TW380273B - Electronic ray excited light emitting element - Google Patents

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A7 B7 經濟部中央樣準局Μ工消费合作社印災 五、發明説明（ 3 ) Ί 1 ，發 明’ 所 m 技 術 領 域 1 1 .1 本 發 明 為 關 於 在 真 空 密 閉 容 器 中 t 至 少 包含 具備 放 射 1 1 電 子 之 電 子 放 射 裝 置 的 陰 極 基 板 ， 以 及 形 成 有受 該電 子 放 1 I 請 1 I 射 裝 置 之 電 子 激 勵 之 螢 光 體 與 陽 極 的 陽 極 基 板所 構成 的 電 先 閱 1 I 讀 1 I 子 線 激 勵 發 光 元 件 者 0 背 ιέ 1 I 之 1 用 的 技 術 意 1 事 1 在 金 屬 或 半 導 體 表 面 的 施 加 電 場 提 高 到 109 [ V / m ] 程 度 項 再 I 填 時 9 由 於 隧 道 效 應 (t υ η n e 1 e f f e C t ), 電子在常溫真空中 % 取 頁 1 亦 通 過 障 壁 放 射 〇 該 放 射 稱 諝 電 場 放 射 (F i e Id E miss i 〇 η ) 1 而 利 用 該 原 理 放 射 電 子 的 陰 極 稱 為 電 場 放 射型 陰極 0 1 1 近 年 來 因 受 半 導 體 加 工 技 術 進 展 的 推 動 ,已 能製 造 μ in 1 1 (m i c Γ 0 η ) 尺 寸 的 電 場 放 射 型 陰 極 (以下稱F E C )陣列（a「 r a y ) 訂 1 之 面 放 射 型 的 FEC 〇 1 圖 11 表 示 其 一 例 之 使 用 史 賓 特 (S pi n d t ) 型的 電場 放 射 1 陰 極 之 顯 示 元 件 斷 面 圖 〇 I 1 圖 中 表 示 於 陰 極 基 板 1 0 3上以氣相澱積U a p 〇 Γ 1 d e P 〇 si t i on)的方式形成陰極1 09 « 在 陰 極 1 0 9上則形成錐 1 1 狀 的 射 極 錐 體 11 4 〇 在陰極1 09 上 介 由 二 氣 化 的（S i 0 2 ) 之 絶 1 1 緣 層 11 1設閘極1 12 ， 並 在 閘 極 11 2的圓形開口部1 1 3中 配 置 1 1 上 述 之 射 極 錐 體 11 4〇 1 1 亦 即 該 射 極 錐 體 11 4之先端部分為臨介於閘極1 1 2 的 開 1 1 □ 部 11 3 〇 1 1 上 述 射 極 維 體 11 4與射極錐體1 1 4的 間 距 由利 用徹 細 加 1 1 工 技 術 可 以 作 成 在 10 μ m 以 下 t 在 1 枚 陰 極 基 板10 3上可以 1 1 本紙悵尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4现格（21()X 297公釐） 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 A 7 B7 五、發明説明（4 ) '設數萬至數十萬値的FEC。 ' 又由於閘極1 1 2與射極錐體11 4之錐體先端的距離可以 製成次μιη以内，再由施加僅數十伏的電壓於閘極112與陰 極1 0 9之間，便可産生由射極錐體1 1 4的電場放射之電子。 在陰極109與射極錐體114之間為要使其動作安定設電 阻層1 1 0。 又對向於陰極基板103以離開預定間隔設陽極基板102 。在該陽極基板102内倒形成複數之條狀的陽極115,又在 其上面形成螢光體層116。 在陽極基板102與陰極基板103兩基板的端部設側板 104使其以預定間隔對向。而陽極基板102,陰極基板103 以及側板104形成真空密閉容器，其内部108為高真空。 以上述構成的顯示元件.在陰極1 〇 9與閘極1 1 2間施加 預定電壓時，射極錐體114的先端産生電場放射電子。該 電子由施加正電壓的陽極U5吸引而撞及形成在陽極115表 面的螢光體層116。螢光體層116則受電子的激勵而發光。 由於陽極115為使用ITOUndUra-Tin Oxide)等的透明 電極，而陽極基板102為使用玻璃，因此可以透過陽極基 板102觀察發光狀態。 上述裝置由於將射極錐體114做為晝素單位控制其發 光而可顯示晝像於陽極U5上之螢光體層116。 發明所欲解決的課顥 然而於圖11所示習用的顯示元件.其射極錐體Π4的 放射於短期間即劣化，成為難以製得可耐畏期間使用之顯 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )八4規格（210X 297公缝） 。。。„ Λ 4 38200 -ii 1 - I ...... 1-1-1 - ^—^1 . - -- I- - -I - - - - V—* ΛΎ ,-口 (請先閲讀背面之注意事項再填舄本頁) B7 五、發明説明（5 )'示元件的問題。 經濟部中央標準局Η工消费合作社印製 體。 包，空上陽 ，極 述照射 絶者 水 之的内 錐的 為板 真極將 為陽 前線照 性物 疏成 膜的 極目 件基 的陽而 分在 之子線 水合 成形緣 膜 射為 元極 成在， 部成 狀電子 疏混 形 質絶緣 其件 光陰 形成層 之形 板的電 而其 與 物性絶 期元 發製 板形體 性，基射為 ，及 膜 的水性 時光 勵璃 基及光 水近 極放而 成以 緣 性徘水 長發 激玻 極極螢 。疏附 陽置外 構， 絶和成疏 經勵 線的 陽陽之 者為的在装以 膜物 性親形該 供激 子置製的勵 性成極 成射板 。緣化 水有被由 提線 電装 璃狀激水做陽 形放基 可絶氣 疏 具於為 以子 的射玻 條子 疏中述 ，子極 亦性或 該 者對量 。 , 電 明 放的設 電有件 前分電 陽面水 ， 在兩 以有者 題之 發子 置上的 具元的 部述為 表疏物 為於 置含造 問長 本電 配板射成光射 的前或 的覆化 膜對 設之構 述命 上壽 於之 鑑下詈 為低奘 明致的 發不頴 本射誤 放決 之解 , 之向基 放做發 照外之 的 子對極 置面勵線以分 目 電板陽 裝出激 子層部 述射 基述射露 線電 體的 上 放極前 放璃子 之光外 成備陰 ，子玻電 板螢以 逹 具該器 電的述基述層 為 少與容 述板前 極前體 至及閉前基 陽的光 含以密受極 將上螢 , 内被磺 綠以 為質層 近器由 ， 絶置 或物的 附 容為物 性設 ，的少 的 閉性化 水位 間性減 極 密水氡 疏部 其和漸 陽 空疏用 述的 在親逐 述 真述使 上膜 介有面 前 述上偽 又線 層具表 之前 膜 絶部位.至 射的 緣。 性 内部層 本纸浪尺度適用十國國家標準（CNS ) Α4規格（2丨0Χ297公釐） 5 3 8 2 0 0 I n II n n nΛ*水 n m. (請先閱讀背面之注意事項再填荇本頁) A7 B7 經濟部中央樣嗥局K工消費合作社印製 五、 發明説明（ 6 ) 丨 i • 又 依 本 發 明 1 將 無 肋 於 照 射 電 子 線 而 發 光 的 部 份 設 成 1 t 為 疏 水 性 » 使 其 即 使 以 電 子 線 昭 ·；、、、 射 亦 可 防 止 放 出 氯 氣 等 > 1 1 1 而 可 極 力 防 止 氯 氣 被 射 極 錐 體 吸 著 0 由 於 此 f 射 極 錐 體 的 1 1 請 1 電 子 放 射 不 易 降 低 1 電 子 線 激 勵 發 光 元 件 的 壽 命 得 以 大 幅 先 閲 1 1 讀 1 延 長 0 背 1¾ 1 1 之 1 I 在 被 覆 疏 水 性 绝 緣 膜 而 使 其 具 有 疏 水 性 時 t 由 於 介 在 注 意 1 1 事 1 疏 水 性 絶 綠 膜 與 例 如 為 玻 璃 基 板 面 等 之 被 形 成 部 位 之 間 形 項 再 1 填 成 對 兩 者 具 有 親 和 力 之 物 質 的 疏 水 性 絶 緣 膜 ， 因 此 可 減 低 本 %- 頁 1 疏 水 性 絶 緣 膜 剝 離 的 可 能 性 0 1 1 發 明 的 奮 施 形 態 1 1 本 發 明 的 電 子 線 激 勵 發 光 元 件 不 僅 為 以 電 子 線 激 勵 的 1 1 發 光 元 件 1 並 為 包 含 由 電 子 線 激 勵 發 光 的 元 件 形 成 之 顯 示 訂 1 元 件 0 1 1 於 此 在 說 明 本 發 明 的 構 成 之 前 ♦ 先 說 明 關 於 本 發 明 的 1 I 原 委 0 前 述 如 圖 11 所 示 條 狀 陽 極 之 顯 示 元 件 的 壽 命 例 如 圖 1 1 0 以 黑 圓 點 連 線 所 示 待 性 » 其 陽 極 電 流 la 的 低 下 激 歹IJ 0 亦 Ί | 即 表 示 射 極 錐 體 的 電 子 放 射 在 短 時 間 劣 化 0 1 1 然 而 顯 示 元 件 的 壽 命 為 與 其 構 造 有 關 » 比 較 陽 極 的 條 1 1 狀 構 造 1 如 將 陽 極 做 成 一 面 (整面） 狀 構 成 的 顯 示 元 件 « 本 1 1 發 明 者 等 發 現 如 圖 10 中 以 黑 四 方 塊 連 線 所 示 待 性 ♦ 其 壽 命 1 I 得 以 延 畏 〇 1 I 又 由 另 一 方 面 考 察 t 圖 8 為 於 高 真 空 容 器 内 配 設 (s e t 1 1 1 )的配設基板， 以電子線照射其陽極基板時分析其陽極基 1 1 板 所 放 出 之 氣 體 的 結 果 圖 表 〇 圖 中 FEC為未通電於陽極時 1 1 本紙浪尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（2丨0x297公釐） A7 B7 經濟部中央橾準局Μ工消f合作社印製 五、 發明説明（ 7 ) 1 I ’用 以 测 定 底 面 (b a c kg Γ 0 u η d) 的 FEC組（se t), 以 ΙΤ0整面表 1 I f示 者 係 以 ΙΤΟ製之陽極構成為整面的F EC組 t ΙΤ0間隔6 0 μ ID 1 1 表 示 以 ΙΤ0製成條件陽極間隔為6〇μ m的FEC組 ； ΙΤ0間隔1 60 1 I 請 I I μ m 表 示 以 ΙΤ0製成條狀陽極間隔為1 60 μ m 的 FEC組。 先 閲 1 | 讀 1 以 上 述 配 設 狀 態 下 現 出 種 種 的 質 量 數 (m as S n u mb e r ), 背 面 1 1 之 1 圖 8 則 僅 表 示 質 量 數 18 與 質 量 數 32 0 而 質 量 數 18 可 以 當 做 注 意 1 事 1 水 (H 2 0 )， 質量數32可以當做氣（〇2 )0 項 I 填 參 照 圖 8 的 待 性 » 可 知 關 於 質 量 數 18 之 水 分 對 於 其 表 本 裝 I 面 元 件 的 構 造 > 在 陽 極 的 間 隔 越 寬 亦 即 玻 璃 露 出 面 越 多 時 貝 1 1 1 減 少 t 對 於 質 量 數 32 之 氣 氣 則 於 玻 璃 露 出 面 增 加 時 其 為 急 1 1 激 的 增 加 〇 1 1 對 於 電 場 放 射 之 射 極 的 電 子 放 射 某 持 定 的 氣 體 具 訂 1 有 不 良 影 為 既 已 確 認 » 而 氣 氣 (0 2 ) 為 其 中 之 —- 0 亦 即 可 認 1 I 為 質 量 數 3 2之 氣 氣 (0 2 ) 的 增 加 為 減 低 壽 命 的 原 因 0 1 I 於 此 以 考 察 水 分 減 少 而 氣 氣 之 增 加 則 可 認 為 水 分 分 1 1 解 而 放 出 氯 氣 0 此 由 下 述 亦 可 瞭 解 0 即 顯 示 元 件 不 經 過 烤 - 1 I 乾 時 f 殘 留 在 真 空 密 閉 容 器 中 之 瓦 斯 中 水 分 多 而 所 含 氣 氣 1 1 亦 多 t 如 經 過 烤 乾 則 殘 留 於 真 空 密 閉 容 器 中 之 氣 體 水 分 減 1 1 少 而 其 所 含 氣 氣 亦 減 少 0 由 此 可 認 為 氣 氣 為 由 分 解 水 所 放 1 1 出 0 1 | 其 次 就 圖 8 所 示 随 著 陽 極 基 板 之 露 出 而 其 氣 氣 增 加 的 1 I 原 因 m 察 之 » 陽 極 基 板 為 由 玻 璃 製 成 t 而 玻 璃 表 面 則 受 水 1 1 I 分 或 氣 體 的 影 m 産 生 其 狀 態 變 化 的 變 質 層 0 該 表 面 變 質 層 1 1 存 在 所 含 的 水 分 及 吸 箸 在 表 面 的 水 分 等 > 而 玻 璃 中 之 氣 體 I 1 本紙浪尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（2丨():<297公釐） 7 3 8 2 0 0 A7 B7 經濟部中央榡準局貝工消f合作fi印裝 五、發明説明（ 8 ) I ，以 水 分 為 最 多 量 0 1 又 於 玻 璃 表 面 産 生 富 Si 0 2 的 摻 水 層 * 該 表 面 摻 水 層 於 1 1 低 溫 容 易 發 生 破 裂 * 破 裂 後 又 發 生 Si -0 -S i綱面的加水分 1 I 請 1 1 解 f Si 一 0 - -S i + Η 2 0 Si — 0 Η + Η0 — Si 9 接 著 的 脱 水 縮 合 先 閱 1 I 讀 1 I • 發 生 由 2S i爷S i 一 -0 — si + Η2 之 構 造 再 编 成 0 當 其 為 被 電 If ιέ 1 | 之 1 子 線 打 擊 f 或 由 ΙΤ0電極（ 陽 極 )間之玻璃露出面的表面電 意 1 事 1 流 等 » 殘 留 氣 體 中 的 H2 0分子之吸著及玻璃表面的0 Η及至 項 再 1 0 + 之 分 解 循 環 活 潑 進 行 的 結 果 » 可 以 認 為 與 0 2 氣 體 的 放 出 項· 寫 本 裝 I 為 有 關 〇 ):ΐ 1 1 本 發 明 乃 為 依 據 上 述 的 考 察 下 面 用 本 發 明 之 電 子 線 1 1 激 勵 發 光 元 件 的 實 施 形 態 之 顯 示 元 件 做 說 明 0 1 1 圖 1表示本發明之顯示元件的第1 實施形態的構成。 訂 1 圖 中 y 1 為 顯 示 元 件 t 2 為 由 陽 極 1 5 及 螢 光 體 層 1 6形 | 成 的 陽 極 基 板 9 3 為 由 陰 極 9， 電阻層1 0， 絶緣層1 1 , 閘 1 極 1 2及 射 極 錐 體 1 4 構 成 而 形 成 電 子 放 射 裝 置 之 陰 極 基 板 1 1 I 4 將 陽 極 基 板 2 與 陰 極 基 板 3 以 預 定 間 對 向 配 置 之 側 板 1 1 8 為 陽 極 基 板 * 陰 極 基 板 3 及 側 板 4 形 成 的 真 空 密 閉 容 器 1 1 内 部 » 1 3為 形 成 於 蘭 極 1 2 的 開 □ 部 1 1 4為 形 成 於 開 口 部 13 1 1 内 之 用 於 電 場 放 射 電 子 的 射 極 錐 體 ， 17 為 疏 水 性 >t(Lj 緣 膜 0 1 1 圖 1 所 示 顯 示 元 件 的 待 獻 在 其 疏 水 性 绝 綠 膜 1 7 為 形 成 1 I 在 玻 璃 製 之 陽 極 基 板 2 内 表 而 的 全 面 » 而 在 其 上 形 成 條 狀 1 1 I 陽 極 1 5 及 螢 光 體 層 1 6 0 1 1 I 以 上 述 配 設 在 陽 極 基 板 2 不 存 在 玻 璃 露 出 面 〇 即 於 施 1 1 加 預 定 的 電 壓 於 陰 極 9 與 閘 極 1 2 間 使 射 極 錐 體 1 4 電 場 放 射 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（21UX 2S»7公釐） 8 3 8 2 0 0 A7 B7 經濟部中央標準局K工消费合作社印裝 五、 發明説明（9 ) I ’電 子時 1 放 射 的 電 子 線 受 施 加 正 電 壓 的 陽 極 15吸引 妖 而 1 1 '由 於放 射 電 子 為 約 以 60 0 展 開 的 角 度 放 射 t 因 此並 不 »=ir* 兀 全 1 1 收 束照 射 於 陽 極 15 i 在 陽 極 15間 亦 受 到 照 射 0 -V 1 I 請 1 I 如 依 前 述 在 陽 極 15間 存 在 露 出 的 玻 璃 表 面 時則 將 放 出 先 閲 1 I 讀 1 1 氧 氣氣 體 > 秋 依 本 發 明 因 在 玻 璃 表 面 形 成 疏 水 性絶 緣 膜 17 背 1¾ 1 1 之 1 » 在陽 極 基 板 2 上 無 玻 璃 露 出 > 電 子 線 為 照 射 於疏 水 性 Ά >iILj 注 意 1 事 1 錄 膜17 〇 疏 水 性 绝 綠 itir· 膜 1 7如 其 名 所 思 指 不 具 吸 著水 份 的 特 項 再 1 填 性 ,雖 以 電 子 線 照 射 亦 因 不 存 在 水 份 而 可 防 止 氣氣 的 放 出 % 裝 頁 1 0 1 參 照 圖 9 說 明 上 述 本 發 明 的 作 用 0 圖 9 為 於配 設 在 高 1 1 真 空容 器 内 的 配 設 基 板 t 將 電 子 線 照 射 於 陽 極 基板 時 S 陽 1 1 極 基板 放 出 之 氣 體 分 析 的 結 果 圖 表 0 圖 中 S i N表示以疏水 訂 1 性 之氮 化 矽 (S i N )形成圖1 所示絶線膜17之本發明的配設， 1 | SiO表示以親水性之氣化矽（SiO)形 成 圖 1 所 示 膜 1 7的 1 J 1 配 設。 1 1 如 圖 9 , 質量數18所示的水份， 用疏水性氮化矽時約 、、、 1 為 使用 親 水 性 氣 化 矽 時 的 數 分 之 一 〇 而 以 質 量 數32所 示 放 1 1 出 的氣 氣 則 使 用 排 水 性 氡 化 矽 時 較 用 親 水 性 氧化 矽 激 減 1 1 約 為100分1 0 由 此 可 充 分 的 預 m 顯 示 元 件 可 得 到長 壽 命 〇 1 1 其 次 對 圖 1 所 示 顯 示 元 件 的 製 造 方 法 做 概 略說 明 、 即 1 I 為 於玻 璃 製 之 陽 極 基 板 2 的 表 面 以 使 用 Si Η 4 與 NH3為氣體 1 1 I 種 的電 漿 化 學 氣 相 澱 積 法 (P 1 a S RI a C V D - C h e m 1 G a 1 C a P 0 Γ 1 1 | De » P 〇 s i t i ο η )或者以S i Ν為 巨 標 » N 2 為 載 體 氣 體 (car r i e r 1 1 g c 1 S )的 反 應 性 噴 鍍 (S P a t t e r )法作成的S i X Ν χ 膜 ,以 及 由 噴 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（2H)X2W公趁） 9 3 8 2 0 0 A7 經濟部中央標準局Μ工消资合作社印取 B7五、發明説明（10 ) 鑛法作成的A 1 H , B N等之氪化膜形成疏水性絶緣膜1 7。該 '疏水性絶線膜17之厚度例如形成為Ο.ίμιη程度。然後將透 明陽極15之ΙΤ0膜以噴鍍法或ΕΒ蒸著法形成0.05〜Ο.ίμιη厚 度，並由照像印刷法（P h t ο 1 i t h 〇 g r a p h y )及蝕刻法（ ethching)形成條狀的模圖（patterning)。 其後以塗沾法（s 1 u r r y )或電鍍法形成陽極1 5而作成陽 極基板2。 又於玻璃製的陰極基板3上以噴鍍法用Nb, W, Mo等 形成例如為〇.4w厚度的陰極9,以CVD法形成例如為Ι.Ομιη 厚度的電阻層，以噴鍍法用Nb形成例如為0·4μπι厚度的閘 極12。 然後於閘極1 2用S F 6等以乾蝕刻法形成開口部1 3。之 後以傾斜蒸著U的剝離層，於其上以射極材料之Μ 0正澱積 ，其次以濕蝕刻法去除剝離層即形成射極錐體1 4於開口部 13内而作成陰極基板3。 其次以所作成之陽極基板2與陰極基板3挾著側板4 以PbO等的封密玻璃封閉，形成真空密閉容器而將内部8 , 排氣作成真空。然後封閉未圖示的排氣孔而完成顯示元件 1 〇 圖2表示本發明第2實施形態之顯示裝置的構成。圖 4與圖1相同部份用同一符號表示並省略其説明。 圖2所示第2實皰形態之顯示装置1與圖1所示第1 實施形態比較其疏水性絶緣層17的設置方法不同。亦即在 第2實施形態於其形成為條狀的陽極15之間露出的玻漓製 本紙張尺度適州t國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） .. 9 0 0 Λ Λ -f - - - - -- -- I - - - I -i - 1— 士·--- -I J- - . - - - ii 1 ~^ (請先M讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 經濟部中央樣準局負工消费合作社印裝 五、 發明説明（ 11 ) I ’陽 極 基 板 2 為 被 覆 以 疏 水 性 niLj 綠 膜 1 7 0 1 | 上 述 狀 況 下 將 疏 水 性 絶 緣 膜 1 7 被 覆 設 置 於 螢 光 體 層 1 1 1 6 以 外 受 射 極 錐 體 1 4放 出 之 電 子 線 點 照 射 的 陽 極 基 板 2 的 r—*s 1 I 請 1 I 部 份 亦 可 〇 又 疏 水 性 絶 緣 膜 可 以 其 使 含 有 色 素 ， 或 添 加 混 先 閱 1 I 讀 1 { 合 物 > 或 由 施 行 表 面 處 理 將 其 做 黑 化 處 理 t 使 發 光 以 外 部 背 1¾ 1 I 之 1 份 成 為 黑 矩 陣 (b 1 a c k m at r i X ) 以 提 升 對 比 亦 可 〇 注 意 1 1 事 1 圖 3 表 示 本 發 明 第 3 實 施 形 態 之 顯 示 裝 置 的 構 成 0 圖 項 再 1 填 中 與 圖 1 相 同 部 份 用 同 一 符 號 表 示 並 省 略 其 説 明 0 裝 頁 1 圖 3 所 示 第 3 實 施 形 態 之 顯 示 裝 置 1 與 麵 2 所 示 第 2 、〆 1 | 實 施 形 態 比 較 在 疏 水 性 绝 綠 膜 17 的 設 置 方 法 不 同 0 亦 即 於 1 1 第 3 實 施 形 態 > 不 但 在 陽 極 基 板 2 上 t 在 陰 極 基 板 3 上 亦 1 1 設 疏 水 性 絶 緣 膜 17 〇 訂 i 上 述 設 施 對 於 射 極 錐 體 14 放 出 的 電 子 衝 擊 到 陽 極 基 板 1 I 2 時 > 如 圖 所 示 由 陽 極 基 板 2 側 放 出 2 次 電 子 > 該 2 次 電 1 I 子 衝 擊 陰 極 基 板 3 > 以 致 陰 極 基 板 3 放 出 氣 氣 予 以 防 止 0 1 1 並 為 防 止 白 射 極 錐 體 1 4放 出 的 電 子 成 為 反 跳 電 子 返 回 至 陰 1 極 基 板 3， 由該反跳電子衝擊陰極基板3 而放出氣氣。 1 1 於 上 述 狀 態 下 1 雖 未 做 圖 示 » 然 將 側 板 4 的 側 面 被 覆 1 1 以 疏 水 性 緣 膜 17亦 可 0 但 因 疏 水 性 絶 緣 膜 17 對 PbO材質 1 1 的 玻 璃 密 封 劑 將 有 m 影 > 因 此 對 於 玻 璃 密 封 劑 部 份 不 宜 1 | 設 疏 水 性 絶 緣 膜 17 〇 1 I 如 上 所 述 I 第 3 實 施 形 態 之 顯 示 裝 置 對 於 陽 極 基 板 2 1 1 I 以 外 之 電 子 線 照 射 的 陰 極 基 板 3 等 的 部 份 亦 使 其 成 為 疏 水 1 1 性 者 0 1 1 11 本紙張尺度適用中國圏家標準（CNS ) Λ4現格（210X297公埯） 3 8 2 0 0 A7 經濟部中央標準局員工消费合作社印奴 B7五、發明説明（12 ) ’ 疏水性絶線膜17可由SixNy, /UN, BN等氮化物，SiC, A1C, BC, WC, Tie等之碩化物，氟化物，或由至少包含其 中一項之混合物形成。又上述疏水性絶緣膜17可由CVD反 應性噴鍍，離子電鍍法等澱積形成。 又以化學處理，或離子注入等的物理處理以代替被覆 疏水性絶緣膜17使陽極基板2及陰極基板3具有疏水性亦 可。 然而如上述第1〜第3的實施形態實際上設疏水性絶 绨膜時.例如因為使用的材質對陽極基板2及陰極基板3 的玻璃基板有親和性低的持性。因此疏水性絶緣膜對上述 玻璃基板無法得到充分的密著強度，而確認疏水性絶緣膜 有自玻璃基板剝離的可能性。 上述現象例如於圖1所示第1實施形態對玻璃基板（ 陽極基板2)為將疏水性絶绨膜17以整面形成時，由於玻璃 基板面與疏水性絶緣膜之接觸面積大而不待別成為問題， 然於2及圖3所示的實施形態，在形成疏水性絶绨膜於形 成為條狀陽極15之間露出的陽極基板2時，以玻璃基板面 之接觸面積小為主因而無法得到充份的密著強度，由此可 知疏水性絶線膜之發生剝離的高可能性。 以下說明解消上述玻璃基板與疏水性絶緣膜剝離之可 能問題的實施形態。 圖4表示第4實施形態之顯裝置的構成例，其中與圖 1〜圖3相同部份註以同一符號並省略其説明，3又該画為 表示顯示元件1之上部側，亦即表示陽極基板側的一部份 本紙張尺度適州中國國家標隼（CNS ) Λ4規格（210 X 297公釐） 〇 ο ο η η ^ 批衣 訂 (請先閲讀背面之注意事項再填转本頁) A7 B7 經濟部中央標準局貨工消f合作杜印製 五、發明説明 f 1 ( 13 ) 1 I 〇 上 圖 所 示 實 施 形 態 1 其 疏 水 性 絶 緣 膜 17 A由2 層形成 Ί 1 〇 為 形 成 疏 水 性 絶 緣 膜 17 A首先以S i的氣化物之S i 0 X對陽 r—N 1 I 請 1 I 極 基 板 2 的 露 出 面 形 成 Si 0 X 層 17 a , 其次以具有疏水性及 先 閱 1 I 讀 1 1 絶 緣 性 的 Si N層1 7b被 覆 該 Si 0 X 層 17 3 〇 背 '由 1 I 之 .1 上 述 Si 0 X 層 17 a為介在於陽極基板2 與S i N層 17 b間的 意 1 1 事 1 缓 衝 層 » 其 為 對 於 玻 璃 製 的 陽 極 基 板 2 與 Si N層1 7b兩 者 具 項 再 1 導 有 相 應 的 化 合 性 者 0 其 結 果 本 實 施 形 態 之 疏 水性 絶 緣 膜 装 頁 1 17 A與陽極基板2 ， 由 介 在 有 内 部 層 之 Si Ox 層 1 7 a而保持相 、---. 1 1 互 的 密 著 強 度 其 疏 水 性 絶 緣 膜 1 7 A剝離的可能性顯著減 1 1 低 0 1 1 圖 5 為 將 上 述 圖 4 所 示 顯 示 装 置 的 形 成 過程 切 出 陽 極 訂 1 基 板 面 表 示 的 斜 視 圖 0 1 | 其 陽 極 基 板 2 為 如 前 圖 所 示 之 方 法 將 陽 極15 形 成 條 狀 1 1 0 然 後 依 本 實 施 形 態 於 形 成 陽 極 15 的 陽 極 基 板2 上 以 整 面 1 1 知、 形 成 Si 0 Κ 層 17 a , 其後同樣以整面形成S i N 層 1 7 b 〇 上述 1 Si 0 X 層 1 7 a及S i N 層 17 b的形成例如可採用辗塗法（「0 11 1 1 CO a t 1 η g ) 等 整 面 塗 布 的 方 法 0 1 1 其 後 依 本 實 施 例 形 態 由 蝕 刻 等 的 處 理 工 程如 圖 所 示 於 1 1 陽 極 1 5 上 的 預 定 位 置 實 行 形 成 為 設 螢 光 體 層 1 6的 螢 光 體 用 1 | 窗 部 1 8以 露 出 陽 極 1 5 〇 1 I 其 次 對 上 述 螢 光 體 用 窗 部 1 8 之 部 份 如 前 述霄 行 形 成 螢 1 I I 光 體 層 1 6 的 處 理 工 程 而 於 陽 極 基 板 2 中 形 成 圖4 所 示 的 層 1 1 構 造 〇 1 1 13 本紙張尺度適州中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公;f ) 3 8 2 0 0 A7 經濟部中央標隼局員工消費合作社印災 B7 五、發明説明（14 ) J 圖6表示本發明第5實施形態之顯示裝置的構成，其 中與圖4相同的部份註以同一符號並省略其說明。 依本實施形態對於陽極基板2的露出面設疏水性絶緣 膜 17B。 上述疏水性絶線膜17B例如為由CVD(ChemicaI Vapor Deposition)法形成，最初的階段對以SiH混入預定比率之 0 (氣氣）的氣體，如圖所示於陽極基板2的直上以SiN + SiO所表示的成份形成膜層。然後逐漸減少氣體的〇(氧氣） 成份繼績形成CVD層，最後則形成完全無0(氧氣）成份的僅 為SiN之膜層。亦卽疏水性絶綠膜17B為由對向於陽極基板 2側的層表面，為由SiN+SiO層逐漸的變化為SiN層的形成 ，亦即形成所謂逐變（graded)層。 以上述方法形成的疏水性絶線膜17B亦與前述圖4所 示第4實施形態同樣的，可以得到對於陽極基板2與S i N 層兩者具化合性的SiO層介在的狀態，因此可以減低疏水 性絶線體17B本身由陽極基板2剝離的可能性。 圖7表示本發明第6實施形態之顯示裝置的構成，其 中與圖6相同部份註以同一符並省略其説明。 該圖所示顯示装置中，於暘極1 5的楔圖間，亦即於陽 極基板2形成陽極1 5以外的部份形成黑遮蔽（b 1 a c k m a s k ) 18。該黑遮蔽18為用Si条或Cr之氣化化合物等，而可提升 顯示晝像的對比。 本實施形態中，在該黑遮蔽13上亦設圖6之第5實施 形態說明的疏水性绝绪膜17B,於此亦如圖6所説明之同 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4現格（2U)X 297公麼） .. 〇 〇 9 Λ Λ ^^^1 ^Bm Id* ^^^^1 Bn— —.^ϋ ι^ϋ v./ nn '~ i - (請先H讀背面之注意事項再填寫本頁) Λ7 B7 經濟部中失捸準局貞工消f合作社印裒 五、 發明説明（1 5 ) I ’樣 理 由 於 黑 遮 蔽 18 上 之 疏 水 性 絶 緣 膜 1 7 B亦不會發生剝 1 I ，離 0 1 1 圖 7 之 黑 遮 蔽 18 上 以 形 成 疏 水 性 絶 綠 膜 1 7 B的構成為 1 I 請 1 1 例 説 明 妖 μ、、 代 替 之 以 形 成 圖 4 所 示 2 層 構 造 的 疏 水 性 緣 先 閱 1 I 讀 1 膜 17 A亦可。 背 ϊδ 1 | 之 1 上 面 說 明 之 第 4〜第6 實 施 形 態 » 尤 其 為 於 形 成 配 列 有 意 1 事 1 模 圖 之 陽 極 15 的 陽 極 基 板 2 側 形 成 疏 水 性 絶 緣 膜 17A 或 1 7B 項 再 1 填 為 例 做 表 示 > 但 例 如 對 圖 1 所 示 第 1 實 施 形 態 對 其 陽 極 寫 裝 頁 1 基 板 2 以 整 面 設 疏 水 性 絶 緣 膜 1 7 A或1 7 Β 亦 可 > 在 此 狀 態 下 1 亦 可 提 升 其 密 著 強 度 0 又 對 於 陽 極 基 板 2 的 對 面 側 之 陰 極 1 1 基 板 3 側 的 露 出 面 形 成 疏 水 性 ψ 錄 膜 17 A或1 7B亦 可 0 1 1 又 於 第 4〜第6 實施形態中， 其疏水性絶緣膜1 7 A ) 訂 1 17B均以S i N 及 其 氧 化 物 的 Si 0 K 或 Si Οχ 的 成 份 為 例 說 明 * 然 1 而 只 要 能 防 止 疏 水 性 緣 膜 的 剝 離 例 如 用 Si N以外之S 1 1 I 化 合 物 的 材 質 亦 可 » 再 則 可 考 慮 使 用 Si 化 合 物 以 外 具 有 絶 1 I 緣 性 的 其 他 材 質 0 1 發 明 的 效 果 1 1 本 發 明 如 以 上 的 説 明 ， 將 trrr m 肋 於 照 射 電 子 線 而 發 光 的 1 1 部 份 設 成 為 疏 水 性 > 使 其 即 使 以 電 子 線 照 射 亦 可 防 止 放 出 1 1 氣 氣 等 的 氣 體 > 可 以 極 力 防 止 氣 體 被 射 極 錐 體 吸 著 0 由 於 1 1 此 可 抑 止 射 極 錐 體 之 電 子 放 射 的 降 低 » 由 而 可 格 外 延 長 電 1 I 子 線 激 励 發 光 元 件 的 壽 命 〇 1 1 又 於 使 無 肋 於 上 述 電 子 線 的 照 射 而 發 光 的 部 份 設 成 為 1 1 疏 水 性 而 形 成 疏 水 性 絶 緣 膜 之 際 » 例 如 為 介 在 以 含 有 氣 成 1 1 本紙張尺度適周中國國家標準（CNS ) A4規格（210X2W公釐） 3 8 2 0 0 A7 B7 經濟部中央標準局，ΛΧ消f合作社印t 五、 發明説明（16 ) 1 1 ’份 的 矽 化 合 物 等 對 於 玻 Tj«r m 基 板 面 具 有 化 合 性 的 物 質 以 形 成 I 疏 水 性 aIG 綠 膜 » 因 而 可 防 止 疏 水 性 绝 <t(LJ 膜 自 玻 璃 基 板 的 剝 1 1 1 離 〇 1 I 請 1 I a. 而 的 簡 C3C3 早 説 明 先 閲 1 I 讀 1 1 圖 1 表 示 本 發 明 第 1 實 施 形 態 之 顯 示 装 置 的 構 成 0 背 ώ 1 I 之 1 圖 2 表 示 本 發 明 第 2 實 施 形 態 之 顯 示 裝 置 的 構 成 0 意 1 I 事 1 圖 3 表 示 本 發 明 第 3 實 施 形 態 之 顯 示 裝 置 的 構 成 0 項 再 1 填 1 圖 4 表 示 本 發 明 第 4 實 施 形 態 之 顯 示 装 置 的 構 成 0 寫 ▲ 裝 頁 1 圖 5 表 示 說 明 第 4 實 施 形 態 之 疏 水 性 絶 線 膜 的 形 成 過 1 程 之 斜 視 圖 0 1 1 圖 6 表 示 本 發 明 第 5 實 施 形 態 之 顯 示 裝 置 的 構 成 〇 1 1 圖 7 表 示 本 發 明 第 6 實 施 形 態 之 顯 示 装 置 的 構 成 0 訂 1 画 8 表 示 配 設 在 高 真 空 容 器 内 的 配 設 基 板 t 分 析 電 子 1 線 照 射 陽 極 基 板 時 陽 極 基 板 放 出 氣 體 的 結 果 figt 圖 表 〇 1 圖 9 表 示 配 設 在 高 真 空 容 器 内 形 成 绝 緣 膜 的 配 設 基 板 1 1 9 分 析 電 子 線 照 射 陽 極 基 板 時 陽 極 基 板 放 出 氣 體 的 結 果 圖 1 圖 表 0 1 1 圖 10表 示 將 陽 極 做 成 條 狀 時 » 以 及 做 成 整 面 狀 時 之 顯 1 1 示 装 置 的 放 射 特 性 0 1 1 Γ5Ι 圖 1 1表 示 習 用 之 顯 示 装 置 的 構 成 圖 0 1 | 符號的說明 1 I 1 顯示元件 1 1 I 2 陽極基板 1 1 I 3 陰極基板 1 1 16 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4坭格（210X2W公釐） 3 8 2 0 0 A7 B7 五、發明説明（17 ) / 4 側板 ' 8 真空密閉容器之内部 極 陰 9

0 1 2 3 4 5 6 11 1i 1i 1X 1X 1i 1A 層 阻 層 緣 絶 β 極口 閛開 捿 錐 極極 射陽 層 體 光 螢 膜 綠 绝 性 水 疏 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝 層

*1T 8 9 11 1x 部 窗 用 層體 1Ν光 S螢 蔽 遮 黑 經濟部中央標準局Μ工消f合作社印裝 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（2丨OX；：97公釐）

7 1X 3 8 2 0 0

Claims (1)

1. 附 件 濟 部 中 標 準 福 利 委 « 會 £P 製 ( 年， 月.、 β-SL h補充 C 1 K、' Η3 第85105645號專利申請案 申請專利範圍修正本 (87年9月 3 3 ) 1 . 一 種 電 子 線 激 勵 發 光 元 件 * 為 至 少 由 具 備 放 射 電 子 的 電 子 放 射 裝 置 之 玻 璃 製 陰 極 基 板 9 Μ 及 對 向 於 該 陰 極 基 板 配 置 的 玻 璃 製 陽 極 基 板 形 成 真 空 密 閉 容 器 刖 述 陽 極 基 板 配 設 條 狀 的 陽 極 及 形 成 在 陽 極 上 受 i3h#. 刖 述 電 子 放 射 裝 置 放 射 之 電 子 激 勵 的 螢 光 體 層 Κ 及 月》J 述 陽 極 基 板 之 玻 璃 露 出 面 製 造 成 具 有 疏 水 性 為 其 特 徵 者 〇 2 . 如 申 請 專 利 範 圍 第 1 項 的 電 子 線 激 勵 發 光 元 件 9 其 中 -·» 月!J 述 玻 璃 露 出 面 疏 水 性 絕 緣 膜 被 覆 使 其 具 有 疏 水 性 為 其 特 徵 者 〇 3 . 一 種 電 子 線 激 勵 發 光 元 件 9 為 至 少 由 具 備 放 射 電 子 的 電 子 放 射 裝 置 之 玻 璃 製 的 陰 極 基 板 1 及 對 向 於 該 陰 極 基 板 配 置 的 玻 璃 製 陽 極 基 板 形 成 真 空 密 閉 容 器 ， 而 Μ 前 述 陽 極 基 板 配 設 條 狀 的 陽 極 及 形 成 在 陽 極 上 受 .1 /. 月li 述 電 子 放 射 裝 置 放 射 之 電 子 激 勵 的 螢 光 體 層 Μ 及 於 ·> >· 刖 述 陽 極 基 板 僅 將 電 子 線 照 射 之 月ϋ 述 陽 極 的 附 近 使 其 具 有 疏 水 性 為 其 特 徵 者 〇 4 . 如 甲 請 專 利 範 圍 第 3 項 的 電 子 線 激 勵 發 光 元 件 其 中 刖 述 電 子 線 昭 射 的 前 逑 陽 極 附 近 為 疏 水 性 絕 緣 膜 被 覆 而 使 其 具 有 疏 水 性 為 其 特 徵 者 〇 5 . 一 種 電 子 線 激 勵 發 光 元 件 9 為 至 少 由 具 備 放 射 電 子 的 電 子 放 射 裝 置 之 玻 璃 製 的 陰 極 基 板 9 及 對 向 於 該 陰 極 本紙張疋度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210X 297公复) 附 件 濟 部 中 標 準 福 利 委 « 會 £P 製 ( 年， 月.、 β-SL h補充 C 1 K、' Η3 第85105645號專利申請案 申請專利範圍修正本 (87年9月 3 3 ) 1 . 一 種 電 子 線 激 勵 發 光 元 件 * 為 至 少 由 具 備 放 射 電 子 的 電 子 放 射 裝 置 之 玻 璃 製 陰 極 基 板 9 Μ 及 對 向 於 該 陰 極 基 板 配 置 的 玻 璃 製 陽 極 基 板 形 成 真 空 密 閉 容 器 刖 述 陽 極 基 板 配 設 條 狀 的 陽 極 及 形 成 在 陽 極 上 受 i3h#. 刖 述 電 子 放 射 裝 置 放 射 之 電 子 激 勵 的 螢 光 體 層 Κ 及 月》J 述 陽 極 基 板 之 玻 璃 露 出 面 製 造 成 具 有 疏 水 性 為 其 特 徵 者 〇 2 . 如 申 請 專 利 範 圍 第 1 項 的 電 子 線 激 勵 發 光 元 件 9 其 中 -·» 月!J 述 玻 璃 露 出 面 疏 水 性 絕 緣 膜 被 覆 使 其 具 有 疏 水 性 為 其 特 徵 者 〇 3 . 一 種 電 子 線 激 勵 發 光 元 件 9 為 至 少 由 具 備 放 射 電 子 的 電 子 放 射 裝 置 之 玻 璃 製 的 陰 極 基 板 1 及 對 向 於 該 陰 極 基 板 配 置 的 玻 璃 製 陽 極 基 板 形 成 真 空 密 閉 容 器 ， 而 Μ 前 述 陽 極 基 板 配 設 條 狀 的 陽 極 及 形 成 在 陽 極 上 受 .1 /. 月li 述 電 子 放 射 裝 置 放 射 之 電 子 激 勵 的 螢 光 體 層 Μ 及 於 ·> >· 刖 述 陽 極 基 板 僅 將 電 子 線 照 射 之 月ϋ 述 陽 極 的 附 近 使 其 具 有 疏 水 性 為 其 特 徵 者 〇 4 . 如 甲 請 專 利 範 圍 第 3 項 的 電 子 線 激 勵 發 光 元 件 其 中 刖 述 電 子 線 昭 射 的 前 逑 陽 極 附 近 為 疏 水 性 絕 緣 膜 被 覆 而 使 其 具 有 疏 水 性 為 其 特 徵 者 〇 5 . 一 種 電 子 線 激 勵 發 光 元 件 9 為 至 少 由 具 備 放 射 電 子 的 電 子 放 射 裝 置 之 玻 璃 製 的 陰 極 基 板 9 及 對 向 於 該 陰 極 本紙張疋度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210X 297公复) Η 受 ; 上 器極 容 陽 閉在 密成 空 形 真及 成極 形陽 板的 基狀 極條 陽設 的 配 製板 璃基 玻極 之陽 置述 配 前 板 基 及造 Μ製 ·， 份 層部 擅 旳 ΜΟΑ *ΠΜ l·, "夕 螢 Μ 的層 勵體 激光 子螢 電述 之前 射之 放成 置形 裝上 射極 放陽 子述 電 前 述、 前 中 其 件 元 光 發 勵 激 線 子 。 電 者的 徼項 特 5 其第 為圍 性範 水利 疏專 有請 具申 成如 6 水 的 疏 子 Κ電 為 。射 份者放 部徵備 的特具 外其由 Κ為少 層性至 體水為 光疏 ， 螢有件 述具元 前其光 之使發 成而勵 形覆激 上被線 極膜子 陽緣電 述絕種 前性一 極 受 陰.，上 該器極 於容陽 向閉在 對密成 及空形 , 真 及 板成極 基形陽 極板的 陰基狀 的極條 製陽設 璃的配 玻製板 之璃基 置玻極 裝之陽 射置述 放配前 子板 電基 及部 以的 ; 外層Μ 體層 光體 螢光 的蛮 勵述 激前 子的 電板 之基 射極 放陽 置述 裝前 射 在 放成 子形 電於 述 前 述 前 的 射 照 線 子 〇 電者 的缴 射特 放其 置為 裝性 射水 放疏 子有 電具 述其 前使 將近 僅附 , 極 份陽 經濟部中央標準局員工福利委W會印製 中近特 其附其 , 極 為 件陽性 元述水 光前疏 發的有 勵射具 激照為 線線成 子子其 電電使 的的而 項射覆 ? 放被 第置膜 圍裝緣 範射絕 利放性 專子水 請電疏 申述Μ 如前為 8 第 圍 範 利 專 〇 請 者申 徵如 9 元 光 發 勵 激 線 子 電 的 項 8 或 者 徵 特 其 為 理 處 化 過 經 膜 緣 絕 性 水 疏 述 前 中 其 件 的 子 電 射 放 備 具 由 少 至 為 件 元 光 發 勵 激 線 子 電 種 極 陰 該 於 向 對 及 板 基 極 陰 的 製 璃 玻 之 置 装 射 放 子 電 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )A4規格（210 X 297公笼) 2 經濟部中央標準局員工福利委Μ會印製 _H3 1_ 基板配置之玻璃製的陽極基板形成真空密閉容器； 前述陽極基板配設條狀的陽極及形成在陽極上受 前述電子放射裝置放射之電子激勵的螢光體層；Μ及 於前述陽極基板Κ外電子線照射之前述真空密閉 容器内的表面使其具有疏水性為其特徵者。 11. 如申請專利範圍第10項的電子線激勵發光元件，其中 於前述陽極基板Κ外電子線照射之前述真空容器內的 表面為Κ疏水性絕緣被覆而使其具有疏水性為其特徵 者。 12. 如申請專利範圍第2, 4, 6， 8或11項的電子線激_發 光元件，其中前述疏水性絕緣膜Κ使用氮化物或至少 含有氮化物之混合物為其特徵者。 13. 如申請專利範圍第2, 4， 6, 8或11項的電子線激勵發 光元件，其中前述疏水性絕緣膜Μ使用碳化物或至少 含有碳化物之混合物為其特徵者。 14. 如申請專利範圍第2, 4, 6, 3或11項的電子線激勵發 光元件，其中前述疏水性絕緣膜以使用氟化物或至少 含有氟化物之混合物為其特徼者。 15. 如申請專利範圍第2, 4, 6, 8或11項的電子線激勵發 光元件，其中前述疏水性絕緣膜Μ對於被形成當該疏 水性絕緣膜的部位為夾介與該被形成部位及該疏水性 絕緣膜兩者具有親和性之物質形成的内部層而設置為 其特徵者。 16. 如申請專利範圍第15項的電子線激勵發光元件，其中 前述疏水性絕緣膜Μ至少含有氮化合物之混合物為其 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐) 〇 經濟部中央標準局員工福利委Μ會印製 _____H3 '_ 特徴者。 17. 如申請專利範圍第15項的電子線激勵發光元件，其中 前述内部層Μ使用前述疏水性絕緣膜所使用之物質的 氧化化合物為其特徵者。 18. 如申請專利範圍第16項的電子線激勵發光元件，其中 前述内部層Μ使用前述疏水性絕緣膜所使用之物質的 氧化化合物為其特徵者。 19. 如申請專利範圍第2，4, 6, 8或11項的電子線激勵發 光元件，其中前述疏水性絕緣膜為Μ其所含對該形成 疏水性絕緣膜部位具化合性的物質之含有量，由當該 疏水性絕緣膜的內層至表面為減少之層構造為其特徵 者。 20. 如申請專利範圍第19項的電子線激勵發光元件，其中 前述疏水性絕緣膜Μ使用至少含有氮化合物之混合物 為其特徵者。 21. 如申請專利範圍第19項的電子線激勵發光元件，其中 對於前述疏水性絕緣膜至少使其含有氧成份而使其對 前述被形成疏水性絕緣膜部位具親和性為其特徵者。 22. 如申請專利範圍第20項的電子線激勵發光元件，其中 對於前述疏水性絕緣膜至少使其含有氧成份而使其對 前述被形成疏水性絕緣膜部位具親和性為其特徵者。 23. 如申請專利範圍第19項的電子線激勵發光元件，其中 前述疏水性絕緣膜係由化學氣相澱積（CVD)法形成為 其特徵者。 24. 如申請專利範圍第20項的電子線激勵發光元件，其中 本紙張尺度適用中國國家標準（cNS )A4規格（210X 297公寶) ] 4 經濟部中央標準局員工福利委，負會印製 _H3 '_ 前述疏水性絕緣膜係由化學氣相澱積（CVD)法形成為其 特激者。 25. 如申請專利範圍第21項的電子線激勵發光元件，其中 前述疏水性絕緣膜係由化學氣相澱積（CVD)法形成為其 特激者。 26. 如申請專利範圍第22項的電子線激勵發光元件，其中 前述疏水性絕緣膜係由化學氣相澱積（CVD)法形成為其 特徵者。 27. 如申請專利範圍第15項的電子線激勵發光元件，其中 前述疏水性絕緣膜係設置於黑矩陣上為其特徵者。 28. 如申請專利範圍第16項的電子線激勵發光元件，其中 前述疏水性絕緣膜係設置於黑矩陣上為其特徵者。 29. 如申請專利範圍第17項的電子線激勵發光元件，其中 前述疏水性絕緣膜係設置於黑矩陣上為其特徵者。 30. 如申請專利範圍第18項的電子線激勵發光元件，其中 前述疏水性絕緣膜係設置於黑矩陣上為其特徵者。 31. 如申請專利範圍第19項的電子線激勵發光元件，其中 前述疏水性絕緣膜係設置於黑矩陣上為特徵者。 32. 如申請專利範圍第20項的電子媒激勵發光元件，其中 前述疏水性絕緣膜係設置於黑矩陣上為特徵者。 33. 如申請專利範圍第21項的電子線激勵發光元件，其中 前述疏水性絕緣膜係設置於黑矩陣上為特徵者。 34. 如申請專利範圍第22項的電子線激勵發光元件，其中 前述疏水性絕緣膜係設置於黑矩陣上為特徵者。 35. 如申請專利範圍第23項的電子線激勵發光元件，其中 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210X297公釐) 5 H3 中 其 ο » ο 者件者 徵元徵 特光特 為發為 上勵上 陣激陣 矩線矩 黑子黑 於電於 置的置 設項設 係24係 膜第膜 緣圍緣 絕範絕 性利性 水專水 疏請疏 述申述 前 如 前 經濟部中央標準局員工福利委'h會印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )A4規格（210X 297公货） 6