JPH0785155A - ロット管理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 オペレータが一時的に不在であってもロット
処理が製造装置の稼動率の低下を伴うことなく行われる
ようにすると共に、ロットの処理順番もオペレータの判
断によることなく妥当に決定され得るようにする。 【構成】 ライン管理コンピュータ１に従属する工程ホ
ストコンピュータ２に支配される工程内管理コンピュー
タ３が、オペレータから待ちロット情報の表示要求を受
けると工程ホストコンピュータ２からのデータに基づい
て待ちロットと管轄内の製造装置の表示をし、そして、
オペレータによってその表示されたものの中からロット
とそれを処理する製造装置の組合せを予約対象とすると
いう入力を受けると、その予約の処理順番及び設定内容
の記憶を行うと共に、その予約の実行に伴って必要とな
るロットの搬送に関する指示を行うようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ロット管理装置、特に
一つのライン管理コンピュータと、それに従属する複数
の工程ホストコンピュータと、ライン内の複数のエリア
間においてロットを搬送する搬送管理コンピュータと、
上記工程ホストコンピュータに従属する工程内管理コン
ピュータ等によってライン内のロット処理に必要なロッ
ト管理を行うロット管理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造、特にウェハ段階での
製造は、ライン全体を管理するライン管理コンピュータ
とそれに従属する複数の工程ホストコンピュータとその
工程ホストコンピュータに従属する複数の工程内管理コ
ンピュータ等からなる多数のコンピュータによって各製
造装置を制御したり、製造装置を監視あるいは操作する
オペレータ（作業員）に対して指示を発したりすること
により行われる。

【０００３】そして、製造装置による処理は、一定枚数
（例えば２５枚）のウェハを１まとめにしたロットを、
オペレータの指示のもとで工程管理搬送機を使用して目
的の製造装置のあるエリアのステーションへ搬送し、製
造装置を監視するオペレータがその製造装置での投入準
備が完了したのを確認したうえでそのエリア内における
搬送指示をして搬送ロボットにそのステーションからそ
の製造装置へのロットの搬送をさせ、そして、製造装置
にロットに対する一つの処理を行わせるという方法で行
われた。

【０００４】また、ロットが製造装置での処理を終えた
とき行うロットの回収も、オペレータが処理の終了を確
認したうえで当該エリア内における搬送指示を発して搬
送ロボットをしてロットの製造装置からステーションへ
の搬送をさせる。このように、従来のロット管理装置に
おいてはオペレータが製造装置を監視し、そしてロット
の搬送を指示することが半導体装置の製造に不可欠であ
った。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来のロッ
ト管理装置によれば、オペレータが製造装置を監視し、
ロットの搬送を指示する必要があったため、オペレータ
の不在によりタイムリーな搬送指示ができないことがあ
り、製造装置の稼動率が低下したり、ロットの滞留時間
が無駄に長くなってしまうことがあった。即ち、図１３
（Ａ）に示すように、オペレータが常時監視できれば製
造装置の稼動率を高くできるが、図１３（Ｂ）に示すよ
うに、時々不在になると製造装置の稼動率は低くなる。

【０００６】というのは、オペレータは人間である以上
食事をとらなければならないし、トイレにも一日に何回
かは行くので監視を一時的に中断することになることは
避け得ないからである。また、技術的な打合せ、連絡に
よる監視の中断も生じる。そして、監視の中断中に製造
装置によるロットの処理が終えたとき、そのロットのス
テーションへの搬送はオペレータが戻って監視を再開し
てその処理の終了に気付き搬送指示を発するまでは行わ
れないことになる。勿論、監視中断中に次の作業（処
理）の開始準備が終了したときも、オペレータが戻って
そのことに気付き搬送指示をするまではステーションか
ら製造装置へのロットの搬送は行われないことになる。

【０００７】従って、製造装置の稼動率の低下やロット
の滞留時間が無駄に長くなるという問題があったのであ
る。これは、省人化を阻み、生産性の向上を阻み、ＩＣ
の低価格化を阻むので好ましくない。また、一つの製造
装置に複数のロットが処理を待った状態のときそのロッ
トの処理の順番をオペレータが自身の判断によって決め
ていた。しかし、ロットの処理順番は、製品の納期、次
の工程の開始期限、製造装置稼動率等の種々の要素を考
慮して最も合理的に決定されるべきであり、オペレータ
の判断に委ねると種々の不都合が生じる可能性がある。
尤も、オペレータに順番決定に関するルールを課してお
けば、著しく妥当性を欠く順番で処理されてしまうこと
は回避できるが、しかし、順番を決定する要素は非常に
多く、妥当なルールはかなり複雑にならざるを得ないの
で、オペレータに常に最適な判断を求めることは不可能
であった。

【０００８】本発明はこのような問題点を解決すべく為
されたものであり、オペレータが一時的に不在であって
もロット処理が製造装置の稼動率の低下を伴うことなく
行われるようにすると共に、ロットの処理順番もオペレ
ータの判断によることなく妥当に決定され得るようにす
ることを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明ロット管理装置
は、ライン管理コンピュータに従属する工程ホストコン
ピュータに支配される工程内管理コンピュータが、オペ
レータから待ちロット情報の表示要求を受けると工程ホ
ストコンピュータからのデータに基づいて待ちロットを
管轄内の製造装置と共に表示し、そして、オペレータか
らその表示されたものの中からロットとそれを処理する
製造装置の組合せを予約対象とするという入力を受ける
と、その予約の処理順番あるいは開始日時等の設定及び
設定内容の記憶を行うと共に、その予約の実行に伴って
必要となるロットの搬送に関する指示を行うようにされ
たことを特徴とする。

【００１０】

【作用】本発明ロット管理装置によれば、オペレータが
待ちロット情報を工程ホストコンピュータから受けてそ
のロットの処理を製造装置を特定して予約することがで
き、そして、予約をすると工程内管理コンピュータによ
って予約の実行に必要な搬送指示が行われる。従って、
オペレータが製造装置を常に監視し、ロットの搬送を指
示することは必要でなくなり、オペレータの不在による
製造装置の稼動率の低下やロットの無駄に長い滞留時間
の発生をなくすことができる。

【００１１】そして、作業の予約をすると、一つの製造
装置に処理を予約されたロットが複数の場合、工程内管
理コンピュータによって作業順番を設定するので、オペ
レータの判断によって妥当でない順番に従って作業が行
われる虞れがない。そして、予め作業順番のルールを綿
密に考察を重ねて決定して工程内管理コンピュータにプ
ログラムの形で記憶させれば、常に最適に予約の実行順
番が決定される。

【００１２】

【実施例】以下、本発明ロット管理装置を図示実施例に
従って詳細に説明する。図１乃至図１２は本発明ロット
管理装置の一つの実施例を説明するためのものであり、
図１はロット管理装置による管理の対象となる半導体装
置の製造ラインの概略構成を示す平面図であり、これに
従ってラインの概略を説明する。

【００１３】図面において、ａはライン全体であり、具
体的には１つのクリーンルームあるいはその一部の領域
からなり、一つのラインａは複数のエリアｂ、ｂ、…に
分割されている。各エリアｂにはそれぞれ複数の製造装
置ｃ、ｃ、…（尚、一つしか製造装置がない場合もあり
得る。）と、一つのステーションｄと、一つの工程内搬
送ロボットｅが設けられている。製造装置ｃ、ｃ、…は
それぞれロットに対して処理（作業ともいう）を行うも
のであり、処理の種類としては例えば洗浄、拡散、測
定、フォトレジストの塗布・露光・現像、ＣＶＤ、ＲＩ
Ｅ等が挙げられる。

【００１４】ステーションｄは待機中のロットを保管す
る自動倉庫、ｅはエリアｂ内において該ステーションｄ
と各製造装置ｃ、ｃ、…との間でのロットの搬送を行う
工程内搬送ロボット、ｆは工程内搬送ロボットｅが通る
通路である。ｇはロットａ内の全エリアｂ、ｂ，…を一
巡するように形成された通路で、ここを工程間搬送ビー
クルｈが通るようになっている。該工程間搬送ビークル
ｈは異なるエリアｂ・ｂ間におけるロットの搬送を行う
もので、具体的にはステーションｄからロットを受け取
り通路ｇに移動して別のエリアのステーションｄへロッ
トを渡す働きをする。

【００１５】図２は本ロット管理装置の全体的構成を示
す構成図である。１はライン管理コンピュータで、ライ
ン全体を管理するものであり、ロット処理に必要な製造
基礎情報を保持している。具体的には、各ロットに対し
て一連の工程について作業指示をするための作業指示基
礎情報、ラインａ内の各製造装置ｃ、ｃ、…についての
情報である製造設備基礎情報、更にはステーションｄ、
工程間搬送ビークルｈ、工程内搬送ロボットｅ等の搬送
機器に関する情報を持ち、必要に応じて自己に従属する
工程ホストコンピュータ２、２、…に情報を提供したり
指示をしたりする。

【００１６】また、ライン管理コンピュータ１は工程ホ
ストコンピュータ２、２、…から定期的（例えば１日１
回）に各種情報を受けラインａ全体を把握する。工程ホ
ストコンピュータ２、２、…から受け取る情報にはロッ
ト作業実績情報、装置稼動実績情報、ロット品質実績情
報、装置品質実績情報がある。工程ホストコンピュータ
２、２、…は工程の種類毎に設けられたもので、すべて
工程ホストコンピュータ１に従属し、自己の管轄工程
（例えば洗浄工程に対して設けられた工程ホストコンピ
ュータ２だと洗浄工程）に仕掛っているロットの進捗の
把握、ロット作業の指示を行う。そして、各工程ホスト
コンピュータ２、２、…はそれぞれ一又は複数の工程内
管理コンピュータ３、３、…を支配する。

【００１７】工程内管理コンピュータ３、３、…は、製
造装置制御コンピュータ４を介して自己の管轄エリアｂ
内の各製造装置ｃ、ｃ、…を制御したり、搬送ロボット
制御コンピュータ５を介して工程内搬送ロボットコント
ローラｅを制御し、また、工程間搬送の指示に必要な情
報の工程ホストコンピュータ２への送出等を行うもの
で、そのほかにも表示要求に基づく待ちロット情報の表
示、作業開始予約、特殊ロット登録等も行い、行う仕事
の種類は多岐に渡る。その詳細については後で詳述す
る。尚、７は工程内搬送サブシステムで、搬送ロボット
制御コンピュータ５、それによって制御されて工程内搬
送ロボットｅを制御する搬送ロボットコントローラ６及
び工程内搬送ロボットｅによって構成される。

【００１８】８は搬送管理コンピュータで、全工程ホス
トコンピュータ２、２、…から各種指示、各種情報を受
けて工程間搬送制御コンピュータ９に対して工程管理搬
送指示を行い、また、工程間搬送制御コンピュータ９か
ら工程間搬送完了報告、工程間搬送機（工程間搬送ビー
クルのこと）異常データを受けて工程ホストコンピュー
タ２へロット所在情報を送る。工程間搬送制御コンピュ
ータ９は上述したように搬送管理コンピュータ８により
制御され、そして、ステーションコントローラ１０を介
して各ステーションｄ、ｄ、…をコントロールすると共
に、工程間搬送コントローラ１１を介して工程間搬送ビ
ークルｈをコントロールする。

【００１９】尚、工程間搬送制御コンピュータ９は搬送
ロボット制御コンピュータ５からもウェハキャリア引当
情報や工程内出庫指示を受け、そして搬送ロボット制御
コンピュータ５に対しては出庫完了報告や入庫完了報告
を行う。尚、１２は工程間搬送サブシステムで、工程間
搬送制御コンピュータ９、ステーションコントローラ１
０、各ステーションｄ、ｄ、…、工程間搬送コントロー
ラ１１及び工程間搬送ビークルｈにより構成される。
尚、図２において、ｉはウェハキャリア、ｊはウェハで
ある。

【００２０】図３はロット管理装置の全体的データの流
れを示すデータフロー図である。図４は上記ライン管理
コンピュータ１の機能を解り易く表現した機能ブロック
図であり、この図によってライン管理コンピュータ１の
働きをより詳細に説明する。

【００２１】１３は製造基礎情報登録部で、作業指示基
礎情報、搬送設備基礎情報、搬送基礎情報の新規登録、
変更、削除の入力があるとそれを受け付ける。１４は作
業指示基礎情報管理部で、作業基礎情報ファイル１５、
製造設備基礎情報ファイル１６、搬送設備基礎情報ファ
イル１７を管理し、必要に応じて工程ホストコンピュー
タ２へ情報をダウンロードする。作業指示情報について
はロットの進捗に応じて必要最小限のデータをダウンロ
ードし、その他の情報、即ち、製造設備情報と搬送設備
情報は基礎情報登録変更部１３で新規登録又は変更、削
除が実施されたときだけ変更部分だけをダウンロードす
る。

【００２２】１８は生産実績情報管理部で、ロットの進
捗に応じて工程ホストコンピュータ２、２、…から１日
１回まとめて報告される実績情報をロット作業実績ファ
イル１９、製造設備稼動実績ファイル２０、ロット品質
実績ファイル２１、製造設備品質実績ファイル２２に分
類して一定期間保存する。保存されているデータはレポ
ート表示部２３や帳票出力部２４を経てライン管理者や
品質管理者のほか設備管理者に配布されると同時に、周
辺システムリンケージ部２５を経て周辺システム２６へ
報告される。

【００２３】図５は工程ホストコンピュータ２の機能ブ
ロック図である。２７は作業進捗管理部で、自己（工程
ホストコンピュータ２）が管轄する工程（例えば拡散）
に仕掛っているロットの進捗を管理し、そして、ロット
のその工程（作業）が終了して別の工程ホストコンピュ
ータ２が管理する工程（例えば洗浄）が行われることに
なるとその工程ホストコンピュータ２（上記別の工程ホ
ストコンピュータ２）にそのロットの進捗管理の依頼を
する。２８は作業開始予約処理部で、工程内管理コンピ
ュータ３で作業開始予約（これについては後で詳述す
る。）の処理が為されるとその予約されたロットのステ
ータス（ロット状態）を予約済にし同時にそのロットの
詳細情報を工程内管理コンピュータ３にダウンロードす
る。

【００２４】２９は作業実績情報処理部で、ロットの作
業実績情報を１日１回１日分まとめてライン管理コンピ
ュータ１へ報告する役割を果す。３０はロット進捗管理
ファイルで、ロットの進捗管理データを保存する。３１
はロット進捗管理ファイル３０のデータに基づいて待ち
ロットリストを編集する待ちロット編集部で、工程内管
理コンピュータ３から待ちロットリストの要求があった
ときにそのリストをその工程内管理コンピュータ３へ送
出する。このリストは工程内管理コンピュータ３から図
示ないオペレータ用端末装置のディスプレイに表示され
る。この点についても後で詳述する。

【００２５】図６は搬送管理コンピュータ８の機能ブロ
ック図である。３２はウェハキャリア状態管理部で、各
キャリアｉ、ｉ、…のステータス、保管場所についての
管理を行う。３３は工程内管理コンピュータ３の要求に
基づいて指定されたロットを引当状態とし以後人による
ステーションｄからの出庫、搬送を禁止する処理をする
ウェハキャリア引当処理部である。

【００２６】３４は工程内管理コンピュータ３からの工
程間搬送指示についての管理をする工程間搬送指示管理
部で、工程間搬送指示発行部３５に工程間搬送制御コン
ピュータ９宛の搬送指示を送信させる。３６は搬送指示
のデータ管理をする搬送指示管理ファイルで、上記工程
間搬送指示発行部３５から搬送指示が送信されたときは
その搬送が終了するまでそのファイル３６に搬送指示が
保存され、管理される。そして、搬送が終了すると工程
間搬送結果報告部３７を通して工程内管理コンピュータ
３へその旨報告される。３８はウェハキャリア状態管理
ファイルで、ウェハキャリアｉ、ｉ、…の管理用データ
を保存する。３９はウェハキャリア在庫情報収集部で、
工程内管理コンピュータ３の要求に従って該当キャリア
の在庫情報を検索し、その結果を工程内管理コンピュー
タ３へ報告する。

【００２７】図７は工程内管理コンピュータ３の機能ブ
ロック図である。４０は特殊ロット登録情報入力部であ
り、オペレータによる特殊ロットの登録入力があればそ
れを受け付けるもので、受け付け後特殊ロット登録部４
１により登録処理され、登録内容は待ちロットファイル
４２に保存される。ここで、特殊ロットとはシステムに
登録されていない、具体的にはライン管理コンピュータ
１に登録されていないが、例えば試作、あるいは製造装
置の能力チェック等のため人の管理下で１つの処理ある
いは少ない回数の処理を行うためにラインに流すロット
である。ラインに流す通常のロットはすべてそのロット
処理に必要な基礎情報をライン管理コンピュータ１にき
ちんと入力し、そして、そのロットに関する処理に必要
な基礎情報はすべてライン管理コンピュータ１から適宜
下位のコンピュータにダウンロードされて制御に使用さ
れるのが原則である。試作においても長期的に行う試作
は通常のロットとしてラインに流し、ライン管理コンピ
ュータ１による管理下におかれる。

【００２８】しかるに、一時的にラインに流すロットに
ついては処理する回数が例えば１回と少なく大型のライ
ン管理コンピュータ１を煩わしてしかも面倒な入力を経
て時間をかけて管理するのは非効率的である。そこで、
オペレータの入力操作によって工程内管理コンピュータ
３に簡単にロット基礎情報を登録し、工程内管理コンピ
ュータ３の管理下においてロットを処理できるようにす
る機能を工程内管理コンピュータ３に持たせるようにし
たのであり、かかるロットを特殊ロットと称しているの
である。

【００２９】尚、特殊ロットの登録処理が特殊ロット登
録部４１において為されると、待ちロットファイル４２
に登録内容が保存されると共に、搬送管理コンピュータ
８へその特殊ロットの搬送に使用されるべきウェハキャ
リアｉの登録情報が通知される。ウェハを搬送する場合
にライン内にあるどのウェハキャリアを用いても良いと
いうわけではないので、ロットが指定されるときウェハ
キャリアも指定されるのが普通である。というのは、ウ
ェハの現在の状態と次の工程とのかねあいでキャリアに
ついての各種の汚染に対しての許容度が大きく変り、あ
る種の汚染は絶対に許されないが別のある種の汚染につ
いてはある限度で許されるということがあり、ロットを
搬送するときそれに用いるキャリアも非常に重要だから
である。

【００３０】４３は待ちロット情報処理部で、オペレー
タから待ちロットリストの表示要求（図示しない端末装
置の操作により為される）があると工程ホストコンピュ
ータ２に対して待ちロット情報を要求し、その要求に応
じて工程ホストコンピュータ２から送られてきた待ちロ
ット情報を上記待ちロットファイル４２に保存する。該
ファイル４２は特殊ロット登録部４１により登録処理さ
れた待ち特殊ロットも待ちロット情報処理部４３により
処理された通常の待ちロットも保存する。尤も、特殊ロ
ット専用待ちロットファイルを設け、特殊ロットが待ち
ロットとなっているものをそれに保存するようにしても
良い。そして、それと同時に、待ちロットの情報が情報
表示部４４により処理されて図示しない端末装置のディ
スプレイに表示され、オペレータはそれを視ることがで
きる。

【００３１】４５はロット選択情報入力部で、オペレー
タが上記ディスプレイにより表示されたところの当該工
程ホストコンピュータ２の管轄工程に仕掛っている待ち
ロットリストから一つのロットを作業予約対象ロットと
して選択する入力をしたときの入力を受け付けるもので
ある。４６はロット選択情報入力部４５からロット選択
情報入力を受けるとそのロットを予約済ロットとして予
約済ロットファイル４７に登録する。登録されるのは、
ロット番号［ロットＩＤ（アイデンティティ）］だけで
なく作業指示のための詳細情報も登録される。

【００３２】尚、オペレータがロット選択情報入力部４
５に入力するのは、ロットの番号のほか、加工装置の番
号、同時に装置に投入する組合せ（以後「バッチ組」と
いう。）、装置に投入する順番である。４８は作業開始
予約に基づいて工程間搬送の引き取り搬送指示を発する
処理をする工程間引き取り搬送指示発行処理部で、ここ
で発行された工程間搬送の引き取り搬送指示は搬送管理
コンピュータ８に送られると共に、工程ホストコンピュ
ータ２にも送られる。

【００３３】４９は製造装置情報収集部で、製造装置制
御コンピュータ４から報告される状態変化情報や異常発
生情報のほか作業実績データ等を収集するものであり、
収集された情報は装置状態管理ファイル５０に格納され
る。５１は処理バッチ編成処理部であり、装置状態管理
ファイル５０と搬送状態管理ファイル５２に格納されて
いる情報を参照して製造装置ｃと工程内搬送ロボットｅ
の状態を監視し、工程内搬送が実施可能になったことが
確認されると搬送の対象となるロットの所在を確認し、
ステーションｄに格納されているときは以後オペレータ
によるそのロットの出庫ができないようにガードをかけ
たり（かかるガードをかける処理を引当処理という）、
加工処理においてウェハキャリアの変換が必要な場合に
は交換先ウェハキャリアの有無の確認と、予約処理及び
引当処理の依頼の搬送管理コンピュータ８及び搬送ロボ
ット制御コンピュータ６宛発行を行う。

【００３４】５３は工程間／工程内搬送情報収集部で、
搬送管理コンピュータ８と搬送ロボット制御コンピュー
タ５から報告される搬送設備の状態変化情報や異常発生
情報のほか搬送指示の進捗情報を収集するもので、収集
した情報は搬送状態管理ファイル５２に格納する。５４
は作業管理部で、装置状態管理ファイル５０と搬送状態
管理ファイル５２に格納されている情報を参照しながら
製造装置ｃと工程内搬送ロボットｅの状態を監視をし且
つ各種指示等を行うものである。具体的には、処理バッ
チ編成処理以後のバッチの進捗を管理し、出庫指示、工
程内供給搬送指示、加工開始指示、工程内回収搬送指示
を発行する。これ等の指示は装置制御指示発行処理部５
５を介して製造装置制御コンピュータ４へ、そして工程
内搬送指示発行処理部５６を介して搬送ロボット制御コ
ンピュータ５へ送られる。

【００３５】５７はロット終了処理部で、全作業終了又
は全数不良により終了したロットを工程内自動搬送によ
って回収搬送した後の特殊処理を行うものである。５８
はモード設定情報入力部で、モード設定の入力がされる
とそれを取り込むものである。モードには、マニュアル
モードと、ＳＥＣＳモードと、ＡＧＶモードがあり、マ
ニュアルモードは製造装置との接続はなく、工程内搬送
は人手により行われるものであり、ＳＥＣＳモードは製
造装置と接続され、工程内搬送は人手により行われるも
のであり、ＡＧＶは製造装置と接続され、工程内搬送は
工程内搬送ロボットｅにより自動的に行われるものであ
る。

【００３６】５９はモード設定情報入力部５８により入
力されたモード設定情報を処理してモード管理ファイル
６０に保存したり、モード変更時に必要な特殊処理を行
ったりするモード管理部である。６１は製造装置ｃ、
ｃ、…から報告される実績情報を収集する実績情報収集
部で、収集した実績情報を一時的に作業実績収集ファイ
ル６２に蓄積する。収集される実績情報には加工実績、
ロット作業実績、ロット品質実績、装置品質実績等の情
報がある。この実績情報は該ファイル６２に一時的に蓄
積された後実績情報処理部６３において処理され、そし
て、工程ホストコンピュータ２へ送られる。

【００３７】図８は工程間搬送制御コンピュータの機能
ブロック図である。６４は工程間搬送指示管理部で、搬
送管理コンピュータ８から搬送指示に基づいて搬送指示
についての管理をするものである。搬送管理コンピュー
タ８からの搬送指示は搬送指示管理ファイル６５により
一時的に保存される。その後、その搬送指示が工程間搬
送ビークルの状態や在庫数の外、その他の搬送指示の進
捗状況を監視しながらタイミングを見計らって工程間搬
送ビークルｈやステーションｄへ工程間搬送ビークル制
御部６６、ステーション制御部６７を経由して送られ
る。

【００３８】また、搬送や出庫が完了した場合や機器状
態が変化した場合には、工程間搬送指示管理部６４から
その旨の報告が搬送管理コンピュータ８に対して行われ
ると共に、ウェハキャリア在庫情報ファイル６８、搬送
指示管理ファイル６５の情報の書き換えが必要に応じて
行われる。６９は工程間搬送機器状態管理部で、工程間
搬送ビークルｈやステーションｄから報告される状態変
化報告を受信し、その内容を機器状態管理ファイル７０
に書き込むと共に、工程間搬送指示管理部６４へ報告す
る。

【００３９】図９は搬送ロボット制御コンピュータ５の
機能ブロック図である。７１は工程内搬送指示管理部
で、工程内管理コンピュータ３から搬送指示を受けると
それを一時的に搬送指示管理ファイル７２に格納し、そ
の後、複数の搬送指示が溜っている場合にはスケジュー
リングを行い、効率の良い指示に変換して工程内搬送ロ
ボット制御部７３を介して工程内搬送ロボットｈへ送信
する。実際には搬送ロボットコントローラ６へ送信す
る。

【００４０】７４は工程内搬送機器状態管理部で、工程
内搬送ロボットｈから報告される状態変化報告を受信
し、その内容を機器状態管理ファイル７５に書き込むと
共に、搬送管理コンピュータ３に工程内搬送指示管理部
７１へ報告する。７６は対製造装置インターロック制御
部で、製造装置ｃのロットのローダ／アンローダの状態
を監視しながら工程内搬送ロボット制御部７３と連携し
て安全に工程内搬送が行われるように工程内搬送ロボッ
トｈのコントロールを行う。

【００４１】図１０は製造装置制御コンピュータの機能
ブロック図である。７８はレシピー登録データ入力部
で、レシピー［作業（処理）の条件］の詳細な内容を入
力する。７９はレシピーデータ管理部で、レシピー登録
データ入力部７８にレシピーの詳細な内容が入力された
ときそれをレシピー管理ファイル８０に格納する。これ
はレシピー内容を作業コードをキーとして行われる。８
１は製造装置状態管理部で、製造装置ｃから報告された
状態変化報告を受けるとその内容を機器状態管理ファイ
ル８２に書き込む。この状態変化の情報は必要に応じて
工程内管理コンピュータ３へ報告される。

【００４２】８３は製造装置制御部で、工程内管理コン
ピュータ３からの指示に従って製造装置ｃにレシピーを
送信したり加工処理を開始するためのスタート指示を送
信したりする。レシピー送信の場合には工程内管理コン
ピュータ３で指定された作業コードに対応するレシピー
の詳細な内容をレシピー管理ファイル８０により検索し
て製造装置ｃへ送信するようになっている。以上でロッ
ト管理装置の各種コンピュータの機能の概要を終え、次
に本ロット管理装置の大きな特徴である作業開始予約動
作について説明する。図１１は作業開始予約動作を示す
フローチャートである。

【００４３】（１）オペレータによる待ちロットリスト
の表示要求（図示しないオペレータ用端末装置の操作に
より行う。）があるか否かを判定する。要求がない場合
には表示要求があるまでその判定を繰返す。 （２）表示要求があった場合には、工程内管理コンピュ
ータ３の待ちロット情報処理部４３がその工程内管理コ
ンピュータ３を支配する工程ホストコンピュータ２に対
して待ちロット情報の要求電文を発信する。工程ホスト
コンピュータ２はその要求電文を作業開始予約処理部２
８において受けて処理し、ロット進捗管理ファイル３０
から待ちロットに関する情報を読み出し、待ちロットが
あるか否かを判断する。

【００４４】（３）待ちロットリストがあるとき、その
工程ホストコンピュータ２は待ちロット編集部３１にお
いてロット進捗管理ファイル３０からこの工程ホストコ
ンピュータ２の管轄工程に対して待ちロットとなってい
る待機中のロットを選択して一覧表に編集し、工程内管
理コンピュータ３へ送信する。 （４）送信されたリストを工程内管理コンピュータ３の
待ちロット情報処理部４３において受信し、そして、該
処理部４３の働きにより工程内管理コンピュータ３の待
ちロットファイル４２に格納する。

【００４５】（５）そして、その格納された待ちロット
リストの一覧を図示しないオペレータ用端末装置の情報
表示部（ディスプレイ）４４により表示する。図１２は
その情報表示部４４にて表示される待ちロットリストの
画面例であり、Ｘのところには数値０〜９又は文字が入
る。そして、リストの上半分は当該工程ホストコンピュ
ータ２の管轄対象となっている製造装置ｃ、ｃ、…を番
号（製造装置ＩＤ）で示し、オペレータは端末装置の入
力操作により画面上のリストの中からロットを処理する
製造装置ｃを選択することができる。

【００４６】リストの下半分は当該工程ホストコンピュ
ータ２の管轄工程に対して待機中の待ちロットを番号に
よって示し、入力操作によりこの表示された待ちロット
のリストの中から一又は複数の待ちロットを選択するこ
とができる。尚、オペレータが複数のロットと一つの製
造装置とを作業開始予約の対象として選択した場合に
は、その複数のロットが同時にその一つの製造装置に投
入されることになる。

【００４７】（６）本例ではたまたまオペレータ６が作
業開始予約をするときは、まず製造装置ｃの選択を行う
ことになっており、そこでその装置の選択が完了したか
否かを完了するまで判定し続ける。 （７）しかして、装置の選択が完了したら待ちロットの
選択が行われることになっており、その選択が完了した
か否かの判定を完了までし続ける。尚、装置の選択とロ
ットの選択の順序については必ずしもこのようにするこ
とは不可欠ではない。

【００４８】（８）選択が完了すると選択のための入力
データにミスがないかをチェックする。もし、ミスがあ
った場合にはそのことを画面に表示し、オペレータに入
力の仕直しを促すようにする。 （９）入力データチェックがＯＫになると、工程内管理
コンピュータ３の作業開始予約処理部４６が工程ホスト
コンピュータ３のロット選択情報入力部４５からのロッ
ト選択情報（製造装置選択情報も含まれている）に基づ
いて作業開始予約を行う。尚、一つの製造装置ｃにいく
つもの待ちロットが予約される場合もあり得るが、その
場合の処理順序あるいは処理開始日時についても作業開
始予約処理部４６により製品の納期、製造装置の稼動率
等の種々の要素を考慮して決められたルールに基づいて
決定されるようになっている。そのルールはライン管理
者等がプログラムの形で工程内管理コンピュータ３に記
憶させ、また変更ができる。勿論、処理順序がオペレー
タの判断に委ねられることはなくなる。

【００４９】作業開始予約処理が終ると、その予約情報
を予約済ロットファイル４７に格納する。 （１０）それと同時に，その予約によってそのロットが
待ちロットから予約済ロットにロット状態を変更された
ことになるので，そのロット状態の変更を工程ホストコ
ンピュータ２へ通知する。工程ホストコンピュータ２は
その通知を作業開始予約処理部２８にて受けてそのロッ
ト状態の変更をふまえてロット進捗管理ファイル３０の
そのロットの進捗についての書き換えをする。

【００５０】（１１）ところで、作業開始予約処理を終
え予約情報の格納を終えた工程内管理コンピュータ３
は、工程間引取搬送指示発行処理部４８において搬送管
理コンピュータ８宛に工程間引取搬送指示を発行する。
この搬送指示は、予約実行のために被選択製造装置ｃの
管轄ステーションｄに被選択ロットｉが搬送されるよう
にするための搬送指示である。 （１２）そして、予約済ロットファイル４７には、待ち
ロット情報処理部４３に記憶されていたその予約済ロッ
トに関する加工処理（作業）に必要な詳細情報が格納さ
れる。また、予約済ロットファイル４７には製造装置ｃ
の番号毎にロット（予約済ロット）のリストが格納され
ていて、その製造装置ｃにより処理をするときには処理
順序のルールに基づいてリストの先頭のものから順番に
ステーションからロットを取り出して製造装置ｃへ搬送
することにより作業開始予約の実行が行われる。

【００５１】このようなロット管理装置によれば、オペ
レータが待ちロット情報を工程ホストコンピュータ２か
ら受けてそのロットの処理を製造装置ｃを特定してその
処理を予約することができ、そして、予約をすると工程
内管理コンピュータ３によって予約の実行に必要な搬送
指示が行われる。従って、オペレータが製造装置ｃ、
ｃ、…を常に監視し、ロットの搬送を指示することは必
要でなくなり、オペレータの不在による製造装置の稼動
率の低下やロットの無駄に長い滞留時間の発生をなくす
ことができる。そして、作業の開始予約をすると、一つ
の製造装置に予約されたロットが複数の場合、工程内管
理コンピュータ３によって作業順番を設定するので、オ
ペレータの判断によって妥当でない順番に従って作業が
行われる虞れがない。勿論、作業順番のルールを綿密に
考察を重ねて決定して工程内管理コンピュータにプログ
ラムの形で記憶させれば常に最適に順番が決定されるこ
とになる。

【００５２】

【発明の効果】本発明ロット管理装置は、ライン管理コ
ンピュータに従属する工程ホストコンピュータに支配さ
れる工程内管理コンピュータが、オペレータから待ちロ
ット情報の要求を受けると工程ホストコンピュータから
のデータに基づいて待ちロットと管轄内の製造装置の表
示をし、そして、オペレータによりその表示されたもの
の中からロットとそれを処理する製造装置の組合せを予
約対象とするという入力を受けると、その予約の処理順
番あるいは開始日時等の設定及び設定内容の記憶を行う
と共に、その予約の実行に伴って必要となるロットの搬
送に関する指示を行うようにされたことを特徴とするも
のである。従って、本発明ロット管理装置によれば、オ
ペレータが待ちロット情報を工程ホストコンピュータか
ら受けてそのロットの処理を製造装置を特定してその処
理を予約することができ、そして、予約をすると工程内
管理コンピュータによって予約の実行に必要な搬送指示
が行われる。

【００５３】従って、オペレータが製造装置を常に監視
し、ロットの搬送を指示することは必要でなくなり、オ
ペレータの不在による製造装置の稼動率の低下やロット
の無駄に長い滞留時間の発生をなくすことができる。そ
して、作業の開始予約をすると、一つの製造装置に対し
て作業開始予約されたロットが複数の場合、工程内管理
コンピュータによって作業順番を設定するので、オペレ
ータの判断によって妥当でない順番に従って作業が行わ
れる虞れがない。即ち、作業順番のルールを綿密に考察
を重ねて決定して工程内管理コンピュータにプログラム
の形で記憶させれば常に最適に順番が決定されることに
なるのである。しかして、省力化、省人化、製造装置の
高稼動率化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明ロット管理装置の一つの実施例の管理対
象となるラインの概略構成を示す平面図である。

【図２】上記実施例の全体的構成図である。

【図３】上記実施例の全体のデータフローを示すデータ
フロー図である。

【図４】ライン管理コンピュータの機能ブロック図であ
る。

【図５】工程ホストコンピュータの機能ブロック図であ
る。

【図６】搬送管理コンピュータの機能ブロック図であ
る。

【図７】工程内管理コンピュータの機能ブロック図であ
る。

【図８】工程間搬送制御コンピュータの機能ブロック図
である。

【図９】搬送ロボット制御コンピュータの機能ブロック
図である。

【図１０】製造装置制御コンピュータの機能ブロック図
である。

【図１１】作業開始予約動作を示すフローチャートであ
る。

【図１２】待ちロットの画面例を示す図である。

【図１３】（Ａ）、（Ｂ）は発明が解決しようとする問
題点を示す製造装置の稼動率の説明図で、（Ａ）はオペ
レータが常に監視している場合を示し、（Ｂ）はオペレ
ータが時々不在になる場合を示す。

【符号の説明】

ａ ライン ｂ エリア ｃ 製造装置 ｄ ステーション ｅ 工程内搬送ロボット ｈ 工程間搬送ビークル １ ライン管理コンピュータ ２ 工程ホストコンピュータ ３ 工程内管理コンピュータ ４ 製造装置制御コンピュータ ５ 搬送ロボット制御コンピュータ ８ 搬送管理コンピュータ ９ 工程間搬送制御コンピュータ ３０ ロット進捗管理ファイル ４２ 待ちロットファイル ４３ 待ちロット情報処理部 ４６ 作業開始予約処理部（作業開始予約処理手段） ４７ 予約済ロットファイル ４８ 工程間引取搬送指示発行処理部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｇ０５Ｂ 15/02

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ロット処理に必要な製造基礎情報を保持
   し、複数のエリアからなるラインの全体を管理するライ
   ン管理コンピュータと、 工程の種類毎に設けられ仕掛りロットの進捗の把握、ロ
   ット作業指示等を行う、上記ライン管理コンピュータに
   従属した複数の工程ホストコンピュータと、 上記工程ホストコンピュータに従属して一定エリア内の
   一又は複数の製造装置を製造装置制御コンピュータを介
   して制御する複数の工程内管理コンピュータと、 各エリア毎に設けられたステーション間を結ぶ搬送路を
   通ってロットを上記ステーションとの間で受け渡しする
   工程間搬送ビークルと上記各ステーションを、工程間制
   御コンピュータを介して制御する搬送管理コンピュータ
   と、 各エリア内の各製造装置と上記ステーションとの間でロ
   ットの搬送を行う工程内搬送ロボットを、上記工程内管
   理コンピュータにより管理されて制御する搬送ロボット
   制御コンピュータと、 を少なくとも備えたロット管理装置であって、 上記各工程ホストコンピュータは、自己の管轄工程に仕
   掛っている各ロットの進捗度を記憶するロット進捗ファ
   イルを少なくとも有し、 上記各工程内管理コンピュータは、自己の管轄エリア内
   の製造装置による処理を待っているロットを記憶する待
   ちロットファイルと、予約済みの各ロットを記憶する予
   約済ロットファイルと、製造装置とそれにより処理する
   ロットを指定する予約が入力されると予約の処理順番、
   あるいは開始日時等を設定する作業開始処理手段とを少
   なくとも備え、 待ちロット情報の表示要求があると上記工程ホストコン
   ピュータは、自己のロット進捗管理ファイルから、待機
   中の各ロットをそれを処理すべき製造装置を管轄する工
   程内管理コンピュータに送信するようにされ、 そして、上記工程内管理コンピュータは、待ちロット情
   報の表示要求による待機中の各ロットを上記工程ホスト
   コンピュータから受信するとこれを待ちロットファイル
   に記憶すると共に、この各ロットと該各ロットを処理で
   きる管轄内製造装置を表示するようにされ、 上記表示の中からロットと製造装置が作業開始予約対象
   として選択されると上記工程内管理コンピュータは上記
   作業開始処理手段によってその予約の処理順番あるいは
   開始日時等の設定を行うと共に予約済ロットファイルに
   そのロットをそれを処理すべき製造装置と共に開始順に
   記憶するようにされ、 そして、工程内管理コンピュータは予約済ロットファイ
   ルに記憶された予約ロットを作業開始させるためのステ
   ーション間の搬送を工程ホストコンピュータを介して搬
   送管理コンピュータに指示し、ステーション・製造装置
   間の搬送を搬送ロボット制御コンピュータに指示するよ
   うにされたことを特徴とするロット管理装置