JP3298810B2 - ダイボンディング装置 - Google Patents

ダイボンディング装置

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ダイの位置を修正
する位置修正ステージを備えたダイボンディング装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】ダイボンディング装置には、ウェーハ又
はトレーからダイをダイ移送装置のコレットで真空吸着
してピックアップし、位置修正ステージに移送して載置
し、該位置修正ステージでダイの位置（姿勢）を修正す
る工程がある。前記コレットは、ピックアップ時におけ
るダイの吸着保持時及び載置時にダイに無理な力や衝撃
を与えないように、ダイの形状に合わせたゴム、ウレタ
ン等から成っている。前記位置修正ステージのダイ載置
面は、金属面であり、ダイの載置時には、ダイを吸着し
たコレットをダイ載置面の上方に移動させ、次いで低速
度で下降させてダイ載置面にダイを載置する。
【０００３】なお、この種のダイボンディング装置とし
て、例えば特開昭５０−１０２２６８号公報、特開昭５
５−４８９４２号公報、特開平４−３１２９３６号公
報、特開平７−２１１７３３号公報、実開昭５６−１２
６８４４号公報、実公昭５６−５１３２２号公報等が挙
げられる。
【０００４】ダイ載置面にダイを載置する時、ダイがダ
イ載置面に対して傾斜していると、ダイ載置時にダイの
コーナー部分からダイ載置面に接触し、割れ、欠けが発
生する。そのため、平行出しと呼ばれる調整作業を行
い、ダイ移送装置のコレットの先端面（ダイとの接触
面）とダイ載置面とが平行になるように調整している。
【０００５】前記した平行出し調整方法は、次のように
して行っている。圧力を受けるとその箇所が変色する
感圧紙をダイ載置面にセットする。この時、コレットと
感圧紙が接触するように、ダイ載置面の高さをダイの厚
み分＋α（αは感圧紙に転写させるための圧力分）だけ
上昇させるか、又はダイを載置する時のコレットの高さ
位置をダイの厚み分＋αだけ下降させておく。ダイ移
送装置を操作して、実際にダイを載置する時と同じ動作
を行わせ、コレットの接触箇所を感圧紙に転写する。
感圧紙に写った形状がほぼ均一な形状で転写されるよう
に、コレットの傾きを調整する。感圧紙にコレットの
形状が均一に転写されるまで、上記からの操作を繰
り返して行う。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、平行
出し調整作業を行うために、感圧紙で形状を採取するの
で、予め位置修正ステージの高さを上昇又は下降させな
ければならない。そのため、上記した調整後、位置修正
ステージを元に戻さなければならない。
【０００７】また位置修正ステージの上昇量又はコレッ
トの高さの下降量は、コレットの形状が感圧紙に鮮明に
転写されるだけの量でなければならない。従って、前記
からの操作を何度か繰り返し行わないと良好な転写
時の加圧力（上記αに相当する圧力）が得られない。
【０００８】感圧紙の感度は、一般にあまり正確ではな
いために、転写された形状が均一に見えても実際にはま
だ多少の傾斜があることが多い。
【０００９】前記したからの調整方法に従い調整を
行っても割れ、欠けが発生した場合には、割れ、欠けが
発生しないと思われる調整を作業者の経験や感によって
施し、その後テストボンディングを行い、良好になるま
でこの作業を施す。従って、テストボンディング用のダ
イやリードフレーム等を多数必要とし、これらを無駄に
してしまう。
【００１０】これらのことにより、作業性が悪く、また
作業にかなりの熟練を必要としていた。
【００１１】本発明の課題は、作業性に優れ、また熟練
を必要としなく、簡単に平行出し作業を行うことがで
き、更にダイの割れ、欠けが生じないダイボンディング
装置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の第１の手段は、ダイの位置を修正する位置修
正ステージのダイ載置面の外周形状を、載置されるダイ
の外周形状より小さくしたダイボンディング装置におい
て、前記位置修正ステージは、ステージ本体と、このス
テージ本体上に着脱可能に取付けられ、ダイが載置され
るダイ載置面を有する駒とから成り、前記駒のダイ載置
面は、硬質ゴム、プラスチック等の緩衝材から成ること
を特徴とする。
【００１３】上記課題を解決するための本発明の第２の
手段は、上記第１の手段において、前記ステージ本体と
前記駒のいずれか一方には嵌合穴部が設けられ、他方に
は前記嵌合穴部に嵌合する嵌合突起部が設けられている
ことを特徴とする。
【００１４】
【００１５】
【００１６】
【００１７】
【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態を図１及び
図２により説明する。ダイ移送装置１は、ダイ２を真空
吸着するコレット３を有し、図示しないウェーハ又はト
レーからダイ２を真空吸着して位置修正ステージ４に移
送して載置する。位置修正ステージ４は、ステージ本体
５と、このステージ本体５上に吸着保持される駒６とか
らなっており、駒６のダイ載置面６ａの外周形状は、ダ
イ２の外周形状より小さく形成されている。ステージ本
体５の中央上面には、嵌合穴部５ａが形成され、駒６に
は嵌合穴部５ａに着脱可能に嵌合する嵌合突起部６ｂが
形成されている。
【００１８】嵌合穴部５ａには下方に向けてダイ吸着用
穴５ｂが形成され、このダイ吸着用穴５ｂの下端より側
壁に向けて更にダイ吸着用穴５ｃが形成されている。ダ
イ吸着用穴５ｃにはダイ吸着用パイプ７の一端が接続さ
れ、ダイ吸着用パイプ７の他端は図示しない真空源に接
続されている。駒６には前記ダイ吸着用穴５ｂに連通す
るようにダイ吸着用穴６ｃが貫通して形成されている。
【００１９】ステージ本体５の上面には、駒６の外周よ
り小さい部分に環状の駒吸着用溝５ｄが形成されてい
る。駒吸着用溝５ｄには下方に向けて駒吸着用穴５ｅが
形成され、この駒吸着用穴５ｅの下端より側壁に向けて
更に駒吸着用穴５ｆが形成されている。駒吸着用穴５ｆ
には駒吸着用パイプ８の一端が接続され、駒吸着用パイ
プ８の他端は図示しない真空源に接続されている。
【００２０】このように、駒６のダイ載置面６ａの外周
形状は、ダイ２の外周形状より小さく形成されているの
で、コレット３の先端面が駒６のダイ載置面６ａと完全
に平行でなくても、コレット３によりダイ２を駒６のダ
イ載置面６ａに載置する時、ダイ２のコーナー部はダイ
載置面６ａに接触しない。即ち、ダイ２の内側部分が駒
６に接触するので、応力集中が緩和され、ダイ２の割
れ、欠けが発生しない。
【００２１】駒６の嵌合突起部６ｂをステージ本体５の
嵌合穴部５ａに嵌合させ、駒吸着用パイプ８の真空をオ
ンとすると、駒６はステージ本体５に吸着固定される。
また駒吸着用パイプ８の真空をオフとすることにより、
駒６はステージ本体５より取り外すことができるので、
ダイ２の大きさが変更になった時は、それに応じて駒６
を容易に交換できる。
【００２２】前記実施の形態においては、駒６のエッジ
部分でダイ２の裏面に傷が付く恐れがある。これを防止
するには、図３に示すように駒６のダイ載置面６ａに硬
質ゴム、プラスチック等の緩衝材９を設けるか、又は図
４に示すように駒６のダイ載置面６ａのエッジ部分にア
ール６ｃを設ければよい。即ち、緩衝材９又はアール６
ｃによりダイ２の裏面に傷が付くことが防止される。ま
た緩衝材９の場合には、ダイ２が適度に滑り易いために
傷が付きにくくなるという効果がある。
【００２３】
【発明の効果】本発明によれば、位置修正ステージのダ
イ載置面の外周形状は、載置されるダイの外周形状より
小さいので、作業性に優れ、また熟練を必要としなく、
簡単に平行出し作業を行うことができ、更にダイの割
れ、欠けが生じない。また前記位置修正ステージは、ス
テージ本体と、このステージ本体上に着脱可能に取付け
られ、ダイが載置されるダイ載置面を有する駒とから構
成することにより、ダイの大きさに応じて駒を容易に交
換できる。更に前記駒のダイ載置面は、硬質ゴム、プラ
スチック等の緩衝材から成るので、ダイ載置時にダイに
傷が付くことが防止される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のダイボンディング装置に用いる位置修
正ステージの一実施の形態を示す一部断面正面図であ
る。
【図２】図１の分解斜視図である。
【図３】本発明のダイボンディング装置に用いる位置修
正ステージの第２の実施の形態を示す一部断面正面図で
ある。
【図４】本発明のダイボンディング装置に用いる位置修
正ステージの第３の実施の形態を示す一部断面正面図で
ある。
【符号の説明】
２ ダイ ４ 位置修正ステージ ５ ステージ本体 ５ａ 嵌合穴部 ６ 駒 ６ａ ダイ載置面 ６ｂ 嵌合突起部 ６ｃ アール ９ 緩衝材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中村 修 東京都武蔵村山市伊奈平２丁目51番地の １ 株式会社新川内 (72)発明者 藤野 昇 東京都武蔵村山市伊奈平２丁目51番地の １ 株式会社新川内 (56)参考文献 特開 平４−74443（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−40252（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−122226（ＪＰ，Ａ) 実開 平３−110842（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/52 H01L 21/60

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ダイの位置を修正する位置修正ステージ
    のダイ載置面の外周形状を、載置されるダイの外周形状
    より小さくしたダイボンディング装置において、前記位
    置修正ステージは、ステージ本体と、このステージ本体
    上に着脱可能に取付けられ、ダイが載置されるダイ載置
    面を有する駒とから成り、前記駒のダイ載置面は、硬質
    ゴム、プラスチック等の緩衝材から成ることを特徴とす
    るダイボンディング装置。
  2. 【請求項２】 前記ステージ本体と前記駒のいずれか一
    方には嵌合穴部が設けられ、他方には前記嵌合穴部に嵌
    合する嵌合突起部が設けられていることを特徴とする請
    求項１記載のダイボンディング装置。
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