TW417160B - Lead frame transfer device and wire bonding apparatus comprising the same - Google Patents

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417160 經濟部中央樣準局負工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（1 ) 發明背景 1. 發明領域 概略而言，本發明係關於一種半導趙積艘電路裝置製 造裝置。特別本發明係關於一種fL缘框輸送裝置其可減少 於输送期間對引绂框造成韵爲擊及減裝置或輸送裝置 之暖滅磨蝕，及使用轉輪jit裝置之引線接合裝置。 2. 相關技術之說明 通常半H積趙電路组裝過雇始於模並接合過程，其 中由多個積體電路元件組成矽晶圓分割的個別晶片（模塊） 附接至引線框。 引線框為一；^，具有引線供電連接晶片至外部電元 件’由銅合金或鐵-鎢合金製成》也於整體組裝過程中支 撐晶片。引線.框經接線電耦合I晶片，或經由直接黏合部 件（内引線）至晶片金屬墊。然後晶片半塊成經包膠而保護 不接觸外部環境應力例如水份、灰塵或物理衝擊及電衝擊 。換言之，所得封裝體接受切割/成形過程而切割並成形 適合安裝於電路板上的引線。然後封裝體接受多種電試驗 及可靠度試驗，合格的封裝體供應給消費者。 引線框於半導體1C裝置組裝過程中呈吝個具有相同引 線圖齡的引線框组成的長條.輸送，故同時可樣塊黏合及引 線接合多個晶片。欲供接線，引線框長條於完成模塊黏合 過程後需移動至引線接合襄置之接合頭。當引線框輸送時 需要格外小心以免弓丄盖J1構或晷片专損，或引線里樣，或 晶片不受例如輸送裝置磨蝕4生的雜質污染。損傷或雜質 本紙伕尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐} ---------—裝— *» (請先閱讀背面'之注舍事項再填寫本頁) 丁 、ys -4 - A7 A7 經濟，邓中央橾準局月工消费合作杜印製 ____B7_ 五、發明説明（2 ) 可能造成接線失敗或組裝過程產量下降。特別當移轉LOC( 引線於晶片）型引線框長條其令晶附著於引線框之引線 底時’ I片尹於哀基缓装置如輸送帶故容易聋損。 引線框長條之輸送乃線上引線接合系盖之若干考慮重 點之一 ’其中各個弓L線接合裝置聯結而玫良引線接合過程 效率。 因此需要一種輸裝置其許可更後荩的輸送，防止對 引線圖樣及是傷邊及防土輸送裝置的機械麼蝕。 發明概述 如此根據本發明之一種態樣，提供一種輸送裝置其可 減少引線框或附接於引绫框文晶片軎緩益裝置間之機械^ 擦，及使用該輸送裝置之引線拯合裝置。 根據本發明之另一態樣提供一種更簡單的輸送裝置. 根據本發明之又另一塵ϋ#引線框更穩定輸送俾提 ϋ丨...線.，接,,金.方.法.之產量。 根據本發明之又另一態樣，提供一種輸送裝置供移動 引綍框由輸送位置至饋_進位置，該裝置包括： (a) —根前指，供移動來自輸送位置之引線框，該前 卷具有一片板板上支置.媒框；一個垂直油缸供於垂直方 向移動板；及一個水平油缸供於水平方向移動板； (b) —個于_查具有感ϋ可併檢測引線框而植制引線 盖移動速度，及此處來自輸送點之引線枢係藉前指作用放 及 («0 —想„後指供移動引線框由平臺至饋進位置，該後 本纸伕尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210Χ 297公釐） - HI ^^^1 —ί —I— 1 - LT - - » --SJI I I -1 I Hr < . (請先閱讀背面·之注"事項再填寫本頁) 417 ί 60 經濟部中央榡準局貝工消費合作社印製 Α7 Β7 i、發明説明（3 ) 指具有一片板，引線框放置於該板；一個垂直油缸供於垂 直方向移動該板；及一個水平油缸供於水平方向移動該板 〇 根據本發明之又一態樣，提供一種引線接合裝置供電 連接半導體晶片至引線框，該引線遂全土置包括： 粒’沿該軌及於該軌上運載晶片的引線框於引線框之 引線電連接至晶片前係於運動方向運動； 一個引線框裝載部件供運動引線框由輸送位置至饋進 位置，該引線框裝載部件包括：（a) —根前指，供移動來 自輸送位置之引線框，該前指具有一片板板上放置引線框 ;一個垂直油缸供於垂直方向移動板；及一個水平油缸供 於水平方向移動板；（b)—個平臺具有感測器可供檢測引 線框而控制引線框移動速度，及此處來自輸送點之引線框 係藉前指作用放置；及（c)一根後指供移動引線框由平臺 至饋進位置’該後指具有一片板，引線框放置於該板，一 個垂直油缸供於垂直方向移動該板；及一個水平油缸供於 水平方向移動該板；及 一種引線框卸載部件供於電連接至輸送軌後移動載有 晶片之引線框，該引線框卸載部件包括：（d)—根前指， 供移動來自輸送位置之引線框，該前指具有一片板板上放 置引線框；一個垂直油缸供於垂直方向移動板；及一個水 平油缸供於水平方向移動板；（e) —個平臺具有感測器可 供檢測引線框而控制引線框移動速度，及此處來自輸送點 之引線框係藉前指作用放置；及（f)一根後指供移動引線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注春事項再填寫本頁)

經濟部中央標準局負工消费合作社印掣 A7 B7 五、發明説明（4) 框由平臺至饋進位置，該後指具有一片板，引線框放置於 該板’一個垂直油缸供於垂直方向移動該板；及一個水平 油缸供於水平方向移動該板β 圖式之簡單說明 本發明之此種及多種其他特點及優點參照下文詳細說 明連同附圖將更為明瞭，其中類似的參考編號表示類似的 結構元件，及，附圖中： 第1圖為適用於太發明之線上？丨婕接合系統之示棄芈 面圖； 第2围為示意平面圚說明包括根據本發明之引線框輸 送裝置之引線接合裝置； 第3圖為部分側視圖說明根據本發明之引線框輸送裝 置； 第4圖為示意側視圖說明用於本發明之引線框輪送裝 置之後指； 第5圚為示意側視圖說明用於根據本發明之引線框輸 送裝置之前指；及 第6圖為引線接合裝置之部分透視圖，說明藉前指之 板由輸送軌輸送引線框。 發明之詳細說明 現在參照附圖够明本發明之細節》 根據本發明’吒接有晶片之引锋^|運里於板上，該板 作垂直與水平移動。具有此種裝置較佳用 於1L逢接合裝置之皂載及卸載部件，特別妈線上引線接会 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐〉 -----------赛— , * {請先閱讀背面'之注"-事項戽填寫本貰) ί1τ f* 417 16 0 A7 -___BT^ 五、發明説明（5 ) 裝置之裝載及載部件，多個引線接合裝置共同聯結至單 一工作線。 根據本發明之引線框輸送裝置包括：（a)—根前指， 供移動來自輸送位置之引線框，該前指具有一片板板上放 置引線框；一個垂直油缸供於垂直方向移動板；及一個水 平油缸供於水平方向移動板；（b)—個平臺具有感測器可 供檢測引線框而控制引線框移動速度，及此處來良輸送點 之引線框係藉前指作用放置；及（c)一根後指供移動引線 框由平臺至饋進位置，該後指具有一片板，引線框放置於 該板；一個垂直油缸供於垂直方向移動該板；及一個水平 油缸供於水平方向移動該板。 供本發明之引線接合裝置之用，移動引線框由輸送位 置至接合頭部件，及裝載部件移動載有晶片附接且電聯接 至引線框之引線的引線框由接合頭部件至輸送位置之卸載 部件，分別包括前指、平臺及播指。 經濟部中央揉準局負工消費合作社印製 本發明用於線上引線接合裝置為特佳，其中多個引線 接合裝置係單一引線框輸送軌聯接。此種線上引線接合裝 置例如揭示於共同讓與同在審查中之USSN 08/608,249，( 併述於此以供參考）。 第1圖為適用於本發明之線上引線接合系統之示意平 面圖。線上引線接合裝置係由多個引線接合裝置及多個模 塊接合裝置聯結形成屋一工伟線組成俾改良引線接合方法 之產率。線上裝置對個別工作步驟衮量吴量引發的連續製 程問題提供解決之道。例如使用黏著劑如Ag-環氧樹脂將 本紙乐尺度適用中國國家標準（CNS )厶4規_格（21〇>< 297公釐） 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（6 ) 晶片附接於引線框模塊墊之模塊接合方法容量約為引線接 合方法之四倍大。又以LOC(引線於晶片）封裝體組裝過程 為例’模塊接合方法藉使用聚醯亞胺帶進行，該接合需要 加熱及加壓約0.8至2秒，模塊接合方法之容量約為引線接 合方法之兩倍》考慮此等容量差異，晚近使用包括一個模 塊接合裝置及多個引線接合裝置之線上系統。塊上系統用 木量_組裝生產記憶體裝置為較佳。 參照第1圖’線上引線接合裝置（4〇)包括一個模塊接 合裝置（10) ’四個引線接合裝置（2〇a，20b，20c，20d)及 一根輸送軌（30)供輸送引線框（16)。 卡匣（1)内多個引線框之個別引線框藉引線框分離器（ 未顯示）饋進工作軌（9)。軌（9)上的引線框（2)具有有待電 聯接至晶片之電氣墊之引線圖樣，引線圖樣藉侧軌彼此聯 結形成引線框長條。晶圓卡匣（5)含有具積體電路元件之 晶圓且已經設置有背側重疊、畫線（或切割模塊）及背側附 著帶。當晶圓（未顯示）安裝於xy平台（6)時，晶片分離器（7) 將個別晶片由晶圓分離，然後分離的晶片藉晶片輸送模組 (8)輸送至模塊接合頭（4)。引線框（2)於軌（9)位於接合頭（4) 下方之模塊墊（未顯示）供應有成點黏著劑如Ag-環氧樹脂 。對於晶片直接附接於不含墊之引線框之引線之例，例如 LOC封裝體，則無需打點黏著劑。 接合頭（4)排齊引線框及晶片於適當位置，於此處彼 此附接且於加熱及加壓下壓合及黏合》 然後其上方藉模塊接合裝置（10)附著晶片之引線框移 本紙張尺度適用中國國家標準（CMS ) A4規格（210'Χ 297公釐） (請先閲靖背面之注t·事項再填寫本頁) -*

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U A7 B7 五、發明説明（7 ) 動入預烘烤腔室（12)，於此處黏著劑於預定溫度例如180 至200°C固化預定時間如1-2分鐘。緩衝器（14)係由多個引 入線庫（18)組成，於此處引線框於完成模塊接合後輸送至 庫並堆疊於此隨後輸送至引線接合階段。使用多個庫來饋 送引線框至引線接合階段之原因為第一，即使模塊接合裝 置（10)無法發揮效果，引線框可連續饋進引線接合階段。 第二，當模塊接合裝置（10)無法之充分輸出模塊接合妥的 引線框時，藉個別線外模塊接合裝置進行模塊接合的引線 框饋進緩衝器（14)俾連績進行引線接合。附接有晶片之引 線框（16a)由引入線庫（18)輸送至引線框輸送軌（30)係利用 四個引線接合裝置（20a至20d)之一進行引線接合過程》 引線接合裝置（20)係由裝載部件（24)、卸載部件（26) 及引線接合頭（22)組成。引線接合的引線框（16)藉輸送軌 (30)輸送至出線庫（28)，由該處引線框可輸送至隨後之組 裝步驟例如模塑過桎。出線庫（28)具有如同緩衝器（14)之 引入線庫（18)之相同構造。 控制部件（15)為控制引線框輸送及系統整體操作的微 處理器。其最初操作價值係依引線框大小及形狀以及晶片 構造決定。 引線接合裝置20之裝載部件50輪送引線框16a沿軌30 移動至接合頭22而於引線接合後卸載部件7〇將引線框i6b 由接合頭22輸送至軌30。 第2圖為示意平面圖說明包括根據本發明之引線框輸 送裝置之引線接合裝置<»裝載部件5〇及卸載部件7〇具有相 本紙張尺度顧+關丨料(CNS ) A4規格（210X297公釐） —---- in ^^1 I - if} - -- 11 -i —up i __ .——---.-.--!—— - - (請先閲讀背面.之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 -10- 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 A7 ——一- ____ __B 7 五、發明説明（8 ) 同構造但因引線框移動方向除外。因此為簡化起見下文僅 說明引線框裝載部件50。 引線框裝載部件50具有一個引線框輸送装置包括二根 指亦即後指i_2及前指54及一個平臺6〇、前指54沿輪送軌30 輪送引線框161平臺60«軌為共同讓與同在審杏中USSN 08/608,249揭示之氣壓弩折軌。氣壓彆折軌包括多個軌段 32形成通風孔，通風孔例如供應加壓空氣供移動引線框16 。軌段32彼此隔開，介於其間形成空間34，於此處指54於 垂直方向往復運動。 感測器檢測沿軌30移動之引線框16位置。若引線框 未設置於引線接合頭22 ’ S!感測器檢測引線框則停止器38 停止引線框，前指54由軌30拾取引線框。載有引線框16之 前指54由第2圖所示位置移動至平臺6〇，平臺上方放置引 線框16。設於平臺60之Sz感測器檢測於平臺60上方之引線 框。由81及h感測器得知引線框所在位置資訊傳遞給控制 部件（第1圖之15)用來控制停止器38'前指54、後指52及 饋進夾具44之操作。引線框卸載部件70之83及54感測器檢 測引線框所在位置，Ss及S4感測器所得資訊也用來控制裝 置之操作。 平臺60上方之引線框藉後指52移動至導軌58，59。前 導軌58及後導軌59與引線框共同形成饋進軌42，引線框沿 饋進軌移動至接合頭22。導軌58，59由柱55、繼電板56及 抽57支樓。於導轨58，59上之引線框藉館進夾具44移動至 引線框饋進轨42然後藉饋進軌42移動至接合頭22。 (請先閱讀背面之注春事項再填寫本頁》 -In I— HI , -裝· 訂 本紙張尺度適用中國國家標芈（CNS ) Λ4規格（2IOX 297公釐） -11 - A7 B7 五、發明説明（9 ) 請 先 閱 讀 背 ιέ 冬 意-事 項 再 填1 %裝 頁 設有裝載部件及卸載部件具有前述引線框輸送裝置之 兩個或多個引線接合裝置共同聯結而組成線上引線接合裝 置，如第1圖所示。 根據本發明引線框與輸送裝置間之磨擦可減至最小， 原因為引線框由輸送軌30輸送至平臺60及由乎._臺60輸送至 導軌58，59期間’引線框係置於前指54或後指52上（容後 詳述 第3圖為部分側視圚說明根據本發明之引線框輸送裝 置’其中為簡明起見未顯示前指及後指β後指偶聯至後油 缸總成80及前指偶聯至前油缸總成90。油缸總成8〇，90扣 接至底板61，供前指及後指之水平直線運動。 訂 後油缸總成80設有油缸扣接塊81，82，水平轴83及停 止器84。水平轴83後指至後指，後指52沿水平軸83往復移 動。二指之移動距離係由停止器84控制β 前油缸總成90也設有油缸扣接器91，92，水平轴93及 停止器94»前指偶聯至水平轴93及連同輸送執30之輸送塊 32之移動輸送引線框。 經濟.部中央橾準局負工消费合作社印製 底板61上方固定有柱55，繼電板56偶聯至柱55，軸57 支撐導軌58，59 »平臺60偶聯至前導軌59 »偶聯至柱一端 之推進器板62具有推進器63。推進器63藉推送引線框至引 線框饋進執42而輸送引線框16，此時引線框16藉後指由平 臺60輸送至導軌58，59。 第4圖為示意側視圊說明用於根據本發明之引線框輸 送裝置之统。後指52設有水平油缸101，垂直油缸1〇2及 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > Α4規格（210Χ 297公釐） -12-

經濟部中央橾率局負工消費合作社印I A7 _____B7 五、發明説明（10 ) -引線框板107。水平油缸101偶聯至後油缸總成80之水平轴 83及沿轴83往復運動《緩衝裝置1〇8偶聯至水平油缸101而 減少當後指52例如被停止器85停止時的衝擊》垂直油缸1〇2 利用扣接裝置103偶聯至水平油缸1〇1 ^垂直油缸1〇2於垂 直方向移動垂直軸104 ’使後板1〇5聯結桿106及引線框板 107(全部皆偶聯至垂直軸104)可作垂直往復運動。 第5圖為示意側視圖說明用於根據本發明之引線框輸 送裝置之前指。前指54類似後指52設置有水平油缸11 1， 垂直油缸112及引線框板117。水平油缸lil偶聯至前油缸 總成90之水平轴83及沿軸93往復運動。緩衝裝置118偶聯 至水平油缸111而減少前指54被例如停止器95停止的衝擊 。垂直油缸112利用扣接裝置π3偶聯至水平油缸ill ^垂 直油缸112於垂直方向移動垂直軸114,使前板115、聯結 桿116及引線框板117(全部皆偶聯至垂直軸114)作垂直往 復運動。 後指52及前指54具有具相同功能的相同元件但於某些 態樣不同，例如前板及後板105，115，聯結桿106，116及 板107，108之尺寸及偶聯結構不同。如第4圖及第5囷所示 。但需注意前指及後指具有構造，可修改而適合輸送軌30 ’平臺60,導軌58, 59,此乃業界人士所容易了解並達成 者。 用於前指54及後指52之垂直油缸101，111及水平油缸 102, 112可為氣動油缸且可經由使壓縮空氣轉變成機械功 能而使板107，117作水平及垂直方向往復運動。氣動油缸 本紙張尺度適用中國國家樣準（CNS } A4規格（2l〇X 297公釐） {装------1T----- . . (請先閲讀背面之注t-Ϋ項再填寫本頁 -13 - 五、發明説明（η Α7 Β7 經濟部中央橾準局貝工消費合作衽印製 優於現有馬達輸送帶系統之優點為氣動油缸之構造較簡單 ，機械磨触及嗓音較少。 第6圈為引線接合裝置之部分透視囷，說明引線框藉 前指之板由輸送軌輸送。四片前指54之板Η7設置於構成 輸送軌30之個別執段32間之空間34。藉著軌段32通氣孔36 供應的空氣沿輸送軌30移動之引線框由停止器38停止及由 板117向上方向輸送’係於箭頭α-Β指示之垂直方向移動 。引線框進行垂直移動之同時引線框固定於板117，而板 117係藉垂直油缸112作用而於箭頭α-Β指示之方向垂直移 動。 板117上方設置引線框16，板in藉著水平油缸hi之 作用於箭頭C-D指示之方向輸送引線框16至板6〇。引線框 16具有LOC結構，其中晶片120附接於内引線122底面。引 線框之内引線122藉接線電聯接至晶片120之壁121 »外引 線123整合内引線122之個別對應引線，長槽124將引線框 長條分隔成個别引線框。棘孔125作為引線框由導軌58，59 輸送至饋進執42時夾具44之引導。 如前文敘述，本發明可減少輸送裝置例如板107，117 .與引線框間之摩擦及晶片被輸送裝置磨姓。因此特別適合 輸送LOC形引線框。 此外本發明較佳應用至線上引绫接合裝置，其中多個 引線接合裝置聯結在一起。 雖然於前文已經詳細說明本發明之較佳具體例，但需 了解屬於隨附之申請專利範圍界定之本發明之精髓及範圍 衣紙張尺度適用中國國家標擎（CNS ) Μ規格（训心7公着 * II · (請先閱讀背&之注春事項再填寫本頁 裝· 訂 -14- I A7. B7 五、發明説明（12 ) 内之此處教示本發明之基本構想之多種變化及 改對 經濟部申央橾準局負工消#合作社印製 業界人士顯然易明。 元件標號對照 1...卡匣 32…軌段 2...引線框 34…空間 4...接合頭 42...饋進軌 5...晶圓卡£ 44...饋進夾具 6..‘xy-臺 50…裝載部件 7...晶片分離器 52…後指 8...晶片輸送模組 54…前指 9".軌 55...柱 10...模塊接合裝置 56…繼電板 12…預烘烤腔室 57…轴 14...緩衝器 58...後導軌 15...控制部件 59...前導執 16...引線;ik 60...平臺 18…引入線庫 61...底板 20...引線接合裝置 63...推進器 22，·.引線接合頭 70...卸載部件 24...裝載部件 80...後油缸總成 26...卸載部件 81 - 82 > 91 . 92.. 28...出線庫 83，93.··水平軸 30…引婊框輸送軌 84，94...停止器 油叫口接塊 本紙张尺度適用中國®家榇準（CNS ) A4規格（2丨0X29?公釐） (請先閲讀背面之注兔事項再填寫本頁.> \裝 訂 d •15- 417160 A7 B7 五、發明説明（Π 90...前油缸總成 101 102 103 104 105. 106 111.. .水平油缸 112…垂直油缸 113.. .扣接裝置 114.. .垂直軸 .後板 116.. .聯結桿 107，117…引線框板 108，118...緩衝裝置 115.. .前板 120…晶月 121…墊 122…内引線 123…外弓|線 124…長槽 125.. .棘孔 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本瓦) 裝 訂 經濟部中央橾準局負工消費合作社印裝 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2丨0·〆297公釐） -16-

Claims (1)

1. AS B8 C8 D8 T'申請專利範圍 L 一種後身！J線座之敬送裝置，包括： (a) —根前指’供移動來自輸送位置之引故框， 該前指具有一 _片板板上放薆引線框；一個垂直油缸供 於垂直方向移動板；及一個水平油缸供於水平方向移 板； (b) —個平臺具有感測器可供檢測引線框而控制 引線樞多動速度’及此處來自輪送點之引線框係藉前 指作用放置；及 (<0 —根复指供移動引線框由乎臺至饋進位置， 該後指具有一丑板，引線框放I於該板；一個垂直油 起.供於垂直方向移動該板；及一個水平油缸供於水平 方向移動該板^ 2·如申請專利範圍第1項之輸送裝置，其中該前指及後指 之垂直油缸及水平油缸為氣動_油缸。 3·如申請專利範圍第I項之輸送裝置，其中該前指及後指 之水平油缸設置有停止器可控制引故柜夕渾動距離。 4-如申請專利範圍第1項之輪送裝置，其中該前指及後指 之垂直油缸藉利用_板、垂真轴及聯結桿俾撖$板。 η 5. 一種弓 置供連接半導體晶片至引線框，該引 'U 線接合裝置包括： 軌’沿該轨及於該軌上運載晶片的51線框於引線 框之緣電連接至晶片前係於運動方向運動； 一個弓L線框裝載部件供運動引線框由輸送位置至 餹進位置’該引線框裝載部件包括：（a)—根前指，供 表紙珉尺度通用中躅羁家揉準（CNS ) A4说格（2丨0X297公釐） (請先W讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 蛵濟部t央榡準局員工消費合作社印装 -17-

   π、申請專利範圍 經濟部t央橾隼局I工消費合作社印«. 移動來自輸送位置之引線框，該前指具有r片板板上 放置引線框；一個垂直油缸供於垂直方向移動板；及 一個水平油缸供於水平方向移動板；（b) 一個乎臺具有 感測器可供檢測引線框而控制引線框移動速度，及此 處來自輸送點之引線框係藉前指作用放置；及（C) 一根 敗指供移動引線柩由平臺至饋進位置，該後指具有一 &板’引線框放置於該板，一個垂直油缸供於垂直方 向移動該板；及一個水平油虹供於水平方向移動該板 ;及 一律引線框卸載部件供於電連接至輸送軌後移動 載有晶片之引線框，該引線框卸載部件包括：（d) 一根 前指，供移動來自輸送位置之引線框，該前指具有一 片板板上放置引線框，一個垂直油紅供於垂直方向移 動板；及一個水平油缸供於水平方向移動板；（e)一個 平臺具有感測器可供檢測引線框而控制引線框移動速 度’及此處來自輸送點之引線框係藉前指作用放置； 及（f)一根後指供移動引線框由平臺至饋進位置，該後 指具有一片板’引線框玟置於該板，一個垂直油缸供 於垂直方向移動該板；及一個水平油缸供於水平方向 移動該板。 6‘如申請專利範圍第5項之引線接合裝置，其中該前指及 後指之垂直油缸及水平油缸為氣動油缸。 7_如申請專利範圍第5項之引線接合裝置， 其又包含檢測引線框之感測器，其設置於輸送軌 各紙張尺度適用中國國家揉準（CNS) Μ洗格（210X297公;¢1 ^ <請先閏1!^面之注意有項再填寫本頁) -袭. 訂 -18- 經濟部中央揉準局負工消費合作社印策 AS B8 C8 ----- ---- D8 六、申請專利範圍 接近引線框裝載部件且接近引線框卸載部件；及 其尹該水平油缸及垂直油缸之運動係由感測器獲 得之資訊控制。 8’如申請專利範圍第5項之引線接合裝置，其中該接合頭 設置有引線框饋進軌；及引線框裝載部件及引線框卸 載部件分別設置有導軌線性偶聯至引線框饋進軌。 9_如申請專利範圍第8項之引線接合裝置，其中該平臺係 扣接至導軌一側。 1〇.«〇申請專利範圍第9項之引線接合裝置，其中該引線框 裝載部件設置有推進器可供於導軌上移動引線框至引 線框饋進軌》 11. 一種線d合裝置’包括多個個別_引線接合裝置 ’其共同脯結至單一糸統，及描^送軌，引線框沿輸送 轨及於輸送軌上蒋動傀饋送至個別引線接合裝置。 該個別引線接合裝置包括： 淑’載有晶片之引線框於電聯接引線框之引線至 晶片前係沿軌及於軌上移動方向移動； 一個引線框裝載部件供移動引線框，該引線框裝 載部件包括：（a)—根前指，供移動來自輸送位置之引 線框，該前指具有一片板板上放置引線框；一個垂直 油缸供於垂直方向移動板：及一個水平油缸供於水平 方向移動板；（b)—個平臺具有感測器可供檢測引線框 而控制引線框移動速度，及此處來自輸送點之引線框 係藉前指作用放置；及（c)一根後指供移動引線框由平 未紙張尺度速用中國國家糅準（CNS ) A4規格（210XW7公釐） . -------IT------ 1 - (請先閲讀背面之注項再填寫本頁) -19 - 417160 A8 B3 C8 D8 輕濟部中央橾準局貝工消費合作社印裝 π、申請專利範圍 臺至饋進位置，該後指具有一片板，引線框放置於該 板，一個垂直油缸供於垂直方向移動該板；及一個水 平油缸供於水平方向移動該板；及 一種？1線框卸載部件供於電連接至輸送軌後移動 載有晶片之引線框，該引線框卸載部件包括：（d)—根 前指，供移動來自輸送位置之引線框，該前指具有一 片板板上放置引線框；一個垂直油缸供於垂直方向移 動板；及一個水平油缸供於水平方向移動板；（e)—個 平臺具有感測器可供檢測引線框而控制引線框移動速 度’及此處來自輸送點之引線框係藉前指作用放置； 及（f)一根後指供移動引線框由平臺至餚進位置，該後 指具有一片板，引線框放置於該板，一個垂直油缸供 於垂直方向移動該板；及一個水平油缸供於水平方向 移動該板。 12.如申請專利範圍第η項之線上引線接合裝置，其令該 輸送執設置有多個輸送塊具有通氣孔，故引線框可由 通氣孔供應的空氣移動》 13-如申請專利範圍第11項之線上引線接合裝置，其中該 前指及後指之垂直油缸及水平油缸為氣動油缸。 14’如申請專利範圍第丨丨項之線上引線接合裝置，其中該 接合頭設置有引線框馈進軌；及引線框裝載部件及引 線框卸載部件分別設置有導軌線性偶聯至引線框饋進 軌。 15.如申請專利範園第14項之線上引線接合裝置，其中該 各紙張尺度逋用t国國家棣準（CNS ) A4规格（210X297公釐） ----—----------訂-----k 蚌 (請先閱讀背面之注$項再填寫本頁) -20-

   A8 B8 C8 D8'申請專利範圍 平臺係扣接至導軌之一例。 16_如申請專利範圍第15項之線上引線接合裝置，其令該 引線框裝載部件設置有一個推進器可供於導轨上移動 引線框至引線框饋進軌。 17‘如申請專利範圍第U項之線上引線接合裝置， 其又包括檢測引線框之感測器，其設置於輸送軌 接近引線框裝載部件且接近引線框卸載部件，·及 其中該水平油缸及垂直油缸之運動係由感測器獲 得之資訊控制。 18. 如申請專利範圍第〗丨項之線上引線接合裝置，其中該 等輸送軌偶聯至輸送軌一側上之一個庫，此處裝載有 多個引線框》 19. 如申請專利範圍第丨丨項之線上引線接合裝置，其係偶 聯至模塊接合裝置供附接晶月至引線框。 20_如申請專利範圍第^項之線上引線接合裝置，其中該 晶片係附接至引線枢底面。 21.如申請專利範圍第19項之線上引線接合裝置，其中該 晶片係附接至引線框底面。 (請先Μ讀背面之泫意事項再填寫本頁) -裝· 訂 經濟部中央棣隼局員工消費合作社印策 私紙張尺度遑用t國®家椹準（CNS) Α4洗格UlO'X297公釐） -21 -