TW513549B - Highly effective cooling type thermal treatment unit - Google Patents

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平 以 員 工 消 費 印 五、發明說明（ <發明所屬技術領域> 本I月ίτ、關於種熱處理單元，係將裝載多數之平板 狀之被處理物之裝載單元，由熱處理室取出或放入熱處理 $ ’使其進行熱處理，特別是關於熱處理後之被處理物之 冷卻處理技術。 <習知之技術> 在將㈣«基板等之製品裝載至盒進行熱處理之裝 置，一般係開關熱處理室之打開門或滑動開關式之遮板， 藉自動機與滑動機構等之盒移動單元，將盒由熱處理室取 出或放入熱處理室，在熱處理室外之冷卻載物台，將熱處 理之製品冷卻到接近常溫之溫度，以自動機將此等移載至 搬达系列之盒，或移載至每盒搬送系列後，使其與搬送系 歹J之未處理製品父換順序進行熱處理（參照例如特開 10-232089號公報之第11圖及其關連說明）。 右依據如此之單元’盒的動作變成簡單，同時將用 處理製品之自動機，定為通常製品之常溫規格之 可以大幅的降低其成本。但是，製品處理終了後，在打門 =出广:’具有所謂熱處理室之熱氣向外部吹出： 另卜’外氣侵入熱處理室内’藉内外氣的替換 =之溫度條件大幅的混乱’因而存在著所謂要再;： 度熱處理之溫度則需要花費相當長的時間之問題Γ尚 且’在熱處理終了後，若充分的冷卻埶處理室内 。 ::出的問撕決’但要恢復到熱處理室之溫 更長的時間’因而存在著所謂製品的處理能率大幅的 513549 五、發明說明（ 降低之問題。 為此’在處理室内，使盒或同樣之製品裝载單元之序 車1段1段1間歇的升降，在熱處理室之一定位置設置將製占 僅取出或放入之具有密封之開口，通過該開口由外部取出 或放入自動機之手炳，各種使閒歇的1枚1枚熱處理完成之 製品與未處理製品交換之盒使用枚葉處理式熱處理單元祐 k案出來（參照例如上述公報、特開平1 U16659號、 6-066715號）。 另外，在熱處理室之前後，在具有預熱室與除冷室之 熱處理單兀中，設置與上述同樣之開口，同時進行對熱處 理室之製品的取出放入與製品支撐替換移載，使製品丨牧^ 枚1間歇的升降進行處理之製品支撐替換枚葉處理式熱處 理單元也很多被提案出來（參照例如特開平u_〇5i569號、 8-110166號公報）。 ^ 在如此之熱處理單元，在製品交換時沒有必要使如門 與相當於此等之遮板之大的開口開關， 移韻構等中為被努力之單元，但為了將自動機手\ = 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 處理室取出或放人熱處理室，具有所謂變成需要特殊規格 之南價之而ί熱自動機之問題。 另外，在近年出現以所謂35CTC與500°C之高溫被熱處 理之製品，亚具有藉氮氣等之不活性氣體，將熱處理室内 作成低氧氣/辰度空氣環境，將製品進行熱處理的場合，在 此寺在衣口口取出放入之開口中，因外氣的侵入與自動機 的進退入外氣變成問題。更進一步，包含如上述之高 Μ 3549 五 、發明說明（ /皿處理條件的場合口 列 依…1〇口的材料等為了防止氧化與破 衣：有必要限制溫度下降速度等，為此在熱處理室令，具 有將衣扣冷部至某種程度的溫度後必須排出的場合，但在 «處理式之熱處理單元’則具有無法進行如此處理之問 題0 <發明欲解決之課題> 本發明係以提供-種最適當之熱處理單元為課題，係 在習知技術中解決上述問題，不使用耐熱自動機，被處理 物之處理月b率佳，且可容易的防止被處理物氧化與破裂， 特別是對被處理物之高溫熱處理。 <解決課題之手段> 本舍明為了解決上述之課題，如申請專利範圍第！項之 發明之一種熱處理單元’係將裝載多數平板狀之被處理物 之裝载單元，由熱處理室取出或放入熱處理室，使其進行 熱處理，包含有··-冷卻室，係被設置於前述熱處理室的 下面，使其可以冷卻前述被處理物；一升降單元，係用以 升降前述裝載單元，使其可以在前述裝載單元被放入前述 冷卻室之下位置與被放入前述熱處理室之上位置之間升 降；一隔間構件，係被突出設置於前述熱處理室與前述冷 卻室之間，使前述裝載單元在前述熱處理室與前述冷卻室· 之間可以升降通過；一上密封單元，係被設置於前述裝载 單元之上立而側之刖述裝載單元，由前述上位置下降至前述 下位置之後，使其密封接觸於前述隔間構件之前述熱處室 與前述冷卻室之間而形成；及，一下密封構件，係被設置 X 297 公 f ) 本紙張（㈣财關緖準（CNS)A4規格g A7五、 B7 發明說明（ 於前述裝载單元之下端側$ +、# 上升至前'+、μ ^裝載單元，由前述下位置 ▼主月j逑上位置之後 前、f為+ Z、⑴封接觸於前述隔間構件 則逑熱處室與前述冷卻室之間而形成者。 #件之 封單申：土利範圍第2項之發明，加上上述，其中前述上密 離=述下密封單元’係形成可以由前述裝載單元分 述«單元位於料冷卻室時，構纽其可以 間隔於珂述上密封單元與前述裝載單元之間。 申^專#_㈣之發明，加上中請專利範圍第⑷ :X明之特徵’其中前述升降單元具有升降驅動單元， 係可以用以升降被結合於前述褒載單元下面之升降轴盘该 升降軸’並被設置於位置在前述冷卻室下面之配置空間。 <發明的實施型態> 第1圖及第2圖為表示適用本發明做為熱處理單元之淨 化洪爐之全體構造之一例。 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 入 淨化烘爐，係將裝載由做為多數平板狀之被處理物之 LCD玻璃基板等所形成之製品做為裝載單元之盒i，由熱處 理室2取出或放入熱處理室2，使其進行熱處理之單元。並 由冷部室3、隔間構件4、上密封單元5、下密封單元6、與 升降單兀7所構成。該冷卻室3，係被設置於熱處理毛的下 面，使其可以冷卻製品W;該隔間構件4,係被突出^置於 此等室之間，使盒1可以在熱處理室2與冷卻室3之間升降通 過；該升降單元7,係用以升降盒丨，使其可以在盒丨被放 冷卻室3之下位置與被放入熱處理室2之上位置之間升降。 本例之盒1，係如第3圖所示，由支柱丨3、製品容器j 4 7 513549 A7 五、發明說明（5 ) —~—Ί

及制動器構件15所構成，該支柱13,係具有用以結合構 成上板11、下板12、及框體之間；製品容器14，係呈棒狀 用=承載被支撐於t間部分之支柱13(13ι)之製品w;該制I 動器構件15，係承载被安裝於兩端之支柱13(13i)之製品w、 j 之進退方向之γ方向的兩端。 · p 熱處理室2，係被包含空調部分之斷熱箱21所包圍，纟 μ 其中，在箭頭符號所示循環氣體之流動方向之順序，配設 p 加熱器22、以馬達23a驅動之送風機23、高性能過遽器^ 等做為通常之機器。另外，在本例之單元，設置水冷卻器 h 25用以冷卻熱處理室内。符號26a、26b，係表示為了替換 使用加熱器22之熱處理工程與使用水冷卻器”之熱處理| 之冷卻工程之氣體流路之調節器。又設置氮氣接續口以與 排氣筒28,該氮氣接續口27，係用以由外部導入氛氣；該、 排氣筒28 ,係内藏有熱處理室内之壓力調整用之未圖示之· 調節器。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 符號100為配管及維修空間。又熱處理室2的下方，係 形成上述冷卻室3及機械電氣室200。而且，此等部分，係 藉具有安裝腳301之構造體300一體的被支撐於設置面上。 又，未圖示但設置操作控制盤做為別處。 在冷卻室3接續空冷裝置8及排氣導管9。空冷裝置8 , 係形成獨立之冷卻用淨化組件，省略圖示，但具有包含送 風機、咼性能過濾為、等之空調機器，將外氣引進作成低溫 之清靜空氣供給至冷卻3之裝置。 隔間構件4 ’係具有被設置於熱處理室2與冷卻室3之間 本纸張尺度翻目家標準（CNS)A4規;^ (21Q χ 297公^· 513549 A7 五、發明說明（6 ) 之上側面41與下側面42與端面43，並由兩室之壁面突出成 緣狀形成突出構件。在本例，係設置成切開包圍熱處理室2 之下側的斷熱箱’使盒1形成可以通過之開口。 第4圖及第5圖為表示密封部分之構造例。 上始、封單元5，係如第4圖之2點虛線所示，或如第5圖 細部所示，在本例被設置於上端之上板丨丨之上做為盒丨，盒 1由被放入熱處理室2之上位置下降至被放入冷卻室3之下 位置後’形成使其接觸隔間構件4並密封兩室之間。亦即， 在本例’係由在被安裝於上板11之上密封時，形成使其與 隔間構件4之端面43對向之上安裝體5卜被安裝於其上之密 封框體52、即使其與此等卡合被安裝於隔間構件4之上側面 41之承載框體4 la等所構成。密封框體52，係使其可以調整 上下間隔，並在上方使其具有空間的被崁入被安裝於上安 裝體51之支撐栓51a。在上述中，在盒丨被放入冷卻室3之下 位置，以2點虛線所示之盒丨的下板12形成I!。 籲 下密封單元6，係如第4圖之實線所示，或第5圖細部所 不，在本例被設置於上端之下板12之下做為盒2，盒丨由被 放入冷卻室3之下位置上升至被放入熱處理室2之上位置 後形成使其接觸隔間構件4並密封兩室之間。亦即，在本 例ir、由在被安裝於下板12之上密封時，形成使其與隔間 構件1 之端面43對向之下安裝體61、其突出部分…、及分 別破女衣於该部分及隔間構件4之下側面β之接觸構件Μ 及❿所構成。尚且，接觸構件即使相互的被安裝在相反側 Ρ刀亦可3夕卜，即使將與此等之接觸構件Μ及❿同樣形 297公釐） 線 本紙張尺—用中 513549 五、發明說明（7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 ::::或其他適當形狀之物’設置成雙密封狀做為密封 部分亦可。f ;隹—半 , y 亦可以在隔間構件之端面43应上下 女裝體51、61之端面之間，設置適當構造之密封單元。在 亡述中’在盒1被放入熱處理室2之上位置，以實線所示之 盒1之下板12形成l2位置。 尚且’在以上已表示上下安裝體51及61，做為別體被 安裝於盒以上下板12及12之例，但即使此等做為—^成 盒部分亦可。 第6圖為表示升降單元之構成例。 升降單元7，係一種可以在前述下位置Li與上位置^ 之間升降盒1之機構，在本例係採用利用球形螺栓與線型導 執之機構，並由以下幾項所構成，介由下安裝體61被結合 於盒1之升降軸71、做為可以升降升降軸71之升降驅動裝 置，且與被結合於升降軸71之升降塊72a一體化之球形螺母 72、藉自由旋轉被支撐旋轉於上下之軸承73a及73b，使球 形螺母72升降，並介由升降塊72a使升降軸71升降之球形螺 栓73 '介由從動滑輪74a、具有齒輪之皮帶74b及驅動滑輪 74c使此等旋轉之馬達74、及與升降軸7丨結合並導引此等至 上下方向之線型導執之移動體75及導執76等。 構成升降單元之此等機械類，係被配置於位置在冷卻 室3下面之配置空間之升降機械室77。升降單元之軸承 73a、73b、馬達74及導執76，係適當的被固定支撐於升降 機械室77之未圖示之構造體與安裝台。尚且，做為升降單 元7，僅限於本例之物，亦可以使用(邊〗气絳裝置與齒條和副 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公f 了

,—I- '^衣 訂 — !^ (請先間讀背面之注意事項寫表良^ . 10 五、發明說明（8 ) 齒輪機構等，使其由下升降之單元，與使用捲取機等吊上 吊下f單元等眾知之適當機構之各種單元。 弟7圖為表示藉適用本發明之淨化烘爐之熱處理系列 之構成例。 Μ 本例之熱處理系列，係由配置丨組淨化烘爐Αι及、2台 之Μ理裝置之單元系列A、配置在對向於分別之淨化供 爐之冷部至3之位置做為共用u台行走自動機之自動機系 列B、及由搬送裝载熱處理前後之製品w之盒丨之輥式輸送 機等所形成之盒系列c等所構成。尚且，亦有將如此之淨 化烘爐作成多數組配置之熱處理系列。 熱處理單元，在被配置成作為如此之熱處理系列時， 如本例之熱處理單元，若將升降單元7配置在冷卻室3下面 之升降機械室77,由其下面藉升降軸71使盒丨升降的話，由 於即使在與冷卻室3同水準之周圍之任何一面，也就不要有 升降機械用的空間’所以不浪費之合理的配置變成可能， 可以有效的利用工廠等之空間。 另外，以行走自動機400，搬出入被放下於冷卻室3之 盒1的製品W時，可以將冷卻室3放置於適當的高度位置。 更進一步’在處理室2包含製品預冷用之水冷卻器25與調節 氣26a、26b之風路空間等，在需要之際，由於不將熱處理 室3下面之冷卻室3之橫的空間做為升降機械室，可以作為 熱處理室之一部，所以可以迴避熱處單元之大型化。 自動機400，在本例，係配設成使其行走在自動機系列 B上，以1台可以處理2台之淨化烘爐之製品，並由本體部 本紙張尺度刺巾國國準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） 513549 A7 五、發明說明（9 ) 4〇1、自由旋轉之臂402、被安裝於臂之先端吸著支撐製品 藉臂之旋回伸縮，同時在單元系列A與盒系列^之間移載升 降之各段之製品之手柄4〇3等所構成。 如以上之淨化烘爐’係被依如下之運轉發揮了其作用 效果。 尚且’通常，在盒系列之盒的搬送及自動機之動作， 係分別藉未圖示之控制單元被自動化，同時淨化烘爐側之 盒的升降、熱處理室及冷卻室之溫度、氮供給量、熱處理 至内之氧氣濃度、壓力等，係適當的被設置傳感類，在未 圖示之核作控制盤或機側中被自動控制，但在以下針對控 制關係省略其說明。 例如將裝載25段製品W之盒i /被般送至盒系列c 後’自動機400作動，其手柄403由盒1 '將製品wi枚1枚的 搬出’將此等25段的裝載於淨化烘爐側之冷卻室3内之盒 1。此時’由於冷卻室内變成常溫，所以自動機4〇〇為常溫 規格者即可。 製品W被裝載於冷卻室3之盒1後，升降裝置4作動。亦 即，馬達74旋轉，藉由轉矩傳達部分旋轉球形螺栓73，球 形螺母72上升藉由升降塊72a，使升降軸71上升，被結合於 该軸之移動體75 ’沿著導執76上升正確的維持升降軸71之 上升執道，介由被結合於該軸的上端之下安裝體6丨之盒1 上升，最初位於LHi置之盒1之下板12變成l2位置後升降裝 置4停止。 此時，接觸構件62與42a壓接，下隔間構件4之下側面 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規烙（210 ： 297公釐） 頁 訂 513549 A7 部 智 慧 員 費 it 'f土 五、發明說明（1〇) 42與下女裝體61之間被密封，其結果熱處理室2與冷卻室3 之間凡全被遮斷。此場合，由於在形成上下配置之兩室間 使盒升降移動，所以不必如習知之橫排配置，在兩室間設 置門與遮板，可以藉完全不必要為了閉鎖之驅動單元與時 • 間之單單密封單元，就可以簡易的且自動的遮段兩室間之 開口。 第8圖為表示依如上述之淨化烘爐之熱處理過程之一 ™例。 盒1被放入熱處理室2開始熱處理工程。本例之淨化烘 爐，由於是在以低氧氣環境下a5〇(rc*35(rc燒成製品之 裝置，由亂氣接續口 27供給氮氣且由排氣筒28排出空氣， 以N2替換熱處理室2内。或與κ並行，將加熱器置於運 " 轉送風機’使室内氣體循環將此等作成低氧氣濃度化，且 • f先使其上升到中間溫私，更進一步，使其上升到燒成 溫度h，維持該溫度於一定時間燒成製品。 • 冑品之燒成終了後，將加熱器22至於0FF，將調節器 26a、26b由第i圖⑻之實線位置替換成2點虛線的位置，運-2水冷卻器25 ’在進行熱處理時之低氧氣濃度環境下之狀 - 態’冷卻試驗室内至約略中間溫度^。 在如此之運轉中，以熱處理室與冷卻室遮斷氣體的導 通，同時由於沒有如枚葉處理式單元將製品取出與放入之 開口’所以對於以高溫進行熱處理之製品等，形成可以以 如上述之低氧氣環境之運轉。另外，由於具有同時的敎處 理製品全體之早元，所以形成可以在熱處理室内冷卻製品 裝--------訂----- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -線------------- I I I I I I . 本紙張尺度適用中國國家標準 513549 五、發明說明（u) ί 員 工 消 費 Ϊ 間溫度。其結果，在曝露製品於形成冷卻室3之通常氧 亂濃度之長溫空氣時’可以確實的防止其氧化與破裂。 熱處理室内之溫度變成約略t,後，為了節省能源及氮 氣停謂熱處理室内之氮氣的供給，但不改變熱處理室内 之低乳氣濃度環境’在此種狀態下使升降褒置4作動，這次 使盒i由下板12社2位置下降到L|位置。此時，接觸構㈣ 與42a之接觸被解除，熱處理室2與冷卻室3之間導通，但比 車乂於冷卻室3之常溫空氣，由於熱處理室之氣體溫度^為 2〇〇c左右，所以藉上下之氣體的15倍以上之比重差，兩 氣體的混合'朝冷卻室之熱氣的吹出及熱處理室的溫度將 低’僅到某種程度就停止。 另外’裝載製品之盒在下降時，製品伴隨著熱處理室 之氣體，由於製品本身順序的閉鎖隔間部的開口之大部分 且下降’所以兩室間之氣體的流通、混合僅止於某種程度。 ’、果可以維持熱處理室之溫度於接近之溫度。另外， 冷部室内溫度也不會上升至比等程度。尚且，在習知之裝 置兩室被配置成橫並排的場合’盒在通過兩室間時，由： 有必朴開門及遮板，所以熱氣瞬時間吹入冷卻室，同時 冷部至的冷氣侵人熱處理室，發生約略全面的氣體的混合 現象’兩室間之空氣環境大幅的混亂，但若依據本發明則 可以約略完全的防止此種不順的問題。 i 1又成下板12之L2位置後，這次上安裝體5丨之密封框 體52 ’進入隔間構件4之上側面“之承載框體仏内與此等 接觸，在盒之通過開口，以作蓋的形狀完全的遮斷熱處理

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513549 五、發明說明（12 至部至3之間。其結果，分別之室内之溫度條件被維 持同日讀處理室2内之低氧氣環境也被維持於某種程度。 _ 種昜5 ’若依據本發明之上密封裝置5的話，由於利 用I 1之升降動作可以自動的遮斷兩室間的導通，所以如在 σ又置門共遮板的場合，則關閉此等之操作與控制也就變成 j、要用以操作與控制之複雜之機構也就不需要，從 而凌置成本變成更便宜，門與遮板的空間也不要，配置 構造變成容易同時可以謀求裝置全體的小型簡素化，由於 門等之開關不見’所以盒1在下降至冷卻室3時，其上部打 開之間大夕的氣體導通變成沒有，運轉時間也被短縮，可 以得到種種的作用效果。 在冷部至3 ’為了維持内部之淨化狀態，通常之空冷裝 置8經常被運轉，藉此，將由外部引進的空氣作成清淨的冷 卻二氣並以送風機供給至冷卻室3，使其通過被裝載於盒 1之衣1"口 ％之間並冷卻此等，由排氣導管9排出至外部。藉 此，將製品的表面溫度定為自動機搬運之可能溫度之^ = 7(TC以下。冷卻室3的溫度，係最終淨化烘爐被設置之淨化 室之溫度之t4 = 23°C。 在冷部至内之冷卻過程終了後，自動機4〇〇作動並將製 品W移載至盒系列c之盒厂。此種場合，由於製品被充分 的冷卻，所以即使不是處理此等之自動機之耐熱自動機， 亦可以使用常溫規格之自動機。其結果，可以採用一般市 販品之自動機，可以謀求做為熱處理設備全體之成本的降 低。另外，亦可以提昇自動機本身之耐久性與信賴性。 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 ------------裝---- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂_ 丨線- 297公釐） 15 五、發明說明（13 ) ，熱處理完成之製品之移載完成後，裝在其次之未處理 之製品之盒「被般送至盒系列C，重複由對冷卻室内之盒 製品的移載到對熱處理完成製品之盒r之搬出之至此 、兑月之過矛王’ i系列之製品被順序的進行熱處王里。另一 方面，在淨化烘爐八2,藉與Αι共用之自動機4〇〇，使與在 A!之處理過程移動位相之過程同時的進行。 若依據本务明’可以大幅的合理化如以上之熱處理過 私亦即，在順序重複之熱處理過程中，由於可以維持熱 處理至内在低氧氣環境且接近中間溫度tl之溫度，所以替 換N2所需要之氮氣量十分少，可以降低運轉成本，同時可 以充分的減少用以使替換&之時間及被供給之常溫氮氣 升溫，並使熱處理室内達到中間溫度丁1之時間。 另外，盒1由熱處理室2朝冷卻室3移動時，由於朝冷卻 至3之熱氣的吹出僅止於某種程度，所以即使此時之熱處理 至之熱氣形成十分低之氧氣濃度，在熱處理室之製品的預 冷在終了後，在不作改變其空氣環境之操作下，在依舊的 狀怨下立即將盒下降至冷卻室，可以在冷卻室實施冷卻過 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 程。其結果，由熱處理過程移動到冷卻過程時，不要作多 餘的操作與時間，可以謀求工程的合理化與處理時間的短 縮。

在使用適用如以上之本發明之熱處理設備之製品處理 過程中’依據第9圖舉出如下之溫度及處理時間之一例： 製品燒成溫度 350°C 500°C

熱處理室之中間溫度 tl 約200°C 350〇C A7 B7 五、 發明說明（ 熱處理室之最終設定溫度 冷卻後之製品溫度 Ϊ2 350〇C 500°C t3 70°C以下 70°C 替換N2及N2生溫時間 幵溫時間 Ti 13分 13分 丁 2 28分 38分 設定溫度基普時間 τ3 60分 60分 在熱處理室之降溫時間 Τ4 14分 30分 在冷卻室之冷卻室時間 丁 5 15分 15分 合計過程時間 τ 130分 156分 右依據以上之結果，如至此所述為了使熱處理室空氣 %境昇溫之溫度幅度變小，則几+ 丁2之時間變短，同時為 了在低氧氣環境降溫，則丁4+丁5之合計降溫時間變短，全 過私日守間也比習知之門關閉式之熱處理單元的場合大幅的 被、、宿短又，由於如此熱交換時間被短縮，所以消費能源 艾小，若依據本發明之淨化烘爐可以謀求運轉時的省能 源尚且，製品燒成溫度在500°C時，可以與製品燒成溫度 在350°C時相同，將熱處理室之中間溫度^定為2〇〇t;。但 疋，在此時，昇溫時間約需花費5丨分多少會更長。 第9圖為表示適用本發明之淨化烘爐之其他之例。 本例之淨化烘爐之上下密封單元，係可以分離的由盒i 所形成，如圖示之盒丨，在位於冷卻室3時，係構成使間隔d 形成於上密封單元5與盒1之間。此種場合，省略圖示，但 在益1與上下安裝體51、61之間，設置導引構件等之適當之 決定位置機構，使兩者間相對的位置決定，上下密封單元 介由盒1 ’在經常決定之位置被升降，使其密封部分可以確 裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .卩川又

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只的接觸被密封於間構件4側。 尚且，如圖中2點虛線所示，以支柱53連結構成上下之 密封單元5、6之上下安裝體51、61，即使將此等做為一體 之也封構造體，使其固定於升降裝置7之升降軸7丨亦可。在 其場合，有可能可以省略對於上下安裝體51、61之盒丨的位 置決定部分。 在本例之單元，在冷卻室3僅常設一體或別體之上下密 ί單元5 6。而且，例如在淨化烘爐的兩側設置自動機系 列Β及盒系列C，由-方側之盒系列搭載未處理製品之盒 :，藉自動機等之移載裝置被移載於下安裝體61上，升降此 等元成製品之熱處理後，搭在處理完成製品之同盒丨，藉別 的移動單元，形成被移載至另外一方側之盒系列。此種場 ^在上也封I置5與盒1之間，由於打開如前述之間隔d， 所以可以將盒1裝載於上下安裝體之間。 若依據如本例之單元，在冷卻室與外部搬送系列之 間’由於沒有必要藉自動機將製品⑻枚的移載，所以製 品搬送時間被短縮，可以謀求全熱處理相之更短縮。 尚且，在以上，已針對在淨化烘爐之製品的處理溫度 〇 C或500 C知度之通常溫度還高且替換N2的場合加 以次明’本發明之如此之處理溫度，在比35代或則。c程 度之通常溫度還高的場合、與藉替_2等之不活性氣體， 將熱處理環境作纽㈣氣環境之單元，極為有效的被適 用仁疋不用說對於在具有冷卻室之熱處理後之製品之 熱處理單元’亦可以廣泛的適用於本發明。而且，即使此

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發明說明（18) 經濟部智慧財產局員工消費合阼法中製 ”使其通過該部分之升降單元、與在通過前後之自動密封 形成式之密封單s ’可以使種種之重要之作用效果發生。 在如申請專利範圍第2項之發明中，由於可以由前述裝 載單元分離上密封單元與下密封單元，又當前述裝载單元 位於前述冷卻室時，構成使其可以間隔於前述上密封單元 與前述裝載單元之間，藉自動機等之搬送單元，在上述間 隔内舉起裝載單元，在將上下密封裝置留下分別之密封部 分及升降單元部分之狀態，可以僅將裝載單元由冷卻室搬 入•搬出至外部。其結果’藉組合如準備裝載應被熱處理 於外部之搬达系列之被處理物之新的裝載單元之過程，不 是將被處理物取出放入裝載單元，而是將裝載此等之裝載 單元取出放入冷卻室，可以在短時間内開始其次之熱處 理。其結果，可以使熱處理能率更加提昇。 在申請專利範圍第3項之發明中，將升降單元設置於位 置在冷卻室下面之機械配置空間’由於具有被結合於裝載 單元下面之升降軸，與可以升降升降軸之升降驅動單元， 所以冷卻室下面之配置空間，係被升降單元所佔有，但可 以將與冷卻室同等級之周圍空間，由為了升降單元之占有 空間完全的解放。 其結果，在工廄中，在配備熱處理單元於熱處理系列 時’可以形成沒有浪費之合理的配置，可以有效的利用工 廠等的空間。另外’在冷卻室將被裝載於裝載單元之平板 狀之被試驗物，以自動機等搬出入時，藉配置升降單元之 空間於冷卻室下面，使冷卻室位置於適當之較高位 可 壯衣·-------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

21 A7 B7 五、發明說明（19) 更=之被試驗物搬送位置之高度位置之平衡較 敎乂以將冷卻室之橫的一部，利用作為用以 的延長部分。例如在高溫熱處理之必要之被試驗物 =人’在使其設置預冷單元於熱處理室㈣，熱處理 、王體尺寸不用太大，可以配置如此之追加單元。 <圖面的簡單說明〉

弟1圖為適用本發明之熱處理單元之淨化烘爐之說明 圖’⑷及（b)係分別表示熱處理室橫截面及熱處理室 室部分之縱截面之圖。 ^ 第2圖為第1圖0)之八〜八箭頭部分之說明圖。 P圖⑷及（b)為表示盒之構造例之平面圖及正面圖。 訂 第4圖為上述淨化烘爐之密封單元部分之說明圖。 第5圖⑷及（b)為表示擴大上述密封單元部分之說明 圖。 第6圖為升降單蚊說明圖，⑷為正面狀態，⑻為平 線 面狀態之圖。 ，第7圖為依據上述淨化烘爐之熱處理線路之說明圖，（a) 為平面狀態，（b)為正面狀態之圖。 第8圖為表示對於熱處理時的時間之溫度變化的狀態 之說明圖。 第9圖為表示密封單元部分之其他例之說明圖。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 513549 - A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合阼fi卬製 五、發明說明（20 元件標號對照 1···盒（裝載單元） 2···熱處理室 3 · · ·冷卻室 4…隔間構建 5…上密封單元 6···下密封單元 7···升降單元 7 1…升降轴 72…球形螺母72(升降驅動單元） 7 3…球形螺栓（升降驅動單元） 74…馬達（升降驅動單元） 75…線型導執之移動體（升降驅動單元） 76…導執（升降驅動單元） d···間隔L,···下位置 Lr··上位置 W…製品（被處理物） 裝·-------訂·--------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 23

Claims (1)

1. 513549 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 1. 一種熱處理單元，係將裝載多數平板狀之被處理物之裝 載單7L，由熱處理室取出或放入熱處理室，以進行熱處 理者，包含有： 冷卻至，係被設置於前述熱處理室的下面，使其 可以冷卻前述被處理物； 一升降單元，係用以使前述裝載單元可以在前述裝 載單7L被放入前述冷卻室之下位置與被放入前述熱處 理室之上位置之間升降者； 一隔間構件，係被突出設置於前述熱處理室與前述 冷卻室之間’使前述裝載單元可以在前述減理室與前 述冷卻室之間升降通過； 一上密封單元，係被設置於前述裝載單元之上端側 ，且係形成為當前述裝載單元由前述上位置下降至前述 立置之後’使其接觸於前述隔間構件以密封於前述埶 與前料卻室H及， ^ 下密封構件，係被設置於前述裝載單元之下端側 ’且’形成為當前述裝載單元由前述下位置上升至前述 ^位置之後，使其接觸於前述隔間構件以密封於前述熱 與前述冷卻室之間者。 2·專利範圍第1項之熱處理單元，其中前述上密封 早篇%前述下密封單元，係形成可以由前述裝載單元分 離者’又s則述裝載單元位於前述冷卻室時，係構成為 使其可以間隔於前述上密封單元與前述裝載單元之間 者0 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ¾ 填寫太 訂.II·——r!線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 24 - 513549 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 3.如申請專利範圍第1項之熱處理單元，其中前述升降裝 置具有升降驅動單元，該升降驅動單元係被設置於位在 前述冷卻室下面之配置空間，且用以使被結合於前述裝 載單元下面之升降軸與該升降軸可升降者。 -------------裝--------訂· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 25