TW519672B - System, process, apparatus and program for controlling special lot carrying in semiconductor carrying facility - Google Patents
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Description
519672
五、發明說明(1) 【發明所屬技術領域】 本發明係關於—種半導 尤有關於在半導體襄置生產 半導體設備處理之灰塵監視 送予以自動化的系統、方法 【習知技術】 體輪送設備之批次管理技術, ,的搬送裝置中,譬如將未經 器等特定用途的晶圓之批次搬 與裝置及記錄媒體。 曰面體裝置的細微加工技術之發展,附著於 等異物(「灰塵」)問題亦曰趨受重視: + 系淨至中,便設置有配合等級要求於
广糸統:产周系統、檢查空氣中灰塵的檢測裝置 法等二尸靡:::晶圓上的灰塵,經採用雷射光之光散亂 :則如(l it "里衣置(亦稱「晶圓異物偵測裝置」),而相 /則如0 · 1 8 # m左右,或其以下的灰塵。 化寸t半L體Γ廠的潔淨室中,基本上,各製程係採模细 引 各杈、、且間通常用隔壁予以區隔開。對在製程間 (儲放室間)的晶圓之搬送、以及製程内之搬送的進行,分 別係,用製程間的搬送車、與製程間的機械壁各自進行自 動搬送步驟。第9圖所示係半導體製造用潔淨室内地板面 之一例的示意圖(請參閱日本特開平〇7 —〇85 1 54號公報)。 請參閱第9圖所示,a係表整體生產線,整體生產線係 逐一製程,分割成各區域b,在各區域b中,設置有複數製 造裝置c、與至少一個儲放室(i(亦稱「潔淨儲放室」)。區 域b内的批次(如以25片晶圓為1批次)搬送,係利用製程内 搬送機械臂e進行。在配設於儲放室d間的通路g上,利用
^072 ^072 五 發明說明(2) __ 製程間搬送車h i船样& 送車h係對不同區==谷於晶舟上的批次晶圓。製程間搬 抵次,並移動至批次進行搬送,乃由儲放室d收取 敌室d上。製程内送至其他區域的儲 製程區分,八制古1 &裝置C係執仃批次的晶圓處理,依 程、CVD(化i顏沐日〇洗淨、擴散、氧化、曝光、顯影製 置。通路i積)、RIE(反應性離子㈣)等各種裂 高架型軌^ 間搬送設備潔淨路」),譬如利用 入處理。成’並利料降機等進行對儲放室的進出 常用ΐ;ί i U!搬送設備的潔淨度測量方法,習知 量的方ί 視用晶圓,並搬送於製程間進行灰塵測 述者,操作測量99 945號公報等中所載 晶卉放二 、Λ塵監視用晶圓放置於晶舟上,將嗲 舟放入於母個儲放室中,並將收定#日A卩ΑΑ >將忒 用晶圓,依序搬$ π锉妨^ 晶舟上的灰塵監視 出晶舟室之間,再由最後的儲放室中取 日日丹。將所取出的晶舟,利 王T取 量裝置中,進行灰塵測量/ σ車4運送至晶圓灰塵測 第8圖所示係相關此類抑 知系統。請參閱第8圖所;m監視用晶圓搬送的習 管理用主電·,、搬送主電腦20,v::放係具4備有 上有搬运者晶舟52之製程間搬送 上收容有如1批次份晶圓51。製程在月1】進。该晶舟52 分別具備有儲放室^,叫的/制芎曰’达控制器301’30^ 2幻控制态,並透過網路60,與搬
519672 五、發明說明(3) _ 送主電腦2〇’ 、生產答田 電腦2。,係在製程間進行通信。搬送主 制數據,而對將批次由工^ 0l /、3〇2間,接收必要的控 間)的自動搬送步驟。 室4〇1搬送至儲放室4〇2(製程 第1 0圖所示係呈借居 — 腦2。’之資料庫結構、:上f官二用主電腦1 〇,與搬送主電 理用主電腦〗η,在拙—例。请參閱第1〇圖所示,生產管 产管理,並且’古仃各批次的處理條件、與各批次的進 没g理’业具備有供路拉 ^ 次表11。批次表八^ s批次ID與其對應用途用的批 格,並依靠管理負於主電腦中全部批次總覽的表 註冊有批次_批次2⑩次登錄作業。在批夫表Π中 4。的Ξϊίί腦2』,Λ執行各批次的搬送發送與對儲放室 保管批;室40中之批次的 的批次ID與用途之、、主輩^中3有保官於儲放室内批次 管批次的總覽表,;J來=批次表21為儲放室内所保 訊),由搬送主電腦20、,、、=^放室的報告(出入報告資 儲放室4。為更新其内容。 照來自搬送主電腦20,的:匕象批次的保管倉庫,並依 送。 的“指不,控制批次的出入與搬 序的=所示係說明相關此習知搬送控制系統之處理順 將灰塵監視用晶圓批次等,制 並未執行晶圓處理的特定在衣私内的製造裝置中, 特疋用途的晶圓批次,當作特殊批 五、發明說明(4) -人’俾可與在晶圓處理裝 有所區分,並將各批次ID盥用ΐ進行晶圓處理的產品批次 電腦10,與批次表u中。”用延分別登錄於生產管理用主 將特殊批次放入儲放室4 40向生產管理用主電腦1〇,主^中(步驟M0),並由儲放室 特殊批次所在的儲放室。在口讲知所放入的批次ID,以及該 於該儲放室的保管批次表21:迗主電腦20,中,便在對應 次ID (步驟s 2 1)。 更新登錄該特殊批次的批 搬送主電腦20,便在拉你μ ^ 時點,勒—兮“ a 接收到儲放室40的批次ID報告的 蛉點執订该批次的搬送任務控制。 在生產管理用主雷腦in,士 ID,祐夂昭生1冤細1 0中’便依照所報告的批次 並乡/、餐批·^表11,刻in。二分4 L ♦ 時不管用途為材,庙&斷 的用途(步驟S22) ^此 ^ r g 4照批次處理條件,而決定處置的儲 (P接者要搬送去向的儲放室)。所以’在特殊批次 件(’第;。不同處’係在批次表11中設定虛擬處理條 第»中未圖不)。即、產品批次依照預設的處理條件 (處理模式),決定現行製程後的次一個製程。相對的,在 1擬處理條件中,則不論處理順序如何,無論哪一儲放室 均屬處置對象。 一操作負責員便由生產管理用主電腦1 〇,的終端(未圖 不)’將依照批次ID,而所選擇保管於現行儲放室中的特 殊批—人’且將所選擇特殊批次,由現行儲放室搬送至屬次 一儲放室之任何儲放室中的搬送指示予以輸入(步驟 S23)。如前述,特殊批次雖搬送於製程内的製造裝置中,
第9頁 519672 五、發明說明(5) 但並未接受處理’相關的處理停件灼铲昭♦M玫从 理,操作負責者可選擇任均依照虛擬條件進行管 作次-儲放室用。至作為處置儲放室,俾供 S24)搬运主電知20便輸出對該館放室的搬送指示(步驟 户-接收來自搬送主電腦2〇,的搬送指示,將所 才曰疋的特殊批次自動嫩Φ 、, 今所 onr, γ椒山目動搬出,亚更新保管批次表21(步驟 )。、n出的批次,利用製程間搬送車,搬 — 的:人:個儲放室(步驟S26),並放入於該儲放室中。“- 時,ΐΐΐίΐΓΛ到步驟S26的製程’當到達最後製程 拙a Ll ϊί氣儲放室中。將到達最後製程的特殊 人並丈至中取出,利用台車等搬送至灰塵測量裝置 量裝置中進行晶圓上附著灰塵的測量 第11圖所不係習知搬送控制系統中 室X搬送至儲放室γ的搬送作辈 人由储放 送主雪腦2Π,的ϋ ,々山乍業兒明圓。#'作負責員由搬 ^電細的#作終女而,,入將保管於儲放室X内的特殊 批次,搬送至儲放室γ的搬送指示(①),當接受到此搬殊 指示的搬送主電腦20,,便對儲放室χ輸出搬送指 、 =製程間搬送車將批次搬送至儲放室 (:室”時,便將搬送完畢的報告告知於搬送主、放二於錯 【發明欲解決課題】 惟,上述習#搬送控帝]系、、统將產生下述諸工員問題點。 第1項問題點,在每一次的特殊批次由儲放室所進行 第10頁 519672 五、發明說明(6) 的搬送择# γ p 木作(即製程間的搬送操作),操 。 k主電腦的操作铁端 Ί 、貝貝必須由搬 藉由操作g主。、^處,利用人工操作輸入搬送指干,廿 進度管理,、二對特殊批次在製程 料低等不擔’同時亦將造 進:丁搬送時’或者搬送設備(通路)數次迴4二:夕數儲放室 达控制系統而言’將增加操作負 ^ ’就習知搬 况的可能性變大。 屋生輸入錯誤等情 其理由乃特殊批次在製程間的搬 入)時,特殊批次與產品批次一樣,利用^,至的進出 ,次表21進行管理。就特殊批次而言“ /電腦,的 來自儲放室的搬送完畢報告(第i】圖之④)時“° f接收到 動將製程繼續朝次一製程前進的功能,所以f ^具備自 :的特殊批次搬送’便必須依賴操作員由搬送:;:3 J 指:放,在第9圖所示生產線",當將特:: =依序進'儲放室卜儲放字2—........儲放室7放 至8時,在母次將特殊批次送入各儲放室時,操作負主 :必須將T送至次-個儲放室的搬送指示,由搬送主貝電腦 2 0終端(未圖不)進行輸入動作。 為解決上述第1問題點,便有在當特殊批次完成搬送 ΐ儲放室ΐ ’對主電腦告知搬送完畢報告,而主電腦端便 、该搬送元畢報告視為製程間的搬送操作完畢之涵義,進 行登錄管理,但如此便將產生第2問點。即,在通""常的產 品抵次中,將該項搬送完畢報告視為一個製程而進行登 第11頁 519672 五、發明說明(Ό 錄’結果必須對不必要的製程進行多數登錄管理,就記憶 區域的利用觀點而言,除將造成效率惡化外,亦使控制趨 於複雜化,且徒增控制時間,導致性能降低。 一此外’如在上述日本特開平〇7 —〇85154號公報中,所 ,不的系統結構便係將配合達成如潔淨室内的污染度測量 等特殊目的之特殊批次,不再利用批次管理裝置的中樞生 產線官理電腦進行繁雜的登錄,而是利用 ,同通常批次般進行自動搬送的二:理裝 —> π :由刼作員從批次檔案中選擇出特殊批次,並執 之後,便將特殊批次的開始操作預約予以 5搬送ΐί批次依照處理順序巡迴而至時,執行製程 曰不,由儲放室中取出應放入製程内 ί造人裝冊進行特殊批次的搬送或放入 輸入’便將特=處理條件進行 達成特殊批次的自動搬送放至(站)間,雖有 未開示,且對如何不增加主電::;:體手段或結構則並 以及如何達成自動搬送等方=批次的登錄項目, 故,本發明有鏗於項:未有所寺量。 -種對特定用途晶圓的批次,】=1目的在於提供 自動化,同時達抑制記憶容旦:至間的搬送步驟予以 的系統、方法及裝置,二二二σ,且達處理高速化功效 記錄媒體。此外的本發為;;系統之控制程式的 之目的、特徵、優點等,由下述 519672 五、發明說明(8) 相信熟f該項技術者應可馬上瞭解 J·備ί ΐ放2 f上述目的,本發明所提供之裝置結構,係 具備有儲放=與搬送主電腦的搬送控制系統,其中
放室係供保管由在製造設備中i勃―老 '、 X,A 特定用途批今ΐ : 仃處理之晶圓所組成的 Γ或供同時保管該特定用途批次與在製造設 #供批击丨=t理之晶圓所組成的批次者;而該搬送主電腦 diii送者;其特徵在於:當特定用途批次放入 :該搬送主電二自=放室的批次進入報告, 中,朴㈣= 在進入於該儲放室的批次之 Μ、疋用途批次,根據該計時器時 ”定用途批次進入該儲放室開始起算夺之二 定時間的時間點時,便視同該批 U預::特 定該特定用途批次該搬送模式,決 搬送至次-製程的::指:搬⑭序,並對該儲放室輸出 特定ί ί =斤提供之方法,係對在製造設備中未經處理的 形成的;;模:批;丄:;3畫:搬送路徑之處理順序所 搬特定用途批次放入其中一儲放室時,兮 中動計時器,在進入於該儲放室的批次當 該特定用=抽二t用途批次,根據該計時器的計時結果,由 ^ ± ^ _人進入§亥儲放室開始起算,在經過預定之# 〜間的時間點時,便視同該批次的製程已完·:;;寺 第13頁 519672 發明說明 照該記憶裝置,依照對應該已進入之該特定用途批次的搬 送模式,決定次一製程,便將該特定用途批次的搬送指 示,輸出於該儲放室,由該儲放室接收來自該搬送主電腦 的搬送指示,而將該特定用途批次予以搬出,並將該 用途批次搬送至該次一儲放室中,如此該特定用途批次便 依照之前預先對該特定用途批次所規劃的搬送模式,由起 始點的儲放室開始,到搬送步驟之終點站的儲放室為止, 均進行自動搬送步驟。 本發明所提供的記錄媒體,係記錄有供在搬送控制 置中,由電腦執行下述(a)〜(c)處理的程式者,A 、 送控制裝置係控制各儲放室間之批次的自動搬送者,〃而今 儲放室係供保管由在製造設備中未執行處理之晶圓所組成 的特定用途批次、或供同時保管該特定用途批次盥在 :::有執行處理之晶圓所組成的批次者;其特徵在二 上述該(a)〜(c )處理係: 二在特定用途批次進今其中一儲放室時,接 該儲放室的批次進入報告,並啟動計時器的處理· (b) 在進入於該儲放室的批次之中,針對該特— ΐ ί妨ί據該計時器的計時結果’由該特定用途批疋次^ ,儲放至開始起算,在經過預定之特定時間的 便視同該批次的製程已完畢,而依照記憶於該呓.梦笔 之該特定用途批次的該搬送模式’決定該特定°用、,=f 1 次一個搬送程序之處理; k批一) (c) 對保管該特定用途批次的儲放室,輪出該所決 五 «
該搬送主電腦(2 〇 )係當 之其中一儲放室時,接收來 啟動計時器,並執行該已進 的用途判斷。當計時器產生 特定用途批次時,便視同在 由搬送模式決定次一製程。 519672 、發明說明 之搬送至次一製程的搬送指示之處理 【發明實施態樣】 、,針對本發明之實施態樣進行詳細說明。相關本發明之 搬送控制系統,其較佳實施態樣之一,係將如搬送設備之 f塵監視用晶圓批次等(與通常產品批次具不同用途之特 疋用1抵次,亦稱「特殊批次」),根據預先登錄於搬送 主ί ^中的搬送模式,執行自動搬送者。詳言之,本發明 之貝施態樣’請參閱第1圖所示,在配設於不同區域中的 複數儲放室之間,所舖設的搬送設備上,利用製程間搬送 才冓件(π製程間搬送車),將將晶圓以批次單位,進行自動搬 运的搬,系統中,控制搬送系統的搬送主電腦(20),除具 備有仏官理保管於儲放室内之批次的保管批次表(21)外, 尚ί備有記憶裝置。該記憶裝置係包含有搬送模式、搬送 路徑模式表(22)、及批次路徑表(23)。該搬送模式係對未 供,於製造設備處理的特定用途批次,由規劃其搬送路徑 之处理順序所形成者。該紙送路徑模式表(22)係對應該^ 式D並進行登錄者。该批次路徑表(2 3 )係供記憶管理 搬送步驟之次一製程的處置程序者。 又 特定用途批次進入搬送模式中 自該儲放室的進入報告,然後 入之批次是否為特定用途批次 逾時情況,且所進入的批次屬 该項製程内的處理已完晷 即,參照批次路役表二:
519672 五、發明說明(π) 該已進入的的特定用途批次之批次Ζ β iD的模式Π) ’同時根據批次ID檢索搬送路次 由對應該模式ID的搬送模式,決定次_ :換式表(22), 特定用途批次的搬送指示輪出於該 收來自搬送主電腦(20)的搬送指示;/诸放至便接 出,使該特定用途批次搬送至次一儲丄、=用途批次取 批次在由搬送模式所規劃的起點儲放:特定用途 為止,均可進行自動搬送。 敌至起,到終點儲放室 ‘21·圖所示係本發明一實施態樣之動作原理說明圖。 §月,閱弟2圖所示,搬送主電腦看保管於儲放 弋特定用途批次’在特定用途批次進入儲放室 在決:定處置程序(次一製程的儲放室 出搬、/二便f保官:見有特定用途批次的儲放室以…輪 出搬达才曰不(①)。儲放室Χ(4〇ι)便將特定用途批次取出, 亚將」亥特定用途批次搬送气次一製程的儲放室Y(4D中(② 田進入該儲放室八4〇2)時,便將搬送完成的報告,各 =於搬送主電腦(20),同樣的在儲放室γ(4〇2)中,亦如同 在儲放室Χ(4〇1)中一樣的進行計時管理,而執行對次_ 程的自動搬送控制。 。 >在本發明的較佳實施態樣中,係將搬送於潔淨室之灰 塵I視用中的灰塵監視用晶圓批次,當作特定用途批次。 搬送主電腦(20)便執行將保管於儲放室的批次中,僅 對特定用途批次,沿搬送模式進行搬送的指示。 519672 五、發明說明(12) 在本發明較佳實施態樣的於舖 上,將晶圓逐-批次,利用製程製程間的通路 的搬送控制系統中’對在供保管由=而進仃自動搬送 理之晶圓所組成的特定用途批次= 在ϊ造Γ備中有執行處理之晶圓所組成:次二 ί =: 自動搬送控制的搬送主電腦⑵): 曰,該搬迗,電腦(20)係具備有記憶裝置,而該記憶裝 則7具備有保管批:欠表(21)、搬送路徑模式表(22)、二次 :徑表(23)者。保管批次表⑵)係供管理保管於各;諸放室 中的批次者。該搬送路徑模式表(22)係針對在製造設備中 未施行處理的特定用途批次,將由規劃其搬送路徑的處理 順f (稱「搬送步驟」)所形成的搬送模式,與模式1]}(識 別貧訊)間的對應關係予以登錄者。該批次路徑表(23)係 供兄憶官理該特定用途批次的批次丨D (識別資訊)與模式j D 的對應關係,及該搬送步驟中的處置製程者。該搬送主電 腦(20)的特徵在於利用執行,下述(a)〜(d)之各項處理程式 而達成目的者。 (a)當批次進入該搬送步驟程序中的其中一儲放室 時’接收來自該儲放室的該批次進入報告,並判斷該批次 用途的處理; (b )接收該批次的進入報告,並啟動計時器的處理; (c )該計時器產生逾時情況,且該批次的用途屬特定 用途批次時,在該計時器產生逾時之時,便視為屬於該儲 放室内的製程已經完畢,並參照該批次路徑表,由該特定
第17頁 519672 五、發明說明(13) 用途批次的批次ID中,取a 參照該搬送路徑模式夺^對應邊批次ID的模式I D,然後 而決定此-製程的處理;’取得對應該模式ID的搬送模式, (d )對保管該特定用 定用途批次的批次,朝兮二-人之该儲放室’輸出將該特 搬送指示之處理。 人一製程的儲放室中進行搬送的 MM磁此^ 記錄有該程式的記錄媒體(如FD(磁碟)、 (^) >HDD(^^),CD-R〇M >DVD(digital versatile 、或者半導體記憶體等任一者),利用設置於搬送主 電=(20)中的記憶媒體讀取裝置(未圖示),讀入於搬送主 ,細(2 0 )中,或者透過網路將該程式進行下載並讀入於搬 迗主電腦(20)中,使該程式上載於主記憶體中俾供執行, 藉此方式而完成本發明中之搬送主電腦(2 〇)的控制處理。 【實施例】 針對上述本發明實施態樣進行更詳細的說明,請參閱 圖示進行詳細說明。第8圖所示係本發明一實施例之搬送 控制系統的說明圖。請參閱第8圖所示,符號1〇, 20係分別 表示本發明一實施例中的主電腦與搬送主電腦。本發明一 實施例中的搬送控制系統的結構,雖與習知的結構相同,郗 但就利用程式控制之搬送主電腦的功能結構,與資料庫結 構,則與習知的搬送控制系統有所不同。 請參閱第8圖所示,在潔淨室内的不同區域中,設置 複數儲放室。在儲放室4〇ι與4〇2之間,舖設供製程 間搬送車5 0搬送晶舟5 2用的通路(軌道)。該晶舟$ 2係如裝
第18頁 五、發明說明(14) 載有一批次量之晶圓5】者。 · 置有製程間搬送控制哭3〇 斟至4〇1與4〇2之間,設 送指示,而進;T所二」4’ 2接收來自搬送主電腦(20)的搬 送控制糊的自動搬送步驟。該製程間搬 腦20與半導體生產線 f接於構成控制搬送主電 ㈣主電腦2°則透過製程間搬送=器 送指示。批\的搬送控制,與對搬送於儲放室40的搬 ▲,Ϊ放:則具備將經搬送主電腦20所指示搬送的批 ί㈣U搬送的功㉟,並將處理對象批次複數保管。 :至0中採將特殊批次與產品批次區分開的配置方 11在通道(執道)上,搬送承載有晶圓批次之晶舟的製程 間搬,車,係利/用電磁驅動方式進行驅動而搬送者。 第1圖所不係本發明一 f施例中,主電腦1 〇與搬送主 電,中所具備表格之其中一例。該表格,亦可分別登錄 官理於主電腦10與搬送主電腦20中的記憶裝置(資料庫), 或者^錄於,電腦10與搬送主電腦20間的共通資料庫中。 f麥閱第1圖所示,儲存於主電腦1 〇中的資料庫,含 有批次=11,該批次表丨丨係含有登錄於主電腦1〇中之批次 的總括資汛,俾供操作負責員進行登錄管理用者。該批次 表係與習知搬送控制系統具相同結構,至少具備有顯示 批次ID、與該批次丨D屬產品批次或特殊批次的用途攔位。 519672
因與本發明無 五、發明說明(15) 在第1圖中’儲存於批次表中的其他資訊 直接關係,故在此省略說明。 搬送主電腦20的資料庫’係具備有保管抵 送路徑模式表22、與批次路徑表23。 搬 其中,保管批次表21係如同習知搬送控制系统,# 於管理搬送主電腦20的每一個儲放室中,並包含有二 儲放室内之批次的總括資訊,並依照來自儲放室報'丄: 由搬送主電腦20隨時自動更新,俾供對該批次⑺盥;;^ 用途攔進行註冊。 ’、及批-人 本發明一實施例中,除第10圖所示習知表格的結 外,尚追加有批次路徑表2 3與搬送路徑模式表2 2。 該搬送路徑模式表22係供將特殊批次用^搬送步驟 依照處理順序進行登錄的表格,乃經由操作員進行登錄 批次路徑表23係包含有由模式iD與由模式之路徑資訊 (搬送步驟順序)所形成的播,案夾(該檔案夾為可變更大小 者),俾供登記迴繞次數。 μ 第1圖所示例中,模式α的製程間搬送路徑,為製程 1、製程2、製程3,而特殊批次的搬送模式則為依照製程1 之儲放室—製程2之儲放室—製程3之儲放室等順序進行搬 送的模式。同樣的, 模式石的製程間搬送路徑,為製程4、製程5、製程 6,而特殊批次的搬送模式則開起製程在製程4,依照製程 4之儲放室—製程5之儲放室—製程6之儲放室等順序進行
第20頁 519672 五、發明說明(16) - 搬送的模式。 在搬送路徑模式表22的迴繞次數欄位中,設定製程間 的迴繞次數。在搬送路徑模式表22中,模式τ為製程6、 製程2、製程4 .......,當迴繞次數為「3」時,譬如在第9 圖中,在以製程6之儲放室6為起始儲放室時,便依照儲放 室6 —儲放室2 —儲放室4〜......—儲放室6的處理順序,繞 行3次後,便完成搬送步驟。 该搬迗路徑模式表2 2的内容,係依照管理者進行輸 與變更處理。
批次路徑表23係供登錄特殊批次用的表格。經由操个 貝進行登錄。該批次路徑表23係登記包含有批次(特殊批 :人ID與對應&該批次丨D之路徑模式的處置程序資料夾用。 ΐ处^ Ϊ序資料夾係利用搬送主電腦20,針對各製程間白 ,搬G進度,自動更新為次一搬送去處的製程(健放 後述/特殊批次在進人儲放室時,搬送主電腦2〇 h制汁時器,當逾時之時,,便視同處理完畢,而前進方 次一製程。 ^ -人,針本發明一實施例的處理順序進行說明。 灸間第^ :係本發明一實施例的處理順序流程圖。請 ^ f Α μ #不,針對本發明一實施例中的特殊批次登錄 於貝枓庫的處理進行說明。
由規::21:^的:送模式(供特定該模式用的模式11}、 錄於搬、关*雪t之製程所形成的模式、及迴繞次數),登 …、、^電腦20的搬送路徑模式表22中(步驟S1)。當搬
519672 五、發明說明(17) 送路徑並未迴繞生產線時,便將迴繞次數設定為「〇」。 將特殊批次登錄於主電腦1 〇的批次表11中(步驟S2)。 在將特殊批次的批次ID登錄於批次路徑表2 3之同時, 將指定該特殊批次之搬送模式的模式丨D,對應於批次丨D, 並登錄於批次路徑表23中(步驟S3)。 ^ 進入特殊批次起點的儲放室中(步驟S4)。此時,將批 人放入起始點的儲放室動作,通常係由人工進行處理。 第4圖所示係本發明一實施例中搬送主電腦的處理順
。請參閱第4圖所示,針對本發明一實施例之特殊批次 的搬送順序進行說明。 =將特殊批次放入儲放室4〇中時(步驟S11),便由信 送主電腦2〇發送訊息,並執行所放人批次之批 登:ί: ’在該批次所置入之儲放室的保管批次㈣中 批次為與該批次用途區別(產品批次為「a」,特 針對批次進入儲*放室時 在此 之取得方式進行說明。:Γ置入批次的批次 之晶舟上的識別資訊(由侔碼 ,將附加於所進入 取裝置進杆择敗,&收条馬專所形成),利用讀碼機等讀 * Φ 丁0貝 而將晶舟的識別資气鉬土屯雷1 η如 主電腦10中,便由晶舟的 貝”電月。在 批次的批次ID間的對;S Μ 、 人收谷於該晶舟中之 的抵次-批次= 報:識進入儲放室中之批次 ”送於搬送主電腦2〇中“於由儲放 疋批次所進入的儲放室。 稂σ矾息上的網址等,限
第22頁 519672 五、發明說明(18) 在搬送主電腦20中,於登錄於保管批次 便啟動計時器(步驟S1 2 )。兮十日车哭在也产4 士 放宕40 % ώ 冲4态係供在特殊批次進入儲 放至40後,自動產生製程完畢之跡象者。 在搬送主電腦20中,根據進入儲放室40之抵吹的板a ID,^主電腦10中取得該批次的用途(步驟⑴)。'㈠一人 為逾hUU ?特殊用途時’且搬送主電腦2〇中的計時器 後參照批次路徑表23,的報口(步驟si4) °然 出相鮮於蟑舢A τ η 由特殊批认之批次的批次ID中,取 布目對於該批次j D的已登錄^ 船#播斗、了 檢f搬逆踗庐握+主。錄搬送模式iD,再根據搬送ID, :裳搬:路位模式表22後’取得對應 式,而由搬送模式中,決定银广制和从^偎的搬达杈 放室)〔牛妒ςιυ 、見仃衣転的二人一製程(次一儲 式;;=在古由搬送路徑模式表㈡中所讀取的搬送模 次一製程時,且迴繞次數為「〇」時 便將現在的儲放室設定為最」才 一製程時,但迴繞次數為% /,放^二雖未存θ在有次 點的儲放室。 衣私便是起始 在決定好次一製程後,搬送主 次的儲放室,執行妒诺$ Α 自U便對保官特殊批 S16) 〇 仃“至次一儲放室的搬送指示(步驟 9 η Μ ^放至4 〇之製程間搬送控制器3 0,便依昭IT 1 ' 2 0的搬送指示,將如 使很μ搬迗主電腦 、其# % „ 將批次取出(步驟S17),並利用製铲 运車i:搬送(步驟…),而進入次一儲放“間搬 μ七# =上述步驟su〜步驟S18的處理,當到達搬孚% 取、1¾時,便保管於該製程中的儲放室内。 第23頁 519672 五、發明說明(19) 已完成經搬送路經模式矣9 0 > , 步驟的特殊用途批次,當==送模式所規定的搬送 綠餹放宮中=田屬於灰塵監視用批次時,便由最 、、 ,並回收,且搬送至灰塵測量裝置(未圖 ;ΛJ ^ ^ w Λ i ί * ίίΠΐ在搬送特殊用途批次之時,可作為保 料庫中。 人自0生產管理數據,而登錄於資 針對貝現上述功能之本發明一實施的 ΓΓ月而=圖所示係本發明一實施例之主電腦心 "! ^ 圖所不係本發明一實施例之搬送主電腦2 0 理儲存於記憶裝=裳置^ 2腦1 °係具備有管 5二田次表管理部13係具備有批次ID管理部 131與用途區分管理部132。 批次管理部131係執行對批次表u的批次id登錄盘 =索。用途區分管理部132係在批次表n中除登錄該批:欠 途之外,尚配合來自搬送主電腦2G的 檢索事宜。 f逆仃 请參閱第5(b)圖所示,搬送主電腦2〇係具備保管批次 b理部25、搬送路徑模式表管理6、次 部27、與搬送指示•報告處理部28。 录e理 以下,請參閱第6、7圖所示,針對搬送主電腦2〇的 構成部分進行說明。請參閱第6(a)圖所示,保管批次表 理部25,係具備有保管儲放室管理部252、與批次⑺管理
第24頁 519672 五、發明說明(20) 部251。其中,該保管儲放室管理部252係根據來自儲放室 4 0所報告的資訊,管理收容有批次之儲放室者。該批次IJ) 管理部2 5 1係管理對保管批次表2 1之批次I j)與用途區分註 冊的登錄與刪除。批次ID管理部2 5 1係在批次進入儲放室 40中之時,便根據來自儲放室40所報告的資訊,取得批次 ID,並取得該批次I D的用途。 請參閱第6 ( b )圖所示,搬送路徑模式表管理部2 6係具 備有搬送路徑模式管理部2 6 1、與迴繞次數管理部2 6 2。該 搬送路徑模式管理部2 61係將由搬送主電腦2 〇的操作終端 等所輸入的終端模式ID,與規定搬送路徑之處理順序模式4 間的對應關係’登錄於搬送路徑模式表2 2中。該迴繞次數 管理部262係管理搬送路徑模式表22的迴繞次數資訊 請參閱第7 ( a )圖所示,批次路徑表管理部2 7係具備有 批次ID管理部2 71、搬送模式I j)管理部2 7 2、與處置程序管 理部273。該批次ID管理部271係執行對批次路徑表23之批 次ID的登錄管理。該搬送模,式ID管理部272係執行搬送模 式的登錄管理。該處置程序管理部273係管理處置程、 者。 由處置程序管理部273執行批次路徑表23之處置程序 的更新管理。 當發生計時器逾時之情況時,便由輸入於儲放室之 殊批次的批次ID的模式ID,透過搬送路徑模式表 , 26,取得登錄於搬送路徑模式表22中的搬送程序 °, 殊批次便取得較現在所輪人蚀# & ^ '
519672 五、發明說明(21) 程序,而取得次一製程。 備有:,第7(b),所示’搬送指示·報告處理部28係具 判斷邱?^曰不处理部281、搬送報告處理部282、用途區分 判斷部2 8 3、程序變f部9 ^ , 處理偵測處286。該搬^ Λ時器處理部m、與異常 程間搬送控制器30輸出搬逆;處理儲放室40的製 ⑽係接收來自t。該搬送報告處理部 途區分判斷部2M孫告舢的搬送報告者。該用 次的用途者兮/皮田辦久進入儲放室40中時,判斷該批 更部284係變更批次路徑表㈡的處 置%序者。该計時器處理部2 逾時處理的控制者。該昱常處理伯^ % 15的啟動,與 送異常時,便輸出發出警: = 牛86^ 本發明-實施例的計時器亦可號者。 器,即在搬送主電腦2〇中,於每_個=軟體控制計時 理逾時之計時表,當批次進J放^放室中,準備供管 於對應該儲放室的計時表中〆並將=二=特定值設定 譬如依照生產線時鐘等,分割成各特二疋^開始狀態, 表的數值進行遞減計時。當該計值 早位時間’對計時 發生的時刻。 …0」時,便為逾時 該異常處理偵測處286係偵測出如 丨 次一儲放室間)的批次搬送中,於取程間(儲放室與 經過特定時間過後,亦無送入於預定;第1儲放室後,在 障礙(搬送異常)時,便執行控制發出鏊^的第2儲放室等 製程間搬送車所進行的製程間的搬送^二或控制暫時停指 第26頁 519672 五、發明說明(22) 第5圖所示的主電腦1G與搬送主 二在㈣送主電腦2〇中各自執行程式,了實俗現利直 處理或功::此情況時,便將由記錄 〆、 :’將讀入電腦中,並上載於主記憶等之中=, 藉此便肥貝現上述各元件的處理與功能。 6丄:丄式的組合結構’便不僅限於第 在上述實施例中,雖針對在製程内,未被 設備進打處理的特殊用途批次,I潔淨室内::: 晶圓批次為例進行說明。但在本 f視用 並不僅限於灰塵監視用,譬如亦。用途批次, 之晶舟的製程間搬送車的震動、、j 1黧田、貞測搬达承載晶圓 視用批次。 旱U動収相途,而所採用的監 在本發明中,特殊用途,並不僅限 數種;特殊用途晶圓批次、搬送於製程間搬送通: 的構造,當然亦包含在進入儲放宮 ,搬k於1程間 臂(第9圖e)搬送部分於製程内 :依製程内搬送機械 理,而是再度進入該儲放室4L:處理設借的處 的結構。㈣的此項結構,譬:搬送至次-製程 用接近產品批次搬送型態的型能谁^孤視用批次,利 程間搬送設備、儲放室、製程二你進订自動搬送’而在製 (灰塵^内搬送設傷中,監視潔淨度 第27頁 519672 五、發明說明(23) 以上’上述實施例所參照的圖示等結構,僅是太#明 的例不而已,本發明並不僅限於 二上本發明 改技術者所能輕易進行的各種變更、ρ 改專,均涵蓋在本發明範疇中。 分禋交更修 【發明功效】 依照上述說明,本發明將產生下述功效。 ^發明之第i項功效,係針對特殊批次 * 畢報告,並將搬送步驟前進於次一收板,兀 一製程的搬送指f t + 且輪出搬送至次 7版乙知不方式的結構,而將特殊批次 ,予以自動化,相較於習知依照操作員就每一,r:: · 々产ί發Γ之弟2項功纟,係在主電腦的資料庫巾,毋項 =理製程間的搬送作業完畢之完成作業fm /頁 2產品批次’亦毋須浪費對多數製程進行登錄管理 :的利用3己憶空間。其理,由為在本發明中, 欠進入儲放室時,便啟動計時器,而在保管::j 二π 人中’就該特殊用途批次,當該計時器發生逾時之 二:蛉,便視同特殊用途批次處理完畢,而決 …製程,並輸出搬送指示的結構方式, 的二至的搬送完畢報告,便意味著製程間的搬送操作完畢 、涵義’而毋須再於主電腦中進行登錄管理所致。 本發明的第3項功效,係將特殊批次的儲放室間搬送 以自動化,不僅不致產生操作失誤情形,同時產品抵次 第28頁 519672
與特殊批次間的保管條株,+ 、垂+ ^ 1门7你3條件亦可為完全相同的狀態,而可 達大幅提昇灰塵監視等精確度的功效。其理由 的搬送主電腦中,具備有管理特殊批次的搬送模 么月 ,序的構件,所以儲放室便可將通常的產品抵次^與處置 次,依照相同的處置方式,進行保管。 人,、特殊抵
第29頁 519672 圖式簡單說明 第1圖係本發明一實施例之主電腦與搬送主電腦之表格結 構例。 第2圖係本發明一實施例之動作原理說明圖。 第3圖係本發明一實施例之處理順序示意圖。 第4圖係本發明一實施例之處理順序示意圖。 第5圖係本發明一實施例之主電腦與搬送主電腦的結構 圖。 第6圖係本發明一實施例之搬送主電腦的結構圖。 第7圖係本發明一實施例之搬送主電腦的結構圖。 第8圖係本發明一實施例之系統結構圖。 第9圖係半導體生產線之外觀與搬送系統的模式示意圖。 第1 0圖係習知系統中,主電腦與搬送主電腦之表袼結構 例。 第11圖係習知搬送控制系統中,特殊批次的搬送說明圖。 第1 2圖係搬送控制系統中,特殊批次的搬送順序流程圖。 【圖示符號說明】 1 0,1 0 ’主電腦 11批次表 1 2記憶裝置 1 3 批次表管理部 1 3 1 批次I D管理部 132用途區分管理部 14控制部 2 0,2 0,搬送主電腦
第30頁 519672 圖式簡單說明 21 保管批次表 2 2搬送路徑模式表 2 3 批次路徑表 24 記憶裝置 2 5 保管批次表管理部 、 2 51 批次ID管理部 2 5 2 保管儲放室管理部 2 6搬送路徑模式表管理部 261 搬送路徑模式管理部 _ 2 6 2迴繞次數管理部 胃 2 7批次路徑表管理部 2 7 1 批次ID管理部 272搬送模式ID管理部 。 , 2 7 3處置程序管理部 2 8搬送指示•報告處理部 281指示處理部 , 2 8 2 搬送報告處理部 2 8 3用途區分判斷部 284程序變更部 φ 2 8 5 計時器處理部 2 8 6 異常處理偵測處 2 9控制部 30製程間搬送控制器 40儲放室
第31頁
Claims (1)
- 519672 六、申請專利範圍 ^ 一種搬送控制系統,對在製造設備中未經處理的特定用 途批次,將規定搬送路徑的搬送模式,逐一批次預先登錄 =可由負責控制搬送設備之搬送主電腦存取的記憶裝置 中, ^ 士當該特定用途之批次被放入至該搬送模式上之一儲放 、至,,自該一儲放室接收到相關於該特定用途之批次之搬 J完畢報告的該搬送主電腦,係具備有參照該記憶裝置, 又照對應於該特定用途批次的搬送模式,進行該特定用途 $批次的搬送步驟,並決定次一儲放室,然後將該特定用 述批,的,送指示,輸出於該儲放室的機構;而 二忒特疋用途之批次,係在對該特定用途批次預先規定 的該搬送模式之起始點的儲放室,與該搬送模式之終點站 的儲放室之間,進行自動搬送。 2· —種搬送控制系統,具備有儲放室與搬送主電腦,其 中: 該儲放室,係供保管由声製造設備中未執行處理之晶 圓所組成的特定用途批次、或供同時保管該特定用途批次 與在製造設備中有執行處理之晶圓所組成的批次者;該搬送主電腦係主導搬送設備中之批次的自動搬送控 其特徵在於: 該搬送主電腦係具備有: 、將針對該特定用途之批次規定搬送路徑的搬送模式 逐一批次預先登錄的記憶裝置;以及519672 六、申請專利範圍 當該特定用途批次放入該搬送模式中之一儲放室時, 便接收來自該儲放室所發送出之該批次的進入報告,並啟 動計時機構,在保管於該儲放室的批次之中,針對該特定 ,^批次,根據該計時機構的計時結果,在經過預定之特 疋%間的時間點時,便視同該特殊用途批次的製程已完 畢,而依照記憶於該記憶裝置中之對應該特定用途批次的 該,送模式,決定該特定用途批次應繼續搬送至次一程序 、、、人儲放至’並對保管該特殊用途批次之該儲放室,發 將该特殊用途批次搬送至該次一儲放室之搬送指示 機構。 3逆:ΐ搬送控制系1先’係具備有儲放室與搬送主電腦的搬 迗控制糸統,其中; 該儲放室,係逐一製程設置的儲放室,用以供 内之製造設備的晶圓批次,與未投入製程内之製造 :特i用:ΐϊ程間’ %用製程間搬送機構進行自動搬送 q狩姝用途晶圓批次者; 〜 制者该搬送主電腦係、主導搬送設備中之批次的自勤搬送控 Φ 其特徵在於: 該搬送主電腦係具備有·· Μ &等十對"亥特疋用途晶圓批次,由規定搬送21 π > s 順序所形成的撫找#丄 < 路徑之工程 以及 搬4式’逐-批次預先登錄的記憶裝置; 接收來自該儲放室的批次進入報告,並啟動計時第34頁 519672 六、申請專利範圍 在進入該儲放室中並保管的批次之中,針對未投入該製程 内1製造設備之特定用途批次,在該計時器發生逾時之情 況時,便視同該批次在對應該儲放室之製程内的製程已完 畢’而依照記憶於該記憶裝置中之對應該特定用途批次的 該搬送模式,決定該特定用途批次應繼續搬送至次一程 序,並對保管該特殊用途批次之該儲放室,發送出將該特 殊用途批,搬送至該次一儲放室之搬送指示的機構。 4· 一種搬送控制系統,係在舖設於製程間的搬送設備上, =圓:ί次單位,利用製程間搬送機構,進行自動搬送 的搬运&制系統,.其特徵在於: 具備ίΚίί設之批次搬送控制的搬送主電腦’係 自該程序中之一儲放室時,接收來 批次用途的機;舞;;報告後’啟動計時器,並判斷該 该用途判斷結果,為兮 時,在該計時器產;逾:ί;次==定用途批次 的批次心取;ί;、:批次路徑表’由該特定用途批次 式ID,檢索該搬送路^=iD的模式,然後根據該模 送模式’若該搬送模式中;^有,取^1該模式ID的搬 一製程與處置程序的機構;;有:人—製程時,便決定該次 對保管該特定用途批次;^ 途批次取出,並朝該處 ^ δ玄儲放至,輸出將該特定用 王序的儲放室中進行搬送的搬送 第35頁 519672 六、申請專利範圍 指示之機構 其中’該記憶裝置係除包含有供管理各製 "斤保管的批次之保管批次表之外,尚包含有室 设備中未施行處理的特定用途批次,冑搬 :處f順序(稱「搬送步驟」)所形成的搬送模; =(及識別資訊)間的對應關係予以登錄的搬送路徑模^式 式ID:Si =該Π用途批次的批次ID(識別資訊)與模 ^者的對應關#,及錢送步驟中的處置製程的批次路徑 主電Ξ=ίί用途ΐ次的儲放室’在接收到來自該搬送 主電細的搬送扣不之後,便將該特殊用途批次 士該^用途批次在到達該次一製程的儲放室為止的通路 上’均進行自動搬送步驟者。 5 · —種搬送控制系統,具備有·· 將曰=搬巧構’係在肩設於製程間的搬送設備上, 將日日圓以批—人早位,進行自動搬送者; 一種搬送控制系統,具備有: 將曰構,係在舖設於製程間的搬送設備上, 將日日圓以批_人早位,進行自動搬送者; 儲放室,逐一製程設置至少一個,’用以保管批次量, 依據輸入之搬送指示,控制批次量的進出盘搬 各絲係執行每一個批次的搬送管理:以及對 各儲放至發出搬送指示者;與519672 六、申請專利範圍 半導體製造管 條件’以及 覽的批次表 搬送主 各儲放室發 半導體 理條件,以 總覽的批次 且,該 接,同時該 搬送控制器 所形成 於: 該搬送 管理部、與 該記憶 供管理 表,與 針對在 規定其搬送 送模式,與 送路徑模式 供記憶 式ID的對應 每一個 者, 電腦, 出搬送 理用主電腦,係 批次的進度管理 係執行每一個批 指示者;與 製造管理用之主電腦, 及每一個批次的進度管 表者; 主電腦 儲放室 ,而連 的半導 與該搬送主電腦 係透過執行製程 接於該網路上, 體搬送設備之搬 執行每一個批次之處理 ’並設有供管理批次總 次的搬送管理,以及對 係執行每一個批次之處 理,並設有供管理批次 間,透過網路相互連 間之搬送控制的製程間 送控制系統,其特徵在 主電腦’係具備有記憶裝置、搬送指示 控制部;其中, ’、 裝置,係包含有,: 各製程之儲放室中所保管的批次之保管批次 製造設備中未施行處理的特定用途批次,將由 路徑的處理順序(稱「搬送步驟」)所形成的搬 模式ID(識別資訊)間的對應關係予以登錄的搬 表,與 管理該特定用途批次的批次ID (識別資訊)與模 關係,及該搬送步驟中的處置製程的批次路^ 報告 六、申請專利範圍 表; 該搬送指示 保管抵次表管 理部、搬送路徑桓ftΪ理部,係包含有: 報告處理呷珈、式表官理部、批次路徑表管理却八π s 者?中搬送指示處理部、用途變更搬; 者,· h批次表管理部,係執行該保管批次表的管理 吞亥搬送路彳⑦始·二、表的資料登錚Γγ if管理部’係管理對該搬送路徑 小 索舆更新者· 該批次路庐本泣 登錄、檢索與理部,係管理對該批次路徑表的資 5亥搬送報主康 透過該透過該= ί ’係將來自該儲放室的搬送報告’ 該搬if;間搬送控制裝置,而接收者; 送控制裝置,日不处5里部,係將搬送指示,透過該製程間搬 該用途判斷部"τ =:亥儲放室中者; ^ 者; σ ’係判斷,進入該儲放室么批次的用途 5玄製程變更j&U,乂么 . 更者; ^ 係控制該批次路徑表中,處置程序變 制者;Τ器處理邛,係進行計時,與執行該計時器的控 :控制部,係主導控制整體者; 時,m ϊ :: j j入該搬送步驟程序:i -儲放室 冤恥便將來自該儲放室的進入報σ,透過該 ----^ 第38頁 519672 六、申請專利範圍 — 搬迗報告處理部,報告於該控制部,同斗 理部啟動計時器, 4 π々叶時器處 在該控制部的控制下,該保管批次表 應該儲放室的保管抵次表中,登錄該批次已經在對 室的要旨, 、二進入該儲放 在該用途判斷部中,對該主電腦查 用途,並取得答案, Λ π進入批次的 Μ ΐ ί ^進人的抵次之用途,屬於特殊用途的批攻e 以。%器發生逾時之情況時, ^ 應於該儲放室的製程完畢的報告, 处里。卩便報告對 ,收該製程完畢報告,該製程變更部 部,取彳曰特殊 次,透過該批次路徑表管理 ρ取侍该特殊用途批次之批次id所對岸的搬# Μ + 模式表,取得對庫式表官理部,利用該搬送路徑 =完程!的次-製程,且透過該 變更為該次一製‘路徑表中,對應該批次ID的處置程序, 在該搬送指示虛:^ + 指示,發送於保管哕特::將搬送於該次-製程的搬送 接收到該殊用途批次的儲放室中, 出,且在由㈣=:的儲放室,便將該特殊用途批次取 該儲放室的取出報主:腦;談;搬送指示報告處理部報告由 對應於該儲放室㈣保=^官批次表管理部中,便將 呆吕批-人表中,所登錄的該取出完畢 第39頁 519672 六、申請專利範圍 抵次,更新為取出完畢者。 6 ·如申睛專利範圍第5項之搬送控制系統,其中誃 制糸統係具備有里皆m t才工 當偵測出兮!! 處偵測部;該異常處理偵測部,係 號、送步驟有異常時’便控制輸出警訊信 7 二:τ止製粒間搬送機構的搬送步驟者。 路徑::” f ί5項,搬送控制系統,係根據該搬送 故ί站=制迴、"°次數資訊,在所規定之起始站的製程與 :二“ Γ製程間的搬送路徑1,使該特殊用途批次,依昭 迴繞次數進行迴繞者。 ί人依… m:專利棘圍第1至7項中任一項之搬送控制系統,豆 者二特殊用途批次,係供監視附著於晶圓上之灰塵的批次 u特殊用途批次的搬送控制方法,係對在製造設備中 未,處理的特定用途晶圓之批次’將根據其規㈣送路徑 =處理順序所形成的搬送模式,㉟一批次預先登錄於主導 搬迗糸統之控制的搬送主電,腦中, 當該特定用途批次放入該搬送路徑上之一儲放室時, 接收到來自該儲放室之該批次進入報告的該搬送主電腦, 便根據計時機構的計時結果,在由該特殊用途批次進入該 儲放室之後,並經過預定之特定時間的時間點時,便參照 钂圮憶裝置,依照该该特定用途批次的搬送模式,決定次 一儲放室,並對該儲放室發送出該特定用途批次的搬送指 示, 該儲放室接收來自該搬送主電腦的搬送指示,·而將該519672 六、申請專利範圍 特定用途批次予以搬出,並將該特定用 二儲放室中,如此該特定用途批次便依 定用途批次所規定的搬送模式,由起妒 到搬送步驟上之終點站的儲放 d 驟。 π正 1^.如申請專利範圍第9項之特殊用途批 其中該特殊用途批次,係供監視附 的批次者。 11. 一種灰塵監視方法,包含有· (a) 將潔淨室内灰塵監視用晶圓批 式,預先登錄於控制搬送控制系統的搬 的記憶裝置中之步驟; (b) 將該灰塵監視用晶圓,依照 模式,以批次為單位,至少其中一部份 搬送路徑上,並自動進入該搬送路^上 〜(c)根據來自該儲放室,該搬送主 完畢報告,並參照該搬送模式,決定續 批次,所應搬送至的次一儲放室之步驟 (d )由保管該灰塵監視用 搬送至該次一儲放室之步驟;_之 (e)在依照該灰塵監視用晶圓之該 搬送路徑,進行自動搬送完畢時,便回 圓’並執行灰塵檢查之步驟。 1 2 · —種灰塵監視方法,係包含有: 途批次 照之前 站的儲 均進行 次的搬 者於晶 搬送至該次 預先對該特 放室開始, 自動搬送步 送控制方 圓上之灰塵 次單位 送主電 記憶裝 搬送於 的儲放 電腦所 灰塵監 儲放室 搬送模 收該灰 的搬送模 腦 置之該搬送 產品晶圓的 至之步驟; 報告的搬送 視用晶圓的 中取出,並 式所規定的 塵監視用晶第41頁 ^12 、、申請專利範圍 式,(:)將潔淨室内灰塵監视用晶圓批次單位的搬送模 置中之牛Ξ錄於控制搬达控制系統的搬送主電腦的記憶裝 模式(b)㈣灰塵監視用晶81,依照該記憶裝置之該搬送 恢式,以批次為單位,至少复士 ^ 、 搬送路# P ^ ^ ^ 一中一部份搬送於產品晶圓的 路…1自動進入該搬送路徑上的儲放室之步驟; 的進Li ΐ到來自該儲放室所報告該搬送主電腦之批次 塵監稍用s m Μ 4 1 ^便啟動計時機構,針對該灰 孤視用晶圓的批次,依昭 過預定的特定時間時,便以:機計時結果’在超 視用晶圓的批次,所應搬送模;’決定該灰塵監 # 愚版适至的次一儲放室之步驟; (d) 由保官該灰塵監視用曰 搬送至該次-儲放室之步之该儲放至中取出’並 (e) 在依照該灰塵監滿田曰间 1 ^ 搬送路徑,進行自動回之該搬送模式所規定的 圓,並執行灰塵檢查之步ς畢時’便回收該灰塵監視用晶 1 3 · —種搬送控制方法,| -批次在舖設於製程間二'程間搬送機構,將晶圓逐 於: 纟、路上進行自動搬送,其特徵在 記憶農置,χ ί ϊ ΐ 5搬送控制的搬送主電腦,係具備有 針對在係包含有: 規定其搬送路徑的二:未施行處理的特定用途批次,將由 送模式,與模犬〗D 順序(稱「搬送步驟」)所形成的搬 、 &'別資訊)間的對應關係予以登錄的搬第42頁 519672 六、申請專利範園 送路徑模式表,以及 供記憶管理該特定用途批次的批次ίΐ} 式iD的對應Μ係,及該搬送步驟申^戟別貝訊)與模 表者; 、处置製程的批次路徑 而且,當批次進入該搬送步驟程序中之一·〜 接收來自該儲放室的該批次進入報告後,至訏, 用途,同時啟動計時器,當該計時器產 ^,批次的 的用,屬特定用途批次時,便視為屬於該儲放=批次 已經完畢,並參照該批次路徑表,由兮〜 々製程 次id中,取得對應該批次ID的模式ID' 2:=次的批 ID ’檢素該搬送路徑模式表,而取得對應模式 核式,並由該搬送模式中決定次一製程了 μ吴式ID的搬送 對保管該特定用途批次之該 途批製程的儲放室中進行搬送= 定用 主電腦的搬送指二= J殊=收到來自該搬送 且該特殊用途批次在ί,δ亥:t殊用途批次予以取出, 上,均進行自動搬送步驟者。 至為止的通路 1 4 · 一種搬送控制驻w 在製造設備中Λ Λ 下列批次之自動搬送控制:由 或保管由上之晶圓所組成的特定用途批次; 所組成的批次之蚀:ί批次與在製造設備中被處理之晶圓 斗“ 儲放室間的批次者; 控制裝置之特徵在於: 具備有:第43頁 519672 六、申請專利範圍 當特定用途批次放入其中一鍅 — 儲放室的批次進入報止,@ #纟 至t,便接收來自該 一在進入於該儲放室的批次之中,針對該】宏用、、伞4 次,根據該計時器的計時結果,由該 ^ a ”比 視同忒批次的製程已完#,而依照記憶於該呓 J便 特定用途批次的該搬送模式,決定該;1 =二中该 個搬送程序的構件;與 、 途#夂的次一 對保管該特殊用途批次之儲放 途批次搬送至該所決定的次匕出將該特殊用 .種圯錄媒體,記錄有供構成一搬送控制裝置的雷^ 導:列批次之自動搬送控制:由在製造設備中 二門造設備中被處理之晶圓所組成的批次之儲 放至間的批次者;其特徵在,於: 词 該(a)〜(c)處理係: 兮健2)在特定用途批次進入其中一儲放室時,接收來自 该儲放室的批次進人報告,並啟動計時H的處理; 姐4(b)在進入於該儲放室的批次之中,針對該特定用i余 =,根據該計時器的計時結果,由該特定用途入 ::放室開始起算,在經過預定之特定時 : ,同,次的製程已完畢,而依照記憶於該記以中 之U特疋用途批次的該搬迭模式,決定該特定用途^次的第44頁 519672 申請專利範圍 次—個搬送程序之處理; (C)對保管該特定用途批次的儲放 之搬送至次一製程的搬送指示之Π放至輪出該所決定 :二錄媒二記錄有供構成一搬送控制裝置的電腦 製程間搬送機構,將晶圓逐一批次在舖設制裝置: =上進行自動搬送的系統中,主導下列批次之自動搬 的:t用由在半導體製造設備中未執行處理之晶圓所組成 製造::ί批ΐ,或保管由上述特定用途批次與在半導體 者°又中被處理之晶圓所組成的批次之儲放室間的批次 其特徵在於: 導該搬送系統之搬送控制的搬送主電腦,係具備有 。f、裝置,而該記憶裝置係包含有: 保g 欠表’用以管理各儲放室所保管的批次; 定用t ΐ徑模式表,針對名製造設備中未施行處理的特 驟;:人,將由規定其搬送路徑的步驟列(稱「搬送步 關i Α所形成的搬送模式,與模式1D (識別資訊)間的對應 關係予以登錄;及 ID(批路經表,供記憶管理該特定用途批次的批次 :別資訊)與模式ID的對應關係,及該搬送步 始處理步驟; 該(a)〜(d)處理係: (a) §批次進入該搬送步驟程序中之一儲放室時,接519672收來自該儲放室的該批次進入報告後 理; 便啟動計時器的處 並執行該批次用途的判 (b ) 接收該批次的入庫報告 斷處理; (C)當該計時器產生逾時,且該批次的用 途批次時,便視為屬於該儲放室内的製 f特疋用 照該批次路徑表,由該特定用途批二 畢取=應=Π)的模式Π),然後根據該模式11},檢素該搬送』 徑模式表,而取得對應該模式ID的搬送模式,並由該搬吳 模式中決定次一製程的處理; ^ ^ (d)對保管該特定用途批次之該儲放室,發送出將今 特定用途批次,朝該次一製程的儲放室中進行搬送的搬^ 指示的處理。 、
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