LT4148B - Heat treatable, durable, ir-reflecting sputter-coated glass and method of making same - Google Patents

Heat treatable, durable, ir-reflecting sputter-coated glass and method of making same Download PDF

Info

Publication number
LT4148B
LT4148B LT96-082A LT96082A LT4148B LT 4148 B LT4148 B LT 4148B LT 96082 A LT96082 A LT 96082A LT 4148 B LT4148 B LT 4148B
Authority
LT
Lithuania
Prior art keywords
layer
heat treatment
glass
silicon nitride
glass substrate
Prior art date
Application number
LT96-082A
Other languages
English (en)
Other versions
LT96082A (en
Inventor
Klaus W Hartig
Philipp J Lingle
Original Assignee
Guardian Industries
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=23932700&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=LT4148(B) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Guardian Industries filed Critical Guardian Industries
Publication of LT96082A publication Critical patent/LT96082A/xx
Publication of LT4148B publication Critical patent/LT4148B/lt

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3605—Coatings of the type glass/metal/inorganic compound
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/3411—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
    • C03C17/3429—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating
    • C03C17/3435—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating comprising a nitride, oxynitride, boronitride or carbonitride
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3613—Coatings of type glass/inorganic compound/metal/inorganic compound/metal/other
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3615—Coatings of the type glass/metal/other inorganic layers, at least one layer being non-metallic
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3618—Coatings of type glass/inorganic compound/other inorganic layers, at least one layer being metallic
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3626—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer one layer at least containing a nitride, oxynitride, boronitride or carbonitride
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3639—Multilayers containing at least two functional metal layers
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3649—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer made of metals other than silver
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3657—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating having optical properties
    • C03C17/366—Low-emissivity or solar control coatings
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3681—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating being used in glazing, e.g. windows or windscreens
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0641—Nitrides
    • C23C14/0652—Silicon nitride
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
    • C23C14/18—Metallic material, boron or silicon on other inorganic substrates
    • C23C14/185—Metallic material, boron or silicon on other inorganic substrates by cathodic sputtering
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00—Coatings on glass
    • C03C2217/70—Properties of coatings
    • C03C2217/78—Coatings specially designed to be durable, e.g. scratch-resistant

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Glass Compositions (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Description

Šis išradimas susijęs su dulkinimu padengtais stiklais, kurie yra termiškai apdoroti ir stiprūs, kurių jautrumo apšvietimui savybės gali būti keičiamos plačiose ribose taip, kad būtų naudingos meniniu požiūriu, automobilių pramonėje ir gyvenamųjų namų statyboje.
IŠRADIMO TECHNIKOS LYGIS
Stiklo padengimo metalu ir metalo oksidais populiarumas statyboje ir automobilių pramonėje yra gerai žinomas. Kaip gausiai aprašoma patentuose ir kitoje literatūroje, tokiais stiklais, manipuliuojant padengimo sluoksnių sistema, paprastai pasiekiama visiškai priimtino atspindžio, pralaidumo, spinduliavimo, cheminio atsparumo ir stiprumo laipsnio, taip pat reikalingos spalvos. Tuo požiūriu žiūrėti, pavyzdžiui, US patentus Nr. 3 935 351, 4 413 877, 4 462 883, 3 826 728, 3681 042, 3 798 146 ir 4 594 137, išvardijus tik keletą.
Taip pat gerai žinoma, kad, nors egzistuoja keletas priimtinų tokių padengimų panaudojimo būdų, vienas iš efektyviausių ir todėl priimtinų yra gerai žinomas būdas, vadinamas magnetiškai sutvirtintas padengimas dulkinimu. Toks būdas yra aprašytas US patente Nr. 4 166 018, pripažintame fundamentaliu mokymo dalyku (taip pat žiūrėti Munz et ai Performance and Sputtering Criteria of Modern Architectural Glass Coatings, SPIE Vol.325, Optical Thin Films, 1982, pp, 65-73).
Nors žinoma daug efektyvių sluoksnių sistemų, panaudojimas tam tikros senesnės padengimo dulkinimu sistemos žinoma, kad duoda mechaninio stiprumo savybes, žemesnes negu tos, kurios pasiektos kitu žinomu metodu, vadinamu pirolizine technologija. Be to, kaip priešinga funkcija, dulkinimu padengtos sistemos dažnai pasiekia geresnį infraraudonųjų spindulių atspindėjimą negu tipiškos pirolizinės dangos. Be to, dulkinimu padengti stiklai paprastai yra atpažįstami kaip turintys aukštesnes optines ir termines eksploatacijos charakteristikas, negu piroliziniu būdu suformuoti padengimai, ir turintys pagerintą padengimo tolygumą, gerą spinduliavimą ir geresnes saulės šviesos eksploatacijos charakteristikas. Aišku, kad, jeigu padengimo dulkinimu būdas galėtų būti išrastas tam tikrai padengimo sistemai, kurioje padengimo dulkinimu sistemos mechaninio stiprumo savybės galėtų viršyti arba atitikti savybes, gautas panaudojant pirolizės technologiją, tai tuo pačiu metu, pasiekiant padengimo dulkinimu technologijos padidintos naudos, būtų padaryta svarbi tolesnė techninio lygio pakopa.
US patente Nr. 5 229 194, pavadintame Patobulintos termiškai apdoroto, dulkinimu padengto stiklo sistemos, kuriame yra atskleistos tam tikros unikalios sluoksnių sistemos, kurios pasiekė šią svarbią tolesnę techninio lygio pakopą. Šios sistemos yra žinomas technikos lygis išradimo objektui dėl komercinės apžvalgos datai, ankstesnei negu vieneri metai nuo mūsų paraiškos padavimo datos. Tai plačiau aptariama žemiau.
Pirma, nors tai turi būti pradėta paskutiniaisiais metais, padengtų stiklų populiarumas sukėlė daugelį bandymų gauti padengto stiklo gaminį, kuris, prieš terminį apdorojimą, gali būti padengtas ir kuris po to gali būti termiškai apdorotas be padengimo arba paties stiklo charakteristikų žalingų pakeitimų (t.y. atstojamasis stiklo gaminys). Viena iš to priežasčių, pavyzdžiui, yra tai, kad gali būti ypatingai sunku pasiekti tolygų padengimą ant jau išlenkto stiklo gabalo. Gerai žinoma, kad jeigu gali būti padengtas plokščias stiklo paviršius ir po to išlenktas, gali būti panaudotas daug paprastesnis būdas gauti tolygų padengimą negu, kai stiklas iš anksto yra išlenktas. Šiuo požiūriu tai tinka meniniams ir gyvenamųjų namų stiklams, bet ypatingai tinka automobilių stiklams, tokiems kaip išgaubti priekiniai stiklai, kurie paskutiniais metais išpopuliarino labiau aerodinamiškai efektingą dizainą, padedantį pasiekti kuro ekonomiją.
Anksčiau buvo atrasti tam tikri būdai pagaminti padengtus termiškai apdoroto stiklo gaminius, kurie gali būti gamybos metu ir po to termiškai apdoroti grūdinimu, lankstymu ar būdu, žinomu kaip terminis kietinimas. Paprastai kalbant, daug šių iš anksto padengtų gaminių nukenčia nuo neapdorojimo termiškai aukštesnėje temperatūroje, būtinoje pasiekti ekonomišką lenkimą, grūdinimą ir/arba terminį kietinimą (t.y. 1150°F - 1450°F (621,1-787,8 °C)). Trumpai tariant, tokie būdai dažnai nukenčia nuo reikėjimo pakelti temperatūrą apytikriai 1100°F (593,3°C) arba mažiau taip, kad pasiektų terminio apdorojimo be žalingų efektų padengimui arba jo pagrindui.
Štai pastaroji situacija; būtent nebuvimas bet kokių svarbių žalingų efektų padengimui arba jo pagrindui apibūdina tai, kas čia reiškiama terminu termiškai apdorojamas. Nors tam tikrose situacijose kelios kokios nors charakteristikos gali keistis per terminį apdorojimą, bet termiškai apdorojamas čia naudojama reikšme reiškia, kad pageidaujamos pagrindinės sluoksnių sistemos ir viso produkto savybės turi būti pasiektos nežiūrint to fakto, kad padengtas stiklas buvo vieną arba daugiau kartų termiškai apdorotas būdais, aptartais aukščiau (t.y. lenkimu, grūdinimu ir/arba terminiu kietinimu). Dažniausia meniniais tikslais, apgalvotais šiuo išradimu, optimatizuotas terminis apdorojimas reiškia, kad stiklas ir jo sluoksniuotas padengimas iš esmės nepakeičia savo vizualinės (optinės) išorės būsenose tarp iš anksto termiškai apdoroto produkto ir galutinio produkto po terminio apdorojimo. Dažniausia panaudojimo automobiliams tikslu pakeitimas geriau pritaikyti terminiam apdorojimui gali būti toleruojamas ir net pageidautinas kol optimatizuotas terminis apdorojimas reiškia, kad pasikeitimas įvyksta tolygiai per pagrindą ir yra nepriklausomas nuo parametrų, naudojamų atlikti terminį apdorojimą.
Šiuo požiūriu US patentas Nr. 5 188 887 atskleidžia tam tikrą padengimų sistemų, kurios yra termiškai apdorojamos, kadangi jos gali būti sėkmingai termiškai apdorotos esant aukštesnei, labiau padidintai temperatūrai negu anksčiau nurodytoji, kad pasiektų pageidaujamą rezultatą, nežiūrint temperatūros poveikio, lenkimo ar terminio kietinimo, technikos lygį. Paprastai sakant, šios technikos lygio padengimo kompozicijos randa savo unikalumą sluoksnių sistemoje, kuri dirba kaip metalo sluoksnis, aukšto nikelio kiekio lydinys, kuris tinkama forma, yra lydinys žinomas kaip Haynes 214, turintis dažniausiai 75,45% Ni, 4,00% Fe, 16,00% Cr, 0,04% C, 4,50% Al ir 0,01% Y (procentai pagal svorį). Naudojant lydinį su dideliu nikelio kiekiu, tokį kaip Haynes 214, ir jo apdengimą stechiometriniu alavo oksido (SnCb) arba vienu arba su kitais sluoksniais (tokiais kaip apatinė danga to paties stechiometrinio alavo oksido ir/arba vidurinis aliuminio sluoksnis tarp viršutinio SnC>2 sluoksnio ir lydinio su dideliu nikelio kiekiu), buvo nustatyta, kad stiklo gaminių terminis apdorojimas, esant padidintai temperatūrai apytiksliai 1150°F 1450°F (621,1 - 787,8°C) apie 2-30 minučių, gali būti pasiektas be esminio spalvos pasikeitimo, mechaninio stiprumo, spinduliavimo, atspindėjimo arba perdavimo sumažėjimo. Dėl to šios kompozicijos turi svarbų pagerinimą palyginus su ankstesnėmis terminio apdorojimo sistemomis, tokiomis, kurios atskleistos šiuose patentuose: 4 790 922; 4 816 034; 4 826 525; 4 715 879 ir 4 857 094.
Papildomai prie ankstesnio atskleidimo anksčiau paminėtuose patentuose, taip pat yra žinomas TCC-2000 sistemos Leybold priekinis stiklas. Šioje sistemoje yra panaudojami keturi arba penki metalų arba metalų oksidų sluoksniai, kad gautųsi dulkinimu padengtas stiklas, kuris, būdamas kažkiek termiškai apdorotas temperatūroje virš 1100°F (593,3°C), gali būti panaudotas kaip iš anksto padengtas stiklas, darant išgaubimą arba ištiesinimą, gaminant priekinius automobilių stiklus su sąlyga, kad greito tempo limitai būtų išdėstyti terminiam apdorojime. Sluoksniavimas nuo stiklo pagrindo išorėn paprastai yra toks: pirmas - alavo oksido sluoksnis, antras - nikelio/chromo lydinio (paprastai apie 80/20) sluoksnis, trečias sidabro sluoksnis, ketvirtas - nikelio/chromo lydinio sluoksnis ir penktas - alavo oksido sluoksnis. Be to, esant gana žemam viršutiniam terminio apdorojimo temperatūros ir laiko limitui, galutiniai padengimai yra gana minkšti ir atskleidžia tokias nepriimtinai žemas cheminio atsparumo charakteristikas, kad jie gali būti realiai panaudoti tik ant vidinių laminuotų priekinių automobilių stiklų paviršių.
Anksčiau paminėtame patente Nr. 4 715 879 specifiškai nurodoma, kad sluoksnių sistema jame negali būti gauta, nebent bus suformuotas toks metalo oksido (t.y. alavo oksido) apsauginis sluoksnis, kad oksidas turėtų deguonies dificitą (t.y. būtų nestechiometrinis). Tai, žinoma, reikalauja atsargaus balansavimo gamybos procese. Terminis apdorojimas šiuo požiūriu yra taip pat atskleistas US patente Nr.
826 525. Be to, šiame patente specifiškai nurodoma, kad aliuminio sluoksnis turi būti pritaikytas pasiekti terminį apdorojimą.
Anksčiau paminėtame US patente Nr. 5 229 194 yra atskleista svarbi pažanga termiškai apdorotų padengimų dulkinimu, net palyginus su tokiais aprašymais US patente Nr. 5 188 887. Tame išradime buvo nustatyta, kad unikalūs dulkinimu padengtų stiklų terminio apdorojimo srityje rezultatai buvo pasiekiami ypatingai naudojant kaip privačius stiklus dviračiams, jei metalinis nikelio arba lydinio su dideliu metalinio nikelio kiekiu sluoksnis buvo apsuptas apatiniu ir viršutiniu atskirais oksido arba nikelio nitrido sluoksniais arba lydiniais su dideliu nikelio kiekiu ir tolesniu viršutiniu oksidų, tokių kaip SnCh, ZnO, TiCE, sluoksniu arba ten naudojamais oksido lydiniais. Silicis taip pat paminėtas kaip naudingas pirmam viršutiniam metalinį nikelį turinčio sluoksnio padengimui.
Tokios sluoksniuotos sistemos savo priimtinomis formomis įrodė, kad būtent yra termiškai apdorojamos ir susidėvėjimas atstatomas. Be to, nors pradžioje buvo nustatyta , kad sistemos yra chemiškai atsparios, kai jos buvo įvestos į masinę gamybą, buvo nustatyta, kad kai kurios sistemos neperėjo gana griežto cheminio atsparumo virinimui 5% HC1 testo (aptarta žemiau). Be to, buvo nustatyta, kad jų infraraudonųjų ir ultravioletinių spindulių atspindėjimo charakteristikos buvo puikios plačiame panaudojimo diapazone. Dar daugiau, jų matomos šviesos perdavimo koeficiento reikšmės buvo tinkamai žemos privatiems stiklams, bet pasirodė esančios per žemos būti tikrai naudingomis kaip langų arba panelių stiklai meniniams arba gyvenamųjų namų poreikiams, kur reikalaujama aukšto matomos šviesos perdavimo koeficiento. Taigi, kai produkcija, reikalaujanti dulkinimo danga visiškai užpildyti meninio arba gyvenamųjų namų padengto stiklo poreikius po stiklo lakštų privatiems langams, buvo padengta, danga turėjo būti užbaigta taip, kad galėtų būti suformuota nauja sluoksnių sistema. Jei toks užbaigimas galėtų būti pašalintas, būtų pasiekta svarbi pažanga.
Mūsų bendros nuosavybės paruošta paraiška Nr. 07/876 350, paduota 1992 balandžio 30, pavadinta Gero atlikimo, atsparus, žemos E stiklas ir jo gamybos būdas, joje atskleistos tam tikros unikalios dulkinimu padengtos sluoksninės sistemos, turinčios unikalų pritaikomumą meninėms ir gyvenamųjų namų statybos paskirtims, kadangi jos pasiekia ne tik gerų cheminių ir mechaninių atsparumo, bet taip pat saulės šviesos valdymo savybių. Šios sistemos vertai laikomos žemos E stiklais (padengimais), kadangi jų pusiau sferinis spinduliavimas (Eh) paprastai mažesnis negu apie 0,16 ir jų normalinio spinduliavimo geba (En) paprastai mažesnė negu apie 0,12. Išmatuotas kitu būdu jų lapo atsparumas buvo apytikriai mažesnis negu apie 10,50 ohms/plotui. Be to, esant normaliems stiklų plonumams (pvz.: 2-6 mm), matomos šviesos perdavimas buvo apytiksliai apie 78% arba daugiau (lyginta su mažesniu negu apie 22 - 23% tam tikruose tinkamuose anksčiau paminėtuose terminio apdorojimo privačių langų sluoksnių sistemų įgyvendinimuose).
Išradimas šioje anksčiau paminėtoje paruoštoje paraiškoje Nr. 07/876 350, dabar US patentas Nr. 5 344 718, pasiekė savo unikalias žemos E, aukšto matomos šviesos perdavimo reikšmes, kartu su geru cheminiu atsparumu ir atsparumu susidėvėjimui panaudojimu sluoksnių sistemos, kuri paprastai turi (nuo stiklo išorėn) apatinės dangos sluoksnį iš Si3N4, pirmą nikelio arba nikelio lydinio sluoksnį, sluoksnį iš sidabro, kitą sluoksnį iš nikelio arba nikelio lydinio ir išorinės dangos sluoksnį iš Si3N4. Tam tikro tinkamo įgyvendinimo sluoksnių sistema nuo stiklo išorėn susideda iš esmės iš:
Si3N4/Ni:Cr/AG/Ni:Cr/Ag/Ni:Cr/Si3N4
Šie septyni sistemos sluoksniai leido parodyti kai kurias aukštesnes tvirtumo ir atsparumo įbrėžimams charakteristikas negu anksčiau aprašyta penkių sluoksnių sistema. Be to, kiekvienoje sistemoje tinkamu Ni:Cr sluoksniu buvo nichromas, t.y. 80/20 pagal svorį Ni/Cr, kuriame pagrindinė chromo dalis yra Cr nitridas, kadangi Ni:Cr sluoksnis sudarytas nitrogeno turinčioje atmosferoje.
Deja, šios atsparios žemos E, aukšto matomos šviesos perdavimo koeficiento stiklo padengimo sluoksnių sistemos įrodė, kad negali būti termiškai apdorojamos. Dabar įrodyta, kad tai tiesa ne todėl, kad oksiduojasi sidabro sluoksnis arba sluoksniai, bet todėl, kad metalinio sidabro sluoksnis arba sluoksniai terminio apdorojimo metu tampa nutrinkstantys dėl nedrėkstamumo; šiuo atveju Ni:Cr supantys sluoksniai yra nepakankami palaikyti sidabro sluoksnio arba sluoksnių nepertraukiamumą terminio apdorojimo metu. Todėl šios kitais atžvilgiais naudingos sluoksnių sistemos negali būti panaudotos ten, kur sluoksniuotas stiklas po to bus termiškai apdorotas grūdinimu, terminiu kietinimu ir lenkimu. Deja, sidabro sluoksniai buvo būtini naudoti, norint gauti nurodytus žemos E sluoksnius.
Šiuo požiūriu reikia prisiminti, kad tai netinka automobilių priekinių stiklų pramonei, kur termiškai apdorotos dulkinimu padengtos sluoksnių sistemos rado savo pritaikomumą. Kai kurie panaudojimai meninėms paskirtims ir gyvenamųjų namų statyboje taip pat reikalauja, kad padengtas stiklas būtų grūdinamas, lankstomas arba termiškai kietinamas. Dar daugiau, anksčiau paminėto išradimo paraiškoje Nr. 07/876 350, dabar US patentas Nr. 5 344 718, žemos E stiklo sistemos negalėtų būti paprastai pritaikytos pasiekti pakankamai žemas matomumo perdavimo reikšmes, kad padarytų juos naudingais privatiems langams, net jei jie termiškai apdoroti, nors jie nėra tokie. Dėl šių priežasčių šios žemos E stiklo sistemos neįveikė anksčiau paminėtą gamybos problemą, turinčią užbaigti sistemą, kad patenkintų pirkėjų poreikius, reikalaujančius plačiau keisti saulės šviesos valdymo charakteristikas dulkinimu dengtuose stiklo gaminiuose.
Derinyje su anksčiau aprašyta problema buvo problema, sukurta padengimo dulkinimu kameroje, esant būtinybei sukurti S13N4 sluoksnį arba sluoksnius anksčiau paminėtos paraiškos Nr. 07/876 350 sluoksnių sistemoje. Norint gauti tokį sluoksnį, Si užsklanda (paprastai legiruota aliuminiu) buvo panaudota kaip katodas. Tada uždulkintas padengimas elektriškai paveikiamas N2 atmosferoje, kad reakcijos dėka būtų gautas S13N4. Deja, S13N4 nėra laidininkas (kadangi mažas kiekis aliuminio nitrido gauto iš Al legiruojančios priemaišos, kuri taip pat padengia anodą padengimo dulkinimo būdu metu). Padengimo efektyvumas blogėja ir užbaigimo laikas gali būti pratęstas.
Mūsų paraiškoje Nr. 08/102 585, paduotoje tuo pačiu metu čia ir pavadintoje Padengimo dulkinimu užsklanda ir jos panaudojimo būdas, yra atskleistas unikalus šios problemos sprendimas. Paprastai kalbant, sprendimas yra sukurti katodinę užsklandą, kuri turi reikiamą kiekį laidaus metalo, disperguoto Si taip, kad jo nitridas (arba metalas, jei negautas nitridas padengimo dulkinimu operacijos metu) formuojasi pakankamu kiekiu ant anodo, kad palaikytų laidumą ilgesnį laiko periodą, tokiu būdu išvengiant daugkartinio uždarinėjimo. Visas šios paraiškos aprašymas yra įterptas čia nuorodų dėka.
Iki šiol, jei šios srities specialistas norėjo tęsti gavimą žinomos naudos nuo atsparumo susidėvėjimui ir korozijai, naudodamas S13N4 sluoksnius, bet taip pat norėjo išvengti brangiai kainuojančios prastovos, ir tuo pačiu metu turėjo pasiekti terminį apdorojimą ir dar turėti lankstumo keisti saulės šviesos valdymo savybes gana plačiame diapazone, kad išvengtų tolesnių gamybos uždarymų (pagal įvairių pirkėjų poreikius), tas specialistas susidūrė su neišsprendžiama problema. Šiuo požiūriu, aiškus pasirinkimas bet kokio laidaus metalo kaip dispergento (t.y. legiruojančios priemaišos) Si užsklandoje neatskiriamai neišspręstų problemos, nors anodo padengimo problemos įveikimas gali visiškai sužlugdyti šio metalo terminį apdorojimą ir/arba norimų atsparumo lygį, ir/arba saulės šviesos valdymo (tarp jų spalvos) charakteristikas, kurios turi būti pasiektos.
Tai yra todėl, kad, matomai, čia egzistuoja dulkinimu padengtos sluoksnių sistemos, kuri pasiekia padengimo dulkinimu naudą, tuo pačiu įveikiant aukščiau aprašytas problemas ir trūkumus šioje srityje, rčikalingumas. Šio išradimo tikslas įvykdyti šios srities reikmes, taip pat ir kitas reikmes, kurios paaiškės šios srities specialistui tuojau, pateikus toliau einantį aprašymą
IŠRADIMO ESMĖ
Paprastai kalbant, šis išradimas visiškai įvykdo anksčiau aprašytas šios srities reikmes, pateikiant stiklo gaminį, kuris apima stiklo pagrindą, turintį ant jo dulkinimu padengtą sluoksnių sistemą, susidedančią nuo stiklo pagrindo išorėn iš (a) iš esmės metalo sluoksnio, kurį sudaro nikelis arba nikelio lydinys ir kuris iš esmės neturi nitrido; ir (b) viršutinio silicio nitrido sluoksnio (S13N4); ir kur sluoksniai yra tokio pakankamo plonumo, kad, kai stiklo pagrindas yra apie 1,5 - 13 mm plonumo ir turi anksčiau paminėtą sluoksnio sistemą ant jo, šitaip sluoksniuotas stiklo gaminys yra termiškai apdorojamas ir turi matomumo perdavimą apie 1 - 80% ir normalinę spinduliavimo gebą (En) apie 0,10 - 0,60. Tam tikrų tinkamų įgyvendinimų sluoksnis (a) iš esmės neturi nitrido ir stiklo gaminys ir prieš , ir po terminio apdorojimo yra stiprus ir chemiškai atsparus. Tam tikrų kitų tinkamų šio išradimo įgyvendinimų sluoksnių sistema neturi sidabro sluoksnio.
Šis išradimas toliau visiškai įvykdo aukščiau aprašytas reikmes šioje srityje, pateikdamas padengto stiklo gaminio terminio apdorojimo būdą, kuris paprastai apima:
a) padengimą dulkinimu ant stiklo pagrindo sluoksnių sistemos, išdėstytos nuo stiklo pagrindo išorėn, iš esmės metalo sluoksnis, kuris apima nikelį arba nikelio lydinį; ir viršutinio padengimo sluoksnis iš silicio nitrido; ir
b) po to šio padengto stiklo pagrindo terminį apdorojimą, parinktą iš grupės, susidedančios iš lenkimo, grūdinimo, terminio kietinimo ir jų tarpusavio derinio; ir
c) etapą, kai po šio terminio apdorojimo taip gautas gaminys turi normalinę spinduliavimo gebą (En) apie 0,10 - 0,60 ir matomumo perdavimą apie 1 - 80%.
Tam tikrų tinkamų šio išradimo įgyvendinimų sluoksnių sistema dar turi apatinį sluoksnį iš Si3N4, ir kiekvienas iš Si3N4’ sluoksnių turi mažą kiekį laidaus metalo legiruojančios priemaišos arba laidaus metalo nitrido, kai šio metalo panaudojimo rezultatas kaip dispersanto (legiruojančios priemaišos) Si katodo užsklandoje padengimo dulkinimu aparate įveikia aukščiau aprašytą problemą prastovos, reikalingos anodo padengimui nelaidžiu Si3N4. Legiruojančios priemaišos, laidus metalas, žinoma, yra parenkami taip, kad, blogiausiai, neturėtų nepalankaus efekto saulės šviesos valdymui arba kitoms fizikinėms pageidaujamoms galutinio produkto charakteristikoms. Tam tikrose tinkamose sistemose šis legiruojančių priemaišų metalas yra parenkamas iš titano, cirkonio, hafnio ir jų mišinio.
Kaip anksčiau pasakyta, sluoksnių sistemos yra geriau formuojamos, kai kiekvienas sluoksnis padengiamas dulkinimu reikalingu plonumu ant stiklo pagrindo. Nors stiklo plonumas gali būti plačiai keičiamas, tipiškai stiklo gaminys bus nepastovaus stiklo tipo ir turės plonumą apie 1,5 - 13,0 mm (t.y. apie 0,060 0,50) ir dažniausiai apie 2-6 mm. Stiklas gali būti spalvotas arba nespalvotas, arba puoštas raštais. Toks stiklas gali būti vienintelio kietumo tipo. Tam tikrų tinkamų šio išradimo formų ir nustatytas pritaikymu stiklo pagrindui, turinčiam įprastą plonumą apie 4,0 mm, gautas stiklo gaminys po terminio apdorojimo turės šias savybes:
Savybė Ribos
Matomumo perdavimas: apie 1% - 80%
Matomumo atspindėjimas (iŠ stiklo pusės): apie 4% 55%
Matomumo atspindėjimas (iš plėvelės pusės): apie 4% - 65%
Matoma spalva (iš stiklo pusės): sidabrinė, alavinė, mėlyna,pilka
Spinduliavimo geba (normalinė, t.y. En): apie 0,10 -0,60
Lapo atsparumas (Rs): apie 2 - 250 ohms/plotui |
Saulės šviesos perdavimas: apie 1% - 80% |
Viršutinė lentelė rodo, kaip šio išradimo lanksčios sistemos patenkina plačias saulės šviesos valdymo reikmių ribas.
Perdavimas ir atspindėjimas yra rodomas kaip 2° stebimas šviesos šaltinis C.
Labiau tinkamos daugeliui panaudojimų normalinės spinduliavimo gebos (En) ribos yra apie 0,15 - 0,35. Labiau tinkamos daugeliui panaudojimų lapo atsparumo ribos yra apie 15 - 35 ohms/plotui.
Tinkamiausios šio išradimo formos taip gautas gaminys ir jo sluoksnių sistema ir prieš, ir po terminio apdorojimo rodo puikų cheminį atsparumą ir tvirtumą (t.y. atsparumą išdilimui arba įbrėžimams). “Cheminis atsparumas” yra nustatomas gaminio 2 x 5 (50x125 mm) pavyzdžio virinimu 500 cm3 5% HCl vieną valandą (apie 220°F (104,4°C)). Gaminys laikomas perėjusiu šį testą, jei jo mikroplyšiai nedidesni negu apie 0,003 (0,075 mm) diametro po vienos valandos virinimo. “Stiprumas” yra matuojamas dviem testais, pirmasis įprastinis Taber išdilimo trintimi testas, naudojantis 4 x 4 (100x100 mm) pavyzdį ir vieną 500 g krūvį, prijungtą prie kiekvieno iš dviejų C.S. 10F abrazyvinių diskų, besisukančių 300 apsisukimų. Stiprumas dar gali būti nustatomas, naudojant Ramiojo vandenyno mokslininkų nudilinimo testerį (1 (25 mm) nailono šepetys cikliškai pereina per padengimą 500 darbo ciklų su 150 g krūviu, dengiantį 6 χ 17 (150x425 mm) pavyzdį). Jeigu per abu testus neatsiranda žymių, pastebimų plyšimų, kai žiūrima plika akimi dienos šviesoje, testas laikomas praėjęs, ir gaminys laikomas stipriu.
Perdavimo savybės tinkamesnės šio išradimo formos yra, kaip nurodyta aukščiau, yra matuotos įprastinio šviesos šaltinio C, 2° stebėjimo testo dėka, naudojant 4 mm stiklo pagrindą. Būti “termiškai apdorojamu” šio išradimo tinkamos formos prasme reiškia, kad perdavimas (matomumo ir saulės šviesos) terminiu apdorojimu neturi būti pakeistas daugiau negu apie 20% ir geriau kai mažiau negu 10%. Geriausia, kai pasikeitimai mažesni negu apie 2%. Be to, būti “termiškai apdorojamu” šio išradimo tinkamos formos prasme reiškia, kad lakšto atsparumas (Rs) neturi būti padidintas daugiau negu 10% per terminį apdorojimą. Geriau, kai jis nedidėja iš viso, ir visų geriausia, kai jis truputį sumažėja tokio terminio apdorojimo metu.
Toliau aiškinant aukščiau minėtas savybes, terminai “spinduliavimo geba” ir “perdavimo koeficientas” yra gerai suprantami technikos lygiu ir čia naudojami jų gerai žinoma prasme. Tokiu būdu, pavyzdžiui, terminas “perdavimo koeficientas” čia reiškia saulės šviesos perdavimą, kuris sudarytas iš matomos šviesos perdavimo, infraraudonųjų spindulių perdavimo ir ultravioletinių spindulių perdavimo. Bendras saulės šviesos perdavimas paprastai charakterizuojamas kaip įvertintas visų kitų reikšmių vidurkis. Šių perdavimų požiūriu matomumo perdavimas, kaip čia apibūdinta, yra charakterizuojamas pagal šviesos šaltinio C 2° stebėjimo, esant 380 720 nm, technikos standartą infraraudoniesiams spinduliams - 800 - 2100 nm; ultravioletiniams - 300 - 400 nm; ir bendrai saulės šviesai yra 300 - 2100 nm. Be to, spinduliavimo paskirtimi veikia būdinga infraraudonųjų spindulių zona (t.y. 2 500 40 000 nm), kuri aptariama apačioje.
Matomumo perdavimas gali būti matuojamas, naudojant žinomas, įprastas priemones. Pavyzdžiui, naudojant spektrofotometrą, tokį kaip Bekmano 5240 (Beckman Sci. Inst. Corp.), yra gaunama perdavimo spektrinė kreivė kiekvienam bangos ilgiui. Tada matomumo perdavimas paskaičiuojamas, naudojant ASTM E308 “Objektų spalvų įvertinimo metodas, naudojant CIE sistemą” (Annual Book of ASTM Standards, Vol. 14.02). Jei reikia gali būti naudojami kaip nurodyta mažesni bangų ilgių taškų skaičiai. Kitas būdas matomumo perdavimui matuoti yra vartoti spektrometrą, komerciškai gaunamą, pagamintą Ramiojo vandenyno mokslinės kooperacijos. Šis įrenginys tiesiogiai matuoja ir perduoda matomumą.
“Spinduliavimo geba” (E) yra šviesos ir absorbcijos, ir atspindžio matas arba charakteristika duotiems bangų ilgiams. Tai paprastai išreiškiama formule:
E = 1 - AtspindėjimaSpičvcic
Meniniais tikslais spinduliavimo vertės tampa visiškai svarbios taip vadinamose infraraudonojo spektro “vidutinėse ribose”, kartais dar vadinamose “tolesnėse ribose”, t.y. apie 2 500 - 40 000 nm. Terminas “spinduliavimo geba”, kaip čia panaudotas, tokiu būdu yra naudojamas, nurodant spinduliavimo vertes, išmatuotas šiose infraraudonųjų spindulių ribose, kaip nurodyta 1991 pateiktame ASTM standarte infraraudonųjų spindulių energijos matavimui, kad būtų nustatyta spinduliavimo geba, kuris pateiktas Pagrindinės stiklo gamintojų tarybos ir pavadintas “Tęst Method for Measuring and Calculating Emittance of Architectural Fiat Glass Products Using Radiometric Measurements”. Šis standartas ir jo nuostatos čia įtrauktos cituojant. Šiame standarte spinduliavimo geba yra padalinta į dvi dalis, pusrutulinė spinduliavimo geba (Eh) ir normalinė spinduliavimo geba (En).
Aktualus surinkimas duomenų apie tokio spinduliavimo verčių matavimą yra įprastas ir gali būti atliktas, naudojant, pavyzdžiui, Beckman 4260 modelio spektrometrą su “VW” prietaisu (Beckman Scientific Inst. Corp.). Šis spektrometras matuoja atspindį palyginant su bangos ilgiu, ir nuo to paskaičiuojama spinduliavimo geba, naudojant aukščiau paminėtą 1991 pateiktą ASTM standartą, kuris čia įtrauktas jį cituojant.
Kitas čia vartojamas terminas yra “lakšto atsparumas”. Lakšto atsparumas (Rs) yra technikos lygiu gerai žinomas terminas ir čia naudojamas savo gerai žinoma reikšme. Paprastai kalbant, šis terminas nurodo sluoksnių sistemos ant stiklo pagrindo atsparumą ohms bet kokiam plotui elektros srovei, praėjusiai per sluoksnių sistemą. Lakšto atsparumas yra nuoroda, kaip sluoksnis atspindi infraraudonųjų spindulių energiją, ir tokiu būdu yra dažnai naudojamas kartu su spinduliavimu kaip šios charakteristikos matas, toks svarbus daugeliui meninių ir automobilinių stiklų. “Lakšto atsparumas” tinkamai išmatuojamas, naudojant 4 taškų tyrimo ommetrą, pavyzdžiui, neesminis 4 taškų atsparumo tyrimas magnetron Instruments Corp. antgaliu, modeliu M-800, pagamintu Santa Clara, Kalifornija, Signatone Corp.
Sis išradimas dabar bus aprašytas remiantis tam tikrais įgyvendinimais, kurie aptariami ir iliustruojami žemiau šiais brėžiniais, kuriuose:
UŽRAŠAI BRĖŽINIUOSE:
S13N4 = sluoksnis, susidedantis bent iš apie 90% silicio nitrido;
Ni = metalinis sluoksnis;
M = nikelio turintis metalo sluoksnis iš esmės neturintis šio metalo nitrido;
M/O = sluoksnis, kuriame yra labai mažas nikelio turinčio metalo sluoksnio oksidacijos laipsnis, sluoksnis iš esmės lieka be metalo nitridų;
MOX = sluoksnis yra stechiometriškai oksiduotas metalas; stiklas = stiklo pagrindas (taip pat “G” Fig.7);
Wi = pirmas ploviklis;
W2 = antras ploviklis;
T = tunelis;
C = konvejeris;
F = separatoriaus kameros siena;
Fig. 1 - 6 - daliniai skersinio pjūvio vaizdai, kuriuose:
Fig. 1A iliustruoja dviejų sluoksnių sistemą pagal šį išradimą;
Fig. 1B iliustruoja Fig. 1A sluoksnių sistemą su silicio nitrido apatine danga; Fig. 2A iliustruoja kitą dviejų sluoksnių sistemą pagal šį išradimą;
Fig. 2B iliustruoja Fig. 2A sluoksnių sistemą su silicio nitrido apatine danga; Fig. 3A iliustruoja keturių sluoksnių sistemą pagal šį išradimą;
Fig. 3B iliustruoja Fig. 3A sluoksnių sistemą su silicio nitrido apatine danga;
Fig. 4A iliustruoja penkių sluoksnių sistemą pagal šį išradimą;
Fig. 4B iliustruoja Fig. 4A penkių sluoksnių sistemą, kurioje metalas “M” yra iš dalies oksiduotas;
Fig. 5A iliustruoja kitą dviejų sluoksnių sistemą pagal šį išradimą;
Fig. 5B iliustruoja Fig. 5A dviejų sluoksnių sistemą su silicio nitrido apatine danga;
Fig. 6 iliustruoja devynių sluoksnių sistemą pagal šį išradimą;
Fig. 7 yra schematinė įprastos oru aušinamos penkių kamerų padengimo dulkinimu iliustracija, naudinga, gaminant dengto stiklo gaminius pagal šį išradimą.
DETALUS KAI KURIU ĮGYVENDINIMU APRAŠYMAS
Apsvarstytos šiuo išradimu ir pavaizduotos (pvz.: Fig. 1A - 6) sluoksnių sistemos yra termiškai apdorojamos šio termino reikšme, kaip aprašyta aukščiau. Be to, kaip buvo patvirtinta aukščiau jų tinkamesnėse formose, terminis apdorojimas faktiškai gali pagerinti gaminį, padidinant jo IR atspindėjimą (pvz.: kaip nurodyta lakšto atsparumo Rs sumažinimu).
Buvo nustatyta, kad norint pasiekti šią termininio apdorojimo galimybę, kiekvienas sluoksnis turėtų turėti ribotą storį, kuris paprastai iš esmės yra ištisinis.
Tam tikro sluoksnio storis arba visa sistema gali, kadangi kiekvienas sluoksnis iš esmės yra ištisinis, būti keičiami plačiose ribose, priklausomai nuo medžiagos, naudojamos sluoksniui, panaudoto terminio apdorojimo, sluoksnių skaičiaus sistemoje ir pageidaujamų galutinio produkto savybių. Tačiau, paprastai kalbant, buvo nustatyta, kad geriausius rezultatus labiausiai aptartomis paskirtimis duoda šios storio ribos:
Storis (A)
S13N4 (viršutinė danga) 10 - 750
M (nikelis arba nikelio lydinys) 50 - 300
MOX 50 -100
M/O 50 - 500
Ni/Si3N4 50 - 300
S13N4 (tarpinė danga) 500 - 1200
S13N4 (apatinė danga) 10 - 750
Svarbus šio išradimo aspektas yra silicio nitrido (S13N4) panaudojimas kaip sistemos sluoksnio arba sluoksnių. Šiuo požiūriu įvairias silicio nitrido formas, turinčios medžiagos, anksčiau buvo žinomos panaudojime kaip sluoksnių sistemos padengimo medžiagos, galinčios suteikti atsparumą dilimui ir korozijai. Žiūrėti, pavyzdžiui, US patentus Nr. 4 769 291; 5 062 937; 4 954 232; 4 948 482 ir 4 680 742. Šis išradimas pasinaudoja šiomis naudingomis S13N4 sluoksnio arba sluoksnių savybėmis. Tačiau papildomai unikaliai ir visiškai netikėtai šiuo išradimu nustatyta, kad, kai toks S13N4 sluoksnis arba sluoksniai yra naudojami derinyje su kitu parinktu metalu arba metalais, papildant tam tikrą sluoksnių sistemų grupę, šios sluoksnių sistemos pasiekia aukštesnes pageidaujamas savybes tokias pat, kaip termiškai apdorojant. Dar daugiau taip pat netikėtai nustatyta, kad ar dėl sinergizmo, ar kito nežinomo mechanizmo, S13N4 yra naudojamas su tokiu parinktu metalo sluoksniu arba sluoksniais papildyti šias sluoksnių sistemas, reikšmingas patobulinimas cheminiam atsparumui yra žinomas iš patirties, kaip palyginta technikos lygiu, žinomos ir labai vertinamos didelį Ni kiekį turinčios sluoksnių sistemos iš aukščiau minėto US patento Nr. 5 229 194.
Pagal šio išradimo praktiką manoma, kad metalas, naudojamas (kaip M, M/O ir/arba MOX) derinyje su S13N4, galėtų būti išrinktas iš gana ribotos alternatyvios grupės, norint pasiekti terminio apdorojimo,'stiprumo ir cheminio atsparumo pageidaujamų rezultatų, ir tuo pačiu pasiekiant reikalingą spalvą ir pageidaujamas saulės šviesos valdymo savybes. Nors tokia grupė nėra daugiau ribojama aukštu nikelio lydinio kiekiu, kaip buvo nurodyta, pavyzdžiui, US patentuose Nr. 5 188 887 ir 5 229 194, vis dėlto, metalu turi būti arba nikelis arba nikelio turintis lydinys, turintis bent apie 10 svorio % nikelio, kadangi grynas nikelis sunkiai dulka. Nikelio lydinys yra tinkamas, ir šiuo požiūriu tokie lydiniai dažnai turi pakankamą kiekį chromo, kad padarytų sistemą nemagnetinę ir dėl to labiau tinkamą dulkinimui.
Šiuo požiūriu šio išradimo netikėtas požymis yra tai, kad anksčiau laikytas svarbiu trūkumu reikėjimas panaudoti lydinį su aukštu nikelio kiekiu (arba gryną nikelį), norint pasiekti šiluminio apdorojimo galimumą, daugiau toks nėra, kai naudojama derinyje su S13N4 sluoksniu arba sluoksniais. Nors bent vienas nikelio turintis sluoksnis vis dar yra svarbus naudoti, nereikia, kad tai būtų lydinys su aukštu nikelio kiekiu. Nežiūrint to, šio išradimo reikalavimas yra tas, kad nors koks nors mažas arba nežymus oksidacijos kiekis gali būti toleruojamas nikelio turinčiame sluoksnyje arba sluoksniuose, nikelio turintis sluoksnis arba sluoksniai turi būti iš esmės be nitrido, kad būtų pakankamai chemiškai atsparus, kad atitiktų daugiausia reikmių. Šiuo požiūriu nors nitridai daugeliu atveju ypatingai netrukdo pasiekti terminio apdorojimo galimumo daugeliu atveju, nustatyta, kad tokio nitrido susidarymas sumažina cheminį atsparumą, išmatuotą aukščiau minėtu virinimo 5% HCl testu.
Kaip tvirtinta aukščiau nikelio turintis sluoksnis arba sluoksniai gali būti iš esmės iš gryno nikelio, bet daug geriau yra paprastas Ni/Cr lydinys. Vienas nustatytas naudingas pavyzdys iš tokios grupės lydinių yra daugelis nerūdijančių plienu, turinčių kiek galint mažiau nikelio, pvz.: apie 10 svorio % nikelio (pvz.: SS316, kuriame yra 10% Ni ir 90% kitų metalų, daugiausia Fe ir Cr). Žinoma, aukšto kiekio nikelio/chromo lydiniai lieka naudingi šiame išradime. Tokiais yra Ni/Cr 80/20 pagal svorį ir Haynes 214 lydinys, kurių nominali sudėtis pagal svorį yra iš esmės iš:
Elementas
Ni
Fe
Cr
C
Al
Y
Apytikriai svorio %
75,45
4,00
16,00
0,04
4,50
0,01
Kiti Ni/Cr lydinių pavyzdžiai naudojami šio išradimo praktikoje turi Inconel ir nichromą. Paprastai kalbant, tada metalo sluoksnis arba sluoksniai, naudojami derinyje su S13N4 sluoksniu arba sluoksniais, kaip aptarta šiuo išradimu, turi bent apie 10 svorio % nikelio ir bent vienas iŠ šių sluoksnių turi būti iš esmės neoksiduotos formos (arba turėti tik nežymų kiekį oksidavimo) ir geriau būtų be nitrido, kad padidintų cheminį atsparumą.
Dabar nuorodos į brėžinius, Figūros 1A ir 1B iliustruoja vieną tam tikrą tipą čia aptariamos termiškai apdorojamos sluoksnio sistemos. Šiose dviejose figūrose nikelis, turintis metalą “M”, faktiškai nepaveiktą jokios oksidacijos arba faktiškai neturintį nitrido, yra suformuotas dulkinimo padengimu (pvz.: storiu nuo 50 iki 300 o
A). Figūroje 1A šis metalizuotas sluoksnis yra paprastai padengiamas S13N4 dulkinimo padengimu (pvz.: storiu nuo 10 iki 750 A). Figūroje 1B S13N4 apatinė danga pradžioje buvo dulkinimu padengta ant stiklo pagrindo (pvz.: storiu nuo 10 iki 750 A).
Figūroje 2A sluoksnių sistema yra panaši į Figūroje 1A ir sluoksnių sistema Figūroje 2B yra panaši į Figūroje 1B, išskyrus tai, kad pažymėjimu “M/O” nurodoma, kad priimtina terminio apdorojimo sluoksnių sistema gali būti pasiekta nežiūrint mažo oksidavimo, susidariusio metaliniame sluoksnyje, laipsnio. Nors tiksliai nustatyti kiekį ir negalima, bet kai kuriais atvejais gali būti toleruojamas apie 15% deguonies padengimo dulkinimu dujose, kai dar pasiekiamas pageidaujamas šio išradimo rezultatas. Sluoksnio storis čia yra toks pat, kaip ir atitinkamai Figūrose 1A ir 1B.
Figūrose 3A ir 3B parodyta sluoksnių sistemų šeima pagal šį išradimą. Čia ir tik su viršutine S13N4 danga (Figūra 3A), ir papildomai su apatine taip pat iš S13N4 danga (Figūra 3B), stechiometriniai metalo oksido sluoksniai MOX apsupti iš esmės metaliniu sluoksniu M/O. Sluoksniai dulkinimu padengiami tokiais storiais, kurie atitinka aukščiau pateiktus orientyrus.
Figūros 4A ir 4B iliustruoja dar kitą sluoksnių sistemų šeimą, aptariamą šiuo išradimu. Čia du metalo”M” sluoksniai arba truputį oksiduotas metalas “M/O” yra atskirti ir apsupti S13N4 sluoksniais. Taip pat sluoksniai dulkinimu padengiami tokiais storiais, kurie atitinka aukščiau pateiktus orientyrus.
Figūra 6 yra maišytas hibridas šeimų iš Figūrų 3A, 3B ir 4A, 4B, čia yra du metaliniai sluoksniai M/O, iš kurių kiekvienas apsuptas stechiometrinio oksido sluoksniais MOX, kurie paeiliui yra apsupti trim sluoksniais S13N4. Sluoksniai taip pat dulkinimu padengiami tokiais storiais, kurie atitinka aukščiau pateiktus orientyrus.
Figūrose 5A ir 5B toliau išdėstyta kita sluoksnių sistemų šeima pagal šį išradimą. Čia metalinis sluoksnis yra apdengtas (vienas, Figūra 5A) arba dar turi apatinę dangą iš S13N4 (Figūra 5B) kaip kitose šeimose. Tačiau šiame įgyvendinime iš esmės grynas nikelis sumaišytas su S13N4 kaip atskiro metalo sluoksniu. Šis vidurinis Ni/Si3N4 sluoksnis kai kuriomis aplinkybėmis unikaliai tarnauja, norint pasiekti pageidaujamų saulės šviesos valdymo charakteristikų, dar yra labai stiprus, termiškai apdorojamas ir atsparus dilimui. Tinkamuose įgyvendinimuose Ni svorio procentais yra apie 80 - 90%, likęs kiekis yra S13N4.
Šio išradimo sluoksnių sistemos gali būti suformuojamos bet kuria įprasta padengimo dulkinimu techniką, naudojant, pavyzdžiui, įprastą dulkintuvą, tokį kaip
Airco-Temescal daugiazonis žinomos konstrukcijos dulkintuvas. Tačiau vienas tinkamas dangų formavimo būdas pagal šį išradimą yra panaudoti unikalius būdus ir užsklandas, kaip atskleista mūsų paruoštoje paraiškoje Nr. 08/ 102 585, pavadintoje “Padengimo dulkinimu užsklanda ir panaudojimo būdas”, paduotoje kaip tik šia data. Visas šios paruoštos paraiškos aprašymas nuorodų dėka yra čia įterptas. Paprastai kalbant, ir kaip atskleista šioje paruoštoje paraiškoje, unikali padengimo dulkinimu užsklanda, gaminant S13N4 sluoksnius, yra naudojama įveikti anodo padengimo nelaidžiu sluoksniu (pvz.: S13N4) problemą. Tai yra pasiekiama tolygiai sumaišant užsklandos Si su kitu elementu, mažais kiekiais, kuris pavers pagrindinį sluoksnį, suformuotą (ir tuo būdu sluoksnis suformuotas ant anodo) laidžių, tuo būdu sumažinama prastovos laiko anodo atnaujinimui problema paplitusi technikos lygiu.
Išradimo subjekto praktikoje, kur terminio apdorojimo galimumas, saulės šviesos valdymas, stiprumas ir atsparumas dilimui yra pageidaujamos sluoksnių sistemos savybės, turi būti rūpinamasi laidaus elemento, kuris turi būti sumaišomas su Si užsklandoje, parinkimu taip, kad nebūtų panaikinti pagrindiniame suformuotame S13N4 sluoksnyje jų paskirtys ir savybės. Tuo būdu šio išradimo praktikoje yra tinkama daugeliui aptartų sistemų, kad laidaus elemento panaudojimas bus apribotas mažais kiekiais, paprastai mažesniais negu apie 10% ir geriau mažesniais negu apie 5%. Be to, tokie elementai paprastai turi būti labai atsparūs oksidacijai. Gali būti naudojami tokie metalai kaip auksas, platina ir nikelis. Tačiau priimtesni daugeliui čia aptartų paskirčių yra metalai: titanas, cirkonis, chromas, hafnis ir jų mišiniai. Šiems elementams yra teikiama pirmenybė, kadangi jie paprastai sudaro nitridus, kurie yra elektriškai laidūs, kaip optiškai, taip ir mechaniškai, netrukdo (ir yra suderinami) pagrindinei medžiagai S13N4. Tam tikru laipsniu jie sudaro nitridus, tačiau tokių nitridų susidariusį kiekį galima mažinti. Kadangi tam tikru laipsniu kažkiek silicido susidaro iš šių metalų, tikima, kad tai yra tarpinis produktas, kuris greitai skyla į jų atitinkamus nitridus ir bet kuriuo atveju yra suderinamas ir optiškai arba mechaniškai netrukdo S13N4, yra atvejų, kai tai tam tikru laipsniu gali likti.
Ypač tinkama naudojimui čia užsklanda yra Si užsklanda su apie 5% titano priemaiša. Nustatyta, kad galutinis sudarytas sluoksnis arba sluoksniai (pvz.: S13N4, parodytas Fig. 1 - 6) turi apie 95% S13N4, likutį sudaro titano nitridas. Buvo nustatyta, kad mažas titano nitrido kiekis materialiai netrukdo optinėms, mechaninėms, cheminėms, spalvos arba terminio apdorojimo savybėms, apibrėžtoms šio išradimo praktikoje. Be to, panašiu būdu cirkonio, chromo arba hafnio nitridas gali taip pat būti toleruojamas, siekiant pasiekti produkcijos efektyvumo apytikriai tais pačiais kiekiais.
Šis išradimas dabar bus aprašytas remiantis kai kuriais pavyzdžiais:
PAVYZDŽIAI
Šios sluoksnių sistemos padengtos dulkinimu ant švaraus stiklo pagrindų, naudojant Si užsklandą arba užsklandas (su 5% aliuminio priemaiša) ir standartinį padengimo dulkinimu būdą kaip nurodyta. Stiprumo ir cheminio atsparumo testai panaudoti kaip aprašyta aukščiau. Terminiam apdorojimui panaudotas duotas pavyzdžiu tipinis grūdinimo procesas, paveikiant pavyzdį 1265°F (685°C) temperatūroje 5 minutes. Terminio apdorojimo pavyzdžiai yra arba 3 x 3 (75x75 mm), arba 4 x 4 (100x100 mm) dydžio.
PAVYZDYS 1 (Technikos lygio pavyzdys)
Technikos lygio pavyzdžio sluoksnių sistema, tokia kaip iš mūsų anksčiau paminėto US patento Nr. 5 229 194 sferos, buvo suformuota dulkinimo padengimu. Taip suformuota sluoksnių sistema nuo stiklo išorėn buvo -SnO2/MOx/M/O/MOx/SnO2, kur M = Haynes 214 lydinys. Produktas parodė puikų terminį apdorojimą ir Rs lygų 79 ohms/plotui. Bet jis neišlaikė testo cheminiam atsparumui (t.y. virinimo 5% HC1 220°F (48,9°C) vieną valandą) prieš terminį apdorojimą 5 min ir 12 min po terminio apdorojimo. Taber dilinimo testas praėjo taip, kad įvyko 7,6% perdavimo pasikeitimas prieš terminį apdorojimą prie 300 apsisukimų, bet po terminio apdorojimo prie 300 apsisukimų tik 1,2% pasikeitė perdavimas. Tai įrodė visiškai priimtinas mechaninio stiprumo savybes. Nežiūrint to iš dalies žemo cheminio atsparumo, kaip nustatyta virinimo testu, ši padengimo sistema technikos lygiu įrodo esanti puikiai termiškai apdorojamas padengimas, tinkamas daugeliui panaudojimų, kuriuose yra reikalaujama labai sumažinto matomumo perdavimo ir žemo cheminio atsparumo arba jis nedomina. Tokio panaudojimo pavyzdys yra “privatūs” langai automobiliuose. Šiuo požiūriu tipinis matomumo perdavimas šiame technikos lygyje yra apie 23%.
PAVYZDŽIAI 2 - 24
Eilė sluoksniuotų plėvelių dabar buvo padaryta palyginimo tikslu, naudojant standartinius padengimo dulkinimu būdus ir storius pagal aukščiau paminėtas instrukcijas. Rezultatai yra šie:
Pav. Sluoksnių sistema nr.
SnO2/214OX/214-0/214OX/SnO2/Si3N4
SnO2/214OX/214-0/214OX/Si3N4
SnO2/214OX/214-0/214OX/Si3N4/SnO2
Si3N4/214OX/214-0/214OX/Si3N4
Si3N4/214/Si3N4
Si3N4/214-N/Si3N4
Si3N4/214-N/Si3N4
Si3N4/214-N/Si3N4
SbN^M/SisbU
Π δ^Ν^ΚΟΧ^Ν-Ο^ΜΟΧ/Ξΐ^**
Si3N4/214/Si3N4/214/Si3N4
Si3N4/214/Si3N4/214/Si3N4
Si3N4/214OX/214-0/214OX/Si3N4/214OX/ 214-0/214OX/Si3N4
Si3N4/214OX/214-0/214OX/Si3N4/214OX/ 214-0/214OX/Si3N4
Si3N4/214-0/Si3N4 ***Si3N4/Ni/Si3N4
Si^/Ni/SbN^i/SbKt
Si3N4/Ni/Si3N4/Ni/Si3N4
SisNVSSG^/SbNi
Si3N4/SS-316/SnO2
Si3N4/(80/20)/Si3N4 ****Si3N4/(80/20)-0/Si3N4
Si3N4/(80/20)-0/Si3N4 *P = testą perėjo *PP = testą perėjo ir prieš, ir po terminio apdorojimo 5 *F = nepavykęs testas
Terminis apdorojimas
F
P
P
P
P
P
P
P
P
P
P
P
P
P
P
F
P
P
P
Virinimas rūgštyje
F
P
PP
P
P
F
F
F
P
PP
PP
P
P
P
P
P
P ** ši sluoksnių sistema buvo patikrinta ir perėjo Taber testą ir prieš, ir po terminio apdorojimo *** ši sluoksnių sistema demonstravo žemas spinduliavimo savybes (En = 17) **** 80/20 yra 80 svorio % Ni ir 20 svorio % Cr lydinys
Pavyzdžiai 22 - 24 iš viršuje esančios lentelės (čia pateikti kaip 2A, B, C) buvo sudaryti šiuo būdu ant ILS - 1600 Airco dangos, sudarytos dulkinimu naudojant 5/32 švarų stiklą. Buvo panaudotos šios sąlygos:
Gam. linijos nr. Sluoksnio plėvelė Bazinis slėgis, IG Dujos 1: Ar Dujos 2: b 2(O2)
Srautas, (cm3) Monom. parodym. Srautas (cm3) Monom. parodym.
1 S13N4 4,lxl0‘6 25 5,5x1ο·4 25 8,8xl0'4
2A 80/20 2,0xl0'6 40 6,9x1ο·4
2B 80/20-0 l,5xl0‘6 40 7,1x1ο·4 3 (O2) 7,5x1ο·4
2C 80/20-0 2,0xl0'6 40 7,1x1ο·4 6 (O2) 7,8x1ο·4
3 S13N4 2,5xl0'6 25 5,8χ10'4 25 9,Οχ ΙΟ'4
Gam. linijos nr. Sluoks- nio plėvelė Vedanč. pavaros greitis, % Katodo parametrai Kato- do įtampa Dulki- nimo slėgis, IG 1
Galin- gumo lygis, % Įtamp. apkr. blok. Galin- gumas, kW N.srov., Amp.
1 S13N4 35x16 7,0 420 2,9 7,0 424 5,5x 10’4
2A 80/20 35x2 8,5 473 4,0 8,7 477 5,0x ΙΟ4
2B 80/20-0 35x2 8,5 486 4,2 8,7 490 5,3x 10’4
2C 80/20-0 35x2 8,5 501 4,2 8,7 503 5,0x 10'4
3 S13N4 35x8 7,0 424 2,9 7,0 426 5,7x 10'4
24-0 pavyzdžio En (esant 10 mikronų) prieš terminį apdorojimą buvo 0,34 ir Rs buvo 58,1. Po terminio apdorojimo Rs buvo 28,0 ir En buvo 0,23. Šviesos šaltinio C 2° stebimos reikšmės prieš ir po terminio apdorojimo buvo tokios:
Prieš termini apdorojimą:
TY 19,42 x 0,2873 y 0,2967 a -1,24 b -6,77
RGY 16,11 x 0,3259 y 0,3255 a -1,87 b -3,53
RFY 34,48 x 0,3459 y 0,3556 a -0,96 b +15,11
Po terminio apdorojimo:
TY 26,28 x 0,2869 y 0,2986 a -2,17 b -7,04
RGY 12,61 x 0,3209 y 0,3173 a +2,58 b +1,19
RFY 28,36 x 0,3558 y 0,3641 a -0,41 b +17,54
Buvo nustatyta, kad visi šie produktai yra tinkami terminiam apdorojimui, yra stiprūs ir chemiškai atsparūs.
17-as pavyzdys iš viršuje esančios lentelės buvo suformuotas panašiu būdu, naudojant 5/32 švarų stiklą su nežymiais pakeitimais operacijų sąlygose, kaip nurodyta žemiau taip, kad butų sudaryti trys pavyzdžiai a, b, c. Ni sluoksnis uždulkinamas naudojant 10% O2 ir pašildant 10 minučių, tada dulkinimas nutraukiamas.Visi pavyzdžiai buvo tinkami terminiam apdorojimui, buvo chemiškai atsparūs ir stiprūs. Operacijos sąlygos buvo šios:
Gam. linijos nr. Sluoksnio plėvelė Bazinis slėgis, IG Dujos 1: Ar Dujos 2: N2
Srautas (cm3) Monom. parodym. Srautas (cm3) Monom. parodym.
1 S13N4 7,8xl0’6 25 4,8x1ο·4 25 7,1x1ο·4
2a Ni 6,0xl0'6 80 1,6χ10'3
2b Ni 8,4xl0’6 80 l,6xl0'3
2c Ni 2,2xl0‘6 80 1,6χ10'3
3 S13N4 8,4xl0‘6 25 5,4xl04 25 8,2χ10'4
Gam. linijos nr. Sluoks nio plėvelė Vedan. pavar. greitis, % Katodo parametrai Katod. įtampa Dulki- nimo slėgis IG1
Galin- gumo lygis, % Įtamp. apkrov. blok. Galin- gumas, kW N. sr„ Amp.
1 S13N4 35x16 7,0 422 2,9 7,0 425 4,5x ΙΟ4
2a Ni 35x1 8,5 562 5,3 9,5 564 8,8x 10·4
2b Ni 35x2 6,0 543 3,8 7,0 545 8,9x ĮO4
2c Ni 35x2 7,0 547 4,1 7,5 550 7,5x 10'4
3 S13N4 35x8 7,0 429 2,9 7,0 428 4,3x 10‘4
17-am pavyzdžio bandiniui C, šviesos šaltinio C 2° stebėjimo vertės buvo matuojamas ir prieš, ir po terminio apdorojimo ir buvo užrašytos tokiu būdu:
Prieš termini apdorojimą:
TY 23,48 x 0,2847 y 0,2948 a -1,56 b -7,97
RGY 12,74 x 0,3369 y 0,33444 a -2,27 b +6,02
RFY 31,94 x 0,3418 y 0,3499 a -0,47 b +12,77
Po terminio apdorojimo:
TY 22,44 x 0,2835 y 0,2932 a -1,41 b -8,37
RGY 14,45 x 0,3370 y 0,3367 a +1,78 b +6,72
RFY 32,41 x 0,3390 y 0,3461 a -0,17 b +11,48
Lakšto atsparumas Rs prieš terminį apdorojimą buvo 23,5 ir po terminio 5 apdorojimo buvo 17,0. Normalinė spinduliavimo geba (En) prieš terminį apdorojimą buvo 0,24 ir po terminio apdorojimo buvo 0,17. 17-as pavyzdys buvo tinkamas termiškai apdoroti, stiprus ir chemiškai atsparus.
Dabar su nuorodomis į 11-ą pavyzdį viršutinėje lentelėje, bandinys 8x8 (200x200 mm) 5/32 storio švaraus stiklo buvo suformuotas dulkinimo padengimu šiomis sąlygomis:
Dujos 3: O2 1 Monom. parodym. || t.0I*Z‘9 T 0 r-4 X ko II „.οιχε‘9
Sąnaudos, (cm3)_ 40 m 40
Dujos 2: N2 Monom. parodym. 0 r-1 X O 00 Tf 0 1—( X O 00
Sąnaudos, (cm3)_ 25 m CN
Dujos 1: Ar Monom. parodym. i b 1—1 X C; •’t b X r—4 T 0 T—1 X Tt O sr b T—4 X ’Φ b r-4 X
Sąnaudos, (cm3)_ 25 0 40 10 25
Bazinis slėgis, IG 1 •C b «—4 X 03 cn •C b r-4 X cn r—4 0 •—1 X ko CN •C b r-4 X 'φ G b H X CM cn
Sluoksnio plėvelė z cn c/5 214ΟΧ 214-0 Į 214ΟΧ z 00
Gamyb. linijos nr. r—4 CM cn M- tn
Dulkinimo slėgis, IG1 T o r-H X cn K? T o T“4 X ko cri T O τ—1 X σγ cri O Γ“4 X cn
Katodo įtampa 430 335 429 335
Katodo parametrai N. srovė, Amp. o r-'' o 1% T—4 cri o o' o r-”
Galingumas, kW 3,0 of σγ cn 2,3 3,0
Įtampos apkr. blok. 429 333 427 332 430
Galing. lygis, % o S' o r-'' 8,5 | o 7,0
Vedanč. pavaros greitis, % 35x16 35x2 35χ2 35x2 35x8
Sluoksnio plėvelė z m c73 214ΟΧ 214-0 214ΟΧ z c/5
Gamyb. linijos nr. r—4 CN (Ω tn
Lakšto atsparumas prieš terminį apdorojimą buvo 82,6 ir po terminio apdorojimo buvo 46,1. Normalinė spinduliavimo geba (En) prieš terminį apdorojimą buvo 0,48 ir po terminio apdorojimo buvo 0,33. Prieš ir po 2° stebėjimo su šviesos šaltiniu C duomenys buvo tokie:
Prieš termini apdorojimą:
TY 26,04 x 0,2869 y 0,2958 a -1,17 b -7,76
RGY 12,29 x 0,3319 y 0,3327 a +1,40 b +5,15
RFY 29,27 x 0,3436 y 0,3527 a -0,74 b +13,30
Po terminio apdorojimo:
TY 28,34 x 0,2895 y 0,2988 a -1,34 b -6,88
RGY 11,54 x 0,3321 y 0,3341 a +1,09 b +5,32
RFY 26,69 x 0,3395 y 0,3472 a -0,31 b +11,09
Taber testas prieš terminį apdorojimą rodė 7,6% pasikeitimą. Po terminio apdorojimo pasikeitimas buvo tik 1,2%. Pagamintas produktas buvo galimas termiškai apdoroti, stiprus ir chemiškai atsparus.
Pavyzdžiai 12 ir 13 iš aukščiau esančios lentelės buvo suformuoti panašiu būdu ir parodė aukštesnes terminio apdorojimo charakteristikas ir ypatingą cheminį atsparumą. 12-as pavyzdys buvo tamsus, o 13-as pavyzdys nebuvo tamsus. Apdorojimo sąlygos buvo šios:
Abiems pavyzdžiams 12 ir 13
Gam. linijos nr. Sluoksnio plėvelė Bazinis slėgis, IG Dujos 1: Ar Dujos 2: N2
Sąnaudos, (cm3) Monom. parodym. Sąnaudos, (cm3) Monom. parodym.
1 S13N4 3,4xl0-6 25 4,7x1ο·4 25 8,0xl0-4
2 214 l,6xl0-6 40 6,0χ10-4
3 S13N4 l,3xl0-6 25 4,6xl0-4 25 ’8,0xl04
4 214 Ι,ΙχΙΟ-6 40 6,3xl0'4
5 S13N4 9,8xl0-7 25 5,0xl0'4 25 8,2xl0-4
Pavyzdžiai 12 ir 13 pateikti kaip A ir B atitinkamai
Gam. linijo s nr. Sluoks- nio plėvelė Vedan. pavar. greitis, % Katodo parametrai Kato- do įtampa Dulkini- mo slėgis, IG1
Galin- gumo lygis, % Įtamp. apkr. blok. Galin- gumas, kW N. sr., Amp.
1 S13N4 35x16 7,0 430 3,0 7,1 432 4,8x1ο·4
2A 214 35x2 5,0 396 2,6 6,4 401 3,9xl0-4 -4,0
2B 214 35x2 4,3 376 1,8 4,6 379 4,1x1ο-4
3 S13N4 35x8 7,0 431 3,0 7,0 434 4,6xl04
4A 214 35x2 5,0 398 2,6 6,4 397 3,9x1ο-4 -4,0
4B 214 35x2 4,3 376 1,8 4,6 379 4,1x1ο-4
5 S13N4 35x8 7,0 431 3,0 7,0 433 4,8χ104
Pavyzdys 25
Padengto stiklo gaminys naudingas meninėms arba automobilių reikmėms suformuotas ant dulkinimu pagaminto padengimo, naudojant tipinį 5/32 šlifuotą stiklą ir Haynes 214 kaip metalą “M”. Fig.lB rodo gautą sluoksnių sistemą, kurioje S13N4 apatinė danga yra apie 550 A storio, Haynes 214 sluoksnis yra apie 100 A storio ir viršutinė S13N4 danga yra apie 275 A storio. Buvo panaudotas įprastas Airco (Solar Products)-Temescal daugiazonis meninis dulkintuvas kaip parodyta Fig.7. Šio įrenginio įvairios dalys detaliau aprašomos žemiau 26-ame pavyzdyje. Operacijos sąlygos buvo šios:
Padengimo zona Katodas # Medžiaga Voltai Amperai P(kW)
1 1 Si 417 60,7 25,3
2 Si 428 97,7 41,8 .
3 Si 412 97,0 40,0
4 Si 419 69,8 29,2
5 Si 409 90,0 36,8
6 Si 448 92,9 41,6
2 7 Si 415 70,7 29,3
8 Si 417 42,5 17,7
9 Si 431 ' 86,3 37,2
10 Si 416 81,6 33,9
11 Si 420 86,3 36,2
12 Si 430 90,4 38,8
3 31 214 469 36,9 17,3
32 214 462 36,7 17,0
33 214 463 36,1 16,7
4 19 214 426 18,9 8,1
5 25 Si 402 30,9 12,4
26 Si 433 66,1 28,6
27 Si 410 75,1 30,8
28 Si 418 49,9 20,9
29 Si 452 70,8 32,0
30 Si 424 71,3 30,2
ZONA 1
Dujos
Dujų santykis Dujų sąnaudos Droseliavimas Sąnaudų santykis
Slėgis
Argonas ir azotas 80% N2; 20% Ar 1448 N2, 365 Ar 10%
A B C D E
29 0 29 21 (%)
2,0xl0'3 Torrų (~ 0,27 Pa)
ZONA 2
Dujos Dujų santykis Argonas ir azotas 80% N2; 20% Ar
Dujų sąnaudos Droseliavimas 1856 N2, 433 Ar 9%
Sąnaudų santykis A B C D E 24 26 0 26 24 (%)
Slėgis 2,lxl0’3 Torrų (~ 0,28 Pa)
5 ZONA 3 ir 4
Dujos Argonas (100%)
Dujų sąnaudos Droseliavimas 1821 (cm3) Ar 17%
Sąnaudų santykis A B C D E 20 20 20 20 20 (%)
Slėgis 2,0 - 2,lxl0'3 Torrų (~ 0,27-0,28 Pa) ZONA 5
Dujos Dujų santykis Argonas ir azotas 80% N2; 20% Ar
Dujų sąnaudos Droseliavimas 1421 N2, 312 Ar 14%
Sąnaudų santykis A B C D E 19 31 0 31 19 (%)
Slėgis 2,2xl0‘3 Torrų (~ 0,29 Pa)
Galutinis produktas patikrintas ir pateikiami šie rezultatai:
I. (a) matomumo perdavimas (šviesos šalt. C 2° steb.):
prieš terminį apdorojimą 23% po terminio apdorojimo 22% (b) atspindėjimas:
prieš terminį apdorojimą iš stiklo pusės: «15-16% iš plėvelės pusės: «22-24% po terminio apdorojimo iš stiklo pusės: «14-15% iš plėvelės pusės: «17-18% (c) spinduliavimo geba (En):
prieš terminį apdorojimą 0,50 po terminio apdorojimo 0,55 (d) lakšto atsparumas (ohms/plotui):
prieš terminį apdorojimą 60,0 po terminio apdorojimo 73,5
II. Stiprumas (mechaninis) (tikrinta tik Taber testu) prieš terminį apdorojimą 8-9% po terminio apdorojimo 5-6%
III. Cheminis atsparumas (virinimo testas) prieš terminį apdorojimą perėjo po terminio apdorojimo perėjo
Pavyzdys 26
Naudojamas žinomos konstrukcijos įprastas Airco (Solar Products) Temescal 10 daugiazonis meninis dulkintuvas. Sis padengimo įrenginys schematiškai pavaizduotas Fig. 7. Padengimo zonose 1, 2, 4 ir 5 dirba trys katodai, kiekvienas su dviem pasukamomis užsklandomis. Padengimo zonoje #3 dirba trys katodai, kiekvienas su viena plokščia užsklanda. Tokiu būdu užsklandų yra 1 - 27 (pvz.: padengimo zona #1, katodo sekcija #1, užsklanda “1”). Stiklo pagrindas G, čia parodytas kaip plokščias stiklo lakštas (pvz.: plokščios formos dalis dar gali būti sulenkta ir/arba užgrūdinta) gabenamas ritinėliais per padengimo dulkinimu įrenginį, kuriame zonos yra atskirtos žinomu būdu sienomis (F), turinčiomis pačioje apačioje reguliuojamą tunelį (T). Įėjimo ploviklis (Wj) ir išėjimo ploviklis (W2) įtaisyti įprastu būdu.
Naudojant šį įrenginį suformuota sluoksnių sistema Fig.l, kur metalas “M” yra iš esmės metalinis nikelio ir chromo lydinys (80/20 svorio % Ni:Cr). Visos 12 užsklandų padengimo zonose #1 ir #2 yra iš to paties metalo (pvz.: silicis su 5 % Al priemaiša), iš kurio suformuojamas silicio nitrido sluoksnis. Šiuo atveju zonoje 1 ir zonoje 2 80 % N2 ir 20 % argono atmosferos dėka reguliuojamas slėgis iki apytikriai
2-3xl0'3 Torrų. Kai stiklas G juda į priekį per zonas #1 ir #2, esant aukščiau nurodytam slėgiui, silicio nitridas nusėda ant stiklo kaip sluoksnis “A” apytikriai 500 A storio.
Kai stiklas (G) juda į priekį į padengimo zoną #3, katodai 7, 8 ir 9 nusodina sluoksnį gryno metalinio nikelio ir chromo lydinio (80-20) sluoksnį argono dujose, esant slėgiui l-2xl0'3 Torrų. Pasiektas storis yra apytikriai 150A.
Tada stiklas (G) juda per padengimo zoną #4, kurioje slėgis reguliuojamas apie 2-3xl0‘3 Torrų 80 % N2 ir 20 % Ar atmosferos dėka. Katodai 10,11 ir 12 (šešios metalinio silicio užsklandos) naudojami gauti silicio nitrido sluoksnį. Po to stiklas juda per padengimo zoną #5, kurioje tai pat slėgis reguliuojamas apytikriai iki 23xl0'3 Torrų 80 % N2 ir 20 % Ar atmosferos dėka. Norint toliau gauti silicio nitridą, visos šešios užsklandos yra naudojamos šioje padengimo zonoje. Visos silicio užsklandos yra iš 95 svorio % Si ir 5 svorio % Al. Bendras viršutinio S13N4 sluoksnio storis, sudarytas zonose 4 ir 5, yra apytikriai 300 A. Tai sudaro termiškai apdorojamą padengimo sistemą.
Proceso sąlygos yra šios:
Zona Kato- das Užsk- landa kW Kato- do įtampa Amp. Me- džiaga Slėgis Medžiaga, N2%/Ar%
1 1 1 32,1 416 70,9 Si 2,lxl0'3 Torrų 80/20
1 2 19,8 401 42,9 Si 2,lxl0'3 Torrų 80/20
2 3 27,6 402 60,0 Si 2,lxl0'3 Torrų 80/20
2 4 26,9 400 60,8 Si 2,lxl0’3 Torrų 80/20
3 (5) X X X Si 2,lxl0’3 Torrų 80/20
3 (6) X X X Si 2,lxl0'3 Torrų 80/20
2 4 1 26,5 396 60,8 Si 2,0xl0'3 Torrų 80/20
4 2 34,8 407 74,8 Si 2,0xl0'3 Torrų 80/20
5 3 36,0 449 76,8 Si 2,0xl0'3 Torrų 80/20
5 4 39,6 412 88,5 Si 2,0xl0'3 Torrų 80/20
6 5 44,6 421 97,8 Si 2,0xl0’3 Torrų 80/20
6 6 46,7 449 93,7 Si 2,0xl0'3 Torrų 80/20
3 7 1 11,1 436 25,5 80Ni 20Cr l,5xl0'3 Torrų 100 % argonas
8 2 11,1 456 25,4 80Ni 20Cr 1,5χ10'3 Torrų 100 % argonas
9 3 10,9 442 24,8 80Ni 20Cr 1,5χ10'3 Torr9 ί 100 % argonas
4 10 1 18,4 410 41,0 Si 2,1χ10'3 Torrų 80/20
10 2 18,2 410 40,0 Si 2,lxl0'3 Torrų 80/20
11 3 17,2 409 39,5 Si 2,lxl0'3 Torrų 80/20
11 4 17,8 411 39,6 Si 2,lxl0‘3 Torrų 80/20
12 5 18,1 407 39,5 _ Si 2,lxl0'3 Torrų 80/20
12 6 18,4 403 40,4 Si 2,lxl0'3 Torrų 80/20
5 13 1 20,7 38,7 46,6 Si 2,2xl0'3 Torrų 80/20
13 2 20,9 406 45,3 Si 2,2xl0’3 Torrų 80/20
14 3 19,5 396 44,6 Si 2,2xl0'3 Torrų 80/20
14 4 19,7 394 45,2 Si 2,2xl0'3 Torrų 80/20
15 5 19,8 414 45,3 Si 2,2xl0’3 Torrų 80/20
15 6 22,5 447 45,4 Si 2,2xl0’3 Torrų 80/20
Gamybos linijos greitis: 200/min 5 Stiklo storis ir tipas: 3,9 mm, žalia spalva
Galutinės optinės charakteristikos yra šios:
Kai padengta, šviesos šalt. “C”, 2° steb.
TY 22,65 RGY 16,02 a* -4,53 a * -2,51
RFY 22,43 a* +1,21 b* -8,82 b * -0,45 b* +27,12
Lakšto atsparumas = 65,3 ohms/plotui Normalinė spinduliavimo geba = 0,50
Po terminio apdorojimo^, šviesos šalt. “C”, 2° steb.
TY 23,04 RGY 15,37 RFY 23,46
a* -4,07 a* -3,52 a* +0,04
b* -7,13 b* +1,15 b* +22,15
Lakšto atsparumas = 47,3 ohms/plotui
Normalinė spinduliavimo geba = 0,45
AT +0,39 ARG -0,65 ARF +1,03
AE 1,87 AE 1,09 AE 5,90
ALakšto atsparumas = -18,0 ohms/plotui
ANormalinė spinduliavimo geba = -0,05
Bandymas
Cheminis atsparumas:
Padengtas - Fizikinės savybės nepakito po virinimo 230°F (110°C) vieną valandą 5% HC1 rūgštyje
Po kaitinimo - Fizikinės savybės nepakito po virinimo 230°F (110°C) vieną valandą 5% HC1 rūgštyje
Taber dilimo testas: AT (perdavimas) 300 ciklų ir 500 gramų krūvis Padengtas - AT = 8,1%
Po kaitinimo - AT = 6,3% * (terminis apdorojimas 665°C buvo periodiškai pakartotas su 16 minučių periodu)
Pavyzdys 27
Šis pavyzdys suformuotas įrenginiu kaip aprašyta aukščiau 26 pavyzdyje. Tie patys katodai, užsklandos dujų santykis, slėgis ir proceso sąlygos palaikomos padengimo zonose #1 ir #2 kaip ir pavyzdyje 26, kad būtų gauta viršutinė S13N4 danga (ir kažkiek aliuminio nitrido iš priemaišų), tokio paties storio kaip ir pavyzdyje 26. Bet proceso sąlygų pakeitimai padaryti padengimo zonose #3, #4 ir #5.
Dujų mišinys padengimo zonoje #3 pakeistas iš 100% argono į to paties slėgio 95% argono ir 5% deguonies mišinį, ir padengimo zonoje #3 padidintas užsklandų galingumas, kad ant stiklo (G) būtų gautas panašaus storio kaip ir pavyzdyje 26 metalinis sluoksnis. Suformuota sluoksnių sistema kaip Fig. 2B, kur M tas pats Ni/Cr lydinys kaip naudojamas pavyzdyje 26, tik čia iš dalies oksiduotas. Stiklas praeina padengimo zonas #4 ir #5, kur, kaip prieš tai, ant metalo viršaus suformuotas silicio nitrido sluoksnis, dabar iš dalies oksiduotas sluoksnis (M/O). Ši S13N4 viršutinė danga išlaikyta kažkiek plonesnė negu pavyzdyje 26 dėl to, kad daug labiau prilyginta priepageidaujamų pavyzdžio 26 optinių charakteristikų. Šio pavyzdžio padengimo sluoksnių sistemos privalumas, palyginus su pavyzdžiu 26, yra tas, kad gaminių lakšto stiprumas (ir normalinė spinduliavimo geba) po terminio apdorojimo tikrai pasiekta ir yra tipinių padengimų su “žemu E” diapazone. Tokiu būdu ši padengimo sluoksnių sistema turi sugebėjimą atspindėti daugiau infraraudonųjų spindulių, palyginus su pavyzdžio 26 padengimo sluoksnių sistema. Cheminis atsparumas tik nežymiai sumažintas, palyginus su pavyzdžiu 26, bet mechaninis stiprumas pagerintas palyginus su jau geru pavyzdžio 26 stiprumu.
Proceso sąlygos yra šios:
Zona Kato- das Užsk- landa kW Kato- do įtampa Amp. Me- džiaga Slėgis Medžiaga, N2%/Ar%
1 1 1 32,4 424 70,9 Si 2,lxl0'3 Torrų 80/20
1 2 20,1 413 43,0 Si 2,lxl0’3 Torrų 80/20
2 3 27,7 409 60,4 Si 2,lxl0'3 Torrų 80/20
2 4 27,2 405 59,7 Si 2,lxl0'3 Torrų 80/20
3 5 X X X Si 2,lxl0’3 Torrų 80/20
3 6 X X X Si 2,lxl0'3 Torrų 80/20
2 4 1 27,2 408 60,0 Si 2,0xl0'3 Torrų 80/20
4 2 35,5 422 75,4 Si 2,0xl0'3 Torrų 80/20
5 3 31,8 457 67,7 Si 2,0xl0'3 Torrų 80/20
5 4 40,0 422 88,7 Si 2,0xl0‘3 Torrų 80/20
6 5 45,5 433 97,8 Si 2,0xl0'3 Torrų 80/20
6 6 43,4 457 86,6 Si 2,0xl0‘3 Torrų 80/20
3 7 1 18,6 451 39,9 80 Ni 20 Cr l,5xl0‘3 Torrų 95 deguonis 5 Ar
8 2 19,1 481 39,8 80 Ni 20 Cr l,5xl0‘3 Torrų 95 deguonis 5 Ar
9 3 18,7 468 39,1 80 Ni 20 Cr l,5xl0’3 Torrų 95 deguonis 5 Ar
4 10 1 12,3 409 27,7 Si 2,0xl0'3 Torrų 80/20 I
10 2 12,1 409 26,6 Si 2,0xl0‘3 Torrų 80/20
11 3 11,3 408 26,1 Si 2,0xl0'3 Torrų 80/20
11 4 11,8 410 26,1 Si 2,0xl0‘3 Torrų 80/20
12 5 12,0 412 26,4 Si 2,0xl0‘3 Torrų 80/20
12 6 12,3 404 27,2 Si 2,0xl0‘3 Torrų 80/20
5 13 1 12,1 385 27,6 Si 2,lxl0’3 Torrų 80/20
13 2 12,4 401 26,7 ' Si 2,lxl0’3 Torrų 80/20
14 3 11,3 390 26,3 Si 2,lxl0'3 Torrų 80/20
14 4 11,5 392 26,6 Si 2,lxl0'3 Torrų 80/20
15 5 11,5 410 26,8 Si 2,lxl0'3 Torrų 80/20
15 6 13,2 442 26,8 Si 2,lxl0‘3 Torrų 80/20
Pasiekti optiniai rezultatai buvo tokie: 5 Kai padengta, šviesos šalt. “C”, steb.
TY 18,70 RGY 12,76 RFY 25,12
a* -5,06 a* -0,43 a* +0,40
b* -1,04 b* -4,27 b* +24,56
Lakšto atsparumas = 104,5 ohms/plotui
Normalinė spinduliavimo geba = 0,55
Po terminio apdorojimo*, šviesos šalt, “C”, 2° steb.
TY 23,59 RGY 10,77 RFY 21,61
a* -5,46 a* -0,36 a* +0,54
b* -3,47 b* -4,84 b* +26,77
Lakšto atsparumas = 15,2 ohms/plotui Normalinė spinduliavimo geba = 0,183
ΔΤ +4,89 ARG -1,99 ARF -3,51
ΔΕ 6,03 AE 3,45 AE 4,74
ALakšto atsparumas = - -89,3 ohms/plotui
ANormalinė spinduliavimo geba = -0,37
Bandymas
Cheminis atsparumas: Padengtas - nežymus fizikinių savybių pasikeitimas po virinimo 230°F (110°C) 5% HC1 rūgštyje
Po šildymo - vieną valandą nežymus fizikinių savybių pasikeitimas po virinimo 230°F (110°C) 5% HC1 rūgštyje vieną valandą
Taber testas dilimui: AT (perdavimas) 300 ciklų ir 500 gramų krūvis
Padengtas - AT =3,1%
Po šildymo - AT =1,8%
Kai duotas aukščiau esantis aprašymas, daug kitų savybų, modifikacijų ir 15 patobulinimų bus akivaizdūs šios srities specialistui. Todėl tokios kitos savybės, modifikacijos ir patobulinimai laikomi šio išradimo dalimi, kurio apimtį nustato ši apibrėžtis:

Claims (31)

  1. 5 1. Stiklo gaminys, kuris apima stiklo pagrindą, turintį ant jo dulkinimu padengtų sluoksnių sistemą, besiskiriantis tuo, kad sluoksnių sistema išdėstyta išorėn nuo stiklo pagrindo; (a) iš esmės metalinis sluoksnis turi nikelį arba nikelio lydinį; ir (b) viršutinis padengimo sluoksnis yra iš silicio nitrido (S13N4); ir kiekvienas sluoksnis yra tokio pakankamo storio, kad, kai stiklo pagrindas yra 1,5 10 13 mm storio ir turi minėtą sluoksnių sistemą ant jo, tokiu būdu sluoksniuotas stiklo gaminys yra termiškai apdorojamas, turi matomumo perdavimą 1 - 80% ir normalinę spinduliavimo gebą (En) 0,10 - 0,60.
  2. 2. Stiklo gaminys pagal 1 punktą, besiskiriantis tuo, kad minėta
    15 sluoksnių sistema neturi sidabro sluoksnio; sluoksnis (a) iš esmės neturi nitrido; ir minėtas tokiu būdu sluoksniuotas stiklo gaminys yra stiprus ir chemiškai atsparus.
  3. 3. Stiklo gaminys pagal 2 punktą, besiskiriantis tuo, kad minėta sluoksnių sistema apima apatinį padengimo sluoksnį iš silicio nitrido (S13N4),
    20 išdėstytą tarp minėto iš esmės metalinio sluoksnio ir minėto stiklo pagrindo.
  4. 4. Stiklo gaminys pagal 2 punktą, besiskiriantis tuo, kad minėtas iš esmės metalinis sluoksnis turi nežymų metalo, esančio minėtame metaliniame sluoksnyje, oksido kiekį.
  5. 5. Stiklo gaminys pagal 4 punktą, besiskiriantis tuo, kad sluoksnių sistema apima apatinį padengimo sluoksnį iš silicio nitrido (Si3N4), išdėstytą tarp minėto iš esmės metalinio sluoksnio ir minėto stiklo pagrindo.
    30
  6. 6. Stiklo gaminys pagal 5 punktą, besiskiriantis tuo, kad minėta sluoksnių sistema dar apima viršutinį padengimą iš esmės stechiometriniu metalo oksido sluoksniu, minėtą iš esmės metalinį sluoksnį ir kitą iš esmės stechiometrinį metalo oksido sluoksnį, iš apačios dengiantį minėtą metalinį sluoksnį.
  7. 7. Stiklo gaminys pagal 6 punktą, besiskiriantis tuo, kad kiekvienas iš 5 minėtų viršutinio ir apatinio sluoksnių iš stechiometrinio metalo oksido ribojasi su minėtu iš esmės metaliniu sluoksniu.
  8. 8. Stiklo gaminys pagal 1 punktą, besiskiriantis tuo, kad minėta sluoksnių sistema susideda iš daugybės besikaitaliojančių minėtų iš esmės metalinių
    10 sluoksnių ir minėtas silicio nitrido (S13N4) sluoksnis yra apatinio padengimo sluoksnis, išdėstytas tarp minėto stiklo pagrindo ir pirmo iš minėtų daugybės metalinių sluoksnių.
  9. 9. Stiklo gaminys pagal 8 punktą, besiskiriantis tuo, kad sluoksnių
    15 sistema neturi sidabro sluoksnio; sluoksnis (a) iš esmės neturi nitrido; ir minėtas tokiu būdu sluoksniuotas stiklo gaminys yra stiprus ir chemiškai atsparus.
  10. 10. Stiklo gaminys pagal 9 punktą, besiskiriantis tuo, kad bent vienas iš minėtų iš esmės metalinių sluoksnių turi nežymų metalo, esančio minėtame
    20 metaliniame sluoksnyje, oksido kiekį.
  11. 11. Stiklo gaminys pagal 8 punktą, besiskiriantis tuo, kad metalas kiekviename iš minėtų iš esmės metalinių sluoksnių yra tas pats nikelio lydinys ir minėti silicio nitrido sluoksniai turi nežymų laidaus metalo kiekį.
  12. 12. Stiklo gaminys, kuris apima stiklo pagrindą, turintį ant jo dulkinimu padengtą sluoksnių sistemą, besiskiriantis tuo, kad sluoksnių sistema išdėstyta išorėn nuo stiklo pagrindo; (a) sluoksnis sudarytas iš silicio nitrido (S13N4) ir nikelio arba nikelio lydinio mišinio; ir (b) viršutinio padengimo sluoksnį s. iš esmės
    30 sudarytas iš silicio nitrido (S13N4); kiekvienas sluoksnis yra tokio pakankamo storio, kad, kai stiklo pagrindas yra 1,5 - 13 mm storio ir turi anksčiau minėtą sluoksnių sistemą ant jo, tokiu būdu sluoksniuotas stiklo gaminys yra termiškai apdorojamas, stiprus, chemiškai atsparus ir turi matomumo perdavimą 1 - 80% ir normalinę spinduliavimo gebą (En) 0,10 - 0,60.
  13. 13. Stiklo gaminys pagal 12 punktą, besiskiriantis tuo, kad minėta sluoksnių sistema dar apima apatinio padengimo sluoksnį, susidedantį daugiausia iš silicio nitrido (Si3N4), išdėstyto tarp stiklo pagrindo ir minėto sluoksnio (a), ir minėti silicio nitrido sluoksniai turi nežymų laidaus metalo, parinkto iš grupės, apimančios titaną, cirkonį, chromą, hafnį ir jų mišinius, kiekį.
  14. 14. Dengto stiklo gaminio terminio apdorojimo būdas, kuris apima atskirus etapus, besiskiriantis tuo, kad (a) padengia dulkinimu ant stiklo pagrindo sluoksnių sistemą nuo stiklo pagrindo išorėn, iš esmės metalinis sluoksnis turi nikelį arba nikelio lydinį ir viršutinio padengimo sluoksnis yra iš silicio nitrido; ir (b) po to šį padengtą stiklo pagrindą pateikia terminiam apdorojimui, parinktam iš grupės, sudarytos iš lenkimo, grūdinimo, terminio kietinimo ir jų derinio; ir (c) po šio terminio apdorojimo gautas gaminys turi normalinę spinduliavimo gebą (En) 0,10 - 0,60 ir matomumo perdavimą 1-80 % ir šiuo terminiu apdorojimu minėtą matomos ir saulės šviesos perdavimą pakeičia mažiau negu 20 %.
  15. 15. Būdas pagal 14 punktą, besiskiriantis tuo, kad minėtu terminiu apdorojimu matomos ir saulės šviesos perdavimą pakeičia mažiau negu 10 %; naudoja minėtą sluoksnį (a) iš esmės be nitrido; minėtas padengtas stiklo gaminys prieš ir po terminio apdorojimo yra stiprus ir chemiškai atsparus.
  16. 16. Būdas pagal 15 punktą, besiskiriantis tuo, kad minėtą matomos ir saulės šviesos perdavimą minėtu terminiu apdorojimu pakeičia mažiau negu 2%.
  17. 17. Būdas pagal 14 punktą, besiskiriantis tuo, kad minėtą lakšto atsparumą (Rs) minėtu terminiu apdorojimu padidina daugiau negu 10 %.
  18. 18. Būdas pagal 17 punktą, besiskiriantis tuo, kad minėtą lakšto atsparumą (Rs) nepadidina minėtu terminiu apdorojimu.
  19. 19. Būdas pagal 18 punktą, besiskiriantis tuo, kad minėtą lakšto atsparumą (Rs) sumažina minėtu terminiu apdorojimu.
  20. 20. Būdas pagal 14 punktą, besiskiriantis tuo, kad minėta sluoksnių sistema neturi sidabro sluoksnio, minėtas sluoksnis (a) iš esmės neturi nitrido, minėtas padengtas stiklo gaminys ir prieš, ir po' terminio apdorojimo yra stiprus ir chemiškai atsparus.
  21. 21. Būdas pagal 20 punktą, besiskiriantis tuo, kad minėti etapai toliau apima padengimą dulkinimu ant minėto pagrindo apatinio padengimo sluoksnį iš silicio nitrido (S13N4), išdėstytą tarp minėto iš esmės metalinio sluoksnio ir minėto stiklo pagrindo.
  22. 22. Būdas pagal 20 punktą, besiskiriantis tuo, kad minėtas iš esmės metalinis sluoksnis apima mažą metalo, sudarančio šį sluoksnį, oksido kiekį.
  23. 23. Būdas pagal 22 punktą, besiskiriantis tuo, kad minėti etapai toliau apima padengimą dulkinimu ant minėto pagrindo apatinio padengimo sluoksnį iš silicio nitrido (S13N4), išdėstytą tarp minėto iš esmės metalinio sluoksnio ir minėto stiklo pagrindo.
  24. 24. Būdas pagal 23 punktą, besiskiriantis tuo, kad minėti etapai toliau apima padengimą dulkinimu viršutinio padengimo sluoksnį iš stechiometrinio metalo oksido virš minėto iš esmės metalinio sluoksnio ir padengimą dulkinimu apatinio padengimo sluoksnio iš kito stechiometrinio metalo oksido po minėtu iš esmės metaliniu sluoksniu.
  25. 25. Būdas pagal 24 punktą, besiskiriantis tuo, kad minėtus 5 padengimus dulkinimu minėtų apatinių ir viršutinių padengimų sluoksnių iš stechiometrinio metalo oksido atlieka tuojau pat atitinkamai prieš arba po minėto padengimo dulkinimu minėto iš esmės metalinio sluoksnio, kuris yra gretimas su jais.
    10
  26. 26. Būdas pagal 14 punktą, besiskiriantis tuo, kad minėtą terminį apdorojimą atlieka, esant temperatūrai nuo 1150°F - 1450°F (621,1-787,8°C).
  27. 27. Būdas pagal 14 punktą, besiskiriantis tuo, kad minėtas silicio nitrido sluoksnis apima mažą laidaus metalo kiekį.
  28. 28. Dengto stiklo gaminio terminio apdorojimo būdas, kuris apima atskirus etapus, besiskiriantis tuo,kad (a) padengia dulkinimu ant stiklo pagrindo sluoksnių sistemą, išsidėsčiusią nuo stiklo pagrindo išorėn, sluoksnį sudaro iš silicio nitrido (S13N4) ir nikelio arba
    20 nikelio lydinio mišinio ir po to viršutinio padengimo sluoksnį sudaro iš silicio nitrido;
    (b) po to šį padengtą stiklo pagrindą pateikia terminiam apdorojimui, parinktam iš grupės, sudarytos iš lenkimo, grūdinimo, terminio kietinimo ir jų derinio; ir (c) po šio terminio apdorojimo gautas gaminys turi normalinę spinduliavimo 25 gebą (En) 0,10 - 0,60 ir matomumo perdavimą 1-80 % ir šiuo terminiu apdorojimu minėtą matomos ir saulės šviesos perdavimą pakeičia mažiau negu 20 %.
  29. 29. Būdas pagal 28 punktą, besiskiriantis tuo, kad apima tolesnį apatinio padengimo sluoksnio iš silicio nitrido (S13N4) padengimą dulkinimu, kuris
  30. 30 būtų išdėstytas tarp stiklo pagrindo ir minėto sluoksnio iš silicio nitrido (S13N4) ir nikelio arba nikelio lydinio mišinio.
    30. Būdas pagal 29 punktą, besiskiriantis tuo, kad minėtas silicio nitridas turi mažą laidaus metalo kiekį.
  31. 31. Būdas pagal 28 punktą, besiskiriantis tuo, kad minėtą terminį apdorojimą atlieka, esant temperatūrai nuo 1150°F - 1450°F (621,1-787,8°C).
LT96-082A 1995-06-07 1996-06-04 Heat treatable, durable, ir-reflecting sputter-coated glass and method of making same LT4148B (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US48664395A 1995-06-07 1995-06-07

Publications (2)

Publication Number Publication Date
LT96082A LT96082A (en) 1996-12-27
LT4148B true LT4148B (en) 1997-04-25

Family

ID=23932700

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
LT96-082A LT4148B (en) 1995-06-07 1996-06-04 Heat treatable, durable, ir-reflecting sputter-coated glass and method of making same

Country Status (18)

Country Link
US (1) US6159607A (lt)
EP (1) EP0747329B2 (lt)
CN (1) CN1142469A (lt)
AR (1) AR002343A1 (lt)
AT (1) ATE211717T1 (lt)
AU (1) AU680786B2 (lt)
BR (1) BR9602659A (lt)
CA (1) CA2176520C (lt)
CO (1) CO4560355A1 (lt)
DE (1) DE69618381T3 (lt)
ES (1) ES2169167T5 (lt)
IL (1) IL118205A0 (lt)
LT (1) LT4148B (lt)
LV (1) LV11634B (lt)
SG (1) SG88721A1 (lt)
SI (1) SI9600187A (lt)
TR (1) TR199600271A2 (lt)
TW (1) TW403728B (lt)

Families Citing this family (69)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5688585A (en) * 1993-08-05 1997-11-18 Guardian Industries Corp. Matchable, heat treatable, durable, IR-reflecting sputter-coated glasses and method of making same
DE19825424C1 (de) † 1998-06-06 2000-01-05 Ver Glaswerke Gmbh Glasscheibe mit einem metallisch reflektierenden Schichtsystem
FR2799005B1 (fr) 1999-09-23 2003-01-17 Saint Gobain Vitrage Vitrage muni d'un empilement de couches minces agissant sur le rayonnement solaire
US6475626B1 (en) 1999-12-06 2002-11-05 Guardian Industries Corp. Low-E matchable coated articles and methods of making same
US6495263B2 (en) 1999-12-06 2002-12-17 Guardian Industries Corp. Low-E matchable coated articles and methods of making same
US6514620B1 (en) 1999-12-06 2003-02-04 Guardian Industries Corp. Matchable low-E I G units and laminates and methods of making same
US7462397B2 (en) * 2000-07-10 2008-12-09 Guardian Industries Corp. Coated article with silicon nitride inclusive layer adjacent glass
US7267879B2 (en) 2001-02-28 2007-09-11 Guardian Industries Corp. Coated article with silicon oxynitride adjacent glass
US6445503B1 (en) 2000-07-10 2002-09-03 Guardian Industries Corp. High durable, low-E, heat treatable layer coating system
US6576349B2 (en) 2000-07-10 2003-06-10 Guardian Industries Corp. Heat treatable low-E coated articles and methods of making same
US6887575B2 (en) * 2001-10-17 2005-05-03 Guardian Industries Corp. Heat treatable coated article with zinc oxide inclusive contact layer(s)
US7153577B2 (en) * 2000-07-10 2006-12-26 Guardian Industries Corp. Heat treatable coated article with dual layer overcoat
US6524714B1 (en) * 2001-05-03 2003-02-25 Guardian Industries Corp. Heat treatable coated articles with metal nitride layer and methods of making same
US6667121B2 (en) 2001-05-17 2003-12-23 Guardian Industries Corp. Heat treatable coated article with anti-migration barrier between dielectric and solar control layer portion, and methods of making same
US20030049464A1 (en) 2001-09-04 2003-03-13 Afg Industries, Inc. Double silver low-emissivity and solar control coatings
US6605358B1 (en) 2001-09-13 2003-08-12 Guardian Industries Corp. Low-E matchable coated articles, and methods
US6602608B2 (en) 2001-11-09 2003-08-05 Guardian Industries, Corp. Coated article with improved barrier layer structure and method of making the same
US6589658B1 (en) 2001-11-29 2003-07-08 Guardian Industries Corp. Coated article with anti-reflective layer(s) system
US6586102B1 (en) 2001-11-30 2003-07-01 Guardian Industries Corp. Coated article with anti-reflective layer(s) system
US20030155065A1 (en) * 2002-02-13 2003-08-21 Thomsen Scott V. Method of making window unit
US7063893B2 (en) 2002-04-29 2006-06-20 Cardinal Cg Company Low-emissivity coating having low solar reflectance
JP2003322330A (ja) * 2002-04-30 2003-11-14 Nippon Electric Glass Co Ltd 燃焼装置窓用材料
US7122252B2 (en) 2002-05-16 2006-10-17 Cardinal Cg Company High shading performance coatings
US6881487B2 (en) 2002-11-15 2005-04-19 Guardian Industries Corp. Heat treatable coated articles with zirconium or zirconium nitride layer and methods of making same
US6689475B1 (en) 2002-11-20 2004-02-10 Guardian Industries Corp. Heat treatable coated articles with boride layer of titanium and/or zirconium and methods of making same
US7005190B2 (en) * 2002-12-20 2006-02-28 Guardian Industries Corp. Heat treatable coated article with reduced color shift at high viewing angles
US6994910B2 (en) * 2003-01-09 2006-02-07 Guardian Industries Corp. Heat treatable coated article with niobium nitride IR reflecting layer
US7153579B2 (en) * 2003-08-22 2006-12-26 Centre Luxembourgeois de Recherches pour le Verre et la Ceramique S.A, (C.R.V.C.) Heat treatable coated article with tin oxide inclusive layer between titanium oxide and silicon nitride
US7087309B2 (en) * 2003-08-22 2006-08-08 Centre Luxembourgeois De Recherches Pour Le Verre Et La Ceramique S.A. (C.R.V.C.) Coated article with tin oxide, silicon nitride and/or zinc oxide under IR reflecting layer and corresponding method
DE10356357B4 (de) 2003-11-28 2010-05-06 Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh Wärmebehandelbares Sonnen- und Wärmeschutzschichtsystem und Verfahren zu dessen Herstellung
US7507478B2 (en) * 2004-02-25 2009-03-24 Agc Flat Glass North America, Inc. Heat stabilized sub-stoichiometric dielectrics
US20060115651A1 (en) * 2004-11-30 2006-06-01 Guardian Industries Corp. Painted glass tiles, panels and the like and method for producing painted glass tiles and panels
US7592068B2 (en) * 2005-01-19 2009-09-22 Centre Luxembourgeois De Recherches Pour Le Verre Et La Ceramique S.A. (C.R.V.C.) Heat treatable coated article with zirconium silicon oxynitride layer(s) and methods of making same
US7564628B2 (en) * 2006-06-06 2009-07-21 Cpfilms, Inc. Multiple band reflector with metal and dielectric layers
US7807248B2 (en) * 2007-08-14 2010-10-05 Cardinal Cg Company Solar control low-emissivity coatings
US10060180B2 (en) 2010-01-16 2018-08-28 Cardinal Cg Company Flash-treated indium tin oxide coatings, production methods, and insulating glass unit transparent conductive coating technology
US10000411B2 (en) 2010-01-16 2018-06-19 Cardinal Cg Company Insulating glass unit transparent conductivity and low emissivity coating technology
US11155493B2 (en) 2010-01-16 2021-10-26 Cardinal Cg Company Alloy oxide overcoat indium tin oxide coatings, coated glazings, and production methods
US10000965B2 (en) 2010-01-16 2018-06-19 Cardinal Cg Company Insulating glass unit transparent conductive coating technology
US9862640B2 (en) 2010-01-16 2018-01-09 Cardinal Cg Company Tin oxide overcoat indium tin oxide coatings, coated glazings, and production methods
WO2012013787A2 (fr) * 2010-07-29 2012-02-02 Agc Glass Europe Substrat verrier a coloration interferentielle pour panneau de parement
BE1020182A3 (fr) * 2010-07-29 2013-06-04 Agc Glass Europe Substrat verrier a coloration interferentielle pour panneau de parement.
US8703281B2 (en) 2011-01-11 2014-04-22 Guardian Industries Corp. Heat treatable coated article with breaker layer
US8557391B2 (en) 2011-02-24 2013-10-15 Guardian Industries Corp. Coated article including low-emissivity coating, insulating glass unit including coated article, and/or methods of making the same
US8679634B2 (en) * 2011-03-03 2014-03-25 Guardian Industries Corp. Functional layers comprising Ni-inclusive ternary alloys and methods of making the same
US8709604B2 (en) 2011-03-03 2014-04-29 Guardian Industries Corp. Barrier layers comprising Ni-inclusive ternary alloys, coated articles including barrier layers, and methods of making the same
US8790783B2 (en) 2011-03-03 2014-07-29 Guardian Industries Corp. Barrier layers comprising Ni and/or Ti, coated articles including barrier layers, and methods of making the same
US8679633B2 (en) * 2011-03-03 2014-03-25 Guardian Industries Corp. Barrier layers comprising NI-inclusive alloys and/or other metallic alloys, double barrier layers, coated articles including double barrier layers, and methods of making the same
JP5833117B2 (ja) * 2011-05-06 2015-12-16 エージーシー グラス ユーロップ 外装パネルのための干渉色を有するガラス基板
FR2981646B1 (fr) * 2011-10-21 2013-10-25 Saint Gobain Vitrage de controle solaire comprenant une couche d'un alliage nicu
GB201306611D0 (en) * 2013-04-11 2013-05-29 Pilkington Group Ltd Heat treatable coated glass pane
FR3004710B1 (fr) 2013-04-19 2017-01-27 Saint Gobain Vitrage de controle solaire comprenant deux couches metalliques a base de nickel
FR3019173B1 (fr) 2014-03-28 2016-03-25 Saint Gobain Vitrage muni d'un empilement de couches minces pour la protection solaire
FR3021966B1 (fr) 2014-06-04 2016-05-27 Saint Gobain Vitrage pour la protection solaire muni de revetements de couches minces
US10550034B2 (en) * 2014-07-25 2020-02-04 Agc Glass Europe Decorative glass panel
EP2977202A1 (fr) * 2014-07-25 2016-01-27 AGC Glass Europe Vitrage chauffant
FR3048243B1 (fr) 2016-02-26 2018-03-16 Saint-Gobain Glass France Vitrage de controle solaire comprenant une couche d'un alliage nicucr
KR102232717B1 (ko) * 2016-03-14 2021-03-30 가디언 글라스, 엘엘씨 낮은 태양 인자 값을 갖는 녹색 착색된 열 처리 가능한 코팅된 물품
KR20190020289A (ko) * 2016-03-15 2019-02-28 가디언 글라스, 엘엘씨 낮은 태양 인자 값을 갖는 브론즈 착색된 열 처리 가능한 코팅된 물품
CN109562987B (zh) 2016-03-15 2021-12-21 佳殿玻璃有限公司 具有低太阳因子值的蓝色可热处理涂覆制品
US10294147B2 (en) 2017-01-05 2019-05-21 Guardian Glass, LLC Heat treatable coated article having titanium nitride based IR reflecting layer(s)
US10214956B2 (en) 2017-01-05 2019-02-26 Guardian Glass, LLC Heat treatable coated article having titanium nitride and nickel chrome based IR reflecting layers
US10392300B2 (en) 2017-02-23 2019-08-27 Guardian Glass, LLC Heat treatable coated article having titanium nitride and ITO based IR reflecting layers
US10392689B2 (en) 2017-02-23 2019-08-27 Guardian Glass, LLC Heat treatable coated article having zirconium nitride and ITO based IR reflecting layers
WO2018172350A1 (fr) * 2017-03-21 2018-09-27 Agc Glass Europe Vitrage de contrôle solaire
US11028012B2 (en) 2018-10-31 2021-06-08 Cardinal Cg Company Low solar heat gain coatings, laminated glass assemblies, and methods of producing same
KR20210093847A (ko) * 2018-11-20 2021-07-28 미쓰이금속광업주식회사 적층체
CN113233786B (zh) * 2021-06-28 2022-08-26 重庆市渝大节能玻璃有限公司 有色玻璃制备工艺
FR3129938A1 (fr) 2021-12-08 2023-06-09 Saint-Gobain Glass France Vitrage comprenant un empilement antisolaire et un revêtement protecteur comprenant un oxyde d’yttrium et d’au moins un élément choisi parmi l’hafnium et/ou le titane

Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3681042A (en) 1970-03-24 1972-08-01 Pilkington Brothers Ltd Coating of glass on a molten metal bath
US3796146A (en) 1971-10-19 1974-03-12 E Lacey Method and apparatus for cutting nonuniform articles into uniform pieces
US3826728A (en) 1970-05-20 1974-07-30 Shatterproof Glass Corp Transparent article having reduced solar radiation transmittance and method of making the same
US3935351A (en) 1972-05-12 1976-01-27 Ppg Industries, Inc. Multiple glazed windows including selective reflecting metal/metal oxide coatings
US4166018A (en) 1974-01-31 1979-08-28 Airco, Inc. Sputtering process and apparatus
US4413877A (en) 1980-03-10 1983-11-08 Teijin Limited Selectively light-transmitting laminated structure
US4462883A (en) 1982-09-21 1984-07-31 Pilkington Brothers P.L.C. Low emissivity coatings on transparent substrates
US4594137A (en) 1983-09-09 1986-06-10 Ppg Industries, Inc. Stainless steel overcoat for sputtered films
US4826525A (en) 1987-07-29 1989-05-02 Pilkington Plc Process of coating glass for reheating
US5188887A (en) 1989-03-09 1993-02-23 Guardian Industries Corp. Heat treatable sputter-coated glass
US5229184A (en) 1988-04-14 1993-07-20 Albany International Corporation Heat shrinkable fibres and products therefrom
US5229194A (en) 1991-12-09 1993-07-20 Guardian Industries Corp. Heat treatable sputter-coated glass systems
US5344718A (en) 1992-04-30 1994-09-06 Guardian Industries Corp. High performance, durable, low-E glass

Family Cites Families (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3272986A (en) * 1963-09-27 1966-09-13 Honeywell Inc Solar heat absorbers comprising alternate layers of metal and dielectric material
US3798146A (en) * 1973-06-06 1974-03-19 Shatterproof Glass Corp Method of making a transparent article having reduced radiation transmittance
US4179181A (en) * 1978-04-03 1979-12-18 American Optical Corporation Infrared reflecting articles
DE3039821A1 (de) * 1980-10-22 1982-06-03 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Mehrschichtsystem fuer waermeschutzanwendung
DE3311815C3 (de) * 1983-03-31 1997-12-04 Leybold Ag Verfahren zum Herstellen von Scheiben
US4851096A (en) * 1984-07-07 1989-07-25 Kyocera Corporation Method for fabricating a magneto-optical recording element
US4680742A (en) * 1984-07-07 1987-07-14 Kyocera Corporation Magneto-optical recording element
US4780372A (en) * 1984-07-20 1988-10-25 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Silicon nitride protective coatings for silvered glass mirrors
IN163246B (lt) * 1985-08-16 1988-08-27 Atul Products Ltd
DE3544840A1 (de) * 1985-11-05 1987-05-07 Flachglas Ag Verfahren zum herstellen einer vorgespannten und/oder gebogenen glasscheibe mit reduzierter transmission
US4857094A (en) * 1986-04-09 1989-08-15 Flachglas Aktiengesellschaft Method for the manufacture of a toughened and/or bent pane with solar control coating containing platinum or the like
US4799745A (en) * 1986-06-30 1989-01-24 Southwall Technologies, Inc. Heat reflecting composite films and glazing products containing the same
US5332888A (en) * 1986-08-20 1994-07-26 Libbey-Owens-Ford Co. Sputtered multi-layer color compatible solar control coating
JPH0832436B2 (ja) * 1986-11-27 1996-03-29 旭硝子株式会社 透明導電性積層体
US4769291A (en) * 1987-02-02 1988-09-06 The Boc Group, Inc. Transparent coatings by reactive sputtering
US4790922A (en) * 1987-07-13 1988-12-13 Viracon, Inc. Temperable low emissivity and reflective windows
DE3855839T2 (de) * 1987-12-02 1997-07-31 Canon Kk Trägerschicht für Farbstrahlkopf, Herstellungsverfahren und Farbstrahlgerät versehen mit solch einem Kopf
JPH01176067A (ja) * 1987-12-29 1989-07-12 Hoya Corp 窒化シリコン膜の成膜方法
US4965121A (en) * 1988-09-01 1990-10-23 The Boc Group, Inc. Solar control layered coating for glass windows
US5242560A (en) * 1989-03-09 1993-09-07 Guardian Industries Corp. Heat treatable sputter-coated glass
CA2009863C (en) * 1989-03-09 2002-04-30 Raymond Nalepka Heat treatable sputter-coated glass
US5090482A (en) * 1990-01-03 1992-02-25 Spectronix Ltd. Method and apparatus for extinguishing fires
AU655173B2 (en) * 1990-05-10 1994-12-08 Boc Group, Inc., The Durable low-emissivity thin film interference filter
US5377045A (en) * 1990-05-10 1994-12-27 The Boc Group, Inc. Durable low-emissivity solar control thin film coating
TW219953B (lt) † 1991-09-30 1994-02-01 Ppg Industries Inc
EP0546302B2 (en) * 1991-10-30 2004-09-15 Asahi Glass Company Ltd. Method of making a heat treated coated glass
TW221703B (lt) * 1992-03-04 1994-03-11 Boc Group Inc
CA2120875C (en) * 1993-04-28 1999-07-06 The Boc Group, Inc. Durable low-emissivity solar control thin film coating
US5403458A (en) * 1993-08-05 1995-04-04 Guardian Industries Corp. Sputter-coating target and method of use
US5376455A (en) * 1993-10-05 1994-12-27 Guardian Industries Corp. Heat-treatment convertible coated glass and method of converting same
US5557462A (en) * 1995-01-17 1996-09-17 Guardian Industries Corp. Dual silver layer Low-E glass coating system and insulating glass units made therefrom

Patent Citations (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3681042A (en) 1970-03-24 1972-08-01 Pilkington Brothers Ltd Coating of glass on a molten metal bath
US3826728B1 (lt) 1970-05-20 1986-06-10
US3826728A (en) 1970-05-20 1974-07-30 Shatterproof Glass Corp Transparent article having reduced solar radiation transmittance and method of making the same
US3826728B2 (en) 1970-05-20 1994-07-12 Boc Group Plc Transparent article having reduced solar radiation transmittance and method of making same
US3796146A (en) 1971-10-19 1974-03-12 E Lacey Method and apparatus for cutting nonuniform articles into uniform pieces
US3935351A (en) 1972-05-12 1976-01-27 Ppg Industries, Inc. Multiple glazed windows including selective reflecting metal/metal oxide coatings
US4166018A (en) 1974-01-31 1979-08-28 Airco, Inc. Sputtering process and apparatus
US4413877A (en) 1980-03-10 1983-11-08 Teijin Limited Selectively light-transmitting laminated structure
US4462883A (en) 1982-09-21 1984-07-31 Pilkington Brothers P.L.C. Low emissivity coatings on transparent substrates
US4594137A (en) 1983-09-09 1986-06-10 Ppg Industries, Inc. Stainless steel overcoat for sputtered films
US4826525A (en) 1987-07-29 1989-05-02 Pilkington Plc Process of coating glass for reheating
US5229184A (en) 1988-04-14 1993-07-20 Albany International Corporation Heat shrinkable fibres and products therefrom
US5188887A (en) 1989-03-09 1993-02-23 Guardian Industries Corp. Heat treatable sputter-coated glass
US5229194A (en) 1991-12-09 1993-07-20 Guardian Industries Corp. Heat treatable sputter-coated glass systems
US5344718A (en) 1992-04-30 1994-09-06 Guardian Industries Corp. High performance, durable, low-E glass

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
MUNZ IR KT.: "Perfomance and sputtering criteria of modern architectural glass coatings", OPTICAL THIN FILMS, 1982 Vol 325, pages 65 - 73, XP000573494

Also Published As

Publication number Publication date
IL118205A0 (en) 1996-09-12
TR199600271A2 (tr) 1996-12-21
SI9600187A (en) 1996-12-31
AU4567096A (en) 1996-12-19
DE69618381T2 (de) 2002-08-08
LV11634B (en) 1997-04-20
DE69618381D1 (de) 2002-02-14
ES2169167T3 (es) 2002-07-01
CO4560355A1 (es) 1998-02-10
LV11634A (lv) 1996-12-20
LT96082A (en) 1996-12-27
AR002343A1 (es) 1998-03-11
EP0747329A1 (en) 1996-12-11
SG88721A1 (en) 2002-05-21
TW403728B (en) 2000-09-01
CA2176520A1 (en) 1996-12-08
CA2176520C (en) 2002-01-15
DE69618381T3 (de) 2010-07-08
EP0747329B1 (en) 2002-01-09
ES2169167T5 (es) 2010-05-13
EP0747329B2 (en) 2010-03-03
BR9602659A (pt) 1998-10-06
US6159607A (en) 2000-12-12
ATE211717T1 (de) 2002-01-15
CN1142469A (zh) 1997-02-12
AU680786B2 (en) 1997-08-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
LT4148B (en) Heat treatable, durable, ir-reflecting sputter-coated glass and method of making same
JP7022142B2 (ja) 銀系赤外線（ＩＲ）反射層を保護するための銀ドープ保護層を有する（低放射率）ｌｏｗ－Ｅコーティングを有するコーティングされた物品、及びその製造方法
CA2692036C (en) Appliance transparency
JP2786400B2 (ja) 熱処理可能な被膜ガラス及びその製法
AU719493B2 (en) Matchable, heat treatable, durable, IR-reflecting sputter- coated glasses and method of making same
US7211328B2 (en) Prestressable low-E layer systems for window panes
WO2003022770A1 (en) Low-e matchable coated articles, and methods of making the same
SK360792A3 (en) Thermal workable glass with a coating and method of their preparation
BRPI0609103A2 (pt) revestimento de baixa emissividade com baixo coeficiente de aquecimento solar e propriedades quìmicas e mecánicas otimizadas, e processo de produção do mesmo
BRPI0819822B1 (pt) revestimento de baixa emissividade, pilha de baixa emissividade, método para fabricação da mesma e janela automotiva
EP0386993B1 (en) Heat treatable sputter-coated glass
KR20130051521A (ko) 열처리 가능한 저방사 유리 및 그 제조방법
US12017951B2 (en) Coated glass substrate
EP1362015B1 (en) Low-e matchable coated articles and methods of making same
NZ286301A (en) Glass article having layers of sputter coatings of nickel (alloy) and an outer coat of silicon nitride, but no silver layer
WO2024028614A1 (en) Coated glass pane suitable for an automotive glazing
EP1903013A1 (en) Low-E matchable coated articles, and methods of making the same

Legal Events

Date Code Title Description
MM9A Lapsed patents

Effective date: 19980604