TW406186B - Surface inspection apparatus - Google Patents

Description

經濟.那中央榡準局員工消費合作社印製 __ 406186 β7 五、發明説明（1 )' 本發明所屬之技術領域： 本發明係有關一種光置等之表面檢查裝置，更詳而言 之，係有關於一種欲檢查光罩之罩面等有無灰塵（塵埃）或 傷痕之表面檢查裝置。 習知技藝： 一般而言，於半導體晶圓上欲將電路圖案予以曝光所 使用之光罩的罩面，若有附著灰塵或傷痕時，即，該灰塵 (塵埃）或傷痕就成為電路圖案之一部份而被曝光，而製造 出不良品晶圓。因此，光罩之罩面的塵埃或傷痕，務必絕 對予以迴避。因此，於習知，乃以自動檢查裝置作檢查之 後’再以目視進行最終檢查，依目視進行最終檢查之理由 ，係在於自動檢查裝置乃固定著攝影（像）機，而僅以平均 性掃瞄罩面，觀測品圓表面，而非從各異之角度觀測罩面 ’是故’ 一定有不能檢出之缺點存在。又，依該目視之最 終檢查，乃完全為手作業。 換言之，於最終檢查，檢查人員將丨片丨片的光罩，以 手持並予改變其角度而在燈光下，以目視觀察罩面，共依 有塵埃或傷痕時之特異之形反射現象，進行檢查。如是之 方法，極為原始性，並且，以檢查人員本身之手直接去手 持光罩之故，由於人員經手，反而會成為附著塵埃之原因 。又，經過檢查某數量份，由於手之疲勞而使效率下降。 又’在罩面之目視觀察以外’尚要固定光罩之位置，或予 作理想性之傾斜等多餘之作業，因之，無效率。 對於如是之問題（課題）’例如，檢查人員從所隔離之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公楚） 4 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝

、1T 經濟部中央標準局員工消費合作社印策 __4061B6 __ 五、發明説明（2 ) ' ~ 裝置空間内，以機器人操縱光罩，並將光革載置於檢査工 作台上，而經過觀察窗作目視檢查之方式，可予以採用。 由於此，光罩之搬運及操縱，載置在檢查工作台上之光罩 之位置固定、移動、傾動等，可望以遠隔操作或自自動操 作進行。 但是，對於晶圓，已有提供檢查人員不必直接以手觸 晶圓，而以目視檢查就能作檢查之表面檢查裝置。於該表 面檢查裝置，係在上面具有會吸著晶圓之吸盤，而吸盤乃 以裝簟下部之轉動支點為中心，並成為大的能作圓弧狀之 傾動。檢查人員就操作連接桿而將晶圓傾斜，並在聚光燈 之照明下作目視檢查。 不過’於該表面檢查裝置，當發現缺點時，欲更詳細 再予調查缺點而應將晶圓傾斜，並由不同角度重新觀察時 ’由於晶圓之傾動’而使缺點亦隨著晶圓而移動。因此， 有容易遺漏缺點之問題存在。特別是，於欲作精密檢查之 場合，應將聚光點縮小而僅照射晶圓表面之一部份，作成 狹小之檢查範圍，因此，若予傾動’即，缺點就立刻從檢 查範圍超離’因之，十分不方便。又，該種之表面檢查裝 置，期望儘量為小型者。 本發明所欲解決之課題： 本發明欲解決之第1技術性課題為，欲提供光罩等之 被檢~查平面體不依賴人手，而在所支撐之狀態下，能作表 面檢查’而當傾動被檢查平面體之時，亦不會遺漏其缺點 之光罩等之表面檢查裝置。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) V·'裝.

*1T 經濟部中央標準局員工消費合作社印聚 406186β7 五、發明説明（3) 解決課題之本發明之裝置，作用，及效果： 欲解决上述之技術性課題，本發明，係將以聚光點所 照射之被檢查平面體之檢查面的一點作為固定點，並於此 固定點作為中心，而具有將被檢查平面體傾動或移動之驅 動裝置，作為基本特徵。在具體上，其由下述所構成。 即’光草等之表面檢查裝置，具有支撐板、照明（光 源）、第1驅動裝置，及第2驅動裝置。上述被檢查平面體 ’乃被載置於上述支撐板上。上述光源，用以照明被載置 在上述支撐板之被檢查平面體的被檢查面上之一點（以下 ，稱為「聚光點」），以及其周邊。上述第〖驅動裝置，係 被支撐在固定基座，而以光源所照射之被檢查平面體之上 述一點，即，聚光燈，作為轉動支點，而使通過該轉動支 點的被檢查平面體之被檢查表面的法線，能在任意方向傾 動，並傾動支撐板。上述第2驅動裝置，係將上述支撐板 ’沿著載置在上述支撐板上之被檢查平面體之被檢查面， 而在大約成為直交之2方向移動。 依據上述構成’即’被檢查平面體乃被載置在支撐板 上’而其被檢查面利用光源照明，而利用光源所照射之聚 光點，乃被固定著。第2驅動裝置，係將支撐板於沿著被 檢查面之2方向，而以適宜之圖案予以移動，並將被檢查 平面體對著聚光點移動。由於此，聚光點就依序移動於被 檢查平面體之檢查面上，而使聚光點及其周邊之照明領域 能網羅檢查面整體。 若在聚光點及其周邊之照明領域内，發現塵埃或傷痕 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ；η—— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 .0. 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 406186α7 ___ Β7 . -------------------- 五、發明説明（4) 等之缺·點之場合，就使第1驅動裝置動作，並將被檢查平 面體傾動’並且，適宜變化對於被檢查面之各種之光線照 射角度’而能更詳明作檢查。此時，由於被檢查平面體， 係以聚光點作為中心傾動，因之，於照明領域内所發現之 缺點’亦停留在照明領域内。 由於此’依據上述構成之光罩等之表面檢查裝置，即 ’被檢查平面體不必依賴人手，並於支撐之狀態下能作表 面檢查’並且’將被檢查平面體傾動，亦不會遺漏其缺點 。若能再具備在與被載置在支撐板之被檢查平面體之被檢 查面之法線’相平行旋轉軸周圍，將支撐板作旋轉之第3 驅動裝置，即，最佳。 依據上述構成，就能利用第2驅動裝置，將被檢查平 面體作旋轉並改變方向作檢查。因此，更能提高檢查精度 〇 最好具有’以被照明所照射之被檢查平面内之上述一 點，即，聚光點作為中心之球面，作為其外周面之椀狀的 略呈為半球之支撐體。在該略呈為半球之支撐體中’具備 在與該略呈為半球之支撐體的周緣為大約相等準位處，欲 支撐被檢查平面體之上述支撐板，以及欲將上述支撐板移 動的上述第2驅動裝置。上述第丨驅動裝置，係將上述略呈 為半球之支撐體，沿著上述略呈為半球之支撐體之外周面 ’作移動。 依據上述構成，即，由於略呈為半球之支撐體之外周 面為球面之故，第1驅動裝置雖將略呈為半球之支撐體， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） I-ΤI-ϊ--I丨-cu— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -*° 0_ 經濟部中央榡準局員工消费合作社印^ A 7 406 Ju8b B7' 五、發明説明（5 ) ~一 沿著其外周面驅動，即，外周面之球面中心亦不移動。即 ’以外周面之球面中心作為轉動中,。，而略呈為半球之支 撐趙就被傾動。由於被檢查平面體被支推在與略呈為半球 之支撐體之周緣為大約相等之準位，是故，在略呈為半球 之支撐體的傾動範圍内，欲觀者檢查面之視野及照射聚 光點以及其周邊的照明之照明光，能容易將其作成不受到 略呈半球之支撑體之妨礙。因此，以簡單之構成，就能將 被檢查平面體，以聚光點作為固定點而予以作傾動。 最好，在上述略呈為半球之支撐體之中，具備在與被 載置在支撐板之被檢查平面體的被檢查面之法線，相平行 之旋轉軸周圍，將支撐板作旋轉之第3驅動裝置。 依據上述構成，即，能利用第3驅動裝置而旋轉被檢 查平面體，並改變其方向而作檢查。因此，更能提高檢查 精度。 ’ 最好，上述第1驅動裝置，應具有略呈半球之支撐體 支樓機構’ 2條驅動帶’以及驅動帶之驅動裝置。略呈半 球之支撐體支揮機構，係將上述略呈半球之支撑體，沿著 上述略呈半球之支撲體之外周面，而支樓為自由滑動。上 述之條驅動帶，係沿著上述略呈半球之支撐體之外周面， 配置成為大略互為直交。上述2條驅動帶，其兩端，乃在 挾住上述轉動支點吊相對向之上述略呈半球之支撐體的周 緣之4點’分別予以固定。上述驅動帶驅動裝置，係將上 述驅動帶分別在驅動帶大略延伸之方向移動。 依據上述構成’即，利用驅動帶驅動機構，而使驅動 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1T_ d Α7 Β7 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 406186 五、發明説明（6 ) — 帶被拉緊時，略呈半球之支撐體就傾向於該拉力方向。利 用之條驅動帶’而特略呈半球之支撐體傾動於大約成為直 交之2方向，而使外周面之球面中心即，通過轉動支點 之被檢查平面體之被檢查面的法線，予以傾動在所有之方 向，乃能將支撐板傾動，因此，就能簡單構成第丨驅動裝 置。 又，本發明，欲解決上述第2技術性課題，乃提供下 述構成之表面檢查裝置。即，上述第丨驅動裝置，具有最 少有3.個縱鏈桿、及昇降裝置。最少有3個上述縱鏈桿係 在通過上述轉動支點，而與上述被檢查面略為直交之基準 朝的周圍，分別被配置成為與該基準軸大略為平行，並在 含有上述被檢查面之平面上，分別結合在上述支撐板或 欲支撐上述支撐板之板支擇部材。上述昇降裝置，係將該 各縱鍵桿大略沿著上述基準轴，即，與上述基準抽大略為 平行，分別昇降。最少有1個上述縱鏈桿，與上述基準轴 配置為平行，並與上述基準軸共同形成第1鏈桿時，而該 第1鏈桿時，乃與以平行配置在上述被檢查面之第2鍵桿時 八同構成平行鏈桿機構。該最少有丨個縱鏈桿與上述支 撐f，或欲支撐上述支撐板之板支撐部材，將會阻止該縱 鏈桿之延伸方向之轴周圍的相對旋轉。 立在上述構成上，支撐板或欲支撐上述支撐板之板支撐 P材由於最少有1個縱鏈桿的延伸方向之相對旋轉被阻 止，是故，將昇降裝置動作，而使該最少有1個縱鏈桿昇 降必要時將其他之縱鏈桿作適宜之昇降，而使轉動支點 本紙張尺度適 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

A7 B7 經濟部中央橾準扃員工消費合作社印製 406186 、發明説明（7 ) 即被檢查面上之一點不移動，就能將被檢查面傾動β 例如單之一例為，將具有配置成各^ 度之3個縱鏈桿 ，而將構成平行鏈桿機構之丨個縱鏈桿，與支撐板或欲支 撑上述支#板之板支撑部材之結合點，配置在通過平行鍵 桿機構之第2鍵桿時，與該i個縱鍵桿之2個結合點之直線 上之場合，作說明，即，由於該丨個縱鏈桿之昇降即， 作為轉動支點之被檢查面上之—點，乃在含有平行鍵桿機 構之各鍵桿的平面内移動。此時，假定作為轉動支點之被 檢查®上之一點，從基準軸有所偏離，即，將其他2個縱 鏈+干適且作昇降，就能將作為轉動支點之被檢查面上之一 點，回復至基準軸上之原來的位置。因此，通過轉動支點 並且對含有平行鏈桿機構之各鏈桿之平面垂直之直線為中 心，就能將支撐板或欲支撐支撐板之板支撐部材，甚至， 被檢查面予以轉動。 备轉動支點位於基準轴上之狀態下，將其他之縱鏈桿 適宜昇降’ Μ ’通過在最少有“固縱鏈與支撐板，或欲支 撐支撐板之板支撐部材的結合點。及以轉動支點之直線作 為中心，就能將支撐板或欲支撐支撐板之板支撐部材，甚 至，被檢查面予以轉動。 依據上述構成，即，最少將3個縱鏈桿，利用昇降裝 置作適且之昇降，就能將轉動支點作為中心，而將被檢查 回傾動於所有之方向。因此，將光罩等之被檢查平面體不 依賴人手，而在所支撐之狀態下，就能作表面檢查，並且 ，雖將被檢查平面體傾動，而在照明領域内所發現之缺點 本紙法尺度適用_國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公楚） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

10 406186 A7 B7 五、發明説明（8) 亦不會被遺漏。 又’依據上述構成，各縱鏈桿配置於接近在支撑板， 或欲支揮上述切板之板支律部材，為可行。因此，能儘 量縮小光罩等之表面檢查裝置。 上述構成之光罩等之表面檢查裝置，以種種之態稱予 以具體化。 最好，上述第1驅動裝置，係由平行鏈桿驅動裝置’ 及鏈桿昇降裝置所形成。上述平行鍵桿驅動裝置，係具有 1對橫鍵桿，及1對縱鏈桿。上述m橫鏈桿，係通述上述 轉動支點，並且，在含有與上述被檢查面略成為直交之基 準抽在内之基準平㈣’以平行分载置在上述被檢查面 。上述1對之橫鏈桿之各自之中間部份，乃通過上述基準 抽’並且’以與上述基準平面相直交之旋轉軸作為中心， 而以自由轉動予以結合在上述㈣基座。上述m之縱鏈 桿，在上述基準平面内於上述基準軸之兩側與上述基準側 相平行並分別配置。上述!對之縱鏈桿，分別以自由轉動 予以結合在上述1對之橫鏈桿之兩端，又，在含有上述被 檢查之平面内，以自由轉動分別結合在上述支#板，或欲 支律上述支樓板之板支揮部材ή上述鏈桿昇降裝置係具有 1個橫鏈桿與丨個縱鏈桿。上述Η@橫鏈桿，係對上述被檢 查面以平行配置在墀過上述基準軸，並且，與上述基準平 面相直交之平面内。上述丨個橫鏈桿之一端，在上述基準 平面内，以平行配置於上述被檢查面。上述丨個橫鏈桿之 一端，於上述基準平面内，以與上述基準軸相直交之旋轉 A7 B7 經濟部中央標準局貞工消費合作社印t

406186 五、發明説明（9) 軸作為中心，而以自由轉動結合於上述固定基座 個縱鏈桿，係在通過上述基準轴並且與上述基準平面相直 交之平面内，或其近傍，與上述基準轴以大略平行予以配 置。上述1個縱鏈桿，係以自由轉動方式，結合在上述橫 鏈桿之他端，甚至，在含有上述被檢查面之平面I對上 述支撐板或上述支撐板之板支樓部材，以自由轉動予以結 合。 、° 在上述構成上，當平行鏈桿驅動裝置動作時於基準 平面内，橫鍵桿就以其中間部份作為中心而轉動，而靖 之縱鍵桿之-方就上昇，而其下方就下降。所相對之鍵桿 由於結合成為互相平行之故，通過上述支撑板或欲支持上 述支撐板之板支撐部材，與i對縱鏈桿之各結合點之直 ，就以該直接與基準轴之m以轉動支點作為中1、 並在基準平面内作轉動。由於此，被檢查面乃通過轉動 支點並以直交在基準平面之直線作為中心而轉動。 另方面，當鏈桿昇降裝置動作時，在通過基準軸並且 與基準平面相直交之平面内上，橫鍵桿乃以其_端為中心 而轉動，而縱鏈捍就上昇或下降，乃使支撐板或欲支撐支 撐板之板支撐部材與縱鏈桿之結合點昇降。由於此，被檢 查面，就以通過上述支撐板或欲支撐上述支撐板之板支撐 部材，與平行鏈桿釋動裝置之〗對縱鏈桿的各結合點之直 線為_心，作轉動。 依據上述構成，即’將利用平行鏈桿驅動裝置的被檢 查面之轉動’與利用鏈桿昇，裝置之被檢查面之轉動，予

本紙張尺度剌中關轉準（&)續格⑺σχ腾P 12 I-----o^.— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本I) .. — I- · A7 — 406186 五、發明説明（10 ) 犯啊饥饥旦囬隹得勁支點作為中心之所有方向 予以傾動。又’光罩等之表面檢查裝置之小型化就較為容 (請先閲讀背面之注意事碩再填寫本頁) 易，並使構成更為簡單，同時，亦能使被檢查面之傾動的 控制更加容易。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 最好’上述第1驅動裝置，係、由平行鍵桿驅動裝置， 與鏈棒昇降裝置所成。上述平行鍵桿驅動裝置係具有1 個橫鏈桿m對之縱鏈桿。上述丨個橫轉，録通過上述 轉動支點’並且，含有與上述被檢查面略為直交之基準軸 之基準平面内上•，以平行予以配置在上述被檢查面。上述 1個橫鍵桿之中間部份’係通過上述基準轴，並且，與上 述基準平面相直交之轉動抽為中心’而以自由轉動予以結 合在上述固定基座。上述丨對之縱鏈桿，係在上述基準平 面或其近傍’而於上述基準轴之兩側，分別予以配置成為 與上述基準軸大略為平行.上述丨對之縱鏈桿之一端以 自由轉動分別結合在上述橫鍵桿之兩端，而其他端，係在 含有上述被檢查面之平面内，分別/以自由轉動予以結合 在上述支律板，或欲支樓上述支撐板之板支撐部材。上述 鏈桿昇降裝置，係具有1對之橫鏈桿與1個縱鏈桿。上述i 對之橫鏈桿，係在通過上述基準軸，並且，與上述基準平 面相直交之平面内’並以平行分別配置在上述被檢查面。 上述、1對橫鍵桿之各自之丨端，於上述基準平面内，將以與 上述基準軸相直交之轉動轴作為中心，並以自由轉動予以 結合在上述固定基座，上述丨對橫鏈桿之各自之他端，即 ，對於上述基準轴相互配置在同側。上述丨個縱鏈桿，係 减張尺度適用中國國家CNS ) Α4^ ( 210χ·^ΪΤ A7 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明. 一''-- 通過上述基準軸，上述1個縱鏈桿，係以自由轉動分別結 合在上述1對橫鍵桿之上述他端’又，在含有上述被檢^ 面之平面内，對上述支樓板，或欲支撐上述支標板之板: 撐部材，於其延伸方向之軸周圍的相對旋轉被阻止之狀態 下，分別予以結合成為自由轉動。 在上述構成，當鏈桿昇降裝置新作時，丨對橫鏈桿就 轉動，而1個縱鏈桿就上昇或下降，使縱鏈桿與支撐板或 欲支撐支撐板之板支撐部材的結合點昇降。由此，被檢查 面就¥通過支撐板或欲支撐板之板支撐部材，與平行鏈桿 驅動裝置之1對縱鏈桿的各結合點之直線，作為中心而轉 動。 另方面，多平行鏈桿驅動裝置動作時，1個橫鏈桿就 轉動，1對縱鏈桿之一方就上昇，而他方就下降，因之， 支撐板或欲支撐支樓板之板支撑部#，與平行鍵桿驅動裝 置之1對縱鏈桿之結合點的一方就上昇，而他方就下降。 由於此，被檢查面，乃通過轉動支點並以對基準平面成直 父之直線作為中心而轉動。 依據上述構成，由於予以組合依平行鏈桿驅動裝置而 作之被檢查面之轉動，與依鏈桿昇降裝置而作的被檢查面 之轉動，乃能使被檢查面以轉動支點作為中心，傾動於所 有之方向。又，光罩等之表面檢查裝置之水型化亦能容易 ，並1，亦使構成簡化，亦可使被檢查面之傾動之控制容 易化。 本發明之實施態稱： (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁)

本纸張尺度適用中國國家標準（CNS) Μ現格（210X297公麓 14 '-— . A7 . A7 經濟部中央標準局員工消费合作社印聚 — --~~雛：86——-_-__ 五、發明説明（12 ) 現對於第1圖至第11圖所示，有關本發明之各實施態 稱之光罩表面檢查裝置（10，100，100x)作說明。 第1實施例 首先’概略說明第1實施例之光罩表面檢查裝置10。 該光罩表面檢查裝置10,如第1圖之正面圖及侧面圖所示 ’大略具有：裝置本體12及操作裝置20。裝置本體12,在 其内部大略具有：未圖示之第1及第2工作台；未圖示之搬 送機器人；檢查台裝置30;第1及第2照明光源60,61 ;以 及控制裝置28。 在第1工作台，係載置著收納未檢查之光罩的收納盒1 ’而在第2工作台，係載置著收納檢查完了之光罩的收納 盒11。搬送機器人’係作光罩人搬送及操縱。即，從載置 在第1工作台之收納盒1 ’取出1片光罩並載置在檢查台裝 置3〇之支撐板50上’或將支撐板50上之光罩反轉，或支撐 板50上之光罩回收在第2工作台之收納盒丨丨。檢查台裝置3〇 ’其詳細將於分述，惟’其為支撐板50上之光罩的表面檢 查’乃將支撐板50予以移動，或予傾動，或予旋轉。第1 及第2照明光源6〇,61 ’係將支撐板50上之光罩，從上方及 側方予以照明。控制裝置28，係欲控制搬送機器人及檢查 台裝置30等之動作。 在裝置本體12’設有欲取納取納光罩之收納盒込^之 搬入門14’及欲從裝置外部觀察内部之檢查台裝置3〇之支 擇板50上的光罩之檢查窗16，而使裝置本體1〇之内部保持 為清淨狀態。在操作裝置，配置著2個連接桿22及未圖示 本紙張尺度適用令國國'^準（〇灿）八4規格（21〇乂297公釐）·""""： :~13—"- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 s-4M-186-^_五、發明説明（13 ) 之各種操作釦等，而能作搬送機器人及檢查台裝置之操作 〇 其次，對於檢查台裝置30之構成，乃以第2圖至第4圖 再作詳細之說明，第2圊為檢查台裝置30之平面圖。第3圖 為中央截面圖。第4圖為沿第2圖上之IV-W線之概略圖。 檢查台裝置30,大略具有：將其開口部配置為向上之狀態 的椀狀之略早為半球之支撐體31;予以固定在略呈半球之 支撐體31内之XY台54;予以固定在χγ台54上，而為移動 可行冬旋轉裝置52;以及予以固定在旋轉裝置52上，而為 旋轉可行之支撐板50。 固定在略呈半球之支撐體31内之XY台54，具有配置 在成為直父之XY之2方向的引導轴54x，54y，其成為將旋 轉裝置52移動於χ〇，γ〇之2方向，而能將支推板5〇配置在 以假想線所示之移動領域51内之所定位置。旋轉裝置52， 係以支撐板50之中心作為其中心而將支撐板5〇旋轉。在χγ 台54及旋轉裝置52，有連接電源及信號等之電纜類％，“ ，而電纜類56,58，乃經過略呈半球之支撐體31之周緣。 在略呈半球之支撐體31，設有用以防止灰塵附著於光 罩80，而形成從上往下之空氣流通的抽氣孔34。略呈半球 之支撐體31，其外周面下面及以球形軸承33支撐，並依配 置成為直交之2條驅動帶40，使略呈半球之支樓體31，整 體沿著外周面於任意方向傾動。 詳細而言，略呈半球之支撐體31之外周面，係戴置在 標準位置之支撐板50上之光罩80之一點，即，以聚光點s 本紙狀度適财關家縣(CNsTA4i^( 210X297^ ) 16 〔請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} -0¾

，1T I— - - - - - -. «1 I . 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 400^.86 Α7 Β7 五、發明説明（14 ) 作為中心之球，面。在略呈半球之支撐體31之周緣的凸像32 ，以90度間隔實放著4個以上方外向之驅動帶裝設用臂％ ’而在各驅動帶裝設用臂3 6之前端，固定著自由轉動之驅 動帶裝設用具38。驅動帶裝設用臂36,為不遮蔽從檢查窗 16觀測之檢查人員之視線，乃設在對於γ〇 , γ〇方向的偏 離45之位置。各驅動帶40，其外侧之表面上具有齒牙， 而其兩端分別固定在，對於略呈半球之支撐體31之中心軸 ζ，而成為對稱位置之各！對的驅動帶裝設用臂36之驅動 帶裝琢用具38，並成為延伸在略呈半球之支撐體31之下部 。驅動帶40’於略呈半球之支撐體31之下部，乃由引導滑 輪42,48 ,及張力滑輪44所引導，並與在外周面具有齒輪 之驅動滑輪46相咬合，而予以驅動《引導滑輪42,48，係 固疋在裝置本體12之固定基座。張力（拉伸）滑輪（44)，係 固定是在裝置本體12之固定基座上，而可上下移動，並成 為向下附加力量。驅動滑輪46，係利用固定在裝置本體12 之固定基座上的未圖示之驅動馬達，所旋轉。 略呈半球之支撐體31，係利用成宜交之2條驅動帶4〇 各自之移動’而以聚光點S作為中心，傾動於任意方向。 即，由驅動馬達之驅動，當驅動滑輪46旋轉時，驅動帶仂 就移動，而驅動帶40乃將一端之驅動裝設用臂36經下方拉 因此，略呈半球之支撑體3〇，就以通過聚光點s之水平 軸（ΐ第4圖上為對紙面垂直之軸）為中心而轉動。由於張 力滑輪44，係向下方附加力量，因此，當呈半球之支推^ 傾動時，就移動於下方位置45，而去除驅動帶4〇之 本紙張尺度適用中國國家標準（CMS ) Α4規格（210X2517公楚 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .ΟΜ 、1Τ 17 A7 B7 406136 五、發明説明（15) . 在驅動馬達’設有脈波編碼器，而其能算出依驅動帶40之 移動而改變的略呈為半球之支撐體30的傾斜角度。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 其次’以第5圖及第6圖說明，使用光罩檢查裝置作目 視檢查之方法。第5圖為檢查準備完了時之概略透視圖。 檢查人員90隔著未圖示之目視窗μ面對著檢查台裝置30。 於檢查準備完了時，在檢查台裝置3〇之未圊示的支樓板5〇 上載置有光罩80’並支撐為水平《此時，支撐板5〇的中心 乃在於與聚光點S為相一致之標準位置。 取將光罩80整體以大略作目視檢查之時，僅使用光罩 80正上方之第1照明燈光6〇。另方面，欲作精密目視檢查 之時’乃使用對檢查人員90從則方將光罩80之微之領域作 聚光照明之第2照明燈光62。 經濟部中央標準局員工消費合作社印" 將微少領域之微小範圍作專注之目視檢查時，如第6 圖1所示，以X〇軸為中心而將支撐板50予以傾斜，對於檢 查人員90而言’支撐板5〇的前方就降低而使其後方處提高 。其次，將工作台移動於χγ方向’而使光罩8〇之位置移 動至符號81所示之位置，並使第2照明燈光62之聚光照射 光罩81之右上端。然後，在第6圖Π，如以符號82所示， 將支撐板50移動Y向後方側，而移動光罩81位置。當聚光 到達光罩80之他端時，乃將支撐板50稍微向X方向右侧移 動之後’再將支撐板50經Y方向之面前側移動。如是，移 動支'樓板50 ’並以聚光按監順序照明光罩80之表面全體。 又’在該光罩檢查裝置10，在支撐板50之移動中，略呈半 球之支撐體30整體’就以周期性傾動，而使其成為光罩8〇 本紙乐尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 406186 ^ 五、發明説明（16 ) 之罩面，能選擇如波浪搖動而移動之波模態。 在支撐板50之移動中，檢查人員就僅對以光罩8〇之聚 光新照明之微少領域’以目視觀察。然後，在微少領域有 任何異常時，例如，發現有部份性之輝亮或影子之時，就 按下操作裝置20之停止知，使支樓板5〇之移動停止。然後 ’操作操作裝置20之接合桿22，並以聚光點S作為中心而 將支撐板5〇作適宜之傾動，並再作詳細之查察。若有附著 月&去除之灰塵之場合，即，以適宜之方法，將該灰塵取除 。當判定為灰塵及傷痕等不良時，就按下操作裝置2〇之未 圖示之缺點記憶扣，將其位置予以記錄起來，而後能復歸 於其位置再作觀察。 當檢查光罩80之表面整體之後，將支撐板5〇復歸為標 準位置’必要時’動作旋轉裝置50並予改變光罩80之方向 ，例如’每隔90度作與上述同稱之目視檢查。又，必要時 ，單面檢查之後，搬送機器人，將光罩80反轉，而作反對 面之目視檢查。當目視檢查終了後，利用搬送機器人，將 光罩80從支撐板50回收至第2工作台之收納盒11。 若使用該裝置’即，在人員不介入之裝置内，能將光 罩80以隔離之狀態進行目視檢查，是故，能防止塵埃之發 生。檢查人員不必直接以手去觸持光罩80，是故，能減輕 工作疲勞。又’對於聚光點S，乃將光罩80作自動傳送之 故，能將罩面整體不會遺漏地作精密檢查。聚光點S由於 被固定之故’檢查人員不必移動視線，而能集中注意力於 僅有聚光所照射之領域。因此，目視檢查之作業效率會提 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21 ο X 297公釐） _ i9 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁}

經濟部中央標準局員工消費合作社印繁 - A7 -----____ 五、發明説明（17 ) 昇之同時，對於檢查精度之提昇亦能有所期待。 又’將罩面之傾斜作周期性變化，即，使罩面如波浪 ，並將光罩80作自動傳送，因此，乃使缺點更容易發現， 而能提昇檢查精度。聚光點S係被固定，而傾斜罩面亦不 移動’是故’當在聚光點及其周面發現缺點之時，不會遺 漏缺點。而將罩面傾斜’使對於罩面之聚光及視線之方向 ’作適宜之改變’就能再度以目視觀察缺。 第2實施例 其次’以第7圖至第9圖說明本發明之第2實施例之光 罩表面檢查裝置1〇〇。 首先’將該光罩表面檢查裝置1〇〇，作概略性說明。 該光罩表面檢查裝置100,如以第7圖之平面圖，略沿著第 7圖之線M-Vi所切斷之截面圖之第8圖，略沿著第7圖之線 IX-IX所切斷之截面圖之第9圖所示，大略具有箱狀之裝置 本體101 ;及配置在其前部之操作裝置1〇2 ^裝置本體丨〇1 ’其周圍以周壁110覆蓋，而上部為開放。在裝置本體1〇1 之内部’配置有用以載置光罩80之檢查台裝置1〇3。在周 壁110之前部形成切陷112，使檢查人員90能觀看裝置内部 之檢查台裝置103上之光罩80。在操作裝置1〇2之上面，設 有接合桿104，於其内部即收納控制裝置1〇〇。 其次，對於檢查台裝置103之構成，再予說明。檢查 台裝"置103，大略為具有：支撐板150; χγ工作台152(在 第7圖未圖示）；支撐臂160,162,164 ;平行鏈桿驅動裝置12〇 以及鏈桿昇降裝置130S(在第7圖未圖示），支樓板15〇，係 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）· - 20 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部中央標準局貝工消費合作社印聚 _406186 Β7· 五、發明説明（18) 利用平行鏈桿驅動裝置120以2點，而收鏈桿昇降裝置i3〇s 收1點，即，合計以3點支撐。在以下即如圖示載置在 標準位置之支樓板15〇上向光罩8〇之水平方向延伸之被檢 查表面上之一點，作辱聚光點s，並將通過聚光點s之直 交3轴令為X軸、γ軸、2軸。即，通過聚光點§之水面内 上，對於檢查人員90，令左右方向為⑽，前後方向作為 γ軸、垂直軸作為z軸。聚光點s之近傍，利用未圖示之照 明裝置，以適宜之角度照明。照明裝置，設在裝置100上 ’或與裝置100分別獨立設計亦可以。 在支撐板150,於其上面形成用以載置光罩8〇之凹部 。支撐板150,係被支撐在χγ工作台152上。χγ工作台152 ，係由結合成略呈τ字狀之支撐臂160 162,164所支撐。即 ，1對之第1支撐臂160，162沿著X軸分別延伸至兩側，而第 2支撐臂164乃沿著γ軸延伸至後方，而各支撐臂 160,162,164乃在Ζ軸近傍互相結合。沿著χγ工作台152之 Υ軸，未支撐其前方之理由，乃在於裝置之小型化以及 欲設有連接在ΧΥ工作台152之支圖示的電纜類之配置空間 。各支撐臂160,162,164之端部，分別經由連接部材 170，172，174 ’可自由轉動地，各自支撑在平行鍵桿驅動 裝置120，以及鏈桿昇降裝置13〇8之縱鏈桿126i28i36s 的上端部。 詳細而言，1對之第1連接部材170，172，係分別以成 為自由旋轉合於，從第1支撐臂160，162之端部分別實設在 X方向之支撐栓161，163，及從平行鍵桿驅動裝置12〇之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公趁） ΖΤ |~1丨-^-I—0f I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 五、發明説明（ 19 A7 B7 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 縱鏈桿126,128之上端部（X轴直角截面略呈^字狀），以平 行分別實設在Y轴之各1對的支撐栓127，129。第1支撑臂 160，162之各支撐栓161，163之軸心與聚光點8，係位於一 直線上。該直線與各縱鏈桿126，128之上端部的支撐栓 127,129的各轴心，係成為各自於一點以直角相交。第2連 接部材174，係以成為自由旋轉分別結合於，從第2支標臂 164之端部突設在γ方向之支撐栓165，及從鏈桿昇降裝置 130S之縱鏈桿136S之上端部（γ軸直角截面略呈1;字狀）， 以平行突設在X軸之1對支撐栓i37。 平行鏈桿驅動裝置120,如第8圖所示，含有配置在χ_ζ 面内之平行鏈桿機構。即，平行鏈桿驅動裝置丨2〇，係具 沿著支撐板15 0以互相平行延伸在χ方向之1對的橫鏈桿 122，124 ’在各橫鏈桿122，124各自之同側的端部i22a,124a :122c, 124c結合為自由轉動，並以互相平行延伸在乙方向 之1對的縱鏈桿126，128,驅動馬達i21a，以及減速裝置121b 。橫鏈桿122，124之中間部1221?，1241),係依設在突設於2 軸之周圍而其截面略呈口字狀之圓柱114的旋轉轴，以自 由轉動分支撐。該等之各旋轉於2軸上之丨點，與z軸以 角相父並且具有平行於γ軸之軸心。縱鏈桿126，128，如 8圖所不，其上端部之支撐栓127，129的轴心，與橫鏈桿122，124之端部122&，124&，122(^，124<:的各結合點之轴心，從 γ方‘觀看時，乃各自成為一直線，並且，使該等之各直 線與z軸成為平行，結合在橫鏈桿122，124。下側之橫鏈桿 124，係經減速裝置121b，而利用驅動馬達以“轉動。在 直第 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) 目故 {請先閱讀背面之注意事項再填寫•本頁)

- - Μ 公 22 經濟部中央標隼局貝工消費合作社印製 406186 a7 B7 ·— — — . .. .__ _ * ' I........ I 丨 五、發明説明I Μ ) 減速裝置121 b，設有凸輪換位器121 C(參照第9圖），能檢 出橫鏈桿124之角度。 鍵桿昇降裝置13 OS’如第9圖所示，含有配置在γ_ζ 面内之鏈桿機構。即，鏈桿昇降裝置130S，係具：沿著 支撐板150以平行延伸在Y方向之橫鏈桿134 ;大約延伸區 在Z方向之縱鏈桿136S;驅動馬達131a;以及減速褒置131b 。橫鏈134之一方的端部134S，乃以球節結合於縱鏈桿 136S之下端’而縱鏈桿136S對於橫鏈桿134，成為能傾動 於所有之方向。橫鏈桿134之他方的端部134b，係依設在 圓柱114之旋轉軸，予以支撐為自由轉動。該旋轉軸，在 Z軸上之一點與Z軸以直角相交，並且，具有平行於χ轴之 軸心。縱鏈桿136S之上端部的支撐栓137之軸心，及縱鍵 桿136S之下端部與橫鏈桿134之端部134S的結合點之軸心 ’係配置在平行於Z軸之同一直線上。橫鏈桿丨34，乃經 減速襄置131b，利用驅動馬達131a轉動。更詳而言，固定 在橫鍵彳干134之端部134b之輸入齒輪135，與減速裝置i31b 輸出齒輪13 IS相咬合，而減速裝置131b*與平行鏈桿驅 動裝置120之橫鏈桿124相干擾。在減速裝置13 lb設有凸輪 換位器13 1 c(參照第8圖）’能檢出橫鏈桿134之角度》 其次’說明平行鏈桿驅動裝置120，及鏈桿昇降裳置 13〇S之動作。平行轉桿驅動裝置120，若驅動馬達πU旋 轉時，就如在第8圖上，以實線或虛線之箭頭所示，下侧 之橫鏈桿124轉動，而縱鏈桿126，128之一方就上昇，他方 下降第1連接部材170,172之一方上昇，而他方即下降 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ·—0裝·

、1T )域格（2公楚 -n - --- 經濟部中央樣準局員工消費合作社印製 406186 A7 B7 11 1 " — _ - 五、發明説明（2i) 。相對之鍵桿122，124，126，128由於結合成為相互平行，因 之’支律板Π0,乃以通過聚光點8之丫軸作為中心而轉動 〇 另方面，鏈桿昇降裝置13〇8，當驅動馬達i3u旋轉時 如在第9圖上之實線或虛線之箭頭所示’橫鏈桿轉動 ，而縱鏈桿i36S就上昇或下降，使第2連接部材174昇降 。因此，支撐板150就在第i支撐臂16〇，162之支撐栓 161,163之軸心，與聚光點s相連結之直線的周圍轉動。 粟詳而言，第2連接部材174，係對第丨支撐臂16〇,162 之支撐栓161,163之軸心，與聚光點s相連結之直線相直交 並且，移動於通過聚光點S之平面内，據由於第丨支撐 臂160,162之支撐栓161，163之軸心，與聚光與8相連結之 直線，乃利用平行鏈桿驅動裝置120，而從水平（χ軸）傾斜 ，是故，第2連接部材174，乃沿著以聚光點s作為中心之 球面’移動於χ，γ，ζ轴方向。因此，連結第}支撐臂i6〇,i62 之支撐栓161，163的轴心，與聚光點S之直線，於水平之時 ，縱鏈桿136S，於Χ-Ζ平面内於垂直方向昇降，但，連結 第1支撐臂160，162之支撐栓161,163之軸心，與聚光點3之 直線，從水平方向傾斜之時，縱鏈桿1368，乃以橫鏈桿134 之端部134S作為中心’一邊傾動，一邊昇降。 支撐板150，由利用平行鏈桿驅動裝置12〇之轉動，與 利用鏈桿昇降裝置13〇s之轉動的組合，並以向上之狀態 上’以聚光點S作為中心’而傾動在所有之方向。即，將 光罩60之被檢查面上之一點（聚光點S)予以固定之原狀， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2H>X：2Si7公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

___406186 五、發明説明（22) 能使光罩80傾動。 其次’說明該裝置100之操作。在支撐板150載置光罩 80之後’利用未圖示之照明裝置照明聚光點s近傍。然後 ，操作操作桿104 ’並對照明領域依序移動光罩8〇，同時 ’觀察光罩80之照明部份。此時，按下設於操作桿1〇4上 端之按鈕100,使操作桿1〇4倒下來，並對應於所倒之方向 使XY工作台152驅動，而支撐板15〇乃於操作桿1〇4所倒之 方向’沿著被檢查面平行移動◊放開按紐1〇6，或將操作 桿104回復至中立位置，即，支撐板150停止。以放開按鈕 106之狀態，而傾倒操作桿1〇4時，即，平行鏈桿驅動裝置 120及鏈桿昇降裝置13〇8就對應於所傾倒之方向而驅動， 而支撐板150就傾動^當操作操作桿1〇4之時的支撐板15〇 的平行移動速度乃傾動速度，係由設在控制裝置1〇8上之 旋鈕’能事先予以設定。 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 又，按下未圖示之自動運轉按鈕時，即，以事先程式 化之所定之圖案，使平行鏈桿驅動裝置120及鏈桿昇降裝 置130S自動動作，而使支撐板15〇作適宜搖動，同時， 工作台152亦自動動作’而使支撐板15G對於聚絲S作適 宜移動，當發現異常時，押下未圖示之停止開關，即，亦 可切換為前述之人工操作之構成。 ,I— —ml · .如上述即構成之本裝置100，與第1實施例之裝置10同 稱’可提昇目視檢查之作業效率，及檢查精度，並且，容 小型化’又，支律板15()之傾動的控制較為容易。即，在 前述之第1實施例的裝置10，雖略呈半球之球體31傾動， ^纸張尺度賴巾_丨G χ 297公着- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 __406186 五、發明説明（23 ) ' 欲作成驅動帶40亦不干換略呈半球之球體31 ’乃需要將驅 動帶裝設用臂36突設在距略呈半球之球體的外側上方，惟 在本裝置100，能將支撐板150之支撐部的連接部材 Π0’172，174，配置在與支撐板15〇略為同一面上。因此， 就容易小型化。 又，在前述之第1實施例的裝置10，係將驅動帶4〇以45 度對著檢查人員配置，並對應操作桿22之縱或橫方向之操 作’而有需要驅動雙方之驅動帶4〇,但，於本裝置1〇〇, 即，對應於操作桿之縱或橫方向之操作，而能構成為驅動 平行鏈桿驅動裝置120 ,或鏈桿昇降裝置13〇3之任一方。 因此，支撐板50之傾動的控制就能較容易。 第3實施例 其次，以第10圖及第11圖說明第3實施例之表面檢查 裝置100X。第3實施例之表面檢查裝置1〇〇又，係與上述第 2實施例之表面檢查裝置100為大略同稱之構成。但，將球 節使用於平行鏈桿驅動裝置，而非用在鍵桿昇降裝置方面 ’即’與第2實施例相異。以下’在同—構成部份就使用 同一符號（號碼）’並以相異點為中心作其說明。 平行鏈桿驅動裝置120s，如在相當於第8圖之第1〇圖 所示，係含有配置在χ_Ζ面内之鏈桿機構。即，平行鏈桿 驅動裝置120s，係具有：沿著支撐板15〇並以互相平行延 伸在k方向之橫鏈桿124 ;在橫鏈桿124之兩端部i24s，124t 而以球節結合成為在所有之方向可自由轉動，並互相大略 為平行延伸在Z方向之1的縱鏈桿126s，128S;驅動馬達1213 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2ΐ〇Χ 297公釐） 26 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .04.

,1T 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 406186 A7 Λ7 ^^----------- B7五、發明説明（24 ) ~ ： '—~ ，以及減速馬達121b。橫鏈桿124之中間部⑶b,利用設 在突-又於Z軸之周圍而其截面略呈口字狀之圓柱之旋 轉轴，支撑為自由轉動。該旋轉袖乃在z抽上之ι點與z抽 、直角相又，並且，具有平行於Y軸之軸心。縱鏈桿 126s’128s、、’里由球節，分別結合在橫鍵桿之兩端部 124s’124t為自由轉動。橫鏈桿124經減速裝置i2ib，並由驅動馬 達121a轉動，而利用凸輪換位器丨…(參照第u圖)檢出其角度。 鏈+干昇降裝置13 0，如第11圖所示，係含有配置在γ_ Ζ面内之平行鏈桿構。即，鏈桿昇降裝置13〇，係具有： μ著支撐板1 50互相平行延伸在γ方向之丨對的橫鏈桿 132，134 ;分別以自由轉動方式結合在各橫鏈杆（132，134) 之同側的端部132a，134a，並延伸於2；方向之縱鏈桿丨36 ; 驅動馬達131a;以及減速裝置13lb。各橫鏈桿132,134之 他方的端部132b，134b，係利用設在圓柱Π4之旋轉轴，分 別支撐為自由轉動，該等之各旋轉軸在z軸上之一點，與 Z軸以直角相交’並且’具有平行於X軸之軸心，縱鏈桿136 ，其上端部之支撐栓137之軸心，與橫鏈桿132,134之端部 132a，134a的各結合點之軸心，從X方向觀看之時，即成一 直線’並且，使該直線成為與Z軸平行而結合在橫鏈桿132,134 。下側之橫鏈桿134經減速裝置131b，由驅動馬達131b轉動。 其次’對於平行鏈桿驅動裝置120s及鏈桿昇降裝置130 之動作作說明。鏈桿昇降裝置130，當驅動馬達13 1 a旋轉 時’在第11圖上之實線或虛線之箭頭所示，即，昇降機構 130下側之橫鏈桿134就轉動，而縱鏈桿136就上昇或下降 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 27 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ;裝_

、1T • —^n —B^d 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 ___4D6186_」？ 五、發明説明（25 ) ’而第2連接部材174就昇降。因此，支撐板150，就在連 結第1支撐臂160,162之支撐栓161,163的軸心，與聚光點S 之直線的周圍作轉動。 另方面’平行鍵杆驅動裝置12〇s，若驅動馬達da旋 轉時，如在第10圊上之實線或虛線之箭頭所示，平行鏈桿 驅動裝置120s之橫鍵桿124就轉動，而縱鏈桿i26s，128s之 一方上昇’而他方就下降，使第！連接部材17〇，172之一方 上昇，而他方就下降，使第1連接部材（丨7〇,丨72)，係在通 過聚光點s’並且，對於連結聚光點s與第2支律臂i 64之支 律栓165之直線，成直角度平面内轉動。 當連結聚光點s與第2支撐臂164之支撐栓165的直線， 從水平（Y軸）傾斜而平行鏈桿驅動裝置12〇s動作（運作）時 ，第1連接部材170,172，乃在與連結聚光點s與第2支撐臂 Ϊ64之支撐栓165之直線直交，並且，通過聚光點s之平面 内，移動於χ，γ，ζ方向’是故，縱鏈桿126s l28s分別以橫 鏈桿124之端部124s，124t作為中心而傾動。但是，支律板 150，係僅容許轉動於χ_ζ面内，乃結合在鏈桿昇降裝置13〇 之縱鏈桿136，並且，利用平行鏈桿驅動裝置12〇s，而使 第1連接部材170,172於Z方向之昇降量之絕對值相等，是 故。聚光點S就不移動。 因此，利用平行鏈桿驅動裝置12〇s之轉動，與利用鏈 桿昇降裝置130之轉動予以組合，即，能將支撐板15〇以聚 光點s作為中心，傾動在所有之方向。 又，本發明並非僅限定於上述之各實施例，其他種種 本紙張尺度適用中國國家梯準（〇叫六4規格（2丨〇'/ 297公#) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ;裝.

、1T 4^6 IS 6 經滴部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（26 ) 之態稱亦為可行。 例如，在第2及第3實施例之裝置1〇〇1〇〇χ，其平行鏈 桿驅動裝置120,120s，以及鏈桿昇降裝置丨3〇，13〇s，均能 以適宜之方法予收驅動。例如，將縱鏈桿126,丨，以汽 筒予以昇降亦可以。或，在第2實施例上，利用鍵桿昇降 襞置13〇a以外之驅動裝置，在連結支撐栓ι61163之軸心 ，與聚光點s之直線的周圍，將支撺板丨5〇轉動之構成亦可 以。又，在第2實施例上，將平行鏈桿驅動裝置12〇之橫鏈 杯122，124的長度，例如，作成一半，而將縱鏈桿126，128 之形狀作成〈字狀之曲折的形狀亦可以。或著，在第2實 施例上，替代鏈桿昇降裝置13 Os ,而以與第3實施例之平 行鍵桿驅動裝置120s，為同稱之構成的第2平行鍵桿驅動 裝置，配置與平行鏈桿驅動裝置12〇成直角，乃以合計4點 予以支撑支撐板150替代合計3點之支撐’亦可以。又，能 將上述各實施例之裝置1〇，1〇〇，1〇(^，使用於光罩以外之 平面體（例如，晶圓）等之表面檢查。又，不限定於目視檢 一 而使用攝影（像）機替代檢查人員’以適用於自動檢查 ，亦為可行。 圖式之簡要說明 第1圖係表示本發明第1實施例之光罩表面檢查裝置的 正面圖及側面圖。、 第2圖係表示第1圖之光罩表面檢查裝置的檢查台裝置 之平面圖。 第3圖係表示第2圊之檢查台裝置的中央截面圖。 本紙張尺度適财_AUm~l〇X291^T) Γ~29~^ —^1 H ?,1 · I ^II (請先閲讀背面之注意事項再填寫本瓦) 、1Τ 獅：86 五、 A7 B7 發明説明（27 第4圖係表示沿第2圖上約IV-IV線之概略圖。 第5圖係表示第1圖之光罩表面檢查裝置，於檢查準備 完了時之概略透視圖。 。第6圖係光罩之表面檢查方法的說明圖。 第7圖係表示本發明第2實施例之罩表面檢查裝置的平 面圖。 第8圖係沿第7圖上之約為M-M線之截面圖。 第9圖係沿第7圖上之約為K -IX線之截面圖。 竽10圖係表示本發明第3實施例之光罩表面檢查裝置 的載面圖。 第11圖係表示本發明第3實施例之光罩表面檢查裝置 的截面圖。 (請先閏讀背面之注意事項再填寫本頁) ) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 30 本紙乐尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格·（ 210X 297公釐） 406186 五、發明説明（28 Μ Β7 元件標號對照表 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 1，11...收納盒 ΙΟ,ΙΟΟ,ΙΟΟχ...光罩表 面檢查裝置 12，101…裝置本體 14.. .搬入門 16.. .檢查窗 20.102.. .操作裝置 22.104.. .操作桿 28.108.. .控制裝置 30.103.. .檢查台裝置 31.. .略呈半球之支撐 體（椀狀） 32.. .略呈半球之支撐 之周緣 33.. .球形軸承(第1驅動 裝置，略呈半球之 支撐體支撐機構） 3 4...抽氣孔 36.. .驅動帶裝課用臂 38.. .驅動帶裝設用具 40.··驅動帶（第1驅動 裝置，2條） 42.48.. .引導滑輪 44.. .張力（拉伸）滑輪 46.. .驅動滑輪(第1驅動裝 置驅動帶驅動麵） 50.150.. .支撐板 51.. .移動領域 52.. .旋轉裝置（第3驅 動裝置） 54.152.. .ΧΥ 工作台 (第2驅動裝置） 54x，54y…引導軸 56.58.. .電源及信號 等之電纜類 60.62.. .第1，第2光源 80···光罩(被檢查平面體） 90…檢查人員 106.. .按鈕 110.. .周壁 112.. .切陷 114.. .圓柱 120,120s 平行鏈桿驅 動裝置(第1驅動裝置) 7Τ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2i〇X297公釐） 406186 五、發明説明（29 ) 121a,131a...驅動裝置 121b, 131b...減速裝置 121c，131c...凸輪換位器 122,124,132,134... 橫鏈桿(第2鏈桿對） 122a，122c，124a，124c ...橫鏈桿之端部 122b,124b...橫鏈桿 之中間部 124s，124t··.橫鏈桿之 端部 126,126s,128,128s... 縱鏈桿 136,136s...縱鍵桿 A7 B7 127，129，137_..支撐栓 130，130s…鏈桿昇降裝 置(第1驅動裝置) 13 Is...輪出齒輪 132a,132b.. 部 134a，134b._^f|^部 134s…橫鏈桿之端部 135…輸入齒輪 160，162，164...支撐臂 (板支撐部份） 161，163，165...支樓臂 170,172…第1連接部材 174…第2連接部材 s."聚光點(轉動支點） (請先閲讀背面之注意事項再填窍本I) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X：297公釐） 32

Claims (1)

1. 經濟部中央榇準局員工消費合作社印裝 AS B8 C8 D8 六、申請專利範圍 L 一種光罩等之表面檢查裝置，包含有： 一支撐板(50,150)，係用以載置被檢查平面體(80); 一光源（62) ’係用以照明載置在上述支撐板（5〇,丨5〇) 之被檢查平面體（80)的被檢查面上之一點（s)及其周圍； 一第 1驅動裝置（33,40,46;120，130S;120S，130)MI、 支撐在固定基座，並以由上述光源（62)所照明上述被 檢查平面體（80)的上述一點（S)，作為轉動支點，而使 通過該轉動支點之上述被檢查平面體（80)的被檢查面 之.法線’能傾動在所有之方向而予以傾動上述支撑板 (50，150);以及， 一第2驅動裝置（54，152)，係將上述支撐板（50，150) ，沿著載置在該支撐板（50,150)，之上述被檢查平面體 (80)的被檢查面，大約成為支交之2方向，予以移動。 2. 如申請專利範圍第丨項之光罩等之表面檢查裝置，其更 含有： 一第3驅動裝置（52)，係將上述支撐板（50)予以旋 轉在與載置在上述支撐板（50)之上述被檢查平面體（8〇) 的被檢查面之法線’相平行之旋轉軸周圍。 3. 如申請專利範圍第丨項之光罩等之表面檢查裝置，其更 包含有： 一略呈半球之支撐體（3 1)，係以由上述光源所 照明之上述被檢查平面體（80)的上述一點（s)，為其中 心之球面作為其外周面，並呈檢狀； 一支撐板（50)，係在上述略呈半球之支撐體（31)之 張从適财關家鮮（CNS ) Λ4規格（210X297公趁) 7"~r-'~~—- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

   經濟部中央標準局員Η消費合作社印策 A8 B3 --------406186_ pi 六、申請專利範圍 中’將上述被檢查平面體（80)支撐為，與該略呈半球 之支撲體（31)之周緣（32)大約為相等之準位； 一第2驅動裝置（54),係用以移動上撐板（5〇) :以及 上述第1驅動裝置（3〇,4〇,46)，及將上述略呈半球 之支撐體（31)沿著上述略呈半球之支撐體（3丨）的外周面 移動。 4·如申請專利範圍第3項之光罩等之表面檢查裝置，其更 再令有： 一第3驅動裝置（52)，係在上述略呈半球之支撐體 (31)之中，將上述支撐板（50)予以旋轉於與載置在上述 支撐板（50)之上述被檢查平面體（80)的被檢查面之法線 ，相平行之旋轉軸周圍。 5·如申請專利範圍第1項之光罩等之表面檢查裝置，其中 ’上述第1驅動裝置（120，1303;1203,130)包含有： 至少3個縱鏈桿（126，128,1363;1268，1288，136)，係 通過上述轉動支點（S)，並在與上述被檢查面略為直交 之基準軸（Z)的周圍，分別配置與該基準軸（z)大約為 平行，並在含有上述被檢查面之平面上，分別予以結 合於上述支撐板或欲支撐上述支撐板之板支撐部材 (160,162,164)； "一昇降裝置，係將上述各縱鏈桿（126，128，136S， 126S，128S，136)，大約沿著上述基準轴（Z)分別昇降； 上述縱鏈桿（126，128;136)中，最少有1個予以配置 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐} 34 -----J.---^—0^ — (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、-*

   經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 成為與上述基準軸（z)平行，並與上述基準軸（z)其同 形成為第1鏈桿時；上述第丨鏈桿時，與配置成為與上 述被檢查面平行之第2鏈桿對（122,124; 132,134)共同形 成平行鏈桿機構； 上述最少1個縱鏈桿（126，128;136)，與上述支樓板 或欲支撐上述支撐板之板支撐部材（160，162;164)，可 阻止上述縱鏈桿（126,128;136)之延伸方向的軸周圍之 相對旋轉。 6.如申請專利範圍第i項之光罩等之表面檢查裝置，其中 上述第1驅動裝置（120,130S)包含有： 一平行鏈桿裝置（120);及 一鏈桿昇降裝置（130S); 上述平行鏈桿驅動裝置（120)具有： 一 1對橫鏈桿（122,124)，係通過上述轉動支點（s) ’並在含有與上述被檢查面略成為直交之基準軸（2;)的 基準平面（X-Z)内’分別以平行配置在上述被檢查面， 而其各自之中間部份（122b，124b)，乃通過上述基準軸（z) ’並且，以與上述基準平面（X-Z)成為直交之旋轉轴作 為中心’並收自由轉動予以結合在上述固定基座；及 一 1對縱鏈桿1(126,128)，係在上述基準平面（X_Z) 内’於上述基準軸（Z)之兩側’分別配置為與上述基準 軸（Z)平行’並以自由轉動分別結合在上述1對橫鏈桿 1(122，124)之兩端（I22a,122c;124a，124c)，又，在含有 上述被檢查面之平面内’以自由轉動分別結合在上述 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0 X 297公釐）

   35 經濟部中央標準局®:工消費合作社印製 A8 B8 __406一86__ 六、申請專利範圍 支撐板或欲支撐上述支撐板之板支撐部材（160 162); 而上述鏈桿昇降裝置（130S)具有： 一 1個橫鏈桿（134) ’係通過上述基準轴（z)，並且 ’在與上述基準平面（X-Z)成為直交之平面（γ_ζ)内， 配置為平行於上述被檢查面，而其一端（134b)於上述 基準平面（X-Z)内’以與上述基準軸（z)成為直交之旋 轉軸作為中心，並以自由轉動予以結合在上述固定基 座；及 一 1個縱鏈桿（136S)，係通過上述基準軸（z)，並 且，在與上述基準平面（X-Z)成為直交之平面（γ_ζ)内 或其近傍，配置為與上述基準轴（Ζ)大略成為平行，並 以自由轉動結合在上述橫鏈桿（134)之他端（134S)，又 ’在含有上述被檢查面之平面内，以自由轉動結合在 上述支撐板，或欲支撐上述支撐板之板支撐部材（164)。 7.如申請專利範圍第丨項之光罩等之表面檢查裝置，其中 上述第1驅動裝置（120S,130)包含有： 一平行鏈桿裝置（120S);及 一鏈桿昇降裝置（130); 上述平行鍵桿裝置（120S)具有： 一 1個橫鏈桿（124)，係通過上述轉動支點（s)，並 在含有與上述被、檢查面大略成為直交之基準軸（z)的基 準平面（X-Z)内’配置成為與上述被檢查面平行，而其 中間部份（124b) ’通過上述基準軸（z)，並且，以與上 述基準平面（X-Z)成直交之旋轉轴作為中心，以自由轉 桃[财關家標準（ CNS ) ( 210X297公釐） ~ I -- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) \裝· >1Τ A8 B8 C8 D8* 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 象紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） 406186 申請專利範圍 動結合在上述固定基座； 一 1對縱鏈桿（126S，128S)，係在上述基準平面 (x-z)或其近傍，於上述基準軸（z)之兩側分別配置成 為與上述基準軸（Z)大略為平行，而其一端分別以自由 轉動結合在上述橫鏈桿（124)之兩端（l24S，124t)，而其 他端在含有上述支撐板，或欲支撐上述支撐板之板支 撐部材（160,162); 上述鏈桿昇降裝置（130)具有： 一 1對橫鏈桿（132,134)，係通過上述基準轴（z), 並且’在與上述基準平面（X-Z)相直交之平面（γ_ζ)内 ’为別配置為與上述被檢查面平行，而各自之一端 (132b，134b)於上述基準平面（χ_ζ)内，以與上述基準軸 (Z)相直交之旋轉軸作為中心，以自由轉動結合在上述 固定基座，而各自之他端（132a，134a)對於上述基準軸（z) 配置為互相位於同一侧；及 一 1個縱鍵桿（136)，係通過上述基準軸（z)，並且 ’在與上述基準平面（X-Z)成直交之平面（Υ·Ζ)内，.配 置為與上述基準轴（Ζ)平行，並以自由轉動分別結合在 上述1對橫鏈桿（132,134)之上述他端（132a,134a)，又， 在含有上述被檢查面之平面内，於上述支撐板或欲支 撐上述支撐板之4板支撐部材（164)，於其延伸方向之軸 周圍的相對旋轉經予阻止之狀態下，以自由轉動分別 結合。 37 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)