TW312644B - - Google Patents

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A7 312644 B7__ 五、發明説明（3 ) [技術領域] 本發明為關於電解磨削修整之形狀控制方法及依其方 法之數值控制加工裝置。 [技術背景] 隨着近年來科學技術之發展，對於超精密加工的要求 大幅的提高，為滿足上述要求的電解磨削裝置之.電解加工 磨削法（Electrolytic Inprocess Dress丨ng:以下稱 E L I D磨削法）為由本專利申請人開發，並以「鏡面磨削之 最新技術動向j為題發表於平成3年3月5日舉行之理研專 題討論會。 上述E L I D磨削法以導罨性磨石代理習用的電解磨削中 的電極，並與該磨石隔以間隔設對向的電極，然後流入導 電液於磨石與電極之間而施加電壓於磨石與電極之間，随 着電解將磨石修整而由磨石將加工品磨削。該ELID磨削法 即使將磨石粒變成細小亦由電解修整使磨石粒鋒利而不發 生磨石的阻塞，由此以磨削加工將磨石粒變細小可以得如 鏡面之極fi良的加工面。因而ELID磨削法可以維持自高能 率磨削至鏡面磨削之磨石的鋒利，對於以習用技術為不可 能的以短時間做成高精度表面之裝置多所期待適用於各種 的磨削加工。 例如為超精密零件之代表例的非球面光學元件（例如 為透鏡或鏡面），不但對於表面的粗細度，並對高度形狀 精度亦有所要求。以上述E L I D磨削加工製造上述光學元件 時，必需使用表面為所需形狀（例如為非球面）的導電性磨 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A装— T______f 、-°^ 經濟部中央揉準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 3 3 8 3 6 5 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 . B7 五、發明説明（4 ) 石，但製作該磨石因困難而有費用昂貴並費時的問題。又 雖製作有所需表面形狀的磨石，但由於使用中的磨滅或修 整其表面形狀發生變化，因而維持不了高度形狀精度。 由於此，曾提案有以數值控制（N C控制）做E L I D磨削製 成所需表面形狀之NC加工裝置，其一部經已使用。 然而於使用上述N C加工裝置時，由於加工品.（非加工 材）或磨石的彈性變形等，而有無法以一次加工做成所需 高度形狀精度的問題。因此為逹到高度形狀精度，由測定 加工後的加工品形狀，以測定所得數據補正HC輸入數據， 然後重複再加工。由於此，為得所需形狀精度必需多做重 複加工將很費時，而且對於補正數據之作成，由於操作者 的勘査及試行錯誤，而多有補正失敗的問題。 又於測定加工後之加工品形狀的測定數據中，含有測 定對象之真訊號以外的各種訊號成分。例如由測定對象以 外的假訊號，由測定琛境不穩定對於感測器靈敏度的變動 ,電氣条統之溫度偏差等。又為加工之高能率化做初期階 段的粗磨削而於測定粗糙加工表面狀態之測定數據中含有 意味粗糙成分之微細訊號波形，因而難以把握真實的表面 形狀。由上述理由以測定數據作成補正數據一向對向熟練 者亦為困難，而有費時並多補正錯誤的問題。 再則於测定加工後的加工品形狀時，習用上將加工品 由H C加工裝置取下然後裝置於適當的測定裝置以測定其形 狀，其後又需再度將加工品裝置於N C加工裝置，加工品之 裝置/取下引起的位置偏移大而調整困難，成為費時的問 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS_) Α_4规格（2Ι0Χ297公釐） Τ 〇 „ 〇 , (請先閲讀背面之注意事項再填窝本頁) 訂 s. _《 ^ * ^12644 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（5 ) 題。 本發明為解決上述種種問題而創案者。亦卽本發明為 以提供使用NC加工裝置而以少數加工次數達成高度形狀精 度之E L I D磨削的形狀控制方法及利用該方法之N C加工裝置 為目的。本發明之另一目的為提供由測定數據可以油出真 實形狀訊號的形狀控制方法。又另一目的為提供可以避免 因加工品之裝置/取下的位置偏移之ELID磨削用的NC加工 裝置。 [發明的開示] 依本發明，為提供與導電性磨石隔以間隔設對向的電 極，於磨石與電極之間流通導罨液並施加電壓於磨石舆電 極之間，由電解將磨石修整並以數值控制磨石位置使磨石 對加工品實行磨削加工的形狀控制方法，而以依指令數據 Z X < 1 >實行對加工品的磨削加工，測定加工面的形狀，將 測定數據濾波並記錄形狀誤差數據e X < 1 > ,作成添加補正 的新指令數據+ 依據該指令數據對加工品再度磨 削加工為其特擻的形狀控制方法。 依該方法為將誤差數據e/n濾波後，加工補正作成 新的指令數據+ 對加工品再加工，因此可由濾波將 真實的形狀訊號抽出，並由補正而可順次接近於高度形狀 精度。 依本發明的較佳實施形態，前述補正為參照過去的指 令數據及（形狀）誤差數據，而將該指令數據與誤差數據之 差的期待值為新的指今數據。依該方法可以不依熟練者的 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) λ 裝— *1Τ 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) Α4规格（210 X 297公釐） 5 3 8 3 6 5 312644 A7 ^ B7k五、發明説明（6 ) 勘査及操作錯誤而可做成補正數據，並可大幅減低由誤差 1 影 之 Z 據 數 令 指 部 全 的 次 »IX 之 去 過 照 參 為 正 補 述 前 差 誤 X e 令 指 的 新 而 X Z 掮 X Z 由 則

K Z X Θ 本 依 ο 求 式 重 的 據 數 數 多 據 依 去 省 法 組 的 據 數 差 誤 與 0 數 令 〇 指 間 得 時所 算去 計過 短由 縮為 幅正 大補 可述 而 前 算又 -at 複 X Ζ X β 與 X Ζ 實 之 \t/ AJJ /I\ 次 第 由 及 所 X Z /»\ 辱 最 组 3¾值 共對 之絶 Μ 去 : 除 中 據 數 差 誤 的 X Θ 據 數 者 大 號的 符差 同誤 之其 個 如 3組 至 2 偏餘 由 中而 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 時 號 符 的 同差 為誤 號之 符應

倍 K ΛΖ 方 貝 時 符 對 所 其 去 減 值 令 指 的 組 之 小 較 差 誤 其 由 同 不 為 號 符 的 差 誤 而 據 數 正 din? 補 為 做 值 之 X 與 線 直 的 點 二 述 前 過 通 檫 座 交 直 之

令 指 的 新 為 標 X 二 X X Ζ 據 成 逹 數 次 Η 加 數 少 以 而 束 的收 點速· 交 加 之以 可 法 方 〇 此度 由精 〇 狀 宜 形 為的 1>度 1+高 Γ U ο F /\· 0 利 傅 .3、··- 速 高 據 依 用 使 為 波 濾 述 前 又 之 換 變 訂 經濟部中央梂準局員工消費合作社印製 .法16除 域約法 領去方 率除本 頻以由 濾 帶 通 低 的 C y C 4 6 定 損 於 含 去 器 的 波 。度 濾宜敏 帶為$ 通分器 低成測 述率感 頻 -次號 , 高 訊 者之假 再上的 。 以 中 器ησ據 波 ο 數 前 由 訊 細 。 徹號 的訊 分狀 成形 糙的 粗實 味真 意 出 及油 以 可 > 而 移 ， 偏分 度成 溫率 的頻 統次 条高 氣的 電等 - 形 動波 變號 導壓石 的電磨 工加於 加施液 削及電 磨 ，導 行極惠 施電流 品的而 工向 -加對置 對設裝 備隔加 具間施 以以壓 為隔電 , 石的 明磨間 發該之 本對極 照 ,電 依石與 又磨石 性磨 Art 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 6 3 8 3 6 5 經濟部中央揉準局負工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（7 ) 與電極t間，由電解將磨石修整而由數值控制磨石位置> 用磨石對加工品實行磨削加工的N C加工裝置，提供更以具 備測定加工面之形狀的形狀测定裝置，以及補正數值控制 用指令數據的補正裝置，而以指令數據Z/g對加工品磨 削加工，由形狀測定裝置測定加工面的形狀，將測定數據 濾波並記錄形狀誤差數據e/",由補正裝置添.加補正作 成新的指令數據+ 以此指令數據對加工品再度磨 削加工為其特徽的N C加工裝置。 依本裝置，可以保持加工品於裝置狀態由形狀測定裝 置測定加工後的加工品形狀，因此可以防止因加工品之裝 置/取下可能發生的位置槭差，並可避免其調整。 ' [圖面的簡單説明] 第1圖為本發明之NC加工裝置的全體構成圖，第2圖為 本發明之形狀控制方法的概略流程圖，第3圖表示本發明 之形狀控制方法之第1實施形態的第1控制流程圖，第4圖 表示第3圖之補正方法的模式圖，’第5圖表示本發明之形狀 控制方法的第2實施形態之第2控制流程圖，第6圖表示第5 圖之補正方法的模式画，第7圆表示將數式5之ω〇變化時 在濾波後的測定數據列，第8圖表示依本發明於濾波前後 之測定數據，第9圖表示依本發明於形狀補正前後的誤差 數據，第10圖表示依本發明於形狀補正前後的誤差數據。 圖中，1為加工品，2為導電性磨石，4為電極，6為電 壓施加裝置，7為導電液，8為回轉台，10為NC加工裝置， 12為形狀測定裝置，14為補正裝置。， (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 从-裝---- 、11 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） 7 3 8 3 6 5 ^12644 A7 B7 五、發明説明（8 ) [實施發明的最佳形態] 以下參照圖面説明本發明的較佳實施形態。 第1圖為本發明之HC加工裝置的全體構成圖。圖中表 示HC加工裝置10具備對於加工品1實施磨削加工之導電性 磨石2,與磨石2隔以間隔對向而設的電極4,以及施加電 壓於磨石2與電極4之間的電壓施加裝置6,而於.磨石2與電 極4之間流通導電液7 ,以電解修整磨石2 ,以數值控制磨 石位置而由磨石位置而由磨石2對加工品1實施磨削加工（ 上述ELID磨削）。又如圖所示，加工品1為裝置於回轉台8 以Z軸為中心回轉，並且移動於Z軸方向，磨石2以與Y軸為 平行之軸為中心回轉，並且移動於）(方向，其與加工品1的 接觸位置’（加工位置）則可由數值控制。' 又本發明之NC加工裝置10為具備測定加工面之形狀的 形狀測定裝置12,以及補正數值控制用指令數據之補正裝 置、4。形狀測定裝置12例如為具有高測定分解能的數值控 制雷射，微型雷射等，為裝設於不影鎏磨石2對加工品1實 行加工的位置，並於加工後不必將加工品1取下即可對加 工面的形狀做精密測定。又補正裝置14為依據將測定數據 .濾波所得誤差數據e X ( >添加補正以作成新的指今數據 + 由上述構成可以防止因加工品之裝置/取下而發 生的位置偏差，並可避免其調整。 第2圖表示依本發明之形狀控制方法的概略流程圖。 如画所示，依上述E L I D磨削作成形狀之後，由具有高測定 « 分解能的形狀濟丨定裝置测定其形狀，將所得形狀遂差數據 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 9 , ( ——[— 4 -裝---- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

1T f踩 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 ·五、發明説明（9 )濾波後，作成添加補正的NC數據，再依據該NC數據作成新 的形狀。然後由重複處理，可以減小形狀誤差而接近理想 狀 形 的 第 的 法 方 制 控 狀 形 之 明 發 本 為 圖 3 程 流 制 控 示 所 圖 如 第實 之<1 態ζκ 形據 施數 實 令 L指 的 當 適 以 先 首 望 所 成 作 X數 加差 削誤 磨狀 行形 e 據 差 誤 的 波 濾 當 做 算 § 予 計|«據 遇 並？ 數 經 Ξ ,丨差 以 狀 ί 誤 後 形；Κ、 的 然 品 用 Η>0成 加據作 定數據 測差數 後誤正 其稱補 α 簡的 狀下新 形以為 據 數 令 指 成 作 X 點 令 指 全 於 此 在 ο 錄 記 以 據 數 差 誤 與 -.._：---------— 裝--- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) X e 之 X Z 為 各 第第 之而 X 點 令 一 指ex 於 - 數 差 誤 據 數 令 指 的 Η 加 次 據 數 令 指 的 次 次 式 式 數 Η + X Ζ e 訂 令 指 之的 去新 過為 照做 參值 示待 表期 式的 上據 數 令 指 述 上 將 味 意 而 據 數 令 指 個 影 差 誤 有 具 法 方 述 上 ο 據 《涨--- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 入 取 不 以 可 據 數 的 大 差 " 為 斷 判 於 對 又 ο 微 。 特據 的數 強照 倔參 繼為 據 數 令 指 «Ρ 咅 金 之 次 去 過 照 參 要 如 又 X Z 據 數 令 指 的 次 得 求 式 次 由 + 第 其 時 式 數 擄 數 令 指 的 次 1 + 第 而 般 點 令 指 由可· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（210X 297公釐） 9 3 8 3 6 5 經濟部中央樣準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（1 0 ) 加工次數i,加工品回轉數w,磨石輸送速度f,第i次之指 令數據等決定的偽數K而表示如下式。 [數式3]

Zxc 1 + 1 J =Zxc 1 5-Κ ♦ ex( 1 ) 數式2相當於K = l/ i時之數式3。 第4圖表示第3圖之補正方法的楔式圖。圖中横軸表示 指令數據Z,縱軸表示誤差數據e。又於指令數據Z與誤差 數據e之間假設未知的關僳e = f(Z),該式舆横軸的交點的 誤差數據e為零。 如圖所示，由舆ex(i),由數式1或數式2求得第 i+Ι次之指令數據Zxh+1),即可順次接近高度之形狀精度 (與橫軸的交點）。 其次説明數式1、 2、 3之間的關偽。 一般式：z/iHhzJO-K.e〆1〉 ① 期待值：z X < | + 1 ) = Σ ( z 〆 1 ) - e X ( η ) / 丨 ② 由②成立以下關像。 Ζ / 2 ) = Zx ( " - ex ⑴ ZK<3>={(ZK<2)-ex<2M+(Zxcl)-excl>)}/2 ={ (Ζχc2>-exc25) M · Zx<2)}/2 =Zx<2)-exC2)/2 Zx…=[(ZxC3)-exC3))+(ZxC2)-ex⑴）+(Ζχ…-ex("))/3 =((Zx(3>-ex(3)) +2 * Zx(3))/3 =ZxC3>-exc3)/3 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） ^ 8 3 ΰ 5 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝--- '1Τ Υ線 312644 Α7 Β7 五、發明説明（U ) 經濟部中央揉準局*:工消费合作社印装

Zx<1 + 1> = {(Zxco-exCl5 + (Z>fii-i>-exc,-1>)+ ..... + (Ζχ<·2·>'·θχ<2)) + (Ζχ''1·)-θχ<：Ι；>)}/ί = {(Zxco-exco) + (i-l) * ZxCl)}/i = ZxCl3-ex0)/i 亦即，②式可如③式變形，由此可瞭解其.偽柑當於① 式之Κ = 〗/ ί時。 如上所述，為求得期待值之數式Η上述之式②），於 參照過去之所有丨次的指令數據時，數式2(上述中為 式③）及數式3(上述之式①）實質上為相同。因此以數式2( 或數式3)代替數式1則可免除依多數之數據的重複計算而 可大幅的縮短計算時間。 第5圖表示依本發明之形狀控制法的第2實施形態之第 2控制流程圖，第6圖表示第5圖之第2補正方法的模式圖。 如第5圖所示，首先與第3圖之方法同樣的依據適當的指令 數據Z X 1實行加工作成所望形狀後測定加工品的形狀，計 算與設計形狀的誤差數據ex1。其次將經過適當漶波的測 定數據記錄為從新作成補正數據用的誤差數據，對於金部 .指令數據作成指令數據ZJ與誤差數據之組。將上述操 作重禊2次，作成2組的指令數據與誤差數據。該2組設為 (Ζχ 1，ex 1 )與（Ζχ 1 丨，ex 1 1)。 於此將各個指今點之2組誤差e x I , e X η比較，如為同 符號時則由誤差之絶對值較小的組之指令值減去其所對應 之誤差的Κ倍之值為補正數據（參照第6圖U))。上述KJI第 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本育) Α έ--- I 1 f赇 本紙張尺度適用中國國家梯準（CMS ) Α4規格（210Χ 297公釐） 11 3 8 3 6 5 經濟部中央橾準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CMS ) A4規格（210X297公釐） 3 8 3 6 5 A7 B7 五、發明説明（12 ) 1實施形態同樣的為常數，或為由指令點X,.加工次數i, 加工品回轉數X,磨石輸送速度第丨次的指令數據 等所決定。 於誤差的符號不同時，則將平面上連結2點的直線與 指令值軸的交點（誤差為零之點）之值做為補正數據（參照 第6画（B))。亦即於（x,y)之直交座標通過前述·2點的直線 與X軸之交點的X座檫做為新的指令數據Ζχ<1 + 1)。 其後以如上所得補正數據實行磨削加工，同樣作成指 令數據與誤差數據組。然後由前次所用2組的數據與新作 的1組之共3組的數據中由其2至3個同符號的誤差數據中除 去絶對值最大者，再以剩餘2組數據與前次同樣的求得補 正數據。其後重複上述操作以逐漸接近理想的形狀。 本方法與第1實施形態比較則具有快速收束的特擻。 因此由本方法加速收束，而可以少數加工次數達成高度的 形狀精度。又本發明之形狀控制方法的補正方法則可使用 第1實施形態或箄2菁施形態，亦可將其組合使用。 其次説明誤差數據的濾波方法。如上所述，測定數據 之中包含測定對象之真實訊號以外的各種訊號成分。例如 .為由潮定對象以外的假訊號，因測定琛境不穩定之慼測器 的變動，電氣条統之溫度偏移等。而除去測定對象之真實 訊號以外之不必要的訊號成分對於改善加工精度極為重要 。又於粗磨削時，在測定粗槠加工表面狀態所得意味粗槌 成分的徹細訊號波形對於作成適當的補正數據為不必要， 而將其濾波去除為不可缺。 12 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) JVH 1--- I. ^'裝-- 丁 f線—— 經濟部中央標準局員工消費合作社印装 A7 B7 五、發明説明（13 ) 本發明為使用由高速傅利葉變換（FET).之頻率領域法 對於测定數據實行低通帶濾波，以去除高次頻率成分使測 定數據平滑化。設濾波前的測定數據列為x(i),濾波後的 潮定數據列為y ( i ),則可成立以下的關傺。 [數式4 ] 傅利菜變換 反傅利葉變換 X ( i ) -> X ( ω ) · V ( ω ) -> y ( i ) 上式中y(w)為濾波函數，由該函數之遴擇可將特定 的頻率成分取出或除去。本發明中該函數做如下選擇。 [數式5] ' /1 ( ω < ω〇 ) . W (ω)= < \ 0 ( ω g α)〇 ) 式中ω 〇以遴擇濾波後之測定波形於χ軸方向之指令間 距（0.1®Β)時為十分平滑，並且以能充分追踪測定形狀之 值為宜。 第7圖表示數式5之變化ω0時於濾波後的測定數據列 。該圖中的左上端之圖表示濾波前的潮定數據列，其他的 圖表示各表示去除其右下所示頻率之測定數據列。如圖所 不，由前述低通帶嫌波器去除約16〜64cycle/100uffl以上 的高次頻率成分，得以除去含於測定數據中的假訊號，感 測器靈敏度的變動，電氣条統之溫度偏移，以及意味粗糙 成分之微細訊號波形等的高次頻率成分而抽出真實的形狀 _ a*r« 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4規格（21 OX 297公釐） I 3 3 8 3 6 5 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) .I - if 訂 《線--- 312644 A7 B7五、發明説明（14 ) 訊號。 [實施例] 以下説明本發明之實施例。 [實施例1] 表1表示本實施例使用之形狀控制實驗裝置的構成及 規格。 [表1] 實驗裝置規格 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 NC加工装置 超精密非球面加工機 磨石 鑄鐵纘石結合磨石 (Φ 75X ¥3®®： 1 0 0 0 ) .EL ID電源 電解修整電源（9 0V10A) 加工品 S ί C燒結體U 100) 形狀测定裝置 數值控制雷射，徹型雷射 磨削液 A F G - Μ , 5 0倍沖淡（自來水沖淡） -装--- 丁 .f線 HC加工裝置為使用具有位置決定精度及空氣制壓 軸承之超精密非球面加工機。又磨石為使用ft 1 0 0 0之鑄鐵 14 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 3 8 3 6 5 A7 B7 五、發明説明（1 5 ) 鑽結合純磨石（（Α7 5ίηΒΧ«3ιΐΒ)。磨粒徑大約為15/im。. 又形狀測定裝置為使用具有分解能25^1^，重複精度士 0.1 ^ in之數值控制雷射。ELID·®源則使用發生高頻脈衝電壓 的專用E L I D電源，磨削液則以習慣用的水溶性磨削液A F G Μ以自來水稀釋5 0倍使用。 (實驗方法） 本實驗為使用表1所示的条统，以表2所示的磨削條f 及ELID條件，而以第1圖所示程序進行實驗。 [表2] 磨削條件及E L I D條件 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) * 裝 * 經濟部中央揉準局負工消費合作社印製 磨石週遴速：v(b/b. in) 1300 輸送速度：丨η) 5 .切入深度：d U 0.5 加工品回轉數：W(rf)B). 270 E L I D 電壓：E 〇 ( V ) 60 尖峯電流：I p ( A ) 5 通電時間：r ο n ( w S ) 1 停電時間：r 〇 f f U S ) 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 15 3836 訂 Λ % 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（16 ) 加工品為用直徑ΙΟΟϋΒ之SiC燒結體。為簡化加工此次 之加工形狀為半徑2b的球面。磨削條件為如表2所示每次 以同條件實施。其後將加工品自加工機取下，將其表面充 分洗淨後以數值控制雷射測定其形狀。其後依據測定數據 使用電腦作成補正數據，並轉送至NC加工裝置。然後依據 該NC數據作成新的形狀。然後重複實行實驗。又本實驗的 補正為併用第1實施形態所示第1補正方法與第2實施形態 所示第2補正方法，首先以第2補正方法找出給予絶對值比 較小之形狀誤差的指令數據，其次以第1補正方法圖其收 束。 (實驗結果） 第8圖表示依本發明之濾波前後的測定數據，（A)為濾 波前，（B)為濾波後。由於本發明的濾波，可以明瞭其去 除徹細訊號波形等的高次頻率成分而抽出真實的形狀訊號 〇 · 第9圖表示依本發明之形狀補正前後的誤差數據，U) 為補正前，（B)表示補正後。在補正前（A)之約為2. 的 形狀誤差在補正後（B)減低至約為0.39w®。上述可考慮為 .由本發明之形狀控制方法發揮其機能的效果。 [實施例2 ] 磨石為使用# 1 0 0 0 (平均磨粒徑約為1 5 μ m )與4 0 0 0 (平 均磨粒徑約為m)之鑄鐵鑽石結合純磨石d75misx W 3 ® is ),形狀測定裝置使用分解能1 0 η β之徹型雷射。本實 驗之補正僅使用第1實施形態所示之第1補正方法。其他則 本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS ) Α4规格（210Χ297公釐） ~ ΓΓΤ77 1 6 3 8 3 6 5 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 丨{ -裝--- 丁 .•f旅 A7 B7 五、發明説明（17 ) 與實施例1相同。 (實驗結果） 第10圖表示依本發明之形狀補正前後的誤差數據，（ i〇表示補正前，（B)為表示’補正後。由補正前之形狀誤差 測定數據（A)可知，於其中央有凹部。補正後（B)之測定數 據顯示中央的凹部大幅的減小。此可考慮為依本發明之形 狀控制方法的機能達成之效果。 本發明不限於上述實施例，在不脫離本發明的要旨範 圍當可做種種的變更。 [産業上之利用可能性] 如上所逑，依本發明之形狀控制方法及利用該方法之 ' NC加工裝置，可以用少數加工次數.達成高度的形狀精度， 可以從測定數據抽出真實的形狀訊號，並可以避免因裝置 /取下加工品時發生的位置偏差等達成優良的效果，因此 適 '用於實施電解修整磨削之形狀控制。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --^装-- 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 • —νϋι^— m^— HH 11111 3 8 3 6 5 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（210 X 297公釐）

Claims (1)

1. A8 Βδ C8 D8 六、申請專利範圍 1 . 一種形狀控制方法，像以與導電性磨石隔以間隔設相 對向的電極，於磨石與電極之間流通導電液並施加電 g Η π* •1 加 s y s *0 re磨 (d行 整實 修a 石 Η 磨加 將對 解石 電磨 由使： , 置 以 間位而 之石 ， 極磨法 電制方 與控制 石值控 磨數狀 於以形 壓並的 擄 數 令 指 依 定 Η 加_ 削 磨 的 品 Η 加 對 行 實 狀 形 的 面 Η 加 定 X e 搨 數 令 指 新 的 正 βΒ 補 加 添 成 作 據該 數據 差 誤 狀 形 錄 記 並 波 濾 依 者 擻 特 其 為 Η ΗΠΗ 力 削 磨 施 實 再 品 Η -加 對 據 數 令 指 第 圍 範 利 專 請 申 如 2 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 以 之 中據 其數 , 令 法指 方等 制該 控以 狀 ， 形據 的數 載令 記指 項的 1 去 過 照 參 為 正 補 述 前 〇 方 者制 徴控 特狀 其形 為的 據項 數 1 令第 指圍 的範去 新利過 為專照 值請參 待申為 期如正 3 S 數 令 指 部 全 之 次 補 前 以 中 其 法 指 的 新 以 而 Z 者 zxit 據待 數 其 令 為 式 數 由 為 得 求 第 至 項 項 3 經濟部中央揉準局男工消費合作社印製 由 Γ 為與 L 正丨 萌 X 神 β 述 - 第 前 X 麵以 { 範中 ， 利其組 專 ，的 請法據 申方數 如制差 記指 項得 一 所 去 過 任 之 控 狀 形 的 次 誤 i 與第 據由 數及 令 ， S 至 値 2 者 大 最 值 對 絶 去 Γ .除 Ζ 中 ex據 , 數 C 差 (X誤 ίζ的 得號 所符 驗同 實之 之 値 符 應 同 對不 所為 其¾ 去符 減的 值差 今 誤 指而 的 ， 餘組據 剩之數 而小正 的 組 3 共 之 由 中 據 較補直 差為之 誤做 y 其值 X’ 由之ί , 倍 ri\ 時 ¾ 符 同 為 號 符 的 差 誤 其 為 如 RQ 紹 的 差 誤 之 人、' 方 5: 時 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 8 TX 3 8 3 6 5 六、申請專利範園 交座標通過前述二點的直線與X軸之交點的X座標為新 的指令數據+ 為其特徴者。 項 第 圍 範 利 專 請 ΓΓΤ dH 如 5 Ί?— 高 依 用 使 為 波 濾 nn.l a 前域 法 方 制er *1 控 Γ 狀0U 形(F 的葉 載利 記傅 以 中 其 領 率 頻 之 換 變 者 徵 特 其 為 器 波 濾 帶 通 低 的 法 法 1 方le/ 制 控cy 狀64 形 ~ 1/ 6 的 1 載為 記約 項將 5 器 第波 圍S 範帶 利通 專低 請述 申 前 如由 6 以 中 其 之 上 以 者 戡 特 其 為 除 去 分 成 率 頻 次 高 的及 Η , 加極 削電 磨的 行向 施對 品 相 工設 加隔 對間 備以 具隔 以，石 為磨 , 該 置對 裝 , 工石 加磨 NC性 種電 一 導 Π 力 施 通 流 而 置 裝 加 施 壓 i 的 間 之 極 電 與 石 磨 於 壓 由 間 之 極 SB 與 石 磨 於 液 電 導 數 由 而 整 修 石 磨 將 解 C N 的Η 加 削 磨 行 實 品Η 加 對 ： 石備 磨具 用以 , 更 置為 位而 石 ， 磨置 制裝 控工 值加 之 面Η 加 定 測 令 指 用 制 控 值 數 正 補 以 用 及 以 ： - 以 置而 裝 丨 定置 測裝 狀正 形補 的的 狀據 形數 (褚先閲讀背面之注-*事項再填寫本頁) —C"裝------訂 令 指 由 據 以Η 加 ^y 0 磨 施 實 品Η 加 對 制 控 KiK--- 經濟部中央梂準局負工消費合作社印製 並 波 濾 據 數 定 0 將 狀 形 的 面Η < 加ex 定據 Ϊ8Ϊ數 置差 裝誤 定狀 測 形 狀錄 形 記 新 成 作 正 補 ΠΜ 力 添 置 裝 正 補 由 據 數 令 指 的 數 今 指 此 以 實 度 再 品X Μ 對 者 0 特 其 為Η J- 力 削 磨 施 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ2：97公釐） 9 3 8 3 6 5