KR970077451A - 반도체 제조설비의 파일럿(Pilot) 공정 자동화 시스템 및 자동화 방법 - Google Patents
반도체 제조설비의 파일럿(Pilot) 공정 자동화 시스템 및 자동화 방법 Download PDFInfo
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Abstract
한 로트로 수용된 웨이퍼 중 일부를 미리 수행될 특정 공정을 수행시켜서 공정 결과를 계측하여 특정 공정이 수행될 설비의 공정조건을 설정하는 것을 자동화시키는 반도체 제조설비의 파일럿(Pilot) 공정 자동화 시스템 및 자동화 방법에 관한 것이다.
본 발명은 복수 개의 반도체 제조용 설비의 계측기를 구비하는 반도체 제조 설비에 있어서, 상기 각부 간의로 로트단위 웨이퍼를 이송시키고, 파일럿 공정시 로트 단위의 웨이퍼의 이송을 중지시키고, 상기 로트에 포함된 수매의 웨이퍼를 상기 설비 및 계측기로 이송시킨 후 해당 로트 위치로 복귀시키는 이송동작을 수행하는 자동 반송기 및 파일럿 공정을 위한 상기 자동반송기의 상기 동작을 제어하고, 상기 계측기에서 계측된 파일럿 계측데이터를 자동 수집하여 상기 공정설비의 설정환경을 조정하는 제어 컴퓨터를 구비하여 이루어진다.
따라서, 파일럿 공정이 자동화되고, 특정 로트에 대하여 환경이 최적화된 후 공정이 진행되므로 생산성 및 수율이 향상되는 효과가 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 반도체 제조설비의 파일럿 공정 자동화 시스템의 실시예를 나타내는 블록도이다.
Claims (3)
- 복수 개의 반도체 제조용 설비한 계측기를 구비하는 반도체 제조 설비에 있어서, 상기 각부 간으로 로트단위 웨이퍼을 이송시키고, 파일럿(Pilot) 공정시 로트 단위의 웨이퍼의 이송을 중지시키고, 상기 로트에 포함된 수매의 웨이퍼를 상기 설비 및 계측기로 이송시킨 후 해당 로트 위치로 복귀시키는 이송동작을 수행하는 자동반송기; 및 파일럿 공정을 위한 상기 자동반송기의 상기 동작을 제어하고, 상기 계측기에서 계측된 파일럿계측데이터를 자동 수집하여 상기 공정설비의 설정환경을 조절하는 제어 컴퓨터를 구비함을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 파일럿 공정 자동차 시스템.
- 제1항에 있어서, 상기 제어 컴퓨터는 복수개의 단말기에 접속됨을 특징으로 하는 상기 반도체 제조설비의 파일럿 공정 자동화 시스템.
- 로트 단위로 웨이퍼를 이송시켜서 각 반도체 제조공정을 순서적으로 수행하는 반도체 제조설비의 공정자동화 방법에 있어서, 상기 로트에 포함된 소정 개수의 웨이퍼가 공정설비에 이송되어 상기 로트가 수행될 특정 공정에 대한 파일럿 공정을 미리 실시한 후 그 결과에 따른 계측데이터를상기 로트에 대하여 상기 특정 공정을 수행할 설비에 설정된 데이터와 조합하여 새로운 공정조건을 설정시키도록 제어함을 특징으로 하는 반도체 제조설비의 파일럿 공정 자동화 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960016207A KR970077451A (ko) | 1996-05-15 | 1996-05-15 | 반도체 제조설비의 파일럿(Pilot) 공정 자동화 시스템 및 자동화 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960016207A KR970077451A (ko) | 1996-05-15 | 1996-05-15 | 반도체 제조설비의 파일럿(Pilot) 공정 자동화 시스템 및 자동화 방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970077451A true KR970077451A (ko) | 1997-12-12 |
Family
ID=66219491
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960016207A KR970077451A (ko) | 1996-05-15 | 1996-05-15 | 반도체 제조설비의 파일럿(Pilot) 공정 자동화 시스템 및 자동화 방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970077451A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010078287A (ko) * | 2000-02-04 | 2001-08-20 | 가네꼬 히사시 | 반도체반송설비의 특수로트반송제어시스템 및 방법과 장치및 기록매체 |
-
1996
- 1996-05-15 KR KR1019960016207A patent/KR970077451A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010078287A (ko) * | 2000-02-04 | 2001-08-20 | 가네꼬 히사시 | 반도체반송설비의 특수로트반송제어시스템 및 방법과 장치및 기록매체 |
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