TW388842B - Reference image forming method and pattern inspection apparatus - Google Patents

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五、發明說明（1) 發明背景 本發明是關於一種圖形檢查設備’特別是關於由設計 資料形成供晶片對資料庫（die-to-database)檢查使用之 參考圖形的參考圖形形成方法，及圖形檢查設備。 一般而言，一精細圈形，例如形成於光革、線網、晶 片' 液晶構件等之上的半導體積體電路，此精細圖形必須 使用圈形檢查設備來檢查，以檢驗此圖形是否依據由設計 資料形成的理想圖形之大小和形狀精確地畫出。 首先，此類型之圖形檢查設備將以長方形或梯形的位 置座標及線段長度加以描述的設計資料轉變成包含相應於 對象圔形（待檢査）之"0"和"i"的二進制位元資料。 此設備用雷射光束掃瞄對象圓_，並藉由將透 過光聚,、、、於光接收7C件上而得到的圓形訊息，&由 測系統獲得的圖像邊緣輪廓，來形成一定井 數藉由使用此函數並用二進制位元資料進行捲鉢速笪欢 理，此裝置轉#設計資料出逐订捲積運算處 此獲得參考圖像。 、夕階資料），因 此設備裝入有由設計資料所獲得 考I像係和藉由光學系統掃瞄 1像，而該參 的真實圏像同步獲得，並且此 ··圓像感測系統輸入 素位置之不一致點，因而伯憤測圖像之間的對應像 對資科庫檢查)。 读測到真實圖像上的缺陷(晶片 須注意者’由於光學條件 中之圖形具有相對於設計理 程的影麥等’真實圖像 想數值的尺寸錯誤，此導致轉

五 發明說明（2) 料^在轉角處）變圓和線條變粗/細及類似之錯誤。由於相 对於從設奸咨Μ π 祜立丨卞貢料得到的參考圖像之假誤差’而易於發生不 破判定為缺陷的假缺陷。. 牲嫩f此’在此一情況下，藉由依照在每個檢查區域中之 牲嫩' 订通當的邊緣位置偵測或者例如轉角埃認等之

付戳柚取，參者阳/A 、 爹号困像可以被提前修正。 圓形在$用之參考圖像形成方法中，當要修正參考圖像之 佶如=線寬度時’係對於真實圖像施行適當的邊緣位置之 ''理’將修正設計資料之圖形修正寬度依二進制資料 和位元（像素）單位來修正。 在此情況下’由設計位元圖形來形成一變更的位元圖 金’且求取此位元圓形和由真實圖像二進制化而得到之對 圖形之位70資料的EX-OR(互斥或）邏輯和，藉以施行參 考圖像之每個圖形的尺寸調整。 另外’備有逐一位元（bit-by-bit)的修正樣板’用以 對於藉由邊緣位置偵測或者轉角確認等而從設計資料抽取 的邊緣或轉角，指示具有特定圖形邊緣角度（例如’0。， 45° ，9〇° ’或135。）的邊緣或轉角。 接著，選出和對應於該一邊緣或轉角的真實圖像最相 似之修正樣板，以修正原始的設計資料，且經修正的設計 資料再埤轉變成多階資料以形成一參考围像。所得到的參 考囷像和真實圖像間之灰階差異藉由適當的缺陷演算之臨 限值加以檢查，以檢驗對象部分是否為缺陷。依此方式’ 而進行缺陷偵測（例如，參考曰本專利公開公報第 ι^ηΐηΗΓ C:\Program F i1es\Patent\Pl195. ptd 五、發明說明（3) 4-350776 號）。 於此種習用之參考圖像形成方法和圖形檢查設備中， 利用和由設計資料所形成的參考圓像之邊緣或轉角相似的 修正樣板進行原始設計資料之修正，藉以再次形成參考圖 像。依此方式，而形成一和藉由光掃瞄取得之正常圖形的 真實圖像資料相似的參考圖像。因此，由於對於設計資料 之修正處理而使得檢查能力降低，並且由於和修正樣板之 灰階差異而產生假缺陷。 更詳言之，在對設計資料進行圖形修正之際，從一系 列由位元串所代表之圖形形狀的樣板中選擇出和真實圖像 之形狀相似的樣板；並且藉由對於利用所選擇樣板進行邏 輯運算而求得的位元串施以光掃瞄而得到之點擴散函數計 算得之光強度，和經修正過之樣板圖像的捲積運算處理， 而獲得供比較用之多階參考圈像。隨著像素數目之增加， 採用此處理所需之計算量大大增加，導致檢查能力的降 低。此為其一問題點。 另外，由於在圖形修正中的放大或縮小宽度，於各像 素内，係藉由依據樣板對位元串所作的運算而決定，故被 修正圈形之灰階值受限制於樣板之灰階分布。此為其另一 問題點。 此外，因為灰階修正進行時沒有考慮相鄰圊形之形 .狀’如果圖形邊緣不落在像素的邊界上，或如果轉角位置 出現圓形，則由掃瞄得到之參考圖像和真實圖像之灰階差 異将增加’結果’通常易於發生..假缺陷。此為其又另一問

C:\Program Files\Patent\P1195.ptd 第8頁 五、發明說明（4) 題點》 因此’在被配置於一任意角度而設計圈形具有一傾斜 邊緣的阖形之邊緣部，即使採用樣板以像素為單位進行灰 階修正’對於灰階差異之段差亦無法加以插補。 因為在像素邊界之缺陷或圈形邊緣之缺陷，具有相較 於近鄰位置較差的對比度，並且較檢查解析度為小’其灰 階傾向於和近鄰位置相近似，故基於和參考圓像的比較處 理而得之缺陷偵測敏感度乃變差。 發明概要 本發明被開發來解決以上困難，其目的在提供一圖形 檢查設備，它可以形成一相似於被檢查對象的真實圖像之 高精確度參考囷像，並且大大減少假缺陷。 為了達成以上目的，依本發明提供一種使用於圖形檢 查設備的參考圖像形成方法，該圈形檢查設備用來：依據 設計資料’以具有特定波長之雷射光束掃瞄形成於待檢查 對象上之圖形；用接物透鏡將穿過對象物的透過光聚焦於 光接故元件上；以由光接收元件所得到之圖形資訊形成一 真實圖像；及將真實囷豫和由設計資料形成之參考圓像加 以比較’藉以偵測對象物上的缺陷。本發明之參考圓像形 成方法包含如下步驟：在解析度高於檢查解析度的像素 上’將設計資料展開成由多階灰階值構成之一圖形而形 成參考資料；及依據真實圖像中對應圓形之邊緣位置，維 持多階灰階，以高於檢查解析度的精確度放大或縮小參考 資料的各圓形之寬度，而形成一參考闽像。

五、發明說明（5) 圖式之簡單說明 圖1 顯示依照本發明一實施例之圖形檢查設備方塊 圃， 圈2 為用以說明已展開之互連圖形之局部的围式； 圖3 為胭2中一個像素的放大圖； 圖4用以解釋圖2中每個像素之灰階值； 圖5 為放大處理之流程圖； 圖6 為縮小處理之流程圖； *圓7用以解釋有45°斜角之圖形之參考資料的圖式； 圊8 用以解釋放大處理之後的圖形； 囷9用以解釋縮小處理之後的圚形。 符號說明 1 :設計資料輸入部 2 :設計資料展開部 3 :參考圖像形成部 4 :光學掃瞄部 5 :光電圖像處理部 6 :圖像記憶體 7 :資料比較部 11 設 計 資 料 12 參 考 資 料 13 參 考 圖 像 14 掃 瞄 信 號 15 真 實 圖 像

C:\ProgramFiles\Patent\P1195.ptd 第 10 頁 五、發明說明（6) 21 闽形 22 邊緣 23 像素 較佳實施例之詳細說明 · 本發明將參照附圖進行說明》 圖1顯示依照本發明實施例之圈形檢查設備。此圖形 檢査設備包含：一光學掃瞄部4，藉由以雷射光束择_需要 被檢查之互連圖形亦即一對象圖形’而輸出—择^信號 14 ;及一光電圖像處理部5，用以轉換並輸出一择信號 14，使之成為一多階灰階真實圖像15。 ° 此設備亦包含：一設計資料輸入部1 ，用以輸入定義對 象圖形之大小的設計資料1 1 ; 一設計資料展開部2，用以 將設計資料11展開成互連圖形，以形成多階灰階參考資料 1 2 ;-參考圖像形成部3，用以修正使參考資料]2之每一 個互連圖形和真實圖像15相似，俾形成一參考圓像13 ;及 一資料比較部7，用以將雷射光掃瞄獲得的對象囷形的真 實圖像15和由設計資料11形成之參考圖像13加以比較，而 檢查對象圖形。 本發明之操作將參照附圖進行說明。 從設計資料輸入部1輸入類似於MEBES格式之設計資料 11。 然後，在配置成與真實圖像15之圊形座標之位址一致 的矩陣之形式的像素上，設計資料展開部2展開所輸入之 設計資料11成為互連®形。

C:\ProgramFiles\Patent\P1195.ptd 第 11 頁 五、發明說明（7) 圖2表示已展開的互連圖形的部分。 每一像素和設計資料展開部2之展開結果一致β 在這種情況下’圓形21之一邊緣22被展開，而像素之 間沒有任何不連貫。例如，對像素23，在X方向（水平方 向）按照比例3 : 1展開’在Υ方向（垂直方向）按照比例1 : 1 展開。 在每一像素中設定複數個解析度高於檢查解析度的次 像素’用以計算多階灰階值（濃漢值）。每一像素之灰階值 的精埃度由次像素之數值定義。 例如’如果被展開之最大灰階值為255，最小灰階值 為0 ’單位灰階正確值為1 ’ 一個像素由16 X 16個次像素 組成’每一次像素取二進數值"〇"或"丨”。 圖3表示圖2中之像素23’在這種情況下，圖形21被 顯示為16 X 16個次像素中之8 X 12個次像素。 在這種情況下’如果屬於圖形2 1之每個次像素用"1" 代表’不屬於圖形21之每個次像素用"〇"代表，像素23之 灰階值為8 X 12=96。 採用這種操作，不屬於圖形21之每個像素灰階值為最 小灰階值（最小值=〇)。屬於圓形21之像素中與圖形邊緣 不相關之像素有最大灰階值（最大值= 255)。 別外’屬於圖形21且和圖形邊緣相關之每個像素有對 應圖形21上此像素的次像素灰階值。 此方法中’被展開像素21之每個像素的灰階值，即是 真實圈像15之每一圖形對等位址可以藉由像素内位元串所

C:\Program Files\Patent\Pl195. ptd 第12頁 五、發明說明⑻ 代表之面積整化來計算，如圖4所示。 因此以設計資料11為依據，在各個像素上設計資料展 2部2展開互連圖形，然後以像素為單位進行位元整化， 以計算灰階值成單位灰階修正值之倍數。由設計資料展 開部2輸出計算結果作為參考資料12。 參考圖像形成部3增加或減少從設計資料展開部2輸出 的參考資料12的每個互連圖形之寬度，以移動或修正每個 互連圏形之邊緣位置，藉以形成和真實圊像15相似的參考 圖像13。 須注意者，基於指示存放在圈像記憶體6的真實圈像 U之對象圖形之邊緣部分之位置的位址，也即是邊緣位 址，來確定修正寬度。 圖5類示圓形放大處理。圊6顯示圓形縮小處理。 因為使用基本的流程術語時，放大處理和縮小處理兩 者是一樣’以下將參考圓5詳細說明放大處理。 須注意者’先比較真實囷像15和參考圖像12之圖形位 置以確定是否放大或縮小對象圖形。 首先’基於從真實囷像15獲得之相應圈形之邊緣的位 址確定任意對象圖形之放大修正寬度（步驟5〇)。 在此情況下’首先，每個像素之灰階階數藉由下面公 式到： 每個像素之灰階階數=(最大灰階值ΜΑχ 一最小灰階值 ΜΙΝ)/單位灰階修正值 ."（1) 注意，當以次像素為單位，單位灰階修正值（每個步

C:\ProgramFiles\Patent\P1195.ptd 第 13 頁 五、發明說明（9) 驟之灰階修正寬度）是用以放大或縮小操作時的增加值或 縮小值，用以放大（或縮小）藉由設計資料1 1展開得到的 多階參考資料12。單位灰階修正值必須是最大灰階值ΜΑχ 減去最小灰階值Μ I Ν之結果值的約數。 當單位灰階修正值為灰階差異時，每個像素之灰階階 數表示可以得到的灰階值之最大數值》 假設最大灰階值是255，最小灰階值是0，單位灰階修 正值是17 »在此情況下，當移動資料的邊緣，其所有像素 是17的倍數時，對一個像素，以次像素為單位之放大（縮 小）處理可以藉由（ 255-0 )/ 1 7 = 1 5次來進行，即是其次數和 每個像素之灰階階數一致。 因此，如果放大修正寬度從參考資料12之對象圖形之 邊緣位置和真實圖像15相應之邊緣位置來計算，藉由這個 放大修正寬度來反複放大處理的次數可以由下面公式得 到： 每個像素放大（縮小）處理的次數=(相應於像素修正寬 度之灰階階數/每個像素之灰階階數）之商 …（2) 每個次像素放大（縮小）處理的次數=(相應於像素修正 寬度之灰階階數/每個像素之灰階階數）之餘數…（3) 參考資料12之對象圓形之每個像素的放大處理（步驟 53至55 )被反複進行（步驟52)，以像素為單位，其次數可 依公式（2)得到（步驟51 ) <» 在此放大處理中，如果所著眼之像素灰階值是最小灰 階值’（步驟53中表示為"是"），所著眼的像素之灰階值被

C:\Program Files\Patent\P1195. ptd 五、發明說明（10) 其周圍相鄰之八個像素（上、下、左、右、及斜面）中最大 的灰階值取代（步驟53)。如果所著眼之像素灰階值不是最 小灰階值，（步驟5 3中表示為"否"），所著眼之像素之灰階 值被最大的灰階值取代（步驟55)。 當以次像素為單位（步驟56)，藉由根據公式（3)得到 的次數，對在步驟51至55得到的圈像的所有像素（步驟5 7) 執行放大處理（步驟58至59 )。 在步驟58中，依據下面規則檢查所著眼之一像素是否 為進行放大處理的像素。 如果所著眼之像素之灰階值不是最大灰階值（MAX)， 且八個相鄰像素中有一個具有最大灰階值（ΜΑχ)，或者所 著眼之像素之灰階值既不是最大灰階值也不是最小灰階值 (步驟5 8中表示為"是"），則只有一個對應於單位灰階修正 值之灰階值加至所著眼之像素之灰階值（步驟59) » 在縮小處理中（參照圖6 )，如果所著眼的像素之灰階 值不是最小灰階值（MIN)，並且八個相鄰像素中有—個具 有最小灰階值（MIN) ’或者所著眼之像素之灰階值既不是 最大灰階值也不是最小灰階值（步驟68中表示為"是"），則 只有一個相應於單位灰階修正值之灰階值從所著眼之像素 灰階值中減去（步驟69)。 ' 圖7解釋具有45。斜角之圖形之參考資料。 此圈形沒有邊緣出現於無像素的部分。圖7中的數值 代表在各個像素位置之灰階值。 當藉以像素之1.25倍對此圓形進行放大處理（參考圓

C:\Prograra F i1es\Patent\Pl195. ptd 第 15 頁

五、發明說明（11) 5)將得到如圓8所示的圖形。 當藉以像素之1. 25倍對圖7中的圓形進行縮小處理（ 考圈6)，將得到如圓9所示的圖形。 遇理（參 κΊΒη:ϊ中二以像素或次像素為單位，參考圖像形成部 3(圖）對輪入參考資料執行放大或縮小處理，以形成和 實圈像15相似的參考圖像13。 接著’參考圖像13儲存於圖像記憶體内，並藉由資料 比較部7與已經被儲存的真實圓像15作比較，以檢査依據 由設計資料形成的理想圖形之大小和形狀是否能夠準確地 得到對象圖形。 如上所述’依照本發明，設計資料之像素之灰階值用 一具有精球的倍數的多階灰階值矩陣來描述。因此，即使 取代像素之間的不連續，在像素内出現設計資料之圖形邊 緣，設計圖形之在邊緣位置的灰階亦可以精確地描述，並 且可以形成與從對象圚形獲得的真實圖像相似的高精確度 的參考圓像。 另外’不同於習用技術，因為修正後的灰階值沒有被 樣板的灰階分布所限制，故對應真實圈像之邊緣位置可以 形成高精確度之參考圚像。 因為和圓形修正宽度一樣放大或縮小處理也以像素為 單位進行，因此與以次像素為單位進行放大或縮小處理的 情形相比處理時間可以大為縮短。 進而’藉由調節單位灰階修正值可以得到與所期望的 檢查精確度相符之參考闽像。

C:\Program Files\Patent\Pl195. ptd 第16頁 五、發明說明（12) 此外，經過放大或縮小處理之像素以次像素為單位來 分辨，且不論設計資料之互連圖形的角度是多少，灰階修 正以解析度高於像素之解析度的單位灰階修正值進行。因 此，由放大或縮小處理引起'之圖形畸變可以大大減少。即 使設計資料之排列不依照光束掃瞄之方向，亦可以形成相 似於對象圖形之真實圖像的參考圖形。

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Claims (1)

1. 六、申锖專利範团 1· 一種使用於圃形檢査設備的參考圈傻报占古法 該围形檢査設備用來：依據設計資料，以 且’ 束掃猫形待檢査對象上之圓形；用接物透鏡將 穿過對象物的透過光聚焦於光接收元件上. 妓’从田无按收元 件所得到之圖形資訊形成一真實圖像；及將 $計資料形成之參考圖像加以比較，藉以该測對象物上的 缺陷； 該參考圖像形成方法包含如下步驟： 在解析度高於檢查解析度的像素上，將設計資料展開 成由多階灰階值構成之一圖形，而形成參考資料；及 依據真實圖像中對應圖形之邊緣位置，維持多階灰 階’以高於檢查解析度的精確度放大或縮小參考資料的各 圖形之寬度，而形成一參考圈像。 2. 如申請專利範圍第1項之方法，更包括如下步 驟： 在像素中設定次像素’以分割像素成矩陣形式，並且 依據屬於展開於各像素中之圖形的次像素之數值而計算各 像素之灰階值》 3. 如申請專利範圍第2項之方法，更包括如下步 驟：將所屬的全部次像素均不屬於該圖形的像素之灰階值 設定為最小灰階值，並將所屬的全部次像素均屬於該圖形 的像素之灰階值設定為最大灰階值》 4. 如申請專利範圍第3項之方法，更包括如下步 称：以像素和次像素為單位，藉由反複修正每個像素之灰

   C: \Program F i 1 es\Patent\Pl 195. ptd 第18頁 六、申請專利範面 — 階值的方式而增加或減少參考資料之每個圓形之寬度， 修正次數對應於一既定修正寬度〇 、 5. 如申請專利範圍第4項之方法，更包括如下步 驟： 依據展開於像素上之參考資料的對象圓形之邊緣和在 真貧圖像上的相對應圖形之邊緣兩者間的位置關係，計算 對象圈形應被放大或縮小的修正寬度； 將最大灰階值和最小灰階值之差值除以單位灰階修正 值（此為最大灰階值和最小灰階值之差值的因數）而得到每 一像素之灰階階數’再將對應於該修正寬度的灰階階數 (此為單位灰階修正值之倍數）除以該每一像素之灰階階 數；及 將前述計算所得之商值設定為以像素為單位所作灰階 值修正的反複次數，並將前述計算所得之餘數設定為以次 像素為單位所作灰階值修正的反複次數。 6. 如申請專利範圍第5項之方法，更包括如下步 驟： 當所著眼之像素之灰階值是最小灰階值時，將鄰接於 該像素周圍的各像素之灰階值中最大的灰階值設定為該所 著眼之像素的新灰階值，又若像素之灰階值非為最小灰階 值時’則設定最大灰階值為其新的灰階值設定，藉以修正 此像素之灰階值；並且， 進行放大處理，此處理中以像素為單位來執行對象圖 形中每個像素灰階值之修正。

   C:\Program Files\Patent\Pl195. ptd 第19頁 六、申請專利範面 驟： 如申請專利範圍第5項之方法，更包括如下步 當所著眼之像素灰階值既不是最大灰階值也不是最小 ^階值時，或者當此像素灰階值不是最大灰階值而其相鄰 素之一有最大灰階值時，把單位灰階修正值加至所著眼 之像素之灰階值’藉以修正灰階值；並且 進行放大處理，此處理中以次像素為單位來進行對象 圖形中每個像素灰階值之修正。 8*如申請專利範圍第5項之方法，更包括如下步 驟： 當所著眼之像素灰階值是最大灰階值時，設定和此像 素相鄰之所有像素之灰階值中之最小灰階值為所著眼之像 =的新灰階值，並且當像素之灰階值不是最大灰階值，設 定最小灰階值為其新的灰階值設定，藉以修正此像素之灰 階值；並且 進行縮小處理，此處理中以像素為單位來執行對象 圖形中每個像素之灰階值之修正。 9.如申請專利範圍第5項之方法，更包括如下步 称 當所著眼之像素灰階值既不是最大灰階值，也不是最 小灰階值時，或者當像素灰階值不是最小灰階值，而其相 鄰像素之一有最小的灰階值，以所著眼之像素之灰階值減 去單位灰階修正值’藉以修正灰階值；並且 進行縮小處理’此處理中以次像素為單位來執行對象 HH C:\ProgramFiles\Patent\P1195.ptd 第 20 頁 六、申請專利範团 圖形中每個像素灰階值之修正。 Λ Λ 古枝♦. 一種」^取灰袭設J一，用以：依據設計資料，以具 用接物射光束掃瞄形成於待檢查對象上之圖形;、 以由鏡穿過對象物的透過光聚焦於光接收元件上. =光接收元件所得到之圖㈣訊形成一真實明<象；及將 围像和由設計資料形成之參考圓像加以比較，藉以偵 測對象物上的缺陷；此圖形檢查設備包括： 藉以领 t考資料形成裝置，用以在解析度高於檢查解析度的 ，將設計資料展開成由多階灰階值構成之一圓形， 而形成參考資料；及 參考圖像形成裝置，用以依據真實圖像中對應圖形之 邊緣位置’維持多階灰階’ U高於檢查解析度的精確度放 大或縮小參考資料的各圖形之寬度，而形成一參考圓像。 11. 如申請專利範圍第10項之設備，其中，該參 料形成裝置包括在像素中設定次像素以分割像素成矩陣形 式，並且依據屬於展開於各像素中之圈形的次像素之 而計算各像素之灰階值的裳置。β 12. 如申請專利範圍第11項之設備，其中’該參考資 料形成裝置包括用以將所屬的全部次像素均不屬於該圖形 的像素之灰階值設定為最小灰階值，並將所屬的全部次像 素均屬於該圖形的像素之灰階值設定為最大灰階值的裝 置β 13.如申請專利範圍第12項之設備，其中，該參考 料形成裝置包括一裝置，用來以像素和次像素為單位藉

   六、申請專利範团 由反複修正每個像素之灰階值的方 :之每㈣形之宽度，其修正次數對應資 料开人4.丄申：專利範圍第13項之設備，，中，該參考資 料形成裝置包括： 一裝置，依據展開於像素上之參考資料的對象圓形之 和在真實圖像上的相對應圏形之邊緣兩者間的位置關 係計算對象圖形應被放大或縮小的修正宽度； 一裝置，將最大灰階值和最小灰階值之差值除以單位 灰階修正值（此為最大灰階值和最小灰階值之差值的因數） 而得到每一像素之灰階階數，再將對應於該修正寬度的灰 階階數（此為單位灰階修正值之倍數）除以該每一像素之灰 階階數；及 一裝置’將前述除算所得之商值設定為以像素為單位 所作灰階值修正的反複次數，並將前述除算所得之餘數設 定為以次像素為單位所作灰階值修正的反複次數。 15·如申請專利範圍第14項之設備，其中，該參考資 料形成裝置包括： 一裝置，當所著眼之像素之灰階值是最小灰階值時，^ 將鄰接於該像素周圍的各像素之灰階值中最大的灰階值設 定為該所著眼之像素的新灰階值，又若像素之灰階值非為 最小灰階值時，則設定最大灰階值為其新的灰階值設定， 藉以修正此像素之灰階值；及 進行放大處理之裝置，此處理中以像素為單位來執行

   C:\Program Files\patent\P1195.ptd 第 22 真 六、申锖專利範团 對象阖形中每個像素灰階值之修正。 16. 如申請專利範園第14項之設備，其中，該參考資 料形成装置包括： 一裝置’當所著眼之像素灰階值既不是最大灰階值也 不是最小灰階值時，或者當此像素灰階值不是最大灰階值 而其相鄰像素之一有最大灰階值時，把單位灰階修正值加 至所著眼之像素之灰階值，藉以修正灰階值；及 進行放大處理裝置，此處理中以次像素為單位來進行 對象圓形中每個像素灰階值之修正。 17. 如申請專利範圍第14項之設備，其中，該參考資 料形成裝置包括： ^ 一裝置’當所著眼之像素灰階值是最大灰階值時，設 ^和此像素相鄰之所有像素之灰階值中之最小灰階值為所 著眼之像素的新灰階值，並且當像素之灰階值不是最大灰 階值’設定最小灰階值為其新的灰階值設定，藉以修正此 像素之灰階值；及 進行縮小處理之裝置，此處理中以像素為單位來執行 對象圖形中每個像素之灰階值之修正。 18. 如申請專利範圍第14項之設備，其中，該參考資 料形成方法包括： 一裝置，當所著眼之像素灰階值既不是最大灰階值， 也不是最小灰階值時，或者當像素灰階值不是最小灰階 值，而其相鄰像素之一有最小的灰階值，以所著眼之像素 之灰階值減去單位灰階修正值，藉以修正灰階值；及 IHHH C:\Program Files\Patent\Pl195. ptd 六、申請專利範圍 進行縮小處理之裝置，此處理中以次像素為單位來執 行對象圖形中每個像素灰階值之修正。

   C:\Program Files\Patent\P1195. ptd 第24頁