TW403728B - Heat treatable, durable, ir-reflecting sputter-coated glasses and method of making same - Google Patents
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Description
40372δ五、發明説明(1 ) A7 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 本發明係有關於噴鍍塗覆玻璃及其製造方法。本發明 更特定係有關於可熱處理並耐用的噴鍍塗覆玻璃,其隈光 控制性能可在廣大範醑内變化,因而可用於建築物、汽車 和住宅。 已知在建築和汽車設計中使用金颶和金羼氧化物塗覆 玻璃已廣受歡迎。如在專利和其它文章中已有大量報告, 這類玻谪透遇操縱塗覆《體糸,通常可Μ獲得相當被接受 的反光度、透光床、發射率、化學抗性、和耐用性,也可 得到預期的顔色。例如,在這方面可參考美國專利编號 3,935,351;4,413,877;4,462,883:3,826,728;3,681,042; 3,798, 146;和4,594,137 •,這只是其中的一部分。 也有清楚的報吿指出,雖然在施加這類塗層已有一些 合理的、可被接受的技術,其中最有效之一,也因此是理 想的,即羼「磁性增強的嘖鍍塗覆」之熟知技術。這一 技術已報告於美國專利第4, 166,018號中,是此課題中被 認可的基本教導。(也參考Munz等人的"Perfornance and Sputtering Criteria of Modern Architectural Glass Coatings”, SPIE 325卷,Optical Thin Filns, 1982, PP. 65-73) 0 雖然有許多己知的層狀醱糸是有效的,然而已知使用 某些舊有的噴鍍塗覆體条能造成的機械耐久性比另一已知 的所謂「熱解」技術的方法能得到的差。然而,相反的功 能是,噴鍍塗覆體系往往比典型的熱解塗覆能獲得較好的 紅外線反射。同時,噴鍍塗覆玻璃通常被認爲比熱解形成 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂 •丨球 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4规格(210X297公釐) 4 A7 B7 403728 A'發明説明(2 ) 的塗層更具優異的光學和熱蓮作待性,諸如有改良的塗層 均勻性,良好發射性,和較佳的陽光控制特性。清楚地, 若能針對一待定的塗覆鼸糸能設計出一噴鍍塗覆技術,其 中噴鍍塗覆體条之機械耐用性能接近或等於從熱解技術得 到的,而同時又能獲得噴鍍塗覆技術的增加優點,能在技 術上向前遇進一大步。 在美國專利第5,229, 194號,是為「改良的可熱處理 啧鍍塗覆的玻瓖體条」,揭露了某些獨特的層狀體条,在 技術上已逹到此顯著的進步。這些髓条售於工業乃本題目 發明的前技術,比我們在此申請的日期早一年有餘。在下 將對它們有更深入討論。 首先必須說明,近年來塗覆玻璃之滾行導使許多嘗試 來獲得塗覆玻璃物件,它們在熱處理前可被塗覆,其後可 被熱處理而不致負面改變塗層或玻璃本身(即製成之玻璃 物件)的特性。理由之一,例如,在已彎曲的玻璃上獲得 均勻的塗層是棰困難的。眾所通知,舆已彎曲的玻瑰比較 ,在平玻璃表面塗覆後再彎曲,可用簡單許多的技術來得 一均勻的塗層。對建築物和住宅用玻璃,在逭方面確是如 此,對汽車玻瑰更是如此,諸如彎曲的擋風玻璃,近年來 強辋空氣動力效應設計來幫助提高燃料的節省。 過去曾發展了某些技術來製造塗覆的可熱處理之玻璃 物《,然後藉回火、彎曲、或稱為「熱強化j的技術來熱 處理。一般而言,許多這些已塗覆的物體沒有經受在較高 升溫的熱處理來得到所必須的經濟的彎曲、回火、和/或 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) n· 1 —BBBBTeLr n \ HI /.. (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) '11 經濟.郅中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 403728 五、發明説明(3 ) 熱強化(即在1150°F-1450°F)。簡言之,這類技術通常 都不能達到雒持於約1100T或以下來獲得可熱處理而不負 面影«塗層或其底材。 此後者情況,亦邸沒有任何實質上負面影《塗層或其 底材,就是本文術語「可熱處理J的定義之意思。雖然在 某此情況中,在熱處理中某些特性可能有一些變化,在本 文所用「可熱處理」的意思是最終層狀醱条和產品整醱必 須獲得所預期的性能,無論塗覆的玻璃經過一次或數次如 以上討論的熱處理(即,彎曲、回火和/或熱強化)。意 圖藉本發明充分發揮其熱處理性的大部分建築用玻瓖,其 意思是玻璃及其層狀塗料基本上在預熱處理的產品和熱處 理後最終產品之間維持其視覺(光學)外櫬不改變。對大 部分汽車用玻璃,由於熱處理而變佳是可以忍受甚至是所 欲的,只要充分發揮其熱處理性意味箸在底材上所發生的 變化是均勻的,且不依賴於進行熱處理時所用的參數。 在逭方面,美國專利案第5, 188,887號揭露了某些前 有技術的可熱處理塗覆醱条,它們能在前述較高的更提高 的溫度中成功地熱處理來播得預期的效果,雖經回火、彎 曲或熱強化。一般而言,逭些前有技術塗層組合物在一層 狀體条中有其獨特性,它使用一高鎳含量合金作為其金颶 層,在其理想形態中,是用稱為Haynes 214的合金,它基 本上包含 75.45% Ni,4.00% Fe,16.00% Cr,0.04% C 4.50% A1,和0.01% Y(百分率乃重量百分率)。用高錁 含量合金,諸如Haynes 214,並Μ化學計量的氧化錫(Sn〇2> 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 裝---Till· 訂------——Γ 6 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 <i03728 b —-------------- 五、發明説明(4 ) 單播成與其它層(諸如有相同化學計量氧化錫和/或在頂 層Snfh*高鎳含量合金層之間的一中間層鋁)上再塗一層 ,發現在從約1150T-1450T中升溫2-30分中可獲得熱處 理的玻璃物件,但不會實質上降低其顔色、機械耐用性、 發射率、反射率或透光率。因此這些組合物組成明顳嫌於 前技術的可熱處理體条,諸如那些揭露於下列專利中的: 4,790,922;4,816,034;4,826,525:4,715,879;和4,857,094 Ο 附加於上述專利中所作的揭露,也已知有Ley bold擋 風玻璃體糸TCC-2000。在此釀糸中,用四或五層金羼和金 羼氧化物來«得一嘖鍍塗覆的玻璃,它可在溫度高至1100 T作一些熱處理,可用作預塗覆的玻《,用於製造鼙曲的 或不彎曲的擋風玻瑰,條件是熱處理必須是快速並為有限 時間的。從玻璃底材向外的各層通常包括第一層氣化錫、 第二層錁/鉻合金(通常的80/20),第三層銀、第四層 鍊/鉻合金、和第五靥氧化錫。在相當低上限的熱處理溫 度和時間的,結果之塗層相當較,並呈現不被接納的低化 學抗性,它們實質上只能用於層製的播風玻璃之內表面。 在上述美國專利案第4,715,879號中,其特別的教導 是不能播得其中的層狀鼸条,除非形成一金屬氧化物(例 ,氧化錫)的保護層,其中的氧化物有氧短缺(例,非化 學計董的)。當然,這需要在生產遇程中有謹慎的平衡。 在這方面,熱可處理性也掲露於美國專利案第4,826,525 號。然而在此専利案中特別教導了必須加一層鋁來獲得可 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) » - 着 * ---·------(裝--- 1JI- m、ISJ^^1 m I ,/ i · (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明(5 ) 熱處理性能。 在前述美國專利案第5,229,194號中,邸使舆美國專 利5, 188,887所揭霉的比較,前者揭霉了在可熱處理的嗔 鍍塗覆中的明顯進步。在該發明中,發現了在可熱處理噴 鍍塗覆玻瓖範圍內是可Μ獲得獨特的結果,特別是當用於 車輛的有「隠私j窗戶中,若在金羼鎳或高含量金羼錁合 金層被分別的一氧化物或鎳的氮化物或高錁含量合金的底 塗層和表塗層所包圃,且進一步用諸如Sn02、ZnO、Ti02 或其合金氧化物的表塗層。也提到於含錁金羼層的第一表 塗層中可用矽。 逭類層狀鱧条在其理想形態中證明了特別的可熱處理 和防磨損性。然而,雖然發現某些開始時有化學抗性,某 些體条在大量生產時,發現不能通過相當嚴格的5% Hcl 之沸騰抗化學性測試(討論於下 >。雖然表現它們的紅外及 紫外及射特性在廣大使用範國内是優異的,然而進一步, 其可見光透射值對有「皤私的」窗戶是很低,證明太低, 不能真正用於窗玻瑰或用於建築物或住宅之平片玻璃,因 需要具可見光离透射率。因此,當哦鍍塗覆器在用於塗覆 「皤私」窗戶的玻璃片數再要用來完成建築物或住宅的塗 覆玻瑰時,塗覆器必須停用改換,才能使其形成一新的層 狀讎糸。若能避免此停工,則在經濟方面能有顯箸的提高 Ο
在我們共同擁有的,於1992年4月30日提出的待決之 申請糸列07/876,350號,題為「高操作的、耐用的、低一E 本紙張尺度適用中國國家標隼(CNS ) Α4規格(210X297公釐) 8 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· A7 B7 403ΪΜ 五、發明説明u ) 玻璃及其製造方法」中,揭露了某些獼特的哦鍍塗覆的層 狀龌条*它們在建築物和住宅中有獨特的應用性,因此它 們不僅具良好的化學和機械耐用性,它們也有陽光控制性 。這些醱糸能恰當地被視為「低-E」玻璃(塗層),因為其 半球狀發射率(En)通常小於約0.16,其檫準發射率(Ε»)通 常小於約0.12從另方面測量,其片電阻理想地小於約10.50 歐姆/平方。另外,在正常玻璃厚度(例,2 mB-6 mm), 可見光透過率理想地約為78%或更高(與前述可熱處的「 鼸私」玻瑰層狀體糸的某些理想實體之小於約22-23%比 較)。 在前述待決申請条列07/876,350號,現為美國專利第 5,344,718號的發明中,藉使用一層狀體条,它通常包括 (從玻璃向外)一底塗層Si3N«,一第一層錁或鎳合金, 一層銀,一第二層錁或鎳合金,和一表塗^Si3N« ,能播 得獨特之低-E,高可見光透遇率值,並有良好化學耐久性 和抗磨損性。在某些理想實釀後,麕狀體条從玻璃向外, 基本上包括:
Si 3N*/Ni:Cr/Ag/Ni:Cr/Ag/Ni:Cr/Si 3N4 此t層體糸發現較上述五層醱糸有更高耐用性和抗劑特性 。然而在各醴条中,理想的Ni:Cr靥是鎳鉻合金,即80/20 重*之Ni/Cr,而其中鉻的實霣部分是由Cr的氣化物組成 ,因為Ni:Cr層是在含氮大氣中生成的。 不幸地,它們的耐用性、低-E、高可見光透過率的玻 璃層狀體糸證明了不能受熱處理。現在證實此點不是因為 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X2.97公釐) _ Q _ -----------:裝----_;___------祙 .· (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 403728 A7 B7 五、發明説明(7 ) 銀靥之氧化,而是因在熱處理中金羼銪層由於非潤濕而變 為不連鑛的,在此倩況下,在過處理中因Ni:Cr包圍層不 足以保持銀層之連鳙性。因此,即使這些層狀體糸有其它 許多優點*若此層狀玻璃Μ後要藉回火、熱強化和彆曲來 熱處理。不幸地,爲獲得所欲的低-Ε程度,必須使用銀層 經濟部中央標隼局貝工消費合作社印裝 在這方面,必須記得,不是只在汽車指風玻璃技術中 ,可熱處理的喷鍍塗覆層狀有其用處。某些建築物和住宅 也要求塗覆玻瑱經受回火、彎曲或熱強化。更者,前述待 決應用条列第07/876,350號,現美國專利第5,344,718號 的發明中之低-Ε玻璃體条通常不能調節來獲取足夠低的可 見光透過率值使它們可用於有「皤私J的窗戶中,即使它 們是可熱處理的..然而它們是不可Μ的。為此緣故,逭些 低-Ε玻璃體条不能克服前述產品要將条統停工來滿足顧客 對喷鍍塗覆的玻璃產品竇闢陽光控制特性之困難。 綜合上述困難是在喷鍍塗覆室中需要在上述待決應用 糸列第07/876,350號中在層狀醱条中創造一 SiaN*層或許 多層所產生的困難。為獲得逭樣一層,要使用一 Si靶(通 常添加鋁)作為陰棰。然後在含NS大氣中進行噴鍍塗覆* 藉反應產生Si3N4。不幸地,Si3N*是一非導體(從A1添加 劑形成的少量気化鋁,在噴鍍塗覆過程中也塗覆在陽槿上 )。塗覆效率變差,停工時間可能很長。 在我們同時申請的待決申請糸列08/102,585號,題為 「噴鍍塗覆靶和使用的方法」中,揭霉了對此問題的一獨 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1Τ— I - I I I ^ ^1-1 . 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 10 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 403728_b7__ 五、發明説明(8 ) 特解答。一般而言,解答是要創出一陰極靶,它有一預定 量之導電金臑分散在Si中,使在陽棰上生成的氮化物(或 若在嘖鍍塗覆操作中此金靥不生成氣化物)之量足Μ維持 電導率一段長時間,因此避免許多次停工。在此褊入待決 申請的全部揭霉以供參考。 到目前若技術人士希望藉使用Si3N4驪來繼鳙獲得抗 磨損和腐蝕之已知益處,但又希望避免高價之停工,又同 時需要獲得可熱處理性,然而又有在相當廣範園内有不同 的陽光控制性能之適應性而避免進一步的生產停工(為符 合不同顧客之需要),此技匠所面對的是一無法解決的難 題。在這方面,僅靠在Si靶中選擇一導電金羼作為分散劑 (即,添加劑)是不能從本質上解決問題,因那金羼邸使 能克服陽棰塗覆的困雞,郤不能熱處理和/或播得所預期 的耐用程度,和/或陽光控制(包括顔色)特點。 因此,顯然在技術上需要有一噴鍍塗覆層狀醭糸,它 能具有嗔鍍塗覆之優黏,同時能克服上逑之困難和技術上 的障礙。本發明之目的是爲滿足技術上此需求和其它一些 需求,Μ下述掲霉可使技術人士清楚明白。 一般而言,本發明為滿足上述技術上之需要,提供一 玻璃物件,包括一玻璃底材,在其上有一噴鍍塗覆的層狀 醱条,包括從玻瑰底材向外,U) —實質之金羼層,它包 括錁或一鍊合金,包實質上沒有任何氮化物·,和(b)氦化 矽(Si 3N4>之表塗層;其中各層有足夠的厚度,使得當玻 瑰底材之厚度約為1.5 la-13 時,在其上有前述層狀龌 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) _ n _ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂 403728五、發明説明(9 ) A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 条,如此層狀的玻璃物體是可熱處理的,而其可見光透過 率約為卜80%,其正交發射率(En>約潙0. 10-0.60。在某 些理想的實醱中,(a)靥基本上沒有任何氮化物,在熱處 理前和熱處理後的玻琪物體是耐用的和具化學抗性的。在 本發明的某些進一步理想實龌中,層狀體条不含任何銀層 〇 本發明進一步滿足上逑技術上之需要,它提供熱處理 一塗覆玻瑰物體的方法,它通常包括: a>在一玻璃底材上噴鍍塗覆一層狀體条*包括從玻璃 底材向外一實質上的金颶層,它包括錁或一錁合金;和一 表塗層気化矽;和 Μ此後,使此塗覆的玻璃底材經熱處理,選自組群包 括彎曲、回火、熱強化和其結合;和 c>經此熱處理後,結果物使的正交發射率(En)約潙 0.10-0.60,可見光透過率約為卜80%。 在本發明某些理想實體中,層狀體条進一步包括一底 塗層Si 3N4,而各Si 3N*層包括小量的添加物導霣金屬或因 使用這樣金屬作爲分散劑(添加劑)的結果有導電的金屬気 化物,在嘖鍍塗覆儀器的Si陰極靶中來克服上述由於被非 導雔Si3N«塗覆於陽棰上造成的停工困難。當然添加劑導 電金屬要加以選擇,在最壞情況下,使它對最終產品所預 期的陽光控製或其它物理性質沒有負回的影《。在某些理 想體条中,此添加劑金羼是選自钛、結、給和其混合物。 如前述,此層狀體条理想地由噴鍍塗覆形成,在玻璃 (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁) 裝_ .ΤΓ 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 12 -1 〇 經濟部中央標準局員工消费合作杜印製 A7 40»?期--- 五、發明説明(ίο ) 底材上各層有其預需之厚度。雖然玻璃厚底可能有大不同 ,典型的玻璃物體則是浮玻琅型,具厚度約1· 5-13.0 mm (即約0.060”-〇.50”),更通常用約2«11»-6)11111。玻璃可是 染色的或不染色的,或有圖案之玻璃。這類玻璃可以是單 強度型。在本發明某些進一步的理想形態中,對用有傳統 厚度約為4.0 mm的玻璃底材的最終玻璃物件之测量,在經 熱處理後具下列特性; 特 性 範圍 可見光透過率 約 1% -80% 可見光反射率(玻璁一方) 約 4%-55% 可見光反射率(塗膜一方) 約 4% -65% 可見光顔色(玻瑀一方) 銀、白嫌、藍、灰 發射率(正交的,邸E„> 約010-0.60 片霉阻<RS> 約2-250歐姆/平方 限光透過率 約 196-8Q96 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 13 ^^1' I— 1^1 —4_r m n I. 1^1 Bi_l (請先閲讀背面之注項再填寫本育) —、1Τ· 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 40372& ;; 五、發明説明(11 ) 上表顯示本發明體糸能適應於滿足廣範園陽光控制之 痛求。 透光率和反射率是在Illuminant C,2°觀察角的記 錄。在許多用途中,正交發射率(En)之更理想範圍納為 0.15-0.35。在許多用途中,片電阻之更理想範圍約為15-35歐姆/平方。 本發明的最理想形態中,結果之物件和其層狀體条在 熱處理前和熱處理後都呈現優異的化學抗性和耐久性(即 ,抗磨損或抗刮傷)。 「化學抗性」之测定是將物件的2”X 5”試樣在約500 cc的5% HC1中煮沸(即,約220°F>約1小時。此1小時煮 沸後,物件上沒有直徑超過0.003”針孔的,視此物件試驗 合格。「耐用性」是經過二試驗來測定,第一是一傳統的 Taber磨損器試驗,用一 4”X4”試樣,在兩MC.S. 10F磨 擦輪上各連於500 g重置,並轉動週數為300轉。用一4”x 4”試樣,在兩個C.S. 10F磨擦輪上各連於500 g重量,並 轉動週數爲 300 轉。用一 Pacific Scientific Abrasion Tester(用1”尼龍刷,鬪筒狀刷過塗覆層,在一6”x 17”試 樣上以150 g重量,週數為500>來進一步試驗其耐用性。 在兩試驗中,以肉眼在可見光下若無實質上可見的刮痕出 現,則視試驗合格,稱此物件為耐用的。 本發明理想形態之透射特性,如上述以習用Illu«inant C,2°觀察角測定所示,所用玻瑀底材約4 mm。在本發明 理想形態的意義内,「可熱處理」是指熱處理後透射率( 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X2.97公麓) - -* - ^n· Lr— ml n i aaaa—9 in an—- ^^^1--eJ (請先聞讀背面之注$項再填寫本頁) __40372^五、發明説明(l2 ) A7 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印裝 可見光和陽光)之改變不應超過20%,理想地小於約10% 。最理想的是改變小於約2%。另外,在本發明最理想形 態的意義內的「可熱處理」,在熱處理時,其片電阻之增 加不應超過約10%。理想地,它完全不增加,而最理想是 在這樣熱處理時略爲降低。 進一步解釋Μ上特性,術語「發射率」和「透射率」 在技術上已為熟知,本文所用乃按其熟知之意義。因此, 例如*本文中術語「透射率」意指陽光透射率,由可見光 透射率、紅外能董透射率和紫外線透射率組成。總陽光能 透射率通常是由這些各別值之權重平均。對臁於這些透射 率,本文所報告的可見光透射率是藉禳準llluninant C技 術,2°觀察角,在380-720 ηπι來描述;紅外則是800-2100 nm;紫外是300-400 nm;而结陽光是300-2100 me。然而 ,對於發射率,所用的是一特定的紅外範圍(即,2,500-40,000 nm),以下會討論。 可用已知習用的技術測量可見光透過率。例如,用一 分光光度計,諸如Beckman 5240 (Beckman Sci. Inst. Corp.),可得到各波長的透射率之光譜曲線。然後用ASTM E - 308「用CIE条統來計算物體顔色之方法」(Annual Book of ASTM Standards, Vol. 14.02)來計算可見光透射率。 若希望,可以用比預定較少的波長點數。測量可見光透射 率的另外技術是用一分光計,諸如市面可賺,由Pacific Scientific Corporation製造的 Spectragard的分光光度 計。此設備可直接量得並報告可見光透射率。 (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁) '裝· -球 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210X297公釐) 15 五、發明説明(13 ) A7 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印装 「發射率」(E)是在給定波長光的吸收率和反射率之 特性。通常由下式表之: E = l-反射率__ _膜 對建築物而言,在紅外光譜,即約2,500-40,000 ηπι 的所謂「中段範圍」有時也稱爲「遠段範圍」,發射率值 是相當重要的。在本文中所用術語「發射率」用來指在此 紅外範圍内測董的發射率值,如1991 Proposed ASTM Standard所特定的測量紅外能量來計算的發射率,由Priaary Glass Manufacturers' Counsil 提謙的,並命題爲「用頼 射度計測置建築物用平板玻璃產品之量度與計算發射率之 測試方法」。此檁準及其條規在此编入以供參考。在此檷 準中*發射率分解成二鵪組份,半球狀發射率和正交 發射率(En)。 澜量造些發射率值的數據之正確累積是傅統的,可Μ 用,例如,一 Beckman型號4260之分光光度計,用「vw」 附件(Beckman Scientific Inst. Corp.)來進行。此分光 光度計測量不同波長之反射率,從此测置,按前述1991 Proposed ASTM Standard來計算發射率,在本文中纗入Μ 供參考。 本文中所用另一術語是「片電阻J 。「片II阻」是技 術上熟知之術語,本文乃按其熟知的意義應用。一般而言 ,此術語指當一霣流通過層狀鼸糸時,玻璃底材上任何平 方的層狀艤条中之電阻歃姆。片電阻能表示此層狀體反射 紅外能量的能力,因此常與發射率一同使用來作爲此特徴 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝- 、·ιτ 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210X297公釐) 16 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 403728 A7 B7 五、發明説明(l4 ) 之量度,在許多建築物和汽車玻璃中是很重要的。通常用 一4酤澜試霉棰歐姆計能方便地量得「片電阻」,如用可 分配的4點電阻率测試霉棰與一 Magnefro· Instrunents Corp.頭,型號 M-800,由 Santa Clara,California 的 Signatone Corp製造。 本發明現對照其某些寶鼷加以詳述,如M下的討論, 並按下匾說明,其中: # 中: 說明
Si3N* = —層包括至少約90%的氮化矽 N i=金屬嫌 M =—含錄金羼層,其本上不含該金羼之任何気化物 M/〇 =—層,其中在含鎳金羼層中發生了很小量氧化反應 ,該層基本上保持無任何金羼気化物 M0X =此層是化學計量的氧化的金屬 玻璃=玻璃底材(也即在圖7中的”G”> W2 =第一洗灌器 Wf第二洗灌器 T=隧道 C =傳送帶 F =室分離器壁 和其中,_ 1-6是部分截面圓,其中: 第1A園圖示依照本發明的一兩層體条; 第1B醒圏示第1A圏的層狀豔条,它有一氮化矽底塗層 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS )八4規格(2!0X297公釐) _ _ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 11I* 装— — ^^I^ 訂—---- 五、 403728 A7 B7 發明説明(15 ) 經濟部中央梯準局負工消費合作社印裂 第2A圓圃示依照本發明的另一兩層體条; 第2B圖圖示第2A圔的層狀體糸,它有一氮化矽底塗層 第3A匯疆示依照本發明的一四層體条; 第3B圃鼷示第3A圔的層狀體条,它有一隽化矽底塗層 第4A圓麵示依照本發明的一五層體条; 第4B園圏示第4A圈的五層鼸条,其中金羼” Μπ是部分 氧化的; 第5Α_圖示依照本發明的另一二層體条; 第5Β圖圖示第5Α圖的兩層體条,它有一氮化矽底塗層 » 第6圓画示依照本發明的一九層體条; 第7圖是適用於製造本發明塗覆玻璃物件之習用Airco 5室噴鍍塗覆器。 其些窗«夕註诚 本發明所考慮的,如圖示(例,第1A-6圖)的層狀體 条是可熱處理的,是如在上定義的該術語之含意内。如上 進一步所述,在其理想形態中,熱處理真正能改良物體, 提高其IR反射率(例,由片電阻Rs之降底來表明)。 發現了要獲得此可熱處理性能,每層須有一肯定的厚 度,它通常具連繙的本質。任何特定層之厚度,或體糸之 整匾,只要各曆實質上是連繙的,可依用於各層之材料, HI m 1 ^^1 m (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) flu ---^--^訂------丁—·1 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 18 _ 1 0 _ 403728 A7 B7五、發明説明(l6 ) 所使用的熱處理、在體条中層的數量、和最終產品所預期 之特性,在寬廣範圍内可作變化。然而,一般而言,對大 部分要考廉的目的,發現下列厚度範圏可有最佳結果: 厘麻(& )
Si3N4(表塗層) 10-750 Μ(錁或嫌合金> 50-300 ΜΟχ 50-100 Μ/0 50-500 Ni/SiaN* 50-300 Si3N4(中間層> 500-1200 Si3N4(底塗層) 10-750 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本發明的一悃重要方面是用気化矽(Si3N4>作爲體条 的一層或數層。在此方面已知有多棰形態的含《化矽材料 可用作在層狀體条中能提供磨損和抗腐蝕的塗覆材料。例 如,參考美國專利第 4,769,291:5,062,937:4,954,232; 4,948,482和4,680,742號。本發明利用Si3N4—層或多層 的這些有利性霣。然而,附加的,它是播特的,相當令人 驚訝的本發明發現了當這樣的Si 3N«—層或數層與其它經 選揮的金靨組合成為層狀體条的一特定組群的,逭些層狀 臁条能達到同時能被熱處理的高度期望之特擞。更進一步 ,也驚訝地發現,透過協合作用或某一其它未知機理,SUN* 與這類經選擇的金屬層共同來製成埴些層狀體条時,在化 學抗性上有顯著的改良,特別是與前述美固專利第5,229, 194號的前有己知的有两高Ni含量的層狀臞条比較。 訂 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210 X 297公釐) -1 9 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 403726_b7__ 五、發明説明(π ) 本發明之應用中,相信與Si3N4結合使用的金屬(作為 M、M/0和/或ΜΟχ >應從相當小的組群中加Μ選擇才能獲得 預期的結果,即可熱處理性、耐用性和化學抗性,同時又 能獲得所需之顔色和預期的陽光控制性能。雖然這類組不 再限制於高錁含童合金,例如在美國專利案第5, 188,887 和5,229,194號所認為的,然而此金屬應是鎳或有至少約 為10%重量錁之含錁合金,因為純鍊不易噴鍍。理想的是 一鏵合金,在此方面,這類合金理想地包括有足量之絡, 使體条成為非磁性,因而更易噴鍍。 在這方面,本發明一令人訝異的特點是Μ前相信的基 本限制,邸使用高錁含量合金(或純鍊〉來逹成可熱處理就 不再必要,當與一層或數層Si 3Ν«結合使用時。雖然使用 至少一含錁層仍為重要,但不必要是高錁含董合金。雖然 在含鍊層中能容讓有少量或次要量之氧化反應,然而對本 發明,含鍊層必須保持基本上不含任何気化物仍是一必要 條件,爲了滿足最重大需要中有足夠的化學抗性。在此方 面,雖然在大多數情況中,気化物並不明顯干擾可熱處理 之速成,但發現了形成這樣的気化物會降低化學耐久性, 可以前述5% HC1煮沸試驗中發現。 如上說明,含錁層可Μ實質上是全部錁,但更理想是 一簡單的Ni/Cr合金。在此發現適用的這樣一組的合金之 例是相當多的不锈銷,其中錁含量可低至約10%重量錁( 例,SS-316,其中10%Ni,和其它90%主要是Fe和Cr)。 當然在本發明中適用的仍然是离錁含量的Ni/Cr合金。它 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) ^^1- HL^ amtmte ι_ϋ i ^^1 ϋ (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁) 訂 A7 B7 403728 五、發明説明(is ) 們包括80/20重量Ni/Cr,和Haynes 214合金,其欞稱重量 組成主要包含: 元寰 (妁)窗噩沉 Ni 75.45 Fe 4.00 Cr 16.00 C 0.04 A1 4.50 Y 0.01 (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁) 装· 適用於本發明應用中的Ni/Cr合金之其它例包括Inconel和 錁鉻合金。然而一般而言,在本發明考盧中,舆Si 31層 組合使用的金颶層包括至少約10%重量之鎳,且這些層中 至少有一層必須基本上是非氧化的形態(或只進行很少量 的氧化反應),並理想地基本上不含氮化物Μ致能有最大 的化學抗性。 參照示,第1Α圈和第1Β圔圔示本文考慮的可熱處理 層狀體糸之一個特定型。在此二圖中,藉哦鍍塗覆(例, 至厚度約50至300A )形成基本上不含任何氧化反應或氮 化物的含錁金屬”M”。在第1A圖中,以SUN*嗔鍍塗覆此金 羼,成為其表塗覆層(例,約至厚度為10至750A)。在第 1B圖中,一底塗層Si3N4先嗔鍍塗覆於玻瑰底材上(例, 主厚度約爲10至750A> 。 第2A圃之層狀醍条相似於第1A圈之層狀體条,第2B圓 之層狀臁条相似於第1B画之層狀體条,除了Μ ”M/0”符號 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 403728 A7 B7 五、發明説明(19) 表示出,雖然在金屬層中存在著已形成的小量氧化態,仍 然可播得一能被接纳的可熱處理之層狀體条。雒然未經精 確定置,在某些情況中邸使在噴鍍塗覆氣體中有高達約15 %氧是可Μ忍受,仍然能達到本發明所預期的結果。此層 之厚度分別舆第1Α園和第1Β_中相同。 第3Α圔和第3Β_顯示依照本發明的同一族的層狀體糸 。在此,無論是僅M Si3N*表塗覆(第3Α圏)或另外Μ化學 計量的Si3N«作底塗覆(第3Β圏〉於包園在基本上為金羼層 M/0之金羼氧化物層M〇xl。噴鍍塗覆的各層厚度仍按上所 給的指示之内。 第4A團和第4B圈蘭明本發明所考慮的另一族層狀體糸 。在此兩層金Λ”Μ”,或稍撤氧化的金颶”M/0”是分開的, 被呂卜“層所包圍。再次,噴鍍塗覆的各層厚度在上給的 指示内。 第6_是一組合的第3Α、Β圃和第4Α、Β圖族之混合, 其中有兩金羼層Μ/0,各被化學計量的氧化物層Μ〇χ所包圍 ,它們又被三層Si3N*包圍。再此各層厚度經嘖鍍塗覆至 上给的指示内。 第5A圈和第5B圖的提出是依本發明的另一族層狀體糸 。在此金羼層經表塗覆(單獨的,第5A圔)或具選擇也有Μ Si3N*底塗復(第5Β圖 >,如在其它族中。然而在此實體中 ,基本上純的錁與Si3N*混合作為分別的金羼層。此中間 層Ni/SUN*層在某些情況中能獨特地用作獲取預期的陽光 控制特性,然而仍然高度耐用、可熱處理、並抗磨損。在 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X2.97公釐) (請先Η讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝
.1T 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 403728 五、發明説明(2〇 ) 此理想資體中Ni之重量百分率約為80-90%,其餘的是Si3N, Ο (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁) 本發明的層狀體糸可藉習用之嘖鍍塗覆技術來形成, 例如用一習用的嘖鍍塗覆機,諸如已知設計的Airco-Temescal 多區噴鍍塗覆機。然而有一理想的方法來生成本發明的塗 層是用播特的技術和祀,如在我們待決的應用糸列编號 _所掲露的,它乃舆本文同日期申請的,題為「嘖鍍 塗覆靶及其使用方法j 。在此编入此待決申請的全部掲露 以供參考。一般而言,在此待決申請中所掲»的,使用一 播特的噴鍍塗覆靶生產Si3N*層來克服Μ—非導電層(例 Si3N*)來塗覆曝極的困難。能完成這點是藉在Si靶上均 勻混合少量的另一元素,它能賦予形成的最終層(和因此 在陽極上形成的層)導電性一因此滅輕技術上普饉存在的 為修復陽極而停工的問題。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本發明目檷之實用中,在層狀體条中期望有可熱處理 性、陽光控制性、耐用性和抗磨損性的特性,必須仔細灌 擇在靶中與Si共混的導電元素而不致破壊最終形成的Si3N4 層之目的和特性。因此,在本發明的應用中,對大部分所 考慮的體条,理想地所用的導電元素是限制於小Μ的,通 常是少於約10%,理想地少於約5%。進一步逋類元素通 常應為高度抗氧化的。能使用的金屬是諸如金、鉑和錁。 然而,理想的,在此考康的大部分目的可用金屬呔、錐、 路、給及其混合物。這些元素是理想的,因它們通常生成 的気化物是導電的,並也在光學上和在機械上不會干擾( 23 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210X297公釐) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 403726_B7_ 五、發明説明(21 ) 並能相容於)主要的SUN«材料。然而它《生成蕉化物的 程度,如此生成的気化物之量也必須是最低的。相信這些 金羼生成任何矽化物之程度它只是一中間體,它會快速分 解成其對應的《化物,但在任何情況中是與Si 3N4相容的 ,且不在光學上或機械上會干擾Si3N*,在此程度內它可 留下。 在此所用特別理想的靶是一 Si靶添加的5%钛。發現 結果所生成的層(例在第1-6圓中所圖示的Si3N4)包括約 95%Si3N»,其餘為氦化钛。發現比小量的氦化钛並不干 擾本發明應用中所預期的光學、機械、化學、顔色或可熱 處理的特性。更者,相似的,約為相同量的錶、鉻或給的 氮化物對獲得產品效率的目的上,也是能忍受的。 本發明現將以其某些對應實例作詳述: m 下列層狀體糸是用矽靶(添加5%鋁)和如所示的習用 噴鍍塗覆技術經嘖鍍塗覆在透明玻璃底材上的。所用的化 學測試和耐用澜試如上逑。例示所用的熱處理是一典型的 回火遇程,將試樣經受1265T (6581D )5分鐘。熱處理試樣 是3”x 3”或4”x 4”正方形。 fiLL· (前有技術之例) Μ噴鍍塗覆形成一前有技術之例的雇狀體条,諸如羼 於我們前述美画專利第5,229, 194號範醻中的。如此形成 的層狀體条,從玻璃向外是Sn0z/M0x/M/0/M0x/Sn02,其 中M=Haynes 214合金。產品顯示優良的可熱處理性和其Rs 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 装· 訂 Α7 Β7 五、發明説明(22 ) 爲79歐姆/平方。然而在熱處理前5分鐘和熱處理後12分 鐘它不能通過抗化學測試(即,5% HC1在220°F煮沸1小 時)。它能通過Taber磨損試驗,在旋轉300次並熱處理前 ,透光率改變為7.6%,而在旋轉300次並熱處理後,透光 率之改變僅為1.2%。此點證明它有相當被接納的機械耐 用性。若不顧其藉煮沸試驗所測定的相當低的化學抗性, 此前有技術的塗覆醱条能證明有優良的可熱處理之塗層, 在需要十分低可見光透過率的許多應用中,這種化學抗性 只有很少相關的或是無闢的。逭類應用之一例是在汽車的 「皤私」窗戶中。在逭方面此前有技術例證之可見光透射 率約為23% 〇 俐 2-24 現爲了比較,Μ棲準的噴鍍塗覆技術來製備一条列的 層狀膜,其厚度在上逑指示内。結果如下: ---k---^----装-----_一訂 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 25 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐)
40372S Α7 Β7 五、發明説明(23 )
例: 钃號 層狀饈系 爇處理 酸煮沸 2 SNO2/214〇X/214-0/214OX/SNO2/Si3N<1 F F 3 SNO2/214〇X/214-0/214OX/Si3NA P P 4 SNO2/214OX/214-0/214〇X/Si3NA/SNO2 - PP 5 Si3N^/214〇X/214-0/214OX/Si3NA P P 6 Si3NA/214/Si3N4 P P 7 Si3N^/214-N/Si3N4 P F 8 Si3NA/214-N/Si3N4 P F 9 Si3NA/214-N/Si3N^ P F 10 513^/214/5X3^ P P 11 Si3N4/214OX/214-0/214OX/Si3N<1** 12 513^/214/513^/214/513^ PP 13 Si3NA/214/Si3N^/214/Si3N<l PP 14 Si3N4/214OX/214-0/214OX/Si3NA/214OX/ 214-0/214〇X/Si3N,i P P ζ’ Si3NA/214OX/214-0/214〇X/Si3N4/214OX/ 214-0/214OX/Si3NA P P is Si3N<,/214-0/Si3N<1 P P 17 …Si3NA/Ni/Si3N4 P P 18 Si3NA/Ni/Si3N^/Ni/Si3N« P P 19 Si3N4,/Ni/Si3N4/Ni/Si3Nll P P 20 21 22 23 2 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 装.
、1T 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 % si3N^/SS-316/Si3N4 Si3N4/SS-316/SN〇2 Si3N,/(80/20)/Si3N, * …SiA/ieOpOJ-O/Si;^ Si3NA/(80/20)-0/Si3N4
P F P P P
P P P .11 驗通過 *PP=熱處理前和後皆通過試驗 *F =試驗不通過 **試驗此層狀體条,在熱處理前和後皆通過Taber試驗 、 , ***此層狀體糸呈現低透射率特性(Εη = Π) ****80/20是 80% Ni和 20% Cr (重量)之一合金 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210X297公釐) 26 403728 五、發明説明(24 ) 上表中例22-24 (在此M2A、B、C報告)Μ下列方法 藉ILS-1600 Airco噴鍍塗覆機用5/32”透明玻璃生成。所 用條件如下: wm 编號 涵丨 馬達推》 逮度% 陰極參數 鹾極下 伏特 L «鍍1力 [G 1 ί能程度 轚壓負荷鎖 電能 KW DC 安培 1 Si3NA 35x16 7.0 420 2.9 7.0 424 5-5x ίο-4· 2A 80/20 35x2 8.5 473 4.0 8-7 477 5 . Ox 10、. 2B 80/20 一 0 35x2 8.5 486 4.2 8.7 490 5.3x ΙΟ'4 2C 80/20 -0 35x2 8.5 501 4.2 8.7 503 1 5. Οχ ίο·1· 3 Si3N4 35x8 7.0 424 2.9 7-0 426 ΙΟ"6 操作線 编號 膜層 *本1;6 IG 氣體1: Ar 氣體 2: N2 <〇2) 流速 (seem) 電容壓力 計 流速 (seem) 電容壓力 計 1 Si3N, 4.1xl0—6 1 25 5.5x10'a 25 8.8xl0'4 2A 80/20 2.0χ10'6 40 6.9x10'a 2B 80/20-0 1-SxlO'6 40 7.1x10"a 3 (〇2) 7.5x10_a 2C 80/20-0 2.0x10"* 40 7.1x10'* 6 (〇2) 7.8x1ο'4 ^_ Si3NA 2.5xlO~6 25 5/8x1-'* 25 9.-0x10、 ••仇 —— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 例24在熱處理之E„(在10撤米)是0.34而Rs是58. 1。熱 處理後Rs是28.0,而£„是0.23。熱處理前和後之Illuminat C 2°觀察角值如下: 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 27 五、發明説明(25 ) A7 B7 執廉理前:_ TY 19.42 RGY 16.11 RFY 34.48 X .2873 X .3259 X .3459 y .2967 y .3255 y .3556 a -1.24 a -1.87 a -0.96 b -6.77 b -3.53 b +15.11 雜dt理後: TY 26.28 RGY 12.61 RFY 28.36 x .2869 X .3209 X .3558 y .2986 y .3173 y .3641 a -2.17 a + 2.58 a -0.41 b -7.04 b + 1.19 b +17.54 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央榡準局員工消費合作社印製 發現所有三個產品皆為可熱處理的、耐用的和具化學 抗性的。 上表例17是用相似條件在5/32”透明玻璃上形成的, 操作條件之稍撤改變示於下,並製成三値試樣a、b、c。 噴鍍錁層包括M10% 〇2加熱10分嬗開始,然後關閉。所 有試樣皆爲可熱處理的、具化學抗性的和耐用的。操作條 件如下: 捧作猱 涵 s本壓力 IG MIS 1: Ar 氣體2: Ν2 流連, (seem) 霣容壓力 計 流連 (seem) 霣容颳力 計 Si3N4 7.8xlO'6 25 4.8xl0'4 25 7. lxlO'4 2a Ni 6.0xl0'6 80 Ι.βχΙΟ'3 2b Ni 8.4xl0'6 80 1-6x10—3 2c Ni 2.2xlO*6 80 Ι.βχΙΟ'3 3 Si3N4 8.4xlO*6 25 5.4x10、 25 8.2xl0'4 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 28 403726 A7 B7 五、發明説明(26 ) 编號 mm 速度% 陰極參數 陰極下 伏特 噴鍍壓力 IG 1 % t能量 黾壓負荷親 電能 KW DC 安培 Si3N, 35x16 7.0 422 2.9 7.0 425 4.5x 10-4 Νζ/ 2a Ni 35x1 8.5 562 5.3 9.5 564 8·8χ 10^ 2b Ni 35x2 6.0 543 3.8 7.0 545 8.9x 10'4 2c Ni 35x2 7.0 547 4,1 7.5 550 7.5χ 10、 3 Si3h 35x8 7,0 429 2.9 7-0 428 4.3χ 10"^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 装_ 對例17試樣C,在熱處理前和後都測定其Illuminant C,2°觀察角值,報告於下: 熟廉理前:
、1T 經濟部中央標準局員工消費合作社印策 熟虚理後: ΤΥ 23.48 RGY 12.74 RFY 31.94 X .2847 X .3369 X .3418 y • 2948 y .33444 y 3499 a -1.56 a -2.27 a -0.47 b -7.97 b + 6.02 b +12.77 ΤΥ 22.44 RGY 14.45 RFY 32.41 X .2835 X .3370 X .3390 y • 2932 y .3367 y .3461 a -1.41 a + 1.78 a -0.17 b -8.37 b + 6.72 b +11.48 熱處理前片電阻23.5,熱處理後為17.0。熱處理 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(2IOX297公釐) 29 A7 403728_B7_ 五、發明説明(27 ) 前正交發射率(E«〇為0.24,熱處理後爲0.17。例17為可熱 處理的、耐用的和具化學抗性的。 現參照上表中例11,按下列條件以嗔鍍塗覆機在一 8”x 8”的5/32”厚透明玻瑰上形成: 操作線 编號 膜暦 基本壓力 IG I 氣體Ar 氣體2: Ν2 氣髏3: 02 流速 (eccm) 電容壓力 計 流速 (eccm) 電容壓力 計 流速 (eccm) 電容壓力 計 1 Si3N4 32xlO-6 25 4.7x10'* 25 8.0x10** 2 214〇X 1.3xlO*6 10 1.4χ1〇·* 40 5.2x10** 3 214-0 2.6xlO·6 40 64x10“ 3 6.4x10'* 4 2140X l_4xlO·6 10 1.4χ1〇·* 40 5.3x10"* Si3N4 3.2xlO"6 25 4.7χ1〇·* 25 8.0x10** 諸作绨 编號 Ml 惠1推齡 速度% 陰运赛_ _陰極下 伏特 嘖鍍壓力 IG I % fSill 罨ISA荷 鋇 霣能 KW DC 安培 1 Si3K, 35x16 7.0 429 3.0 7.0 430 5.3xlO*4 2 2140X 35x2 7.0 333 2.4 7.0 335 3.6x10'* 3 214-0 35x2 6.5 427 3.9 9.1 429 3.9x10'* 4 2140X 35x2 7.0 332 2.3 7.0 335 3.6x10"* 5 Si3N4 35x0 7.0 430 3.0 7.0 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -_ 裝· 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 熱處理前片霣阻為82.6,熱處理後爲46.1。熱處理前 正交發射率(E„)爲0.48,熱處理後為0.33。在熱處理前和 後,111. C 2°觀察角數據列於下: 執盧理前: TY 26.04 RGY 12.29 RFY 29.27 X .2869 X .3319 X .3436 y .2958 y • 3327 y .3527 a -1.17 a + 1.40 a -0.74 b -7.76 b + 5.15 b +13.30 ^張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 30
40372S A7 B7 五、發明説明(28 ) 熟at理後 TY 28.34 RGY 11. 54 RFY 26.69 X .2895 X .3321 X .3395 y .2988 y .3341 y • 3472 a -1.34 a + 1.09 a -0.31 b -6.88 b + 5.32 b +11.09 熱處理前Taber試驗顯示改變7.6%。熱處理後之改變 僅為1.2%。製得之產品是可熱處理的、耐用的和具化學 抗性的。 從上表的例12和13, Μ相似方式生成,並顯示優異的 可熱處理特性和優異的化學抗性。例12是暗色的,例13則 否。操作條件如下: (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局®c工消費合作社印裝 對試嫌12和二老 操作線 编號 腠層 *本歷力 IG I 氣磨1: Ar 氣體2: N2 mm (eccm) 電容壓力 計 流速 (seem) 電容匯 計一 Si3N« 3.4xlO_6 25 4.7xl〇*4 25 8.0x10** - 2 214 1.6xlO'6 40 6.0x10'' 3 Si3N4 1.3X10*6 25 4.6xlO'4 25 8.0x10** 4 214 1. lxlO*6 40 6.3xlO*4 5 Si3N4 9.8x10” 25 S.OxlO·11 25 8.2xlO'4 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 31 A7 B7
五、發明説明(29 )
k搛ΐϋΓϋΤ^·—b代之 1操作線 编號 膜層 鳥途推勳 速度% 陰極參數 陰極下 伏待 噴鍍壓力 IG I % 賴量 霣豳負荷 m 霣能r KW DC 安培 1 Si3Nt 35x16 7.0 430 3.0 1 7. 1 432 4.8x10'* 2A 214 35x2 5.0 396 2.6 6.4 401 3·9χ10_… 4.0 m [ 214 35x2 4.3 376 1.S 4.6 379 4.1x10** St3N4 35x8 7.0 431 3.0 7.0 434 4.6x10** 4A 214 3Sx2 5.0 398 2.6 6.4 397 3.9x10·* -4.0 4B 214 35x2 4.3 376 1.8 4.6 379 4.1x10*' 5 35x8 7.0 431 3.0 7.0 433 4.8x10、 例2R (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
In all·· · 裝· 適用於建築物或汽車的一塗覆玻璃物件,它由一生產 型嘖鍍塗覆機,使用一典型的5/32”浮玻璃和MHaynes 214 作為金屬”Μ”來生成。第1B圜代表結果之層狀體条,其中 SiaN*底塗厚度約為550Α,Haynes 214層厚度約為100Α ,而Si 3 N*表塗厚度約為275 A。所使用的如第7画所示之 習用AirC〇(S〇lar產品卜Tenescal多區建築用噴鍍塗覆機 ,其各部分則在下例26中有更詳細之敘述。操作條件如下
.IT 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(2丨0><297公釐) 32 403728 五、發明説明(3〇 ) A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 C塗覆运 陰極#. 材料 mm. 安培 電能(KW) 1 1 Si 417 60.7 25,3 2 Si 428 97.7 41.8 3 Si 412 97.0 40.0 4 Si 419 69.8 29.2 5 Si 409 90-0 36.8 6 Si 448 92.9 41.6 7 Si 415 70.7 29.3 8 Si 417 42.5 17,7 9 Si 431 86.3 37.2 10 Si 416 81.6 33.9 11 Si 420 86.3 36.2 12 Si 430 90-4 38.8 3 31 214 469 36.9 17.3 32 214 462 36.7 17.0 33 214 463 36.1 16.7 4 19 214 426 18.9 8.1 5 25 Si 402 30.9 12.4 26 Si 433 66.1 28.6 27 Si 410 7 5-1 30-8 28 Si 418 49.9 20.9 29 Si 452 70.8 32.0 30 Si 424 71.3 30.2 ^11 —n nl· ( Ha n(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 33 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 403728_ 五、發明説明(Μ ) 區城1 氣體 氬和気 氣體比率 80% Na ; 20% Ar 氣體流速 1448 Ν2 , 365 Ar 節流 10% 流速比率 A B C D E 21 29 0 29 21 (96) 壓力 2. 〇x 10'3 Torr 區城2 氣體 氬和気 氣體比率 80% ; 20% Ar 氣體流速 1856 Nz . 433 Ar 節潢 9% 流速比率 A B C D E 24 26 0 26 24 {%) 壓力 2. 1 x l〇-3 Torr 區城3和4· 氣體 氬(100% ) 氣體流速 1821 seem Ar 節流 17¾ 流速比率 A B C D E 20 20 20 20 20 {%) 壓力 2.0-2. IX 10'3 Torr (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Μ規格(2淑297公董) _ 34 - A7 4037¾^_b7 五、發明説明(32 ) 底城FS 氣體 氬和氮 氣體比率 80% Νζ ;20¾ Ar 氣體流速 1421 Ν2 ,312 Ar 節流 14% 流速比率 A B C D E 19 31 0 31 19 壓力 2.2X10 -3 Torr 丨 If n (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
• l·— n IL 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 測試結果之產品,結果報告於下: I _ U)可見光透射率(111. C 2°觀察角): 熱處理前 23% 熱處理後 22% (b)反射率: 熱處理前玻璃一方: 45-16% 塗膜一方: 本22-24% 熱處理後玻璃一方: «=14-15% 塗膜一方: 在 17-18% (c)發射率(E„) ·· 熱處理前 0.50 熱處理後 0.55 (d〉片電阻(歐姆/平方): 熱處理前 60.0 、·ιτ 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) A7 B7 403728 五、發明説明(W ) 熱處理後 73.5 I ·耐用性(機械的)(僅作Taber测試) (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁) 熱處理前 8-996 熱處理後 5-696 I.抗化學性(煮沸試驗) 熱處理前 通過 熱處理後 通過
m 2R 使用一傳统的已知其設計的Airco (Solar Products) Temescal多匾域建築用噴鍍塗覆機。此塗覆機圖示於第7 圔中。在塗覆區域1、2、4和5中使用3德陰極,各有二偁 可轉動的靶。在塗覆匾域#3中使用3偁陰極,各有一侮平 面靶。因此,結果有1-27的靶(例,塗覆區域#1,陰極Bay #1,靶#1)玻瑰底材G,在此所示是一平玻璃片(即,形 狀爲一平面,然而要彎曲和/或回火的部分)在滾筒上傳 送經過Airco嗔鍍塗覆機,各匾域Μ已知形態之牆(F)分隔 ,在其下端有可調整的隧道(Τ)。按習慣提供預洗滌(hU) 和後洗滌(W2>。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 用此設備来形成第1B画的層狀驩条,其中金屬”M”是 一基本上純的金靨鎳/鉻合金( 80/20%重量之Ni:Cr)。 在區域#1和#2中所有12痼靶都是相同金羼(例,矽添加約 5% A1),從它們生成氮化矽層。在此情況中,區域1和 區域2以80%氣和20%氬大氣調整至約為2-3微米<2-3X 10_3 Torr)。當玻璃G在上述壓力下前進通過區域#1和#2 36 本紙張尺度適用中國國家標準(C.NS ) A4規格(210X297公釐) A7 B7 40372S- 五、發明説明(34 ) 在玻璃上施加氦化矽成為層” A”,至其厚度約為500A。 當玻璃(G)進入塗覆匾域#3時,在氬壓力為1-2撖米 (1-2X10—3 Torr)中陰極7、8和9噴鍍一層純的金屬錁鉻 合金(80-20)。得到的厚度約為150A。 然後玻璃(G)移經塗覆匾域#4,其壓力M80% 1^和20 % Ar大氣調整約為2-3微米(2-3X10·3 Torr>。用陰極10 、11和12(6個金颺的矽靶 > 來施加一層氮化矽。然後玻璃 移經塗覆區#5,它也用80% 1<8和20% Ar大氣調整壓力約 為2-3撒米(2-3X 10_3 Torr)。為施加更多氮化砂,在此 塗覆區内共用六掴靶。所有矽靶是95% Si,5% A1(重M) 。在匾域4和5中製成的Si 3 N*表塗層總厚度約為300A。如 此完成了可熱處理的塗覆體条。 處理之條件如下: -I I 装— — (請先閲讀背面之注項再填寫本頁) ·_£· 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 % 1域 陰極 m - 仟瓦 _極伏特 安培 材料 K力 材料 Mj1/Ar% 1 1 32.1 416 70.9 S1 2·1χ10·3 Tore* 80/20 1 2 19.8 401 42.9 2.1xlO*3 Torr 80/20 % 2 3 27.6 402 60.0 .Si 2.1x10° Torr 80/20 V 2 4 26.9 400 60.8 Si 2‘lxlO·3 Torr 80/20 3 (5) X X X si 2.1xlO*3 Torr 80/20 3 (6) X X X Si 2.1xl0*3 Torr Θ0/20 4 1 26.S 396 60.8 si 2.0xl〇*3 Torr 80/20 4 2 34. Θ 407 74.8 Si 2.0xl0'3 Torr 80/20 5 3 36*0 449 76.8 Si 2.0xl0·3 Torr 80/20 2 5 4 39.6 412 8B.S Si 2.0xl0·3 Torr 80/20 6 5 44.6 421 97.8 si 2.0x10° Torr 80/20 6 6 46.7 449 93.7 Si 2.0xl0*3 Torr 80/20 37 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(2丨ΟΧ297公釐) 403728 五、發明説明(35 ) A7 B7 區运 陰極 m 讦瓦 陰極伏特 安培 材料 歷力, 材料 N2%/Ar% 3 7 1 11.1 436 25.5 80 Nt 20 Cr l.SxlO'3 Torr 100\ Argon Θ 2 11.1 456 25.4 80 Nt 20 Cr 1.5xl0-3 Torr 100% Argon 9 3 10.9 442 24.8 β0 Ni 20 Cr X.5xlO*3 Torr 100% Argon 10 1 18.4 410 41.0 Si 2.1xl0*3 Torr 80/20 10 2 18.2 410 40.0 Si 2.1xlO'3 Torr > 80/20 4 U 3 17.2 409 39.5 Si 2.1xl0_3 Torr 80/20 11 4 17.8 411 39.6 Si 2.1xlO*3 Torr 80/20 V 12 5 18.1 407 39.5 Si 2.1xlO·3 Torr 80/20 12 6 1Θ.4 403 40.4 SI 2.1xlO·3 Torr 80/20 區域 除極 m 仟瓦 陰極仿特 安运 材料 應力 材料 H2\/Ar% 5 13 1 20.7 38.7 46.6 Si 2.2xl〇·3 Torr 80/20 13 2 20.9 406 45.3 Si 2.2xlO*3 Torr 80/20 14 3 19.5 396 44.6 SI 2.2xlO*3 Torr 80/20 14 4 19.7 394 45.2 Si 2.2X10'3 Torr 80/20 15 5 19.8 414 45.3 si 2.2xl0_3 Torr 80/20 15 6 22.5 447 45.4 si 2.2xlO*3 Torr 80/20 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 笨· r --> _ 、-** Γ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 生產線速度:200”/mn 玻璃厚度及型別:3.9am染緣色 結果的光學特擞是: 途播的光星,T11. 顴容隹 ΤΥ 22.65 RGY 16.02 RFY 22.43 a* -4.53 a* -2.51 a* +1.21 b* -8.82 b* -0.45 b* +27.12 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 38 403726_五、發明説明(36 ) A7 B7 片霣阻=65.3歃姆/平方 正交發射率=0.50 熱嫌理後•的光里,ΤΠ. 觀痪角 TY 23.04 RGY 15.37 RFY 23.46 a* -4.07 a* -3.52 a* +0.04 b* -7. 13 b* +1.15 b* +22.15 片電阻=47.3歃姆/平方 正交發射率=0.45 Δ T +0.39 Δ RG -0.65 Δ RF +1.03 ΔΕ 1.87 ΔΕ 1.09 Δ Ε 5.90 △片電阻=-18.0歐姆/平方 △正交發射率=-0.05 化學抗性: 塗覆的 (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁) -L·. 装- -訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 在5% HC1中煮沸(230°F)1小時後物理 性質沒有變化 在5% HC1中煮沸(2307)1小時後物理 性質沒有變化 △ T (透過率)在500克負荷轉動300遇 Δ T = 8. 196 Δ Τ = 6.3% Μ熱處理是在6651C,自動化時間16分鐘内循環) 例27 用上述26所逑之設備來形成本例。在例26的塗覆區#1 加熱後- Taber磨損測試 塗覆的-加熱後- 本紙張尺度適用中國國家揉準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 39 A7 B7 403728 五、發明説明(37 ) 和#2中維持相同的陰極、靶氣醴比率、壓力和處理條件來 得到一 Si3N4底塗層(和從添加物而來的一些気化鋁),厚 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 度也如例26。然而,在塗覆匾#3、#4和#5中改變處理條件 〇 在塗覆匾#3中的氣體組合物從100%氬改變為95%氬 和5%氧大氣,壓力相同,在塗覆匾#3中靶之電能增加使 所得在玻璃(G)上的金羼層有相似的厚度。所形成的層狀 體条是如第2B圖的,其中Μ是與例26中所用相同的Ni/Cr合 金,但在此有部分氧化。玻璃經過塗覆匾#4和#5,如前, 在金屬,現為部分氧化的層(M/0)上形成一氮化矽層。此 頂層Si3N4保持比在例26中的薄爲能更配合例26的預期光 學性。在比例中的塗覆層狀體条比例26更有利處是在產品 經熱處理後所真正獲得的片電阻(和正交發射率〉是在典型 的「低E」塗層的範圍內。因此,此塗覆層狀體条與例26 的塗覆層狀體条比較,前者有反射更多紅外能量之能力。 與例26比較,其化學耐久性僅峰低少許,例26已經具良好 耐久性,與之比較,例27的機械耐久性仍是改良的。 處理條件如下: 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 403726 五、發明説明(38 ) A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 屈域 陰运 m 仟瓦 陰極伏特 安培 材料 應力 材料 N2%/Ar% 1 1 32.4 424 70.9 Si 2.1xlO*3 Torr 80/20 1 2 20.1 413 43.0 Si 2.1xlO'3 Torr 80/20 1 2 3 27.7 409 60.4 Si 2.1xlO·3 Torr 80/20 2 4 27.2 405 59.7 Si 2.1xlO*3 Torr 80/20 3 5 X X X Si 2.1xlO·3 Torr 80/20 3 6 X X X Si 2.1xlO*3 Torr 80/20 4 1 27.2 408 60.0 Si 2.0xl0-3 Torr 80/20 4 2 35.5 422 75.4 Si 2.0xl0-3 Torr 80/20 5 3 31.8 457 67.7 Si 2.0xl0-3 Torr 80/20 S 4 40.0 422 08.7 Si 2.0xl0*3 Torr 80/20 6 5 45.5 433 97.8 Si 2.0xl0'3 Torr 80/20 6 6 43.4 457 86.6 Si 2.0xl0'3 Torr Θ0/20 陰棰 靶 仟瓦 陰棰伏特 安培 材料 壓力 材料 N2%/Ar% 7 1 18.6 451 39.9 80 Nl· 20 Cr l.SxlO*3 Torr 95 Oxygen 5 Ar 3 Θ 2 19.1 481 39.8 80 Ni 20 Cr 1.5xlO'3 Torr 95 Oxygen 5 Ar 9 3 18.7 468 39.1 Θ0 Ni 20 Cr l.SxlO*3 Torr 95 Oxygen 5 Ar 10 1 12.3 409 27.7 Si 2.0xl0*3 Torr 80/20 10 2 12.1 409 26.6 Si 2.0xl0*3 Torr 80/20 Λ 11 3 11.3 408 26.1 Si 2*OxlO'3 Torr 80/20 11 4 11.Θ 410 26.1 SI 2.0xl0*3 Torr 80/20 12 5 12.0 412 26.4 Si 2.0xl0·3 Torr Θ0/20 12 6 12.3 404 27.2 Si 2.0xl0'3 Torr 80/20 ----------,穿--(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) r 、-β Γ. 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(2!ΟΧ29<7公釐) 41 403726 A7 B7 五、發明説明(39 ) 〆:、 區域 陰極 靶 仟瓦 陰極伏特 安培 材料 壓力 材料 H2\/hr\ 13 1 12.1 385 27.6 Si 2.1xlO*3 Torr 80/20 13 2 12.4 401 26.7 Si 2.1x10° Torr 80/20 Ψ 14 3 11.3 390 26.3 si 2_lxlO·3 Torr 80/20 14 4 11.5 392 26.6 si 2.1χ10'3 Torr 80/20 15 S 11.5 410 26.β Si 2. lxlO-3 Torr 80/20 15 6 13.2 442 26.8 Si 2.1xlO-3 Torr 80/20 結果所獲得的光學性如下: 淦攉的光璺件,T 11 . ”,2 °覯容隹 TY 18.70 RGY 12.76 RFY 25.12 a* -5.06 a* -0.43 a* +0.40 b* -1.04 b* -4.27 b* +24.56 片電阻=104.5歐姆/平方 正交發射率=0.55 熟廉ί!8後"的光里抻,ΤΠ. ”C”,2° g痪角 RGY 10.77 RFY 21.61 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· ,?τ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 TY 23.59 a本-5·46 b* -3.47 片電阻=15.2歐姆/平方 正交發射率=0. 183 Δ T +4.89 Δ RG -1.99 Δ RF -3.51 ΔΕ 6.03 Δ Ε 3.45 Δ Ε 4.74 Α片電阻=-89.3歐姆/平方 △正交發射率=-0.37 a* -0.36 a* +0.54 b本-4.84 b* +26.77 • h 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 42 403728_五、發明説明(4〇 ) A7 B7 化學抗性: 塗覆的 在5% HC1酸中煮沸(230T)1小時後, 物理性能有撤小改變 在5% HC1酸中煮沸(230T)1小時後, 物理性能有徹小改變 △ Τ(射過率〉在500克負荷轉動300週 Δ T = 3. 1¾ Δ T = 1.8% 既提出Μ上揭霉,對技術人士而言許多其它特點、變 化和改良皆為顯然的。因此這些特點、變化和改良被視為 本發明的一部分,其範園決定於下列申請專利部分: 加熱後- ’aber磨損測試 塗覆的-加熱後- ---k---1----装-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印装 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4规格(210X297公釐) 43
Claims (1)
- I 403726 修正 A8 B8 C8 D8 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 第85106581號專利再審查案申請專利範圍修正本 修正日期:88年4月 1. 一種玻璃物件’其包括一玻璃底材,在該底材上有一 喷鍍塗覆層狀體系,該體系自玻璃底材向外,包括:(a) 一包括鎳或鎳合金之金屬層;及(b)—氮化矽(Si3N4)之 表塗層,且其中該各層係具有足夠的厚度,以當該玻 璃底材厚度約為1.5 mm-13 mm,並在其上具有前述該 層狀體系時,該成層狀的玻璃物件係可熱處理的,並 具有可見光透射率約為1-80%與標準發射率(En)約為 0.10-0.60。 2. 如申請專利範圍第1項之玻璃物件,其中該層狀體系 不含任何銀層;其中該層(a)係基本上沒有任何氮化物; 且其中該成層狀的玻璃物件係耐用的與具化學抗性 的。 3. 如申請專利範圍第2項之玻璃物件,其中該層狀體系 包括一氮化矽(ShN4)的底塗層’其位於該金屬層與該 玻璃底材之間。 4. 如申請專利範圍第2項之玻璃物件,其中該金屬層包 括一少量之於該層内之金屬的金屬氧化物。 5. 如申請專利範圍第4項之玻璃物件,其中該層狀體系 包括一氣化矽(SisN4)的底塗層,其位於該金屬層與該 玻璃底材之間。 6. 如申請專利範圍第5項之玻璃物件,其中該層狀體系 進一步包括一基本上為化學計量的金屬氧化物表塗 本紙張认逋财家榡率(CNS)从胁(2Η)χ297公着) 鬱 ^ ί-裝- Γ —#'----.--^ ΙΓ (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) I 403726 修正 A8 B8 C8 D8 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 第85106581號專利再審查案申請專利範圍修正本 修正日期:88年4月 1. 一種玻璃物件’其包括一玻璃底材,在該底材上有一 喷鍍塗覆層狀體系,該體系自玻璃底材向外,包括:(a) 一包括鎳或鎳合金之金屬層;及(b)—氮化矽(Si3N4)之 表塗層,且其中該各層係具有足夠的厚度,以當該玻 璃底材厚度約為1.5 mm-13 mm,並在其上具有前述該 層狀體系時,該成層狀的玻璃物件係可熱處理的,並 具有可見光透射率約為1-80%與標準發射率(En)約為 0.10-0.60。 2. 如申請專利範圍第1項之玻璃物件,其中該層狀體系 不含任何銀層;其中該層(a)係基本上沒有任何氮化物; 且其中該成層狀的玻璃物件係耐用的與具化學抗性 的。 3. 如申請專利範圍第2項之玻璃物件,其中該層狀體系 包括一氮化矽(ShN4)的底塗層’其位於該金屬層與該 玻璃底材之間。 4. 如申請專利範圍第2項之玻璃物件,其中該金屬層包 括一少量之於該層内之金屬的金屬氧化物。 5. 如申請專利範圍第4項之玻璃物件,其中該層狀體系 包括一氣化矽(SisN4)的底塗層,其位於該金屬層與該 玻璃底材之間。 6. 如申請專利範圍第5項之玻璃物件,其中該層狀體系 進一步包括一基本上為化學計量的金屬氧化物表塗 本紙張认逋财家榡率(CNS)从胁(2Η)χ297公着) 鬱 ^ ί-裝- Γ —#'----.--^ ΙΓ (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 六、申請專利範圍 A8 B8 C8 D8 經濟部令央標準局員工消費合作社印裝 層、該金屬層及底塗於該金屬層之另一基本上為化學 計量的金屬氧化物層β 7. 如申請專利範圍第6項之玻璃物件,其中基本上為化 學計量的金屬氧化物之該底塗和表塗層係各與該金屬 層相接觸。 8. 如申清專利範圍第1項之玻璃物件,其中該層狀體系 包括數層該金屬層之交錯層’而該氮化砍(Si3N4)層係 一位於該玻璃底材與該數層金屬層之第一層之間的底塗層。 9. 如申請專利範圍第8項之玻璃物件,其中該層狀體系 不含任何銀層;其中該層(a)基本上沒有任何氮化物; 而其中該成層的玻璃物件係耐用的與具化學抗性的。 10. 如申請專利範圍第9項之玻璃物件,其中至少一該金 屬層包括一少量之在該金屬層中之金屬的金屬氧化 物。 11. 如申請專利範圍第8項之玻璃物件,其中在各該金屬 層中的金屬是相同的鎳合金,而其中該氮化矽層中包 括一少量的導電金屬。 12. —種玻璃物件,其包括一玻璃底材,在該底材上有一 喷鍍塗覆的層狀體系,該體系自玻璃底材向外,包括: (a) —包括.氮化梦(SIN4)與媒或一具有至少約1〇重量% 鎳之鎳合金的混合物之層;且其中該層係各基本上連 續的並具有㈣的厚纟,以當玻璃底#的厚度約為15 mm-l3 mm,並在其上有前述該層狀體系時,該成層 本紙張尺度適用中國國家榇準(CNS )八4規格(21〇><297公釐) -45- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝. tr ABCD 六、申請專利範固 玻璃物件是可熱處理的、对用的、具化學抗性的且 具可見光透過率約為卜80%與標準發射率約為010_ 0.60。 13. 如申請專利範圍第12項之玻璃物件其中該層狀體系 進一步包括一底塗層,該底塗層基本上由位於破璃底 材與該層(a)之間的氮化矽(Si#4)所組成,而其中該氮 化石夕層包括少量選自包括鈦、鍅、鉻、铪、及其混合 物之組群中的導電金屬。 14. 一種熱處理一塗覆的玻璃物件之方法,其包括下列步 驟: U)在玻璃底材上喷鍍塗覆一層狀體系,其包括自玻 璃底材向外,一基本上為金屬的層,其包括鎳或 一鎳合金;及一氮化矽之表塗層; (b)其後,使該塗覆的玻璃底材經一選自包括擎曲、 回火、熱強化及其組合之組群中的熱處理;及 (C)其中於熱處理後’所得之物件具有標準發射率(Ej 約為0.1-0.6,與可見光透射率約為^80%,而其 中該可見和陽光透射率經該熱處理之變化係少於 約 20%。 15·如申請專利範圍第14項之方法,其中該可見和陽光透 射率經該熱處理之變化是少於約10% ;其中該層(a)基 本上沒有任何氮化物;而其中該塗復的玻璃物件在熱 處理前和後皆為耐用的與具化學抗性的。 16.如申請專利範圍第15項之方法,其中該可見和陽光透 --- -46- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Μ規格(210X297公釐) f i-- (請先閲讀背面之注^^項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 403728 六、申請專利範圍 射率經該熱處理之變化是少於約2%。 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本貢) 17. 如申請專利範圍第14 項之方法,其中該片電阻(Rs)經 該熱處理之增加不超過約1〇%。 18. 如申請專利範圍第17項之方法其中該片電阻(R〇經 該熱處理並不增加β 19. 如申請專利範圍第18項之方法,其中該片電阻㈣經 該熱處理降低》 20. 如申請專利範圍第14項之方法,其中該層狀體系並不 3任何銀層,其中該層(a)基本上沒有任何氮化物;而 其中該塗覆的玻璃物件在該熱處理前和後是耐用的與 具化學抗性的》 21. 如申請專利範圍第20項之方法,其中該步驟進—步包 括在該底材上喷鍍塗覆一位於該基本上為金屬的層與 該玻璃底材之間氮化矽(Si3N4)的底塗層。 22·如申請專利範圍第20項之方法,其中該基本上為金屬 的層包括少量在該金屬層中之金屬的金屬氧化物。 經濟部中央標準局負工消費合作社印策 23.如申請專利範圍第22項之方法,其中該步驟進一步包 括在該底材上喷鍵塗覆一位於該基本上為金屬的層與 該玻璃底材之間氮化矽的底塗層》 24·如申請專利範圍第23項之方法,其中該步驟進一步包 括在該基本上為金屬的層上面喷链一基本上為化學計 量的金屬氧化物表塗層,並在該基本上為金屬的層下 面喷鍍塗覆另一基本上為化學計量的金屬氧化物底塗 層。 •47- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(21〇><297公釐) A8 B8 C8 D8 403726 六、申請專利範圍 25. 如申s青專利範圍第24項之方法,其中該噴錢塗覆基本 上為化學計量的金屬氧化物之該底塗層和表塗層是分 別立即發生於該喷鍍塗覆該基本上為金屬之層的之前 和之後,因而使它們彼此接觸。 26. 如申請專利範圍第14項之方法’其中該熱處理之進行 是在從約1150°F-1450°F的溫度下。 27. 如申請專利範圍第14項之方法,其中該氮化矽層包括 少量的導電金屬。 28. —種熱處理一塗覆玻璃物件之方法,其包括下列步驟: (a) 在一玻璃底材上喷鍍塗覆一層狀體系,其包括自 玻璃底材向外,一由氮化矽(Si3N4)與鎳或一鎳合 金之混合物所構成之層,及在其後一實質上包含 氮化矽之表塗層; (b) 其後使塗覆的玻璃底材經一選自包括寶曲、回 火、熱強化及其組合之組群中的熱處理;及 (c) 其中經熱處理後,所得的物件具標準發射率(En) 約為0.10-0.60和可見光透射率約為18〇%,而其 中該可見和陽光透射率經該熱處理❸改變是小於 約 20% » 29·如申請專利範圍第28項之方法,其包括喷鍍塗覆一氣 化石夕(Si3N4)之底塗層的進-步步驟,以使其位於該玻 璃底材與該氮化矽(S^K)與鎳或鎳合金混合物層之 間。 3〇,如申請專利範圍第29項之方法,其中該 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) - -- . . . ^ I裝--------訂------線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 -48- A8 B8 C8 D8 403728 #、申請專利範圍 少量的導電金屬。 31.如申請專利範圍第28項之方法,其中該熱處理在約為 1150°F-1450°F 中進行。 .裝---- (請先閣讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂------練! 經濟部中央標準局員工消費合作社印装 本紙張尺度適用中國國家梯準(CNS ) A4規格(210X297公釐) -49-
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