TW502369B - System for preventing improper insertion of FOUP door into FOUP - Google Patents

Description

502369 A7 B7 五、發明説明（1 ) 明背景 發明領域 體式笑式容器（FOUP，front opening ，德關於一種FOUP，其包含用以 機構。 本發明關於前開 unified pods)，特定而言 預防FOUP門不當插入F0UP之 相關技藝說明 由HewUPackard公司提出的SMIF系統’其揭示於美國 專利編號4,532,970及4,534,3 89。一3!^靠統的目的在於儲 存及輸送晶圓通過半導體製程期間，降低粒子流動到半導 體晶圓上。此係部份由機械式地保證在儲存及輸送期間， 環繞該晶圓的氣體媒介（例如空氣或氮氣）基本上相對於該晶 圓為靜止的，以達到此目的，並藉由保證來自週遭環境的 粒子不會進入接近晶圓的琢私

一 SMIF系統具有三個主要元件：（1)最小體積及密封的莢 式容器，用以儲存及輸送晶圓及/或晶圓E ; (2) 一輸入/輸 出（I/O)迷你環境，其位在一半導體處理工具上’以提供一 小型的無塵空間（其充滿清潔的空氣），其中暴露的晶圓及/ 或晶圓匣可傳送到該處理工具中，或由該處理工具中送 出；及（3)—種用以輸送該晶圓及/或晶圓匣在該SMIF莢式 容器及該SMIF迷你環境之間，而不會將該晶圓或匣暴露給 微粒物質。關於所揭示的SMIF系統的進一步細節係描述於 Mihir Parikh及 Ulrich Kaempf所提論文，名為“SMIF:用於 VLSI製造的晶圓匣輸送技術”（“SMIF: A TECHNOLOGY FOR WAFER CASSETTE TRANSFER IN VLSI MANUFACTURING”）， -4 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐) 502369 A7 B7 五、發明説明（2 ) 見於 Solid State Technology，1984年 7月，第 111至 115 頁。 上述形式的系統係考慮粒子大小範圍由低於0.02微米（μιη) 到大於200微米。這些大小的粒子由於應用在製造半導體裝 置的小的幾何形狀，對於半導體製程會有相當的損害。現 今典型的半導體製程使用1.5微米及更小的幾何尺寸。對於 幾何尺寸在大於0.1微米的不想要的污染粒子即會實質地干 擾1微米幾何尺寸的半導體裝置。當然，趨勢上係要使半導 體製程幾何更加微小，目前在研發實驗室中已達到0.1微米 及更低。未來，幾何尺寸將成為愈來愈小，因此對於更小 的汙染粒子及分子污染物質就受到關注。 F0UP —般而言包含一垂直方向的FOUP門，其結合於一 F0UP外殼來提供一密封，特別乾淨的内部環境，其中可儲 存及輸送晶圓。晶圓係支撐在一匣中，其可插入在該外 殼，或置於安裝在該外殼内部的格架上。 為了在一晶圓工廠中於一F0UP及一處理工具之間輸送晶 圓，一莢式容器基本上會裝載（可為人工或自動化）到位在該 工具前方的一裝載璋，所以該莢式容器門位在緊接該處理 工具的埠門。依此，在該埠門内的閂鎖鍵嚙合一位在F0UP 門内的閂鎖組件，以分離該F0UP門與該F0UP，同時結合 該F0UP門與該埠門。關於這種在一莢式容器門内的閂鎖組 件的細節係揭示於像是Bonora等人所提之美國專利編號 4,995,430，其名為“具有改良閂鎖機構的可密封輸送容器” (“Sealable Transportable Container Having Improved Latch Mechanism”），該專利係由本發明之受讓人所擁有。其中所 -5- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐) 五、發明説明（3 揭示的組件包含一兩階段閂鎖運作，其可固定閂鎖一莢式 容器門到一莢式容器外殼，如圖i及2A-2B中的先前技藝所 示。該閃鎖組件係安裝在該莢式容器門内，並包含一=鎖 轂28 ,其嚙合第一及第二移動閂鎖板3(^該埠門包含一對 閂鎖鍵，其延伸到形成在該閂鎖轂中的溝槽13，藉此順時 針及逆時針旋轉該閂鎖轂。每個閂鎖轂28的旋轉將造成該 第一及第一岡鎖板30在相反方向上移動。 圖1為該莢式容器内部的前視圖，其顯示該門閂鎖運作的 第-階段之閂鎖組件。當一莢式容器門由其與該埠門嚙合 回到嚙合於該莢式容器，在該埠門内的閃鎖鍵即旋轉該閃 鎖轂28，藉以向外移動該閃鎖板3〇，所以在該閃鎖板3〇的 遠端上的問鎖指部14，讀頭A的方向㈣到形成在該芙式 容器外殼中的溝槽15。該溝槽15習用上包含—形成在該笑 式容器外殼中的橫向壁17,其將該溝槽大致分為一半。該 指部14包含一空間19，在當該指部14接收在該溝槽15内 時，其即對準在該壁17上。 圖2A所不為圖1之閂鎖組件經由線2_2的側視圖，而圖2b 所不即為圖2A之側視圖，但顯示出該門閂鎖運作的第二階 段。特別是，該閂鎖轂28進一步包含一對斜面4〇，所以在 該指部14已經嚙合於該莢式容器外殼的溝槽15内時，進一 步的轂旋轉即造成該閂鎖板的近端32嚙合於該轂，而推動 上該斜面。此會造成該閂鎖板樞轉在箭頭B的方向上，係係 環繞位在每個閂鎖板的平面上之轴，並垂直於閂鎖板移動 的方向。在第二階段的此樞轉效應係要推動該莢式容器門 A7 B7 五、發明説明（4 =靠在該莢式容器外殼，藉此在該莢式容器門及外殼之間 提供一固定及氣密的密封。 為了分開一莢式容器門與一莢式容器外殼，即為當一莢 式容器初始載入到晶圓輸送的一裝載埠介面時，在該埠門 内的機構喃合該可旋轉轂28，並以與莢式容器閂鎖的相反 方向來旋轉該轂。此旋轉可脫離該閂鎖指部14與該莢式容 器外殼，並允許該莢式容器門與該莢式容器外殼分離。 關於FOUP門的半導體設備及材料國際（“SEMp)標準需要 該門安裝特徵的位置，即該可旋轉的閂鎖轂，在該閂鎖板 上的指部，及在該FOUP外殼中的溝槽，皆對於一水平軸為 對稱。該標準的作者相信其可方便地允許該F〇up門來正向 插入到該FOUP ,或上下相反。但是，其已發現到，對於該 水平軸的安裝機構之對稱性提供了 一明顯的缺點，如參考 圖3之說明。 圖3所示為一FOUP 20，其包含複數個晶圓21。該fou"] 22習用上提供複數個突出物23，在其間定義了複數個凹陷 24。該突出物23及凹陷24的位置被精確地控制，所以在將 該FOUP門22插入到F0UP 20時，在該F〇up内晶圓21即位在 凹24内，以防止該晶圓被移走。但是，如果Foup門係上 下相反地插入，該晶圓21可以未對準於凹陷24，而該突出 物23即會碰觸到該晶圓2 1。此在習用的F〇up中會發生，在 一上方晶圓與該FOUP的上方内表面之間的距離χ，係不同 於該下方晶圓與該FOUP的下方内表面之間的距離γ，因此 該突出物及凹陷的位置並未對於水平轴對稱。在該埠門上 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐) 502369 A7 B7 五、發明説明（5 ) 的突出物與該晶圓之間的接觸會造成該FOUP内每個晶圓的 損壞及/或破壞。因此，對於300 mm的半導體晶圓，在該 FOUP中不當地放置FOUP門會造成少量的金錢損失。 上下相反地載入一 FOUP門到一 FOUP的錯誤經常發生， 當該FOUP門人工地返回到一空的FOUP時。舉例而言，在 FOUP經過一清洗處理，技工通常手動地歸回該FOUP門到 該FOUP。FOUP門目前有標示一指標，藉以指示一 FOUP門 的上方及底側。但是，當一 FOUP門被人工地插入到該 FOUP時，該標記通常被忽略，或不瞭解。 包含該上下相反的門之空FOUP接著被傳送到一裝載埠。 如上所示，習用的裝载埠係用來輸送該FOUP門到該 FOUP，反之亦然，而不論是否該門為上下相反或正向。因 此，在到達該裝載埠時，該上下相反的FOUP門即如往常被 移開，而晶圓被裝載到該FOUP。但是，在後續藉由該裝載 埠歸回該FOUP門到該FOUP時，該上下相反的門即被驅動 而接觸到晶圓，而發生晶圓的損壞及/或破壞。 發明概要 因此，本發明的好處在於提供一種用以預防FOUP門不當 插入一FOUP的系統。 本發明另一好處在於提供一種機械系統，其實際上區隔 一 FOUP門來避免不當地插入到一 FOUP，藉以防止其中晶 圓的損壞。 本發明另一好處在於提供一種用以預防FOUP門不當插入 一 FOUP的系統之機械系統，其不會更改或加入到一密封 -8- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐) 502369 A7 B7 五、發明説明（6 ) FOUP的外緣或表面。 本發明所提供的這些及其它好處，其中該閂鎖板指部的 尺寸，形狀及/或位置，及位在該FOUP上緣的相對應溝槽係 不同於該閂鎖板指部及在該FOUP的底緣的相對應溝槽。因 此，除非該FOUP以正確的上下方向插入門到該FOUP，該 門將不會適當的配合到該FOUP。藉此，當一密封的FOUP 在一裝載埠接收來接收晶圓時，該FOUP門即為上下正向， 而由於一上下相反的FOUP門所造成晶圓損壞的危險將被消 除。 圖式簡單說明： 本發明現在將參考圖面加以說明，其中： 圖1所示為一先前技藝之FOUP門及外殼之内部的前視 圖； 圖2A及2B為一先前技藝之FOUP門及外殼之内部的側視 圖； 圖3所示為一先前技藝之FOUP内部的側視圖，其顯示出 該FOUP門内的凹陷，用以當該FOUP密封時，防止半導體 晶圓被移動； 圖4所示為根據本發明一 FOUP門及外殼之内部的前視 圖，其包含非對稱的上方及底部安裝特徵； 圖5所示為一 FOUP門及外殼之内部的前視圖，其顯示圖4 的安裝特徵如何防止一上下相反的FOUP門被結合到一 FOUP中； 圖6所示為一 FOUP門及外殼之内部的前視圖，其顯示該 -9- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐) 502369 A7 B7 五、發明説明（7 ) 非對稱安裝特徵的另一個具體實施例，用以防止一 FOUP門 不當插入到一 FOUP ; 圖7所示為一 FOUP門及外殼之内部的前視圖，其顯示圖6 的安裝特徵如何防止一上下相反的FOUP門被結合到一 FOUP中； 圖8所示為一 FOUP門及外殼之内部的前視圖，其顯示根 據本發明的另一具體實施例之非對稱安裝特徵，用以防止 一 FOUP門不當插入到一 FOUP ; 圖9所示為圖8之線9-9的橫截面圖； 圖10所示為圖8之線10-10的橫截面圖； 圖11所示為一FOUP門及外殼之内部的前視圖，其顯示圖 8的安裝特徵如何防止一上下相反的FOUP門被結合到一 FOUP中； 圖12所示為圖11之線12-12的橫截面圖； 圖13所示為圖11之線13-13的橫戴面圖； 圖14所示為一FOUP門及外殼之内部的前視圖，其顯示根 據本發明的另一具體實施例之非對稱安裝特徵，用以防止 一 FOUP門不當插入到一 FOUP ; 圖15所示為圖14之線15-15的橫截面圖； 圖16所示為圖14之線16-16的橫截面圖； 圖17所示為一FOUP門及外殼之内部的前視圖，其顯示圖 14的安裝特徵如何防止一上下相反的FOUP門被結合到一 FOUP中； 圖18所示為圖17之線18-18的橫截面圖； -10- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐) f 裝 訂

502369 A7 B7 五、發明説明（8 ) 圖19所示為圖17之線19-19的橫截面圖； 圖20所示為一 FOUP門及外殼之内部的前視圖，其顯示本 發明的另一具體實施例，用以防止一 FOUP門不當插入到一 FOUP ；

圖21所示為一 FOUP門及外殼之内部的前視圖，其顯示圖 20的具體實施例，用以防止一 FOUP門不當插入到一 FOUP； A 圖22所示為一 FOUP門及外殼之内部的前視圖，其顯示根 據本發明的另一具體實施例，用以防止一 FOUP門不當插入 到一 FOUP。 詳細說明： 現在本發明將參考圖4-22來加以說明，其中在較佳的具體 實施例中係關於預防一 FOUP門不當插入到一 FOUP中的機 械系統。當本發明係對於容納300 mm半導體晶圓的FOUP來 說明時，其可瞭解到本發明可應用到除了 FOUP之外的容 器，及容納半導體晶圓之外的用途。舉例而言，本發明可 利用在底部開口 SMIF莢式容器。此外，其可瞭解到本發明 可應用在容納像是十字線及平板顯示器之工件的容器。再 者，當本發明的較佳具體實施例關於用以實際地防止人為 地將一 FOUP門插入到一 FOUP之不正確的位置之機械系 統，在另一具體實施例中，本發明可配合使用感測器，以 防止自動化地插入一 FOUP門到一 FOUP之不正確的位置， 如以下所述。 現在請參考圖4，其所示為根據本發明一 FOUP之第一具 -11 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) 502369

體實施例，其包含非對稱的上方及底部安裝特徵。如圖所 示為一FOUPH22，其可配合在一F〇up外殼乃内（圖4中僅顯 示該下緣）。除了下述的F0UP外殼中的閂鎖板指部及溝槽 之外，用於刖進或退出該指部來喊合於該莢式容器外殼的 閂鎖組件並非本發明之關鍵，其可在其它具體實施例中被 修正。用於本發明中的一種閂鎖組件即如發明背景段落中 所述，其包含兩階段閂鎖運作。在圖面中，與那些描述於 發明背景段落中所述具有相同參考編號者，其用途即相同 於發明背景段落中所述。 圖4進一步顯示出在該上閂鎖板30的遠端處的閂鎖指部 1〇〇(此處所指的上方，底部，上及下皆相對於圖紙而言）。 該指部100的尺寸及位置係在啟動閂鎖轂28及前進該上閂鎖 板30時，可配合在該莢式容器外殼的上緣中個別的溝槽1〇2 之内。該閂鎖組件進一步包含位在該底部閂鎖板3〇的遠端 34處的指部104。該指部104之尺寸及設置係配合於形成在 該FOUP外殼的底緣中的個別溝槽106，指部104及溝槽106 可如發明背景章節所述，其中溝槽106包含一側壁1 〇8，其 在當該下閂鎖板30將指部104進到溝槽106中時，即對準於 一空間110。 現在請參考圖5，所示為一 FOUP門22，其正上下相反地 插入該FOUP。如圖所示，當嘗試要上下相反地插入該 FOUP門時，該指部104被阻隔，並防止進入位在該FOUP上 方側的溝槽102，而指部1〇〇被阻隔（藉由壁108)，並被防止 進入位在該FOUP底部的溝槽106。因此，如果嘗試要上下 -12- 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐)

裝 訂

% 502369 A7 B7 五、發明説明（10 ) -- 相反地將該門插入該F〇Up，如圖5所示，該轂28將被防止 旋轉’且該FOUPH將無法結合於該扣仍。

在圖4及5所示的具體實施例中，其可瞭解到在一方面該 上方‘邛100及溝槽1〇2，與在另一方面的該底部指部工⑽及 溝槽106之位置可以交換。其進一步可瞭解到，其可考慮與 圖4及5所示不同的該指部的指印及形狀，其可評定該上方 及底部指部在當該F〇UP門係適當地置於該F〇up中時係配 合在其個別的插槽，且當該FOUP門係不當地置於該f〇UP 中時，至少該上方配對及底部配對之一並未配合於相接的 溝槽。 現在請參考圖6及7，所示為本發明的另一個具體實施 例。在此具體實施例中，該四個指部丨12，1丨6及溝槽丨14， 118的形狀可彼此相同，但該指部可置於該閂鎖板3〇上，所 以該指部112將可配合在該溝槽114，而該指部116將配合在 該溝槽118 ’其僅有在當該門係正向配置時。舉例而言，形 成在該FOUP上方之閂鎖板30上的指部112，其可位在靠近 該FOUP的側邊，然而形成在該F〇up底部之閂鎖板30上的 該‘部116之間隔由該F〇up的側邊相對地更為靠内^類似 地，在該FOUP上方的外殼中的溝槽114,其可位在靠近該 側邊’而在該FOUP底部的外殼中之溝槽118之間隔由該側 邊相對地更為靠内。在這樣的具體實施例中，當該F〇up門 正確地正向置於該FOUP中，位在該上方及底部的指部將可 適當地對準於位在該上方及底部的溝槽内。但是，如圖7所 示，當嘗試要歸回該FOUP門22以上下相反的方向到該 -13- I紙張尺度適财S S家標準(CNS) A4規格(21()x297公y------- 502369

FOUP時，該指部ι16將不會對準於位在該F〇up上方的溝槽 114 ’而該指部112將不會對準於位在該f〇up底部的溝槽 118。如同本技藝專業人士所瞭解，該指部112，U6可位在 與圖6及7所示不同的其它位置，其條件為該指部在當該 FOUP門被正向插入時可對準於該溝槽，且該指部在當該 FOUP門上下相反地插入時並未對準於該溝槽。 此時’本發明已揭示為可變化該上方指部/溝槽相對於該 底部指部/溝槽在一第一方向上的位置（即在圖紙平面上的由 左到右的方向）。但是，其可進一步考慮到，位在該F〇up 上方的該指部/溝槽的相對位置可相對於位在該F〇uP的底部 處的指部/溝槽的位置來在一第二方向上變化（即進入與退出 該圖紙的平面方向）。這樣一種具體實施例示於圖8-13。在 此具體實施例中，該上閂鎖板之角度由該板的近端向下到 該遠端（即進入圖紙方向），所以該指部120在當該FOUP門正 向地插入時，可配合到該FOUP外殼中該外緣128的底部之 溝槽122。類似地，該底部閂鎖板之角度可由該板的近端向 上到該遠端（即退出圖紙方向），所以該指部124在當該FOUP 門正向地插入時，可配合於該FOUP外殼中該外緣130上方 的溝槽126中。 另一方面，當該FOUP門22上下相反地插入時，如圖11-13 所示’該指部124並未對準於該上緣的溝槽122内，而該指 部120並未對準於該下緣130的溝槽126内。 在圖14-19中所示的另一個具體實施例中，該指部及溝槽 的形狀在該上緣128可不同於該底緣130。舉例而言，如圖 -14- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐） 502369 A7 B7 五、發明説明（12 ) 14-16所示，指部132可配合於該上緣128中的溝槽134，而 指部136可配合於該底緣130中的溝槽138，當該FOUP門22 置於該FOUP中的適當位置時。但是，如圖17-19所示，當 該FOUP門22不當地置於該FOUP中時，該指部136將不會配 合於位在該FOUP上緣128處的溝槽134内，而該指部132將 不會配合於位在該FOUP底緣130處的溝槽138内。其可暸解 到，在該FOUP的上緣及下緣中的指部與溝槽的形狀可不同 於圖14-19中所示的其它具體實施例，其條件為當該FOUP 門正向低插入時，該上及下指部的形狀要對應於該上及下 溝槽的形狀，而當該FOUP門上下相反地插入該FOUP時， 該上及/或下指部的形狀即不配合於該相接的溝槽。 為此緣故，藉由非對稱安裝特徵即已防止該FOUP門不當 地插入到該FOUP。但是，該FOUP門可藉由在另外具體實 施例中的其它機構來機械式地阻隔結合到FOUP中。這樣的 一個具體實施例係示於圖20及21。在此具體實施例中，一 栓140係固定地安裝在該FOUP外殼25的内部某處，其位置 不會干涉到晶圓的放置，移入或移出該FOUP。這種位置例 如可靠近於該FOUP的角落或側邊。該栓140可延伸超出該 FOUP的開放端，使得當該FOUP門22適當的置於該FOUP中 時，該栓140可接收在形成於該FOUP門的内表面中的一井 142内。但是，根據此具體實施例，當嘗試要上下相反地插 入該FOUP門時，該井142現在位在該FOUP的相對端，如圖 21所示，所以該栓140緊靠在該FOUP門22的内表面，以防 止該FOUP門22結合在該FOUP内。該栓較佳地是以低摩耗 -15- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐) 裝 訂

502369 A7 B7 五、發明説明（13 ) 材料形成，以最小化微粒物質的產生。 上述本發明的較佳具體實施例可機械式地防止一技工人 為地以一上下相反方向結合一 FOUP門到一 FOUP。因此， 當一 FOUP在一裝載埠被接收時，其可保證該FOUP門係位 在正向位置，而不會有該FOUP門接觸到位在該裝載埠内的 晶圓之危險性。其可瞭解到，上述不同的具體實施例可彼 此組合，以進一步將該上方指部與溝槽與該下方指部與溝 槽差異化。 在另一個具體實施例中，除了機械式地防止一技工不當 地插入一 FOUP門到一 FOUP，其可在一裝載埠提供不同的 感測器來保證在自動地歸回該FOUP門到該FOUP之前，該 FOUP門係位在適當的方向上。舉例而言，如圖22所示，一 孔150可提供來穿過該FOUP門中的該閂鎖板30之一。根據 此具體實施例，例如在該孔150之下的該FOUP門中的表面 可具有比該閂鎖板本身要高的反射率。此具體實施例可進 一步包含一光學感測器，例如一回射感測器，其安裝在該 埠門上，以由該埠門發射一光束到該FOUP。該回射感測器 的位置使得當該FOUP門適當的正向配置時，來自該回射感 測器的光束被傳送通過該FOUP門蓋中的透明窗（未示出）， 其中該光束穿過該孔150，並反射回到該感測器。但是，如 果該FOUP門為上下相反時，該光束將不會傳送回到該感測 器，然後該控制器可辨識出該FOUP門處於一上下相反的位 置，且將不會歸回到該FOUP。在此具體實施例的另一個選 擇中，該FOUP門蓋本身可具有一反射片在該蓋的外表面 16- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) 502369 A7 B7 五、發明説明（14 ) 上，其對準於該埠門上的一光學感測器，如上所述。在這 種具體實施例中，當該FOUP門適當地正向配置時，來自該 光學感測器的信號將會由該反射片反射回到該感測器。但 是，如果該FOUP門上下相反時，來自該光學感測器的信號 將不會反射回去。因此，該控制器可決定該FOUP門是否正 向或是上下相反，並依此決定是否要歸回該FOUP門到該 FOUP。 雖然本發明已在此處詳細說明，其必須瞭解到本發明並 不限於此處所揭示的具體實施例。由本技藝專業人士在不 背離本發明的精神或範圍之下可進行不同的變化，取代及 修正。 -17- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐)

Claims (1)

1. 其包含： 一種用於儲存及傳送物件的莢式容器 一莢式容器門；. ° 灭式答器外殼，其包含 上接收該莢式㈣Η，《料合溝H個或多個方向 一安裝在該莢式容器門上的問鎖機曰構，該門銷… 插入到該莢式容器外殼中的該開5向才中=疒個來 合溝槽。 吟才嚙合该閂鎖嚙 2. 二申=範圍第1項之健存及傳送物件的英式容器， -閃鎖致動器’其連接到該閃鎖機構，用以送 鎖機構在一脫離位置與一嚙合位置之間。 " 3·請專利範圍第i項之儲存及傳送物件的英式容器， 該閂鎖機構具有兩個閂鎖指部； 該兩個閂鎖指部之位置係對準於閂鎖嚙合溝槽，如果 該莢式容器門以該選擇的方向被插入到該莢式容器時。 4·如申請專利範圍第3項之儲存及傳送物件的莢式容器， 其中該閂鎖嚙合槽防止該閂鎖機構由該脫離的位置轉移 到該嚙合的位置，如果該莢式容器門係以不同於該選擇 的方向被插入時。 5·如申請專利範圍第1項之儲存及傳送物件的莢式容器， 其中至少一個閂鎖嚙合槽被置於與該其餘的閂鎖喃合槽 的該莢式容器外殼開口之不同的距離。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(21〇Χ297公釐) 502369 A8 B8 C8

   訂

   裝 m 申請專利範圍 每個該兩個閂鎖指部係配置成對準於該閂鎖嚙合溝 槽’如果該莢式容器門係以該第一方向被插入到該莢式 容器時。 11·如申請專利範圍第10項之儲存及傳送物件的莢式容器， 其中該莢式容器外殼可防止該閂鎖機構由該脫離的位置 轉移到該嚙合的位置，如果該莢式容器門以不同於該第 一方向被插入到該莢式容器。 12.如申請專利範圍第1〇項之儲存及傳送物件的莢式容器， 其中至少一個閂鎖嚙合溝槽係位在與其餘閂鎖噛合溝槽 的該門開口不同的距離。 13·如申請專利範圍第10項之儲存及傳送物件的莢式容器， 其中至少該閃鎖嚙合溝槽之一與該門開口之邊緣之距離 不同於其餘的閂鎖嚙合溝槽。 14·如申請專利範圍第13項之儲存及傳送物件的莢式容器， 其中該莢式容器外殼可防止該閂鎖機構由一脫離的位置 轉移到一嚙合的位置，如果該莢式容器以不同於該第一 方向被插入到該莢式容器外殼時。 15. 一種用於儲存及傳送工件的莢式容器，其包含： 一具有一内部侧面的莢式容器門，該内部侧面且複 數個工件對準突出物； 一莢式容器外殼，其在第一及第二方向上具有一 來接收該莢式容器門；及 -安裝在該莢式袁器門上的閃鎖機構 ，當該芙式容器門以該第一方向被插入到該笑』= 殼中的該開口時，才嚙合該閃鎖嚙合溝槽。 -20- 本紙張尺度it财目目家標準(CNS) A4規格(2i0X2^JJ