TW417186B - Generation of exposure data having hierarchical structure - Google Patents
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Description
1 A7 五、發明說明(1 ) 發明背景 1.發明領域 1!!裝 _11 {請先閱讀背面之沒意事項寫本頁) 本發明一般關於一種產生曝光資料之方法,且特別 關於一種使用於設計一標線罩幕(reticle mask)之產生曝光 資料的方法。 因快速的技術革新發展而增加了半導趙積趙電路的 電路密度,並且預期整合電路所製造之裝置可增進效能, 以滿足更進一步增加電路密度的需求。而於精細的製程技 術之技藝中仍需要更精密的技術來跟上積體電路的圖樣 (pattern)密度。 本發明係關於使用一電腦輔助設計(CAD)裝置設計標 線時之_定義每一個標線圖樣的一種處理資料之方法。於此 ,標線為用以製造一積體電路而使用於曝光製程之一罩幕 --線. 為了要增加電路的密度就必須要增加標線囷樣的密 度,而當曝光資料被使用來繪製一標線時,其結果是增加 了曝光資料之大小。當考慮到產生一標線之過程效能時, 則需要有效率地進行一資料處理方法。為了這目的,必須 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 要減少曝光資料的大小。並且需要簡化產生曝光資料的諸 過程及處理資料的方法。 2·相關技藝之說明 當設计標線罩幕(以下簡稱為標線)時,使用一 CAD裝 置疋一種廣泛地應用法則。第1至3圖為顯示以C AD裝置 設計標線之程序說明圖。 本紙張尺度適用t圏國家標準(CNS)A4規格⑽χ 297公爱)· 4 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 _B7 _ 五、發明說明(2 ) 以下將敘述一種以CAD裝置設計標線之相關技藝的 程序方法。 如第1圖所示’ CAD系統的一主機電腦1〇送出圖案資 料(design data)16至一資料處理單元12。資料處理單元12 將圊案資料16轉換成曝光資料(exposure data)l 8,並且將 曝光資料18傳送至曝光單元14。每次曝光時,從一光源21 所發射之光相對於一標線23上的曝光位置係由一極化板 > (polarization plate)22所控制。 形成於標線内之一圖樣(pattern)係由作為構成此圊樣 之一單元元素的諸圖形(figure)所組成。一圖形或一組圓 形被稱為一圖胞(cell)。複數個圖胞一起組成標線内的一 圖樣。. 當一曝光裝置於一半導體裝置上形成各種圖樣時, 構成每一個這些圖樣的諸圖形被繪製於此標線之上。因而 ’此標線後來擁有帶有諸圚形的區域以及不帶有諸圖形的 空白區域。為了要產生這些圖形,表示這些圖形的資料被 ) CAD裝置分配至諸圖形應該出現的位置。此位置分配之 後而得的資料被稱為曝光資料,並且構成諸圊胞。不具圊 形之空白區域並不含有被分配到的資料,而被稱為非曝光 區域。 相關技藝中之一種產生曝光資料的程序將參照附上 的圖式而被敘述。 為了要產生曝光資料,圖案資料必須先被產生而作 為此曝光資料的基礎(basis)。第2圓為產生圖案資料的方 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) - ----I I II II----I----—訂· ! ! ! - "^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ,》ί 丨《 6 Α7 ________Β7 _ 五、發明說明(3 ) 法之流程圖。第3A圖至第3F圖是顯示第2圖方法之每一步 驟中每一圖胞内資料被產生的方式之說明圖。 在第3A圖至第3F圖中,每一圖胞中之一變黑的區域 表示圖案資料存在的地方’以及不具一黑色記號的諸區域 不含有被分配到的圖案資料。在第3A圖至第3F圖中,一 TOP圖胞為位於階層(hierarchy)上最高層次的圖胞,而圖 胞a至d屬於下一個最高層次。所有的圖胞構成—圓庫 (library)。應該要注意的,此TOP圖胞中並不具任何圖案 資料,而圖胞a至d配有各自的圚案資料。 在第2圖中之步驟S1時,產生一圊胞A與諸圖胞a至d ’其中諸圖胞a至d擁有各自產生於其中的圓案資料。亦即 ,如第3A圊所示’圖胞A配有圖案資料36,而諸圖胞&至4 分別配有圖案資料26、28、30與32 » 在第2圖中之步驟S2時,藉由排列圖案資料36於TOP 圖胞34下方的一較低層次,圖胞a(24)被排列成2對2的矩 陣。這顯示於第3B圖中。 在第2圖中之步驟S3時,如第3C圖所示,圖胞a的圖 案資料26被產生於被排列在TOP圖胞34下方較低層次的諸 圚胞A(24)之一個中。 在第2圖中之步驟S4時,如第3D圖所示,圖胞b的圈 案資料28被產生於被排列在TOP圖胞34下方較低層次的諸 圖胞A(24)之一個中。 在第2圖中之步驟S5時,如第3E圖所示,圊胞c的圏 案資料30被產生於被排列在TOP囷胞34下方較低層次的諸 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) ----— — ι!_ — —'·^^ · ----丨訂· 11! 11 (請先閱讀背面之注意事項寫本頁) A7 B7 4 ) 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 五、發明說明( 圖胞A(24)之一個中。 在第2圖中之步驟S6時,如第3F圊所示,圖胞d的圖 案資料32被產生於被排列在TOP圖胞34下方較低層次的諸 圖胞A(24)之一個中。 第4A圖為基於如上所述而產生之圖案資料來產生曝 光資料的方法之流程圖。當定義一標線之圖樣時會使用此 曝光資料。 如第4A圖中所示,由第2圖步驟S1至S6所產生而顯示 於第3A至3F圖中之圖案資料被一圖案資料反相裝置(於之 後敘述之)反相而產生曝光資料。 第4B圖是解說圖案資料之反相的說明例圖。 當一圖案實際形成於一標線上時,於第4B圖所示之 圖案資料36、26、28、30與32出現的諸區域此圖案必須允 許光線通過。為此目的’此圖案資料應被反相。亦即,此 曝光資料被產生於此圖案資料不出現的一區域38内,而不 被產生於此圖案資料出現的區域36、26、28、30與32之内 第5圖為顯示圊案資料透過圖案資料的反相而被轉換 成曝光資料之方法的流程方塊圖◊第4A圖的每一個步驟 相對應第5圖的每一個步驟。 依據上述產生之曝光資料來產生—標線圖樣,並且 之後利用其而使-半導體基底上之正型抗_ (pGsi_resist) 接觸曝光資料存在的第5圖之黑色部份處(例如步驟S3時所 顯示之區域38)的曝光光線。此曝光方法導致一光阻 ---II------裝-- ----訂-----線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 ----------- 五、發明說明(5 ) (ph〇t〇-reS1St)圖樣被形成。在上述之圖案資料產生期間, 匕圖案資料被處理成具有一階層結構(hierarchical structure)之資料。另_方面,此曝光資料沒有被處理成 具有一階層結構之資料,這樣導致了此曝光資料乏資料大 小的增加。 一般地’當一已知的資料群組之諸資料項目(item)必 須要被儲存成諸檔案時,假如每一資料項目不同則每一資 料項目被儲存成一獨立檔案。在此例子中,不存有階層結 構。當某些資料項目分享共同資料時,藉由採用一階層系 此共同資料的分享可以在一檔案結構内被映射。較大數量 的資料項目之前提下,階層系的採用可較為有效率。 於先前所述之此產生曝光資料的相關技藝方法中, 每一個圖胞的曝光資料有不同的配置,而此會妨礙階層資 料的處理。既然每一個單一圖胞必須擁有包含一共同資料 部份的曝光資料,所以此曝光資料的大小會隨著矩陣數量 之增加而增大。這會導致大量資料大小的曝光資料。並且 ’用以產生此曝光資料的資料處理步驟之次數將增加。因 為這樣’當效率被列入考慮時’此產生曝光資料的相關技 藝方法就非為較佳的。 之後,敘述當產生曝光資料的相關技藝方法採用階 層的處理時將會遭遇的問題。 第6圖為顯示一種產生圖案資料之方法的流程圖,而 第7A至7F圖是顯示在第6圖之每一步驟時排列圖案資料的 方法之說明圖式。在此相關技藝之方法中,以相同方式如 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) — — — — — — — III — — -HI— — — — ^ ·1111111 <請先閲讀背面之注意事項再4寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 - _B7 五、發明說明(6 ) 與第2圖及第3A至3F圊相關而被敘述之方法,圖胞a至d被 安置於配有TOP圖胞的矩陣之上。 不管此應用的功效如何,階層之資料處理可以如下 述方法而被應用,以替代於此方法中由被產生之圖案資料 而產生曝光資料》 第8A圖為每一囷胞被個別處理時根據圊案資料而產 生曝光資料的流程圖,及第8B囷是用以解說圖案資料的 圖胞反相(cell-wise inversion)以產生曝光資料的說明圖式 弟y圃局顯不嘗每一圖胞被個別處理時每一圖胞之屋 案資料被轉換成曝光資料的方法之流程方塊圖。 如_第9圖所示,上面提及之產生囷案資料的方法中, 會被排列成2對2矩陣之圖胞A與諸囷胞&至4被個別處理, 並且這些圖胞每一個的圖案資料被反相而產生曝光資剩 MAIN1 至 MAIN5。 在此之後,在TOP圖胞之下的一較低層次處曝光資 料ΜΑΙΝ·排列成2對2㈣,而以資料Main2^ain‘ 以如產生圓案資料之相同方式被重叠加於曝光資料 ΜΑΙΝ1之上。既然曝光資料的重叠會f致雙重曝光因 而於此一配置中無法達成適當的曝光方法。.取 只W上’因而 無法實現階層資料之處理。 因此’需要-個切實可行的、可減少曝光 以及可簡化產生曝光資料的資料處理步驟 的處理方案。 賴層資才4 本纸張尺度·争國_國家標準(CNS)“Q x 297公笼了 裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之沒意事項再填寫本頁) « 41718ο Α7
1 閱 讀 背. 面 之 注 項 t J裝 頁I 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 -------— B7___ 五、發明說明(8 ) ^像所二享之-共用部份的第_曝光資料·產生表示諸相 、曝光象之間不相同的部份之第二曝光資料;定義相對 於此第-曝光資料之至少一個非曝光區域,此至少一個非 曝光G域對應於諸相異曝光影像之間不相同的部奋並且定 義…、須由此第-曝光資料來執行曝光的一區域;使用此第 曝光資料ffij在此至少-個非曝光區域處未執行曝光地, > 將此共用部份的—影像以與諸相異曝光影像相當的次數印 刷於此標線上;以及將此第二曝光資料的諸影像印刷於諸 相異曝光影像之間不相同的諸部份上。 如上述之方法中’當此非曝光區域處於未被印刷的 時候,此第一曝光資料被用來印刷有關每一個曝光影像之 此共用-部份的影像,並且此第二曝光資料被用來在每一個 諸曝光影像中的非曝光區域處印刷諸相異部份之諸影像。 依此方式’當於一階層結構中提供此曝光資料時,可進行 一適當的印刷程序,而沒有雙重曝光的缺點。 圖式之簡要說明 ) 第1圖至第3A-F圖為顯示使用一 CAD裝置來設計一標 線的一種程序之說明圖示; 第4 A圖為基於圖案資料來產生曝光資料的方法之流 程; 第4B圖是解說圖案資料之反相的說明圊; 第5圖為顯示圖案資料透過圖案資料的反相而被轉換 成曝光資料之方法的流程方塊圊; 第6圖為顯示一種產生圖案資料之方法的流程; 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 11 裝----I---訂---------線 <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 417186 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明(9 ) 第7A至7F圖是顯示在第6圖之每一步驟時排列圖案資 料的方法之說明圖式; 第8A圖為每—圖胞被個別處理時根據圊案資料而產 生曝光資料的流程圖; 第8B圖是用以解說圓案資料的圖胞反相以產生曝光 資料的一種說明圖式; 第9圖為顯示當每一圖胞被個別處理時每一圖胞之圖 案資料被轉換成曝光資料的方法之一種流程方塊圓; 第10圖為顯示產生曝光資料之過程中一資料流程的 一說明圏式; 第11圖為顯示被用來設計圖樣佈局之一CAD裝置的概 略配置.之方塊圖; 第12圖為顯示被用來將圖案資料轉換成曝光資料之 一影像處理裝置的概略配置之方塊圖; 第13圖為依照本發明一實施例一種產生圖案資料之 方法的流程圖; 第14A至14F圖為顯示在第13圖之每一步驟時產生圖 案資料的方法之說明圖式; 第15圊為顯示根據座標之一非曝光區域的定義之說 明圖式; 第16A圖為根據含有一非曝光區域之圊案資料來產生 曝光資料的過程之流程囷; 第16B圖為用以解釋圈案資料中具有一非曝光區域時 此曝光資料的產生之說明圖式;以及
請 先 閲 讀 背. 面 之 注 項 I 寫 本 頁 裝 訂 A7 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ____B7______ 五、發明說明(10 ) 第17圖為顯示此圖案資料具有一非曝光資料時每一 個圖胞的圖案資料被轉換成曝光資料之方法的流程示圖。 較佳實施例之說明 以下’參照附有之圖式來說明敘述本發明的諸實施 例。 一種產生曝光資料的方法包含使用一 CAD裝置來產 ) 生圖案資料之步驟與使用一影像轉換處理裝置來將圖案資 料轉換成曝光資料的步驟。 以下將敘述使用一 CAD裝置來產生圖案資料之步驟 與將圖案資料轉換成曝光資料的步驟。 第_ 10圖為顯示產生曝光資料之過程中一資料流程的 說明圖式。 一 CAD裝置60產生作為曝光資料之基礎的圊案資料 。此圖案資料定義一圓樣佈局❶一影像處理裝置62作為用 ^ 以控制一曝光程序之一控制系統,將此由CAD裝置60所 產生之圖案資料轉換成曝光資料。 依據此曝光資料,作為一光學系統之一曝光裝置 進行一曝光程序而在一標線上印刷一圓樣。 以下將敘述此CAD裝置60及此影像處理裝置62的資 料處理。 第Π圖為顯示被用來設計諸圖樣佈局之cad裝置60的 概略配置之方塊圖。 此CAD裝置60包含一軟體部份66與一硬體部份68。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) !!!11!·裝·! — 訂·11!!線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 13 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ί 417186 Α7 ------_Β7 五、發明說明(11 ) 此軟體部份66包含可能是UNIX之一作業系統70及可 能是被稱為SX的套裝軟體之一應用程式。 此硬體部份68主要包含當作輸入裝置之一鍵盤74與 一滑鼠76、用以於一螢幕上顯示資料的一顯示器介、作為 輸入資料暫存之一記憶體80、儲存此輸入資料與被處理之 資料的一硬碟機82、以及用於此輸入資料與其他資料之處 理的一CPU(中央處理單元)84。 CAD裝置60的這些元件功能如以下所述。 滑鼠76及/或鍵盤74接收輸入資料。此輸入資料被顯 示於顯示器78之上,且被暫存於記憶體80内。此CPU 84 執行有關此輸入資料的資料處理,並且此已被處理之資料 被儲存於硬碟機82内。 利用含有上述之配置及諸功能的CAD裝置60產生圊 案資料的步驟將如以下而被實施。 來自鍵盤74與滑鼠76之輸入資料被顯示於顯示器78 之上’並且被暫存於記憶體80内。使用此應用軟體72(sx) 的諸功能’經由一匯流排86來提供用於特殊資料處理的諸 特殊指令’以便產生定義一佈局圖樣之圖案資料。此圖案 資料被儲存於硬碟機82内。 以下將叙述使用一影像處理裝置62將圖案資料轉換 成曝光資料的步驟。 第12圖為顯示被用來將圖案資料轉換成曝光資料之 影像處理裝置62的概略配置之方塊圖。 此影像處理裝置62包含一軟體部份88與一硬體部份 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) )>裝--------訂---------線 (請先閲讀背面之注意事項再歧寫本頁) 14 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 -___ _B7____ 五、發明說明(12 ) 90 » 此軟體部份88包含一作業系統92(例如UNIX)、以及 包含如mr29之一平行控制程式與如mpdp之一罩幕-圖樣-資料處理程式的應用程式軟體94。 此影像處理裝置62之硬體部份與CAD裝置60之硬體 部份具有相同的配置。 以下將利用影像轉換處理裝置62的諸功能來進行將 圖案資料轉換成曝光資料的步驟。 經由一滑鼠96及/或一鍵盤98而輸入之諸資料處理的 狀態被顯示於一顯示器100上,且被暫存於一記憶體丨〇2内 。此圖案資料從CAD裝置60被轉送至影像處理裝置62, 並且在此輸入資料的資料處理狀態下— CPU 1〇4致力於資 料處理,以便將圖案資料轉換成曝光資料。此種方法所獲 得的曝光資料被儲存於一硬碟機106内。 以下,將敘述一種減少曝光資料之資料大小的系統 ο 在此系統中,由所有圖胞所分享之—共同部份從曝 光資料被提取出來而被看作為一共用擋案(common file)。 再者,圖胞間相異的曝光資料之區域被定義為—非曝光區 域,而每一個圖胞間相異的曝光資料被貼入每一個圖胞的 非曝光區域。 第13圖為依照本發明一實施例的一種產生圖案資料 之方法的流程圖。第14A至14F圖為顯示在第13圖之每一 步驟時產生圖案資料的方法之說明圖式。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNk)A4规格⑺n x 9Q7 I— I! — — — — — —— i — — — — — — — — — — (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 15 ..:〇 ϋ ..:〇 ϋ 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 Α7 _________ 五、發明說明(13 ) 此實施例中,關於如何在每一區域中定義一非曝光 區域有三種不同的變形,並且在第13圖步驟_顯示此 三種變形。 第一變形為以座標定義一非曝光區域。在—cADg 置的一圖樣設計程序令利用座標來定義一區域是相當適合 的。然而,在此實施例中依據座標之一非曝光區域的定義 不只是相當適合於CAD設計,而且是設計為簡單的。 如第14A圖所示,一非曝光區域係為以點線所繪示之 一矩方形,由相互面對而與矩方形的對角線交叉之兩個頂 點座標所定義之。此定義之一特殊舉例將於之後詳細地提 出。依此方式’在此CAD裝置中包含無限個座標的一非 曝光區_域係由兩點座標所定義。這增強了此設計程序的效 率。 在第二變形中’指出一非曝光區域時無須如第一變 形要具趙指定座標。為了要指定一非曝光區域,所有需要 作的是具體指定一圖胞名稱,藉此簡化產生此曝光資料之 程序方法以及使之更有效率。 取代利用例如(1,2)與(3,4)兩點座標指定一非曝光區 域的方法’給定一名稱”圖胞a”來定義表示一非曝光區域 之一圖胞。依此方式,以一單一名稱來具趙指定一非曝光 區域,而不是以表示座標的四個數值來指定。這有用而減 _____ 少指定一非曝光區域所需的資料大小。 第三變形為以一層次碼(level code)來定義一非曝光區 域。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 16 )'裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項,^寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 A7 ----------B7 五、發明說明) 一層次碼為在一 CAD裝置中被用來定義一圖樣之單 •-數字’並且例如1至256之複數個層次碼可被定義來允許 —運算器(operator)去指定複數個相異之圖樣。大部分習 知CAD系統提供有此功能。具體指定一非曝光咗域之功 能的使用更簡化了產生此曝光資料的程序。 例如,一單一數字”1”可被具體指定來指明一非曝光 ) 區域’而非使用例如(1,2)與(3,4)兩點座標。依此方式, 可利用一單一數字來具體指定一非曝光區域,而非使用表 不座標的四個數值。這有用而減少指定一非曝光區域所需 的資料大小》 以下,將參照第13囷與第14A至14F圖來敘述分配曝 光資料至一非曝光區域的步驟。 第13圖步驟S2時,如第14B圊所示,此四個圖胞a每 一個具有此圖案資料36且被排列成2對2矩陣》每一個圊胞 A之一非曝光區域係由後續步驟S3至S6中具有各別圖案資 料之圖胞a至d所貼補上。 一特定之圖胞A的非曝光區域39係由第MB圖中點線 所繪示,並被看成其中將不會有曝光資料的一區域。因此 ’當此圖案資料被反相而產生曝光資料時,此非曝光區域 不會被反相,且因而最終不具有曝光資料。因為如此,諸 圖胞a至d的曝光資料可被貼入非曝光區域39。再者,由所 有圖胞A所分享之一共用部份的曝光資料被儲存為一階層 結構内一特定層次(given level)的一共用擋案,同時對個 別圖胞為唯一之諸圓樣的曝光資料被儲存為下—個層次 - ---- - - - - - ---— — — — — — ^ ·111111--^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
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諸檔案。依此方式可完成階層處理。 第15圖為顯示根據座標之—非曝光區域較義之說 明圖式。 如第15圖所示,提供座標轴給一圖胞人,並且依照這 些座標轴,使用座標來定義此非曝光區域39。在被排列成 一矩陣之諸圖胞Α的任-個之中,此非曝光區域39被定義 為在圖胞A内具有相對位置之—區域。此共用部份被看作 為位於一特殊層次之資料,並且每一圖胞相互唯一之曝光 資料被看作為在此階層之中下一層次的資料。 在第15圖中,圖胞a被定義為一矩方形〇χγζ。〇(〇, 〇) 為原點,而其餘諸點X、γ、ζ個別座標為(〇, 1〇〇)(1〇〇, 1〇〇) 與(1〇〇, 〇)»此非曝光區域39具有由點線所繪示之一矩方 形的形狀,並且由兩點Β( 1〇, 50)與C(50, 10)所定義之。既 然由此定義之曝光區域39將不會有曝光資料,因此當此圖 案資料被轉換成此曝光資料時其不會被轉換。 此圖胞A的檔案包含圓案資料36,而此資料是應該被 儲存於圖胞A的此檔案中之唯--個。其餘區域不含有需 要其儲存之任何資料《依此方式,如點線所繪示之此非曝 光區域的提供使在此CAD裝置中減少資料儲存所需之記 憶體空間成為可行的。 第13圓步驟S3時’如第14C圖所示,此圖胞a被貼入 諸圊胞A中之一個(24)的非曝光區域39。第13圖步驟S4時 ’如第14D圊所示’此圖胞b被分配到諸圖胞A中之一個的 非曝光區域39。第13圖步驟S5時,如第HE圖所示,此圈 -!!ί ·)·裝· I I (請先Μ讀背面之注意事項t寫本頁) -&·- 丨線 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(21〇 x 297公釐) 18 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 ______B7__ 五、發明說明(16 ) 胞c被貼入諸圖胞a中之一個(24)的非曝光區域39。第13圚 步驟S6時,如第14F圖所示,此圖胞4被分配到諸圖胞a中 之一個的非曝光區域39。依此方式,完成此圖案資料的排 列。 以下’將敘述利用影像處理裝置62產生曝光資料的 步驟。 第16A圖為根據含有一非曝光區域之圊案資料來產生 曝光資料的過程之流程圖,而第16B圖為用以解釋圖案資 料中具有一非曝光區域時此曝光資料的產生之說明圓式。 第17圖為顯示此圖案資料具有一非曝光資料時每一 個圖胞的圖案資料被轉換成曝光資料之方法的流程示圖。 第圖之中,由點線所續·示之此非曝光區域係由 兩個X記號表示之兩點座標所定義,或者可由圖胞名稱來 定義。 如第π圖所示,藉由交換在其中具有資料的諸區域 成為在其中不具資料的諸區域,以及交換在其中不具資料 的諸S·域成為在其中具有資料的諸區域,此圏案資料被影 像處理裝置62轉變成曝光資料。在此反相過程中,在其中 不具有圖案資料的非曝光區域不會被反相,並且維持原樣 〇 透過此反相過程而產生曝光資料ΜΑΙΝ11至ΜΑΙΝ15 ’如第17圖底部所示。如第16Β圖所示之曝光資料main 11 為此圖胞A的圖案資料36及不會實施資料反相的非曝光區 域39之外的空白區域38之反相。結果,此曝光資料斗丨僅 I---------裝· _ I I---—訂· I! ! !線 {請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 '41 7 1 8 fi A7 -____B7五、發明說明(17 ) 現於以黑線所顯示之一區域中。 諸圖胞a、b、c與d分別包含指示要被曝光區域之圓案 資料26、28、30與32,以及含有非空白區域。當這些不含 有非空白區域之圖胞被轉換成曝光資料時,以黑^表示之 曝光資料41係圍繞圖案資料26、28、30與32之區域,如曝 光資料MAIN12至MAIN15中所顯示。 藉由使用此方式所產生之曝光資料,一革幕如以下 被印刷。 首先,曝光資料MAIN11的曝光檔案被用來在一被指 定之位置上印刷此圖胞影像。 之後,曝光資料MAIN12的曝光檔案被用來在一被指 定之位_置上印刷此圖胞影像。 再來,曝光資料MAIN13至MAIN15的諸曝光檔案被 用來在個別位置上印刷個別的圖胞影像。 依此方式’ 一圖樣被印刷於一標線之上。之後此標 線罩幕被用來在一半導體基底上曝露出正型抗蝕劑(posi_ resist),而在如第16B囷黑色區域所示之曝光資料存在的 部份處暴露光線。此曝光程序產生一光阻圖樣。 如上所述,產生諸曝光資料檔案以映射出一種曝光 資料(圊案資料)的階層結構。亦即,曝光資料MAIN 11的 曝光資料檔案表示由複數個曝光影像分享之一共用資料部 份,例如其可被排列成一2對2矩陣。這些曝光影像之間相 異的部份係由諸如那些曝光資料MAIN 12至MAIN 15的諸 獨立的曝光檔案來表示。藉由此非曝光區域的使用,此種 -------I I I I in —--It·! ί <請先閱讀背面之注意事項#4'寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(21〇 χ 297公釐) 20 A7 五、發明說明(18 ) 映射資料之階層結構的諸樓案分離成為可行的。此共用資 料部份被取得並且在此方式下被儲存成一播案,因此不需 要將整個曝光資料儲存為2_χ.2·矩陣格式的一單一資料樓 案。相較於相關技藝方法模式,這顯著地減少了曝光資料 的資料大小。 依此方式,本發明將曝光資料表示於一階層結構之 中,因此減少了曝光資料的資料大小,以及增進一標線圓 樣的設計效率。 在本發明中,此曝光資料檔案可包含非曝光區域的 位置及形狀。另一種選擇,除了曝光資料檔案可被提供用 以具髅指定此曝光資料中要被分配的此非曝光區域之位置 及形狀之外,此曝光資料檔案可能不包含如此之資訊及分 離資料檔案(。 ' 再者’本發明不被這些實施例所限定,而在未脫離 本發明之範圍下當可做變動與修改。 本申請案係基於1998年8月26曰於曰本專利局申請之
I 曰本優先申請案第10-240648號’其整個内容藉此一併參 1!1 — r請先閲tl背面之注意事項再填寫本頁) 考。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 適 度 尺 張 紙 本 釐 公 97 2i! 規 4 )A s) N (c 準 標 家 21 五、發明說明(19 ) A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 10 :主機電腦 12 :資料處理單元 14 :曝光單元 16 :圖案資料 18 :曝光資料 21 :光源 22 :極化板 23 :標線 26、28、30與32 :圖案資料 34 : TOP圖胞 36 :圖案資料 39 :非曝光區域 38 :空白區域 41 :曝光資料 60 : CAD裝置 62 :影像處理裝置 64 :曝光裝置 66 :軟體部份 68 :硬體部份 元件標號對照 70 :作業系統 72 :應用軟體 74 :鍵盤 76 .滑鼠 78 :顯示器 80 :記憶體 82 :硬碟機 84 : CPU(中央處理單元) 86 :匯流排 88 :軟體部份 90 :硬體部份 92 :作業系統 94 :應用程式軟體 96 :滑鼠 98 :鍵盤 100 :顯示器 102 :記憶體 104 : CPU 106 :硬碟機 (請先閱讀背面之注意事項再,技寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 22
Claims (1)
- A8 B8 C8 D8 步戰 之 示 步 異 417186 申請專利範圍 一種產生曝光資料的方法,其特徵在於包含下列 a) 產生表示相異曝光影像所分享之一共用部份的 第一曝光資料; b) 產生表示該等相異曝光影像之間不相同的部份 之第二曝光資料;以及 c) 定義相對於該第一曝光資料之至少一個非曝光 區域,該至少—個非曝光區域對應於該等相異曝光影 像之間的該等不相同的部份並且定義無須由該第一曝 光資料來執行曝光的一區域。 2. 如申請專利範圍第丨項之方法,其特徵在於更包含將該 第一曝光資料與該第二曝光資料儲存為分離的檔案 步驟。 3. 如申請專利範圍第1項之方法,其特徵更包含產生表 排列在相異曝光影像内之複數個圖胞的圊案資料之 驟,且其中該步驟a)包含藉由將該等圖胞中所有相 的曝光影像中共同使用之至少一個圖胞的圖案資料反 相來產生該第一曝光資料,以及該步驟b)包含藉由將 所有相異的曝光影像中不共同使用之其餘圖胞中每一 個的囷案資料反相來產生該第二曝光資料。 4·如申請專利範圍第1項之方法,其特徵在於該步驟幻包 含將該至少一個非曝光區域以其座標加以定義。 5.如申請專利範圍第丨項之方法,其特徵在於該步驟幻包 含以至少一個圖胞定義該至少一個非曝光區域。 装1T------線 (請先閲讀背面之注意事項再|本頁} 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 23 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 CBI ----- D8 _ 申請專利範圍 6. 如申請專利範圍第1項之方法,其特徵在於該步驟C)包 含以—單一數字定義該至少一個非曝光區域。 7. 如申請專利範圍第2項之方法,其特徵在於更包含除了 該等第一與第二曝光資料的檔案之外,將該至少一個 非曝光區域上之資訊儲存成一獨立分離檔案之步驟。 8. 如申請專利範圍第2項之方法,其特徵在於更包含將該 至少一個非曝光區域上之資訊儲存於該等第一與第二 曝光資料的檔案中之步驟。 9’ —種產生曝光資料的方法,其特徵在於包含下列步驟 a) 在一檔案中設定座標與分配關於該等座標之曝 光資料;以及 b) 在該擋案中設定一非曝光區域,該非曝光區域 定義無曝光資料會被分配之一區域。 10. 如申請專利範圍第9項之方法,其特徵在於該步驟…包 含使用一單一數值來設定該檔案中之該非曝光區域之 一步驟。 11. 一種使用曝光資料在一標線上印刷一圖樣之方法,其 特徵在於包含下列步驟: 產生表示相異曝光影像所分享之一共用部份的第 一曝光資料; 產生表示該等相異曝光影像之間不相同的部份之 第二曝光資料; 定義相對於該第一曝光資料之至少一個非曝光區 本紙張尺度遑用中國國家標率(CNS ) AA規格(n〇X297公釐)24 A8 B8 C8 D8 8 β 六、申請專利範圍 域,該至少一個非曝光區域對應於該等相異曝光影像 之間的該等不相同的部份並且定義無須由該第一曝光 資料來執行曝光的一區域; 使用該第一曝光資料而在該至少一個非曝光區域 處未執行曝光地’將該共用部份的一影像印刷於該標 線上;以及 將該第二曝光資料的影像印刷於該等相異曝光影 像之間不相同的該等部份上。 12·—種產生曝光資料之裝置,其特徵在於包含: 一中央處理單元;以及 、 儲存控制該中央處理單元之一程式的一記憶體, 其中依據儲存於該記憶體内之該程式而操作之該中央 處理單元執行下列步驟: 產生表示相異曝光影像所分享之一共用部份的第 一曝光資料; 產生表示該等相異曝光影像之間不相同的部份之 第二曝光資料;以及 定義相對於該第一曝光資料之至少—個非曝光區 域’該至少一個非曝光區域對應於該等相異曝光影像 之間該等不相同的部份並且定義無須由該第—曝光資 料來執行曝光的一區域》 13.—種使用曝光資料在一標線上印刷一圖樣之裝置,其 本紙張尺度適用中國國家揉準(CNS ) Α4規格(210X297公釐) ---------¾------、玎------M. (請先閲讀背面之注意Ϋ項再1¾本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 特徵在於包含: 一中央處理單元;以及 25申請專利範圍 儲存控制該中央處理單元之―程式的―記 其中依據财於該記憶體内之該程式而操作之:’ 處理單元執行下列步驟: w 央 產生表示相異曝光影像所分享之一共用部份 一曝光資料; $ 產生表示該等相異曝光影像之間不相同的部份之 第二曝光資料; 定義相對於該第-曝光資料之至少一個非曝光區 域’該至少-個非曝光區域對應於該等相異曝光影像 之間不相同的部份並且定義無須由該第一曝光資料來 執行曝光的一區域; 使用該第一曝光資料而在該至少一個非曝光區域 處未執行曝光地,將該共用部份的一影像以與該等相 異曝光影像相當的次數印刷於該標線上;以及 將該第二曝光資料的影像印刷於該等相異曝光影 像之間不相同的該等部份上。 ^------、玎------^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 本紙張尺度適用中國國家梯準(CNS ) Α4规格(210Χ297公釐) 26
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