TW451382B - Batch end effector for semiconductor wafer handling - Google Patents

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4513 82 : B7 五、發明説明（I ) 發明背暑 本發明係有關於在半導體元件製造的期間內用於承載 半導體晶圓的裝置，且更特別地有關於用於整批半導體晶 圓和在製程系統中晶圓搬運裝置、載入止動器之間來回傳 送的整批末端效應器，和諸如此類的。 發明背景 半導體晶圓製造設備典型地由位於潔淨室中的一群晶 圓製程系統所組成，製程系統可以包括離子佈植機、退火 機、擴散爐管、濺鑛覆著系統、蝕刻系統和諸如此類的系 統，半導體晶圓根據預先決定的計劃表被從系統傳送至系 統來製造，晶圓已經典型地在如晶圓盒的開放容器中被傳 送，不是用手動就是用各種的傳送系統，少數的晶圓製造 廠已經在所謂SMIF(標準機械介面、SEMI制定的工業標準 、半導體設備製造介面)盒的密閉容器中傳送徑達兩百公 、釐的晶圓，這些容器典型地含有經由SMIF盒下端表面中 的通道或門存取之開放晶圓盒，SMIF盒的目的爲將晶圓和 微粒及氣體污染源隔離並允許減少潔淨室空氣濾淸的花費 〇 在半導體晶圓製造工業中一些趨勢變得明顯，晶圓逐 漸變大，直徑達三百公釐，且元件尺寸逐漸變小，一完成 的晶圚可能價値二十五萬美金之多，因此在晶圓承載中需 要極度小心來防止甚至最輕微的損壞，此外，半導體元件 尺寸逐漸地變小時所允許的微粒污染物要求變得更嚴苛， 最近幾年來’因爲元件尺寸的減小，微粒污染物要求已經 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） ---------装—— (請先閱绩背面之注意事項ί寫本頁) -1¾ -線- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 513 82 A7 B7 五、發明説明（>) (請先閲绩背面之注意事項-ί5>ϋτ本頁) 被減少兩個數量級的量，採用來符合微粒污染物要求的步 驟之一爲在已知爲前方開口 一體匣(FOUP’s)的密閉晶圓容 器中儲存和傳送晶圓，晶圓匣典型地儲存達二十五片晶圓 且具有一個被打開用於存取晶圓的門。 因爲在承載晶圓時極度小心和極度嚴厲的微粒污染物 要求之需求，自動晶圓承載和傳輸被需求，典型地，晶圓 在製程系統中被從晶圓搬運裝置移出且被傳送進入至載入 止動器或處理系統的其它輸入通道，在完成處理之後，晶 圓被從系統經由相同或不同的載入止動器移出且被放回晶 圓搬運裝置中，晶圓於晶圓搬運裝置和製程系統來回傳輸 典型地由晶圓自動裝置被完成。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 晶圓自動裝置的基本構成元件包括有托住一個或多個 晶圓的末端效應器、連接至末端效應器的自動裝置手臂和 依據從控制器來的信號用來移動自動裝置手臂的自動裝置 手臂驅動裝置，自動裝置手臂操作的例子從晶圓搬運裝置 被移出一個或多個晶圓且傳輸晶圓至製程系統的載入止動 器，基本操作典型地需要許多的基本操作，如在晶圓間插 入一晶圓承載器進入晶圓搬運裝置、在晶圓搬運裝置中從 晶圓的支撐舉起它和從晶圓搬運裝置移回晶圓承載器，晶 圓自動裝置被揭示，舉例來說，於Muka等人於西元—九 九七年五月四日核准號碼爲5,607,276的美國專利、Muka 等人於西元一九九七年五月十一日核准號碼爲5,609,456 的美國專利〜Muka等人於西元一九九七年九月九日核准號 碼爲5,664,925的美國專利和iMuka等人於西元一九九七年 本紙張尺度適用中國國家標华·（ CNS )从規格（210Χ 297公釐） 4513 82 A7 |________B7 五、發明説明（4 ) 五月二十五日核准號碼爲5,613,821的美國專利。 許多需求被寄托於晶圓自動裝置和它們所相關的未端 效應器，爲了幫助高產出和減少製造成本，晶圓搬運裝置 的載入和卸下應該儘快地被完成，能夠同時地傳輸多片晶 圓的整批末端效應器可以比單一晶圓末端效應器更有效率 ，然而設計用於單一晶圓搬運裝置尺寸使用的整批末端效 應器可fg不相容於不同的晶圓搬運裝置尺寸，此外習知技 術之末端效應器依賴重力和摩擦力來維持晶圓在晶圓承載 器上固定的位置，於是需要限制移動的速度來保證晶圓仍 保持在晶圓承載器上固定的位置’此外習知技術末端效應 器並未具有能力去感知每一晶圓承載器上晶圓的存在，因 此它不可能偵測遺漏的晶圓。 於是需要提供用於晶圓承載的晶圓自動裝置和末端效 應器，其克服一個或多個上述的缺點或不利條件。 發明槪要 根據本發明的第一個觀點，晶圓自動裝置被提供，晶 圓自動裝置包含整批末端效應器、真空幫浦和用於移動整 批末端效應器的手臂’整批末端效應器包含支稱組、真空 歧管和一個或多個固定在支稱組上的晶圖承載器每一個晶 圓承載器包含具有真空開口且一真空管路被連接於真空開 口間的晶圓支撐和真空歧管，整批末端效應器進一步包含 相對地連接至每一真空管路用來感測每一晶圓承載器上晶 圓存在與否的真空感測器。 真空歧管較佳地被安置緊靠於晶圓承載器，在一實施 本紙張尺度適用中國國家標準（CMS ) A4規格（210X297公釐） f請先g讀背面之注意事項_厂4,窝本頁) •裝. 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 451 3 82 A7 B7 - — ~ ......— ____ 五、發明説明（4 ~~~ 例中，真空歧管被安置於支稱組中。 較佳地，每一晶圓承載器包括定義用於限制從真空開 口至真空岐管氣體流量的真空管路中限制之單元，真空感 測器被連接至真空開口和限制間的真空管路。 在每一晶圓支撐的真空開口較佳地被安置以便接合晶 圓的周圍，在本發明的一實施例中，真空開口被安置以便 接合晶圓的除外區域(exclusiorrzone)。 . 根據本發明的另一個觀點，一晶圓自動裝置被提供， 自動裝置包含具有第一群晶圓承載器的第一個末端效應器 和具有第二群晶圓承載器的第二個末端效應器、用來移動 第一個和第二個末端效應器來執行分別操作的手臂組件和 以第一個末端效應器的一個或多個操作和第二個末端效應 器的一個或多個操作用來分別地控制操作第一個和第二個 末端效應器來載入及卸下晶圓搬運裝置的控制器。 在第一個實施例中，手臂組件包含用來移動第一個末 端效應器的第一手臂和用來移動第二個末端效應器的第二 手臂，在第二個實施例中，手臂組件包含用來移動第一個 和第二個末端效應器的單一手臂。 較佳地，在第一個和第二個末端效應器中晶圓承載器 的數目被選擇來允許以比較少操作數目來載入和卸下至少 兩種不同尺寸的晶圓承載器，在一實施例中，第一個末端 效應器包含六個晶圓承載器所組成且第二個末端效應器由 單一晶圓承載器，在這個實施例中，第一個和第二個末端 效應器可以以五個操作載入和卸下具有二十五片晶圓容量 -- ft (諳先閱讀背面之注意事項flr本頁) -裝. ,ιτ 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 451382 A7 ----- B7__~ ~---_ 五、發明説明（< ) 的晶ki搬運裝置和可以以三個操作載入和卸下具有十三片 晶圓容量的晶圓搬運裝置。 圖式簡輩§e·日日 本發明上述的目的及優點在以下的詳細說明其較佳實 施例並配合參考圖示之後將會變的炱加明白’ 第一圖爲根據本發明的—實施例的晶圓自動裝置之示 意圖； 第二圖爲根據本發明的晶圓自動裝置之簡化側視圖； 第三圖爲晶圓自動裝置的後視圖； 第四圖爲整批末端效應器的局部側視圖； 第五圖爲整批末端效應器的平面圖；和 第六圖爲使用於末端效應器中的真空抓取和感測系系充 的示意方塊圖。 較佳眚施例之詳細說明 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 根據本發明實施例的晶圓自勲裝置之簡化槪念圖被顯 示於第一圖中，晶圓自動裝置10包括由第一手臂14所支 撐的第一個末端效應器12和由第二手臂22所支撐的第二 個末端效應器20，手臂14和22被由一自動裝置本體24 支撐，末端效應器12藉由手臂14被移動且末端效應器20 藉由手臂22被移動’移動可能，舉例來說，包括舉起和降 低每一末端效應器且水平地傳輸每一末端效應器，手臂14 和22及自動裝置本體24被藉由從自動裝置控制器30來的 信號控制。 產攝致應器^包括二茗麗輕麗二里奠多假晶圓承載器 ---------2________ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Μ規格（2丨0x297公釐） 4513 82 Α7 Β7 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（έ?) 42，晶圓承載器42被固定於支撐組40上且被空間間隔來 允許存取在晶圓搬運裝置中的晶圓，每一晶圓承載器42可 能承載一半導體晶圓44，晶圓承載器42通常地具有細平 的外觀使得它們可以被移動進入晶圓搬蓮裝置中的晶圓間 的空隙，手臂.H被連接至支撐組40，末端效應器2〇包括 一支撐組50和一個被固定於支撐組50上的晶圓承載器52 ，手臂22被連接至支撐組50。 第一圖的例子中，末端效應器12包括六個晶圓承載器 42，且末端效應器20包括單一的晶圓承載器52，將了解 到在本發明的觀點之中，每一末端效應器可能具有不同數 目的晶圓承載器，典型地末端效應器的一個包括一個或多 個晶圓承載器且另一個包括兩個或多個晶圓承載器。 根據本發明的晶圖自動裝置實現被顯出於第二圖至第 六圖中，在第一圖至第六圖中相似的單元具有相同的參考 號碼，參照第Η圖，手臂Η和22 .被由自動裝置本體24支 撐，手臂14包括一上臂72，在肩部74被連接至本體24， 及前臂76，在腕部78被連接至上臂72，支撐組4〇被藉由 一適當的托架80和一腕部82連接至前臂76，手臂22包 括一上臂90，在肩部.92被連接至本體24和前臂94在肘 部96被連接至上臂90，末端效應器的支撐組50在腕部98 被連接至前臂94。 在操作中，每一手臂14和22可能沿著相對肩部74和 92旋轉且高度可能相對本體24變化，前臂76和94可能 相對地相對於相對上臂72和90的肘部78和96旋轉，支 (請先Μ讀背面之注意事項本頁) .裝. 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X2^公煃） 4513 82 A7 __B7 五、發明説明（7 ) 撐組40和50可能相對地沿著相對腕部82和98相對於上 臂76和94旋轉，在第二圖至第五圖的例子中，在晶圓搬 運裝置或製程系統中晶圓的載入和卸下的期間內，末端效 應器12和20典型地被相對本體24的中心軸Π0徑向地移 動，且被沿著軸Π0旋轉來從一站移動至另一站，如從一 晶圓搬運裝置至一製程系統，將被了解的是在本發明的觀 念中，一堆自動裝置手臂結構可能被利用，舉例來說，單 一手臂可能被利用來支撐和移動末端效應器12和20,且 支撐組40和50可能經由分開的腕部被連接至手臂。 末端效應器12和20的細節最佳地被顯示於第四圖和 第五圖中，每一晶圓承載器42和52可能由具有如第四圖 中所顯示的細截面部份和一般地具有如第五圖中所顯示的 U形結構的之堅硬金屬支撐單元120所組成，特別地每一 晶圓承載器42可能包括一基座130和從基座130延伸來形 成U形結構的手臂132和134，每一晶圓承載器定義具有 一個或多個真空開口的一晶圓接收表面140。 在第四圖和第五圖的例子中，每一晶圓承載器42包括 在基座130中的一真空開口 142、接近手臂132端點的真 空開口 144和接近手臂134端點的真空開口 146，每一真 空開口被藉由真空管路150連接至真空歧管160,較合宜 地真空歧管160被置放緊靠晶圓承載器42，在一較佳實施 例中，真空歧管160被安置在支撐組4〇中，如下面所述， 真空歧管160可能被連接至真空幫浦，因此經由真空開口 抽出的氣體產生吸力抓取相對的晶圓44，如第四圖中所顯 n^i m^i —n^^i m^I - -- '----- .-.\ (請先閱讀背面之注意事項r%.寫本頁) 、tr 線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 461 3 β2 Α7 _______Β7 五、發明説明U ) 示，真空管路uo可能被形成爲在相對晶圓承載器底邊中 的凹處，凹處可能被以一細平面164覆蓋來隱藏相對真空 管路15〇 ’每一真空管路15〇可能被連接，舉例來說，藉 由一彎管166至真空歧管160 a 如下面所述·每一真空管路150可能被連接至用來感 測晶圓承載器42上晶圓存在的真空感測器，一真空感測器 被提供給每一晶圓承載器，真空感測器可能被安置在支撐 組4〇中，真空感測器170和172被顯示於第五圖中，經由 例子，真空管路15〇可能藉由彎管176被連接至真空感測 器 170。 - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在較佳實施例中，真空開口 I42、丨44和146被安置於 晶圓承載器42上以便接合一半導體晶圓靠近它的外圍，特 別地真空開口 H2、丨44和可能接合晶圓在元件並未被 製造的晶圓周圍之除外區域’除外區域爲晶圓的外瑗’一 般地爲三至五釐米寬’因爲製程邊際效應’其爲無法製造 的，因此真空開口 142、144和146爲弧形’晶圓承載器 42可能以舉起的晶圓保持器丨8〇、丨82和184被提供來預 防晶圓44相對於晶圓承載器42的側面移動’如失去真空 的結果。 寧示於第一圖至第六圖中的晶圓自動裝置和前面所描 述的在載入和卸下不同尺寸晶圓搬運裝置爲有優點的’末 端效應器12具有六個晶圓承載_及末端效應器2C)具有單 —晶圓承載器的結'構在半導體製造工業中所使用的兩個標 準化的晶圓搬運裝置載入和卸下特別地有優點’特別地 _____________-4«--------'^ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（2丨〇><297公楚） 4 51 3 8.2 B7 年(为>&修正/更正/補充 五、發明說明（） <請先聞讀背面之注項再填寫本頁) 檩準化的晶圓搬運裝置被組態用來承載二十五片晶圓且另 〜標準化的晶圓搬運裝置被組態用來承載十三片晶圓，在 末端效應器中的晶圓承載器數目被選擇來有效地存取兩種 標準化的晶圓搬運裝置，具有二十五片晶圓容量的晶圓搬 .運裝置可能以末端效應器12的四個操作和末端效應器20 的一個操作(6+6+6+6+1=25)被存取，具有十三片晶圓容量 的晶圓搬運裝置可能以末端效應器12的兩個操作和末端效 應器20的一個操作(6+6+1 = 13)被存取，將被了解的是在每 一末端效應器中的晶圓承載器數目依據所使用的晶圓搬運 裝置尺寸，晶圓自動裝置可能具有兩個或多個的末端效應 器，每一具有一個或多個的晶圓承載器。 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 晶圓自動裝置的真空抓取和感測系統之槪念區塊圖被 顯示於第六圖中，真空幫浦200被連接至真空歧管160， 真空幫浦200從真空歧管160抽取空氣且因此經由在晶圓 承載器42中的每一真空開口，如真空開口 142，抽取空氣 ’真空系統提供置放於相對晶圓承載器上的晶圓44之吸力 抓取，流量限制器202可能被連接至真空開口和真空歧管 16〇間的每一真空管路150，真空感測器170、172等等之 一被連接至相對流量限制器和真空開口間的每一真空管路 150，真空感測器感測相對真空管路中的壓力且因此感測晶 圓承載器上晶圓的存在與否，將被了解的是真空管路150 的壓力在當一晶圓存在在晶圓承載器上時較當一晶圓不存 在時爲低，真空感測器可能，舉例來說，包括一隔板且轉 換隔板的移動成一電信號，真空感測器被那些熟知此項技 11 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 4513 82 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（π ) 藝之人已知且爲商業可利用的，真空感測器170和172等 等的輸出可能被提供至控制器210，其具有一預先決定的 例行程序用來回應相對晶圓承載器上晶圓的存在與否，真 空感測器電纜212(第三圖)可能經由手臂14連接真空感測 器170和172等等至控制器210，真空感測器電纜2Π可 能也包括一導管內連接真空歧管160和真空幫浦200。 流量限制器202限制真空承載器中真空開口和真空歧 管160間空氣的流量以便有效地從真空歧管160隔離每一 真空承載器中的真空管路150且允許單獨的晶圓感測，將 被了解的是在缺乏流量限制器下，在一真空管路中的壓力 可能被另一真空管路中的壓力所影響使得晶圓的存在與否 可能被錯誤地指示，流量限制器可能具有一相當小的 孔，其藉由真空感測器170、172等等被選擇來保證單獨的 晶圓感測，流量限制器可能具有固定或可變的孔’在一實 施例中，流量限制器202被實現爲具有相當小內部直徑的 彎管部份。 雖然本發明目前之較佳實施例已經被顯示和被描述’ 但是對那些熟知此項技藝之人，在不偏離如所附申請專利 範圍所定義的本發明範疇之各種變化或修改能被完成係明 顯的。 1 I - i 訂— . I I 線 • -1· ./ (讀先閱讀背而之注意事項严>?本頁) 本紙張尺度適用t國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐）

Claims (1)

1. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 513 8 2 Α8 70年’月μ修土/更正/補充 1 六、申請專利範圍 If種晶圓自動裝置，其包含： 一整批終端感應器，其包含： 一支撐組； 一真空歧管； 被固定於該支撐組上的兩個或多個晶圓承載器，每一 該晶圓承載器包含具有真空開口和連接該真空開口和該真 空歧管的真空管路之晶圓支撐，及 真空感測器，其個別地連接至每一該真空管路，用來 感測每一該晶圓承載器上晶圓的存在與否； 一個用於從相對真空開口至該真空歧管限制氣體流量 之在每一該真空管路中定義一限制的單元，其中，每一該 真空感測器被連接至該真空開口和該限制間的該真空管路 1 一真空幫浦，其連接至該真空歧管；和 一手臂，其連接至該支撐組，用來移動該整批終端感 應器。 2.如申請專利範圍第1項所述的晶圓自動裝置，其中 該真空歧管被安置緊靠於該晶圓承載器。 3·如申請專利範圍第1項所述的晶圓自動裝中 該真空歧管被安置於該支撐組中。 _利 4.如申請專利範圍第1項所述的晶圓自動裝含 用來控制手臂移動的一控制器，該控制器包含用®每一 該真空感測器接收信號用來監視相對晶圓支撐上晶圓的存 在之機構。 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱 -----------Ί -------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A8B8C8D8 經濟部智慧財產局負工消費合作社印製 六、申請專利範圍 5. 如申請專利範圍第1項所述的Λ圖自動裝置’其中 在每一該晶圓支撐中的該真空開口被安置以便接合晶圓的 周圍。 6. 如申請專利範圍第1項所述的晶圓自動裝置’其中 在每一該晶圓支撐中的該真空開口被安置以便接合放置於 其上晶圓的除外區域。 7. 如申請專利範圍第1項所述的晶圓自動裝置’其中 每一該晶圓支撐一般地具有U形結構，且其中’該真空開 口被安置在該U形結構的基座上和U形結構的邊上’以便 接合放置於其上晶圓的除外區域° 8. —種晶圓自動裝置，其包含： 一個第一個末端效應器，其具有複數個設計成用以同 時存取複數個晶圓之晶圓承載器； 一個第二個末端效應器，其具有複數個與該第一個末 端效應器不同之晶圓承載器； 一個手臂組合，其用來移動該第一個和第二個末端效 應器來執行分別的操作；和 一個控制器，其用於獨立地控制藉由第一個和第二個 末端效應器的操作，來以該第一個末端效應器的一個或多 個操作及該第二個末端效應器的一個或多個操作，以載入 或卸下一晶圓搬運裝置。 9_如申請專利範圍第8項所述的晶圓自動裝置，其中 該手臂組合包含用來移動該第一個末端效應器的第一手臂 和用來移動該第二個末端效應器的第二手臂。 2 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公髮） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂- -線一 Α8 λ 513 82 六、申請專利範圍 10. 如申請專利範圍第8項所述的晶圓自動裝置，其中 該手臂組合包含用來移動該第一個和第一個末‘效應器的 單一手臂。 11. 如申請專利範圍第8項所述的晶圓自動裝置，其中 ，於該第一個末端效應器上之第一晶圓承載器數目及於該 第二個末端效應器上之第二晶圓承載器數目被選擇來允許 以相當少數目的操作來載入和卸下至少兩種不同尺寸的晶 圓搬運裝置。 12. 如申請專.利範圍第8項所述的晶圓自動裝置’其中 該第一個末端效應器包含六個晶圓承載器，且該第二個末 端效應器包含單一晶圓承載器，其中該第一個和第二個末 端效應器可以以五個操作載入和卸下具有二十五片晶圓容 量的晶圓搬運裝置，且可以以三個操作載入和卸下具有十 三片晶圓容量的晶圓搬運裝置。 13. 如申請專利範圍第8項所述的晶圓自動裝置’其中 該第一個和第二個末端效應器包括用來在該晶圓承載器上 真空抓取晶圓的機構。 14. 如申請專利範圍第13項所述的晶圓自動裝置’其 中該第一個和第二個末端效應器包括用來在每一該晶圓承 載器上感測晶圓存在與否的真空感測器。 種晶圓自動裝置/其包括： 二tei第一個末端效應器，其具有複數個設計成用以同 時存取複數個晶圓之晶圓承載器； 一個第一個手臂，其連接至該第一個末端效應器’用 3 本紙張尺度適用中國國家標準<CNS)A4規格（210 X 297公釐） 11 — 1.1 ί ^I----訂--J ------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 /613 82 88 ABaD 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 來移動第一個末端效應器； 一個第二個末端效應器，其具有複數個與該第一個末 端效應器不同之晶圓承載器； 一個第二個手臂，其連接至該第二個末端效應器，用 來移動第二個末端效應器；和 一個自動裝置本體，其用來單獨地支撐該第一個和第 二個自動裝置手臂；和 一個控制器，其周來單獨地控制藉由該第一個和第二 個自動裝置手臂的操作。 16. 如申請專利範圍第15項所述的晶圓自動裝置，其 更包含用來在該第一個和第二個末端效應器的每一晶圓承 載器上真空抓取晶圓的一真空系統。 17. 如申請專利範圍第16項所述的晶圓自動裝置，其 中，該第一個和第二個末端效應器的晶圓承載器之每一個 包括用來感測晶圓存在與否的一真空感測器。 18. 如申請專利範圍第16項所述的晶圓自動裝置，其 中，該真空系統包含：一個真空歧管，其用於連接至一真 空幫浦；一個於每一個該晶圓承載器中之真空開口；一個 真空通道，其連接於每一個真空開口及該真空歧管之間； 一個於每一個真空通道中之流量限制器，其用以限制由個 別真空開口至該真空歧管之氣體流量；及一個真空感測器 ，其連接至每一個該真空開口及該流量限制器之間之真空 通道，以感測晶圓存在或不存在每一個晶圓承載器之上。 4 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -----1 ,f -----lit----1---- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)