JPH0785154A - ロット管理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 特殊ロットをロット管理装置の中枢のライン
管理コンピュータ１に面倒な登録をすることなくより下
位のコンピュータに簡単に登録しつつ通常のロットと同
様に自動的に搬送できるようにする。 【構成】 特殊ロット登録部４１を有し、特殊ロットと
その処理に必要な製造基礎情報についての入力が為され
ると該ロット登録部４１においてその入力データを処理
して待ちロットファイル４２に記憶するようにされ、作
業開始予約すべきロットとしての選択の対象にその特殊
ロットもなり得るようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ロット管理装置、特に
一つのライン管理コンピュータと、それに従属する複数
の工程ホストコンピュータと、ライン内の複数のエリア
間においてロットを搬送する搬送管理コンピュータと、
上記工程ホストコンピュータに従属する工程内管理コン
ピュータ等によってライン内のロット処理に必要なロッ
ト管理を行うロット管理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造、特にウェハ段階での
製造は、ライン全体を管理するライン管理コンピュータ
とそれに従属する複数の工程ホストコンピュータとその
工程ホストコンピュータに従属する複数の工程内管理コ
ンピュータ等からなる多数のコンピュータによって各製
造装置を制御したり、製造装置を監視あるいは操作する
オペレータ（作業員）に対して指示を発したりすること
により行われる。

【０００３】そして、製造装置による処理は、一定枚数
（例えば２５枚）のウェハを１まとめにしたロットを、
オペレータの指示のもとで工程管理搬送機を使用して目
的の製造装置のあるエリアのステーションへ搬送し、製
造装置を監視するオペレータがその製造装置での投入準
備が完了したのを確認したうえでエリア内における搬送
指示をして搬送ロボットにそのステーションからその製
造装置へのロットの搬送をさせ、そして、製造装置にロ
ットに対する一つの処理を行わせるという方法で行われ
た。

【０００４】また、ロットが製造装置での処理を終えた
とき行うロットの回収も、オペレータが処理の終了を確
認したうえで当該エリア内における搬送指示を発して搬
送ロボットをしてロットの製造装置からステーションへ
の搬送をさせる。このように、従来のロット管理装置に
おいてはオペレータが製造装置を監視し、そしてロット
の搬送を指示することが半導体装置の製造に不可欠であ
った。

【０００５】そのため、一つのライン管理コンピュータ
と、それに従属する複数の工程ホストコンピュータと、
ライン内の複数のエリア間においてロットを搬送する搬
送管理コンピュータと、上記工程ホストコンピュータに
従属する工程内管理コンピュータ等によってライン内の
ロット処理に必要なロット管理を行うロット管理装置が
本願出願人会社において開発され、相当の省力化が可能
になった。このようなロット管理装置においては、ライ
ンに流すロットはすべてそのロット処理に必要な基礎情
報をライン管理コンピュータに入力し、ロットに関する
処理に必要な基礎情報をすべてライン管理コンピュータ
から適宜下位のコンピュータにダウンロードされて制御
に使用されるようになっている。

【０００６】ところで、半導体装置の製造のためにでは
なく、装置の能力、クリーンルーム内のクリーン度の確
認のため、あるいは試作のために特殊ロットを一時的に
ライン内の製造装置により処理を例えば１回程する必要
の生じる場合が少なくない。このような特殊ロットは、
従来においては、ロット管理装置の管理の下で自動的に
搬送が行われる自動搬送システムを用いず、製造装置や
搬送機の搬送モードを自動モードから手動モードに切換
えて人手によって搬送に必要なウェハキャリアのセッ
ト、製造装置の処理条件のセット等の各操作を行うこと
により搬送、作業を行うようになっていた。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、一時的にラ
インに流し一つの製造装置により例えば一つの処理のみ
を行う特殊ロットといえども、その搬送や製造装置への
セット、製造装置への処理条件の入力等を人手によって
行わなければならないことは省力化を制約する要因とな
り好ましくなく、また、人手によるとオペレータにかか
る負担が重くなりミスも生じ易いので問題であった。

【０００８】そのため、かかる特殊ロットについて通常
ロットと同様に基礎情報をライン管理コンピュータに登
録して通常ロットと同様にライン内を流れるようにする
ことが考えられるが、ロット管理装置の中枢にあたるラ
イン管理コンピュータへのロットの登録は非常に重要な
ので、入力項目が多くチェックポイントも多い。従っ
て、ロット登録にきわめて時間がかかる。

【０００９】ところで、普通の量産を目的とするロット
に対してはその基礎情報の登録に時間がかかるのはやむ
を得ないが、特殊ロットは特定の目的を達成（例えば汚
染度の測定）すれば良く完全な製品にする必要がないも
のであるが、それにも拘らず通常のロットと同様に厳格
に基礎情報をライン管理コンピュータに登録するのは面
倒であり、また、ロット管理装置の中枢のライン管理コ
ンピュータに登録をしてラインに流すようにすると、オ
ペレータが待ちロットに流す必要性が生じてから実際に
ラインに流れるまでに大きなタイムラグが生じたりす
る。また、特殊ロットのライン管理コンピュータへの登
録によりそのデータがダウンロードされて特殊ロット以
外の多くのコンピュータにも大きな影響が生じ好ましく
ないことが多い。

【００１０】本発明はこのような問題点を解決すべく為
されたものであり、特殊ロットをロット管理装置の中枢
のライン管理コンピュータに面倒な登録をすることなく
より下位のコンピュータに簡単に登録して通常のロット
と同様に自動的に搬送できるようにすることを目的とす
る。

【００１１】

【課題を解決するための手段】請求項１のロット管理装
置は、工程内管理コンピュータが特殊ロット登録部を有
し、特殊ロットとその処理に必要な製造基礎情報につい
ての入力が為されると該ロット登録部においてその入力
データを処理して上記待ちロットファイル又は特殊ロッ
ト専用ファイルに記憶するようにされ、予約すべきロッ
トとしての選択の対象にその特殊ロットもなり得るよう
にされたことを特徴とする。

【００１２】請求項２のロット管理装置は、請求項１の
ロット管理装置において、特殊ロットについて予約の実
行としての作業が終了したとき待ちロットファイル又は
特殊ロット専用ファイルに記憶されている上記特殊ロッ
トに関する情報を削除するようにされてなることを特徴
とする。

【００１３】請求項３のロット管理装置は、請求項１又
は２のロット管理装置において、工程内管理コンピュー
タの特殊ロット登録部がオペレータから特殊ロットとそ
の処理に必要な製造基礎情報についての入力を受けると
きその特殊ロットを搬送するキャリアの指定も受け付
け、待ちロットファイル又は特殊ロット専用待ちロット
ファイルは上記入力に係る特殊ロットとその処理に必要
な製造基礎情報と共に、その特殊ロットを搬送するキャ
リアも記憶し、工程内管理コンピュータが搬送キャリア
が指定された特殊ロットの予約の実行のために搬送管理
コンピュータに搬送を指示するにあたりその特殊ロット
を搬送するキャリアの指定をするようにされたことを特
徴とする。

【００１４】

【作用】請求項１のロット管理装置によれば、ロット管
理装置の中枢にあたるライン管理コンピュータではな
く、ライン管理コンピュータに従属する工程ホストコン
ピュータの更に下位の工程内管理コンピュータが特殊ロ
ットとその処理に必要な製造基礎情報の入力を受け付け
て待ちロットファイルあるいは特殊ロット専用ファイル
に記憶させる特殊ロット登録部を有し、その特殊ロット
が、ライン管理コンピュータに製造基礎情報が登録され
てライン管理コンピュータによる管理を受ける通常のロ
ットと全く同様に作業開始予約の対象となり得るように
したので、オペレータがマニュアルにより特殊ロットの
搬送や製造装置へのセット、製造装置への処理条件の入
力をする必要を伴うことなく特殊ロットが所望の製造装
置による処理を施されるようにすることができる。

【００１５】そして、通常のロットとは異なり特殊ロッ
トの基礎情報を工程内管理コンピュータに登録して待ち
ロットとできるので、通常のロットより入力項目やチェ
ック項目が少なくて済む。従って、特殊ロットの登録の
ための入力を簡単に行うことが可能である。そして、工
程内管理コンピュータにより待ちロットの登録や作業開
始予約及びその実行のための搬送の指示を行うので、特
殊ロットの管理をライン管理コンピュータや工程ホスト
コンピュータに影響を及ぼすことなく行うことができ
る。

【００１６】請求項２のロット管理装置によれば、特殊
ロットについての作業開始予約の実行としての作業が終
了したとき工程内管理コンピュータが待ちロットファイ
ルあるいは特殊ロット専用ファイルに記憶されている特
殊ロットに関する情報を削除するので、特殊ロットのデ
ータが蓄積してロットのデータを記憶する領域が特殊ロ
ットデータで占有されるというような不都合の生じる虞
れがない。請求項３のロット管理装置によれば、特殊ロ
ットの登録に際してそのロットを搬送するキャリアの指
定も受け付けるので、特殊ロットがその搬送に不適当な
キャリアにより搬送される虞れがなくなる。

【００１７】

【実施例】以下、本発明ロット管理装置を図示実施例に
従って詳細に説明する。図１乃至図１２は本発明ロット
管理装置の一つの実施例を説明するためのものであり、
図１はロット管理装置による管理の対象となる半導体装
置の製造ラインの概略構成を示す平面図であり、これに
従ってラインの概略を説明する。

【００１８】図面において、ａはライン全体であり、具
体的には１つのクリーンルームあるいはその一部の領域
からなり、一つのラインａは複数のエリアｂ、ｂ、…に
分割されている。各エリアｂにはそれぞれ複数の製造装
置ｃ、ｃ、…（尚、一つしか製造装置がない場合もあり
得る。）と、一つのステーションｄと、一つの工程内搬
送ロボットｅが設けられている。製造装置ｃ、ｃ、…は
それぞれロットに対して処理（作業ともいう）を行うも
のであり、処理の種類としては例えば洗浄、拡散、測
定、フォトレジストの塗布・露光・現像、ＣＶＤ、ＲＩ
Ｅ等が挙げられる。

【００１９】ステーションｄは待機中のロットを保管す
る自動倉庫、ｅはエリアｂ内において該ステーションｄ
と各製造装置ｃ、ｃ、…との間でのロットの搬送を行う
工程内搬送ロボット、ｆは工程内搬送ロボットｅが通る
通路である。ｇはロットａ内の全エリアｂ、ｂ，…を一
巡するように形成された通路で、ここを工程間搬送ビー
クルｈが通るようになっている。該工程間搬送ビークル
ｈは異なるエリアｂ・ｂ間におけるロットの搬送を行う
もので、具体的にはステーションｄからロットを受け取
り通路ｇに移動して別のエリアのステーションｄへロッ
トを渡す働きをする。

【００２０】図２は本ロット管理装置の全体的構成を示
す構成図である。１はライン管理コンピュータで、ライ
ン全体を管理するものであり、ロット処理に必要な製造
基礎情報を保持している。具体的には、各ロットに対し
て一連の工程について作業指示をするための作業指示基
礎情報、ラインａ内の各製造装置ｃ、ｃ、…についての
情報である製造設備基礎情報、更にはステーションｄ、
工程間搬送ビークルｈ、工程内搬送ロボットｅ等の搬送
機器に関する情報を持ち、必要に応じて自己に従属する
工程ホストコンピュータ２、２、…に情報を提供したり
指示をしたりする。

【００２１】また、ライン管理コンピュータ１は工程ホ
ストコンピュータ２、２、…から定期的（例えば１日１
回）に各種情報を受けライン全体を把握する。工程ホス
トコンピュータ２、２、…から受け取る情報にはロット
作業実績情報、装置稼動実績情報、ロット品質実績情
報、装置品質実績情報がある。工程ホストコンピュータ
２、２、…は工程の種類毎に設けられたもので、すべて
工程ホストコンピュータ１に従属し、自己の管轄工程
（例えば洗浄工程に対して設けられた工程ホストコンピ
ュータ２だと洗浄工程）に仕掛っているロットの進捗の
把握、ロット作業の指示を行う。そして、各工程ホスト
コンピュータ２、２、…はそれぞれ一又は複数の工程内
管理コンピュータ３、３、…を支配する。

【００２２】工程内管理コンピュータ３、３、…は、製
造装置制御コンピュータ４を介して自己の管轄エリア内
の各製造装置ｃ、ｃ、…を制御したり、搬送ロボット制
御コンピュータ５を介して工程内搬送ロボットコントロ
ーラｅを制御し、また、工程間搬送の指示に必要な情報
の工程ホストコンピュータへの送出等を行うもので、そ
のほかにも表示要求に基づく待ちロット情報の表示、作
業開始予約、特殊ロット登録等も行い、行う仕事の種類
は多岐に渡る。その詳細については後で詳述する。尚、
７は工程内搬送サブシステムで、搬送ロボット制御コン
ピュータ５、それによって制御されて工程内搬送ロボッ
トｅを制御する搬送ロボットコントローラ６及び工程内
搬送ロボットｅによって構成される。

【００２３】８は搬送管理コンピュータで、全工程ホス
トコンピュータ２、２、…から各種指示、各種情報を受
けて工程間搬送制御コンピュータ９に対して工程管理搬
送指示を行い、また、工程間搬送制御コンピュータ９か
ら工程間搬送完了報告、工程間搬送機（工程間搬送ビー
クルのこと）異常データを受けて工程ホストコンピュー
タ２へロット所在情報を送る。工程間搬送制御コンピュ
ータ９は上述したように搬送管理コンピュータ８により
制御され、そして、ステーションコントローラ１０を介
して各ステーションｄ、ｄ、…をコントロールすると共
に、工程間搬送コントローラ１１を介して工程間搬送ビ
ークルｈをコントロールする。

【００２４】尚、工程間搬送制御コンピュータ９は搬送
ロボット制御コンピュータ５からもウェハキャリア引当
情報や工程内出庫指示を受け、そして搬送ロボット制御
コンピュータ５に対しては出庫完了報告や入庫完了報告
を行う。尚、１２は工程間搬送サブシステムで、工程間
搬送制御コンピュータ９、ステーションコントローラ１
０、各ステーションｄ、ｄ、…、工程間搬送コントロー
ラ１１、工程間搬送ビークルｈにより構成される。尚、
図２において、ｉはウェハキャリア、ｊはウェハであ
る。

【００２５】図３はロット管理装置の全体的データの流
れを示すデータフロー図である。図４は上記ライン管理
コンピュータ１の機能を解り易く表現した機能ブロック
図であり、この図によってライン管理コンピュータ１の
働きをより詳細に説明する。

【００２６】１３は製造基礎情報登録部で、作業指示基
礎情報、搬送設備基礎情報、搬送基礎情報の新規登録、
変更、削除の入力があるとそれを受け付ける。１４は作
業指示基礎情報管理部で、作業基礎情報ファイル１５、
製造設備基礎情報ファイル１６、搬送設備基礎情報ファ
イル１７を管理し、必要に応じて工程ホストコンピュー
タ２へ情報をダウンロードする。作業指示情報について
はロットの進捗に応じて必要最小限のデータをダウンロ
ードし、その他の情報、即ち、製造設備情報と搬送設備
情報は基礎情報登録変更部１３で新規登録又は変更、削
除が実施されたときだけ変更部分だけをダウンロードす
る。

【００２７】１８は生産実績情報管理部で、ロットの進
捗に応じて工程ホストコンピュータ２、２、…から１日
１回まとめて報告される実績情報をロット作業実績ファ
イル１９、製造設備稼動実績ファイル２０、ロット品質
実績ファイル２１、製造設備品質実績ファイル２２に分
類して一定期間保存する。保存されているデータはレポ
ート表示部２３や帳票出力部２４を経てライン管理者や
品質管理者のほか設備管理者に配布されると同時に、周
辺システムリンケージ部２５を経て周辺システム２６へ
報告される。

【００２８】図５は工程ホストコンピュータ２の機能ブ
ロック図である。２７は作業進捗管理部で、自己（工程
ホストコンピュータ２）が管轄する工程（例えば拡散）
に仕掛っているロットの進捗を管理し、そして、ロット
のその工程（作業）が終了して別の工程ホストコンピュ
ータ２が管理する工程（例えば洗浄）が行われることに
なるとその工程ホストコンピュータ２（上記別の工程ホ
ストコンピュータ２）にそのロットの進捗管理の依頼を
する。２８は作業開始予約処理部で、工程内管理コンピ
ュータ３で作業開始予約（これについては後で詳述す
る。）されるとその予約されたロットのステータス（ロ
ット状態）を予約済にし同時にそのロットの詳細情報を
工程内管理コンピュータ３にダウンロードする。

【００２９】２９は作業実績情報処理部で、ロットの作
業実績情報を１日１回１日分まとめてライン管理コンピ
ュータ１へ報告する役割を果す。３０はロット進捗管理
ファイルで、ロットの進捗管理データを保存する。３１
はロット進捗管理ファイル３０のデータに基づいて待ち
ロットリストを編集する待ちロット編集部で、工程内管
理コンピュータ３から待ちロットリストの要求があった
ときにそのリストをその工程内管理コンピュータ３へ送
出する。このリストは工程内管理コンピュータ３から図
示ないオペレータ用端末装置のディスプレイに表示され
る。この点についても後で詳述する。

【００３０】図６は搬送管理コンピュータ８の機能ブロ
ック図である。３２はウェハキャリア状態管理部で、各
キャリアｉ、ｉ、…のステータス、保管場所についての
管理を行う。３３は工程内管理コンピュータ３の要求に
基づいて指定されたロットを引当状態とし以後人による
ステーションｄからの出庫、搬送を禁止する処理をする
ウェハキャリア引当処理部である。

【００３１】３４は工程内管理コンピュータ３からの工
程間搬送指示についての管理をする工程間搬送指示管理
部で、工程間搬送指示発行部３５に工程間搬送制御コン
ピュータ９宛の搬送指示を送信させる。３６は搬送指示
のデータ管理をする搬送指示管理ファイルで、上記工程
間搬送指示発行部３５から搬送指示が送信されたときは
その搬送が終了するまでそのファイル３６に搬送指示が
保存され、管理される。そして、搬送が終了すると工程
間搬送結果報告部３７を通して工程内管理コンピュータ
３へその旨報告される。３８はウェハキャリア状態管理
ファイルで、ウェハキャリアｉ、ｉ、…の管理用データ
を保存する。３９はウェハキャリア在庫情報収集部で、
工程内管理コンピュータ３の要求に従って該当キャリア
の在庫情報を検索し、その結果を工程内管理コンピュー
タ３へ報告する。

【００３２】図７は工程内管理コンピュータ３の機能ブ
ロック図である。４０は特殊ロット登録情報入力部であ
り、オペレータによる特殊ロットの登録入力があればそ
れを受け付けるもので、受け付け後特殊ロット登録部４
１により登録処理され、登録内容は待ちロットファイル
４２に保存される。ここで、特殊ロットとはシステムに
登録されていない、具体的にはライン管理コンピュータ
１に登録されていないが、例えば試作、あるいは製造装
置の能力チェック等のため人の管理下でラインに流すロ
ットである。ラインに流す通常のロットはすべてそのロ
ット処理に必要な基礎情報をライン管理コンピュータ１
にきちんと入力し、そして、そのロットに関する処理に
必要な基礎情報はすべてライン管理コンピュータ１から
適宜下位のコンピュータにダウンロードされて制御に使
用されるのが原則である。試作品であっても長期的に行
う試作の場合は通常のロットとしてラインに流し、ライ
ン管理コンピュータ１による管理下におかれる。

【００３３】しかるに、一時的にラインに流すロットに
ついては処理する回数が例えば１回と少なく大型のライ
ン管理コンピュータ１を煩わしてしかも面倒な入力を経
て時間をかけて管理するのは非効率的である。そこで、
オペレータの入力操作によって工程内管理コンピュータ
３に簡単にロット基礎情報を登録し、工程内管理コンピ
ュータ３の管理下においてロットを処理できるようにす
る機能を工程内管理コンピュータ３に持たせるようにし
たのであり、かかるロットを特殊ロットと称しているの
である。

【００３４】尚、特殊ロットの登録処理が特殊ロット登
録部４１において為されると、待ちロットファイル４２
に登録内容が保存されると共に、搬送管理コンピュータ
８へその特殊ロットの搬送に使用されるべきウェハキャ
リアｉの登録情報が通知される。ウェハを搬送する場合
にライン内にあるどのウェハキャリアを用いても良いと
いうわけではないので、ロットが指定されるときウェハ
キャリアも指定されるのが普通である。というのは、ウ
ェハの現在の状態と次の工程とのかねあいでキャリアに
ついての各種の汚染に対しての許容度が大きく変り、あ
る種の汚染は絶対に許されないが別のある種の汚染につ
いてはある限度で許されるということがあり、ロットを
搬送するときそれに用いるキャリアの選択も非常に重要
だからである。

【００３５】４３は待ちロット情報処理部で、オペレー
タから待ちロットリストの表示要求（図示しない端末装
置の操作により為される）があると工程ホストコンピュ
ータ２に対して待ちロット情報を要求し、その要求に応
じて工程ホストコンピュータ２から送られてきた待ちロ
ット情報を上記待ちロットファイル４２に保存する。該
ファイル４２は特殊ロット登録部４１により登録処理さ
れた待ち特殊ロットも待ちロット情報処理部４３により
処理された通常の待ちロットも保存する。尤も、特殊ロ
ット専用待ちロットファイルを設け、特殊ロットが待ち
ロットとなっているものをそれに保存するようにしても
良い。そして、それと同時に、待ちロットの情報が情報
表示部４４により処理されて図示しない端末装置のディ
スプレイに表示され、オペレータはそれを視ることがで
きる。

【００３６】４５はロット選択情報入力部で、オペレー
タが上記ディスプレイにより表示されたところの当該工
程ホストコンピュータ２の管轄工程に仕掛っている待ち
ロットリストから一つのロットを作業予約対象ロットと
して選択する入力をしたときの入力を受け付けるもので
ある。４６は作業開始予約処理部で、ロット選択情報入
力部４５からロット選択情報入力を受けるとそのロット
を予約済ロットとして予約済ロットファイル４７に登録
する。登録されるのは、ロット番号［ロットＩＤ（アイ
デンティティ）］だけでなく作業指示のための詳細情報
も登録される。

【００３７】尚、オペレータがロット選択情報入力部４
５に入力するのは、ロットの番号のほか、加工装置の番
号、同時に装置に投入する組合せ（以後「バッチ組」と
いう。）、装置に投入する順番である。４８は作業開始
予約に基づいて工程間搬送の引き取り搬送指示を発する
処理をする工程間引き取り搬送指示発行処理部で、ここ
で発行された工程間搬送の引き取り搬送指示は搬送管理
コンピュータ８に送られると共に、工程ホストコンピュ
ータ２にも送られる。

【００３８】４９は製造装置情報収集部で、製造装置制
御コンピュータ４から報告される状態変化情報や異常発
生情報のほか作業実績データ等を収集するものであり、
収集された情報は装置状態管理ファイル５０に格納され
る。５１は処理バッチ編成処理部であり、装置状態管理
ファイル５０と搬送状態管理ファイル５２に格納されて
いる情報を参照して製造装置ｃと工程内搬送ロボットｅ
の状態を監視し、工程内搬送が実施可能になったことが
確認されると搬送の対象となるロットの所在を確認し、
ステーションｄに格納されているときは以後オペレータ
によるそのロットの出庫ができないようにガードをかけ
たり（斯るガードをかける処理を引当処理という）、加
工処理においてウェハキャリアの変換が必要な場合には
交換先ウェハキャリアの有無の確認と、予約処理及び引
当処理の依頼の搬送管理コンピュータ８及び搬送ロボッ
ト制御コンピュータ６宛発行を行う。

【００３９】５３は工程間／工程内搬送情報収集部で、
搬送管理コンピュータ８と搬送ロボット制御コンピュー
タ５から報告される搬送設備の状態変化情報や異常発生
情報のほか搬送指示の進捗情報を収集するもので、収集
した情報は搬送状態管理ファイル５２に格納する。５４
は作業管理部で、装置状態管理ファイル５０と搬送状態
管理ファイル５２に格納されている情報を参照しながら
製造装置ｃと工程内搬送ロボットｅの状態を監視をし且
つ各種指示等を行うものである。具体的には、処理バッ
チ編成処理以後のバッチの進捗を管理し、出庫指示、工
程内供給搬送指示、加工開始指示、工程内回収搬送指示
を発行する。これ等の指示は装置制御指示発行処理部５
５を介して製造装置制御コンピュータ４へ、そして工程
内搬送指示発行処理部５６を介して搬送ロボット制御コ
ンピュータ５へ送られる。

【００４０】５７はロット終了処理部で、全作業終了又
は全数不良により終了したロットを工程内自動搬送によ
って回収搬送した後の特殊処理を行うものである。５８
はモード設定情報入力部で、モード設定の入力がされる
とそれを取り込むものである。モードには、マニュアル
モードと、ＳＥＣＳモードと、ＡＧＶモードがあり、マ
ニュアルモードは製造装置との接続はなく、工程内搬送
は人手により行われるものであり、ＳＥＣＳモードは製
造装置と接続され、工程内搬送は人手により行われるも
のであり、ＡＧＶは製造装置と接続され、工程内搬送は
工程内搬送ロボットｅにより自動的に行われるものであ
る。

【００４１】５９はモード設定情報入力部５８により入
力されたモード設定情報を処理してモード管理ファイル
６０に保存したり、モード変更時に必要な特殊処理を行
ったりするモード管理部である。６１は製造装置ｃ、
ｃ、…から報告される実績情報を収集する実績情報収集
部で、収集した実績情報を一時的に作業実績収集ファイ
ル６２に蓄積する。収集される実績情報には加工実績、
ロット作業実績、ロット品質実績、装置品質実績等の情
報がある。この実績情報は該ファイル６２に一時的に蓄
積された後実績情報処理部６３において処理され、そし
て、工程ホストコンピュータ２へ送られる。

【００４２】図８は工程間搬送制御コンピュータの機能
ブロック図である。６４は工程間搬送指示管理部で、搬
送管理コンピュータ８から搬送指示に基づいて搬送指示
についての管理をするものである。搬送管理コンピュー
タ８からの搬送指示は搬送指示管理ファイル６５により
一時的に保存される。その後、その搬送指示が工程間搬
送ビークルの状態や在庫数の外、その他の搬送指示の進
捗状況を監視しながらタイミングを見計らって工程間搬
送ビークルｈやステーションｄへ工程間搬送ビークル制
御部６６、ステーション制御部６７を経由して送られ
る。

【００４３】また、搬送や出庫が完了した場合や機器状
態が変化した場合には、工程間搬送指示管理部６４から
その旨の報告が搬送管理コンピュータ８に対して行われ
ると共に、ウェハキャリア在庫情報ファイル６８、搬送
指示管理ファイル６５の情報の書き換えが必要に応じて
行われる。６９は工程間搬送機器状態管理部で、工程間
搬送ビークルｈやステーションｄから報告される状態変
化報告を受信し、その内容を機器状態管理ファイル７０
に書き込むと共に、工程間搬送指示管理部６４へ報告す
る。

【００４４】図９は搬送ロボット制御コンピュータ５の
機能ブロック図である。７１は工程内搬送指示管理部
で、工程内管理コンピュータ３から搬送指示を受けると
それを一時的に搬送指示管理ファイル７２に格納し、そ
の後、複数の搬送指示が溜っている場合にはスケジュー
リングを行い、効率の良い指示に変換して工程内搬送ロ
ボット制御部７３を介して工程内搬送ロボットｈへ送信
する。実際には搬送ロボットコントローラ６へ送信す
る。

【００４５】７４は工程内搬送機器状態管理部で、工程
内搬送ロボットｈから報告される状態変化報告を受信
し、その内容を機器状態管理ファイル７５に書き込むと
共に、搬送管理コンピュータ３に工程内搬送指示管理部
７１へ報告する。７６は対製造装置インターロック制御
部で、製造装置ｃのロットのローダ／アンローダの状態
を監視しながら工程内搬送ロボット制御部７３と連携し
て安全に工程内搬送が行われるように工程内搬送ロボッ
トｈのコントロールを行う。

【００４６】図１０は製造装置制御コンピュータの機能
ブロック図である。７８はレシピー登録データ入力部
で、レシピー［作業（処理）の条件］の詳細な内容を入
力する。７９はレシピーデータ管理部で、レシピー登録
データ入力部７８にレシピーの詳細な内容が入力された
ときそれをレシピー管理ファイル８０に格納する。これ
はレシピー内容を作業コードをキーとして行われる。８
１は製造装置状態管理部で、製造装置ｃから報告された
状態変化報告を受けるとその内容を機器状態管理ファイ
ル８２に書き込む。この状態変化の情報は必要に応じて
工程内管理コンピュータ３へ報告される。

【００４７】８３は製造装置制御部で、工程内管理コン
ピュータ３からの指示に従って製造装置ｃにレシピーを
送信したり加工処理を開始するためのスタート指示を送
信したりする。レシピー送信の場合には工程内管理コン
ピュータ３で指定された作業コードに対応するレシピー
の詳細な内容をレシピー管理ファイル８０により検索し
て製造装置ｃへ送信するようになっている。以上でロッ
ト管理装置の各種コンピュータの機能の概要を終え、次
に本ロット管理装置の大きな特徴である特殊ロット登録
及びその抹消動作について説明する。図１１（Ａ）、
（Ｂ）はその動作についてのフローチャートである。

【００４８】（１）特殊ロットの登録要求は工程内管理
コンピュータ３の特殊ロット登録情報入力部４０によっ
て受け付けられる。この特殊ロットの登録要求は、図示
しないオペレータ用端末装置をオペレータが入力操作す
ることによって工程内管理コンピュータ３に対して行う
ようになっており、通常ロットの登録要求がライン管理
コンピュータ１の基礎情報登録変更部１３に対してライ
ン管理者に対して行われるようになっているのと大きく
異なる。工程内管理コンピュータ３の特殊ロット登録情
報入力部４０は特殊ロットの登録要求があるまでその要
求の有無の判定をし続ける。

【００４９】（２）特殊ロットの登録要求があるという
判定結果が得られたときはオペレータ用端末装置のディ
スプレイに図１２に示すような特殊ロット登録画面を表
示させる。オペレータはそのオペレータ用端末装置の入
力操作により特殊ロット登録画面に適宜書き込む等の入
力をすることにより特殊ロットの特定、製造装置、ウェ
ハキャリアの指定等を行う。ウェハキャリアの指定を行
うのは、前述のとおり、ウェハの搬送にはライン内にあ
るどのウェハキャリアを用いても良いというわけではな
く、ウェハの現在の状態及び次の工程とのかねあい等か
らキャリアについての各種汚染に対しての許容度が大き
く異なるからである。

【００５０】（３）工程内管理コンピュータ３の特殊ロ
ット登録部４１は、特殊ロット登録画面が上記ディスプ
レイに出ている間特殊ロットの登録データの入力が完了
したか否かを判定し続ける。 （４）特殊ロット登録データの入力が完了すると入力さ
れたデータにミスがないかをチェックする。ミスが発見
されたときはその旨をオペレータ用端末装置のディスプ
レイに映し出されている特殊ロット登録画面の中で表示
し、正しいデータの入力を促す。

【００５１】（５）入力データチェック（４）でＯＫ
（ミスなし）という判定結果が得られると工程内管理コ
ンピュータ３の特殊ロット登録情報入力部４０から特殊
ロット登録部４１に入力特殊ロット登録データが移され
る。すると、該特殊ロット登録部４１は、その移された
データ中からその特殊ロットの搬送に使用するものとし
て指定されたキャリアのＩＤ（アイデンティティ）を探
し、そのＩＤについての登録要求を搬送管理コンピュー
タ８に対して発する。即ち、ウェハキャリアの登録要求
を発行する。オペレータが特殊ロットを搬送するものと
して指定（選択）したキャリアによりその特殊ロットが
搬送されるようにするためである。この登録要求を受け
た搬送管理コンピュータ８はその登録要求にかかるウェ
ハキャリアｉをウェハキャリア状態管理ファイル３８に
格納する。

【００５２】（６）また、工程内管理コンピュータ３の
特殊ロット登録部４１は、特殊ロット登録データを工程
内管理コンピュータ３の待ちロットファイル４２に登録
する。尚、特殊ロット専用待ちロットファイルを設け、
特殊ロット登録データを登録するようにしても良い。こ
れで特殊ロットの登録が終了する。すると、特殊ロット
は待ちロットとして扱われることになる。ここで待ちロ
ットというのは、ある工程に仕掛っている作業開始予約
待ちのロットのことをいう。

【００５３】オペレータにより待ちロットの情報の表示
要求があると要求を受けた工程内管理コンピュータ３
は、工程ホストコンピュータ２のロット進捗管理ファイ
ル３０に格納され待ちロット編集部３１で編集されて送
られて来た待ちロットリスト情報と、工程内管理コンピ
ュータ３内の待ちロットファイル４２（あるいは特殊ロ
ット専用待ちロットファイル）中に待ちロットとして格
納されている特殊ロットとをオペレータ用端末装置のデ
ィスプレイに表示する。オペレータはその表示を視てそ
のリストの中から任意のロットを選び端末装置の入力操
作により作業開始予約をすることができる。この作業開
始予約にあたってはロットを指定するだけでなくその処
理をする製造装置ｃも指定することが必要である。

【００５４】しかして、オペレータがそのリストの中か
ら特殊ロットを選んでそれについて作業開始予約をする
と、その特殊ロットが作業開始予約の登録をされること
になる。その場合、作業開始予約されたものの作業順番
あるいは作業開始日時は作業開始予約処理部４６により
決定されるが、その特殊ロットに処理する順番がまわっ
てくると、その作業開始予約処理部４６によって工程間
搬送制御コンピュータ８宛に発せられた搬送指示に基づ
いて工程間搬送が行われる。そして、ステーションから
製造装置ｃへのロットの取り出しは処理順番のルールに
基づいて予約済ロットファイル４７に格納されているリ
ストの先頭のものから順番に取り出され、製造装置によ
り処理を受けることになる。待ちロットとなった後その
特殊ロットは通常のロットと全く同様にライン内におけ
る搬送、処理の対象となり、特に違った扱いをされるこ
とはない。登録のための入力に関して違いがあるに過ぎ
ない。

【００５５】（７）ところで、工程内管理コンピュータ
３において特殊ロットについて作業開始予約の実行とし
ての作業が終了したか否かの判定が行われる。 （８）その判定結果がＹｅｓであると工程内管理コンピ
ュータ３は自己、特に待ちロットファイル４２あるいは
特殊ロット専用待ちロットファイルから特殊ロットに関
する情報をすべて削除する。 （９）その後、工程内管理コンピュータ３は搬送管理コ
ンピュータ８に対して特殊ロットを搬送するものとして
登録されていたウェハキャリアについてその登録を抹消
する。具体的には搬送管理コンピュータ８のウェハキャ
リア在庫情報ファイル６８に対してウェハキャリアの登
録が抹消される。

【００５６】本ロット管理装置によれば、ロット管理装
置の中枢にあたるライン管理コンピュータ１ではなく、
ライン管理コンピュータ１に従属する工程ホストコンピ
ュータ２の更に下位の工程内管理コンピュータ３が特殊
ロットとその処理に必要な製造基礎情報の入力を受け付
けて待ちロットファイル４２あるいは特殊ロット専用フ
ァイルに記憶し、その特殊ロットも、ライン管理コンピ
ュータに製造基礎情報が登録されてライン管理コンピュ
ータによる管理を受ける通常のロットと全く同様に作業
開始予約の対象となり得るようにしたので、オペレータ
がマニュアルにより特殊ロットの搬送や製造装置へのセ
ット、製造装置への処理条件の入力をする必要を伴うこ
となく特殊ロットも所望の製造装置による処理を施され
るようにすることができる。

【００５７】そして、通常のロットとは異なり特殊ロッ
トについてはその基礎情報を工程内管理コンピュータに
登録して待ちロットとできるので、通常のロットより入
力項目やチェック項目が少なくて済む。従って、特殊ロ
ットの登録のための入力を簡単に行うことが可能であ
る。そして、工程内管理コンピュータ３により待ちロッ
トの登録や作業開始予約及びその実行のための搬送の指
示を行うので、特殊ロットの管理をロット管理装置の中
枢のライン管理コンピュータ１やそれに直接従属する工
程ホストコンピュータ２に影響を及ぼすことなく行うこ
とができる。

【００５８】そして、特殊ロットについての作業開始予
約の実行としての作業が終了したとき工程内管理コンピ
ュータ３が待ちロットファイル４２あるいは特殊ロット
専用ファイルに記憶されている特殊ロットに関する情報
を削除するので、特殊ロットのデータが蓄積してロット
のデータを記憶する領域が特殊ロットデータで占有され
るというような不都合の生じる虞れがない。また、特殊
ロットの登録に際してそのロットを搬送するキャリアの
指定も受け付けるので、特殊ロットがその搬送に不適当
なキャリアにより搬送される虞れはない。

【００５９】

【発明の効果】請求項１のロット管理装置は、工程内管
理コンピュータが特殊ロット登録部を有し、特殊ロット
とその処理に必要な製造基礎情報についての入力が為さ
れると該ロット登録部においてその入力データを処理し
て待ちロットファイル又は特殊ロット専用ファイルに記
憶するようにされ、予約すべきロットとしての選択の対
象にその特殊ロットもなり得るようにされたことを特徴
とするものである。従って、請求項１のロット管理装置
によれば、ロット管理装置の中枢にあたるライン管理コ
ンピュータではなく、ライン管理コンピュータに従属す
る工程ホストコンピュータの更に下位の工程内管理コン
ピュータが特殊ロットとその処理に必要な製造基礎情報
の入力を受け付けて待ちロットファイルあるいは特殊ロ
ット専用ファイルに記憶し、その特殊ロットも、ライン
管理コンピュータに製造基礎情報が登録されてライン管
理コンピュータによる管理を受ける通常のロットと全く
同様に作業開始予約の対象となり得るようにしたので、
オペレータがマニュアルにより特殊ロットの搬送や製造
装置へのセット、製造装置への処理条件の入力をする必
要を伴うことなく特殊ロットも所望の製造装置による処
理を施されるようにすることができる。

【００６０】そして、通常のロットとは異なり特殊ロッ
トとして工程内管理コンピュータに基礎情報を登録して
待ちロットとできるので、通常のロットより入力項目や
チェック項目が少なくて済む。従って、特殊ロットの登
録のための入力を簡単に行うことが可能である。そし
て、工程内管理コンピュータにより待ちロットの登録や
作業開始予約及びその実行のための搬送の指示を行うの
で、特殊ロットの管理をライン管理コンピュータや工程
ホストコンピュータに影響を及ぼすことなく行うことが
できる。

【００６１】請求項２のロット管理装置は、特殊ロット
について予約の実行としての作業が終了したとき待ちロ
ットファイル又は特殊ロット専用ファイルに記憶されて
いる上記特殊ロットに関する情報を削除するようにされ
てなることを特徴とするものである。従って、請求項２
のロット管理装置によれば、特殊ロットについての作業
開始予約の実行としての作業が終了したとき工程内管理
コンピュータが待ちロットファイルあるいは特殊ロット
専用ファイルに記憶されている特殊ロットに関する情報
を削除するので、特殊ロットのデータが蓄積してロット
のデータを記憶する領域が特殊ロットデータで占有され
るというような不都合の生じる虞れがない。

【００６２】請求項３のロット管理装置は、工程内管理
コンピュータの特殊ロット登録部がオペレータから特殊
ロットとその処理に必要な製造基礎情報についての入力
を受けるときその特殊ロットを搬送するキャリアの指定
も受け付け、待ちロットファイル又は特殊ロット専用待
ちロットファイルが上記入力に係る特殊ロットとその処
理に必要な製造基礎情報と共に、その特殊ロットを搬送
するキャリアも記憶し、工程内管理コンピュータが搬送
キャリアが指定された特殊ロットの予約の実行のために
搬送管理コンピュータに搬送を指示するにあたりその特
殊ロットを搬送するキャリアの指定をするようにされた
ことを特徴とするものである。従って、請求項３のロッ
ト管理装置によれば、特殊ロットの登録に際してそのロ
ットを搬送するキャリアの指定も受け付けるので、特殊
ロットがその搬送に不適当なキャリアにより搬送される
虞れをなくすことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明ロット管理装置の一つの実施例の管理対
象となるラインの概略構成を示す平面図である。

【図２】上記実施例の全体的構成図である。

【図３】上記実施例の全体のデータフローを示すデータ
フロー図である。

【図４】ライン管理コンピュータの機能ブロック図であ
る。

【図５】工程ホストコンピュータの機能ブロック図であ
る。

【図６】搬送管理コンピュータの機能ブロック図であ
る。

【図７】工程内管理コンピュータの機能ブロック図であ
る。

【図８】工程間搬送制御コンピュータの機能ブロック図
である。

【図９】搬送ロボット制御コンピュータの機能ブロック
図である。

【図１０】製造装置制御コンピュータの機能ブロック図
である。

【図１１】（Ａ）、（Ｂ）は特殊ロット登録及び抹消動
作のフローチャートである。

【図１２】特殊ロット登録画面例を示す図面である。

【符号の説明】

ａ ライン ｂ エリア ｃ 製造装置 ｄ ステーション ｅ 工程内搬送ロボット ｈ 工程間搬送ビークル １ ライン管理コンピュータ ２ 工程ホストコンピュータ ３ 工程内管理コンピュータ ４ 製造装置制御コンピュータ ５ 搬送ロボット制御コンピュータ ８ 搬送管理コンピュータ ９ 工程間搬送制御コンピュータ ４１ 特殊ロット登録部 ４２ 待ちロットファイル ４３ 待ちロット情報処理部 ４６ 作業開始予約処理部 ４７ 予約済ロットファイル ４８ 工程間引取搬送指示発行処理部

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 通常ロットのロット処理に必要な製造基
   礎情報を保持し、複数のエリアからなるラインの全体を
   管理するライン管理コンピュータと、 工程の種類毎に設けられ、仕掛りロットの進捗の把握、
   ロット作業指示等を行う上記ライン管理コンピュータに
   従属した複数の工程ホストコンピュータと、 上記工程ホストコンピュータに従属して一定エリア内の
   一又は複数の製造装置を製造装置制御コンピュータを介
   して制御する複数の工程内管理コンピュータと、 ロットを搬送する搬送機構を制御する搬送管理コンピュ
   ータと、 を少なくとも有し、 上記工程内管理コンピュータの待ちロットファイルに記
   憶された待機中の通常ロットの中から予約すべきロット
   が選ばれ、更にそのロットを処理すべき製造装置が選ば
   れると、工程内管理コンピュータが自己が持つ作業開始
   処理手段によってその予約の処理順番あるいは開始日時
   等の設定を行うと共に自己が持つ予約済ロットファイル
   にそのロットをそれを処理すべき製造装置と共に開始順
   番に記憶するようにされ、更に、予約済ロットファイル
   に記憶された予約ロットを作業開始させるに必要なロッ
   トの搬送指示を上記搬送管理コンピュータに対して行う
   ようにされたロット管理装置であって、 上記工程内管理コンピュータは特殊ロット登録部を有
   し、特殊ロットとその処理に必要な製造基礎情報につい
   ての入力が為されると該ロット登録部においてその入力
   データを処理して上記待ちロットファイル又は特殊ロッ
   ト専用ファイルに記憶するようにされ、予約すべきロッ
   トとしての選択の対象にその特殊ロットもなり得るよう
   にされたことを特徴とするロット管理装置
2. 【請求項２】 特殊ロットについて予約の実行としての
   作業が終了したとき待ちロットファイル又は特殊ロット
   専用ファイルに記憶されている上記特殊ロットに関する
   情報を削除するようにされてなることを特徴とする請求
   項１記載のロット管理装置
3. 【請求項３】 工程内管理コンピュータの特殊ロット登
   録部は特殊ロットとその処理に必要な製造基礎情報につ
   いての入力を受けるときその特殊ロットを搬送するキャ
   リアの指定も受け付け、 待ちロットファイル又は特殊ロット専用待ちロットファ
   イルは上記入力に係る特殊ロットとその処理に必要な製
   造基礎情報と共に、その特殊ロットを搬送するキャリア
   も記憶し、 工程内管理コンピュータは搬送キャリアが指定された特
   殊ロットの予約の実行のために搬送管理コンピュータに
   搬送を指示するにあたりその特殊ロットを搬送するキャ
   リアの指示もするようにされたことを特徴とする請求項
   １又は２記載のロット管理装置