經濟部中央標隼局貝工消费合作社印裝 ^09642 Α7 Β7 五、發明説明（） 1 <發明货景> 本發明係#關於一種用於生產半導體装置之晶元接合 裝置，更具艘而言，本發明係有關於—晶元接合裝置，此 裝置可選擇性地進行直接接合或是間接接合。此外，本發 明係相關於一晶元接合装置，此裝置有一夾套交換器*以 依據晶片尺寸來自動選擇多數之賜尾形夾装。 在一晶圓之上形成之半導體晶片（Chip或是die)可用 一接合製程而附蕃到一引線框之上。一晶元接合嫉置之作 用即為將半導艚晶片接合到引線框之上。引線框之作用為 將半導體晶片之功能轉移到外部爾路之上，並用來支撐半 導體晶片。依據是否使用一預先對準參統而定，接合過程 可為直接接合或是間接接合〇 由於半導體元件之横艘化日益婿高，半導艘晶Η的尺 寸也就越作越大。此外，使用GaAs晶圓、晶片之厚度也變 為0.25mm厚。因此接合過程需要益常之精確。其中，使用 間接接合步驟是較佳之選揮，其使用有預先對準之晶元接 合装置。 在直接接合之步驟中，自晶圓中脫落之晶片並不需要 使用一預先對準系統而可直接附著在引線框之上。因此使 用直接接合之接合装置，其速度會比使用間接接合之接合 裝置來得快。所Μ可Μ提昇產量。再者，装置之操作及維 修都較為簡易，使得裝置所遭遇到的麻煩可Μ減少。因為 擇來交換晶片之控制部份很小，用於直接接合之裝置適用 於各種之晶片，及適用於限量之生產。 ____一 3 —_ 本紙铁尺度適用中國國家標準（CNS Μ4規格（210Χ297公釐） ---------.裝-------訂------ (锖先Μ讀背面之注意事項再樓寫本頁) 309642 A7 B7_ 五、發明说明（2 ) 依據操0上之補要*可以選揮用於直接接合之晶元接 合装置及用.於間接接合之晶元接合装置。如果是因為情況 需要，而同時需要直接接合及間接接合之操作時，就必需 同時設立這兩種裝置，這樣即會增加成本及安裝所需空間 Ο 同時，在一個赝用的晶元接合裝置中尚包含一轉移晶 片之設置，此轉移晶片設置之目的係使晶片能Μ晶圓之方 式附著在引媒框或是一印刷電路板之上。因為半辱艘晶片 的尺寸非常小，因此晶片在作轉移時是使用,一噴咀或是由 真空吸入之夾葚。如果晶片係由夾套作轉移之工作，由於 半導體晶片有不同之尺寸，因此依據半導嫌晶Η之大小， 要替換不同之夾套。 一般而言，夾套之更換需由技術熟練之操作者完成， 並要使用特別之工具，如一個横子*因此會降低生產效率 Ο <發明總論> 因此本發明之一目的在於提供可進行直接及間接接合 之晶元接合裝置。 本發明之另一目的在於提供有一夾套交換器之晶元接 合裝置*此夾套交換器可依據半導艘晶片尺寸而自動交換 夾套。 為了達成本發明之上述目的，本發明所提供之晶元接 合裝置包含：⑴一框架組件；（2)—第一接合頭端，其具有 沿著框架組件受控水平線性之運動；（3)晶圓支擦設置，用 -4 一 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) Α4说格（210Χ297公釐） ---------{-裝----.--訂------ * > (請先閲讀背面之注$項再填寫本瓦) 經濟部中央揉隼局®;工消费合作社印製 經濟部中央標準局負工消费合作社印«. ^09642 A7 __B7 五·、發明説明（3 ) 來支撐上面有晶片形成之晶圓；⑷第一半導體晶片吸收設 置，其安装在第一接合頭端，且用來藉由真空吸入之方法 •將半導艄晶片自晶画上吸取出來；及(5)引線框轉移設置 ，用來將一引線框轉移至一半導髓晶片接合位置。 此晶元接合裝置最好再包含⑴一第二接合頭端*此第 二接合頭端可沿著框架組件而有受控之水平線性運動；（2) 一預先對準系統，使由第一半導髓晶片吸入設置來的半導 體晶片得以對準；及(3)第二半導體晶片吸入設置，其安装 在第二接合頭端之上，可使依據預先對準糸統而對準之半 導髑晶片能被拾取。 此外，第一及第二半導艚吸入設置最好是侬可交換方 式安裝在第一及第二接合頭端之第一及第二夾套，而且夾 套是用音圈馬達來作上下運動。 此外也可用一線性之步進馬達來使第一及第二接合頭 端作氷平運動。 此外*在作線性運動的期間，第一及第二接合頭端之 每一位置最好由線性編碼器及線性刻度尺偵測出來，此線 性_碼器係位在每一接合頭端之上*而線性刻度尺則是在 框架組件之上。 此夕卜，每一夾套之位置最好由感測板片及鄰近器所偵 矢卩。 此外，第一接合頭端最好在晶圓支樓設置及引線框轉 移設置之間作可控制之往復運動，因此，利用第一半導體 晶片吸入設置，可Μ使半導體晶片自由晶圓支撐裝置所支 —5 — 本纸伕尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ! :i-f ·裝 訂！----f i (請先閱讀背面之注f項再填寫本頁) 309642 A7 £7_ 五、發明説明（4 ) (請先《讀背面之注意事項再填寫本頁) 撐的晶圓上脫離，而使用引線框轉移設置，可Μ使半導體 晶Μ接合到引線框上，其中引線框係由引線框轉移設置所 支撐。 此外，第一接合頭端最好是可Μ在晶圓支撐設置及預 先對準糸統之間作可控制之往復性埋動，這樣可Μ使第一 夾套作用，使得半導體晶片自由晶圓支撐裝置所支撐的晶 圓上脫離，並且可以使半導艘晶片在預先對準糸統中對齊 ;而且第二接合頭端最好是可以在預先對準糸統荩引線框 轉移設罝之間作可控制性之往復蓮動，使得，第二夾套可Μ 進行接合工作，使得在預先對準糸統中Β經對準之半導體 晶片可以接合到引線框上，此引線框係由引線框轉移設置 所支撐。 此外，第一及第二半導艘晶片吸入設置最好每一個都 經濟部中央樣準局男工消费合作社印製 含有：⑴一個第一夾盤，每一個者Ρ具有一賊尾型溝槽及一 洞孔；（2)—個第—圓柱，此第一圆柱有一圓竿，此圓竿可 Μ在鳩尾形的溝檑之中作往復性之運動•且係通過第一夾 盤之洞孔；及(3)—夾套，此夾套有相對應於在其一側邊上 之第一夾盤之溝權的鳩尾形突出部份，及在另一個側邊上 之第二it鳥尾形部份。 此外，在接合裝置之中最好再包含一夾套交換器，Μ 用來交換夾套，此夾套交換器具有多數之第二夾盤，其中 形成相對應夾套第二突起部份之鳩尾形溝槽及一個洞孔； 及具有一第二圓柱，此第二圓柱有一圓竿，可以在第二夾 盤中之洞孔作可控制的往復蓮動。 -6 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（210·〆297公釐) 經濟部中央梂準局貝工消費合作社印製 ^09642 A7 B7 五、發明説明（5 ) 此外，第二夾盤最好κ預定且放射式之方式設立在夾 套交換器之上，其中饅好再設立用於可控制旋轉第二夾盤 之設置*使得第二圓柱之圓竿可以在第二來盤之洞孔中作 往復運動。 此晶元接合装置最好再包含一安查在每一第二夾盤之 其中一末端上之彈性組件，Μ支樓裝在第二夾盤中之夾套 〇 <圓式之簡要說明> 賴由配合附加之圓式對本發明作詳細說明，即可瞭解 本發明上述之目的及優點。 第1圆是依據本發明之晶元接合装置之一前視圓； 第2圖是第1圆中之晶元接合装置之一放大晒： 第3麵是在第1圈中所示之裝置中之一預先對準糸統 之放大前視圖； 第4A—4C圆是說明使用本發明之裝置之直接接合過程 的數個圖形； 第5Α至5Ε圖是說明使用本發明之装置之間接接合過程 的數個圖形； 第6圖是一分解通視圈，說明本發明夾套交換器之構 造； 第7圖是平面圖，銳明第6圖夾套交換器之構造； 第8跚是本發明之夾套交換器之平面圖； 第9圖是沿第8圖中線IX — IX所取的夾鸾交換器之概 略剖面圖； 7 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ---------f -裝-- .· · < (請先閲讀背面之注f項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局負工消费合作社印製 A7 B7 五、發明説明（6 ) 第10圈是依據本發明，由夾藿交換器所安裝之晶元接 合器之前視圓。 <發明之詳細說明> 參考第1圓，本發明之晶元接合裝置10包含了 ：⑴第 一及第二接合頭端11及12 ;⑵一引線框轉移部份14 ; (3)— 預先對準糸統19 ;⑷一晶圓支擦器15及(5)—柱塞16。此夕卜 ，例ί如可在接近預先對準糸統19的地方處加上一夾套交換 器（參見第8圆）。 利用一個馬達，接合頭端11及12可以在框架13之上作 線性之往復蓮動（馬達未晒示）。引線框轉移部份14可依 序將引線框17供懕到一預定之位置。每一接合頭端11及12 可在晶圓18之上作水平之往復蓮動*並且也可在對準糸統 19或是引線框13之上作往復運動。預先對準糸統只用於間 接接合*並且最好位於引線框轉移部份14及在引線框13下 之晶圓支擦器15之間的位置上面。 晶圓支撐器15可支撐晶圓18，在晶圓18之上形成有半 導體晶片。晶圓支撐器15可Μ水平地平移晶圓18 (由晶圓 支撐器15所支樓）。換言之，為了使晶片受到吸力之作用 而在預定之位置被接合頭端11及12抓取（接合頭端11及12 在受到控制後可Μ作水平之平移），而晶圓18可Μ作水平 之平移。 第2圈是第1圈中裝置之接合頭端11 (12)之一放大圆 ，其中此釋合頭端11 (12)係位在引線框轉移部份14之上。 接合頭端11 (12)有一慼應器21 * Μ受到線性馬逹之作用而 -8 — 本紙乐尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁)
T 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 _B7_ 五、發明説明（7 ) 作水平之往復來回理動。接合頭端11 (12)之水平位置可以 由一線性緬碼器27所偵知。夾套24可交換式地安置在接合 頭端11 (12)之上*夾套24可自第1圖之晶圓18上之箪起半 導髏晶Η，並將拿起之晶片置在引線框17之上（見第1圓 )。夾套24利用真空吸取之方法拿起半導髖晶片。在此處 ，在另一具體實例之中，可Μ用一輿空啧咀來取代夾奢24 。由一音控馬達（VCM) 29之作用，可以使夾套24作垂直之移 動〇 VCM 29由支座22所支樓。夾套24之垂直埋動可由一偵 彻I板Η 25及一鄰近器26所偵知並且受到控制,。 第3圄是第1圖中之預先對準糸統19之一放大圓。預 先對準糸統19之作用是將一半導體晶片之位置對準在一對 準咅15份38之表面上。預先對準糸統19之一葉片32有決定半 導體晶片位置之功能。在使用預先對準糸統19之間接接合 的狀況下* 一第一接合頭端可使半導體晶片自晶圓18上脫 離*並且可Μ使這個已脫雛之半導體晶片可Μ在預先對準 糸統19之對準«3份38之表面之上作好對準之工作，而且一 個第二接合頭端12可Μ拿取埴個已經在對準部份38表面上 之半導體晶片，並且可Μ將半導體晶片附著在一引線框17 之上σ 一異空孔37在對準部份38之表面之上形成，而且利用 在真空孔37中所形成之興空吸力作用，可以使晶片由對準 部份38所抓住。一馬達31驅動一凸輪33，而凸輪33之一操 作可Κ經由一凸輪從動機器34之作用而傅送到葉Η 32之上 。葉片32可對齊晶片，晶Η係在一預定位置之上，固定於 —Q — 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） ---------f -裝----.--訂------^ * - * (婧先閲讀背面之注$項再填寫本頁) 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 _B7_ 五、發明説明（8 ·) 對準部份38之表面之上。在預先對準工作進行完舉之後， 接合頭端12 (第1圖）可拾起晶Η，並且將晶片接合到引 線框17之上。 在下面要說明晶片接合裝置之操作，在此處，此晶片 接合装置可Μ進行直接接合及間接接合。 第4Α圖為在直接接合之情況下，接合頭端11及12之起 始位置。在此處，第二接合頭端12是位在引線框轉移咅15份 14之中間位置之上，而第一接合頭端11則是位在晶圓支撐 器15之中間位置之上。在設定之镆式為直接接合模式之時 ，只有使用第一接合頭端11。因此，第二接合頭端12會移 動到一待命位置。 第4Β圖是表示第二接合頭端12移到待命位置之圖形。 在此處，第二接合頭漏12係在框13左邊之最遠的部份處。 然後，第一接合頭端11會移到晶片之拾取位置。晶片之拾 取位置可Μ作任意之界定，但在第4C圖之具體實例中，它 是在框架13之右邊的最遠點之處。接合頭端11及12之水平 位置是由在每一接合頭端11及12中所安置之線性編碼器27 來作控制。在第一接合頭端11是在右邊之最邇點處之時， 依據音控馬達29之作用（第2圖），夾装24會被降下。由 真空吸力之作用，夾套24會到脫離狀態，並且由半導體晶 圓之上拾取一半導艘晶片。在此處，夾套下降之距雛hi是 由一鄰近器26 (第2圖）及一感測板25所控制。半導體晶 片會被脫離，而且一針頭（未以圖示）會自一柱塞16中升 走B。 —10 — 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） ---------f 裝----·--訂------^ ^ (請先閏讀背面之注意Ϋ項再填寫本頁) S09642 A7 B7_ 五、發明説明（9 ) 由夾奢24Rff拾起之半導體晶片會由音控馬達29所抬起 ，然後會依據第一接合頭端11之水平理動而移動到引線框 17 (由引線框轉移部份14所支撐）。其次，夾套24會降下 來*而且由於真空狀態已經消失，因此晶片會被放下來， 晶片因此會被放在引線框17之一預定位置之上並且進行一 接合工作。 同時，在半導髓晶片已自晶圓上脫黼，並且去除之狀 態之下，晶圓支撐器15會移動一步，以使得接下來之半導 艚晶片得Μ脫離且移動。換言之，晶圓支撐器15會移動一 步，使得第一接合頭_11可Μ在一個固定之速度下，將半 導體晶片自晶圓上拿起。藉此*下一個半導體晶Η會被放 在拾取之位置之上。 第5Α至5Ε圖說明間接接合過程之一連續狀慇。. 如第5Α圆所示，在晶片接合裝置之起始狀慇，第二接 合頭端12會位在引線框14之上，第一接合頭端11則會位在 晶圓支撐器15之上。在選定一個間接接合模式之下，第二 接合頭端12並不會運動，而且第一接合頭端11會移到晶片 之拾取位置，如第5Β_所示，此拾取位置是在右邊之最遠 端。在此處*第一接合頭端11之夾装24會下降，使用真空 吸力來拾取晶片，然後再升上來。 其次，第一接合頭端11會移到預先對準糸統19 (見第 5C圖）其中，被夾套24所拿起之晶片會在預先對準糸統19 之對準部份38之上對齊，而且晶片會被葉片32所對齊。 第5D圖顯示在晶片由預先對準系統19完成對準工作之 本紙张尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4规格（210X_297公釐） ---------f -裝--^--.--訂------^旅 (請先閱讀背面之注項再填寫本頁) 經濟部中央梂準局貝工消费合作社印装 經濟部中央標隼局負工消贽合作社印製 A7 _ B7_ 五、發明说明（10) 後，接合頭端11及12之位置。其中，第一接合頭端11會由 預先對準糸統19移到晶片拾取位置；而第二接合頭端12則 會移到預先對準糸統19之上。其次，装在每一接合頭端11 及12之夾套24會被降下來。在此處，在第二接合頭端12上 之夾套24會把晶片拾取上來（由預先對準糸統19)，然後 再上升*而第一接合頭端11之夾套24畲將晶片自晶圓上拾 取*然後再上升。 第5E圆顧示第二接合頭端12將晶片由預先對準糸統19 移到在引線框17上之一位置處，而第一接合頭端11則將晶 片由晶圆移到在預先對準糸統19上之一個位置處之狀況。 然後*安装在第一及第二接合頭端之夾套24則會下降，且 在上面之晶片會雛開夾套24。換言之，當在引線框17上之 接合頭端12進行接合工作之時，另外一個接合頭端11則會 將晶片放到預先對準糸統19之上面。然後，可以進行里複 上面操作之工作。 參考第6圃，說明一個夾套交換器，此夾套交換器選 揮性地由本發明公佈之晶片接合裝置所採用。在一夾套61 之兩個側邊之上有一鳩尾形之突起61a及61b。夾套61在交 換器62及一接合頭端赞63之間交換。交換器62包含一個夾 盤64，在夾盤64之上有一溝權66，其相對應於夾套61之一 個鳩尾形突起61a之形狀而引形成。在第6圖之中，只有顯 示出一個夾盤64，但是在實際上，在交換器62之上形成有 多數之夾盤64 (見第8圖）。接合頭端赞63包含一個接合 頭端夾盤65，其中一满槽67是相對應於夾葚61之另一ft鳥尾 本紙伕尺度適用中國國家標芈（CNS ) A4規格（2丨Ο X 297公釐） ---------f I裝----“--.訂-----Μ線 (請先Μ讀背面之注$項再填寫本頁) A7 B7 309642 五、發明说明（11 ) 形突起61b之形狀而形成。 夾盤64之另一個側面包含一個園柱68。而圓柱68上面 之一個圓竿69可以經由在夾盤64上所形成之一個洞孔70而 塞入。在夾盤64之另一側面之上有一彈簧片73 *以使夾套 61能夠安全地置於其上。在突起61a由夾盤64之垂直上側 部份向著溝懵66下落時，夾套61能插入夾盤64之溝槽66之 中。在完成上面之插入動作之後，夾套61會安裝在彈簧片 73之上側部份之上，而且圓柱68之圓竿69會通過洞孔70， Μ使突起61a能塞到溝槽66之内。 ， 在接合頭端臂63之一個末端之上附加有一個接合頭端 夾盤65。在接合頭端夾盤65之一個側邊上面，安装有一個 圓柱71 ·此外，尚有一個圓竿72通過一個洞孔（未Μ圖示 )*此洞孔在接合頭端夾盤65之上形成，並且圓竿72可Μ 在溝權67之内前後移動。 接合頭端窗63可Μ在受到控制之後，而由一驅動器（ 未示出）而垂直移動。因此，在接合頭端赞63被下降而伴 随著圓柱71之圓竿72向後移時，夾套61之突起61b就會插到 溝槽67之內。然後，在圓竿72向前移時，夾套61會被壓下 以塞到溝懵67之内。 參考第7圖，交換器夾盤64之溝權66及接合頭端夾盤 65之溝槽67會大於夾套61之突起61a及61b。此外，當圖竿 69及72移向溝槽66及67時，夾套61會塞入到每一溝槽66及 67之中，而在圓竿69及72由溝槽66及67向後移時，夾装61 會偏雛溝權66及67。黎考數字75代表夾套61之一個真空線 -13 - 本紙张尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（2丨0 X 297公釐） (婧先閲讀背‘面之法項再填寫本頁) .裝. 訂 經濟部中央標準局男工消费合作社印策 經濟部中央樣準局男工消费合作社印製 A7 _ B7___ 五、發明説明（12) ，在夾套61係固定到接合頭端夾盤65之時，此真空線會連 接至y在接合頭端夾盤65上所形成之真空線上面。在夾套61 使用真空吸力來拾起半導體晶片時*就會使用到夾套61之 真空線75。 參考第8圖，夾套交換器80包含多數之交換器夾盤64 及安装在圓形旋轉步逸馬達81上（M放射狀形式排列）之 彈簧片73。在此具體實例之中，交換器夾盤64及彈簧片73 所夾之角度為45度角。此外，圓柱68係設立在中心位置處 。而夾套61則插入到交換器夾盤64之内。 參考第9圓，旋轉步進馬達81有一下側之定子81a及 有一上側之感應器81b。雖然定子81a係固定，但是感應器 81b會受到定子81a之控制而旋轉。交換器夾盤64及彈簧片 73係設置在感應器81b之上，交換器夾盤64係受到慼懕器81b 之旋轉作用而旋轉。圓柱68為固定。旋轉步進馬達81可將 每一個要位在某定點之交換器夾盤64旋轉，在這個定點處 ，圓柱圓竿69可經由在交換器夾盤64中所形成之洞孔70而 可Μ作前後之移動。例如，可Μ使用一旋轉致動器來取代 旋轉步進馬遝81，以驅動交換器交套64。 在下文中將要說明在依據本發明之晶合接合装置中使 用之夾套交換器之操作。 黎第8圖及第9圖，其中夾套61之差異為晶片尺寸之 不同，且連接到交換器夾盤64之上，交換器夾盤64係在慼 應器81b之周園之上，並Μ放射方式以固定間隔形成。參考 / 第6圖及第7跚，在夾套61之--個側邊上之突起61a不會緊 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） (锖先閏讀背*之注$項再填寫本頁) .裝. 訂 經濟部中央橾準局員工消费合作社印製 309642 A7 B7 五、發明説明（13 ) 密地插入夾盤64之溝權66之中，而且其底部係用彌簧片73 來支樓。 為了要利用接合頭端赞63，將示於第6 IBi中之一預定 之夾套61固定在接合頭端夾套65之上，感應器81b會旋轉， Μ固定一預定之夾盤64在圓柱68之前方，其中可Μ支撐預 定之夾套61。其次，圓柱68之圓竿69會在預定夾盤64中形 成之洞孔70中向前移動，這樣即可將夾套61之突起61a壓 到溝樓66之中，並將夾套61定位在固定之位置之上◊塞到 交換器夾盤64中之夾套61會被定位，使得接合頭端夾盤之 满楢67可以插到夾套61之另一突起61b之内，而接合頭端臂 63會被垂直下降〇 用來抬起夾套61之接合頭端赞63會被下降，而圓柱71 中之圓竿72會維捋向後移動。在接合頭端赞63係下降且夾 套61之突起61b係塞入接合頭端夾盤65之溝權67之中時， 圇柱圓竿72會向前移動，Μ將夾套61之突起61b壓到接合 頭端夾盤65之满檑67之中。其次，在交換器62之圓柱圓竿 69向後移動之時，夾套61之突起61a會自交換器夾盤64中 赌脫。在接合頭端黯63會被抬起，即可完成夾套61之交換 工作。 此外，如果使用固定在接合頭端夾盤65中之夾套61， 可用類似先前之方法來完成夾套61之交換。為了使未與夾 套61結合之夾盤移動到圓柱68之前端，第8圖中之感應器 8會旋轉。其次，接合頭端赞63會下降，因此可Μ將夾套
J 61之突起6la塞到夾盤64之满槽66之内。在交換器之圓柱 -15 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS } A4規格（2丨0X297公釐） ---------^-- (請先閲讀¾面之注意事項再填寫本頁) 訂 f 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 A7 B7 五、發明説明（14 ) 圓竿69向前移動之時，夾套61會被壓下並且塞到溝槽66之 内，而且在接合頭端赞63之圓柱圓竿72向後移動且接合頭 端赞63會上升，夾装61會自接合頭端赞63_脫。 然後，如果慼應器81b會旋轉，Μ使夾盤與其它之夾套 61 (在交換器62之圓柱68之前端之上）定位時，夾套就可依 據上面之操作順序完成交換工作。 參考第10圓，說明本發明之晶元接合装置，此装置採 用了夾套交換器，如第2圖所示，夾套24用可交換之方式 安装在接合頭端Π (12)前側之一個側邊之上,，而且在使用 第8圖中之夾奢交換器80之狀況下，在接合頭端11 (12)之 前側之一個側邊之上有一赞（未示出）及一夾盤23附於其 上。夾盤23可用音控馬達29來使其垂直上下移動（馬達29 係安裝在支座22之上）。第6圈中之圓柱71係安装在夾盤 23之中。在第8及第9圖中之夾葚交換器80畲安駿在框架 13之下側部份之一個側面上邊。在晶元接合裝置之中，由 於線性步進馬達之驅動，接合頭端11及12會水平移動到夾 套交換器80之上側部份，並且依據音控馬達29之驅動，接 合頭端11 (12)之夾盤會垂直地上下移動，在此時，只要操 作夾盤交換器80即可交換夾套。夾套交換器80最好可以定 位在框架13之下側部份內之任何位置，只要每一頭端11及 12能夠接觸到此交換器即可。例如，如第1圖所示，夾套 交換器80可安置接近於預先對準糸統19之位置。 在依據本發明之上述晶元接合裝置之中，可Μ進行直
J 接及間接之接合工作，而兩個接合頭端係用一馬達來水平 -16 - 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（210Χ297公着） (請先閲讀背赴之注袁事項再填寫本頁) 裝. 訂 ¼ ^09642 Α7 Β7 五、發明説明（15 ) ·» 移動，而裝在每一接合頭端内之夾套可由一音控馬達來使 其垂直移動。換言之，依據本發明，不褥依據半導體元件 之型式及生產線之特性來決定一特別之裝置，而在傅統之 技術之中，就需要作這樣的選擇。因此，可以提高產悬並 且降低生產成本。本發明係相關於一用於將半導艘晶片接 合到一引線框之裝置。然而，本發明之特性構造亦可適用 於一晶Μ轉移装置中，此裝置係用來將一晶圓之晶片安装 在一托盤上，或可用於將一晶圓或一托盤上之晶片接合到 一印刷窜路板之CUB接合裝置，或可用於一装貢之上，此装 置可用來將一_送帶或一托盤或一包装上之晶片接合到一 印刷電路板之上。此外，使用晶元接合裝置之夾套交換器 ，就不需要用手工，而可Μ快速且精確地依據晶片之大小 來交換夾套，這樣即可有效地進行晶元接合。 本發明並不只限於上述之特定之具體實例，對此技越 熟知者可作種種變化及修正而仍雇本發明之範園之内。 ---------裝-- (請先聞讀背，面之ii-參事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局WC工消费合作社印繁 -17 - 本纸伕尺度適用中國國家梂準（CNS > A4规格（210X297公釐）