JP7408253B2 - 工業炉 - Google Patents
工業炉 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7408253B2 JP7408253B2 JP2021066374A JP2021066374A JP7408253B2 JP 7408253 B2 JP7408253 B2 JP 7408253B2 JP 2021066374 A JP2021066374 A JP 2021066374A JP 2021066374 A JP2021066374 A JP 2021066374A JP 7408253 B2 JP7408253 B2 JP 7408253B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- furnace
- gas
- cooling gas
- heating gas
- circulation path
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 199
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 194
- 239000000112 cooling gas Substances 0.000 claims description 179
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 8
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 6
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 4
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
- Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)
- Furnace Details (AREA)
Description
また、前記の加熱用気体迂回戻し管が前記の加熱用気体案内管と炉内において対向する一端に加熱用気体案内管より大径の吸引口部を設けると共に、前記の冷却用気体迂回戻し管が前記の冷却用気体案内管と炉内において対向する一端に冷却用気体案内管より大径の吸引口部を設けるようにすることができる。
11 :加熱器
12 :第1フィルター
13 :第1送風機
14 :加熱用気体循環経路
14a :加熱用気体案内管
14b :加熱用気体戻し管
14c :第1バルブ
15 :加熱用気体迂回循環経路
15a :加熱用気体迂回戻し管
15b :吸引口部
15c :第3バルブ
21 :冷却器
22 :第2フィルター
23 :第2送風機
24 :冷却用気体循環経路
24a :冷却用気体案内管
24b :冷却用気体戻し管
24c :第2バルブ
25 :冷却用気体迂回循環経路
25a :冷却用気体迂回戻し管
25b :吸引口部
25c :第4バルブ
Claims (3)
- 炉外に設けられた加熱器により加熱されて第1フィルターにより浄化された加熱用気体を、炉内を通して循環させる加熱用気体循環経路と、炉外に設けられた冷却器により冷却されて第2フィルターにより浄化された冷却用気体を、炉内を通して循環させる冷却用気体循環経路とを別に設け、前記の加熱用気体循環経路により炉内を通して加熱用気体を循環させる操作と、前記の冷却用気体循環経路により炉内を通して冷却用気体を循環させる操作とを切り換えて行うにあたり、前記の加熱用気体を、炉内を通して循環させないように炉外に導いて循環させる加熱用気体迂回循環経路と、前記の冷却用気体を、炉内を通して循環させないように炉外に導いて循環させる冷却用気体迂回循環経路とを設け、前記の加熱用気体循環経路により炉内を通して加熱用気体を循環させる操作時には、前記の冷却用気体迂回循環経路を通して冷却用気体を炉外に導いて循環させる一方、前記の冷却用気体循環経路により炉内を通して冷却用気体を循環させる操作時には、前記の加熱用気体迂回循環経路を通して加熱用気体を炉外に導いて循環させるようにし、前記の加熱用気体循環経路として、前記の加熱用気体を炉内に案内する加熱用気体案内管と、炉内を通して排気される加熱用気体を前記の加熱器に戻す加熱用気体戻し管とを設ける一方、前記の冷却用気体循環経路として、前記の冷却用気体を炉内に案内する冷却用気体案内管と、炉内を通して排気される冷却用気体を前記の冷却器に戻す冷却用気体戻し管とを、前記の加熱用気体循環経路における加熱用気体案内管と加熱用気体戻し管と重複しないように別に設け、前記の加熱用気体迂回循環経路として、前記の加熱用気体案内管を通して炉内に案内された加熱用気体を炉外に導いて前記の加熱器に戻す加熱用気体迂回戻し管を設ける一方、前記の冷却用気体迂回循環経路として、前記の冷却用気体案内管を通して炉内に案内された冷却用気体を炉外に導いて前記の冷却器に戻す冷却用気体迂回戻し管を設けたことを特徴とする工業炉。
- 請求項1に記載の工業炉において、前記の加熱用気体戻し管に第1バルブを、前記の冷却用気体戻し管に第2バルブを、前記の加熱用気体迂回戻し管に第3バルブを、前記の冷却用気体迂回戻し管に第4バルブを設け、前記の第1バルブを開ける一方、前記の第3バルブを閉じて、加熱用気体を前記の加熱用気体循環経路により炉内を通して循環させると共に、前記の第2バルブを閉じる一方、前記の第4バルブを開けて、冷却用気体を前記の冷却用気体迂回循環経路を通して炉外に導いて循環させ、前記の第2バルブを開ける一方、前記の第4バルブを閉じて、冷却用気体を前記の冷却用気体循環経路により炉内を通して冷却用気体を循環させると共に、前記の第1バルブを閉じる一方、前記の第3バルブを開けて、加熱用気体を前記の加熱用気体迂回循環経路を通して炉外に導いて循環させることを特徴とする工業炉。
- 請求項2に記載の工業炉において、前記の加熱用気体迂回戻し管が前記の加熱用気体案内管と炉内において対向する一端に加熱用気体案内管より大径の吸引口部を設けると共に、前記の冷却用気体迂回戻し管が前記の冷却用気体案内管と炉内において対向する一端に冷却用気体案内管より大径の吸引口部を設けたことを特徴とする工業炉。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021066374A JP7408253B2 (ja) | 2021-04-09 | 2021-04-09 | 工業炉 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021066374A JP7408253B2 (ja) | 2021-04-09 | 2021-04-09 | 工業炉 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022161502A JP2022161502A (ja) | 2022-10-21 |
JP7408253B2 true JP7408253B2 (ja) | 2024-01-05 |
Family
ID=83659089
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021066374A Active JP7408253B2 (ja) | 2021-04-09 | 2021-04-09 | 工業炉 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7408253B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002257474A (ja) | 2001-02-26 | 2002-09-11 | Espec Corp | 高能率冷却式熱処理装置 |
JP2007271126A (ja) | 2006-03-30 | 2007-10-18 | Espec Corp | クリーンオーブン |
JP2017120154A (ja) | 2015-12-28 | 2017-07-06 | 中外炉工業株式会社 | 工業用炉 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02144751U (ja) * | 1989-05-10 | 1990-12-07 | ||
US5221201A (en) * | 1990-07-27 | 1993-06-22 | Tokyo Electron Sagami Limited | Vertical heat treatment apparatus |
-
2021
- 2021-04-09 JP JP2021066374A patent/JP7408253B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002257474A (ja) | 2001-02-26 | 2002-09-11 | Espec Corp | 高能率冷却式熱処理装置 |
JP2007271126A (ja) | 2006-03-30 | 2007-10-18 | Espec Corp | クリーンオーブン |
JP2017120154A (ja) | 2015-12-28 | 2017-07-06 | 中外炉工業株式会社 | 工業用炉 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2022161502A (ja) | 2022-10-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102053029B1 (ko) | 기판 처리 장치, 반도체 장치의 제조 방법 및 프로그램 | |
KR101957751B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
JP4376243B2 (ja) | クリーンオーブン | |
KR950021004A (ko) | 열처리장치 | |
JP5407291B2 (ja) | 熱処理方法及び熱処理装置 | |
US11114319B2 (en) | Heat treatment apparatus and heat treatment method | |
JP7408253B2 (ja) | 工業炉 | |
JP6066460B2 (ja) | 蓄熱式排ガス浄化装置 | |
TWI613411B (zh) | 工業用爐 | |
KR100231686B1 (ko) | 반도체장치의 제조장치 및 제조방법 | |
JP2016142502A (ja) | 強制給排気式暖房装置 | |
KR102159290B1 (ko) | 차량용 egr 쿨러의 냉각수 유동 제어장치 및 제어방법 | |
KR20180037006A (ko) | 연속 어닐링 설비 | |
JP4179445B2 (ja) | 熱処理炉 | |
US11927394B2 (en) | Heat treatment apparatus and heat treatment method | |
KR101889312B1 (ko) | 공업로용 냉각장치 | |
JP6076241B2 (ja) | ガス処理装置 | |
US20220290292A1 (en) | Temperature control unit and processing apparatus | |
KR102115432B1 (ko) | 인공위성 열진공 시험 챔버용 블로워의 냉각수 채널 부식 방지 장치를 이용한 블로워의 냉각수 채널 부식 방지 방법 | |
JP2023046765A (ja) | 脱脂装置 | |
JP2005353967A (ja) | 半導体製造装置 | |
JP6427949B2 (ja) | 真空焼入れ処理方法 | |
KR101089542B1 (ko) | 로드 락 장치 및 로드 락 장치의 벤팅 가스 공급 방법 | |
KR20060105816A (ko) | 반도체 확산설비의 냉각시스템에 사용되는 플랙시블 호스 | |
JPH10330835A (ja) | 雰囲気熱処理炉 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220929 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230808 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230926 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20231121 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20231219 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20231219 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7408253 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |