TW490499B - Diffusion bonded sputtering target assembly with precipitation hardened backing plate and method of making same - Google Patents

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490499 A7 B7 五、發明説明（1 ) 發明背景 ~ 本發明係關於一濺鍍靶材總成，其具有一被擴散結合 至一濺鍍靶材之經析出硬化的底板。 以具有越來越薄之濺鍍靶材的濺鍍靶材總成來降低花 費已有越來越高裨益，在一些例子中，將濺鍍靶材總成容 置於某些個濺鍍室中。在這些應用中，總厚度少於約一英 吋的濺鍍靶材總成會是必須的。然而，以濺鍍靶材總成而 言，於濺鍍處理時，在濺鍍室中所遭遇的狀況下，底板的 強度會過高，而該等狀況包括於一側有用以冷卻之高水壓 且另一侧在濺鍍期間有高度真空狀態。由於在靶材正面施 用循環冷卻劑所造成的熱循環及壓力，同時在靶材總成之 背面具有真空狀況，因此會導致該靶材底板總成產生彈性 及塑性變形。 雖然濺鍍靶材總成可释著將由不同材料所構成的底板 焊接結合至一靶材而製成，但焊接結合有無法忍受高壓濺 鍍應用的缺點。因此，經擴散結合之濺鍍靶材總成係為較 佳者。 本發明提供一種製造有一高強度底板且被擴散結合至 一濺鍍靶材之濺鍍靶材總成的方法，該底板可忍受在濺鍍 室中基本上遭遇的壓力及張力。 發明概要 本發明係提供一種製造經熱處理的濺鍍靶材總成之方 法，該方法包含提供一濺鍍靶材及一可熱處理的、可析出 硬化且被擴散結合至該濺鍍靶材的底板，其中該經擴散結 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） -4- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

490499 A7 B7 五、發明説明（2 ) \ 合的濺鍍靶材總成係經熱處理以析出硬化該底板，而不會 發生靶材及底板間之擴散結合的脫層或剝蝕。該方法包含 藉由熱處理來析出硬化該底板，該熱處理包括以包含加熱 、加工及淬冷之方法來淬冷經擴散結合的滅鍵材總成， 其中該淬冷係於擴散結合之後進行，該淬冷之進行係藉由 將該濺鍍靶材總成浸入於一淬冷劑中，以使該底板浸入而 不使該濺鍍靶材沉入。該濺鍍靶材處理可承受數種析出硬 化處理，其包括如前所述之加熱及部分浸入淬冷，以提供 該底板所需的回火度。在一較佳的具體例中，該底板包含 2000、6000或7000系列的可熱處理的鋁合金，且該濺鍍靶 材包含鋁、鈦、鎳、鈦-鎢、鎢、鈷及鈕及其合金。本發明 的濺鍍靶材總成包含一經擴散結合至一濺鍍靶材之析出硬 化底板。 詳細描述 於製造擴散結合的濺鍍靶材總成時所遭遇的問題在於 ，難以製造一具有析出硬化底板之濺鍍靶材總成，諸如完 全硬化之底板。例如，經擴散結合的錢鑛乾材總成可能在 一諸如完全退火之退火狀況下，或低於所需硬化程度之狀 況下，被製造成具有凸緣，結果會造成無法發展出該濺鍍 靶材總成的最佳之機械強度，且該總成可能在使用期間變 形。特別易受此問題影響的一濺鍍靶材總成系統的例子為 一具有鋁合金底板之總成，該總成暴露於擴散結合期間所 經歷之高溫下會軟化。雖然鋁合金可經熱處理而達到高強 度，如藉由熱處理至T6硬化狀態，但這種熱處理包含數個 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） -----------------------裝------------------#------------------線· (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 490499 A7 B7 五、發明説明（3 ) 淬冷步驟，而該等淬冷步驟會使該擴散結~合總成易於發生 脫層及/或其他剝蝕現象。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 為例示出本發明的一具體實施例，製造擴散結合濺鍍 靶材總成的一個例子被敘述如下，其包含一個被擴散結合 至一滅鍵乾材的可熱處理銘合金。「一可熱處理的材料」 係定義為一包含於高溫下溶解度會增加且在低溫下溶解度 有限的成分之材料，如鋁合金。雖然此例具有一可熱處理 的鋁合金，但是明顯地該處理可有效地施用至其他可析出 硬化的材料之底板，諸如鈦、銅或紹之合金（如Ti合金、Cu 合金、A1合金）。相同地，各種不同的靶材物質可被使用， 諸如鈦、銘、錄、嫣、鈦-嫣、组、始及其等之合金。基本 上，經擴散結合的鈦靶材係藉由在一完全退火情況下結合 至一乾材之銘或銘合金底板而製成。該擴散結合係藉由加 熱以升高溫度至超過約300°C而完成，該溫度高到足以使該 鋁或鋁合金底板至一極軟的狀態。然而，藉由本發明之方 法，濺鍍靶材總成係經處理，以使底板達致硬化狀態。舉 例而言，在此紹合金的例子中，商業上可熱處理的紹合金 ，如鋁2000、6000及7000系列的合金，可被處理以產生高 強度，而不造成該濺鍍靶材總成中之靶材的變形或在使用 時脫層。 在一實例中，一賤鑛乾材總成係使用作為一可熱處理 底板之鋁合金-6061來製造。此商業上之合金具有基本上約 99.0至99.9 wt%之純度，且主要之合金成份包含矽約0.4至 0.8 wt%、鎂約0.8至12 wt%、及鐵約0.7 wt%。在600系列 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 五、發明説明（4 ) I呂中的主要強化析出物為Mg2Si。 ' 使用一兩階段熱處理是有利的，該處理包括一溶液處 理，並接續以-個第二人為時效步驟，以控伽純的: 出’藉此促進機械性質之增進。一般而言，超飽和固態溶 液的析出強化會涉及時效熱處理期間的細微地分散之析出 物的形成》獲得超飽和固態溶液之溶液處理及時效老化熱 處理兩者之重點皆為淬冷。 … 析出硬化，亦稱為時效硬化，其涉及自一超飽和固態 溶液之第二相的析出。該析出阻止差排的移動，該差排的 移動使該合金更強硬且不可延展。為了使一合金成為可_ 出硬化的，其必需表現出部分的固態溶解度，並隨著溫度 降低而降低固態溶解度。析Α硬化&含溶解或“溶液化” ，該“溶液化’’需加熱至高於溶解度曲線溫度以形成一均 質的固態溶液，並快速淬冷至室溫以於固態溶液中保持一 最大量之鋁合金，接續為一時效步驟，亦即，以低於溶解 度曲線之溫度加熱該合金，以使第二相的細微粒子析出。 該溶解度曲線代表在固態溶液區域及一包含除了固態溶液 之第二相區域之間的一相圖之界線。在這些合金的熱處理 期間，次微粒子之經控制的分散係形成於該微結構中，並 且該合金的最終性質取決於該粒子如何分散及該粒子之大 小及穩定度。 一擴散結合靶材總成通常結合不同熱膨脹係數（CTE) 的材料。這類系統的快速冷卻可造成該結合物質的部分變 形及分離。藉由實施本發明之方法，擴散結合係組合熱處 -7 - 490499 A7 B7 五、發明説明（5 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 理，以製造一具有所欲回火度之底板，^如在AL-6061之 T6回火度。此調整該靶材及底板之熱膨脹係數的失配，並 且避免結合失敗。 例如在一實施例中，即提供用作為該濺鍍靶材的材料 ，並藉由清潔將被結合至底板的表面而準備供用於擴散結 合。該表面可藉由機械加工一連續槽道接著進行碾磨毁壞 及化學清洗，而在欲結合的表面一螺旋形以被結合。將該 被用作底板的物質，如鑄造均質的鋁6061小胚或任擇可熱 處理之合金，或加工硬化的物質，切成某種長度（基於所欲 靶材構形最終體積及總尺寸），經預熱至一足以降低流動應 力之溫度、作為被鍛造之部分以鍛造滾筒於室溫或升至相 同溫度下經熱鍛造，並且完全浸入如水之淬冷劑淬冷，以 製造一加工硬化AL-6061合金底板。然後使該底板退火以 移除之前的加工硬化效應，並接著製備極清洗將要結合至 乾材的底板表面，如藉由在一車床上機械加工、碾磨或旋 轉。該靶材及底板係之組合係藉由裝配所述之已製備的表 面，該靶材及底板之擴散結合係藉由首先預熱該總成至一 溫度，談溫度足以降低該底板的流動應力和促進在前述步 驟及熱鍛造時之已製備表面之完全緊密接觸。可再次加熱 該鍛造滾筒至一升高的溫度，並施加約20,000 ?8丨至35,000 psi之壓力於該乾材/底板總成，以使裝配結合的表面完全 接觸。然後該鍛造總成藉由直接置放該總成至一預熱爐中 而受到加熱處理。該熱處理係設計以產生一所需回火度， 如合金6061之T6，以硬化及強化該底板物質。該加熱處理 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 包含固溶處理該底板，藉由加熱該經擴散結合的濺鍍靶材 總成至一至少約985卞之溫度，維持該總成在此溫度持續至 一足以溶解該第二相成為溶液之時間，並接著淬冷。該經 熱處理的濺鍍靶材總成係藉由將該總成部分浸入至一如水 之淬冷劑中而被淬冷，以使得該底板沉入，而不使該靶材 沉入。依此方法淬冷，該底板係作為一熱容器，以自該靶 材移除熱並保持該擴散結合的整合性。 該經淬冷擴散結合的濺鍍靶材總成可接著被機械處理 及打平，之後可被人工時效化以析出硬化該底板至一硬化 回火的狀態，比如：藉由加熱至一溫度並維持一段時間， 該時間足以析出於該銘間f中的第二相，之後藉由如前述 之部伤次入淬冷，藉由浸入淬冷劑以使該底板沉入，而不 使該靶材沉入或，使該總成於空氣中冷卻，亦即淬冷，而 可加速處理循環時間。所得的濺鍍靶材總成包含一經析出 硬化之擴散結合至該靶材的底板，如A1 6〇6 i，其具有該所 需之回火度，如T6。事實上該處理可調整至製造任何所需 回火度之一底板，如〇，丁4等，而不會不良地影響在靶材及 底板之間的擴散結合。 用於非加熱處理製造之鋁合金的一擴散結合濺鍍靶材 總成之剪力係通常在約12,〇〇〇 pSi至2〇,〇〇〇 pSi之範圍，其 平均值在一 16,000 psi之值。鋁合金6〇61_丁6的一濺鍍靶材 總成於室溫下有一結合剪力在約16,000psi之 範圍，於392 F約17,700 psi。如之前所示，此方法亦可製 造具有其他適當回火度底板之濺鍍靶材總成，如T4。下述 -9 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 490499 A7 ----- B7___ 五、發明説明（7 ) 係特定滅鑛乾材總成之機械及物理性質。 Α· 剪力，鈦對於鋁之結合力。 70〇F(21〇C) ： 16Ksi至23Ksi(151MPa至 158MPa) 392〇F(200〇C) : 17.7Ksi(122MPa) Β· 底板之終極張力。 70°F(21°C) ： 45Ksi(310MPa) C.彎曲力，該彈性限度。 70〇F(21〇C) ： 36Ksi(248MPa) D·製成底板的硬度：i〇〇_1〇9Hbw。 Ε·鈦粒結構係無法藉由該擴散結合及6061-T6之處理步驟改變。 為了比較，下述係6061商業鋁合金。Temper記號用以 指熱強化之機械性質： “T6” ，典型的商業上之回火度： 終極張力 45ksi ( 310MPa ) 硬度 95HBW ( Brinell Number ) “T4” ，典型的商業上之回火度： 終極張力 35ksi ( 241MPa ) 硬度65HBW。 機械性質係基本上以依ASTM E8-89b或ASTM B557-94之張力測試測量。硬度係以Brinell Number-HB， 500公斤之負載，10公釐之球依ASTME 10-93測量。 以6061鋁裝配之濺鍍靶材目前係較佳地在T6回火度 條件，在該T6回火度條件下，以一約95 Brinell Number之 硬度製造一典型約45ksi(310MPa)的終極張力。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） -10- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

490499 A7 B7 五、發明説明（8 上述之方法係將擴散結合與被認為對產生丁6性質係 為所欲之二階段熱處理予以組合。6〇61鋁的調和回火涉及 一起始固溶處理，及接續之第二人工時效步驟。該二階段 加熱處理調控Mgji的析出，以促進強度增加。一般對於 超飽和固態溶液之析出強化的要求，涉及時效熱處理過程 中最終地分散析出物之形成。該特別被描述於該固溶處理 之後的淬冷技術，對於達成該所欲的機械性質而不會不良 地影響該標的靶材擴散結合至該底板而言，係非常重要的 。商業等級之鋁6061可在該T6狀況下被購買，並在退火至 一為0之回火度以供用於後續之方法，加工硬化物質可被用 作底板起始物質，或適當鑄模直徑之均質的6〇61小胚可用 以排除底板預熱及鍛造步驟。下表丨係比較藉由三種不同方 法製造的濺鍍靶材總成的回火度，此三種不同方法列示於 下表，以Ti-6061-l、-2、及-3表示。第一乾材係藉由上述 標準擴散結合法及接續之人工時效硬化及水淬冷而製造。 該第二總成係藉由擴散結合製造，且包含水淬冷之後的合 金6061之固溶處理，以及之後的具有一完全水淬冷之第二 人工時效硬化。第三處理步驟係藉由擴散結合該總成、固 溶處理該合金6061，並繼之以部分浸入水淬冷，之後進行 第二人工時效硬化，並再次以部分浸入水淬冷繼之。所有 三樣品皆係以超音波結合線掃描（ultras〇und B〇ndii此 Scan)進行處理，和之後切成一半，用於該接合線的總檢驗 。樣品用來作剪力測試、硬度及金屬組織等研究。 表1 :相一、一半比例之靶材評估數 本紙張尺度適用中國國家標準A4規格（2】〇χ297公釐） 據 -11胃 ...............：：裝.....—.............訂------------------線· (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 490499 A7 B7五、發明説明（9 ) 靶材 C-掃描 硬度，HB # 力，psi Ti-606 Μ 100% 42.4 15,150 Ti-6061-2 99% 109 17,615 Ti-6061-3 99% 100 19,021 於加工處理時注意到靶材及底板沒有脫層，此藉由金屬組 織學確定。Ti-6061-2法亦產生可接受的結果，然而，在評 估切碎剪力值及接合線冶金學時暗示，該完全淬冷對接合 線整合性可產生一負面衝擊，但可用於靶材及底板物質形 成適宜的金屬之間接合。 表2係報導使用於與合金6061底板結合以製造一擴散 結合靶材之完全比率鈦對照組之例子的結果。使用先前描 述用於該靶材及底板之材料表面製備之實施及先前描述用 於該Ti-6061-3總成之實施。剪力切碎樣品係依照 MIL-J-24445A(SH)、三重拉安構型而製備與分析。該剪力 測試的結果係如表2所示。 表2 :相2之剪力、於室溫及200°C進行三重拉曳切碎測試 樣品 拉曳 溫度(°C) 負載，磅 剪斷應力，（psi) 平均 1 A 21 4657 24,739 23,535 B 21 3432 19,124 C 21 4916 26,744 2 . A 21 3830 21,681 22,678 B 21 3872 20,879 C 21 4703 25,472 3 A 200 2778 15,309 17,727 B 200 3472 18,622 C 200 3474 19,251 於室溫時之平均擴散結合的剪斷應力係在一約22.6至 23.5 ksi之範圍。於200°C之升溫測試顯示約17.7 ksi之值， 兩者皆超過於室溫測試時之標準底板物質之尺度剪斷壓力 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） -12- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •訂| 490499

金屬組織學檢驗顯示，當與非析出可;e更化之紹人金底 板比較時’並無因化學上或該6061銘之冶金學上的改變而 造成之明顯擴散黏合結合的損失。在打平及機械處理後， 於一 T6狀況及一般機械處理之狀況下掃插該乾村，顯示一 99.99%接合區域。該機械測試的結果如下表3所示。張力 測試之試樣及方法以ASTM E8及B557標準處理。評估 Young’s Modulous係測量自張力測試的壓力/扭力曲線， 如ASTME111-82之概述，並且硬度測試係進行依照astm E10-93進行。表3中之結果比較擴散結合靶材至6〇61-Τ6鋁 底板靶材之鈦、於0回火度之6061鋁、及一叙合金底板，該 鋁合金底板包含1% Si且0.5%取自於一典型的擴散黏合結 合靶材之0.5% 。該6061底板符合對6061於T6狀況下之典 型的工業標準。 表3 :與6061及另一鋁合金底板之出版值比較之相2機械性數據 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、τ. 物質 來源 終極壓 力，ksi 產出壓 力，ksi 延伸，％ (l/2，，dia 樣品） 比率， xlO psi 硬度 ，HB 6061-丁 6 已出版的 45.0 40.0 17.00 10.00 95 6061-0 粗物料 20.8 7.7 24.33 10.03 38 6061-Τ6 擴散結合 T6 43.8 41.5 11.00 10.90 96 Α1+1% Si+0.5%Cu 另一 A1合 金 15.7 7.0 39.33 N/A 29 :線· 一個較佳具體例示如下，該例關於藉由前述用於製造 一擴散結合至一鈦濺鍍靶材之鋁6061合金底板之方法，製 造具有一擴散結合至一濺鍍靶材之可析出硬化底板的濺鍍 fe材總成。 -13- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) Α4规格（210X297公釐） 490499 A7 ________B7 五、發明説明(Π ) ~~ — 持續铸造6061均質化的小胚係被切成、特定長度，該長 度係對應於欲被擴散結合之靶材的最終尺寸。該小胚之直 捏可在約七至二十四英对之範圍，該直徑視該乾材之直捏 而定。 該6061小胚係預熱至5〇〇。1?至75〇。1?之範圍，且維持溫 度約二十至三十分鐘。接著鑄造該小胚至一指定的高度並 淬冷。用於此應用之鍛造，以能具有一最小值約1〇,〇〇〇卩以 之使用壓力及以一用於等熱條件下之熱滾筒定型為有利。 該鑄造率係在每分鐘約三至十英呎之範圍。此結果係在一 粗製狀況下之底板。 接著，藉由加熱該底板至一約775T之溫度歷時至少三 j時’使5亥底板係退火以移去任何在底板製造步驟中加工 之影響。在775卞中三小時後，以一每小時約5〇卞之速率降 溫至500°F。在達到溫度5〇〇卞，可於空氣中冷卻至室溫。 另外另一方式係使用一直徑適宜之鑄造均質的的6〇6丨小胚 ，不需鍛造或退火的步驟。 在要被結合的表面已被製備並清潔之後，該靶材及底 板係被擴散結合。例如，該靶材表面可藉由在該表面機械 加工一連績螺紋的槽道、碾磨毀壞該表面及以化學性地清 洗該表面來製備及清潔。該底材物質的表面藉由機械加工 、碾磨或於一車床上旋轉來清洗。該底板及靶材係藉由預 熱至一足以形成適宜的物質流及熱鍛造之溫度而擴散結合 〇 在擴散結合之後，該擴散結合總成被溶解加熱處理歷 -14- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） --- -—- _£2______ 五、發明説明（12 ) ' 時約一至二小時之範圍，亦即視總成厚度而定，於985卞達 到丁4狀況。在該溫度之時間係取決於該乾材厚度，對於 一低曲面靶材基本上要三小時。該時間的選擇係以前ι/2 英吋需用6 5分鐘加上之後每丨/ 2英吋需增加3 〇分鐘而定的 。該擴散結合的濺鍍靶材總成係於一淬冷劑中淬冷，諸如 一水槽，維持在一約50T至110T之溫度範圍。為避免該靶 材自忒底板剝落，該總成係僅部分地沉入於該淬冷劑之中 ，亦即，使該底板浸入於該淬冷劑之中而不使該靶材沉入 典型地，水離該乾材相之頂部表面維持再不大於約^ /2 英吋且能使該總成冷卻之高度。 接著將該靶材切成一適宜的大約直徑，以供更進一步 之處理。在此階段該擴散結合總成可能會是彎曲或扭曲的 ,若如此，該標的靶材中心會高起。此視覺上情況可於最 終加熱處理前，藉由使用比如1 〇〇U頓容量之壓力或更大之水 壓打平以校正之。加工用之銅板可置於該靶材表面及整個 板/總成單之上’該整個板/總成單位係置於一加工銅環 ’該環之大小係呈該靶材之外環直徑的大小，以使之能用 於彎曲表面之塑性變形。 该打平的總成係藉由在一空氣爐中加熱至少350°F歷 時8小時而人工時效化。之後，該擴散結合的濺鍛靶材總成 藉由上述之部分浸入淬冷法淬冷。若處理時間允許的話， 該總成也可在空氣中冷卻。以所描述方法所得之結果係一 在該T6狀況下丨賤鑛無材總成，該總成接著可接受最終的機 械處理加工。 -15- (請先閲讀背面之注意事項再填窝本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 490499 A7 B7 五、發明説明（13 ) 由上述者明顯可知，在不會背離本發明技術思想與範 圍下，可進行各種改變和變化。因此，本發明之範圍並非 僅限於隨附之申請專利範圍中所限定者。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .、可 -16- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐）

Claims (1)

1. 六、申請專利範_ 第086118776號專利再審查案申請專利範圍修正本 修正日期：91年03月 1· 一種製造經熱處理的濺鍍靶材總成之方法，其包含: 提供一供用於一濺鍍靶材之底板； 提供一錢鍍材； 將孩底板擴散結合至該濺鍍靶材，以製成一濺鍍靶 材總成；及 藉由一方法來熱處理該濺鍍靶材總成，以析出硬化 該擴散結合的濺錄材總成的底板，該方法包含加熱及 卒、’、中係藉由將该底板浸人到_淬冷劑中而不使得 該錢鑛乾材沉入而進行該泮冷。 2·如申請專利範圍第丨項之方法，其進—步包含使該經泮 冷的濺錢物質總成變平，人卫地時效化該底板並藉由將 =濺㈣材總成部分地浸人至—淬冷财料冷，以使 得該底板沉入而不使該靶材沉入。 申叫專利fe圍第1項之方法，其中該底板在被擴散結 合至該濺鍍靶材之前已被加工硬化。 4·如申請專利範圍第3 g 弟項之方法，其中該_乾材總成之 底板於擴散結合之前被溶液退火。 5· Γ請專利範圍第1項之方法，其進-步包含使該濺鐘 f接❹種析出硬化處理，該等處理包含加執及 Z分地浸人淬冷以於該擴散結合的__總成之底 板内提供一所需的回火度。 6·如申請專利範圍第1項之方法 其中該底板包含一可熱

   -17- 490499 A8 B8 C8 _____ D8 六、申請專利範圍 一~ ^ 一 處理的欽、銘或銅合金。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 7·如申請專利範圍第1項之方法，其中該底板包含—為 2000、6000或7000系列的可熱處理的鋁合金。 8·如申請專利範圍第1項之方法，其中該淬冷劑係為水。 9.如申請專利範圍第1項之方法，其中該濺鍍靶材包含鋁 、鎢、鎳、鈦、鈦-鎢、鈕、鈷或此等之合金。 H)·如申請專利範圍第！項之方法，其進一步包含使該經淬 冷的紐㈣總成變平，人卫地時效化該底板並藉由空 氣冷卻來使該總成淬冷，以獲致所需的硬度。 如申請專利範圍第1項之方法，其中該底^包含有一具 適當直徑的鑄造均質化的小胚。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X 297公釐） -18·