TW403728B - Heat treatable, durable, ir-reflecting sputter-coated glasses and method of making same - Google Patents

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40372δ五、發明説明（1 ) A7 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 本發明係有關於噴鍍塗覆玻璃及其製造方法。本發明 更特定係有關於可熱處理並耐用的噴鍍塗覆玻璃，其隈光 控制性能可在廣大範醑内變化，因而可用於建築物、汽車 和住宅。 已知在建築和汽車設計中使用金颶和金羼氧化物塗覆 玻璃已廣受歡迎。如在專利和其它文章中已有大量報告， 這類玻谪透遇操縱塗覆《體糸，通常可Μ獲得相當被接受 的反光度、透光床、發射率、化學抗性、和耐用性，也可 得到預期的顔色。例如，在這方面可參考美國專利编號 3,935,351;4,413,877;4,462,883:3,826,728;3,681,042; 3,798, 146;和4,594,137 •，這只是其中的一部分。 也有清楚的報吿指出，雖然在施加這類塗層已有一些 合理的、可被接受的技術，其中最有效之一，也因此是理 想的，即羼「磁性增強的嘖鍍塗覆」之熟知技術。這一 技術已報告於美國專利第4, 166,018號中，是此課題中被 認可的基本教導。（也參考Munz等人的"Perfornance and Sputtering Criteria of Modern Architectural Glass Coatings”， SPIE 325卷，Optical Thin Filns, 1982， PP. 65-73) 0 雖然有許多己知的層狀醱糸是有效的，然而已知使用 某些舊有的噴鍍塗覆體条能造成的機械耐久性比另一已知 的所謂「熱解」技術的方法能得到的差。然而，相反的功 能是，噴鍍塗覆體系往往比典型的熱解塗覆能獲得較好的 紅外線反射。同時，噴鍍塗覆玻璃通常被認爲比熱解形成 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂 •丨球 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 4 A7 B7 403728 A'發明説明（2 ) 的塗層更具優異的光學和熱蓮作待性，諸如有改良的塗層 均勻性，良好發射性，和較佳的陽光控制特性。清楚地， 若能針對一待定的塗覆鼸糸能設計出一噴鍍塗覆技術，其 中噴鍍塗覆體条之機械耐用性能接近或等於從熱解技術得 到的，而同時又能獲得噴鍍塗覆技術的增加優點，能在技 術上向前遇進一大步。 在美國專利第5,229, 194號，是為「改良的可熱處理 啧鍍塗覆的玻瓖體条」，揭露了某些獨特的層狀體条，在 技術上已逹到此顯著的進步。這些髓条售於工業乃本題目 發明的前技術，比我們在此申請的日期早一年有餘。在下 將對它們有更深入討論。 首先必須說明，近年來塗覆玻璃之滾行導使許多嘗試 來獲得塗覆玻璃物件，它們在熱處理前可被塗覆，其後可 被熱處理而不致負面改變塗層或玻璃本身（即製成之玻璃 物件）的特性。理由之一，例如，在已彎曲的玻璃上獲得 均勻的塗層是棰困難的。眾所通知，舆已彎曲的玻瑰比較 ，在平玻璃表面塗覆後再彎曲，可用簡單許多的技術來得 一均勻的塗層。對建築物和住宅用玻璃，在逭方面確是如 此，對汽車玻瑰更是如此，諸如彎曲的擋風玻璃，近年來 強辋空氣動力效應設計來幫助提高燃料的節省。 過去曾發展了某些技術來製造塗覆的可熱處理之玻璃 物《，然後藉回火、彎曲、或稱為「熱強化j的技術來熱 處理。一般而言，許多這些已塗覆的物體沒有經受在較高 升溫的熱處理來得到所必須的經濟的彎曲、回火、和/或 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） n· 1 —BBBBTeLr n \ HI /.. (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) '11 經濟.郅中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 403728 五、發明説明（3 ) 熱強化（即在1150°F-1450°F)。簡言之，這類技術通常 都不能達到雒持於約1100T或以下來獲得可熱處理而不負 面影«塗層或其底材。 此後者情況，亦邸沒有任何實質上負面影《塗層或其 底材，就是本文術語「可熱處理J的定義之意思。雖然在 某此情況中，在熱處理中某些特性可能有一些變化，在本 文所用「可熱處理」的意思是最終層狀醱条和產品整醱必 須獲得所預期的性能，無論塗覆的玻璃經過一次或數次如 以上討論的熱處理（即，彎曲、回火和/或熱強化）。意 圖藉本發明充分發揮其熱處理性的大部分建築用玻瓖，其 意思是玻璃及其層狀塗料基本上在預熱處理的產品和熱處 理後最終產品之間維持其視覺（光學）外櫬不改變。對大 部分汽車用玻璃，由於熱處理而變佳是可以忍受甚至是所 欲的，只要充分發揮其熱處理性意味箸在底材上所發生的 變化是均勻的，且不依賴於進行熱處理時所用的參數。 在逭方面，美國專利案第5, 188,887號揭露了某些前 有技術的可熱處理塗覆醱条，它們能在前述較高的更提高 的溫度中成功地熱處理來播得預期的效果，雖經回火、彎 曲或熱強化。一般而言，逭些前有技術塗層組合物在一層 狀體条中有其獨特性，它使用一高鎳含量合金作為其金颶 層，在其理想形態中，是用稱為Haynes 214的合金，它基 本上包含 75.45% Ni，4.00% Fe，16.00% Cr，0.04% C 4.50% A1，和0.01% Y(百分率乃重量百分率）。用高錁 含量合金，諸如Haynes 214,並Μ化學計量的氧化錫（Sn〇2> 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 裝---Till· 訂------——Γ 6 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 <i03728 b —-------------- 五、發明説明（4 ) 單播成與其它層（諸如有相同化學計量氧化錫和/或在頂 層Snfh*高鎳含量合金層之間的一中間層鋁）上再塗一層 ，發現在從約1150T-1450T中升溫2-30分中可獲得熱處 理的玻璃物件，但不會實質上降低其顔色、機械耐用性、 發射率、反射率或透光率。因此這些組合物組成明顳嫌於 前技術的可熱處理體条，諸如那些揭露於下列專利中的： 4,790,922;4,816,034;4,826,525:4,715,879;和4,857,094 Ο 附加於上述專利中所作的揭露，也已知有Ley bold擋 風玻璃體糸TCC-2000。在此釀糸中，用四或五層金羼和金 羼氧化物來«得一嘖鍍塗覆的玻璃，它可在溫度高至1100 T作一些熱處理，可用作預塗覆的玻《，用於製造鼙曲的 或不彎曲的擋風玻瑰，條件是熱處理必須是快速並為有限 時間的。從玻璃底材向外的各層通常包括第一層氣化錫、 第二層錁/鉻合金（通常的80/20)，第三層銀、第四層 鍊/鉻合金、和第五靥氧化錫。在相當低上限的熱處理溫 度和時間的，結果之塗層相當較，並呈現不被接納的低化 學抗性，它們實質上只能用於層製的播風玻璃之內表面。 在上述美國專利案第4,715,879號中，其特別的教導 是不能播得其中的層狀鼸条，除非形成一金屬氧化物（例 ，氧化錫）的保護層，其中的氧化物有氧短缺（例，非化 學計董的）。當然，這需要在生產遇程中有謹慎的平衡。 在這方面，熱可處理性也掲露於美國專利案第4,826,525 號。然而在此専利案中特別教導了必須加一層鋁來獲得可 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） » - 着 * ---·------(裝--- 1JI- m、ISJ^^1 m I ,/ i · (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（5 ) 熱處理性能。 在前述美國專利案第5,229,194號中，邸使舆美國專 利5, 188,887所揭霉的比較，前者揭霉了在可熱處理的嗔 鍍塗覆中的明顯進步。在該發明中，發現了在可熱處理噴 鍍塗覆玻瓖範圍內是可Μ獲得獨特的結果，特別是當用於 車輛的有「隠私j窗戶中，若在金羼鎳或高含量金羼錁合 金層被分別的一氧化物或鎳的氮化物或高錁含量合金的底 塗層和表塗層所包圃，且進一步用諸如Sn02、ZnO、Ti02 或其合金氧化物的表塗層。也提到於含錁金羼層的第一表 塗層中可用矽。 逭類層狀鱧条在其理想形態中證明了特別的可熱處理 和防磨損性。然而，雖然發現某些開始時有化學抗性，某 些體条在大量生產時，發現不能通過相當嚴格的5% Hcl 之沸騰抗化學性測試（討論於下 >。雖然表現它們的紅外及 紫外及射特性在廣大使用範國内是優異的，然而進一步， 其可見光透射值對有「皤私的」窗戶是很低，證明太低， 不能真正用於窗玻瑰或用於建築物或住宅之平片玻璃，因 需要具可見光离透射率。因此，當哦鍍塗覆器在用於塗覆 「皤私」窗戶的玻璃片數再要用來完成建築物或住宅的塗 覆玻瑰時，塗覆器必須停用改換，才能使其形成一新的層 狀讎糸。若能避免此停工，則在經濟方面能有顯箸的提高 Ο

在我們共同擁有的，於1992年4月30日提出的待決之 申請糸列07/876,350號，題為「高操作的、耐用的、低一E 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 8 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· A7 B7 403ΪΜ 五、發明説明u ) 玻璃及其製造方法」中，揭露了某些獼特的哦鍍塗覆的層 狀龌条*它們在建築物和住宅中有獨特的應用性，因此它 們不僅具良好的化學和機械耐用性，它們也有陽光控制性 。這些醱糸能恰當地被視為「低-E」玻璃（塗層），因為其 半球狀發射率（En)通常小於約0.16,其檫準發射率（Ε»)通 常小於約0.12從另方面測量，其片電阻理想地小於約10.50 歐姆/平方。另外，在正常玻璃厚度（例，2 mB-6 mm)， 可見光透過率理想地約為78%或更高（與前述可熱處的「 鼸私」玻瑰層狀體糸的某些理想實體之小於約22-23%比 較）。 在前述待決申請条列07/876,350號，現為美國專利第 5,344,718號的發明中，藉使用一層狀體条，它通常包括 (從玻璃向外）一底塗層Si3N«，一第一層錁或鎳合金， 一層銀，一第二層錁或鎳合金，和一表塗^Si3N« ,能播 得獨特之低-E，高可見光透遇率值，並有良好化學耐久性 和抗磨損性。在某些理想實釀後，麕狀體条從玻璃向外， 基本上包括：

Si 3N*/Ni:Cr/Ag/Ni:Cr/Ag/Ni:Cr/Si 3N4 此t層體糸發現較上述五層醱糸有更高耐用性和抗劑特性 。然而在各醴条中，理想的Ni:Cr靥是鎳鉻合金，即80/20 重*之Ni/Cr，而其中鉻的實霣部分是由Cr的氣化物組成 ，因為Ni:Cr層是在含氮大氣中生成的。 不幸地，它們的耐用性、低-E、高可見光透過率的玻 璃層狀體糸證明了不能受熱處理。現在證實此點不是因為 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X2.97公釐） _ Q _ -----------:裝----_；___------祙 .· (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 403728 A7 B7 五、發明説明（7 ) 銀靥之氧化，而是因在熱處理中金羼銪層由於非潤濕而變 為不連鑛的，在此倩況下，在過處理中因Ni:Cr包圍層不 足以保持銀層之連鳙性。因此，即使這些層狀體糸有其它 許多優點*若此層狀玻璃Μ後要藉回火、熱強化和彆曲來 熱處理。不幸地，爲獲得所欲的低-Ε程度，必須使用銀層 經濟部中央標隼局貝工消費合作社印裝 在這方面，必須記得，不是只在汽車指風玻璃技術中 ，可熱處理的喷鍍塗覆層狀有其用處。某些建築物和住宅 也要求塗覆玻瑱經受回火、彎曲或熱強化。更者，前述待 決應用条列第07/876,350號，現美國專利第5,344,718號 的發明中之低-Ε玻璃體条通常不能調節來獲取足夠低的可 見光透過率值使它們可用於有「皤私J的窗戶中，即使它 們是可熱處理的..然而它們是不可Μ的。為此緣故，逭些 低-Ε玻璃體条不能克服前述產品要將条統停工來滿足顧客 對喷鍍塗覆的玻璃產品竇闢陽光控制特性之困難。 綜合上述困難是在喷鍍塗覆室中需要在上述待決應用 糸列第07/876,350號中在層狀醱条中創造一 SiaN*層或許 多層所產生的困難。為獲得逭樣一層，要使用一 Si靶（通 常添加鋁）作為陰棰。然後在含NS大氣中進行噴鍍塗覆* 藉反應產生Si3N4。不幸地，Si3N*是一非導體（從A1添加 劑形成的少量気化鋁，在噴鍍塗覆過程中也塗覆在陽槿上 )。塗覆效率變差，停工時間可能很長。 在我們同時申請的待決申請糸列08/102,585號，題為 「噴鍍塗覆靶和使用的方法」中，揭霉了對此問題的一獨 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1Τ— I - I I I ^ ^1-1 . 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 10 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 403728_b7__ 五、發明説明（8 ) 特解答。一般而言，解答是要創出一陰極靶，它有一預定 量之導電金臑分散在Si中，使在陽棰上生成的氮化物（或 若在嘖鍍塗覆操作中此金靥不生成氣化物）之量足Μ維持 電導率一段長時間，因此避免許多次停工。在此褊入待決 申請的全部揭霉以供參考。 到目前若技術人士希望藉使用Si3N4驪來繼鳙獲得抗 磨損和腐蝕之已知益處，但又希望避免高價之停工，又同 時需要獲得可熱處理性，然而又有在相當廣範園内有不同 的陽光控制性能之適應性而避免進一步的生產停工（為符 合不同顧客之需要），此技匠所面對的是一無法解決的難 題。在這方面，僅靠在Si靶中選擇一導電金羼作為分散劑 (即，添加劑）是不能從本質上解決問題，因那金羼邸使 能克服陽棰塗覆的困雞，郤不能熱處理和/或播得所預期 的耐用程度，和/或陽光控制（包括顔色）特點。 因此，顯然在技術上需要有一噴鍍塗覆層狀醭糸，它 能具有嗔鍍塗覆之優黏，同時能克服上逑之困難和技術上 的障礙。本發明之目的是爲滿足技術上此需求和其它一些 需求，Μ下述掲霉可使技術人士清楚明白。 一般而言，本發明為滿足上述技術上之需要，提供一 玻璃物件，包括一玻璃底材，在其上有一噴鍍塗覆的層狀 醱条，包括從玻瑰底材向外，U) —實質之金羼層，它包 括錁或一鍊合金，包實質上沒有任何氮化物·，和（b)氦化 矽（Si 3N4>之表塗層；其中各層有足夠的厚度，使得當玻 瑰底材之厚度約為1.5 la-13 時，在其上有前述層狀龌 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ n _ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂 403728五、發明説明（9 ) A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 条，如此層狀的玻璃物體是可熱處理的，而其可見光透過 率約為卜80%，其正交發射率（En>約潙0. 10-0.60。在某 些理想的實醱中，（a)靥基本上沒有任何氮化物，在熱處 理前和熱處理後的玻琪物體是耐用的和具化學抗性的。在 本發明的某些進一步理想實龌中，層狀體条不含任何銀層 〇 本發明進一步滿足上逑技術上之需要，它提供熱處理 一塗覆玻瑰物體的方法，它通常包括： a>在一玻璃底材上噴鍍塗覆一層狀體条*包括從玻璃 底材向外一實質上的金颶層，它包括錁或一錁合金；和一 表塗層気化矽；和 Μ此後，使此塗覆的玻璃底材經熱處理，選自組群包 括彎曲、回火、熱強化和其結合；和 c>經此熱處理後，結果物使的正交發射率（En)約潙 0.10-0.60,可見光透過率約為卜80%。 在本發明某些理想實體中，層狀體条進一步包括一底 塗層Si 3N4，而各Si 3N*層包括小量的添加物導霣金屬或因 使用這樣金屬作爲分散劑（添加劑）的結果有導電的金屬気 化物，在嘖鍍塗覆儀器的Si陰極靶中來克服上述由於被非 導雔Si3N«塗覆於陽棰上造成的停工困難。當然添加劑導 電金屬要加以選擇，在最壞情況下，使它對最終產品所預 期的陽光控製或其它物理性質沒有負回的影《。在某些理 想體条中，此添加劑金羼是選自钛、結、給和其混合物。 如前述，此層狀體条理想地由噴鍍塗覆形成，在玻璃 (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁) 裝_ .ΤΓ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 12 -1 〇 經濟部中央標準局員工消费合作杜印製 A7 40»?期--- 五、發明説明（ίο ) 底材上各層有其預需之厚度。雖然玻璃厚底可能有大不同 ，典型的玻璃物體則是浮玻琅型，具厚度約1· 5-13.0 mm (即約0.060”-〇.50”），更通常用約2«11»-6)11111。玻璃可是 染色的或不染色的，或有圖案之玻璃。這類玻璃可以是單 強度型。在本發明某些進一步的理想形態中，對用有傳統 厚度約為4.0 mm的玻璃底材的最終玻璃物件之测量，在經 熱處理後具下列特性； 特 性 範圍 可見光透過率 約 1% -80% 可見光反射率（玻璁一方） 約 4%-55% 可見光反射率（塗膜一方） 約 4% -65% 可見光顔色（玻瑀一方） 銀、白嫌、藍、灰 發射率（正交的，邸E„> 約010-0.60 片霉阻<RS> 約2-250歐姆/平方 限光透過率 約 196-8Q96 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 13 ^^1' I— 1^1 —4_r m n I. 1^1 Bi_l (請先閲讀背面之注項再填寫本育) —、1Τ· 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 40372& ；； 五、發明説明（11 ) 上表顯示本發明體糸能適應於滿足廣範園陽光控制之 痛求。 透光率和反射率是在Illuminant C，2°觀察角的記 錄。在許多用途中，正交發射率（En)之更理想範圍納為 0.15-0.35。在許多用途中，片電阻之更理想範圍約為15-35歐姆/平方。 本發明的最理想形態中，結果之物件和其層狀體条在 熱處理前和熱處理後都呈現優異的化學抗性和耐久性（即 ，抗磨損或抗刮傷）。 「化學抗性」之测定是將物件的2”X 5”試樣在約500 cc的5% HC1中煮沸（即，約220°F>約1小時。此1小時煮 沸後，物件上沒有直徑超過0.003”針孔的，視此物件試驗 合格。「耐用性」是經過二試驗來測定，第一是一傳統的 Taber磨損器試驗，用一 4”X4”試樣，在兩MC.S. 10F磨 擦輪上各連於500 g重置，並轉動週數為300轉。用一4”x 4”試樣，在兩個C.S. 10F磨擦輪上各連於500 g重量，並 轉動週數爲 300 轉。用一 Pacific Scientific Abrasion Tester(用1”尼龍刷，鬪筒狀刷過塗覆層，在一6”x 17”試 樣上以150 g重量，週數為500>來進一步試驗其耐用性。 在兩試驗中，以肉眼在可見光下若無實質上可見的刮痕出 現，則視試驗合格，稱此物件為耐用的。 本發明理想形態之透射特性，如上述以習用Illu«inant C，2°觀察角測定所示，所用玻瑀底材約4 mm。在本發明 理想形態的意義内，「可熱處理」是指熱處理後透射率（ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X2.97公麓） - -* - ^n· Lr— ml n i aaaa—9 in an—- ^^^1--eJ (請先聞讀背面之注$項再填寫本頁) __40372^五、發明説明（l2 ) A7 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印裝 可見光和陽光）之改變不應超過20%，理想地小於約10% 。最理想的是改變小於約2%。另外，在本發明最理想形 態的意義內的「可熱處理」，在熱處理時，其片電阻之增 加不應超過約10%。理想地，它完全不增加，而最理想是 在這樣熱處理時略爲降低。 進一步解釋Μ上特性，術語「發射率」和「透射率」 在技術上已為熟知，本文所用乃按其熟知之意義。因此， 例如*本文中術語「透射率」意指陽光透射率，由可見光 透射率、紅外能董透射率和紫外線透射率組成。總陽光能 透射率通常是由這些各別值之權重平均。對臁於這些透射 率，本文所報告的可見光透射率是藉禳準llluninant C技 術，2°觀察角，在380-720 ηπι來描述；紅外則是800-2100 nm;紫外是300-400 nm;而结陽光是300-2100 me。然而 ，對於發射率，所用的是一特定的紅外範圍（即，2,500-40,000 nm)，以下會討論。 可用已知習用的技術測量可見光透過率。例如，用一 分光光度計，諸如Beckman 5240 (Beckman Sci. Inst. Corp.)，可得到各波長的透射率之光譜曲線。然後用ASTM E - 308「用CIE条統來計算物體顔色之方法」（Annual Book of ASTM Standards, Vol. 14.02)來計算可見光透射率。 若希望，可以用比預定較少的波長點數。測量可見光透射 率的另外技術是用一分光計，諸如市面可賺，由Pacific Scientific Corporation製造的 Spectragard的分光光度 計。此設備可直接量得並報告可見光透射率。 (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁) '裝· -球 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 15 五、發明説明（13 ) A7 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印装 「發射率」（E)是在給定波長光的吸收率和反射率之 特性。通常由下式表之： E = l-反射率__ _膜 對建築物而言，在紅外光譜，即約2,500-40,000 ηπι 的所謂「中段範圍」有時也稱爲「遠段範圍」，發射率值 是相當重要的。在本文中所用術語「發射率」用來指在此 紅外範圍内測董的發射率值，如1991 Proposed ASTM Standard所特定的測量紅外能量來計算的發射率，由Priaary Glass Manufacturers' Counsil 提謙的，並命題爲「用頼 射度計測置建築物用平板玻璃產品之量度與計算發射率之 測試方法」。此檁準及其條規在此编入以供參考。在此檷 準中*發射率分解成二鵪組份，半球狀發射率和正交 發射率（En)。 澜量造些發射率值的數據之正確累積是傅統的，可Μ 用，例如，一 Beckman型號4260之分光光度計，用「vw」 附件（Beckman Scientific Inst. Corp.)來進行。此分光 光度計測量不同波長之反射率，從此测置，按前述1991 Proposed ASTM Standard來計算發射率，在本文中纗入Μ 供參考。 本文中所用另一術語是「片電阻J 。「片II阻」是技 術上熟知之術語，本文乃按其熟知的意義應用。一般而言 ，此術語指當一霣流通過層狀鼸糸時，玻璃底材上任何平 方的層狀艤条中之電阻歃姆。片電阻能表示此層狀體反射 紅外能量的能力，因此常與發射率一同使用來作爲此特徴 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝- 、·ιτ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 16 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 403728 A7 B7 五、發明説明（l4 ) 之量度，在許多建築物和汽車玻璃中是很重要的。通常用 一4酤澜試霉棰歐姆計能方便地量得「片電阻」，如用可 分配的4點電阻率测試霉棰與一 Magnefro· Instrunents Corp.頭，型號 M-800，由 Santa Clara，California 的 Signatone Corp製造。 本發明現對照其某些寶鼷加以詳述，如M下的討論， 並按下匾說明，其中： # 中： 說明

Si3N* = —層包括至少約90%的氮化矽 N i=金屬嫌 M =—含錄金羼層，其本上不含該金羼之任何気化物 M/〇 =—層，其中在含鎳金羼層中發生了很小量氧化反應 ，該層基本上保持無任何金羼気化物 M0X =此層是化學計量的氧化的金屬 玻璃=玻璃底材（也即在圖7中的”G”> W2 =第一洗灌器 Wf第二洗灌器 T=隧道 C =傳送帶 F =室分離器壁 和其中，_ 1-6是部分截面圓，其中： 第1A園圖示依照本發明的一兩層體条； 第1B醒圏示第1A圏的層狀豔条，它有一氮化矽底塗層 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )八4規格（2!0X297公釐） _ _ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 11I* 装— — ^^I^ 訂—---- 五、 403728 A7 B7 發明説明（15 ) 經濟部中央梯準局負工消費合作社印裂 第2A圓圃示依照本發明的另一兩層體条； 第2B圖圖示第2A圔的層狀體糸，它有一氮化矽底塗層 第3A匯疆示依照本發明的一四層體条； 第3B圃鼷示第3A圔的層狀體条，它有一隽化矽底塗層 第4A圓麵示依照本發明的一五層體条； 第4B園圏示第4A圈的五層鼸条，其中金羼” Μπ是部分 氧化的； 第5Α_圖示依照本發明的另一二層體条； 第5Β圖圖示第5Α圖的兩層體条，它有一氮化矽底塗層 » 第6圓画示依照本發明的一九層體条； 第7圖是適用於製造本發明塗覆玻璃物件之習用Airco 5室噴鍍塗覆器。 其些窗«夕註诚 本發明所考慮的，如圖示（例，第1A-6圖）的層狀體 条是可熱處理的，是如在上定義的該術語之含意内。如上 進一步所述，在其理想形態中，熱處理真正能改良物體， 提高其IR反射率（例，由片電阻Rs之降底來表明）。 發現了要獲得此可熱處理性能，每層須有一肯定的厚 度，它通常具連繙的本質。任何特定層之厚度，或體糸之 整匾，只要各曆實質上是連繙的，可依用於各層之材料， HI m 1 ^^1 m (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) flu ---^--^訂------丁—·1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 18 _ 1 0 _ 403728 A7 B7五、發明説明（l6 ) 所使用的熱處理、在體条中層的數量、和最終產品所預期 之特性，在寬廣範圍内可作變化。然而，一般而言，對大 部分要考廉的目的，發現下列厚度範圏可有最佳結果： 厘麻（& )

Si3N4(表塗層） 10-750 Μ(錁或嫌合金> 50-300 ΜΟχ 50-100 Μ/0 50-500 Ni/SiaN* 50-300 Si3N4(中間層> 500-1200 Si3N4(底塗層） 10-750 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本發明的一悃重要方面是用気化矽（Si3N4>作爲體条 的一層或數層。在此方面已知有多棰形態的含《化矽材料 可用作在層狀體条中能提供磨損和抗腐蝕的塗覆材料。例 如，參考美國專利第 4,769,291:5,062,937:4,954,232; 4,948,482和4,680,742號。本發明利用Si3N4—層或多層 的這些有利性霣。然而，附加的，它是播特的，相當令人 驚訝的本發明發現了當這樣的Si 3N«—層或數層與其它經 選揮的金靨組合成為層狀體条的一特定組群的，逭些層狀 臁条能達到同時能被熱處理的高度期望之特擞。更進一步 ，也驚訝地發現，透過協合作用或某一其它未知機理，SUN* 與這類經選擇的金屬層共同來製成埴些層狀體条時，在化 學抗性上有顯著的改良，特別是與前述美固專利第5,229, 194號的前有己知的有两高Ni含量的層狀臞条比較。 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） -1 9 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 403726_b7__ 五、發明説明（π ) 本發明之應用中，相信與Si3N4結合使用的金屬（作為 M、M/0和/或ΜΟχ >應從相當小的組群中加Μ選擇才能獲得 預期的結果，即可熱處理性、耐用性和化學抗性，同時又 能獲得所需之顔色和預期的陽光控制性能。雖然這類組不 再限制於高錁含童合金，例如在美國專利案第5, 188,887 和5,229,194號所認為的，然而此金屬應是鎳或有至少約 為10%重量錁之含錁合金，因為純鍊不易噴鍍。理想的是 一鏵合金，在此方面，這類合金理想地包括有足量之絡， 使體条成為非磁性，因而更易噴鍍。 在這方面，本發明一令人訝異的特點是Μ前相信的基 本限制，邸使用高錁含量合金（或純鍊〉來逹成可熱處理就 不再必要，當與一層或數層Si 3Ν«結合使用時。雖然使用 至少一含錁層仍為重要，但不必要是高錁含董合金。雖然 在含鍊層中能容讓有少量或次要量之氧化反應，然而對本 發明，含鍊層必須保持基本上不含任何気化物仍是一必要 條件，爲了滿足最重大需要中有足夠的化學抗性。在此方 面，雖然在大多數情況中，気化物並不明顯干擾可熱處理 之速成，但發現了形成這樣的気化物會降低化學耐久性， 可以前述5% HC1煮沸試驗中發現。 如上說明，含錁層可Μ實質上是全部錁，但更理想是 一簡單的Ni/Cr合金。在此發現適用的這樣一組的合金之 例是相當多的不锈銷，其中錁含量可低至約10%重量錁（ 例，SS-316，其中10%Ni，和其它90%主要是Fe和Cr)。 當然在本發明中適用的仍然是离錁含量的Ni/Cr合金。它 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ^^1- HL^ amtmte ι_ϋ i ^^1 ϋ (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁) 訂 A7 B7 403728 五、發明説明（is ) 們包括80/20重量Ni/Cr，和Haynes 214合金，其欞稱重量 組成主要包含： 元寰 (妁）窗噩沉 Ni 75.45 Fe 4.00 Cr 16.00 C 0.04 A1 4.50 Y 0.01 (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁) 装· 適用於本發明應用中的Ni/Cr合金之其它例包括Inconel和 錁鉻合金。然而一般而言，在本發明考盧中，舆Si 31層 組合使用的金颶層包括至少約10%重量之鎳，且這些層中 至少有一層必須基本上是非氧化的形態（或只進行很少量 的氧化反應），並理想地基本上不含氮化物Μ致能有最大 的化學抗性。 參照示，第1Α圈和第1Β圔圔示本文考慮的可熱處理 層狀體糸之一個特定型。在此二圖中，藉哦鍍塗覆（例， 至厚度約50至300A )形成基本上不含任何氧化反應或氮 化物的含錁金屬”M”。在第1A圖中，以SUN*嗔鍍塗覆此金 羼，成為其表塗覆層（例，約至厚度為10至750A)。在第 1B圖中，一底塗層Si3N4先嗔鍍塗覆於玻瑰底材上（例， 主厚度約爲10至750A> 。 第2A圃之層狀醍条相似於第1A圈之層狀體条，第2B圓 之層狀臁条相似於第1B画之層狀體条，除了Μ ”M/0”符號 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 403728 A7 B7 五、發明説明（19) 表示出，雖然在金屬層中存在著已形成的小量氧化態，仍 然可播得一能被接纳的可熱處理之層狀體条。雒然未經精 確定置，在某些情況中邸使在噴鍍塗覆氣體中有高達約15 %氧是可Μ忍受，仍然能達到本發明所預期的結果。此層 之厚度分別舆第1Α園和第1Β_中相同。 第3Α圔和第3Β_顯示依照本發明的同一族的層狀體糸 。在此，無論是僅M Si3N*表塗覆（第3Α圏）或另外Μ化學 計量的Si3N«作底塗覆（第3Β圏〉於包園在基本上為金羼層 M/0之金羼氧化物層M〇xl。噴鍍塗覆的各層厚度仍按上所 給的指示之内。 第4A團和第4B圈蘭明本發明所考慮的另一族層狀體糸 。在此兩層金Λ”Μ”，或稍撤氧化的金颶”M/0”是分開的， 被呂卜“層所包圍。再次，噴鍍塗覆的各層厚度在上給的 指示内。 第6_是一組合的第3Α、Β圃和第4Α、Β圖族之混合， 其中有兩金羼層Μ/0，各被化學計量的氧化物層Μ〇χ所包圍 ，它們又被三層Si3N*包圍。再此各層厚度經嘖鍍塗覆至 上给的指示内。 第5A圈和第5B圖的提出是依本發明的另一族層狀體糸 。在此金羼層經表塗覆（單獨的，第5A圔）或具選擇也有Μ Si3N*底塗復（第5Β圖 >，如在其它族中。然而在此實體中 ，基本上純的錁與Si3N*混合作為分別的金羼層。此中間 層Ni/SUN*層在某些情況中能獨特地用作獲取預期的陽光 控制特性，然而仍然高度耐用、可熱處理、並抗磨損。在 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X2.97公釐） (請先Η讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝

.1T 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 403728 五、發明説明（2〇 ) 此理想資體中Ni之重量百分率約為80-90%，其餘的是Si3N, Ο (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁) 本發明的層狀體糸可藉習用之嘖鍍塗覆技術來形成， 例如用一習用的嘖鍍塗覆機，諸如已知設計的Airco-Temescal 多區噴鍍塗覆機。然而有一理想的方法來生成本發明的塗 層是用播特的技術和祀，如在我們待決的應用糸列编號 _所掲露的，它乃舆本文同日期申請的，題為「嘖鍍 塗覆靶及其使用方法j 。在此编入此待決申請的全部掲露 以供參考。一般而言，在此待決申請中所掲»的，使用一 播特的噴鍍塗覆靶生產Si3N*層來克服Μ—非導電層（例 Si3N*)來塗覆曝極的困難。能完成這點是藉在Si靶上均 勻混合少量的另一元素，它能賦予形成的最終層（和因此 在陽極上形成的層）導電性一因此滅輕技術上普饉存在的 為修復陽極而停工的問題。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本發明目檷之實用中，在層狀體条中期望有可熱處理 性、陽光控制性、耐用性和抗磨損性的特性，必須仔細灌 擇在靶中與Si共混的導電元素而不致破壊最終形成的Si3N4 層之目的和特性。因此，在本發明的應用中，對大部分所 考慮的體条，理想地所用的導電元素是限制於小Μ的，通 常是少於約10%，理想地少於約5%。進一步逋類元素通 常應為高度抗氧化的。能使用的金屬是諸如金、鉑和錁。 然而，理想的，在此考康的大部分目的可用金屬呔、錐、 路、給及其混合物。這些元素是理想的，因它們通常生成 的気化物是導電的，並也在光學上和在機械上不會干擾（ 23 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 403726_B7_ 五、發明説明（21 ) 並能相容於）主要的SUN«材料。然而它《生成蕉化物的 程度，如此生成的気化物之量也必須是最低的。相信這些 金羼生成任何矽化物之程度它只是一中間體，它會快速分 解成其對應的《化物，但在任何情況中是與Si 3N4相容的 ，且不在光學上或機械上會干擾Si3N*，在此程度內它可 留下。 在此所用特別理想的靶是一 Si靶添加的5%钛。發現 結果所生成的層（例在第1-6圓中所圖示的Si3N4)包括約 95%Si3N»，其餘為氦化钛。發現比小量的氦化钛並不干 擾本發明應用中所預期的光學、機械、化學、顔色或可熱 處理的特性。更者，相似的，約為相同量的錶、鉻或給的 氮化物對獲得產品效率的目的上，也是能忍受的。 本發明現將以其某些對應實例作詳述： m 下列層狀體糸是用矽靶（添加5%鋁）和如所示的習用 噴鍍塗覆技術經嘖鍍塗覆在透明玻璃底材上的。所用的化 學測試和耐用澜試如上逑。例示所用的熱處理是一典型的 回火遇程，將試樣經受1265T (6581D )5分鐘。熱處理試樣 是3”x 3”或4”x 4”正方形。 fiLL· (前有技術之例） Μ噴鍍塗覆形成一前有技術之例的雇狀體条，諸如羼 於我們前述美画專利第5,229, 194號範醻中的。如此形成 的層狀體条，從玻璃向外是Sn0z/M0x/M/0/M0x/Sn02，其 中M=Haynes 214合金。產品顯示優良的可熱處理性和其Rs 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 装· 訂 Α7 Β7 五、發明説明（22 ) 爲79歐姆/平方。然而在熱處理前5分鐘和熱處理後12分 鐘它不能通過抗化學測試（即，5% HC1在220°F煮沸1小 時）。它能通過Taber磨損試驗，在旋轉300次並熱處理前 ，透光率改變為7.6%，而在旋轉300次並熱處理後，透光 率之改變僅為1.2%。此點證明它有相當被接納的機械耐 用性。若不顧其藉煮沸試驗所測定的相當低的化學抗性， 此前有技術的塗覆醱条能證明有優良的可熱處理之塗層， 在需要十分低可見光透過率的許多應用中，這種化學抗性 只有很少相關的或是無闢的。逭類應用之一例是在汽車的 「皤私」窗戶中。在逭方面此前有技術例證之可見光透射 率約為23% 〇 俐 2-24 現爲了比較，Μ棲準的噴鍍塗覆技術來製備一条列的 層狀膜，其厚度在上逑指示内。結果如下： ---k---^----装-----_一訂 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 25 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）

40372S Α7 Β7 五、發明説明（23 )

例： 钃號 層狀饈系 爇處理 酸煮沸 2 SNO2/214〇X/214-0/214OX/SNO2/Si3N<1 F F 3 SNO2/214〇X/214-0/214OX/Si3NA P P 4 SNO2/214OX/214-0/214〇X/Si3NA/SNO2 - PP 5 Si3N^/214〇X/214-0/214OX/Si3NA P P 6 Si3NA/214/Si3N4 P P 7 Si3N^/214-N/Si3N4 P F 8 Si3NA/214-N/Si3N4 P F 9 Si3NA/214-N/Si3N^ P F 10 513^/214/5X3^ P P 11 Si3N4/214OX/214-0/214OX/Si3N<1** 12 513^/214/513^/214/513^ PP 13 Si3NA/214/Si3N^/214/Si3N<l PP 14 Si3N4/214OX/214-0/214OX/Si3NA/214OX/ 214-0/214〇X/Si3N，i P P ζ’ Si3NA/214OX/214-0/214〇X/Si3N4/214OX/ 214-0/214OX/Si3NA P P is Si3N<,/214-0/Si3N<1 P P 17 …Si3NA/Ni/Si3N4 P P 18 Si3NA/Ni/Si3N^/Ni/Si3N« P P 19 Si3N4,/Ni/Si3N4/Ni/Si3Nll P P 20 21 22 23 2 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 装.

、1T 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 % si3N^/SS-316/Si3N4 Si3N4/SS-316/SN〇2 Si3N,/(80/20)/Si3N, * …SiA/ieOpOJ-O/Si；^ Si3NA/(80/20)-0/Si3N4

P F P P P

P P P .11 驗通過 *PP=熱處理前和後皆通過試驗 *F =試驗不通過 **試驗此層狀體条，在熱處理前和後皆通過Taber試驗 、 , ***此層狀體糸呈現低透射率特性（Εη = Π) ****80/20是 80% Ni和 20% Cr (重量）之一合金 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 26 403728 五、發明説明（24 ) 上表中例22-24 (在此M2A、B、C報告）Μ下列方法 藉ILS-1600 Airco噴鍍塗覆機用5/32”透明玻璃生成。所 用條件如下： wm 编號 涵丨 馬達推》 逮度％ 陰極參數 鹾極下 伏特 L «鍍1力 [G 1 ί能程度 轚壓負荷鎖 電能 KW DC 安培 1 Si3NA 35x16 7.0 420 2.9 7.0 424 5-5x ίο-4· 2A 80/20 35x2 8.5 473 4.0 8-7 477 5 . Ox 10、. 2B 80/20 一 0 35x2 8.5 486 4.2 8.7 490 5.3x ΙΟ'4 2C 80/20 -0 35x2 8.5 501 4.2 8.7 503 1 5. Οχ ίο·1· 3 Si3N4 35x8 7.0 424 2.9 7-0 426 ΙΟ"6 操作線 编號 膜層 *本1；6 IG 氣體1: Ar 氣體 2: N2 <〇2) 流速 (seem) 電容壓力 計 流速 (seem) 電容壓力 計 1 Si3N, 4.1xl0—6 1 25 5.5x10'a 25 8.8xl0'4 2A 80/20 2.0χ10'6 40 6.9x10'a 2B 80/20-0 1-SxlO'6 40 7.1x10"a 3 (〇2) 7.5x10_a 2C 80/20-0 2.0x10"* 40 7.1x10'* 6 (〇2) 7.8x1ο'4 ^_ Si3NA 2.5xlO~6 25 5/8x1-'* 25 9.-0x10、 ••仇 —— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 例24在熱處理之E„(在10撤米）是0.34而Rs是58. 1。熱 處理後Rs是28.0，而£„是0.23。熱處理前和後之Illuminat C 2°觀察角值如下： 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 27 五、發明説明（25 ) A7 B7 執廉理前：_ TY 19.42 RGY 16.11 RFY 34.48 X .2873 X .3259 X .3459 y .2967 y .3255 y .3556 a -1.24 a -1.87 a -0.96 b -6.77 b -3.53 b +15.11 雜dt理後： TY 26.28 RGY 12.61 RFY 28.36 x .2869 X .3209 X .3558 y .2986 y .3173 y .3641 a -2.17 a + 2.58 a -0.41 b -7.04 b + 1.19 b +17.54 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央榡準局員工消費合作社印製 發現所有三個產品皆為可熱處理的、耐用的和具化學 抗性的。 上表例17是用相似條件在5/32”透明玻璃上形成的， 操作條件之稍撤改變示於下，並製成三値試樣a、b、c。 噴鍍錁層包括M10% 〇2加熱10分嬗開始，然後關閉。所 有試樣皆爲可熱處理的、具化學抗性的和耐用的。操作條 件如下： 捧作猱 涵 s本壓力 IG MIS 1: Ar 氣體2: Ν2 流連， (seem) 霣容壓力 計 流連 (seem) 霣容颳力 計 Si3N4 7.8xlO'6 25 4.8xl0'4 25 7. lxlO'4 2a Ni 6.0xl0'6 80 Ι.βχΙΟ'3 2b Ni 8.4xl0'6 80 1-6x10—3 2c Ni 2.2xlO*6 80 Ι.βχΙΟ'3 3 Si3N4 8.4xlO*6 25 5.4x10、 25 8.2xl0'4 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 28 403726 A7 B7 五、發明説明（26 ) 编號 mm 速度％ 陰極參數 陰極下 伏特 噴鍍壓力 IG 1 % t能量 黾壓負荷親 電能 KW DC 安培 Si3N， 35x16 7.0 422 2.9 7.0 425 4.5x 10-4 Νζ/ 2a Ni 35x1 8.5 562 5.3 9.5 564 8·8χ 10^ 2b Ni 35x2 6.0 543 3.8 7.0 545 8.9x 10'4 2c Ni 35x2 7.0 547 4,1 7.5 550 7.5χ 10、 3 Si3h 35x8 7,0 429 2.9 7-0 428 4.3χ 10"^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 装_ 對例17試樣C，在熱處理前和後都測定其Illuminant C，2°觀察角值，報告於下： 熟廉理前：

、1T 經濟部中央標準局員工消費合作社印策 熟虚理後： ΤΥ 23.48 RGY 12.74 RFY 31.94 X .2847 X .3369 X .3418 y • 2948 y .33444 y 3499 a -1.56 a -2.27 a -0.47 b -7.97 b + 6.02 b +12.77 ΤΥ 22.44 RGY 14.45 RFY 32.41 X .2835 X .3370 X .3390 y • 2932 y .3367 y .3461 a -1.41 a + 1.78 a -0.17 b -8.37 b + 6.72 b +11.48 熱處理前片電阻23.5,熱處理後為17.0。熱處理 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2IOX297公釐） 29 A7 403728_B7_ 五、發明説明（27 ) 前正交發射率（E«〇為0.24,熱處理後爲0.17。例17為可熱 處理的、耐用的和具化學抗性的。 現參照上表中例11，按下列條件以嗔鍍塗覆機在一 8”x 8”的5/32”厚透明玻瑰上形成： 操作線 编號 膜暦 基本壓力 IG I 氣體Ar 氣體2: Ν2 氣髏3: 02 流速 (eccm) 電容壓力 計 流速 (eccm) 電容壓力 計 流速 (eccm) 電容壓力 計 1 Si3N4 32xlO-6 25 4.7x10'* 25 8.0x10** 2 214〇X 1.3xlO*6 10 1.4χ1〇·* 40 5.2x10** 3 214-0 2.6xlO·6 40 64x10“ 3 6.4x10'* 4 2140X l_4xlO·6 10 1.4χ1〇·* 40 5.3x10"* Si3N4 3.2xlO"6 25 4.7χ1〇·* 25 8.0x10** 諸作绨 编號 Ml 惠1推齡 速度％ 陰运赛_ _陰極下 伏特 嘖鍍壓力 IG I % fSill 罨ISA荷 鋇 霣能 KW DC 安培 1 Si3K, 35x16 7.0 429 3.0 7.0 430 5.3xlO*4 2 2140X 35x2 7.0 333 2.4 7.0 335 3.6x10'* 3 214-0 35x2 6.5 427 3.9 9.1 429 3.9x10'* 4 2140X 35x2 7.0 332 2.3 7.0 335 3.6x10"* 5 Si3N4 35x0 7.0 430 3.0 7.0 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -_ 裝· 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 熱處理前片霣阻為82.6,熱處理後爲46.1。熱處理前 正交發射率（E„)爲0.48，熱處理後為0.33。在熱處理前和 後，111. C 2°觀察角數據列於下： 執盧理前： TY 26.04 RGY 12.29 RFY 29.27 X .2869 X .3319 X .3436 y .2958 y • 3327 y .3527 a -1.17 a + 1.40 a -0.74 b -7.76 b + 5.15 b +13.30 ^張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 30

40372S A7 B7 五、發明説明（28 ) 熟at理後 TY 28.34 RGY 11. 54 RFY 26.69 X .2895 X .3321 X .3395 y .2988 y .3341 y • 3472 a -1.34 a + 1.09 a -0.31 b -6.88 b + 5.32 b +11.09 熱處理前Taber試驗顯示改變7.6%。熱處理後之改變 僅為1.2%。製得之產品是可熱處理的、耐用的和具化學 抗性的。 從上表的例12和13, Μ相似方式生成，並顯示優異的 可熱處理特性和優異的化學抗性。例12是暗色的，例13則 否。操作條件如下： (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局®c工消費合作社印裝 對試嫌12和二老 操作線 编號 腠層 *本歷力 IG I 氣磨1: Ar 氣體2: N2 mm (eccm) 電容壓力 計 流速 (seem) 電容匯 計一 Si3N« 3.4xlO_6 25 4.7xl〇*4 25 8.0x10** - 2 214 1.6xlO'6 40 6.0x10'' 3 Si3N4 1.3X10*6 25 4.6xlO'4 25 8.0x10** 4 214 1. lxlO*6 40 6.3xlO*4 5 Si3N4 9.8x10” 25 S.OxlO·11 25 8.2xlO'4 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 31 A7 B7

五、發明説明（29 )

k搛ΐϋΓϋΤ^·—b代之 1操作線 编號 膜層 鳥途推勳 速度％ 陰極參數 陰極下 伏待 噴鍍壓力 IG I % 賴量 霣豳負荷 m 霣能r KW DC 安培 1 Si3Nt 35x16 7.0 430 3.0 1 7. 1 432 4.8x10'* 2A 214 35x2 5.0 396 2.6 6.4 401 3·9χ10_… 4.0 m [ 214 35x2 4.3 376 1.S 4.6 379 4.1x10** St3N4 35x8 7.0 431 3.0 7.0 434 4.6x10** 4A 214 3Sx2 5.0 398 2.6 6.4 397 3.9x10·* -4.0 4B 214 35x2 4.3 376 1.8 4.6 379 4.1x10*' 5 35x8 7.0 431 3.0 7.0 433 4.8x10、 例2R (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

In all·· · 裝· 適用於建築物或汽車的一塗覆玻璃物件，它由一生產 型嘖鍍塗覆機，使用一典型的5/32”浮玻璃和MHaynes 214 作為金屬”Μ”來生成。第1B圜代表結果之層狀體条，其中 SiaN*底塗厚度約為550Α，Haynes 214層厚度約為100Α ，而Si 3 N*表塗厚度約為275 A。所使用的如第7画所示之 習用AirC〇(S〇lar產品卜Tenescal多區建築用噴鍍塗覆機 ，其各部分則在下例26中有更詳細之敘述。操作條件如下

.IT 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0><297公釐） 32 403728 五、發明説明（3〇 ) A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 C塗覆运 陰極#. 材料 mm. 安培 電能(KW) 1 1 Si 417 60.7 25,3 2 Si 428 97.7 41.8 3 Si 412 97.0 40.0 4 Si 419 69.8 29.2 5 Si 409 90-0 36.8 6 Si 448 92.9 41.6 7 Si 415 70.7 29.3 8 Si 417 42.5 17,7 9 Si 431 86.3 37.2 10 Si 416 81.6 33.9 11 Si 420 86.3 36.2 12 Si 430 90-4 38.8 3 31 214 469 36.9 17.3 32 214 462 36.7 17.0 33 214 463 36.1 16.7 4 19 214 426 18.9 8.1 5 25 Si 402 30.9 12.4 26 Si 433 66.1 28.6 27 Si 410 7 5-1 30-8 28 Si 418 49.9 20.9 29 Si 452 70.8 32.0 30 Si 424 71.3 30.2 ^11 —n nl· ( Ha n(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 33 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 403728_ 五、發明説明（Μ ) 區城1 氣體 氬和気 氣體比率 80% Na ； 20% Ar 氣體流速 1448 Ν2 ， 365 Ar 節流 10% 流速比率 A B C D E 21 29 0 29 21 (96) 壓力 2. 〇x 10'3 Torr 區城2 氣體 氬和気 氣體比率 80% ; 20% Ar 氣體流速 1856 Nz . 433 Ar 節潢 9% 流速比率 A B C D E 24 26 0 26 24 {%) 壓力 2. 1 x l〇-3 Torr 區城3和4· 氣體 氬（100% ) 氣體流速 1821 seem Ar 節流 17¾ 流速比率 A B C D E 20 20 20 20 20 {%) 壓力 2.0-2. IX 10'3 Torr (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Μ規格（2淑297公董） _ 34 - A7 4037¾^_b7 五、發明説明（32 ) 底城FS 氣體 氬和氮 氣體比率 80% Νζ ；20¾ Ar 氣體流速 1421 Ν2 ，312 Ar 節流 14% 流速比率 A B C D E 19 31 0 31 19 壓力 2.2X10 -3 Torr 丨 If n (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

• l·— n IL 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 測試結果之產品，結果報告於下： I _ U)可見光透射率（111. C 2°觀察角）： 熱處理前 23% 熱處理後 22% (b)反射率： 熱處理前玻璃一方： 45-16% 塗膜一方： 本22-24% 熱處理後玻璃一方： «=14-15% 塗膜一方： 在 17-18% (c)發射率（E„) ·· 熱處理前 0.50 熱處理後 0.55 (d〉片電阻（歐姆/平方）： 熱處理前 60.0 、·ιτ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 403728 五、發明説明（W ) 熱處理後 73.5 I ·耐用性（機械的）（僅作Taber测試） (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁) 熱處理前 8-996 熱處理後 5-696 I.抗化學性（煮沸試驗） 熱處理前 通過 熱處理後 通過

m 2R 使用一傳统的已知其設計的Airco (Solar Products) Temescal多匾域建築用噴鍍塗覆機。此塗覆機圖示於第7 圔中。在塗覆區域1、2、4和5中使用3德陰極，各有二偁 可轉動的靶。在塗覆匾域#3中使用3偁陰極，各有一侮平 面靶。因此，結果有1-27的靶（例，塗覆區域#1，陰極Bay #1，靶#1)玻瑰底材G，在此所示是一平玻璃片（即，形 狀爲一平面，然而要彎曲和/或回火的部分）在滾筒上傳 送經過Airco嗔鍍塗覆機，各匾域Μ已知形態之牆（F)分隔 ，在其下端有可調整的隧道（Τ)。按習慣提供預洗滌（hU) 和後洗滌（W2>。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 用此設備来形成第1B画的層狀驩条，其中金屬”M”是 一基本上純的金靨鎳/鉻合金（ 80/20%重量之Ni:Cr)。 在區域#1和#2中所有12痼靶都是相同金羼（例，矽添加約 5% A1)，從它們生成氮化矽層。在此情況中，區域1和 區域2以80%氣和20%氬大氣調整至約為2-3微米<2-3X 10_3 Torr)。當玻璃G在上述壓力下前進通過區域#1和#2 36 本紙張尺度適用中國國家標準（C.NS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 40372S- 五、發明説明（34 ) 在玻璃上施加氦化矽成為層” A”，至其厚度約為500A。 當玻璃（G)進入塗覆匾域#3時，在氬壓力為1-2撖米 (1-2X10—3 Torr)中陰極7、8和9噴鍍一層純的金屬錁鉻 合金（80-20)。得到的厚度約為150A。 然後玻璃（G)移經塗覆匾域#4,其壓力M80% 1^和20 % Ar大氣調整約為2-3微米（2-3X10·3 Torr>。用陰極10 、11和12(6個金颺的矽靶 > 來施加一層氮化矽。然後玻璃 移經塗覆區#5,它也用80% 1<8和20% Ar大氣調整壓力約 為2-3撒米（2-3X 10_3 Torr)。為施加更多氮化砂，在此 塗覆區内共用六掴靶。所有矽靶是95% Si，5% A1(重M) 。在匾域4和5中製成的Si 3 N*表塗層總厚度約為300A。如 此完成了可熱處理的塗覆體条。 處理之條件如下： -I I 装— — (請先閲讀背面之注項再填寫本頁) ·_£· 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 % 1域 陰極 m - 仟瓦 _極伏特 安培 材料 K力 材料 Mj1/Ar% 1 1 32.1 416 70.9 S1 2·1χ10·3 Tore* 80/20 1 2 19.8 401 42.9 2.1xlO*3 Torr 80/20 % 2 3 27.6 402 60.0 .Si 2.1x10° Torr 80/20 V 2 4 26.9 400 60.8 Si 2‘lxlO·3 Torr 80/20 3 (5) X X X si 2.1xlO*3 Torr 80/20 3 (6) X X X Si 2.1xl0*3 Torr Θ0/20 4 1 26.S 396 60.8 si 2.0xl〇*3 Torr 80/20 4 2 34. Θ 407 74.8 Si 2.0xl0'3 Torr 80/20 5 3 36*0 449 76.8 Si 2.0xl0·3 Torr 80/20 2 5 4 39.6 412 8B.S Si 2.0xl0·3 Torr 80/20 6 5 44.6 421 97.8 si 2.0x10° Torr 80/20 6 6 46.7 449 93.7 Si 2.0xl0*3 Torr 80/20 37 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2丨ΟΧ297公釐） 403728 五、發明説明（35 ) A7 B7 區运 陰極 m 讦瓦 陰極伏特 安培 材料 歷力， 材料 N2%/Ar% 3 7 1 11.1 436 25.5 80 Nt 20 Cr l.SxlO'3 Torr 100\ Argon Θ 2 11.1 456 25.4 80 Nt 20 Cr 1.5xl0-3 Torr 100% Argon 9 3 10.9 442 24.8 β0 Ni 20 Cr X.5xlO*3 Torr 100% Argon 10 1 18.4 410 41.0 Si 2.1xl0*3 Torr 80/20 10 2 18.2 410 40.0 Si 2.1xlO'3 Torr > 80/20 4 U 3 17.2 409 39.5 Si 2.1xl0_3 Torr 80/20 11 4 17.8 411 39.6 Si 2.1xlO*3 Torr 80/20 V 12 5 18.1 407 39.5 Si 2.1xlO·3 Torr 80/20 12 6 1Θ.4 403 40.4 SI 2.1xlO·3 Torr 80/20 區域 除極 m 仟瓦 陰極仿特 安运 材料 應力 材料 H2\/Ar% 5 13 1 20.7 38.7 46.6 Si 2.2xl〇·3 Torr 80/20 13 2 20.9 406 45.3 Si 2.2xlO*3 Torr 80/20 14 3 19.5 396 44.6 SI 2.2xlO*3 Torr 80/20 14 4 19.7 394 45.2 Si 2.2X10'3 Torr 80/20 15 5 19.8 414 45.3 si 2.2xl0_3 Torr 80/20 15 6 22.5 447 45.4 si 2.2xlO*3 Torr 80/20 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 笨· r --> _ 、-** Γ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 生產線速度：200”/mn 玻璃厚度及型別：3.9am染緣色 結果的光學特擞是： 途播的光星，T11. 顴容隹 ΤΥ 22.65 RGY 16.02 RFY 22.43 a* -4.53 a* -2.51 a* +1.21 b* -8.82 b* -0.45 b* +27.12 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 38 403726_五、發明説明（36 ) A7 B7 片霣阻=65.3歃姆/平方 正交發射率=0.50 熱嫌理後•的光里，ΤΠ. 觀痪角 TY 23.04 RGY 15.37 RFY 23.46 a* -4.07 a* -3.52 a* +0.04 b* -7. 13 b* +1.15 b* +22.15 片電阻=47.3歃姆/平方 正交發射率=0.45 Δ T +0.39 Δ RG -0.65 Δ RF +1.03 ΔΕ 1.87 ΔΕ 1.09 Δ Ε 5.90 △片電阻=-18.0歐姆/平方 △正交發射率=-0.05 化學抗性： 塗覆的 (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁) -L·. 装- -訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 在5% HC1中煮沸（230°F)1小時後物理 性質沒有變化 在5% HC1中煮沸（2307)1小時後物理 性質沒有變化 △ T (透過率）在500克負荷轉動300遇 Δ T = 8. 196 Δ Τ = 6.3% Μ熱處理是在6651C，自動化時間16分鐘内循環） 例27 用上述26所逑之設備來形成本例。在例26的塗覆區#1 加熱後- Taber磨損測試 塗覆的-加熱後- 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 39 A7 B7 403728 五、發明説明（37 ) 和#2中維持相同的陰極、靶氣醴比率、壓力和處理條件來 得到一 Si3N4底塗層（和從添加物而來的一些気化鋁），厚 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 度也如例26。然而，在塗覆匾#3、#4和#5中改變處理條件 〇 在塗覆匾#3中的氣體組合物從100%氬改變為95%氬 和5%氧大氣，壓力相同，在塗覆匾#3中靶之電能增加使 所得在玻璃（G)上的金羼層有相似的厚度。所形成的層狀 體条是如第2B圖的，其中Μ是與例26中所用相同的Ni/Cr合 金，但在此有部分氧化。玻璃經過塗覆匾#4和#5，如前， 在金屬，現為部分氧化的層（M/0)上形成一氮化矽層。此 頂層Si3N4保持比在例26中的薄爲能更配合例26的預期光 學性。在比例中的塗覆層狀體条比例26更有利處是在產品 經熱處理後所真正獲得的片電阻（和正交發射率〉是在典型 的「低E」塗層的範圍內。因此，此塗覆層狀體条與例26 的塗覆層狀體条比較，前者有反射更多紅外能量之能力。 與例26比較，其化學耐久性僅峰低少許，例26已經具良好 耐久性，與之比較，例27的機械耐久性仍是改良的。 處理條件如下： 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 403726 五、發明説明（38 ) A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 屈域 陰运 m 仟瓦 陰極伏特 安培 材料 應力 材料 N2%/Ar% 1 1 32.4 424 70.9 Si 2.1xlO*3 Torr 80/20 1 2 20.1 413 43.0 Si 2.1xlO'3 Torr 80/20 1 2 3 27.7 409 60.4 Si 2.1xlO·3 Torr 80/20 2 4 27.2 405 59.7 Si 2.1xlO*3 Torr 80/20 3 5 X X X Si 2.1xlO·3 Torr 80/20 3 6 X X X Si 2.1xlO*3 Torr 80/20 4 1 27.2 408 60.0 Si 2.0xl0-3 Torr 80/20 4 2 35.5 422 75.4 Si 2.0xl0-3 Torr 80/20 5 3 31.8 457 67.7 Si 2.0xl0-3 Torr 80/20 S 4 40.0 422 08.7 Si 2.0xl0*3 Torr 80/20 6 5 45.5 433 97.8 Si 2.0xl0'3 Torr 80/20 6 6 43.4 457 86.6 Si 2.0xl0'3 Torr Θ0/20 陰棰 靶 仟瓦 陰棰伏特 安培 材料 壓力 材料 N2%/Ar% 7 1 18.6 451 39.9 80 Nl· 20 Cr l.SxlO*3 Torr 95 Oxygen 5 Ar 3 Θ 2 19.1 481 39.8 80 Ni 20 Cr 1.5xlO'3 Torr 95 Oxygen 5 Ar 9 3 18.7 468 39.1 Θ0 Ni 20 Cr l.SxlO*3 Torr 95 Oxygen 5 Ar 10 1 12.3 409 27.7 Si 2.0xl0*3 Torr 80/20 10 2 12.1 409 26.6 Si 2.0xl0*3 Torr 80/20 Λ 11 3 11.3 408 26.1 Si 2*OxlO'3 Torr 80/20 11 4 11.Θ 410 26.1 SI 2.0xl0*3 Torr 80/20 12 5 12.0 412 26.4 Si 2.0xl0·3 Torr Θ0/20 12 6 12.3 404 27.2 Si 2.0xl0'3 Torr 80/20 ----------，穿--(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) r 、-β Γ. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2!ΟΧ29<7公釐） 41 403726 A7 B7 五、發明説明（39 ) 〆:、 區域 陰極 靶 仟瓦 陰極伏特 安培 材料 壓力 材料 H2\/hr\ 13 1 12.1 385 27.6 Si 2.1xlO*3 Torr 80/20 13 2 12.4 401 26.7 Si 2.1x10° Torr 80/20 Ψ 14 3 11.3 390 26.3 si 2_lxlO·3 Torr 80/20 14 4 11.5 392 26.6 si 2.1χ10'3 Torr 80/20 15 S 11.5 410 26.β Si 2. lxlO-3 Torr 80/20 15 6 13.2 442 26.8 Si 2.1xlO-3 Torr 80/20 結果所獲得的光學性如下： 淦攉的光璺件，T 11 . ”，2 °覯容隹 TY 18.70 RGY 12.76 RFY 25.12 a* -5.06 a* -0.43 a* +0.40 b* -1.04 b* -4.27 b* +24.56 片電阻=104.5歐姆/平方 正交發射率=0.55 熟廉ί!8後"的光里抻，ΤΠ. ”C”，2° g痪角 RGY 10.77 RFY 21.61 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· ，?τ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 TY 23.59 a本-5·46 b* -3.47 片電阻=15.2歐姆/平方 正交發射率=0. 183 Δ T +4.89 Δ RG -1.99 Δ RF -3.51 ΔΕ 6.03 Δ Ε 3.45 Δ Ε 4.74 Α片電阻=-89.3歐姆/平方 △正交發射率=-0.37 a* -0.36 a* +0.54 b本-4.84 b* +26.77 • h 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 42 403728_五、發明説明（4〇 ) A7 B7 化學抗性： 塗覆的 在5% HC1酸中煮沸（230T)1小時後， 物理性能有撤小改變 在5% HC1酸中煮沸（230T)1小時後， 物理性能有徹小改變 △ Τ(射過率〉在500克負荷轉動300週 Δ T = 3. 1¾ Δ T = 1.8% 既提出Μ上揭霉，對技術人士而言許多其它特點、變 化和改良皆為顯然的。因此這些特點、變化和改良被視為 本發明的一部分，其範園決定於下列申請專利部分： 加熱後- ’aber磨損測試 塗覆的-加熱後- ---k---1----装-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印装 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 43

Claims (1)

1. I 403726 修正 A8 B8 C8 D8 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 第85106581號專利再審查案申請專利範圍修正本 修正日期：88年4月 1. 一種玻璃物件’其包括一玻璃底材，在該底材上有一 喷鍍塗覆層狀體系，該體系自玻璃底材向外，包括：（a) 一包括鎳或鎳合金之金屬層；及（b)—氮化矽（Si3N4)之 表塗層，且其中該各層係具有足夠的厚度，以當該玻 璃底材厚度約為1.5 mm-13 mm，並在其上具有前述該 層狀體系時，該成層狀的玻璃物件係可熱處理的，並 具有可見光透射率約為1-80%與標準發射率（En)約為 0.10-0.60。 2. 如申請專利範圍第1項之玻璃物件，其中該層狀體系 不含任何銀層；其中該層（a)係基本上沒有任何氮化物； 且其中該成層狀的玻璃物件係耐用的與具化學抗性 的。 3. 如申請專利範圍第2項之玻璃物件，其中該層狀體系 包括一氮化矽（ShN4)的底塗層’其位於該金屬層與該 玻璃底材之間。 4. 如申請專利範圍第2項之玻璃物件，其中該金屬層包 括一少量之於該層内之金屬的金屬氧化物。 5. 如申請專利範圍第4項之玻璃物件，其中該層狀體系 包括一氣化矽（SisN4)的底塗層，其位於該金屬層與該 玻璃底材之間。 6. 如申請專利範圍第5項之玻璃物件，其中該層狀體系 進一步包括一基本上為化學計量的金屬氧化物表塗 本紙張认逋财家榡率（CNS)从胁（2Η)χ297公着） 鬱 ^ ί-裝- Γ —#'----.--^ ΙΓ (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) I 403726 修正 A8 B8 C8 D8 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 第85106581號專利再審查案申請專利範圍修正本 修正日期：88年4月 1. 一種玻璃物件’其包括一玻璃底材，在該底材上有一 喷鍍塗覆層狀體系，該體系自玻璃底材向外，包括：（a) 一包括鎳或鎳合金之金屬層；及（b)—氮化矽（Si3N4)之 表塗層，且其中該各層係具有足夠的厚度，以當該玻 璃底材厚度約為1.5 mm-13 mm，並在其上具有前述該 層狀體系時，該成層狀的玻璃物件係可熱處理的，並 具有可見光透射率約為1-80%與標準發射率（En)約為 0.10-0.60。 2. 如申請專利範圍第1項之玻璃物件，其中該層狀體系 不含任何銀層；其中該層（a)係基本上沒有任何氮化物； 且其中該成層狀的玻璃物件係耐用的與具化學抗性 的。 3. 如申請專利範圍第2項之玻璃物件，其中該層狀體系 包括一氮化矽（ShN4)的底塗層’其位於該金屬層與該 玻璃底材之間。 4. 如申請專利範圍第2項之玻璃物件，其中該金屬層包 括一少量之於該層内之金屬的金屬氧化物。 5. 如申請專利範圍第4項之玻璃物件，其中該層狀體系 包括一氣化矽（SisN4)的底塗層，其位於該金屬層與該 玻璃底材之間。 6. 如申請專利範圍第5項之玻璃物件，其中該層狀體系 進一步包括一基本上為化學計量的金屬氧化物表塗 本紙張认逋财家榡率（CNS)从胁（2Η)χ297公着） 鬱 ^ ί-裝- Γ —#'----.--^ ΙΓ (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 六、申請專利範圍 A8 B8 C8 D8 經濟部令央標準局員工消費合作社印裝 層、該金屬層及底塗於該金屬層之另一基本上為化學 計量的金屬氧化物層β 7. 如申請專利範圍第6項之玻璃物件，其中基本上為化 學計量的金屬氧化物之該底塗和表塗層係各與該金屬 層相接觸。 8. 如申清專利範圍第1項之玻璃物件，其中該層狀體系 包括數層該金屬層之交錯層’而該氮化砍（Si3N4)層係 一位於該玻璃底材與該數層金屬層之第一層之間的底塗層。 9. 如申請專利範圍第8項之玻璃物件，其中該層狀體系 不含任何銀層；其中該層（a)基本上沒有任何氮化物； 而其中該成層的玻璃物件係耐用的與具化學抗性的。 10. 如申請專利範圍第9項之玻璃物件，其中至少一該金 屬層包括一少量之在該金屬層中之金屬的金屬氧化 物。 11. 如申請專利範圍第8項之玻璃物件，其中在各該金屬 層中的金屬是相同的鎳合金，而其中該氮化矽層中包 括一少量的導電金屬。 12. —種玻璃物件，其包括一玻璃底材，在該底材上有一 喷鍍塗覆的層狀體系，該體系自玻璃底材向外，包括： (a) —包括.氮化梦（SIN4)與媒或一具有至少約1〇重量％ 鎳之鎳合金的混合物之層；且其中該層係各基本上連 續的並具有㈣的厚纟，以當玻璃底#的厚度約為15 mm-l3 mm，並在其上有前述該層狀體系時，該成層 本紙張尺度適用中國國家榇準（CNS )八4規格（21〇><297公釐） -45- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝. tr ABCD 六、申請專利範固 玻璃物件是可熱處理的、对用的、具化學抗性的且 具可見光透過率約為卜80%與標準發射率約為010_ 0.60。 13. 如申請專利範圍第12項之玻璃物件其中該層狀體系 進一步包括一底塗層，該底塗層基本上由位於破璃底 材與該層（a)之間的氮化矽（Si#4)所組成，而其中該氮 化石夕層包括少量選自包括鈦、鍅、鉻、铪、及其混合 物之組群中的導電金屬。 14. 一種熱處理一塗覆的玻璃物件之方法，其包括下列步 驟： U)在玻璃底材上喷鍍塗覆一層狀體系，其包括自玻 璃底材向外，一基本上為金屬的層，其包括鎳或 一鎳合金；及一氮化矽之表塗層； (b)其後，使該塗覆的玻璃底材經一選自包括擎曲、 回火、熱強化及其組合之組群中的熱處理；及 (C)其中於熱處理後’所得之物件具有標準發射率（Ej 約為0.1-0.6，與可見光透射率約為^80%，而其 中該可見和陽光透射率經該熱處理之變化係少於 約 20%。 15·如申請專利範圍第14項之方法，其中該可見和陽光透 射率經該熱處理之變化是少於約10% ;其中該層（a)基 本上沒有任何氮化物；而其中該塗復的玻璃物件在熱 處理前和後皆為耐用的與具化學抗性的。 16.如申請專利範圍第15項之方法，其中該可見和陽光透 --- -46- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Μ規格（210X297公釐) f i-- (請先閲讀背面之注^^項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 403728 六、申請專利範圍 射率經該熱處理之變化是少於約2%。 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本貢) 17. 如申請專利範圍第14 項之方法，其中該片電阻（Rs)經 該熱處理之增加不超過約1〇%。 18. 如申請專利範圍第17項之方法其中該片電阻(R〇經 該熱處理並不增加β 19. 如申請專利範圍第18項之方法，其中該片電阻㈣經 該熱處理降低》 20. 如申請專利範圍第14項之方法，其中該層狀體系並不 3任何銀層，其中該層（a)基本上沒有任何氮化物；而 其中該塗覆的玻璃物件在該熱處理前和後是耐用的與 具化學抗性的》 21. 如申請專利範圍第20項之方法，其中該步驟進—步包 括在該底材上喷鍍塗覆一位於該基本上為金屬的層與 該玻璃底材之間氮化矽（Si3N4)的底塗層。 22·如申請專利範圍第20項之方法，其中該基本上為金屬 的層包括少量在該金屬層中之金屬的金屬氧化物。 經濟部中央標準局負工消費合作社印策 23.如申請專利範圍第22項之方法，其中該步驟進一步包 括在該底材上喷鍵塗覆一位於該基本上為金屬的層與 該玻璃底材之間氮化矽的底塗層》 24·如申請專利範圍第23項之方法，其中該步驟進一步包 括在該基本上為金屬的層上面喷链一基本上為化學計 量的金屬氧化物表塗層，並在該基本上為金屬的層下 面喷鍍塗覆另一基本上為化學計量的金屬氧化物底塗 層。 •47- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇><297公釐） A8 B8 C8 D8 403726 六、申請專利範圍 25. 如申s青專利範圍第24項之方法，其中該噴錢塗覆基本 上為化學計量的金屬氧化物之該底塗層和表塗層是分 別立即發生於該喷鍍塗覆該基本上為金屬之層的之前 和之後，因而使它們彼此接觸。 26. 如申請專利範圍第14項之方法’其中該熱處理之進行 是在從約1150°F-1450°F的溫度下。 27. 如申請專利範圍第14項之方法，其中該氮化矽層包括 少量的導電金屬。 28. —種熱處理一塗覆玻璃物件之方法，其包括下列步驟： (a) 在一玻璃底材上喷鍍塗覆一層狀體系，其包括自 玻璃底材向外，一由氮化矽（Si3N4)與鎳或一鎳合 金之混合物所構成之層，及在其後一實質上包含 氮化矽之表塗層； (b) 其後使塗覆的玻璃底材經一選自包括寶曲、回 火、熱強化及其組合之組群中的熱處理；及 (c) 其中經熱處理後，所得的物件具標準發射率（En) 約為0.10-0.60和可見光透射率約為18〇%，而其 中該可見和陽光透射率經該熱處理❸改變是小於 約 20% » 29·如申請專利範圍第28項之方法，其包括喷鍍塗覆一氣 化石夕（Si3N4)之底塗層的進-步步驟，以使其位於該玻 璃底材與該氮化矽（S^K)與鎳或鎳合金混合物層之 間。 3〇,如申請專利範圍第29項之方法，其中該 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） - -- . . . ^ I裝--------訂------線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 -48- A8 B8 C8 D8 403728 #、申請專利範圍 少量的導電金屬。 31.如申請專利範圍第28項之方法，其中該熱處理在約為 1150°F-1450°F 中進行。 .裝---- (請先閣讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂------練！ 經濟部中央標準局員工消費合作社印装 本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -49-