46630 2 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Λ 7 Β7 五、發明説明（1 ) 〔發明所屬之技術領域】
本發明係關於收縮管式的泵、膈膜式的泵以及蓄壓器 等的流體機器S 【習知技術】 例如，在半導體製造裝置中，於進行I C或液晶的表 面洗淨等各種處理時，用來移送或使藥液循環等所使用的 泵，係使用不會由於泵的動作而發生微粒之收縮管式的泵 '或膜片式的泵（例如在日本特開平3 — 1 79 1 84號 公報所揭示者）。又，此種泵，由於伸縮管的往復運動， 而發生脈動，爲了減少此脈動而倂用蓄壓器（例如在曰本 特開平6 — 1 7 7 5 2號公報、特開平1 0 -1 9 6 5 2 1號公報所揭示者）。 然而|對於伸縮管式的泵、膜片式的泵、蓄壓器等| 爲.了防止洗淨等的處理功能下降，在泵內或蓄壓器內，被 要求移送液的滯留量少，且經常供給新的液體；特別是對 於伸縮管式的泵或蓄壓器等，泵的吸入口或蓄壓器的流入 口，爲了將吸入液或流入液噴出至液體室內，而分別在與 各伸縮管之軸線方向（往復運動方向）平行的方向開口， 所以液體容易滯留在各個伸縮管的伸縮部份，容易被污染 0 又，在使用含有二氧化矽等的硏漿之沉澱物質的液體 時，此硏磨液係做爲半導體晶圓或電腦內藏的硬碟等的化 學機械硏磨（Chemical Mechanical Polishing(CΜP))的硏磨 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2丨0 X 297公""瘦） d " ' <l^i ^^1 il- ί ί n - -、 · ^^^1 I- - - - -I _ (請先聞讀背面之注意事項真填寫本 6 630 2 A7 B7 五、發明説明（2 ) 液，沉澱物質會沉降在泵内或蓄壓器內，容易凝集命影響 泵、蓄壓器的壽命= 本發明的目的係在於解決此種問題，提供_.種流體機 器，可以減少滯留在泵或蓄壓器內部之液體量，經常供給 新的液體；又，即使在使用含有硏漿等沉澱物質之液體時 ，也可以防止沉澱物質沉降或是凝集在泵或蓄壓器的內部 【發明之揭示】 本發明之流體機器，係針對由： 在泵本體的內部，具備沿著軸線方向往復運動之伸縮 管、膜片等的隔膜，在與泵本體之內底面之間，形成液體 室；且在面對泵本體之上述內底面上，設置吸入口和吐出 口；而藉由上述隔膜的往復運動，交互地進行將液體從上 述.吸入口吸入上述液體室內的吸入過程、以及將上述液體 室內的液體從吐出口吐出的吐出過程之往復運動之泵所構 持的流體機器，其特徵爲： 上述吸入口，係設置成將吸入液往上述液體室內之位 於與上述軸線方向相異之方向的圓周壁噴出° 在此情形中，上述吸入口，係設置在：被固定成從栗 本體之面對上述液體室之內底面突出至'液體室內之吸1 Λ用 止回閥的突出先端部的側面。 若根據此構造的往復運動之泵’由於吸λ Π設置成將 吸入液往液體室內之圓周壁噴出，所以從吸：入Π ^貝出的吸 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210 X 297公釐） (锖先聞讀背面之注意事項存填寫本育) 装. ^ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 6 63 0 2 Α7 Β7 五、發明説明（3 ) 入液，沿著液體室的內周產生旋轉流，而藉由此旋轉流來 攪拃液體室內部。因此，在液體室內的液體滯留量減少1 而能一直供應新的液體；又，即使是使用含有硏漿等的沉 澱物質之液體時，也可以防止沉澱物質沉澱、凝集在液體 室內。 其他本發明之流體機器，係針對由： 在蓄壓器本體的內部，具備沿著軸線方向往復運動之 伸縮管、膜片等的隔膜，而分別在其內側形成液體室、在 其外側形成空氣室；而且，在蓄壓器本體之面對上述液體 室之內底面上，設置流入口和流出口；而藉由空氣室內的 空氣壓力來與上述液體室內的液壓達成平衡之蓄壓器所構 成的流體機器，其特徵爲： 上述流入口，係設置成將流入液往上述液體室R之位 於與上述.軸線方向相異之方向的圓周壁噴出。 _ 在此堉形中，上述流入口，係設置在：被固定成從蓄 壓器本體之面對上述液體室之內底面突出至液體室內之吐 出用止回閥的突出先端部的側面。 若根據此構造的蓄壓器1由於流入口設置成將流入液 往液體室內之圓周壁噴出，所以從流入口噴出的流入液’ 沿著液體室的內周產生旋轉流，而藉由此旋轉流來攪拌液 體室內部。因此，在液體室內的液體滯留量減少，而能一 直供應新的液體；又，即使是使用含有硏漿等的沉澱物質 之液體時，也可以防止沉澱物質沉澱、凝集在液體室内， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210Χ_297公釐） (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝 '?τ 經濟部智慧財產局S工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 46 63 0 2 at Β7 五、發明説明（4 ) 【本發明之實施形態】 以下，根據第1圖〜第9圖來說明本發明之流體機器 的一實施例。此實施例的流體機器係由泵P和爲了減少泉 的脈動之蓄壓器A所構成。 在第1圖中，往復運動之泵P的泵本體1 ’具有：其 上端被頂壁2所封閉的筒狀外殼3 、以及封閉此外殼3之 開放下端的底壁4 °在該底壁4中’形成液體的流入通路 5以及流出通路6。 在外殼3內，以軸線B爲縱方向’配置可以沿著其軸 線B方向伸縮變形之有底圓筒狀之由伸縮管所構成的隔膜 7。此隔膜7，係由耐熱性、耐藥品性優異的p T F E ( 聚四氟乙烯）、P FA (全氟烷氧基乙烯）等氟化樹脂所 形成，而藉由將其下端開口周邊部7 a以環狀固定板8氣 密地按壓固定在底壁4之上側面上，使泵本體1的內部空 間.隔離成噚膜7之內側的液體室9和隔膜7之外側的空氣 室1 0。 在第2圖A、第2圖B '第2圖C中，上述隔膜7， 其由山峰部7 1和凹谷部7 2上下交互連續形成所構成的 伸縮部份，不但是在伸長狀態時，如第2圖A、第2圖B 、第2圖C所示，即使是在收縮狀態時，各山峰部7 1之 上下兩側的摺狀部7 1 a ' 7 1 b之中的下側之褶狀部7 1 b ’形成朝向軸線B而往下傾斜的形狀^在各山峰部7 1之收縮狀態下，下側的褶狀部7 1 b之傾斜角α，亦即 與垂直於軸線Β之水平線L所形成的角度α，爲1〜4 5 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2!〇><297公釐） ，装------訂------Τ * 』 {請先閲讀背面之注^^項再填寫本1) 466302 A7 B7 五、發明説明（5 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ，理想爲5〜1 3。但是，各山峰部了丨之上側的褶狀部 7 1 a ，在此收遍狀態下，可以任意地如第2圖A所示， 形成與下側的措狀部7 1 b相同傾斜角的向下傾斜狀；或 是如第2圖B所示’形成垂直於軸線b而與水平線^平行 之水平狀；或是如第2圖C所示’形成朝向軸線b而往上 傾斜的形狀。再者，各山峰部7 1以及凹谷部7 2.的各個 轉折部份的轉角處’在圖示—中係形成稜角，但是也可以使 該稜角換成弧狀（如假想線R所示）。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 於第1圖中’在泵本體1內，具備用來驅動隔膜7使 其作伸縮運動的往復驅動裝置2 2。此往復驅動裝置2 2 ’在泵本體1之頂壁2的上面側，形成使汽缸1 1的軸線 與隔膜7的軸線B —致，而使在汽缸1 1內作往復運動的 活塞1 2，以貫通頂壁2之活塞桿1 3，與隔膜7之封閉 上端部7 +b的中央部連結。而且，從空壓機等的加壓空氣 谔給裝置_(省略圖示）所送來的加壓空氣，經由分別形成 於汽缸1 1和頂壁2之空氣孔1 4、1 5，交互地供給至 汽缸1 1的內部和空氣室1 0內。亦即，在汽缸1 1上安 裝近接感測器1 6 a、1 6 b ，而在活塞1 2上安裝感測 器感知構件1 7 ;隨著活塞1 2的往復運動，藉由感測器 感知構件1 7交互地接近近接感測器1 6 a 、1 6 b ’構 成使從加壓空氣供給裝置來的加壓空氣，自動地交互切換 供應至汽缸1 1內或是空氣室1 0內。隨著活塞1 2的往 復運動，來驅動隔膜7作仲縮運動。 在面對上述栗本體1之底壁4之液體室9的內底面 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ g .
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（6 ) 4 a _，分別設置與流入通路5和流出通路6連通之吸入 U 1 8和吐出u 1 9。內底面4 a ，朝向吐出口 1 9向下 傾斜1〜45 ，理想爲5〜15的形狀；更埋想爲形成圓 难狀跖在內底面4 a的最低位置處形成吐出口 1 9 =但是 ’吐出LJ 1 9可以在隔膜7之軸線B上、或是位於偏離該 軸線B的位置處。 吸入口 1 8，係設置成：在從內底面4 a突出至液體 室9內，而被固定在底壁4之吸入用止回閥2 0的突出先 端部的側面’朝向液體室9內之位於與軸線B相異方向之 圓周壁9 a ，亦即朝向由伸縮管所構成之隔膜7的內周壁 ’噴出吸入液。
如第3圖所示，吸入用止回閥2 〇係由筒狀的閥殼 2 0 1以及球閥體2 0 2所構成：閥殼2 0 1以其軸線D 爲縱方向，固定在底壁4上3圖示之例子的吸入用止回閥 2. 0 ’係將球閥體2 0 2作成具備上下_兩段的構造3閥殼 2 0 1分割成上下兩部，由第1閥殻2 〇 1 a和第2閥殼 2 0 1 b所構成；而在第1閥殼2 〇 1 a和第2閥殼 2 0 1 b內，分別裝有第1球閥體2 〇 2 a 、第2球閥體 2 0 2 b。 第1閥殻2 0 1 a形成筒狀，其下端開口形成人n 2 0 3，而藉由將設置在其外周的公螺紋2 0 4旋進設在 底壁4的母螺紋2 0 5內，使該軸線D爲縱軸’而被固定 在底壁4上。 第2閥殼2 0 1 b ’形成直徑比第1閥殼2 0 1 a大 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） -9 - 1·---^--------^------1Ti.---'----,课 (.請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印焚 466302 __ B7 五、發明説明（7 ) 的筒狀，其上端的側面開口形成吸入口 1 8 ’而在其下端 外周設置公螺紋2 0 7 3此第2閥殼2 0 1 b ，係藉由將 此公螺紋2 0 7 ’旋進設置於底壁4之位於上述母螺紋的 上側E1其內徑比上述母螺紋2 0 5大的母螺紋2 0 8內， 且將設置於其下端內周的母螺紋2 0 9旋進第1閥殻 2 〇 1 a之外周上端的公螺紋2 1 〇上，使第2閥殼 2 0 1 b與第1閥殼2 0 1 a呈同心狀，且突出至液體室 9內，而被固定在底壁4上=此時，在第1閥殼2 0 1 a 的上端和第2閥殼2 0 1 b的內周下端之間’組裝入具有 閥座2 1 1之閥座體2 1 2。又，在面對第1閥殻 2 〇 1 a下端之入口 2 0 3的流入通路5之開口端處，設 置閥座2 1 3。再者’第1閥殻2 0 1 a '第2閥殼 2 0 1 b以及第1球閥體2 0 2 a '第2球閥體2 0 2 b ，係由與隔膜7之材質相同之耐熱性、耐藥品性優異的 P j F E、_ P F A等氟化樹脂所形成。 此時，第1球閥體2 0 2 a由於本身重量而密接在第 1閥殼2 0 1 a內之閥座2 1 3上’第2球閥體2 0 2 b 也由於本身重量而密接在第2閥殼2 0 1 b之閥座2 1 1 上，來防止液體逆流。當吸入液《時’第1球閥體 2 0 2 a、第2球閥體2 0 2 b分別從閥座2 1 3、閥座 2 1 1往上方離開而使閥開放’於是從流人通路5來的液 體，通過設置在第1閥殼2 0 1 a之內周的縱溝2 1 4和 第1球閥體2 0 2 a之間、以及設置在第2閥殼2 0 1 to 之內周的縱溝2 1 5和第2球閥體2 0 2 t〕之間’而從第 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X 297公釐） -1〇 - 1裝------訂— ----J---爪 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 466302 A 7 B7 五、發明説明（8 2閥殼2 0 丨〕之吸人口 1 8噴向液體室9內之_谢 此時 吸入口 1 8，由於設置成將吸入液钩向柄 9內之位於與軸線B方向相異方向的圓周壁9 a 以從吸入口 1 8噴出的液體，如第4圖之箭頭S 動方向，沿著液體室9內之圓周壁9 轉流可以使液體室9內，特別是隔膜7的伸縮部 [丨脅出 戶斤 此旋 份不會發 生停滯或是凝集，可以經常更換新的液體。第4圖$ _ % 使隔膜7伸長而吸入液體之過程的狀態、第5圖伟# _ 丨巾表$使 隔膜7伸縮而將液體吐出之過程的狀態 '第6圖則$胃 旋轉，而藉甶 圖中的Η — Η線剖面圖。再者，在第4圖和第5圖
D f請先閲讀背面之注意事唄4填寫本頁) 爲吸入用止回閥2 0 ，係表示在單一的閥殼2 中， 內， 做 键 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 具備一個球閥體2 0 2的型式之吸入用止回閥， 另一方面，在蓄壓器Α中’如第1圖所示， 本/體2 5，_具有其上端被頂壁2 6封閉之筒狀彀 及將此殻2 7之開放下端氣密狀地封閉之底壁2 在殼2 7內，設置以軸線C爲縱軸而可以沿著今^ 每成軸線 c方向伸縮變形的有底圓筒狀之伸縮管所構成的__99 。此隔膜2 9係由耐熱性、耐藥品性優異的p 丁 F E、 P F A等氟化樹脂所形成，而藉由將其卜端開口周邊部 2 9 a以環狀固定板3 0氣密地按壓固定在底壁2 8之上 側面.t，使蓄壓器本體2 5的内部空間隔離成隔膜2 9之 內側的液體室3 1和隔膜2 9之外側的空氣室3 2 在蓄壓器本體2 5之底壁2 8上 '形成液體的流入通 此蓄 7 壓器 、以 本紙張尺度適用中國國家揲準（CMS ) A4规格（2丨0ΧΜ7公釐） -11 - 63 0 2 A7 B7 五、發明説明（9 ) 路 3 3 以 及 ι··Λ— 出 通 路 3 4 的 內 底 面 9 L-! 8 a 上 < 分 別 =/1 Β又 3 4 連 通 之 流 人 门 2 3 以 及 經 由 接 頭 6 5 連 通 地 ΐίίΐ 〆Ν 厂 6 的 Κ 游 1.山 ϋ而 側 連 接 畜 壓 器 A 之 液 體 室 3 1 之 泵 Ρ 之 液 體 室 之 內 底 面 4 出 α 2 4 而 向 下 傾 斜 1 4 更 理 想 爲 形 成 圓 錐 狀 而 在 內 流 出 □ 2 4 3 但 是 ， 流 出 □ 上 > 或 是 位 於 偏 離 該 軸 線 C 上 述 隔 膜 2 9 與 往 復 樣 地 I 如 第 了 圖 A ' 第 7 圖 之 由 山 峰 部 2 9 1 和 凹 谷 部 成 的 伸 縮 部 份 > 不 但 是 在 伸 B丨 Β 、 第 7 圖 C 所 示 > 即 使 2 9 1 之 上 下 兩 側 的 褶 狀 部 側 之 褶 狀 部 2 9 1 b > 形 成 〇 在 上 述 各 山 峰 部 2 9 1 之 2 9 1 b 之 傾 斜 角 a y 亦 即 形 成 的 角 度 a j 爲 1 4 5 曰 At： 1 各 山 峰 部 2 9 1 之 上 側 狀 態 下 - 可 以 任 意 地 如 第 7 部 2 9 1 b 相 同 傾 斜 角 的 向 (CNS ) Λ4規格（ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在面臨底壁2 8之液體宰3 1 置與流入通路3 3和流出通路 流出口 2 4 :流入通路3 3則 述往復運動之泵P之流出通路 的內底面2 8 a ，與往復運動 .a的情況同樣地，形成朝向流 5，理想爲5〜1 5的形狀； 底面2 8 a的最低位置處形成 2 4可以在隔膜2 9之軸線C 的位置處。 運動之泵P之隔膜7的情況同 B、第7圖C所示，隔膜2 9 2 9 2上下交互連續形成所構 長狀態時，如第7圖A、第7 是在收縮狀態時，各山峰部 2 9 1 a 、2 9 1 b之中的下 朝向軸線C而往下傾斜的形狀 收縮狀態下’下側的褶狀部 與垂直於軸線C之水平線L所 ’更埋想爲作成5〜1 5，但 的措狀邰2 9 1 a ，在此收縮 圖A所示，形成與下側的褶狀 下傾斜狀；或是如第7圖B所 -- ----------裝------訂 I .---^---^ * i (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 46 630 2 A7 B7 五、發明説明（10 ) 示，形成垂直於軸線c而與水平線L平:行之水平狀：或足 如第7圖C所示1形成朝向軸線c时往上傾斜的形狀：丹 者，各山峰部2 9 1以及凹谷部2 9 2的各個轉折部份的 轉角處，在圖示中係形成稜角’但是也ρ.ί以使該棱角換成 弧狀（如假想線R所示）。 在第1圖以及第8圖中’上述液體室3 1之內底面 2 8 a的流入口 2 3，係設.置成：在從內底面2 8 a突出 至液體室3 1內’而被固定在底壁2 8之吐出用止回閥 2 1的突出先端部的側面，朝向液體室3 1內之位於與軸 線C相異方向之圓周壁3 1 a ’亦即朝向由伸縮管所構成 之隔膜2 9的內周壁，噴出流入液。 吐出用止回閥2 1 ，係具有與上述吸入用止回閥2 〇 之構造相同的構造。如第8圖所示，吐出用止回閥2 1係 由筒狀的閥殼2 2 0以及球閥體2 2 1所構成；閥殼 2 2 0以甚軸線G爲縱方向，被固定在底壁2 8上。閥殼 2 2 0係被分割成上下兩部，由第1閥殼2 2 0 a和第2 閥殼2 2 0 b所構成；而在第1閥殻2 2 0 a和第2閥殼 2 2 0 b內，分別裝有第1球閥體2 2 1 a 、第2球閥體 2 2 1b。 第1閥殼2 2 0 a形成筒狀，其下端開口形成入〇 2 2 3 ’而藉由將設置在其外周的公螺紋2 2 4旋進設在 底壁2 8的母螺紋2 2 5內’使該軸線G爲縱軸，而被固 定在底壁2 8上： 第2閥殼2 2 0 b ’形成直徑比第1閥殼2 2 0 a大 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公逢） --------:装------1T—W---„---A. * V , (請先閱讀背面之注意事項存填寫本莧) -13 - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 466302 A7 B? _____
I 五、發明説明（n ) 的茼狀，在其上端的側面開U形成上述流入口 2 3 ’丨⑴& 其下端外周設置公螺紋2 2 7。此第2閥殼2 2 0 b ’ 1；r' 藉由將該公螺紋2 2 7 ，旋進設置於底壁2 8之上述母 紋2 2 5的上段部，而其內徑比上述母螺紋2 2 5大的母 螺紋2 2 8內，且將設置於其下端内周的母螺紋2 2 9旋 進第1閥殼2 2 0 a之外周上端的公螺紋2 3 0 a上’使 第2閥殻2 2 0 b與第1閥殼2 2 ◦ a呈同心狀’突出至 液體室3 1內，且被固定在底壁2 8上。此時’在第1閥 殻2 2 〇 a的上端和第2閥殼2 2 0 b的內周下端之間’ 組裝入具有閥座2 3 0之閥座體2 3 1。又’在面臨第1 閥殼2 2 0 a下端之入口 2 2 3的流入通路3 3的開〇端 上’設置有閥座2 3 2。 此時，第1球閥體2 2 1 a由於本身重量而密接在第 1閥殼2 2 0 a內之閥座2 3 2上’第2球閥體2 2 1 b 坞由於本身重量而密接在第2閥殼2 2 0 b內之閥座 2 3 0上，來防止液體逆流。當液體吐出至液體室3 1內 時， 第1球閥體2 2 1 a 、第2球閥體2 2 1 b分別從閥 座2 3 2、閥座2 3 0往上方離開而使閥開放’於是從往 復運動之栗P來的液體’通過設置在第1閥殼2 2 0 a之 內周的縱溝2 3 3和第i球閥體2 2 1 a之間、以及設置 在第2閥殼2 2 0 b之內周的縱溝2 3 4和第2球閥體 2 2 1 b之間，而從第2閥殼2 2 0丨）之流入口 2 3，往 液體室3 1內之圓周壁3 1 a噴出。 ---------* 装------ir—,,---„---...A (請先閱讀背面之注意事項*填寫本f) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐） -14 - 466302 Λ7 B7 五、發明説明（12 ) 此時，流入Π 2 3 ，由於設置成將流入液朝向液體室 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 3 1內之位於與軸線C方向梠異万向的圓周壁3 1 a噴出 -所以從流人口 2 3噴出的液體，沿著液體室3 1_內之圓 周壁3 1 a旋轉，而藉由此旋轉流可以使液體室3 1內1 特別是隔膜2 9的伸縮部份不會發生停滯或是凝集，可以 經常更換新的液體= 再者，第1閥殻2 2 0 a 、第2閥殼2 2 0 b以及第 1球閥體2 2 1 a 、第2球閥體2 2 1 b ，係由與吸入用 止回閥2 0之材質相同之耐熱性、耐藥品性優異的 P T F E ' P F A等氟化樹脂所形成= 如第9圖所示，在蓄壓器A之上述殼2 7之頂壁2 6 的外面中央附近，形成空氣出入用的開口 3 5 :將附有凸 緣3 6之閥殼3 _7嵌合在此開口 3 5內，且將凸緣3 6以 螺栓等，可裝卸地安裝固定在頂壁2 6的外側上。 . 在閥彀3 7上，平行並排地形成給氣口 3 9和排氣口 4 0。在給氣口 3 9內，設置自動給氣閥機構4 1 ，當上 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 述液體室3 1之容量增大超過規定範圍時，供給超過移送 液體之最大壓力値以上的壓力之空氣，至上述空氣室3 2 內•使空氣室3 2內之封入壓上升。而在排氣口 4 0內’ 設置自動排氣閥機構4 2 ，當液體室3 1之容量減少至規 定範圍以下時，將空氣從空氣室3 2排出使該空氣室3 2 內之封入壓下降。 0動給氣閥機構4 1 ，係具有：在閥殼3 7內形成與 給氣口 3 9連通之給氣閥室4 3 :在此給氣閥室4 3內， -15- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 4 6 6 3 0 2 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 A7 B7 ^、發明説明（13 ) 沿著其軸線方向滑動丨Ί如地來開閉給氣口 3 9之給氣閥體 4 4 :將此給氣閥體4 4經常推壓在閉合位置的彈簧4 5 ;在內端部具有給氣閥體4 4之閥座4 6 ，且具有連通給 氣閥室4 3和空氣室3 2之貫通孔4 7 ，而旋進固定於閥 殼3 7中的導引構件4 8 ;以及滑動自如地插入此導引構 件4 8之貫通孔4 了內的閥按壓棒4 9 =液體室3 1內之 液壓在平均壓力的狀態下，隔膜2 9處於基準位置S的狀 態時，給氣閥體4 4密接在導引構件4 8之閥座4 6上而 使給氣口 3 9閉合，閥按壓棒4 9之靠近空氣室3 2的 端部4 9 a ，舆隔膜2 9之封閉上端部2 9 b的間隔，僅 爲衝程E。 另一方面，自動排氣閥機構4 2，係具有：在閥殼 3 7內形成與排氣口 4 0連通之排氣閥室5 0 ;在此排氣 閥室5 0內，沿著其軸線方向滑動自如地來開閉排氣口 4. 0之排氣閥體5 1 :分別在其前端具有此排氣閥體5 1 、在後端具有軸環部5 2的排氣閥棒5 3 ;被旋進固定在 排氣閥室5 0內，而具有用來被插入排氣閥棒5 3之貫@ 孔5 4的彈簧受體5 5 ;使排氣閥棒5 3之後端側能滑動 自如地插通，而以軸環部5 2頂住排氣閥棒5 3之筒型的 滑件5 6 :被配置在排氣閥體5 1和彈簧受體5 5之間的 閉合用彈簧5 7 ;以及被配置在彈簧受體5 5和滑件5 6 之間的開放用彈簧5 8。彈簧受體5 5之貫通孔5 4的內 徑‘比排氣閥棒5 3的軸徑大’而在雨者之間胗成間隙 5 9 ，排氣閥室5 0和空氣室3 2經由此間隙5 9連通在 T-裝------訂-1---；---^ (請先閔讀背面之注意事項再填寫本頁) 敉紙張尺度適用中國國家標率（CNS )八4規格（21〇乂297公釐） .16 466302
五、發明説明（14 ) —起）當隔膜2 9處於基準位置S狀態下，排氣閥體5丄 閉合排氣Π 4 0 ，且排氣閥棒5 3之後端的軸壞部5 , (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 與滑件5 6之封閉端部5 6 a之內面的間隔，邀爵 閥殼3 7之空氣室側端，如第9圖之假想線R n % - Λ 0 0所不 ，往空氣室3 2內之方向延伸，在此延長端設_睫@ ι(_ HC1 1T It 益 6 1 ，當隔膜2 9往使液體室3 1擴大方向移動g @ $ 定的衝程E，使上述閥按壓棒4 9動作時，用來限M ρ 29更進一部地移動。 接著，說明上述構造之往復運動之泵P和蓄壓^ _ 動作ι: 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 如今，若從空壓機等的加壓空氣供給裝置（省略圖示 )，將加壓空氣經由空氣孔1 4供應至汽缸1 1的內部， 則活塞1 2往第1圖之X方向上升，於是隔膜7往同一方 向.伸長動作，將流入通路5內之移送液，經過吸入用止回 閥2 0，從吸入口 1 8朝液體室9內之圓周壁9 a噴出。 此時，從吸入口 1 8噴出的吸入液沿著液體室9內之圓周 壁9 a產生旋轉流，而由於藉由此旋轉流來攪拌此液體室 內部，所以在液體室9內不會發生液體滯留的情況，而能 一直供應新的液體；又，即使是使用含有硏漿等的沉澱物 質之液體時，也可以防止沉澱物質沉澱、凝集在液體室9 內3另一方面，若將上述加壓空氣經由空氣孔1 5供應至 空氣室1 0內|而從空氣孔1 4排氣，則活塞1 2往第1 圖之y方向下降，隔膜7則往同一方向進行收縮動作，使 -17 - 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4规格（210 X 297公釐） 46 630 2 Α7 Β7 五、發明説明（15 ) 液體窄9內之移送液’從吐出U 1 9吐出如此’藉由汽 針：1 1内之活塞1 2的往復運動，隔膜7進行伸縮往设運 動’交互地進行從吸入口 1 8吸入液體的吸入過枵、以及 將液體從吐出口 1 9吐出的吐出過程之規定的往復運動之 泵的作用。若藉由此往復運動之泵P的動作，將液體往規 定的部位移送，則往復運動之泵的吐出壓力會發生如波浪 般地脈動3 在此，在往復運動之泵P中，從液體室9內經過吐出 口 1 9吐出的移送液，經過蓄壓器A之流入通路3 3以及 流入口 2 3 ，從吐出用止回閥2 1之流入口 2 3往液體室 3 1內之圓周壁3 1 a噴出’在此液體室3 1內暫時地貯 存後，從流出口 2 4流出至流出通路3 4。此時’移送液 的吐出壓力位於吐出壓力線的波峰時’移送液爲7增大 '液 體室3 1的容量而使隔膜2 9伸長變形’所以其壓力被吸 收；。此時〔從液體室3 1流出的移送液的流量’比從往復 運動之泵P送出的流量少。 如上述般，從流入口 2 3來的移送液’由於被朝问液 體室3 1內的圓周壁3 1 a噴出’所以此移送液沿著液體 室3 1內的圖周壁3 1 a而產生旋轉流’藉由此旋轉流來 攪拌液體室3 1內部。因此’在液體室3 1內+會發生液 體滯留的情況’而能一直供應新的液體：又’即使是使用 含有硏漿等的沉澱物質之液體時’也可以防止沉殺物質沉 i殿、凝集在液體室3 1內。 又，若上述移送液的吐出壓力正好位於吐出壓力線的 I - 1^^^ ^ipt— ^^^^1 in i y «^^9^ ^^^^1 • 0¾ * . (請先閩讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙乐尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2!〇Χ297公釐） -18 - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 466302 A7 B7__ 五、發明説明（16 ) 波谷時，由於隨著蓄壓器A之隔膜2 9的伸長變形使移送 液的壓力比被壓縮之空氣室3 2內之墜力低·所以[箱. 2 9收縮變形。此時，從液體室3 1流出的流量’比從往 復運動之泵P流入液體室3 1內之移送液的流量多^藉由 重複此動作，亦即藉由液體室3 1的容量變化’來吸收降 低上述脈動3 然而，在上述動作中，若從往復運動之泵P來的吐出 壓力上升變動，則由於移送液而使液體室3 1的容量增大 ，於是隔膜2 9大幅地伸長變形。若此隔膜2 9之伸長變 形量超過規定範圍E，則隔膜2 9之封閉上端部2 9 b ’ 使閥按壓棒4 9往閥室內方向推壓。於是’自動給氣閥機 構4 1中的給氣閥體4 4，抵抗彈簧4 5的彈力而開放’ 於是高壓空氣通過給氣口 3 9而被供應至空氣室3 2內’ 使該空氣室3 2內之封入壓力上升。因此’限制隔膜2 9 之^伸長變形量超過衝程E ’抑制液體室3 1的容量過度地 增大。此時，若預先在閥殼3 7之空氣室端側設置上述停 止器6 1 ’則隔膜2 9之封閉上端部2 9 b抵接在該停止 器6 1上，由於可以確實地防止隔膜2 9過量地伸長變形 ，所以可以預防隔膜2 9破損。而且，隨著空氣室3 2內 之封入壓的上升’由於隔膜2 9朝基準位置S收縮’所以 閥按壓棒4 9離開隔膜2 9之封閉上端部2 9 b ’於是給 氣閥體4 4再度回到閉合位置，空氣室3 2內之封入壓被 固定在調整狀態。 另一方面，若從往復運動之泵P來的吐出壓力下降變 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度通用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0 X 297公釐） -19 - A 7 B7 466302 五、發明説明（17 ) 動，由於移送液而使得液體室3 1的容量減少，於是隔膜 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 2 9大幅地收縮變形。若此隔膜2 9的收縮變形量超過規 定範園F 1則隨著隔膜2 9之封閉上端部2 9丨_〕，往收縮 方向b移動，自動排氣閥機構4 2之滑件5 6藉由開放用 彈簧5 8的彈壓作用而往隔膜2 9之收縮方向b移動，滑 件5 6之封閉端部5 6 a的內面，卡合在排氣閥棒5 3之 軸環部5 2上。藉由此手段，排氣閥棒5 3往b方向移動 •於是排氣閥體5 1使排氣口 4 0開放，所以空氣室3 2 内之封入空氣從排氣口 4 0被排出至大氣中，因而空氣室 3 2內之封入壓下降=因此，限制隔膜2 9之伸縮變形量 超過衝程F，抑制液體室3 1的容量過度地減少。而且， 隨著空氣室3 2內之封入壓的降低，隔膜2 9朝基準位置 S伸長，所以滑件5 6 —邊被隔膜2 9之封閉上端部 經濟部智慧財產局B工消費合作社印製 2 9 b推壓而往a方向移動，一邊壓縮開放用彈簧5 8 ， 於是排氣閥體5 1以閉合用彈簧5 7的彈壓作用，再度閉 合排氣口 4 0。藉由此手段，空氣室3 2內的封入壓被固 定在調整狀態。結果，不論從往復運動之泵P之液體室9 來的吐出壓力如何變動，可以有效率地吸收脈動來抑制脈 動幅度3 在上述實施例之蓄壓器A中，係在空氣室3 2內安裝 由自動給氣閥機構4 1和自動排氣閥機構4 2所構成的壓 力自動調整機構。此壓力自動調整機構也可以採用如第 1 0圖〜第1 7圖所示之構造的機構。 亦即，壓力自動調整機構，如第1 0圖所示，在蓄壓 本紙張尺度適用中國國家標準（CMS ) A4規格（2!0Χ'297公釐） -20 - 4-6 630 - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A 7 B7 五、發明説明（18 ) 器A之殼2 7之頂壁2 6的中央附近1形成開Π 3 5 :而 將給俳Μ _ Η藏之閥殼3 7嵌合在此開门3 5內· 1:1.將附 在此閥殼3 7後端外周上的凸緣3 6 ，以螺洤等π丨裝卸地 安裝固定在頂壁2 6上；另一方而，在隔膜2 9之ίΐίί對空 氣室3 2之封閉上端部2 9 b的中心部，面對面地抵接配 置給排氣閥控制盤體7 0與上述閥殼3 7。 如第1 1圖所示，在閥殼3 7之前端面，並列形成給 氣口 3 9和排氣口 4 0。在給氣口 3 9內，設置自動給氣 閥機構4 1 ，當上述液體室3 1之容量增大超過規定範圍 時，供給超過移送液體之最大壓力値以上的壓力之空氣， 至上述空氣室3 2內，使空氣室3 2內之封入壓上升。而 在排氣U 4 0內，設置自動排氣閥機構4 2 ，當液體室 3 1之容量減少至規定範圍以下時，將空氣從空氣室3 2 排出使該空氣室3 2內之壓力下降。 . 自動給氣閥機構4 1 ，如第1 0圖所示，在閥殼3 7 的後端面，使母螺紋孔部1 7 1形成與給氣口3 9連通； 而將給氣閥體4 4以及用來保持與給氣閥體4 4成一體之 閥按壓棒4 9的給氣閥夾持具1 7 2 ，經由0型密封圈 7 3 ，旋進固定在此母螺紋孔部1 7 1內。給氣閥夾持具 1 7 2在其旋進母螵紋孔部1 了 1內之前側端部，形成給 氣閥室4 3 ，且在給氣閥室4 3的內底處，形成閥座4 6 ，而在後側端部，形成使閥棒插通孔7 4與給氣閥室4 3 同軸心地連通。進而·在給氣閥夾持具1 7 2之後測端部 的外阇’設置複數個經由閥棒插通孔7 4而與給氣閥室 1^-----1---裝------訂 — J---„---,^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標皁（CNS ) A4说格（210X297公釐） -21 - 4 6 63 02 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A 7 B7五、發明説明（19 ) 4 3和空氣室3 2連通之連通孔7 5。而藉由設置此連通 孔7 5 ，可以提高對空氣室3 2之壓力變化的反應件。 給氣閥夾持具1 72係內藏在給氣閥室4 3內，使給 氣閥體4 4沿著其軸線方向移動自如，且將閥按壓棒4 9 插人閥棒插通孔了 4內。閥按壓棒4 9的後端部·從給氣 閥夾持具1 7 2的後方突出=閥棒插通孔7 4 ，係分段地 形成大直徑孔部7 4 a以及導引孔部了 4 b :大直徑孔部 7 4 a的內徑係形成比閥按壓棒4 9的外徑大，而在與閥 按壓棒4 9之間形成連通間隙；而導引孔部7 4 b則形成 僅比閥按壓棒4 9的外徑稍大，與閥按壓棒4 9之間幾乎 沒有間隙，而互相滑動。給氣閥體4 4 ，藉由其閥按壓棒 4 9被導引孔部7 4 b所導引，而可以在給氣閥室4 3內 沿著其軸線方向筆直地移動a 在給氣閥室4 3內，給氣閥體4 4藉由彈簧4 5的彈 力/而經常地被彈壓密接在閥座4 6上，處於閉合位置。給 氣閥體4 4，係隔著0型密封圈7 6而氣密地接觸在閥座 4 6上。該0型密封圏7 6 ，如第1 3圖所示，係嵌入形 成於給氣閥體4 4之後端面的角部之圓弧溝7 7內，而安 裝成防止脫落的狀態。 液體室3 1內的液壓，在平均壓力的狀態下，隔膜 2 9係處於位於基準位置的狀態，此時給氣閥體4 4與給 氣閥夾持具1 7 2之閥座4 6密接而閉合給氣口 3 9 ，且 閥按壓棒49之面對空氣室32內部的端部49 a ，與隔 膜2 9之封閉上端部2 9 b的間隔，僅爲衝程E。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CN'S ) A4規格（2丨0X297公釐） -22 - 466302 A 7 B7 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（20 ) 另·方面，自動排氣閥機構42 ，如第1 0圖所， 在閥殼3 7的後端面，將剖面爲_形之排氣閥室5 0和內 徑比排氣閥室5 0的內徑大的母螺紋孔部7 8 ，形成與排 氣口40同軸心地連通。將形成如第14圖所示般地在圓 固上的對向部形成平坦面5 1 a的排氣閥體5 1 ，內藏在 排氣閥室5 0內，而可以沿著其軸線方向移動自如。排氣 閥棒5 3與排氣閥體5 1結合成一體，此排氣閥棒5 3插 入保持在被旋進固定於上述母螺紋孔部7 8內之排氣閥棒 夾持具7 9的中心之閥棒導引孔部7 9 a中，而可以沿著 其軸線方向滑動自如=在排氣閥棒夾持具7 9上，以閥棒 導引孔部7 9 a爲中心，在同一圓上設置複數個連通孔 8 0 ，用來連通排氣閥室5 0和空氣室3 2。在排氣閥體 5 1和排氣閥棒夾持具7 9之間，具有套在排氣閥棒5 3 上之彈簧8 1 ，利用此彈簧8 1的彈力，排氣閥體5 1經 常被彈壓密接在排氣閥室5 0之閥座5 0 a上，而處於閉 合位置。排氣閥體5 1 ，係隔著0型密封圈8 2而氣密地 接觸在閥座5 0 a上。該0型密封圈8 2 ，如第1 4圖所 示1係嵌入形成於排氣閥體5 1之前端面的角部之圓弧溝 8 3內，而安裝成防止脫落的狀態ϋ 上述隔膜2 9在位於基準位置的狀態時•排氣閥體 5 1閉合排氣口 4 0 ，且排氣閥棒5 3之後端的軸環部 5 3 a與套筒8 4之封閉端部8 4 b的內面之間，僅離開 規定的衝程。 另·一方面|被抵接配置在隔膜2 9之封閉h端部2 9 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) Ρ I ........ - —^—4 一OJn^i Γ - 1^1 — -τ-, -.. ---- - 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2〗0:<297公釐） -23- 466302 A 7 B7 五、發明説明（21 ) (請先s讀背面之注意事項再填寫本頁) b之中心部的給俳氣閥控制盤體7 0 ·形成圓盤肜狀，而 在其前面·凹陷地設置給氣閥搾按壓部8 5 ，將構成排 氣閥棒牽引部8 6之套筒8 4 ，與給氣閥棒按壓部8 5並 列地嵌合固定。在套筒8 4之前端部，形成內徑僅比上述 排氣閥棒5 3的外徑稍大，而可以與該排氣閥棒5 3之間 幾乎沒有間隙地互相滑動的導引孔部8 4 a ;而將上述排 氣閥棒5 3之附有軸環部5 3 a的後端部，滑動自如地插 入此導引孔部8 4 a內，且由於軸環部5 3 a而被頂住地 連結在一起。排氣閥棒5 3藉由導引孔部8 4 a而使其被 滑動導引，可以筆直地在其軸線方向移動，再者，套筒 8 4可以與給排氣閥控制盤體7 0形成一體。 在此給排氣閥控制盤體7 0之給氣閥棒按壓部8 5和 給氣閥夾持具1 7 2之後端部之間、以及套筒8 4和排氣 閥棒夾持具7 9之後端面之間，分別有由壓縮線圈彈簧所 構成之彈簧8 7，套在閥按壓棒4 9和排氣閥棒5 3之外 周上；藉由此彈簧8 7、8 7，給排氣閥控制盤體7 0被 往隔膜2 9之封閉上端部2 9 b的中心部彈壓。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又’如第1 2圖所示，給排氣閥控制盤體7 0和閥殼 3 7係以一根、更理想爲複數根與隔膜2 9之伸縮方向平 行之導引軸8 8連結在一起。導引軸8 8的前端部保贿著 蟄片8 9 a而以螺栓8 9緊固地固定在閥殼3 7之後端面 上：將附有軸環部8 8 a之後端部，可以沿著其軸線方向 滑動自如地插入埋設固定在給排氣閥控制盤體7 0之前端 面上的導引套筒9 0中，且由於軸環部8 8 a而被頂住地 -24 - 本紙乐尺度適用中國國家標準（〇阳）八4规格（210；<297公釐 466302 Μ Β7 五、發明説明（22 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 連結在一起：在導d套筒9 0之前端部1形成與導引軸 8 8之間幾乎沒有間隙时5相滑動之導引札部9 0 a ，πϊί 藉由將導引軸8 8的後端部插入此導引孔部9 0 a內1給 排氣閥控制盤體7 0在導屮軸8 8之導引下，可以筆直地 往隔膜2 9之伸縮方向平行地移動 再者，導引套筒9 0可以與給排氣閥控制盤體7 0形 成一體。 接著，說明上述構造之自動給氣閥機構4 1 '自動排 氣閥機構4 2的動作。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 若從上述往復運動之泵P來的吐出壓力上升變動·則 由於移送液而使液體室3 1的容量增大，液體室3 1內的 流體壓力超過空氣室3 2內的壓力，則隔膜2 9伸長變彤 隨著此隔膜2 9的伸長變形，如第1 6圖A、第1 6圖 B所示，在隔膜2 9之封閉上端部2 9 b的中心部，將給 排氣閥控制盤體7 0往閥殼3 7之方向按壓。藉由此手段 ，一直由於彈簧4 5的作用而處於閉合狀態之給氣閥體 4 4 ，藉由以給排氣閥控制盤體7 0之給氣閥棒按壓部 8 5 |來推壓閥按壓棒4 9之後端部，而成爲開放狀態； 於是，壓縮空氣通過給氣口 3 9供應至空氣室3 2內，使 空氣室3 2內之封入壓上升。而且，隨著空氣室3 2內之 封入壓的上升，隔膜2 9收縮·於是，給排氣閥控制盤體 7 (]之給氣閥棒按壓部8 5 ，沒有推壓閥按壓棒4 9之後 端部，而藉由彈簧4 5、空氣室3 2內之壓縮空氣的壓力 ，給氣閥體4 4成爲閉合狀態，與液體室3 1內之流體壓 -25 - 本纸張尺度適用中國國家操準（CN'S ) Α4规格（210Χ 297公釐） 466302 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 37五、發明説明（23 ) 力兄V衡狀態。再者，矜隔膜2 9之伸Μ變形超過規定 的衝程 '則其封閉上端部2 9 b ，碰觸蓄壓器A之毁2 7 之突出至空氣室32內的停止器壁27a ，藉ώ此手段可 以限制隔膜2 9過量地變形 '防止隔膜2 9破損， 另…方面，若從往復運動之泵P來的吐出壓力下降變 動，由於移送液而使得液體室3 1的容量減少，於是空氣 室3 2內的壓力超過液體室3 1內的流體壓力，則隔膜 2 9收縮變形。隨著此隔膜2 9的收縮變形，如第1 7圖 A、第1 7圖B所示，隨著隔膜2 9之封閉上端部2 9 b 往收縮方向移動，給排氣閥控制盤體7 0 —邊受到彈簧 8 7的彈壓力…邊往同一方向移動，於是與給排氣閥控制 盤體7 0之排氣閥棒牽引部8 6連結之排氣閥棒5 3 1被 往同一方向牽引，而使排氣閥體5 1成爲開放狀態，所以 空氣室3 2內之壓縮空氣從排氣口 4 0排出至大氣中，空 氣室3 2内之封入壓降低。而且，隨著空氣室3 2內之封 入壓的降低，隔膜2 9伸長=於是，給排氣閥控制盤體 7 0按壓隔膜2 9之封閉上端部2 9 b的中心部，排氣閥 體5 1則利用彈簧8 1的彈壓作用而關閉排氣口 4 0。藉 由此手段，空氣室3 2內之封入壓被固定在調整狀態。 如此，當隔膜2 9內之流體壓力改變時，藉由吸入、 排出壓縮空氣直到其壓力平衡爲止的手段，不論從往復運 動之泵P來的吐出壓力如何變動•可以有效率地吸收脈動 來抑制脈動幅度。 上述般地在閥殼3 7內具備獨立分離之給氣閥體4 4 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家揉準i CNS ) A4規格（210X 297公釐） -26 - 經濟部智慧財產airwx消費合作社印製 46 6302 Δ7 Α7 __ Β7 五、發明説明（24 ) 不11排氣閥體5 1 ，係根據隔膜2 9的伸縮，經由給排氣閥 控制盤體7 0上之給氣閥棒按壓部8 5和排氣閥棒牽引部 8 6 ’來控制閥之開放。該給排氣閥控制盤體7 0 ’由於 被一直抵接配置在隔膜2 9之封閉上端部2 9 b的中心部 ‘所以給氣閥體4 4和排氣閥體5 1即使在閥殼3 7内分 離獨立地並列配置，也不會對隔膜2 9施加不平衡的負荷 ，隔膜2 9經常筆直地在閥殼3 7之軸線X — X方向伸縮 變形，因此可以提高給氣閥體4 4、排氣閥體5 1之開閉 動作的反應性 '確保脈動降低性能。 又，藉由導引軸8 8的導引作用，由於可以使給排氣 閥控制盤體7 0經常安定確實地平行移動，所以給氣閥體 4 4 '排氣閥體5 1經由該給排氣閥控制盤體7 0，可以 忠實地對應隔膜2 9的伸縮，來進行開閉動作。 在上述實施例之蓄壓器A中，係在空氣室3 2內安裝 由自動給氣閥機構4 1以及自動排氣閥機構4 2所構成的 壓力自動調整機構；但是，空氣室3 2只要有空氣出入用 的開口 3 5便可以，並不是一定需要壓力自動調整機構3 該壓力調整也可以由手動來進行。 如上述實施例，在往復運動之泵P中，若將吸入口 1 8設置成形成於吸入用止回閥2 0之突出先端部的側面 ，而將吸入液往位於與液體室9內之軸線B方向相異方向 的_周壁9 a噴出’則噴至液體室9內的液體，即使是含 有硏漿等的沉澱物質之液體，也一邊沿著圓周壁9 a旋轉 邊流動.而不會滯留在液體室9內之圓周壁9 a上、特 適荊中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） -------- - ----士民 I- I — H _ _ T _ __ ___A ，vs* · y· {請先閱讀背面之注意事項再填寫本页) 46 6302 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五 '發明説明（25 ) 別足在h述實施例中之由伸縮管所構成的隔膜7的伸縮部 份，可以發揮經常替換新的液體的作弔j义’在蓄歷器A 中，由於將流入口 2 3形成於吐出用止回閥2 1之突出先 端部的側面，而將液體往位於與液體室3 1內之軸線C方 向相異方向的圓周壁3 1 a噴出’所以被噴至液體室3 1 內的液體，一邊沿著圓周壁3 1 a旋轉一邊流動’不會發 生滯留，能夠經常替換新的液體。 在上述實施例中，在往復運動之泵P內’吸入口 1 8 係被形成於吸入用止回閥2 0之突出先端部的側面：但是 ’如第1 8圖所示，吸入口 1 8 ’也可以在泵本體1之內 底面4 a上，形成將液體往液體室9內之圓周壁9 a噴出 之傾斜朝上的開口。又，在蓄壓器A中’也可以將形成於 吐出用止回閥2 1之突出先端部之側面的流入口 2 3加以 變更，而在蓄壓器本體2 5之內底面2 8 a上，形成將液 If往液體車3 1內之圓周壁3 1 a噴出之傾斜朝上的開口 c 又，在上述實施例中，由於往復運動之栗p之隔膜7 以及蓄壓器A之隔膜2 9 ，設置成分別以其軸線B、c爲 縱軸（垂直方向），所以即使使用含有硏费等冗j殿物質·；> 液體，沉澱物質也可以儘可能地減少滯留在隔膜7、29 之伸縮部份；但是也不限定於此種構造，往復運動之泵p 之隔膜7以及蓄壓器A之隔膜2 9 ，也可以分別以其軸線 B、C爲橫軸（水平方向）型式的往復運動之泵p以及蓄 壓器A。 本紙浪ϋϋ中國國家標準（CNS ) Λ4规格（210χϋ97公釐-- ----------沿衣---------Γ--·-" (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 6 63 0 2 A7 ________ B7 五、發明説明（π ) 上述往復運動之泵p之吸入用止回閥2 0以及吐出m ih回閥2 1 ’分別以閥殼2 0 1 、2 2 0爲縱方向’而藉 由球閥體2 0 2、2 2 1的本身重量而密接在此閥殼 2 0 1 、2 2 0 内之閥座 2 1 1 ( 2 1 3 )、2 3 0 ( 2 3 2〕上’來防止液體逆流；由於不使用球彈壓用的彈 簧而採用自重閉合機構，所以即使在使用含有硏漿等沉澱 物質的液體時，也可以防止沉澱物質分別積存在吸入用止 回閥2 0、吐出用止回閥2 1的內部，防止沉澱物質凝集 ;但是，也不限定於此種構造，也可以爲使用球彈壓用的 彈簧機構之吸入用止回閥2 0以及吐出用止回閥2 1 -吸入用球式止回閥2 0以及吐出用球式止回閥2 1 ， 分別如上述實施例般，若將球閥體2 0 2、2 2 1作成具 備上下兩段的二重閉合構造，則具有能保證確實地移送定 量的液體之優點；又，閥殼2 0 1 ' 2 2 0係分別將球閥 體.2 0 2、. 2 2 1分割成上下兩段且容易組合之第1閥殼 2 0 1 a 、2 2 0 a 和第 2 閥殼 2 0 1 b 、2 2 0 b :但 是，也不限定於此種構造，例如也可以爲具備單一的球閥 體2 0 2、2 2 1之止回閥：或是也可以將閥殼2 0 1、 2 2 0分別構成單一個體（參照第4圖）_= 在往復運動之泵P中，若將液體室9之內底面4 a形 成朝向吐出口 1 9往下傾斜的形狀，所以即使是含有硏漿 等沉澱物質的液體’也可以沿著內底面4 a之往下傾斜面 ，順暢地往吐出口 1 9移動而被吐出，可以防止沉澱物質 積存在內底面4 a內而固化；但是’該內底面4 a也可以 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2IOX2W公釐) :29—; ~ ---------' 裝------訂--.---T Ϊ . {請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) A 7 B? 4, 6 6 3 Ο 2 五 '發明説明（27 ) B V酣.·同樣的，在蓄Μ器A中，由於使液體宽3 1二1 p i、i βΡ 底® 2 8 a形或朝向流出口 2 4往_F傾斜的肜狀’ 使 疋 含 有 硏 漿 等 沉 澱 物 質 的 液 體 > 也 可 以 沿 内 底面 2 8 a 丄/ 往 丨、' 傾 斜 面 f 順 暢 地 往 流 出 Π 2 4 移 動 而被 吐出 可 以 防 止 >.—* i/L 澱 物 質 積 存 在 內 底 靣 2 8 a 内 而 固 化； 但楚 1 該 內 底 面 2 8 a 也 可 以 爲 平 面 1和 在 往 復 運 動 之 泵 P 中 ♦ 由 於 隔 膜 7 之 由 山 峰 部7 凹 谷 部 2 上 下 父 互 連 續 形 成 所 構 成 的 伸 縮 部 份 ，不 但是 在 伸 長 狀 態 時 1 即 使 是 在 收 縮狀 態 時 ΐ 各 山 峰 部 7 1 之上 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 .卜兩側的褶狀部7 1 a 、7 1 b之中的下側之褶狀部 7 1 b，形成朝向軸線B而往下傾斜的形狀，所以即使移 送液爲含有硏漿等的沉澱物質之液體時，在隔膜7內’# 澱物質容易沿著山峰部7 1之下側之褶狀部7 1丨〕內面@ 朝F傾斜面滑落，而不會積存在該褶狀部7 1 b之內面上· ，，而與上述防止沉澱物積存在圓錐狀之內底面4 a上的/效 果相結合，可以更進一步地防止沉锻物沉殿或凝集在往復 運動之泵P內。同樣的，在蓄壓器A中，即使移送液爲含 有硏漿等的沉澱物質之液體時，在隔膜2 9内，沉澱物質 容易沿著山峰部2 9 1之下側之褶狀部2 9 1 b內面的朝 下傾斜面滑落，而不會積存在該褶狀部2 9 1 b之內面上 ，而與上述防止沉澱物積存在圓錐狀之內底面2 8 a上的 效果相結合，可以更進一步地防止沉澱物沉澱或凝集在蓄 壓器A内。但是，隔膜7、2 9也並不一定限於以伸縮管 構成，也可以將本發明應用於由膜片所構成的隔膜7、 -30 - 本紙烺尺度適用中國囷家榇準（<：阳）人4規格（210/2打公釐；_ 466302 A7 B7 五、發明説明（28 ) 2 9 ^ 再者’本發明的流體機器，如上述實施例所不，並不 限定應用於將用來防止脈動之蓄壓器A與往復運動之泵P —起倂用設置的情況；如第1 9圖所示，當然也可以應用 於僅單獨以往復運動之泵p來構晈流體機器的情況，在此 情況卜'，除了單獨以往復運動之泵P來構成、以及將吐出 用止回閥2 1安裝在流出通路6之下游端側以外1由於與 上述往復運動之泵P的構造相同，所以在此僅對相同構件 附上相同符號，而省略其說明。更進一步來說，不僅是含 有硏漿等的沉澱物質之液體，本發明也可以應用於不希望 有滯留情況發生之純度要求非常嚴格的超純水或是藥液等 【發明之效果】 . 若根據本發明’在往復運動之泵或蓄壓器中，從吸入 口或流入口噴出之液體，沿著液體室內的圓周壁而產生旋 轉流，由於藉由此旋轉流來攪拌液體室內部，所以在液體 室內不t發生液體滯留的情況，而可以經常供給新的液體 ;又’即使是使用含有硏漿等的沉澱物質之液體的情況， 也可以防止沉澱物質積存在液體室內，防止發生凝集 現象： 【圖面之簡單說明】 第1圖係流體機器之往復運動之粟以及蓄壓器的縱剖 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙依尺度適用中國國家標準（CN’S ) Λ4規格（2ίΟΧ 297公釐 -31 -
A 6 6302 A 7 B7 五、發明説明（29 ) fjlj .視圖； (請先閔讀背面之注意事項再填寫本頁) 第2圖A係往復運動之泵之隔膜之仲縮部份的擴人剖 面圖。 第2圖B係往復運動之泵之隔膜之伸縮部份之變化例 的擴大剖面圖。 第2圖C係往復運動之泵之隔膜之伸縮部份之其他變 化例的擴大剖面圖。 第3圖係往復運動之泵之吸入用止回閥的擴大剖面圖 第4圖係表示在往復運動之泵的吸入過程中，液體流 動狀態的剖面圖。 第5圖係表示在往復運動之泵的吐出過程中，液體流 動狀態的剖面圖。 第6圖係第5圖中的Η — Η線剖面圖。 , 第7圖Α係蓄壓器之隔膜之伸縮部份的擴大剖面圖。 第7圖B係蓄壓器之隔膜之伸縮部份之變化例的擴大 剖面圖= 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第7圖C係蓄壓器之隔瞑之伸縮部份之其他變化例的 擴大剖面圖。 第8圖係被配置在蓄壓器內之往復運動之泵的吐出用 止回閥的擴大剖面圖。 第9圖係蓄壓器之壓力自動調整機構的擴大縱剖前視 圖。 第1 0圖係蓄壓器之壓力自動調整機構之其他變化例 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 ΧΪ97公i - 46630^ A7 B7 五、發明説明（3〇 ) 的擴大縱剖前視圖。 第1 1圖係第1 0圖所不之壓力自動調整機_:丨博的俯視 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 圖。 第1 2圖係第1 1圖中的F — F線剖面圖。 第1 3圖係第1 0圖所示之壓力自動調整機構之給氣 閥的剖面圖。 第1 4圖係第1 0圖所示之壓力自動調整機構之排氣 閥的剖面圖。 第1 5圖係第1 0圖中的G — G線剖面圖。 第1 6圖A係在蓄壓器之伸縮管內的流體壓力上升時 ，壓力自動調整機構之給氣閥以及排氣閥的動作圖 第1 6圖B係在蓄壓器之伸縮管內的流體壓力上升時 ，壓力自動調整機構之導引軸以及導引套筒的動作圖。 第1 7圖A係在蓄壓器之伸縮管內的流體壓力下降時 ，壓力自動調整機構之給氣閥以及排氣閥的動作圖。 第1 7圖B係在蓄壓器之伸縮管內的流體壓力下降時 1壓力自動調整機構之導引軸以及導引套筒的動作圖= 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第1 8圖係其他實施例之往復運動之泵之要部剖面圖 第1 9圖係更進一步地舉出其他實施例之往復運動之 泵之全體縱剖前視圖= 【符號說明】 1 :泵本體 本紙張尺度適用中國國家揉準) Α4規格（210Χ297公釐） 33 - 466302 A7 B7 五、發明説明（31 ) 閥回 止面 壁口口用 底室周入出入 內膜體圓吸吐吸 : iomLK: : : : Ll· a: : -Η oo _MU 「一 0"}〇"!> .—_ -—^9.〕 (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標孪i CNS ) A4規格（210X29?公釐） -34 -