TW438978B - Microscopic capacitance measurement system and probing system - Google Patents

Description

4389 7 8 A7 _B7_ 玉、發明說明C ) 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關藉去除浮遊容量之影響，將微小容量値 以數ί F等級之精度就可以進行這精度測定之微小容量測 •定系統。 【相關技術】 第1圖係槪略地表示欲測定形成於矽基板上容量之容 量値所用先行技術之容量測定系統之構成。此測定系統係 備有探測器1與容量計2，探測器1係具有接地之遮蔽箱 (shield box) 1 1。在遮蔽箱1 1內設定有載置形成被測 定容量1 2之被測定試料所需且被接地之台架（stage ) 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 1 3。.在包圍台架1 3周圍之台上配置有自動操作機（ manipulator) 1 4，自動操作機1 4之導電性部分將被接 地。各個外部導體爲對於遮蔽箱11以電氣方式連接之被 接地之同軸纜線3，4之中，一方之同軸纜線3內之內部 導體之一端爲對向於被測定試料而連接於形成被測定容量 1 2之測定電極，他端爲連接於容量計2之檢測端子（輸 入端子）=像這樣，內部導體3 1將作爲連結測定電極與 容量計而發生動作。他方之同軸纜線4之內部導體一端爲 連接於被測定試料，他端將接地。自動操作機1 4係於此 實施形態，同軸纜線3，4之內部導體之一端爲包含用來 調整測定電極及被測定試料接觸位置所用之致動器（ actuator)。又，在探測器1具有顯微鏡》 第2圖係放大表示兩方之同軸纜線3，4之各個內部 -4- 本紙張尺度適用中國國家標準<CNS>A4規格（210 * 297公釐） A7 438978 ___B7____ 五、發明說明θ ) 導體一端爲與測定電極及被測定試料接觸之狀態。矽基板 1 2 1 —方之面經由場氧化膜1 2 2，設有作爲下部電極 1 2 3發生作用之被測定試料，在下部電極1 2 3上經由 •容量絕緣膜1 2 4配置有測定電極1 2 5，在下部電極 1 2 3與測定電極1 2 5間形成有被測定容量1 2。矽基 板1 2 1背面’亦即，與台架i 3接觸之面將被接地。測 定時’ 一方同軸纜線3之內部導體3 1之一端係與測定電 極1 2 5接觸，他方之同軸纜線4之內部導體4 1下端係 與下部電極1 2 3接觸。 按，因應使用形態，也可.將內部導體3 1 —端接觸於 下部電極1 2 3，將內部導體4 1接觸於測定電極1 2 5 (有關這種情形之配置，請參考後述之第4圖）。 因先行技術之容量測定系統係構成爲如上述，由於在 遮蔽箱1 1與探測器1內之導電性部分之間，遮蔽箱1 1 與自動操作機1 4之導電性部分之間，遮蔽箱1 1與台架 1 3之間，台架1 3與矽基板1 2 1背面之間等形成浮遊 容量，所以，此浮遊容量之數値將會加算於被測定容量之 容量値。因而，爲了防止起因於浮遊容量存在之錯誤測定 ’先前係將在測定電極1 2 5沒有接觸內部導體1 5 1或 1 6 1—端時之容量計2之輸出作爲誤差値預先加以求取 ’將其誤差値從實際所測定之容量値扣除來校正測定値。 然而，此浮遊容量，係依： 同軸纜線3‘，4之彎曲程度， 同軸纜線3，4內絕緣層之介電常數（dielectric 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ----------裝！1Ί 訂·！ -----線 ^1/ (請先閱讀背面之注意事項I寫本頁> 經濟部智慧財產局貝工消费合作杜印製 -5- 43 89 7 8 Α7 _'_ Β7 五、發明說明0 ) constant)之溫度變化， (請先閱讀背面之注$項畀填寫本頁) 遮蔽箱1 1內之同軸纜線，自動操作機1 4等導電性 部分之互相相關位置， - 遮蔽箱11內之大氣介電常數數因溫度之變動| 計測人之動態.， 等各種要因而會有大的變化（例如數百f F之等級） +。因此，於先前之容量測定系統係測定數十f F程度之容 量爲其界限，而不能測定數十f F以下之微小容量。 【發明之槪要】 本發明係爲了解決上述問題所完成者，其目的係去除 寄生容量之影響可提供精度高之測定値之微小容量測定系 統β 爲了達成上述目的，本發明係一種微小容量測定系統 1其特徵爲備有： 經濟部智慧財產局具工消費合作社印製 設在得以配置被測定試料之箱內之探測器，包括有其 一端爲與上述被測定試料接觸而成爲檢測端子之訊號線， 與包圍上述訊號線之遮蔽線之探測器，與 上述箱之導電性部分或上述被測定試料之既定導電性 部分之至少一方與將上述遮蔽線成爲同電位之手段，與 具有連接上述訊號線他端之反相輸入端子與連接上述 遮蔽線之非反相輸入端子，上述反相輸入端子與上述非反 相輸入端子間爲處於虛短路之狀態，當對於上述非反相輸 入端子施加交流訊號時，備有輸出具有對應於上述被測定 -6- 本紙張尺度適用+國國家標準（CNS)A4規格<210 X 297公龙） A7 438978 _B7_____ 五、發明說明（4 ) 試料之靜電容量之數値訊號之演算放大器之容量測定電路 ，而去除上述箱內之寄生容量及其變動之影響。 <請先閱讀背面之注意事項命餐寫本頁) 在此，箱係被遮蔽之遮蔽箱較佳。又，箱之形狀爲不 _限於箱型，只要是可收容探測器就可以。所謂被測定試料 之既定導電性部分，雖然是除了接地電極，至少在某瞬間 成爲測定對象之電極以外之所有導電性部分較佳•但是， 現實上欲連接所有其等爲困難，所以，如探測卡，連接於 探測針之導電性部分之中，也可以爲測定對象電極以外者 ，也可以爲由可能之其他手段得以連接之測定對象電極以 外之所有或其一部分之導電性部分。 在上述被測定試料之至少2個電極之間形成有靜電容 量，上述端子係與上述被測定試料之上述電極中之任一方 接觸。 上述遮蔽線係除了上述檢測端子包圍上述訊號線之總 長較佳。 並且，此微小容量測定系統係具有； 與上述被測定試料之上述電極中之他方接觸其一端， 他端爲被接地之接地訊號線，與 經濟部智慧財i局員工消t合作杜印製 包圍上述接地訊號線，與上述遮蔽箱以電氣性地連接 之遮蔽線較佳。因而，上述探測器係具有將上述訊號線與 上述接地訊號線之一端，爲了與上述被測定試料和上述電 極之適當處所分別接觸所需之自動操作機較佳。探測器之 既定導電性部分係與上述遮蔽箱同電位。 於此，所謂探測器之既定導電性部分，係表示檢測端 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 «297公荣） 43897 8 A7 B7 五、發明說明@ ) 子與其訊號線以外之部分之一部或全部。 上述被測定試料係例如半導體晶圓。 (請先閲婧背面之注意事項r'l寫本頁) 於本發明，因演算放大器之反相輸入端子與非反相輸 •入端子之間爲處於虛短路之狀態，所以不會受到遮蔽箱內 之寄生容量或其變動等，訊號線與被認爲形成於訊號線與 包圍其之遮蔽線間之一切浮遊容量之影響，因可獲得只依 存於被測定容量之容量値之輸出，所以，即使被測定容量 之容量値爲微小，所以可發揮將該容量値以高精度檢測之 特別效果。 依據本發明之測定結果，係確認了可用數f F ( femto Farad毫微微=1 〇 -15)之精度測定。 又，若是被測定試料爲半導體晶圓時，因可將該半導 體晶圓之各種微小容量以高精度測定，所以，可提供高性 能而低廉之半導體裝置。 上述及其他目的及益處，當參照附圖閱讀以下詳細說 明時，從事本行業者當更可深入了解。 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 【發明之實施形態】 茲參照第3圖〜第5圖，詳細說明本發明之一實施形 態如下。第3圖係有關本發明之微小容量測定系統之構成 槪略地表示之圖，第4圖係表示將第3圖之微小容量測定 系統之被測定試料附近之放大圖，於第3圖及第4圖，將 表示於第1圖及第2圖之構成元件相同或同等之構成元件 標示同一參照數字，而從略說明有關其構成元件。 -8 - 本紙張尺度適用中國固家標準（CNS)A4規格（210 * 297公釐） 4389 7 8 A7 B7_ 五、發明說明e ) 於第3圖，有關本發明之微小容量測定杗統，係包括 探測器1，與容量測定裝置5。探測器1係具有於第1圖 及第2圖已經所說明者同樣之構成，備有遮蔽箱1 1，台 •架1 3，自動操作機1 4，而在台架1 3載置有形成被測 定容量12之被測定試料"遮蔽箱11，台架13之導電 性部分，自動操作機1 4之導電性部分，矽基板1 2 1之 背面等，整個探測器1之導電性部分爲互相以電氣性連接 變成同電位。 容量測定裝置5係包括容量測定電路6與同軸纜線7 ，同軸纜線7之外部導體71係不僅以電氣方式連接於遮 蔽箱1 1，並且’內部導體72先端只能夠露出1 0 0微 米以下長度延伸到被測定容量12之附近來遮蔽內部導體 7 2 »同軸纜線7之內部導體7 2所露出之先端部係具有 檢測端子之作用，而由自動操作機1 4調整其位置接觸於 下部電極1 2 3之適當位置。內部導體7 2之先端部亦即 檢測端子之剖面直徑爲3 0微米以下較佳。 爲了欲接地經由容量絕緣膜1 2 4對向於下部電極 1 2 3之測定電極1 2 5，設有其他同軸纜線8。如第4 圖所示，同軸纜線8之內部導體8 2先端部係接觸於測定 電極1 2 5，內部導體7 2之他端則被接地。同軸纜線8 之外部導體8 1係延伸到靠近被測定容量1 2側不僅只將 外部導體8 1先端部延伸1 0 0微米以下長度，並且，以 電氣方式連接於遮蔽箱1 1。自動操作機1 4係將所露出 之先端部接觸於測定電極1 2 5之適當處所。此所露出之 -------裝 — (請先《讀背面之注意事項Q；寫本頁) 訂·· 線. 經濟部智慧財產.局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 * 297公* ) -9- A7 B7 438978 五、發明說明f ) 先端部直徑係3 0微米以下較佳》 容量測定電路6係具有演算放大器6 1，同軸纜線7 之外部導體71他端係連接在演算放大器61之非反相輸 •入端子（ + )，內部導體7 2他端係連接在演算放大器 6 1之反相輸入端子（一）。茲就容量測定電路6之構成 與動作使用第5圖說明如下。 於第5圖，演算放大器6 1係其電壓增益爲較閉路增 益（closed loop gain)極大，其開路增益爲近於無限大之 演算放大器，在其輸出端子6 2與反相輸入端子（一）間 之連接有回授電阻6 3施加有演算放大器6 1之負反饋。 在演算放大器6 1之非相反輸入端子（+ )連接有交流訊 號產生器6 4。同軸纜線7之外部導體7 1，雖然會防止 作用成從外部之雜訊等不需要之訊號感應於內部導體7 2 ，但是，沒有被接地，而如上述與演算放大器1 6之非反 相輸入端子（+ )連接'其結果，遮蔽箱1 1，台架1 3 之導電性部分，自動操作機1 4之導電性部分*矽基板 1 2 1背面等.，整個探測器1之導電性部分也都短路於演 算放大器6 1之非反相輸入端子（+ )。 在演算放大器6 1之反相輸入端子（一）連接有同軸 纜線7之內部導體7 2之一端，內部導體7 2他端爲接觸 於屬於形成被測定容量1 2之一方電極之下部電極1 2 3 。屬於形成被測定容量1 2之他方電極之測定電極1 2 5 係經由同軸纜線8之內部導體8 2接地。 在演算放大器6 1經由回授電阻6 3施加有負反饋， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 * 297公藿> -10- Γ - ------- ---« ^illlnj^---!11$ (請先閲讀背面之注意事項t寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消f合作社印製 43 89 7 8 a? __B7____ 五·、發明說明（8 ) 並且，演算放大器6 1其電壓增益爲較閉路增益很大，因 其開回路增益爲近於無限大，所以演算放大器6 1係處於 虛短路狀態。亦即，演算放大器6 1之反相輸入端子（一 )與非反相輸入端子（+ )間之電壓差値實質上爲零。因 此，內部導體7 2.與外部導體7 1因係同電位，所以可抵 消產生於內部導體7 2與外部導體7 1間之浮遊容量。此 事係與內部導體7 2長度無關可成立，而與內部導體7 2 之移動或彎曲，折返等無關而可成立。 現在*將交流訊號產生器6 4之交流輸出電壓視爲 V i ，將交流輸出電壓V i之角頻率視爲ω。又，將被測 定容量1 2之靜電容量視爲C X，將流動於被測定容量 1 2之電流視爲i i，回授電阻6 3之電阻値視爲R f，流 動於回授電阻6 3之電流視爲i 2,將於演算放大器6 1之 反相輸入端子（一）之電壓視爲m，演算放大器6 1之輸 出電壓視爲V»時，演算放大器6 1係如上述因處於虛短路 狀態所以，於反相輸入端子（-）之電壓1 2 3 4 m係與交流 訊號產生器6 4之交流訊號輸出電壓V i相同電位。亦即 ，如下；V i = V m 並且，可成立下式， '-------------裝 i — (請先M讀背面之注意事項寫本頁) 訂- •線· 經濟部智慧財產局員工消f合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -11 - 1 = — Vm / (l/jiuCx) 2 = -Vi/(l/iwCx) 3 i2= (Vm-Vo)/Rf 4 =(V i - V o ) / R f A7 4389 7 8 ____B7___ 五、發明說明（9 ) 在此，因ii 2,所以求取演算放大器6 1之輸出電 壓Vo時將變成如下。 <請先W讀背面之注意事項%-炎寫本頁)

Vo=Vl (l + j(yRf -Cx) 此式係表示，演算放大器6 1將輸出比例於包含被測 定容量1 2之靜電容量C X之交流成分之電壓。 經濟部智慧財產局貝工消費合作社印製 在此必須注意的是，因演算放大器6 1係處於虛短路 狀態，所以如形成於遮蔽箱1 1內之寄生容量等値性內部 導體7 2與外部導體7 1間所形成之浮遊容量就不會出現 於演算放大器6 1之反相輸入端子（-)與非反.相輸入端 子（+ )之間。藉此，演算放大器6 1之輸出電壓Vo係 因完全不包含內部導體7 2與外部導體7 1間所產生之浮 遊容量有關之項目，所以被測定容量1 2之靜電容量C X 即使是（femto farad » picofarad 之 1 000 分之 1)等級 之微小者，從演算放大器6 1將會輸出只對應於那種微小 靜電容量C X之電壓V 〇。因藉積分此輸出電壓V 〇就可 求得比例於被測定容量1 2之靜電容量C X之直流電壓， 而從此直流電壓之値，回授電阻6 3之電阻値R f及交流 輸出電壓V i之大小，就可求取靜電容量C X。如上述， 演算放大器6 1之輸出電壓V 〇係不包含發生於內部導體 7 2與外部導體7 1間之浮遊容量之項目，因只包含對應 於被測定容量1 2之靜電容量C X之項目，所以，無論靜 電容量C X如何地微小，也可將其靜電容量C X以高精度 -12- 本紙張尺度適用中國國家標準<CNS)A4規格（210 * 297公釐〉 4 3 8 9 7 8 Α7 Β7 五、發明說明（10 ) 檢測出來11 屬於形成第3圖〜第5圖之被測定容量12—方電極 之下部電極1 2 3可能爲半導體晶圓。此時，第3圖之微 • 小容量系統係可用來判斷被測定試料之良否。因此，可監 視形成於下部電極1 2 3與測定電極1 2 5間之靜電容量 之大小，依據靜電容量値是否爲正常値來判斷被測定試料 之良否。即使於這種情形，演算放大器6 1之輸出電壓 V ◦係不包含發生於內部導體7 2與外部導體7 1間有關 浮遊容量之項目，因只包含對應於被測定試料與測定電極 間之靜電容量之項目，所以無論該靜電容量如何地微小， 也可用高精度檢測出其靜電容量，所以可高精度地判斷被 測定試料之良否。具體上爲可進行D RAM記憶元件容量 元件，配線容量，MO S電晶體之閘容量或重疊容量， Ρ .η接合容量等，半導體裝置內之各部微小容量之測定， 而可提供高性能而低廉之半導體裝置。 並且，第3圖〜第5圖之被測定容量1 2係例如可爲 容量型感測器之容量。容量型感測器之一方電極係經由內 部導體7 2連接於演算放大器6 1之反相輸入端子（一） ，他方之電極（或相當於此者）係被接地，或固定於適當 之偏壓電位，或，以非接地解放於空間。在此時之「容量 型感測器」，係並非只是加速度感測器，地震儀，壓力感 測器，位移感測器，移位儀，近接感測器，接觸感測器， 離子感測器，濕度感測器，雨滴感測器，雷感測器，定位 感測器，接觸不良感測器，形狀感測器，終點檢測感測器 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------------_^裝---- ί請先閱讀背面之注意事項π凑寫本頁) 'SJ· .線· 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 -13- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 3 8 9 7 8 A7 ___B7_____ 五、發明說明（11 ) ，振動感測器’超音波感測器，角速度感測器’液量感測 器，氣體感測器，紅外線感測器’放射線感測器’水位儀 ，凍結感測器，水分儀，振動儀，帶電感測器，印刷電路 •板檢査機等公知之容量型感測器，而包含欲檢測靜電容量 之所有裝置。 按，以上之說明，係以使用同軸纜線7，8做了說明 |但是，替代此也可使用連接下部電極1 2 3與演算放大 .器6 1之反相輸入端子間之電纜，接地測定電極1 2 5所 用之電纜及將這些電纜分別包圍之遮蔽線。 本申請書，係依據1 9 9. 8年8月1 1日向曰本申請 之平成1 0年特許願第2 2 6 9 3 1號，其內容係爲了參 照援用於本說明書。 圖式之簡單說明 第1圖係將容量測定系統之構成槪略地表示之圖。 第2圖係將於第1圖之容量測定系統之被測定容量附 近加_以放大表示之圖。 第3圖係將有關本發明之微小容量測定系統之一個實 施形態以槪略表示之圖。 第4圖係將於第3圖之微小容量測定系統之被測定容 量附近加以表示之圖。 第5圖係將第3圖之容量測定電路之構成以槪略表示 之圖。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 14- ------------V裝-----.——.訂---------線·、 (請先閱讀背面之注意事項^:凑寫本頁) 438978 五、發明說明C2 ) A7 元 件 對 照表 1 採 測 器 2 容 量 計 1 1 遮 蔽 箱 1 3 台 架 1 4 白 動 操 作 機 5 > 6 容 里 測 定 裝置 3 4 ，7 同 軸 纜 線 1 2 2 場 氧 化 膜 1 2 4 容 量 絕 緣 膜 ίιιιιιιιί--- -裝 i I (.請先閱讀背面之注意事項Ci寫本頁) 125 測定電極 訂： 61 演算放大器 6 3 回授電阻 64 交流訊號產生器 .線· 經濟部智慧財產.局員工消费合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公莹） -15-

Claims (1)

1. Α8 Β8 C8 D8 438978 六、申請專利範圍 附件1 第88 1 1 1 952號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 民國90年1月修正 1 . 一種微小容量測定系統1其特徵爲備有： 具有得以配置被測定試料之箱之探測器，其係包括一 JE 端爲欲與上述被測定試料接觸所需而成爲撿測端子之訊號 \[ 線，與包圍上述訊號線之遮蔽線之探測器，與 將上述箱之導電性部分或上述被測定試料之既定導電 性部分之至少一方與上述遮蔽線成爲相同電位之手段，與 具有上述訊號線之他端所接觸之反相輸入端子與上述 i 遮蔽線所連接之非反相輸入端子’上述反相輸入端子與上 h 述非反相輸入端子之間爲處於虛短路之狀態，對於上述非 ：t.f ' / 反相輸入端子施加交流訊號時’備有輸出具有對應於上述 被測定試料之靜電容量値之訊號之演算放大器之容量測定 電路3 .¾涛部智.U?財-4^7Mrx消費合作t£印发 2 .如申請專利範圍第1項之微小容量測定系統，其 中上述探測器爲具有；將上述訊號線一端與上述被測定試 料之適當處所接觸所需之自動操作機，與再備有將該探測 器之既定導電性部分成爲與上述箱成爲相同電位之手段。 3 . —種微小容量測定系統，其特徵爲備有； 具有得以配置被測定試料之箱之探測器，與 一端爲欲成與上述被測定試料接觸所需之檢測端子之 訊號線，與 包圍上述訊號線之遮蔽線，與 表紙乐尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（210X297公釐） 經濟部智慧財.4.^73(工消費合作社印製 Γ 4389 7 8 I / J·. . D8 .； j ____ 、申請^利範圍 上述遮蔽箱之導電性部分，將上述被測定試料之導電 性部分及上述遮蔽線成爲相同電位之手段，與 具有上述訊號線他端所連接之反相輸入端子與連接上 述遮蔽線之非反相輸入端子，上述反相輸入端子與上述非 反相輸入端子之間爲處於虛短路之狀態，當對於上述非反 相輸入端子施加交流訊號時，備有輸出具有上述被測定試 料之靜電容量値之訊號之演算放大器之容量測定電路，與 去除上述遮蔽箱內之寄生容量及其變動之影響。 4 如申請專利範圍第3項之微小容量測定系統，其 中在上述被測定試料之至少2個電極之間形成靜電容量， 上述檢測端子爲與上述被測定試料之上述電極中之一方接 觸。 5 ‘如申請專利範圍第1項，第2項，第3項，第4 項之任一項之微小容量測定系統，其中上述遮蔽線爲除了 上述檢測端子，包圍上述訊號線總長之遮蔽線·» 6 .如申請專利範圍第4項之微小容量測定系統，其 中備有；上述被測定試料之上述電極中之他方與一端接觸 ，他端爲被接地之接地訊號線，與 包圍上述接地訊號線，與上述遮蔽箱以電氣方式連接 之遮蔽線。 7 *如申請專利範圍第5項之微小容量測定系統，其 中備有：上述被測定試料之上述電極中之他方與一端接觸 ，他端爲被接地之接地訊號線，與 包圍上述接地訊號線，與上述遮蔽箱以電氣方式連接 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐〉 ----------裝------訂------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 2- 8 8 8 8 ABCD ^5^4389 78

   範圍 之遮蔽線。 8 .如申請專利範圍第3項之微小容量測定系統，其 中再備有；上述探測器爲將上述訊號線與上述接地訊號線 之一端欲與上述被測定試料之上述電極之適當處所所需之 自動操作機，與將該探測器之既定導電性部分成爲與上述 遮蔽箱相同電位之手段。 9 ·如申請專利範圍第4項之微小容量測定系統，其 中再備有；上述探測器爲將上述訊號線與上述接地訊號線 之一端欲與上述被測定試料之上述電極之適當處所所需之 自動操作機，與將該探測器之既定導電性部分成爲與上述 遮蔽箱相同電位之手段。 1 0 .釦申請專利範圍第5項之微小容量測定系統， 其中再備有；上述探測器爲將上述訊號線與上述接地訊號 線之一端欲與上述被測定試料之上述電極之適當處所所需 之自動操作機，與將該探測器之既定導電性部分成爲與上 述遮蔽箱相同電位之手段。 1 1 .如申請專利範圍第6項之微小容量測定系統， 其中再備有；上述探測器爲將上述訊號線與上述接地訊號 線之一端欲與上述被測定試料之上述電極之適當處所所需 之自動操作機，與將該探測器之既定導電性部分成爲與上 述遮蔽箱相同電位之手段》 1 2 . —種探測系統，其特徵爲備有； 包括測定半導體裝置之容量之探測器與容量測定電路 >與 本紙張尺度適用中國®家梯準（CNS ) ( 210X297公釐） ---------裝-----—ΪΤ------0 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧时4^¾工"費合作钍印製 3- $ 438978 Α8 Β8 C8 D8 經濟部智慧时4局8工消費合作社印製 六、申請春利範圍 上述探測器係包含，包括至少一端爲成爲欲與上述被 測定試料接觸所需之檢測端子之訊號線，與包圍上述訊號 線之遮蔽線， 上述容量測定電路，係具有；連接上述訊號線他端之 反相輸入端子，與連接上述遮蔽線之非反相輸入端子，上 述反相輸入端子與上述非反相輸入端子之間爲處於虛短路 之狀態，當施加上述非反相輸入端子施加交流訊號時，備 有輸出具有對應於上述被測定試料之靜電容量値之訊號之 演算放大器》 言 (請先閱讀背面之注項再填寫本頁)

   本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) 格（210X297公釐）