«之電«理。誠 如第1B圖中所例示，其一部份之針電極U，係使其介電體 丨2與該等毛細管分開’藉以避免一在處理 中之電暈電弧遷移。 命电改件 第1 C圖係例示上述裝在-氣體室16中之a _類型裝置 的示意剖面圖。此氣體室16係具有至少兩個開⑼㈣， 彼等可容許氣體注人進及移出此室外。任—種類型之氣體 或一些氣體，均可注入進此室内。諸如Ar、He、氧氣、和 空氣。雖然任一種氣體可注入進及移出此室外，其並不需 要在該室16中建立真空以處理該工件14，因為此裝置係利 用高效益之毛細管放電電漿。其所有需要的，是一用以維 持一大氣壓力之隔離空間。此外，該室16可容許在一空氣 外之工作氣體環境下，來處理該工件14。 第二A圖A —用以顯示電襞表面處理一些非導電性工 件有關之每一毛細管所出之電漿的B_類型裝置之毛細管放 電電槳頭的示意剖面圖。此裝置頭可放電電漿至上述佈置 在彼等電極21與25間之工件上面。誠如第2B圖中所例示， 其針電極21係藉由該等毛細管而暴露。此B-類型裝置將參 照苐2B圖做更詳細之說明。 第2B圖係一用以例示電漿表面處理一些非導電性工 11 本紙張尺度適用中國國家標準A4規格（210X297公釐） 五、發明説明（9 ) 件有關之B-類型裝置的示意剖面圖。類似於上述之八_類型 裝置，此B-類型裝置係包括：一 AC電源供應器2〇、一些針 電極21、一介電體22、一些毛細管23、一非導電性工件24、 反電極25、和一介電板26。該等針電極21係連接至其電 源供應器20之一第一端子，以及其反電極乃係連接至其電 源供應器2G之-第二端子。其電源供應器2()之第二端子係 接地其"电體22係具有一第一和第二側部，其中之第二 側部，係具有至少一延伸進一部份介電體22内之毛細管。 該等針電極2卜係佈置在其介電體22之第一側部内，以及 係延伸進該等毛細管23内。類似於上述之八_類型裝置，該 等形成於其第-介電體或介電體22内之毛細管，在數目上 把圍可自-至數千，依據該介電體22之維度而定。該介電 體22之厚度，可在lmm至3⑽之範圍内。每一毛細管之直 偟，取好是在0.2至〇.8mm之範圍内。此心類型裝置，亦包 括-佈置在該等反電極25與工件24間之介電屏板％。此非 導電性工件24,係佈置在該介電屏板％之頂部上面，以及 係遭受到一使用上述毛細管放電電漿之電漿處理。 弟3A圖係一用以顯示電漿表面處理任一導電性、半 虹、和非導電性工件有關之每一毛細管所出之電漿的& 型裝置之毛細管放電電漿頭的示意剖面圖。 第3B圖係電t表面處理_導電性、半導體、和非導 性工件有關之C.類型裝置的示意剖面圖。此裝置係包括 —AC電源供應器3〇、一些針電極3ι、一介電體I 一此 _、-反電極35、和一介電板36。其反電極3_ 522761 、發明説明（10 等介電體32和介電屏板36密封。該等毛細管33係形成於該 等介電體32和介電板36内’以致該等針電極η係藉由該等 毛細管33而暴露。其AC電源供應器3〇,有一端子係連接至 X等針電極3 1，以及其另_端子係連接至其電極％，以及 係接地。該等針電極31係嵌進該介電體32内，以及係延伸 進該等毛細管管33内。該等形成於其介電體32中之毛細管 在數目上圍可自一至數千，依據該介電體32之維度 =定。其包括板36之介電體32的厚度，可在lmm至3cm之 範圍内。每一毛細管之直徑，最好是在0.2至0.8 mm之範 内。此在此實施例中，任一種類型之工件，包括導電性 半導體、和非導電性，均可被此裝置處理。 第3 C圖係例示上述佈置在其介電體3 2上方之反電 35。該等毛細管33係形成經過該等反電極”和介電體w 誠如第3CH中所示，其反電極35係環繞每_毛細管^ 及係與該毛細管分離一段距離。 第3D圖係顯示其已結合之介電體邮其具有反電極 3—5之介，板36的—個示意剖面圖。此結構係例示一些毛細 官，彼等係自此結構之一側延伸至其另一側，以及該等針 電極3 1係嵌進該等毛細管3 3内。 、 該等毛細管可在該介電體内形成為任一種形狀。為增 加處理工件更大之效益，該毛細管可形成於該介電體中a 而具有-平行四邊形之形狀。藉由形成_平面行四邊形、 形狀的介電體’其出自毛細管之電装光束，在一輸送帶上 面之工件板的移動方向中，彼此並無重疊。 圍 以 之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐）

------------------------裝—— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 線丨 •二叮 . 13 522761 五、發明説明（11 ) 第4圖係一介電體之平面圖，其令之毛細管在本發明 中，係佈置在上述具有-平行四邊形之形狀的介電體内。 第5圖係一用以例示電漿表面處理一導電性、半導 體、和非導電性工件有關之D•類型裝置的示意剖面圖。類 似於第1B圖中所顯示之A•類型裝置，此D·類型裝置係包 括：-電源供應器50、-些針電極51、一些具有毛細管^ 之介電管52、一反電極55、—介電板56、和-介電塊57。 其介電板56係具有至少—形成穿過其中之孔，以致其介電 管52可經由此孔與其介電板56相結合 一在一^之咖㈣。此= 訂 出超過其介電板56,以及其中係形成有一些毛細管。該介 電管52可由任一種類似陶竟等介電材料來製《，以及係具 有-範圍在0.2 mm至0.8 _之内徑（亦即，該等毛細管5; 之直從）。一片介電材料或介電塊57，係位於該等毛細管 内’藉以避免處理其導電性工件中之電暈電弧遷移。其電 源供應器50之第-端子，係連接至彼等針電極51，而其苐 二端子係連接至其反電極55，以及係接地。該等針電極Η 係在一第一端部處，嵌進其介電管52内，以及係延伸遠至 其介電塊57。一導電性或非導電性工件，係佈置在該等介 電管52與反電極55之間，以及係遭受到電漿處理。 第6圖係一用以例示電漿表面處理一些非導電性工件 有關之E-類型裝置的示意剖面圖。類似於第5圖中所顯示之 D-類型裝置，此裝置係包括：一電源供應器6〇、一些針電 極61、一些具有毛細管63之介電管62、一反電極65、—第 衣紙張尺度適用中國國家標準（CNS) M規格（2ΐ〇χ297公釐） 522761

發明説明（12 w電板66和一第二介電板67。其第一介電板66，係具 有多數形成穿過其中之孔。其介電管62係具有一可在i随 至3 cm之範圍内的長度。在其第一介電板％之孔内，係配 合有一糸列之介電管62。此介電管62係在兩側凸出超過其 介電板66，以及該等介電管62内，係具有一些毛細管。其 電源供應器60之第一端子，係連接至彼等針電極61，而其 第二端子係連接至其反電極65，以及係接地。其第二介電 板67，係位於其反電極65上面。該非導電性工件64，係佈 置在其第二介電板67上面，以及係遭受到電漿處理。 第7圖係一用以例示電漿表面處理一些導電性、半導 體、和非導電性工件有關之卜類型裝置的示意剖面圖。此 裝置係包括：一電源供應器70、一些針電極71、一些具有 毛細管73之介電管72、一反電極75、一介電體％、和一具 有一範圍在1 mm至3cm之長度的介電管77。其反電極乃係 被該等介電體76和介電板77所深埋。該等多數孔係延伸過 該等介電體76和介電板77與反電極75，而建立成一些可供 其介電管72配合其中之空間。該等介電管72係具有一些在 其中之毛細管。其電源供應器70，係具有一連接至其針電 極71之第一端子，和一連接至其反電極乃之第二端子。其 第一端子係接地。該等針電極71係位於彼等毛細管73内。 一導電性、半導體、和非導電性工作件74，係由〜類 型裝置來加以處理。 、 第8圖係一用以例示電漿表面處理一些導電性、半導 體、和非導電性工件有關之G-類型裝置的示意剖面圖。此 衣紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公复） -----------------------裝------------------訂------------------線. (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 15 522761 A7 --------Ξ___ 五、發明説明（丨3 ) 裝置係包括：一電源供應器80、-些針電極81、一些介電 & 此等"電官内係具有一些毛細管83、一位於此等毛 細官内之介電塊88、一反電極85，一介電體％，和一介電 板87。其反電極85係位於該等介電體％與介電板”之間， 以及係緊固在其上面。有多數之孔係延伸過該等介電體和 反電極85，而建立成一些可供其介電管82配合其中之空 間。其電源供應H 8G之第—端子，係連接至彼等針電極… 2及其一第二端子係連接至其反電極85，以及係接地。該 等針電極81係佈置在該等介電管82之毛細管内，以及係延 伸退至其介電塊88。一導電性、半導體、和非導電性工作 件84，係佈置在此此G_類型裝置之管頭下方，以及係遭受 到其電漿處理。 第9圖係一可例示使用不同氣體形成一電漿簇流所需 外加電壓之曲線圖。此等外加電壓，大約係正比於該等毛 細官之長度與直徑間的比率。此曲線圖可例示在76〇托之大 氣壓力下所需之電壓。誠如第9圖中所示，在一He氣環境 中，要形成一電漿簇流放電，係需要較小之電壓，而在一 空氣環境中，要形成一電漿簇流放電，則將需要較大之+ 壓。 i 第10圖係例示在不同氣體環境下毛細管放電所需要 之外加電壓。此外加電壓大約係正比於該毛細管之直後。 誠如此曲線圖中所例示，當其室裝填氦時，其產生一電漿 所必需之外加電壓，對毛細管之直徑係較不敏感。然而^ 當所用係空氣時，隨著其毛細管直徑之增加，其外加電壓 衣紙張尺度適财關家標準（CNS) A4規格⑽心了公爱）

Γ♦… (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •訂- 16 522761 A7 B7 _ 五、發明説明（Μ ) 將需要大幅之增加。 第11Α至"C圖係顯示本發明用以在一空氣體、a”和 He% i兄中產生連續電漿之電漿裝置頭的俯視圖。然而，本 發明之裝置係可在任-種類型之工作氣體環境中運作。 為示範彼等事際應用在工業中之可行性，一小水滴之 潤濕角係在不同之條件下被測量。 第12A圖係顯示在本發明中，一最初佈置在一未經處 理之印刷電路板上面的小水滴。誠如此曲線圖中所例示， 此小水滴係具有一相對於該板之83.5。的潤濕角。 第12B圖係顯示在一空氣電漿處理過2〇秒後，上述佈 置在印刷電路板上面之小水滴。誠如第12B圖中所例示， 其相對於該板之潤濕角已降至381。。 第12C圖係例示在80秒電漿處理後，上述印刷電路板 之一空氣電漿處理過的區域。 第12D圖係顯示在80秒電黎處理後，上述佈置在一空 氣電漿處理過之印刷電路板上面的小水滴。其潤濕角係降 至10.4 。因此’誠如第12A-12D圖中所示，該工件已處理 區域之表面，已變得較具活性。 第13 A至13D圖係例示一些佈置在一 αγ電漿處理之印 刷電路板上面的小水滴之潤濕角。第13A圖係顯示一最初 佈置在一未處理之印刷電路板上方的小水滴。此小水滴與 工件間之潤濕角，最初為83.5。。 在電漿處理20秒後，誠如第13B圖中所示，該等小水 滴與工件間之潤濕角，係降低至32.3。。 衣纸張尺度適用中國國家標準（(^s) A4規格（210X297公釐） ..... 裝----------------：訂------------------線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 17 522761 五、發明説明（b ★第C圖係顯不该工件之一 &電聚處理過的區域，而 第1则係顯示在該小水滴已佈置在該工件上面80秒後， β等小水滴與工件間之潤濕角。誠如第13〇圖中所示，其 潤羞角係降低至8。。誠如以上所示範，空氣或氬電聚，可 在不同之條件下，有效地處理該工件。 本技蟄之專業人員將可理解，在不違離本發明之範圍 與精神下’在使用本發明之毛細管電極放電電裝鎮流做處 之方法和裝置中，可製成各種之修飾體和變更形式。因 此，本發明意在涵蓋本發明之修飾體和變更形式，只要彼 等係在其所附申請專利範圍和等價體之範圍内。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂| 18 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 522761

r ιό 元件編號對照 10…AC電源供應器 5 1…針電極 11…針電極 52…介電管 12…介電體 53…毛細管 13…毛細管 55…反電極 14…導電性工件 56…介電板 1 5…反電極 57…介電塊 16…氣體室 60···電源供應器 17，18···開口 61…針電極 20…AC電源供應器 62…介電管 21…針電極 6 3…毛細管 22…介電體 64···非導電性工件 2 3…毛細管 6 5…反電極 24…非導電性工件 66…第一介電板 2 5…反電極 67···第二介電板 26…介電板 70…電源供應器 30…AC電源供應器 71…針電極 3 1…針電極 72…介電管 32…介電體 7 3…毛細管 33…毛細管 75…反電極 3 5…反電極 76…介電體 36…介電板 77…介電管 50…電源供應器 80…電源供應器 19 17522761 81…針電極 82…介電管 8 3…毛細管 85···反電極 86…介電體 87…介電板 8 8…介電塊 -----------------'!#------------------、可-----------------«· (請先閲讀背面之注念事項再填舄本頁) 20

Claims (1)

1. 種使用一電漿來處理— 至少-Th 件之裝置，其係包括： 可接收-電源之針電極； 一具有一第一和—當— 側部係射至其針電極，==之_介電體，其中，第一 —延伸於其介電體之第—側部的7和係具有至少 每—毛_总h 、方向上之毛細管，以及 毛細官貫質上係與每-針電極對齊’·和 :反:極::係以電氣方式與其針電極相轉合，藉 目母一毛細管產生電漿。 2·如申請專利範圍第！項之裝置，一 3該等針電極和反電極之AC電源供應器〜括一轉合至 • ^請專利範圍第1項之裝置，其中之介電體，係具有 範圍在1 mm至3 cm之厚度。 〜、 4’如申請專利範圍第丨項之裝置，其中之 _ —範圍在〇.2咖至〇.8軸之直徑。 係-有 乂 專㈣圍第丨項之裝置’其中之工件係佈置在該 寺針電極與反電極之間。 6.如申請專利範圍第丨項之裝置’其中之工件係導電性。 •如申請專利範圍第1項之裝置’其進一步包括—可在— 不同於二氣之工作氣體環境下處理該工件的室。 8·如申請專利範圍第7項之裝置，其中之室係包括一可用 以維持一大氣壓之進氣口和排氣口。 9_如申請專利範圍第!項之裝置’其中之針電極，係經由 該毛細管而暴露至該工件。 ⑴·如申請專利範圍第丨項之裝置，其進一步係包括—位於 六、申請專利範園 該等反電極與工件間之介電板。 11. 12. 13. 14. 15. 16. 17. 18. 其中之工件係非導電 如申請專利範圍第1項之裝置， 性。 如申請專利範圍第1項之裝置，其進-步包括-耦合至 該介電體之介電板，其，之反電極，實質上係被該等介 電體和介電板所深埋，以及係佈置使緊鄰該等介電體和 介電板兩者中所形成之毛細管，以及該介電板係直接面 對該工件。 如申請專利範圍第12項之裝置，其中之工件係導電性 半導體、和非導電性中的一個。 如申請專利範項之裝置，其中之毛細管，係佈置 在該介電體内，使具有一平行四邊形之形狀。 汁 < 装置，其係包括 一介電體，其具有至少一延伸過其中之開口； 至少一具有一第一和一第二開口之介電管，其中 此介電管係經由該介電體之開口耦合至此介電體； 至少一耦合至該介電管之第一開口的針電極；和 一反電極，其係以電氣方式與其針電極相耦合，^ 以產生電裝。 如申請專利範圍第15項之裝置，其係進一步 ^ ^ ^ G估一轉合 主讀寺針電極和反電極之AC電源供應器。 如申請專利範圍第15項之裝置，其中之介電管，係具有 範圍在1 mm至3 cm之長度。 如申請專利範圍第15項之裝置，其中之介♦ # ，丨兒官，係具有 申請專利範圍 祀图隹υ·2 mm至〇·8 mm之内徑。 19·2請專利範㈣15項之裝置，其中之卫件係佈置在該 寺介電官與反電極之間。 20· ^申請專利範圍第15項之裝置，其係進一步包括至少一 =塊’其係佈置在每—介電管内’以及係填充一部份 W電貧’而使其針電極不曝露至該工件。 21·:申請專利範圍第15項之裝置，#中之工件係非導電 22. t申請專利範圍第15項之裝置，其進一步包括_位於該 等反電極與工件間之介電板。 23·如申請專利範圍第22項之裝置，其中之工件係導電性、 半導體、和非導電性中的一個。 24. 如申請專利範圍第15項之裝置，其係進一步包括一耦合 至該介電體之介電板，以致其反電極實質上係被該等介 電板和介電體所深埋，以及係佈置使緊鄰其面對該工件 之介電管。 25. 如申請專利範圍第以項之裝置，其中之工件係導電性、 半導體、和非導電性中的一個。 26·如申請專利範圍第24項之裝置，其係進一步包括至少一 Μ私塊’其係佈置在每一介電管内，以及係填充一部份 之介電管’而使其針電極不曝露。 27. 一種使用一電漿放電裝置來處理一工件之方法，此方法 所包括之步驟有： 佈置該工件使緊鄰該裝置，其中之裝置係包括： 23 衣紙張尺度適用巾as家鮮（咖）Μ規格⑵QX297公爱）

   申請專利範園 至少一可接收一電源之針電極， 具有一第一和—第二側部之介電體，其中，第一 側。[Ηπ輕合至其針電極，以及其第二側部，係具有至少 广伸於其介電體之第_側部的方向上之毛細管，以及 — 毛、、’田貧η質上係與每一針電極對齊，和 以電氣方式與其針電極相耦合之反電極； 施加電位至該等針電極和反電極；以及 自該等毛細管產生出一電漿。 申叫專利圍第27項之方法，其中之工件，係藉由將 此工件佈置在一經過其電漿下方之輸送帶上面，而自動 地被處理。 申1專利範圍第27項之方法，其進—步包括之步驟 有，提供一工作氣體，使緊鄰該工件。 3Θ·—種使用—電装放電裝置來處理-工件之方法，此方法 所包括之步驟有： 佈置該工件使緊鄰此裝置，其中之裝置係包括：. 一具有至少一延伸過其中之開口的介電體， 至少一具有一第一和一第二開口之介電管，其 介電管係經由該介電體之開口耦合至此介電體 至乂轉合至該介電管之第一開口的針電極； 以笔氣方式與此針電極相揭合以產生電装 電極； 施加一電位至該等針電極和反電極；以及 自該等毛細管產生出一電漿。 中之 和 之反

   (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 奉 訂· 線_ 522761 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 31·如申請專利範圍第29項之方法，其中之工件，係藉由將 此工件佈置在一經過其電漿下方之輸送帶上面，而自動 地被處理。 32·如申請專利範圍第29項之方法，其進一步包括之步驟 有，提供一工作氣體，使緊鄰該工件。 25 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐）