TW519672B - System, process, apparatus and program for controlling special lot carrying in semiconductor carrying facility - Google Patents

Description

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五、發明說明（1) 【發明所屬技術領域】 本發明係關於—種半導 尤有關於在半導體襄置生產 半導體設備處理之灰塵監視 送予以自動化的系統、方法 【習知技術】 體輪送設備之批次管理技術， ，的搬送裝置中，譬如將未經 器等特定用途的晶圓之批次搬 與裝置及記錄媒體。 曰面體裝置的細微加工技術之發展，附著於 等異物（「灰塵」）問題亦曰趨受重視： + 系淨至中，便設置有配合等級要求於

广糸統:产周系統、檢查空氣中灰塵的檢測裝置 法等二尸靡：：：晶圓上的灰塵，經採用雷射光之光散亂 :則如(l it "里衣置（亦稱「晶圓異物偵測裝置」），而相 /則如0 · 1 8 # m左右，或其以下的灰塵。 化寸t半L體Γ廠的潔淨室中，基本上，各製程係採模细 引 各杈、、且間通常用隔壁予以區隔開。對在製程間 (儲放室間）的晶圓之搬送、以及製程内之搬送的進行，分 別係，用製程間的搬送車、與製程間的機械壁各自進行自 動搬送步驟。第9圖所示係半導體製造用潔淨室内地板面 之一例的示意圖（請參閱日本特開平〇7 —〇85 1 54號公報）。 請參閱第9圖所示，a係表整體生產線，整體生產線係 逐一製程，分割成各區域b，在各區域b中，設置有複數製 造裝置c、與至少一個儲放室(i(亦稱「潔淨儲放室」）。區 域b内的批次（如以25片晶圓為1批次）搬送，係利用製程内 搬送機械臂e進行。在配設於儲放室d間的通路g上，利用

^072 ^072 五 發明說明（2) __ 製程間搬送車h i船样& 送車h係對不同區==谷於晶舟上的批次晶圓。製程間搬 抵次，並移動至批次進行搬送，乃由儲放室d收取 敌室d上。製程内送至其他區域的儲 製程區分，八制古1 &裝置C係執仃批次的晶圓處理，依 程、CVD(化i顏沐日〇洗淨、擴散、氧化、曝光、顯影製 置。通路i積）、RIE(反應性離子㈣）等各種裂 高架型軌^ 間搬送設備潔淨路」），譬如利用 入處理。成’並利料降機等進行對儲放室的進出 常用ΐ;ί i U!搬送設備的潔淨度測量方法，習知 量的方ί 視用晶圓，並搬送於製程間進行灰塵測 述者，操作測量99 945號公報等中所載 晶卉放二 、Λ塵監視用晶圓放置於晶舟上，將嗲 舟放入於母個儲放室中，並將收定#日A卩ΑΑ >將忒 用晶圓，依序搬$ π锉妨^ 晶舟上的灰塵監視 出晶舟室之間，再由最後的儲放室中取 日日丹。將所取出的晶舟，利 王T取 量裝置中，進行灰塵測量/ σ車4運送至晶圓灰塵測 第8圖所示係相關此類抑 知系統。請參閱第8圖所；m監視用晶圓搬送的習 管理用主電·，、搬送主電腦20，v::放係具4備有 上有搬运者晶舟52之製程間搬送 上收容有如1批次份晶圓51。製程在月1】進。该晶舟52 分別具備有儲放室^，叫的/制芎曰’达控制器301’30^ 2幻控制态，並透過網路60，與搬

519672 五、發明說明（3) _ 送主電腦2〇’ 、生產答田 電腦2。，係在製程間進行通信。搬送主 制數據，而對將批次由工^ 0l /、3〇2間，接收必要的控 間）的自動搬送步驟。 室4〇1搬送至儲放室4〇2(製程 第1 0圖所示係呈借居 — 腦2。’之資料庫結構、:上f官二用主電腦1 〇,與搬送主電 理用主電腦〗η，在拙—例。请參閱第1〇圖所示，生產管 产管理，並且’古仃各批次的處理條件、與各批次的進 没g理’业具備有供路拉 ^ 次表11。批次表八^ s批次ID與其對應用途用的批 格，並依靠管理負於主電腦中全部批次總覽的表 註冊有批次_批次2⑩次登錄作業。在批夫表Π中 4。的Ξϊίί腦2』，Λ執行各批次的搬送發送與對儲放室 保管批；室40中之批次的 的批次ID與用途之、、主輩^中3有保官於儲放室内批次 管批次的總覽表，;J來=批次表21為儲放室内所保 訊），由搬送主電腦20、，、、=^放室的報告（出入報告資 儲放室4。為更新其内容。 照來自搬送主電腦20,的：匕象批次的保管倉庫，並依 送。 的“指不，控制批次的出入與搬 序的=所示係說明相關此習知搬送控制系統之處理順 將灰塵監視用晶圓批次等，制 並未執行晶圓處理的特定在衣私内的製造裝置中， 特疋用途的晶圓批次，當作特殊批 五、發明說明（4) -人’俾可與在晶圓處理裝 有所區分，並將各批次ID盥用ΐ進行晶圓處理的產品批次 電腦10,與批次表u中。”用延分別登錄於生產管理用主 將特殊批次放入儲放室4 40向生產管理用主電腦1〇，主^中（步驟M0)，並由儲放室 特殊批次所在的儲放室。在口讲知所放入的批次ID，以及該 於該儲放室的保管批次表21:迗主電腦20,中，便在對應 次ID (步驟s 2 1)。 更新登錄該特殊批次的批 搬送主電腦20,便在拉你μ ^ 時點，勒—兮“ a 接收到儲放室40的批次ID報告的 蛉點執订该批次的搬送任務控制。 在生產管理用主雷腦in，士 ID，祐夂昭生1冤細1 0中’便依照所報告的批次 並乡/、餐批·^表11，刻in。二分4 L ♦ 時不管用途為材，庙&斷 的用途（步驟S22) ^此 ^ r g 4照批次處理條件，而決定處置的儲 (P接者要搬送去向的儲放室）。所以’在特殊批次 件(’第;。不同處’係在批次表11中設定虛擬處理條 第»中未圖不）。即、產品批次依照預設的處理條件 (處理模式），決定現行製程後的次一個製程。相對的，在 1擬處理條件中，則不論處理順序如何，無論哪一儲放室 均屬處置對象。 一操作負責員便由生產管理用主電腦1 〇，的終端（未圖 不）’將依照批次ID，而所選擇保管於現行儲放室中的特 殊批—人’且將所選擇特殊批次，由現行儲放室搬送至屬次 一儲放室之任何儲放室中的搬送指示予以輸入（步驟 S23)。如前述，特殊批次雖搬送於製程内的製造裝置中，

第9頁 519672 五、發明說明（5) 但並未接受處理’相關的處理停件灼铲昭♦M玫从 理，操作負責者可選擇任均依照虛擬條件進行管 作次-儲放室用。至作為處置儲放室，俾供 S24)搬运主電知20便輸出對該館放室的搬送指示（步驟 户-接收來自搬送主電腦2〇,的搬送指示，將所 才曰疋的特殊批次自動嫩Φ 、, 今所 onr, γ椒山目動搬出，亚更新保管批次表21(步驟 )。、n出的批次，利用製程間搬送車，搬 — 的:人：個儲放室(步驟S26)，並放入於該儲放室中。“- 時，ΐΐΐίΐΓΛ到步驟S26的製程’當到達最後製程 拙a Ll ϊί氣儲放室中。將到達最後製程的特殊 人並丈至中取出，利用台車等搬送至灰塵測量裝置 量裝置中進行晶圓上附著灰塵的測量 第11圖所不係習知搬送控制系統中 室X搬送至儲放室γ的搬送作辈 人由储放 送主雪腦2Π，的ϋ ,々山乍業兒明圓。#'作負責員由搬 ^電細的#作終女而，，入將保管於儲放室X内的特殊 批次，搬送至儲放室γ的搬送指示（①），當接受到此搬殊 指示的搬送主電腦20,，便對儲放室χ輸出搬送指 、 =製程間搬送車將批次搬送至儲放室 (:室”時，便將搬送完畢的報告告知於搬送主、放二於錯 【發明欲解決課題】 惟，上述習#搬送控帝]系、、统將產生下述諸工員問題點。 第1項問題點，在每一次的特殊批次由儲放室所進行 第10頁 519672 五、發明說明（6) 的搬送择# γ p 木作（即製程間的搬送操作），操 。 k主電腦的操作铁端 Ί 、貝貝必須由搬 藉由操作g主。、^處，利用人工操作輸入搬送指干，廿 進度管理，、二對特殊批次在製程 料低等不擔’同時亦將造 進:丁搬送時’或者搬送設備(通路)數次迴4二:夕數儲放室 达控制系統而言’將增加操作負 ^ ’就習知搬 况的可能性變大。 屋生輸入錯誤等情 其理由乃特殊批次在製程間的搬 入）時，特殊批次與產品批次一樣，利用^，至的進出 ，次表21進行管理。就特殊批次而言“ /電腦，的 來自儲放室的搬送完畢報告（第i】圖之④）時“° f接收到 動將製程繼續朝次一製程前進的功能，所以f ^具備自 :的特殊批次搬送’便必須依賴操作員由搬送：;:3 J 指：放，在第9圖所示生產線"，當將特：： =依序進'儲放室卜儲放字2—........儲放室7放 至8時，在母次將特殊批次送入各儲放室時，操作負主 :必須將T送至次-個儲放室的搬送指示，由搬送主貝電腦 2 0終端（未圖不）進行輸入動作。 為解決上述第1問題點，便有在當特殊批次完成搬送 ΐ儲放室ΐ ’對主電腦告知搬送完畢報告，而主電腦端便 、该搬送元畢報告視為製程間的搬送操作完畢之涵義，進 行登錄管理，但如此便將產生第2問點。即，在通""常的產 品抵次中，將該項搬送完畢報告視為一個製程而進行登 第11頁 519672 五、發明說明（Ό 錄’結果必須對不必要的製程進行多數登錄管理，就記憶 區域的利用觀點而言，除將造成效率惡化外，亦使控制趨 於複雜化，且徒增控制時間，導致性能降低。 一此外’如在上述日本特開平〇7 —〇85154號公報中，所 ，不的系統結構便係將配合達成如潔淨室内的污染度測量 等特殊目的之特殊批次，不再利用批次管理裝置的中樞生 產線官理電腦進行繁雜的登錄，而是利用 ，同通常批次般進行自動搬送的二:理裝 —> π :由刼作員從批次檔案中選擇出特殊批次，並執 之後，便將特殊批次的開始操作預約予以 5搬送ΐί批次依照處理順序巡迴而至時，執行製程 曰不，由儲放室中取出應放入製程内 ί造人裝冊進行特殊批次的搬送或放入 輸入’便將特=處理條件進行 達成特殊批次的自動搬送放至（站）間，雖有 未開示，且對如何不增加主電:：；：體手段或結構則並 以及如何達成自動搬送等方=批次的登錄項目， 故，本發明有鏗於項:未有所寺量。 -種對特定用途晶圓的批次，】=1目的在於提供 自動化，同時達抑制記憶容旦：至間的搬送步驟予以 的系統、方法及裝置，二二二σ，且達處理高速化功效 記錄媒體。此外的本發為；；系統之控制程式的 之目的、特徵、優點等，由下述 519672 五、發明說明（8) 相信熟f該項技術者應可馬上瞭解 J·備ί ΐ放2 f上述目的，本發明所提供之裝置結構，係 具備有儲放=與搬送主電腦的搬送控制系統，其中

放室係供保管由在製造設備中i勃―老 '、 X,A 特定用途批今ΐ : 仃處理之晶圓所組成的 Γ或供同時保管該特定用途批次與在製造設 #供批击丨=t理之晶圓所組成的批次者；而該搬送主電腦 diii送者；其特徵在於：當特定用途批次放入 :該搬送主電二自=放室的批次進入報告， 中，朴㈣= 在進入於該儲放室的批次之 Μ、疋用途批次，根據該計時器時 ”定用途批次進入該儲放室開始起算夺之二 定時間的時間點時，便視同該批 U預：：特 定該特定用途批次該搬送模式，決 搬送至次-製程的:：指:搬⑭序，並對該儲放室輸出 特定ί ί =斤提供之方法，係對在製造設備中未經處理的 形成的；；模：批；丄：；3畫:搬送路徑之處理順序所 搬特定用途批次放入其中一儲放室時，兮 中動計時器，在進入於該儲放室的批次當 該特定用=抽二t用途批次，根據該計時器的計時結果，由 ^ ± ^ _人進入§亥儲放室開始起算，在經過預定之# 〜間的時間點時，便視同該批次的製程已完·：；;寺 第13頁 519672 發明說明 照該記憶裝置，依照對應該已進入之該特定用途批次的搬 送模式，決定次一製程，便將該特定用途批次的搬送指 示，輸出於該儲放室，由該儲放室接收來自該搬送主電腦 的搬送指示，而將該特定用途批次予以搬出，並將該 用途批次搬送至該次一儲放室中，如此該特定用途批次便 依照之前預先對該特定用途批次所規劃的搬送模式，由起 始點的儲放室開始，到搬送步驟之終點站的儲放室為止， 均進行自動搬送步驟。 本發明所提供的記錄媒體，係記錄有供在搬送控制 置中，由電腦執行下述（a)〜（c)處理的程式者，A 、 送控制裝置係控制各儲放室間之批次的自動搬送者，〃而今 儲放室係供保管由在製造設備中未執行處理之晶圓所組成 的特定用途批次、或供同時保管該特定用途批次盥在 :::有執行處理之晶圓所組成的批次者；其特徵在二 上述該（a)〜（c )處理係： 二在特定用途批次進今其中一儲放室時，接 該儲放室的批次進入報告，並啟動計時器的處理· (b) 在進入於該儲放室的批次之中，針對該特— ΐ ί妨ί據該計時器的計時結果’由該特定用途批疋次^ ，儲放至開始起算，在經過預定之特定時間的 便視同該批次的製程已完畢，而依照記憶於該呓.梦笔 之該特定用途批次的該搬送模式’決定該特定°用、，=f 1 次一個搬送程序之處理； k批一) (c) 對保管該特定用途批次的儲放室，輪出該所決 五 «

該搬送主電腦（2 〇 )係當 之其中一儲放室時，接收來 啟動計時器，並執行該已進 的用途判斷。當計時器產生 特定用途批次時，便視同在 由搬送模式決定次一製程。 519672 、發明說明 之搬送至次一製程的搬送指示之處理 【發明實施態樣】 、，針對本發明之實施態樣進行詳細說明。相關本發明之 搬送控制系統，其較佳實施態樣之一，係將如搬送設備之 f塵監視用晶圓批次等（與通常產品批次具不同用途之特 疋用1抵次，亦稱「特殊批次」），根據預先登錄於搬送 主ί ^中的搬送模式，執行自動搬送者。詳言之，本發明 之貝施態樣’請參閱第1圖所示，在配設於不同區域中的 複數儲放室之間，所舖設的搬送設備上，利用製程間搬送 才冓件（π製程間搬送車），將將晶圓以批次單位，進行自動搬 运的搬，系統中，控制搬送系統的搬送主電腦（20)，除具 備有仏官理保管於儲放室内之批次的保管批次表（21)外， 尚ί備有記憶裝置。該記憶裝置係包含有搬送模式、搬送 路徑模式表（22)、及批次路徑表（23)。該搬送模式係對未 供，於製造設備處理的特定用途批次，由規劃其搬送路徑 之处理順序所形成者。該紙送路徑模式表（22)係對應該^ 式D並進行登錄者。该批次路徑表（2 3 )係供記憶管理 搬送步驟之次一製程的處置程序者。 又 特定用途批次進入搬送模式中 自該儲放室的進入報告，然後 入之批次是否為特定用途批次 逾時情況，且所進入的批次屬 该項製程内的處理已完晷 即，參照批次路役表二：

519672 五、發明說明（π) 該已進入的的特定用途批次之批次Ζ β iD的模式Π) ’同時根據批次ID檢索搬送路次 由對應該模式ID的搬送模式，決定次_ :換式表（22)， 特定用途批次的搬送指示輪出於該 收來自搬送主電腦（20)的搬送指示;/诸放至便接 出，使該特定用途批次搬送至次一儲丄、=用途批次取 批次在由搬送模式所規劃的起點儲放：特定用途 為止，均可進行自動搬送。 敌至起，到終點儲放室 ‘21·圖所示係本發明一實施態樣之動作原理說明圖。 §月，閱弟2圖所示，搬送主電腦看保管於儲放 弋特定用途批次’在特定用途批次進入儲放室 在決:定處置程序(次一製程的儲放室 出搬、/二便f保官:見有特定用途批次的儲放室以…輪 出搬达才曰不（①）。儲放室Χ(4〇ι)便將特定用途批次取出， 亚將」亥特定用途批次搬送气次一製程的儲放室Y(4D中（② 田進入該儲放室八4〇2)時，便將搬送完成的報告，各 =於搬送主電腦（20)，同樣的在儲放室γ(4〇2)中，亦如同 在儲放室Χ(4〇1)中一樣的進行計時管理，而執行對次_ 程的自動搬送控制。 。 >在本發明的較佳實施態樣中，係將搬送於潔淨室之灰 塵I視用中的灰塵監視用晶圓批次，當作特定用途批次。 搬送主電腦（20)便執行將保管於儲放室的批次中，僅 對特定用途批次，沿搬送模式進行搬送的指示。 519672 五、發明說明（12) 在本發明較佳實施態樣的於舖 上，將晶圓逐-批次，利用製程製程間的通路 的搬送控制系統中’對在供保管由=而進仃自動搬送 理之晶圓所組成的特定用途批次= 在ϊ造Γ備中有執行處理之晶圓所組成：次二 ί =: 自動搬送控制的搬送主電腦⑵)： 曰，該搬迗，電腦（20)係具備有記憶裝置，而該記憶裝 則7具備有保管批:欠表（21)、搬送路徑模式表（22)、二次 :徑表(23)者。保管批次表⑵）係供管理保管於各;諸放室 中的批次者。該搬送路徑模式表（22)係針對在製造設備中 未施行處理的特定用途批次，將由規劃其搬送路徑的處理 順f (稱「搬送步驟」）所形成的搬送模式，與模式1]}(識 別貧訊）間的對應關係予以登錄者。該批次路徑表（23)係 供兄憶官理該特定用途批次的批次丨D (識別資訊）與模式j D 的對應關係，及該搬送步驟中的處置製程者。該搬送主電 腦（20)的特徵在於利用執行，下述（a)〜（d)之各項處理程式 而達成目的者。 (a)當批次進入該搬送步驟程序中的其中一儲放室 時’接收來自該儲放室的該批次進入報告，並判斷該批次 用途的處理； (b )接收該批次的進入報告，並啟動計時器的處理； (c )該計時器產生逾時情況，且該批次的用途屬特定 用途批次時，在該計時器產生逾時之時，便視為屬於該儲 放室内的製程已經完畢，並參照該批次路徑表，由該特定

第17頁 519672 五、發明說明（13) 用途批次的批次ID中，取a 參照該搬送路徑模式夺^對應邊批次ID的模式I D，然後 而決定此-製程的處理；’取得對應該模式ID的搬送模式， (d )對保管該特定用 定用途批次的批次，朝兮二-人之该儲放室’輸出將該特 搬送指示之處理。 人一製程的儲放室中進行搬送的 MM磁此^ 記錄有該程式的記錄媒體（如FD(磁碟）、 (^) >HDD(^^)，CD-R〇M >DVD(digital versatile 、或者半導體記憶體等任一者），利用設置於搬送主 電=(20)中的記憶媒體讀取裝置（未圖示），讀入於搬送主 ，細（2 0 )中，或者透過網路將該程式進行下載並讀入於搬 迗主電腦（20)中，使該程式上載於主記憶體中俾供執行， 藉此方式而完成本發明中之搬送主電腦（2 〇)的控制處理。 【實施例】 針對上述本發明實施態樣進行更詳細的說明，請參閱 圖示進行詳細說明。第8圖所示係本發明一實施例之搬送 控制系統的說明圖。請參閱第8圖所示，符號1〇, 20係分別 表示本發明一實施例中的主電腦與搬送主電腦。本發明一 實施例中的搬送控制系統的結構，雖與習知的結構相同，郗 但就利用程式控制之搬送主電腦的功能結構，與資料庫結 構，則與習知的搬送控制系統有所不同。 請參閱第8圖所示，在潔淨室内的不同區域中，設置 複數儲放室。在儲放室4〇ι與4〇2之間，舖設供製程 間搬送車5 0搬送晶舟5 2用的通路（軌道）。該晶舟$ 2係如裝

第18頁 五、發明說明（14) 載有一批次量之晶圓5】者。 · 置有製程間搬送控制哭3〇 斟至4〇1與4〇2之間，設 送指示，而進;T所二」4’ 2接收來自搬送主電腦（20)的搬 送控制糊的自動搬送步驟。該製程間搬 腦20與半導體生產線 f接於構成控制搬送主電 ㈣主電腦2°則透過製程間搬送=器 送指示。批\的搬送控制，與對搬送於儲放室40的搬 ▲，Ϊ放：則具備將經搬送主電腦20所指示搬送的批 ί㈣U搬送的功㉟，並將處理對象批次複數保管。 :至0中採將特殊批次與產品批次區分開的配置方 11在通道（執道）上，搬送承載有晶圓批次之晶舟的製程 間搬，車，係利/用電磁驅動方式進行驅動而搬送者。 第1圖所不係本發明一 f施例中，主電腦1 〇與搬送主 電，中所具備表格之其中一例。該表格，亦可分別登錄 官理於主電腦10與搬送主電腦20中的記憶裝置（資料庫）， 或者^錄於，電腦10與搬送主電腦20間的共通資料庫中。 f麥閱第1圖所示，儲存於主電腦1 〇中的資料庫，含 有批次=11，該批次表丨丨係含有登錄於主電腦1〇中之批次 的總括資汛，俾供操作負責員進行登錄管理用者。該批次 表係與習知搬送控制系統具相同結構，至少具備有顯示 批次ID、與該批次丨D屬產品批次或特殊批次的用途攔位。 519672

因與本發明無 五、發明說明（15) 在第1圖中’儲存於批次表中的其他資訊 直接關係，故在此省略說明。 搬送主電腦20的資料庫’係具備有保管抵 送路徑模式表22、與批次路徑表23。 搬 其中，保管批次表21係如同習知搬送控制系统，# 於管理搬送主電腦20的每一個儲放室中，並包含有二 儲放室内之批次的總括資訊，並依照來自儲放室報'丄: 由搬送主電腦20隨時自動更新，俾供對該批次⑺盥;;^ 用途攔進行註冊。 ’、及批-人 本發明一實施例中，除第10圖所示習知表格的結 外，尚追加有批次路徑表2 3與搬送路徑模式表2 2。 該搬送路徑模式表22係供將特殊批次用^搬送步驟 依照處理順序進行登錄的表格，乃經由操作員進行登錄 批次路徑表23係包含有由模式iD與由模式之路徑資訊 (搬送步驟順序）所形成的播，案夾（該檔案夾為可變更大小 者），俾供登記迴繞次數。 μ 第1圖所示例中，模式α的製程間搬送路徑，為製程 1、製程2、製程3，而特殊批次的搬送模式則為依照製程1 之儲放室—製程2之儲放室—製程3之儲放室等順序進行搬 送的模式。同樣的， 模式石的製程間搬送路徑，為製程4、製程5、製程 6，而特殊批次的搬送模式則開起製程在製程4，依照製程 4之儲放室—製程5之儲放室—製程6之儲放室等順序進行

第20頁 519672 五、發明說明（16) - 搬送的模式。 在搬送路徑模式表22的迴繞次數欄位中，設定製程間 的迴繞次數。在搬送路徑模式表22中，模式τ為製程6、 製程2、製程4 .......，當迴繞次數為「3」時，譬如在第9 圖中，在以製程6之儲放室6為起始儲放室時，便依照儲放 室6 —儲放室2 —儲放室4〜......—儲放室6的處理順序，繞 行3次後，便完成搬送步驟。 该搬迗路徑模式表2 2的内容，係依照管理者進行輸 與變更處理。

批次路徑表23係供登錄特殊批次用的表格。經由操个 貝進行登錄。該批次路徑表23係登記包含有批次（特殊批 :人ID與對應&該批次丨D之路徑模式的處置程序資料夾用。 ΐ处^ Ϊ序資料夾係利用搬送主電腦20，針對各製程間白 ，搬G進度，自動更新為次一搬送去處的製程（健放 後述/特殊批次在進人儲放室時，搬送主電腦2〇 h制汁時器，當逾時之時，，便視同處理完畢，而前進方 次一製程。 ^ -人，針本發明一實施例的處理順序進行說明。 灸間第^ :係本發明一實施例的處理順序流程圖。請 ^ f Α μ #不，針對本發明一實施例中的特殊批次登錄 於貝枓庫的處理進行說明。

由規::21:^的：送模式(供特定該模式用的模式11}、 錄於搬、关*雪t之製程所形成的模式、及迴繞次數），登 …、、^電腦20的搬送路徑模式表22中（步驟S1)。當搬

519672 五、發明說明（17) 送路徑並未迴繞生產線時，便將迴繞次數設定為「〇」。 將特殊批次登錄於主電腦1 〇的批次表11中（步驟S2)。 在將特殊批次的批次ID登錄於批次路徑表2 3之同時， 將指定該特殊批次之搬送模式的模式丨D，對應於批次丨D， 並登錄於批次路徑表23中（步驟S3)。 ^ 進入特殊批次起點的儲放室中（步驟S4)。此時，將批 人放入起始點的儲放室動作，通常係由人工進行處理。 第4圖所示係本發明一實施例中搬送主電腦的處理順

。請參閱第4圖所示，針對本發明一實施例之特殊批次 的搬送順序進行說明。 =將特殊批次放入儲放室4〇中時（步驟S11)，便由信 送主電腦2〇發送訊息，並執行所放人批次之批 登：ί: ’在該批次所置入之儲放室的保管批次㈣中 批次為與該批次用途區別(產品批次為「a」，特 針對批次進入儲*放室時 在此 之取得方式進行說明。：Γ置入批次的批次 之晶舟上的識別資訊（由侔碼 ，將附加於所進入 取裝置進杆择敗，&收条馬專所形成），利用讀碼機等讀 * Φ 丁0貝 而將晶舟的識別資气鉬土屯雷1 η如 主電腦10中，便由晶舟的 貝”電月。在 批次的批次ID間的對；S Μ 、 人收谷於該晶舟中之 的抵次-批次= 報：識進入儲放室中之批次 ”送於搬送主電腦2〇中“於由儲放 疋批次所進入的儲放室。 稂σ矾息上的網址等，限

第22頁 519672 五、發明說明（18) 在搬送主電腦20中，於登錄於保管批次 便啟動計時器（步驟S1 2 )。兮十日车哭在也产4 士 放宕40 % ώ 冲4态係供在特殊批次進入儲 放至40後，自動產生製程完畢之跡象者。 在搬送主電腦20中，根據進入儲放室40之抵吹的板a ID，^主電腦10中取得該批次的用途（步驟⑴）。'㈠一人 為逾hUU ?特殊用途時’且搬送主電腦2〇中的計時器 後參照批次路徑表23，的報口（步驟si4) °然 出相鮮於蟑舢A τ η 由特殊批认之批次的批次ID中，取 布目對於該批次j D的已登錄^ 船#播斗、了 檢f搬逆踗庐握+主。錄搬送模式iD，再根據搬送ID， :裳搬：路位模式表22後’取得對應 式，而由搬送模式中，決定银广制和从^偎的搬达杈 放室）〔牛妒ςιυ 、見仃衣転的二人一製程（次一儲 式；；=在古由搬送路徑模式表㈡中所讀取的搬送模 次一製程時，且迴繞次數為「〇」時 便將現在的儲放室設定為最」才 一製程時，但迴繞次數為％ /，放^二雖未存θ在有次 點的儲放室。 衣私便是起始 在決定好次一製程後，搬送主 次的儲放室，執行妒诺$ Α 自U便對保官特殊批 S16) 〇 仃“至次一儲放室的搬送指示（步驟 9 η Μ ^放至4 〇之製程間搬送控制器3 0，便依昭IT 1 ' 2 0的搬送指示，將如 使很μ搬迗主電腦 、其# % „ 將批次取出（步驟S17)，並利用製铲 运車i:搬送(步驟…），而進入次一儲放“間搬 μ七# =上述步驟su〜步驟S18的處理，當到達搬孚％ 取、1¾時，便保管於該製程中的儲放室内。 第23頁 519672 五、發明說明（19) 已完成經搬送路經模式矣9 0 > , 步驟的特殊用途批次，當==送模式所規定的搬送 綠餹放宮中=田屬於灰塵監視用批次時，便由最 、、 ，並回收，且搬送至灰塵測量裝置（未圖 ；ΛJ ^ ^ w Λ i ί * ίίΠΐ在搬送特殊用途批次之時，可作為保 料庫中。 人自0生產管理數據，而登錄於資 針對貝現上述功能之本發明一實施的 ΓΓ月而=圖所示係本發明一實施例之主電腦心 "! ^ 圖所不係本發明一實施例之搬送主電腦2 0 理儲存於記憶裝=裳置^ 2腦1 °係具備有管 5二田次表管理部13係具備有批次ID管理部 131與用途區分管理部132。 批次管理部131係執行對批次表u的批次id登錄盘 =索。用途區分管理部132係在批次表n中除登錄該批:欠 途之外，尚配合來自搬送主電腦2G的 檢索事宜。 f逆仃 请參閱第5(b)圖所示，搬送主電腦2〇係具備保管批次 b理部25、搬送路徑模式表管理6、次 部27、與搬送指示•報告處理部28。 录e理 以下，請參閱第6、7圖所示，針對搬送主電腦2〇的 構成部分進行說明。請參閱第6(a)圖所示，保管批次表 理部25，係具備有保管儲放室管理部252、與批次⑺管理

第24頁 519672 五、發明說明（20) 部251。其中，該保管儲放室管理部252係根據來自儲放室 4 0所報告的資訊，管理收容有批次之儲放室者。該批次IJ) 管理部2 5 1係管理對保管批次表2 1之批次I j)與用途區分註 冊的登錄與刪除。批次ID管理部2 5 1係在批次進入儲放室 40中之時，便根據來自儲放室40所報告的資訊，取得批次 ID，並取得該批次I D的用途。 請參閱第6 ( b )圖所示，搬送路徑模式表管理部2 6係具 備有搬送路徑模式管理部2 6 1、與迴繞次數管理部2 6 2。該 搬送路徑模式管理部2 61係將由搬送主電腦2 〇的操作終端 等所輸入的終端模式ID，與規定搬送路徑之處理順序模式4 間的對應關係’登錄於搬送路徑模式表2 2中。該迴繞次數 管理部262係管理搬送路徑模式表22的迴繞次數資訊 請參閱第7 ( a )圖所示，批次路徑表管理部2 7係具備有 批次ID管理部2 71、搬送模式I j)管理部2 7 2、與處置程序管 理部273。該批次ID管理部271係執行對批次路徑表23之批 次ID的登錄管理。該搬送模，式ID管理部272係執行搬送模 式的登錄管理。該處置程序管理部273係管理處置程、 者。 由處置程序管理部273執行批次路徑表23之處置程序 的更新管理。 當發生計時器逾時之情況時，便由輸入於儲放室之 殊批次的批次ID的模式ID，透過搬送路徑模式表 ， 26，取得登錄於搬送路徑模式表22中的搬送程序 °， 殊批次便取得較現在所輪人蚀# & ^ '

519672 五、發明說明（21) 程序，而取得次一製程。 備有：，第7(b)，所示’搬送指示·報告處理部28係具 判斷邱?^曰不处理部281、搬送報告處理部282、用途區分 判斷部2 8 3、程序變f部9 ^ , 處理偵測處286。該搬^ Λ時器處理部m、與異常 程間搬送控制器30輸出搬逆;處理儲放室40的製 ⑽係接收來自t。該搬送報告處理部 途區分判斷部2M孫告舢的搬送報告者。該用 次的用途者兮/皮田辦久進入儲放室40中時，判斷該批 更部284係變更批次路徑表㈡的處 置％序者。该計時器處理部2 逾時處理的控制者。該昱常處理伯^ % 15的啟動，與 送異常時，便輸出發出警： = 牛86^ 本發明-實施例的計時器亦可號者。 器，即在搬送主電腦2〇中，於每_個=軟體控制計時 理逾時之計時表，當批次進J放^放室中，準備供管 於對應該儲放室的計時表中〆並將=二=特定值設定 譬如依照生產線時鐘等，分割成各特二疋^開始狀態， 表的數值進行遞減計時。當該計值 早位時間’對計時 發生的時刻。 …0」時，便為逾時 該異常處理偵測處286係偵測出如 丨 次一儲放室間）的批次搬送中，於取程間（儲放室與 經過特定時間過後，亦無送入於預定；第1儲放室後，在 障礙（搬送異常）時，便執行控制發出鏊^的第2儲放室等 製程間搬送車所進行的製程間的搬送^二或控制暫時停指 第26頁 519672 五、發明說明（22) 第5圖所示的主電腦1G與搬送主 二在㈣送主電腦2〇中各自執行程式，了實俗現利直 處理或功：：此情況時，便將由記錄 〆、 :’將讀入電腦中，並上載於主記憶等之中=， 藉此便肥貝現上述各元件的處理與功能。 6丄：丄式的組合結構’便不僅限於第 在上述實施例中，雖針對在製程内，未被 設備進打處理的特殊用途批次，I潔淨室内：：： 晶圓批次為例進行說明。但在本 f視用 並不僅限於灰塵監視用，譬如亦。用途批次， 之晶舟的製程間搬送車的震動、、j 1黧田、貞測搬达承載晶圓 視用批次。 旱U動収相途，而所採用的監 在本發明中，特殊用途，並不僅限 數種；特殊用途晶圓批次、搬送於製程間搬送通： 的構造，當然亦包含在進入儲放宮 ，搬k於1程間 臂（第9圖e)搬送部分於製程内 ：依製程内搬送機械 理，而是再度進入該儲放室4L:處理設借的處 的結構。㈣的此項結構，譬：搬送至次-製程 用接近產品批次搬送型態的型能谁^孤視用批次，利 程間搬送設備、儲放室、製程二你進订自動搬送’而在製 (灰塵^内搬送設傷中，監視潔淨度 第27頁 519672 五、發明說明（23) 以上’上述實施例所參照的圖示等結構，僅是太#明 的例不而已，本發明並不僅限於 二上本發明 改技術者所能輕易進行的各種變更、ρ 改專，均涵蓋在本發明範疇中。 分禋交更修 【發明功效】 依照上述說明，本發明將產生下述功效。 ^發明之第i項功效，係針對特殊批次 * 畢報告，並將搬送步驟前進於次一收板，兀 一製程的搬送指f t + 且輪出搬送至次 7版乙知不方式的結構，而將特殊批次 ，予以自動化，相較於習知依照操作員就每一，r:: · 々产ί發Γ之弟2項功纟，係在主電腦的資料庫巾，毋項 =理製程間的搬送作業完畢之完成作業fm /頁 2產品批次’亦毋須浪費對多數製程進行登錄管理 :的利用3己憶空間。其理，由為在本發明中， 欠進入儲放室時，便啟動計時器，而在保管：：j 二π 人中’就該特殊用途批次，當該計時器發生逾時之 二:蛉，便視同特殊用途批次處理完畢，而決 …製程，並輸出搬送指示的結構方式， 的二至的搬送完畢報告，便意味著製程間的搬送操作完畢 、涵義’而毋須再於主電腦中進行登錄管理所致。 本發明的第3項功效，係將特殊批次的儲放室間搬送 以自動化，不僅不致產生操作失誤情形，同時產品抵次 第28頁 519672

與特殊批次間的保管條株，+ 、垂+ ^ 1门7你3條件亦可為完全相同的狀態，而可 達大幅提昇灰塵監視等精確度的功效。其理由 的搬送主電腦中，具備有管理特殊批次的搬送模 么月 ，序的構件，所以儲放室便可將通常的產品抵次^與處置 次，依照相同的處置方式，進行保管。 人，、特殊抵

第29頁 519672 圖式簡單說明 第1圖係本發明一實施例之主電腦與搬送主電腦之表格結 構例。 第2圖係本發明一實施例之動作原理說明圖。 第3圖係本發明一實施例之處理順序示意圖。 第4圖係本發明一實施例之處理順序示意圖。 第5圖係本發明一實施例之主電腦與搬送主電腦的結構 圖。 第6圖係本發明一實施例之搬送主電腦的結構圖。 第7圖係本發明一實施例之搬送主電腦的結構圖。 第8圖係本發明一實施例之系統結構圖。 第9圖係半導體生產線之外觀與搬送系統的模式示意圖。 第1 0圖係習知系統中，主電腦與搬送主電腦之表袼結構 例。 第11圖係習知搬送控制系統中，特殊批次的搬送說明圖。 第1 2圖係搬送控制系統中，特殊批次的搬送順序流程圖。 【圖示符號說明】 1 0，1 0 ’主電腦 11批次表 1 2記憶裝置 1 3 批次表管理部 1 3 1 批次I D管理部 132用途區分管理部 14控制部 2 0，2 0，搬送主電腦

第30頁 519672 圖式簡單說明 21 保管批次表 2 2搬送路徑模式表 2 3 批次路徑表 24 記憶裝置 2 5 保管批次表管理部 、 2 51 批次ID管理部 2 5 2 保管儲放室管理部 2 6搬送路徑模式表管理部 261 搬送路徑模式管理部 _ 2 6 2迴繞次數管理部 胃 2 7批次路徑表管理部 2 7 1 批次ID管理部 272搬送模式ID管理部 。 ， 2 7 3處置程序管理部 2 8搬送指示•報告處理部 281指示處理部 ， 2 8 2 搬送報告處理部 2 8 3用途區分判斷部 284程序變更部 φ 2 8 5 計時器處理部 2 8 6 異常處理偵測處 2 9控制部 30製程間搬送控制器 40儲放室

第31頁

Claims (1)

1. 519672 六、申請專利範圍 ^ 一種搬送控制系統，對在製造設備中未經處理的特定用 途批次，將規定搬送路徑的搬送模式，逐一批次預先登錄 =可由負責控制搬送設備之搬送主電腦存取的記憶裝置 中， ^ 士當該特定用途之批次被放入至該搬送模式上之一儲放 、至，，自該一儲放室接收到相關於該特定用途之批次之搬 J完畢報告的該搬送主電腦，係具備有參照該記憶裝置， 又照對應於該特定用途批次的搬送模式，進行該特定用途 $批次的搬送步驟，並決定次一儲放室，然後將該特定用 述批，的，送指示，輸出於該儲放室的機構；而 二忒特疋用途之批次，係在對該特定用途批次預先規定 的該搬送模式之起始點的儲放室，與該搬送模式之終點站 的儲放室之間，進行自動搬送。 2· —種搬送控制系統，具備有儲放室與搬送主電腦，其 中： 該儲放室，係供保管由声製造設備中未執行處理之晶 圓所組成的特定用途批次、或供同時保管該特定用途批次 與在製造設備中有執行處理之晶圓所組成的批次者；

   該搬送主電腦係主導搬送設備中之批次的自動搬送控 其特徵在於： 該搬送主電腦係具備有： 、將針對該特定用途之批次規定搬送路徑的搬送模式 逐一批次預先登錄的記憶裝置；以及

   519672 六、申請專利範圍 當該特定用途批次放入該搬送模式中之一儲放室時， 便接收來自該儲放室所發送出之該批次的進入報告，並啟 動計時機構，在保管於該儲放室的批次之中，針對該特定 ，^批次，根據該計時機構的計時結果，在經過預定之特 疋％間的時間點時，便視同該特殊用途批次的製程已完 畢，而依照記憶於該記憶裝置中之對應該特定用途批次的 該，送模式，決定該特定用途批次應繼續搬送至次一程序 、、、人儲放至’並對保管該特殊用途批次之該儲放室，發 將该特殊用途批次搬送至該次一儲放室之搬送指示 機構。 3逆：ΐ搬送控制系1先’係具備有儲放室與搬送主電腦的搬 迗控制糸統，其中； 該儲放室，係逐一製程設置的儲放室，用以供 内之製造設備的晶圓批次，與未投入製程内之製造 :特i用：ΐϊ程間’ ％用製程間搬送機構進行自動搬送 q狩姝用途晶圓批次者； 〜 制者该搬送主電腦係、主導搬送設備中之批次的自勤搬送控 Φ 其特徵在於： 該搬送主電腦係具備有·· Μ &等十對"亥特疋用途晶圓批次，由規定搬送21 π > s 順序所形成的撫找#丄 < 路徑之工程 以及 搬4式’逐-批次預先登錄的記憶裝置； 接收來自該儲放室的批次進入報告，並啟動計時

   第34頁 519672 六、申請專利範圍 在進入該儲放室中並保管的批次之中，針對未投入該製程 内1製造設備之特定用途批次，在該計時器發生逾時之情 況時，便視同該批次在對應該儲放室之製程内的製程已完 畢’而依照記憶於該記憶裝置中之對應該特定用途批次的 該搬送模式，決定該特定用途批次應繼續搬送至次一程 序，並對保管該特殊用途批次之該儲放室，發送出將該特 殊用途批，搬送至該次一儲放室之搬送指示的機構。 4· 一種搬送控制系統，係在舖設於製程間的搬送設備上， =圓：ί次單位，利用製程間搬送機構，進行自動搬送 的搬运&制系統，.其特徵在於： 具備ίΚίί設之批次搬送控制的搬送主電腦’係 自該程序中之一儲放室時，接收來 批次用途的機;舞；；報告後’啟動計時器，並判斷該 该用途判斷結果，為兮 時，在該計時器產；逾：ί;次==定用途批次 的批次心取；ί;、：批次路徑表’由該特定用途批次 式ID，檢索該搬送路^=iD的模式，然後根據該模 送模式’若該搬送模式中;^有，取^1該模式ID的搬 一製程與處置程序的機構；;有:人—製程時，便決定該次 對保管該特定用途批次;^ 途批次取出，並朝該處 ^ δ玄儲放至，輸出將該特定用 王序的儲放室中進行搬送的搬送 第35頁 519672 六、申請專利範圍 指示之機構 其中’該記憶裝置係除包含有供管理各製 "斤保管的批次之保管批次表之外，尚包含有室 设備中未施行處理的特定用途批次，冑搬 :處f順序(稱「搬送步驟」）所形成的搬送模； =(及識別資訊）間的對應關係予以登錄的搬送路徑模^式 式ID:Si =該Π用途批次的批次ID(識別資訊)與模 ^者的對應關#，及錢送步驟中的處置製程的批次路徑 主電Ξ=ίί用途ΐ次的儲放室’在接收到來自該搬送 主電細的搬送扣不之後，便將該特殊用途批次 士該^用途批次在到達該次一製程的儲放室為止的通路 上’均進行自動搬送步驟者。 5 · —種搬送控制系統，具備有·· 將曰=搬巧構’係在肩設於製程間的搬送設備上， 將日日圓以批—人早位，進行自動搬送者； 一種搬送控制系統，具備有： 將曰構，係在舖設於製程間的搬送設備上， 將日日圓以批_人早位，進行自動搬送者； 儲放室，逐一製程設置至少一個，’用以保管批次量， 依據輸入之搬送指示，控制批次量的進出盘搬 各絲係執行每一個批次的搬送管理：以及對 各儲放至發出搬送指示者；與

   519672 六、申請專利範圍 半導體製造管 條件’以及 覽的批次表 搬送主 各儲放室發 半導體 理條件，以 總覽的批次 且，該 接，同時該 搬送控制器 所形成 於： 該搬送 管理部、與 該記憶 供管理 表，與 針對在 規定其搬送 送模式，與 送路徑模式 供記憶 式ID的對應 每一個 者， 電腦， 出搬送 理用主電腦，係 批次的進度管理 係執行每一個批 指示者；與 製造管理用之主電腦， 及每一個批次的進度管 表者； 主電腦 儲放室 ，而連 的半導 與該搬送主電腦 係透過執行製程 接於該網路上， 體搬送設備之搬 執行每一個批次之處理 ’並設有供管理批次總 次的搬送管理，以及對 係執行每一個批次之處 理，並設有供管理批次 間，透過網路相互連 間之搬送控制的製程間 送控制系統，其特徵在 主電腦’係具備有記憶裝置、搬送指示 控制部；其中， ’、 裝置，係包含有，： 各製程之儲放室中所保管的批次之保管批次 製造設備中未施行處理的特定用途批次，將由 路徑的處理順序（稱「搬送步驟」）所形成的搬 模式ID(識別資訊）間的對應關係予以登錄的搬 表，與 管理該特定用途批次的批次ID (識別資訊）與模 關係，及該搬送步驟中的處置製程的批次路^ 報告 六、申請專利範圍 表； 該搬送指示 保管抵次表管 理部、搬送路徑桓ftΪ理部，係包含有: 報告處理呷珈、式表官理部、批次路徑表管理却八π s 者？中搬送指示處理部、用途變更搬; 者，· h批次表管理部，係執行該保管批次表的管理 吞亥搬送路彳⑦始·二、

   表的資料登錚Γγ if管理部’係管理對該搬送路徑 小 索舆更新者· 該批次路庐本泣 登錄、檢索與理部，係管理對該批次路徑表的資 5亥搬送報主康 透過該透過該= ί ’係將來自該儲放室的搬送報告’ 該搬if;間搬送控制裝置，而接收者； 送控制裝置，日不处5里部，係將搬送指示，透過該製程間搬 該用途判斷部"τ =:亥儲放室中者； ^ 者； σ ’係判斷，進入該儲放室么批次的用途 5玄製程變更j&U，乂么 . 更者； ^ 係控制該批次路徑表中，處置程序變 制者；Τ器處理邛，係進行計時，與執行該計時器的控 :控制部，係主導控制整體者； 時，m ϊ :: j j入該搬送步驟程序：i -儲放室 冤恥便將來自該儲放室的進入報σ，透過該 ----^ 第38頁 519672 六、申請專利範圍 — 搬迗報告處理部，報告於該控制部，同斗 理部啟動計時器， 4 π々叶時器處 在該控制部的控制下，該保管批次表 應該儲放室的保管抵次表中，登錄該批次已經在對 室的要旨， 、二進入該儲放 在該用途判斷部中，對該主電腦查 用途，並取得答案， Λ π進入批次的 Μ ΐ ί ^進人的抵次之用途，屬於特殊用途的批攻e 以。％器發生逾時之情況時， ^ 應於該儲放室的製程完畢的報告， 处里。卩便報告對 ，收該製程完畢報告，該製程變更部 部，取彳曰特殊 次，透過該批次路徑表管理 ρ取侍该特殊用途批次之批次id所對岸的搬# Μ + 模式表，取得對庫式表官理部，利用該搬送路徑 =完程！的次-製程，且透過該 變更為該次一製‘路徑表中，對應該批次ID的處置程序， 在該搬送指示虛：^ + 指示，發送於保管哕特：：將搬送於該次-製程的搬送 接收到該殊用途批次的儲放室中， 出，且在由㈣=:的儲放室，便將該特殊用途批次取 該儲放室的取出報主：腦；談;搬送指示報告處理部報告由 對應於該儲放室㈣保=^官批次表管理部中，便將 呆吕批-人表中，所登錄的該取出完畢 第39頁 519672 六、申請專利範圍 抵次，更新為取出完畢者。 6 ·如申睛專利範圍第5項之搬送控制系統，其中誃 制糸統係具備有里皆m t才工 當偵測出兮！！ 處偵測部；該異常處理偵測部，係 號、送步驟有異常時’便控制輸出警訊信 7 二:τ止製粒間搬送機構的搬送步驟者。 路徑：：” f ί5項，搬送控制系統，係根據該搬送 故ί站=制迴、"°次數資訊，在所規定之起始站的製程與 :二“ Γ製程間的搬送路徑1，使該特殊用途批次，依昭 迴繞次數進行迴繞者。 ί人依… m:專利棘圍第1至7項中任一項之搬送控制系統，豆 者二特殊用途批次，係供監視附著於晶圓上之灰塵的批次 u特殊用途批次的搬送控制方法，係對在製造設備中 未，處理的特定用途晶圓之批次’將根據其規㈣送路徑 =處理順序所形成的搬送模式，㉟一批次預先登錄於主導 搬迗糸統之控制的搬送主電,腦中， 當該特定用途批次放入該搬送路徑上之一儲放室時， 接收到來自該儲放室之該批次進入報告的該搬送主電腦， 便根據計時機構的計時結果，在由該特殊用途批次進入該 儲放室之後，並經過預定之特定時間的時間點時，便參照 钂圮憶裝置，依照该该特定用途批次的搬送模式，決定次 一儲放室，並對該儲放室發送出該特定用途批次的搬送指 示， 該儲放室接收來自該搬送主電腦的搬送指示，·而將該

   519672 六、申請專利範圍 特定用途批次予以搬出，並將該特定用 二儲放室中，如此該特定用途批次便依 定用途批次所規定的搬送模式，由起妒 到搬送步驟上之終點站的儲放 d 驟。 π正 1^.如申請專利範圍第9項之特殊用途批 其中該特殊用途批次，係供監視附 的批次者。 11. 一種灰塵監視方法，包含有· (a) 將潔淨室内灰塵監視用晶圓批 式，預先登錄於控制搬送控制系統的搬 的記憶裝置中之步驟； (b) 將該灰塵監視用晶圓，依照 模式，以批次為單位，至少其中一部份 搬送路徑上，並自動進入該搬送路^上 〜（c)根據來自該儲放室，該搬送主 完畢報告，並參照該搬送模式，決定續 批次，所應搬送至的次一儲放室之步驟 (d )由保管該灰塵監視用 搬送至該次一儲放室之步驟；_之 (e)在依照該灰塵監視用晶圓之該 搬送路徑，進行自動搬送完畢時，便回 圓’並執行灰塵檢查之步驟。 1 2 · —種灰塵監視方法，係包含有： 途批次 照之前 站的儲 均進行 次的搬 者於晶 搬送至該次 預先對該特 放室開始， 自動搬送步 送控制方 圓上之灰塵 次單位 送主電 記憶裝 搬送於 的儲放 電腦所 灰塵監 儲放室 搬送模 收該灰 的搬送模 腦 置之該搬送 產品晶圓的 至之步驟； 報告的搬送 視用晶圓的 中取出，並 式所規定的 塵監視用晶

   第41頁 ^12 、、申請專利範圍 式，(:)將潔淨室内灰塵監视用晶圓批次單位的搬送模 置中之牛Ξ錄於控制搬达控制系統的搬送主電腦的記憶裝 模式（b)㈣灰塵監視用晶81，依照該記憶裝置之該搬送 恢式，以批次為單位，至少复士 ^ 、 搬送路# P ^ ^ ^ 一中一部份搬送於產品晶圓的 路…1自動進入該搬送路徑上的儲放室之步驟； 的進Li ΐ到來自該儲放室所報告該搬送主電腦之批次 塵監稍用s m Μ 4 1 ^便啟動計時機構，針對該灰 孤視用晶圓的批次，依昭 過預定的特定時間時，便以：機計時結果’在超 視用晶圓的批次，所應搬送模；’決定該灰塵監 # 愚版适至的次一儲放室之步驟； (d) 由保官該灰塵監視用曰 搬送至該次-儲放室之步之该儲放至中取出’並 (e) 在依照該灰塵監滿田曰间 1 ^ 搬送路徑，進行自動回之該搬送模式所規定的 圓，並執行灰塵檢查之步ς畢時’便回收該灰塵監視用晶 1 3 · —種搬送控制方法，| -批次在舖設於製程間二'程間搬送機構，將晶圓逐 於： 纟、路上進行自動搬送，其特徵在 記憶農置，χ ί ϊ ΐ 5搬送控制的搬送主電腦，係具備有 針對在係包含有： 規定其搬送路徑的二：未施行處理的特定用途批次，將由 送模式，與模犬〗D 順序（稱「搬送步驟」）所形成的搬 、 &'別資訊）間的對應關係予以登錄的搬

   第42頁 519672 六、申請專利範園 送路徑模式表，以及 供記憶管理該特定用途批次的批次ίΐ} 式iD的對應Μ係，及該搬送步驟申^戟別貝訊）與模 表者； 、处置製程的批次路徑 而且，當批次進入該搬送步驟程序中之一·〜 接收來自該儲放室的該批次進入報告後，至訏， 用途，同時啟動計時器，當該計時器產 ^，批次的 的用，屬特定用途批次時，便視為屬於該儲放=批次 已經完畢，並參照該批次路徑表，由兮〜 々製程 次id中，取得對應該批次ID的模式ID' 2:=次的批 ID ’檢素該搬送路徑模式表，而取得對應模式 核式，並由該搬送模式中決定次一製程了 μ吴式ID的搬送 對保管該特定用途批次之該 途批製程的儲放室中進行搬送= 定用 主電腦的搬送指二= J殊=收到來自該搬送 且該特殊用途批次在ί，δ亥:t殊用途批次予以取出， 上，均進行自動搬送步驟者。 至為止的通路 1 4 · 一種搬送控制驻w 在製造設備中Λ Λ 下列批次之自動搬送控制:由 或保管由上之晶圓所組成的特定用途批次； 所組成的批次之蚀：ί批次與在製造設備中被處理之晶圓 斗“ 儲放室間的批次者； 控制裝置之特徵在於： 具備有：

   第43頁 519672 六、申請專利範圍 當特定用途批次放入其中一鍅 — 儲放室的批次進入報止，@ #纟 至t，便接收來自該 一在進入於該儲放室的批次之中，針對該】宏用、、伞4 次，根據該計時器的計時結果，由該 ^ a ”比 視同忒批次的製程已完#，而依照記憶於該呓 J便 特定用途批次的該搬送模式，決定該;1 =二中该 個搬送程序的構件；與 、 途#夂的次一 對保管該特殊用途批次之儲放 途批次搬送至該所決定的次匕出將該特殊用 .種圯錄媒體，記錄有供構成一搬送控制裝置的雷^ 導:列批次之自動搬送控制：由在製造設備中 二門造設備中被處理之晶圓所組成的批次之儲 放至間的批次者；其特徵在，於： 词 該（a)〜（c)處理係： 兮健2)在特定用途批次進入其中一儲放室時，接收來自 该儲放室的批次進人報告，並啟動計時H的處理； 姐4(b)在進入於該儲放室的批次之中，針對該特定用i余 =，根據該計時器的計時結果，由該特定用途入 ::放室開始起算，在經過預定之特定時 ： ，同，次的製程已完畢，而依照記憶於該記以中 之U特疋用途批次的該搬迭模式，決定該特定用途^次的

   第44頁 519672 申請專利範圍 次—個搬送程序之處理； (C)對保管該特定用途批次的儲放 之搬送至次一製程的搬送指示之Π放至輪出該所決定 :二錄媒二記錄有供構成一搬送控制裝置的電腦 製程間搬送機構，將晶圓逐一批次在舖設制裝置： =上進行自動搬送的系統中，主導下列批次之自動搬 的：t用由在半導體製造設備中未執行處理之晶圓所組成 製造：：ί批ΐ，或保管由上述特定用途批次與在半導體 者°又中被處理之晶圓所組成的批次之儲放室間的批次 其特徵在於： 導該搬送系統之搬送控制的搬送主電腦，係具備有 。f、裝置，而該記憶裝置係包含有： 保g 欠表’用以管理各儲放室所保管的批次； 定用t ΐ徑模式表，針對名製造設備中未施行處理的特 驟;:人，將由規定其搬送路徑的步驟列（稱「搬送步 關i Α所形成的搬送模式，與模式1D (識別資訊）間的對應 關係予以登錄；及 ID(批路經表，供記憶管理該特定用途批次的批次 :別資訊）與模式ID的對應關係，及該搬送步 始處理步驟； 該（a)〜（d)處理係： (a) §批次進入該搬送步驟程序中之一儲放室時，接

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   收來自該儲放室的該批次進入報告後 理； 便啟動計時器的處 並執行該批次用途的判 (b ) 接收該批次的入庫報告 斷處理； (C)當該計時器產生逾時，且該批次的用 途批次時，便視為屬於該儲放室内的製 f特疋用 照該批次路徑表，由該特定用途批二 畢取=

   應=Π)的模式Π)，然後根據該模式11}，檢素該搬送』 徑模式表，而取得對應該模式ID的搬送模式，並由該搬吳 模式中決定次一製程的處理； ^ ^ (d)對保管該特定用途批次之該儲放室，發送出將今 特定用途批次，朝該次一製程的儲放室中進行搬送的搬^ 指示的處理。 、