TW313671B - - Google Patents

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經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（〖） 玆Bfl ：>背晉 (1)發昍節臁 本發明傜關於晶圓乾燥裝置，其中的保持殼容纳複數 半導體基材晶圓，在轉盤上轉動，水藉離心力縱晶圓四 散，使晶圓乾燥，尤指晶圓乾燥裝置所用轉盤之平衡機 構。 Ο )相翮坊g夕說明 先説明本發明相關的習知晶圓乾燥裝置，以肋瞭解本 發明。 圖1A和圖1B簡略表示習知裝置之一例，画1A為其斷面 圖，圖1B為其部份破開的透視圖。如圖所示，裝置含有 複數搖台2,各置放容纳複數晶圓16的保持匣6,均可直 立搖動，並藉支持構件9安裝於轉盤8上，彼此相向， 轉動軸線10在中心，乾燥室5圍繞此等搖台2,在下 方具有排放口 7,上方有封閉蓋4;以及平衡機構3,為 調節轉盤8轉動的平衡，按轉盤轉動的徑向，運動和調 節搖台2的支持構件9。 使用上述晶圓乾燥裝置進行晶圓16乾燥操作時，先將 各容納晶圓16的保持殼6,置放在空搖台2上，而轉盤 8則在停止狀態（圖1B)。當轉盤8利用轉動軸線10高速 轉動時，搖台2利用離心力繞支持軸線轉動90° ,並改 變其位置，如圖1A所示。粘著於晶圓16上的水利用離心 力四散，並在乾燥室5下方，從排放口 7排出。 在上述習知晶國乾燥裝置中，設有平衡機構3,若放 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ----------^丨裝------訂-----.--1,^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 ^18671 a? _B7 _ 五、發明説明（> )

I 在一保持殼6上的晶圓數目與對立的其他保持殼6不同 時，可達成轉盤8的轉動平衡。 平衡機構3含有支持部的轉動軸緙所帶偏心凸輪3a, 此支持部從轉盤8表面突出，凸輪驅動軸線3b結合於偏心凸輪3a 所設細縫内。當偏心凸輪3a利用凸輪驅動軸線3b的上下 蓮動轉動時，在左右觸及偏心凸輪3a的滑部，即利用偏 心凸輪3a的壓力左右滑動。因此，安裝在滑部上的支持 構件9.即按轉盤的轉動徑向蓮動，因而達成轉盤8的 轉動平衡。 在上述習用晶圓乾燥裝置中，還有問題，轉盤在高速 轉動時，平衡機構中的偏心凸輪即觸及滑部，在其上滑 動，卽由滑部産生污染物。再者，由於産生污染物的平 衡機構，位於容纳晶圓的同樣保持殼，問題是轉盤在轉 動時，污染物在整個乾燥室内四散，粘著於晶圓上，導 致晶圓污染，和生産力的劣化。 日本特開昭60-15 46 24掲示習知晶圓乾燥装置之一例 ，沒有機構以防發生污染物。此裝置不含平衡機構，而 是配置成二晶圓保持殼均匀設在轉子内周，而晶圓上的 水即被轉子高速轉動而撥出，此項配置包含轉子驅動室 ，在轉動轉子用的轉子驅動段周圍，與乾燥室分開。轉 子驅動室空段内的空氣，從排放孔排出，故配置成轉動 驅動室在相對於乾燥室的真空狀態，因而防止污染物進 入乾燥室内。 然而在上述晶圓乾燥裝置中，由於轉子驅動室是在相 -4 - . 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0 X 297公釐） ------^--^--f I裝------訂------f 滅 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製

五、發明説明（ ) J 對 於 乾 燥 室 的 真 空 狀 態 t 混 有 粒 子 的 清 洗 水 > 不 但 流 入 1 排 水 段 • 亦 進 入 插 轉 動 軸 線 的 部 位 » 因 而 造 成 轉 子 機 構 1 I 腐 蝕 9 或 插 轉 動 軸 線 的 部 位 被 顆 粒 堵 塞 〇 使 裝 置 不 耐 長 請 1 1 久 操 作 〇 又 9 為 了 在 轉 子 驅 動 室 内 産 生 負 壓 * 需 將 空 氣 先 閲 1 1 排 放 機 構 連 接 至 水 排 放 段 9 此 舉 增 加 製 造 設 備 的 成 本 〇 背 1 | 之 明 概 注 1 所 以 » 本 發 明 之 巨 的 > 在 於 克 服 前 案 技 U 存 在 的 問 題 意 事 項 I 再 1 • 而 提 供 -* 種 晶 圓 乾 燥 裝 置 » 可 防 止 污 染 物 從 平 衡 俄 構 寫 本 進 入 乾 燥 室 内 » 或 防 止 水 或 顆 粒 進 入 蓮 動 组 件 内 t 因 而 頁 1 1 確 保 裝 置 的 長 期 操 作 〇 1 1 按 照 本 發 明 一 要 旨 > 提 供 — 種 晶 圓 乾 燥 裝 置 » 包 括 : 1 I 複 數 搖 台 » 各 具 有 保 持 殼 » 以 容 纳 複 數 晶 圓 • 容 許 在 1 訂 1 支 持 構 件 上 直 立 搖 動 » 且 彼 此 面 對 設 置 » 以 水 平 轉 動 軸 線 位 於 中 心 1 I 轉 盤 9 上 面 藉 支 持 構 件 安 裝 搖 台 可 以 水 平 轉 動 1 1 I 乾 燥 室 圍 繞 搖 台 1 平 衡 機 構 .· 為 使 轉 盤 的 轉 動 平 衡 • 令支持構件在轉盤 Λ I 的 轉 動 徑 向 蓮 動 t 以 調 節 支 持 搖 台 的 支 持 構 件 * - 1 遮 熱 板 形 成 半 圓 形 板 f 分 別 設 在 支 持 構 件 t 接 近 水 1 1 平 轉 動 軸 線 部 份 重 搭 f 其 形 態 使 平 衡 機 構 受 到 覆 蓋 * 而 1 其 周 緣 部 延 伸 至 乾 燥 室 的 側 壁 t 並 具 有 複 數 輪 葉 以 及 1 1 隔 離 室 • 利 用 隔離板隔 開 • 具 有 隔 板 • 形 成 圍 繞 平 衡 1 機 構 的 空 段 • 以 及 排 放 孔 • 乾 燥 室 内 的 空 氣 卽 利 用 遮 蔽 1 板 轉 動 時 輪 葉 的 泵 送 作 用 5 抽 出 » 通 過 隔 板 的 外 壁 排 出 外 1 1 1 1 1 I 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） A7 B7 經濟部中央樣準局貝工消費合作社印製 五、發明説明（ 4 ) Ί 面 〇 1 在 本 發 明 晶 圓 乾 燥 裝 置 中 • 蓮 動 構 件 的 平 衡 機 構 不 暴 1 | 露 於 乾 燥 室 9 遮 蔽 板 具 有 將 空 氣 抽 出 乾 燥 室 外 的 泵 送 功 請 1 I 用 而 隔 板 可 防 止 抽 出 空 氣 所 含 水 和 顆 粒 進 入 平 衡 機 構 先 閱 1 I 讀 1 内 〇 背 $3 1 1 之 圖 式 簡 tso 早 説 明 注 意 1 本 發 明 上 述 及 其 他 的 » 待 點 和 優 點 » 由 參 照 附 圖 所 事 項 1 I 再 ] 示 本 發 明 較 佳 具 體 之 説 明 即 可 明 白 附 圖 中 : 簡 略 寫 本 1 裝 圖 1 A和 圖 IBS 習 用 晶 圓 乾 燥 裝 置 之 圖 1 圖 1 A為 其 寅 1 I 斷 面 圖 圖 1B為 其 部 份 破 開 透 視 圖 1 1 圖 2 A和 圖 2B 表 示 本 發 明 晶 圓 乾 燥 裝 置 9 圖 2 A為 其 簡 略 1 I IW m 面 圖 « 圖 2B為 圖 2 A 裝 置 所 用 遮 蔽 板 的 部 份 平 面 _ 〇 1 訂 本 發 明 詳 细 説 明 1 玆 附 圖 說 明 本 發 明 較 佳 具 體 例 〇 I 圖 2 A和 圔 2B簡 略 表 示 本 發 明 晶 圓 乾 燥 裝 置 » 圖 2A為 其 1 1 簡 略 斷 面 圖 » 圖 23為 圖 2A裝 置 所 用 遮 蔽 板 的 部 份 平 面 圖。 1 ~1 此 晶 圓 乾 燥 裝 置 如 圖 2 A所 示 t 包 含 遮 蔽 板 1 和 隔 離 室 5b I 〇 遮 蔽 板 1 呈 圓 盤 形 » 其 造 形 使 遮 蔽 板 1 的 分 開 部 份 分 1 別 附 設 於 支 持 構 件 9 , 其方式是在轉動軸線10附近彼此 1 重 搭 並 覆 蓋 平 衡 機 構 3 , 而遮蔽板1 的周緣部延伸至 I 乾 燥 室 5 a 的 側 壁 9 在 遮 蔽 板 1 的 周 緣 部 具 有 複 數 輪 葉 11 1 1 〇 隔 離 室 5b 具 有 隔 板 1 2 形 成 圍 繞 平 衡 機 構 之 空 段 5 c » 1 I 還 有 排 放 孔 7a > 乾 燥 室 5 a 内 的 空 氣 經 此 抽 出 > 利 用 遮 蔽 I 板 1 轉 動 時 輪 葉 11 的 泵 送 6 作 用 通 過 遮 蔽 板 外 壁 排 至 外 1 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )人4規格（210X297公釐） 313671 A7 B7 經濟部中央橾準局負工消費合作社印製 五、發明説明（ S： ) Ί 面 〇 1 本 發 明 晶 圓 乾 燥 裝 置 一 如 習 用 例 包 含 複數 搖 台 2 , 各 1 | 放 置 容 納 複 數 晶 圓 16的 保 持 殼 6 , 各容許在直立方向搖動 請 1 I t 並 面 面 相 對 安 裝 於 支 持 構 件 9 , 水平轉動軸線位於中心 先 閲 rf 1 1 * 轉 盤 8 » 上 面 籍 支 持 構 件 9 安 裝 搖 台 2 , 以供水平轉動 背 面 1 1 之 • 乾 燥 室 5 a 有 蓋 4 , 在搖台2 上方 以及平衡機構3 • 注 意 1 為 保 持 轉 盤 8 轉 動 的 平 衡 » 可 在 轉 動 的 徑 向蓮 動 和 調 節 事 項 1 I 再 I 支 持 搖 台 的 支 持 構 件 9〇 寫 本 1 裝 在 圖 示 本 發 明 具 體 例 中 » 有 二 搖 台 2 , 而遮蔽板1 是 頁 1 1 由 二 半 圓 形 板 構 成 〇 各 半 圓 形 板 聯 結 於 各 支持 構 件 9 的 1 1 下 半 • 以 及 平 衡 機 構 3 的 滑 部 〇 又 > 為 確 保遮 蔽 板 構 件 1 I 蓮 動 以 平 衡 轉 盤 8 的 轉 動 * 不 會 造 成 平 衡 機構 3 暴 露 9 1 1 訂 1 遮 蔽 板 構 件 彼 此 部 份 重 搭 9 重 搭 部 位 於 轉 動軸 線 附 近 〇 遮 蔽 板 1 周 緣 邊 部 周 圍 » 有 許 多 輪 葉 11 » 其尖 端 延 伸 接 1 I 近 乾 燥 室 5 a 壁 的 鼓 部 〇 由 乾 燥 室 5 a 的 鼓 部 形成 一 種 風 扇 1 1 9 而 輪 葉 11 連 同 鼓 部 則 有 風 扇 殼 的 功 用 〇 設 置 平 衡 機 構 3 的 空 段 5 c 被 隔 板 12包 圍 〇隔 板 12的 配 I 置 » 使 得 利 用 遮 蔽 板 1 和 輪 葉 11所 産 生 泵 送作 用 • 從 乾 1 燥 室 5 a 抽 出 的 含 水 空 氣 9 可 防 止 進 入 空 段 5c, 亦 即 其 上 1 端 部 向 後 彎 到 不 會 干 擾 遮 蔽 板 1 的 程 度 〇 I 隔 離 室 5b 是 由 乾 燥 室 5 a 的 鼓 部 連 鑲 的 外 壁. 和 外 壁 下 1 1 方 所 設 凹 溝 14形 成 之 室 所 構 成 〇 此 凹 溝 14的内 壁 連 缅 至 1 | 斜 部 15 9 引 到 設 有 轉 動 軸 線 10用 密 封 13之 部位 〇 此 凹 溝 I 14具 有 稍 徹 斜 度 > 引 到 排 7 放 孔 7a 〇 - - 1 1 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨Ο X 297公釐） A7 __B7_ 五、發明説明（b ) 玆説明含粒和水的空氣如何被本發明晶圓乾燥裝置排 放。首先，利用轉盤8轉動時的離心力從晶圓16四散的 含粒水，朝乾燥室5a的内壁四散。再如圖2B箭頭所示， 遮蔽板1隨轉盤8轉動而一起轉動時，被輪葉11的泵送 作用所四散的水，即連同乾燥室内的空氣，從隔離室5b 抽出。引進隔雔室5b内含水和粒子之空氣，到達凹溝14, 水和粒子即粘著於凹溝14壁.利用空氣流排至排放孔7a。 使用本發明晶圓乾燥裝置時，發現附著於晶圓16的粒 數為習用晶圓乾燥裝置的1/10。確定没有水或粒進入構 成蓮動組件之平衡機構内，保證裝置的長期操作。 在本發明裝置中，由於遮蔽板遮蔽平衡機構不使外露 ，並具有從乾燥室抽出空氣的泵送功用，又由於隔板防 止所抽出含水和粒子的空氣進入平衡機構，粒子不可能再 附著於晶圓，因而防止生産力劣化。此外，因為水和粒子 不進入裝置的運動組件，在蓮動組件不發生粘附或腐蝕 ,因而保證長期操作。 本發明已就較佳具體例說明如上。惟需知所用文句僅 供說明而非限制，而在不違本發明申請專利範圍所限定 真實範圍内，所附申請專利範圍可加以變化。 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -8 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公嫠）

Claims (1)

1. 313671 A8 B8 C8 D8 ft. 補充 經濟部中央標準局貞工消費合作社印裝 : 第84113510號「具有轉盤平衡機構之晶圓乾燥裝置」 專利案 （85年9月24日修正） 杰申請專利範圍： 1. 一種晶圓乾燥裝置，包括： 複數搖台（2>,各具有保持殼（6),以容纳複數晶圓 (16),容許在支持構件（9)上直立搖動，且彼此面對設 置，以水平轉動軸線位於中心； 轉盤（8),上面藉該支持構件安裝該搖台，可以水 平轉動； 乾燥室（5a),圍繞該搖台； 平衡機構（3),為使該轉盤的轉動平衡，令該支持 構件在該轉盤的轉動徑向蓮動，以調節支持該搖台的 支持構件； 遮蔽板（1),形成半圓形板，分別設在該支持構件， 接近該水平轉動軸線部份重搭，其形態使該平衡機構 受到覆蓋，而其周緣部延伸至該乾燥室的側壁，並具 有複數輪葉（11);以及 隔離室（5b),利用該遮蔽板隔開，具有隔板（12), 形成圍繞該平衡機構的空段（5c),以及排放孔（7a), 該乾燥室内的空氣即利用該遮蔽板轉動時該輪葉的泵 送作用抽出，通過該隔板的外壁排出外面。 2. 如申諳專利範圍第1項之晶圓乾燥裝置，其中該隔離 室是由鼓出壁形成，而該遮蔽板輪葉將其尖端延伸至 接近該鼓出壁。 3. 如申請專利範圍第1項之晶圓乾燥裝置，其中該隔板 的上端部向後彎曲。 本紙張尺度適用中國國家揉丰（CNS ) A4規格（210X297公釐） —I— 1^1 n m n nn m J ---11 圓 ^^^1 I.....I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) iV/ώ 313671 ' 1/2

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   第2B圖