TW304207B - - Google Patents

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A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 3 ) 1 1 [産業上之利用領域] 1 I 本 發 明 偽 關 於 一 種 成 膜 裝 置 内 所 使 用 之 構 成組件， 更 1 詳 而 — 之 f 關 於 一 種 於 濺 鍍 CVD^ 真空蒸鍍等之氣相成 1 I 請 1 I 長 方 法 中 的 成 膜 裝 置 用 的 構 成 組 件 0 先 閲 1 I 1 1 [習知技術及其問題點] 背 面 1 I 之 1 製造LS I、 液晶顯示器、 光磁碟、 硬碟等組件傺於基 * 1 1 板 上 形 成 依 百 的 而 定 之 成 膜 材 料 的 薄 膜 9 但 成 膜時，有 稱 項 再 1 填 1_ 為 AAL 微 粒 (P a r t 1 cl e ) 之 粒 徑 為 數 μ in 左 右 的 撤 粒 子 會附着於 成 寫 本 Λ· - 頁 1 膜 中 之 基 板 上 而 使 配 線 短 路 9 致 使 製 品 産 率 極 端降低， 進 '— 1 而 » 損 及 製 品 之 信 賴 性 等 不 能 忽 視 之 問 題 存 在 0 1 對 於 上 述 之 問 題 有 種 種 對 策 9 例 如 就 以 濺 鍍所形成 之 1 成 膜 而 言 > 從 搬 送 % 蓮 送 進 來 者 9 從 靶 材 (t a r g e t )産生 者 ’訂 I 幾 乎 已 被 解 決 9 現 在 f 成 膜 裝 置 用 構 成 組 件 例 如附着堆 積 I 於 遮 板 (s h u 11 e r )、 防附着板、 基板固持體等之成膜材料 Γ 於 成 膜 中 剝 離 脱 落 而 飛 散 成 為 招 致 微 粒 發 生之主要 因 1- 素 0 但 若 在 附 着 堆 積 物 剝 離 脫 落 之 前 » 使 成 膜 裝置之運 轉 1 停 止 而 頻 繁 地 清 淨 附 着 堆 積 物 9 則 將 使 成 膜 裝 置之蓮轉 時 1 1 間 大 幅 降 低 0 1 1 對 於 上 述 之 問 題 1 於 特 開 平 3 - 8 7 3 5 6 號、 特開平3- 1 1 87357號、 特開平3 - 1 6 6 3 6 1 號、 特開平3 - 1 6 6 3 6 2號等之各 1 I 公 報 中 9 掲 示 一 種 於 成 膜 裝 置 用 構 成 組 件 之 表 面配設以 浮 1 1 雕 (e m b 0 S s )加 工 形 成 複 數 凹 凸 之 金 屬 箔 或 蛇 腹 (bellows ) 1 1 狀 金 屬 箔 的 技 術 0 而 且 例 如 以 浮 雕 加 X 形 成 複數凹凸 之 1 1 電 解 銅 箔 已 有 販 售 i 依 照 成 膜 裝 置 用 構 成 組 件 之形狀， 配 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)八4規格（210X297公釐） 3 304207.五、發明説明（4 ) A7 B7 設成覆蓋其表面，藉點焊接或鉚釘固定而使用之。接着， 電解銅箔傺使用於成膜裝置内，欲剝離附着堆積之成膜材 料的應力而使電解銅箔本身變形以緩和應力，故可有效防 止附着堆積物之剝離脱落。 經浮雕加工之電解銅箔雖可有效防止附着堆積物之剝 離脱落，但，乃用後即丢棄，且安裝拆卸很麻煩，而且， 若附着堆積物之厚度超過限度，則有因剝離應力而電解銅 萡本身會龜裂而使成膜裝置用構成組件露出等問題存在。 除此以外之方法，曾有人嘗試對成膜裝置用構成組件 之表面噴射小徑之鋼球即珠粒噴擊（s h 〇 t b 1 a s t以下簡稱 為噴擊）或噴射玻璃珠即glass beads blast(GBB),以形 成凹凸，增大表面積而企圖增大附着堆積物之附着力，但 ,附着堆積物之剝離脱落的防止效果不但不彰，且反複噴 擊（blast)處理多次，於成膜裝置用構成組件會蓄積因噴 擊時之衝擊熱所産生的歪斜，亦時甚至會破損。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 進而，常用的方法有：將成膜裝置用構成組件之母材 的表面加以噴擊（shot blast),再於其上熔射柔軟的金屬 之方法；例如後述之習知例，如圖4 ,於鋁合金母材1 1的 表面形成鋁之熔射膜12的方法。 此方法之合理處係使柔軟的鋁熔射膜變形而緩和附着 堆積物的剝離應力，但成膜材料為剝離應力大之鉅（T a )糸 時，若附着堆積物厚約0 . 5 m m ,則熔射鋁膜與鋁合金母材 之間會産生剝離，目前仍未發現可解決此問題之方法。又 ,此方法之成膜裝置用構成組件，如後所述，熔射膜中所 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0 X 297公釐） 4 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（5 ) 吸藏之氣體於使用時會釋放至成膜裝置内。 [發明要解決之問題] 本發明有鑑於上述問題，目的在於提供一種成膜材料 厚且即使附着堆積亦不會脱離剝落之成膜裝置用構成組件 、及其製造方法。 [用以解決問題點之手段] 以上之目的係藉由一種成膜裝置用構成組件，其特徵 在於：傺由鋁或鋁合金所構成，或由表面設有大小數毫米 或毫米以下之凹凸的鋁或鋁合金所構成，此等預先被浸漬 於硫酸，磷酸，草酸，鉻酸之任一者中，成膜中附着堆積 的成膜材料不會剝離脱落，而達成者。 又，以上之目的傺也由一種成膜裝置用構成組件之製 造方法，其特徽在於：由鋁或鋁合金所構成之成膜裝置用 構成組件，或，由表面設有大小數毫米或毫米以下之凹凸 的鋁或鋁合金所構成的成膜裝置用構成組件之製造時，將 此等浸漬於硫酸，磷酸，草酸，鉻酸之任一者中，而達成 者。 [作用] 由預先浸漬於硫酸，磷酸，草酸，鉻酸之任一者的錦 或鋁合金所構成的成膜裝置用構成組件或由表面設有大小 數毫米或毫米以下之凹凸的鋁或鋁合金所構成的成膜裝置 用構成組件傜於成膜中不使成膜材料之附着堆積物剝離脫 落。 [實施例] 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 5 ---------{衣 .1;---竒：__rl·!__， (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 五、發明説明（6 ) 以下，藉實施例具髖地說明本發明之成膜裝置用構成 法 方 造 製 其 1 及.例 件掄 組奮 刀 銑 端 以 A /IV 金 合 鋁 Η 加 械 機 板 平 之 縱凸

横 X

凹 之 示 所 11 圖 如 成 設 而 面一 的 λ—y S m 5 厚 X B 之 圖 圖 面 平 分 β. 咅 其 為 A 之 IX 圖 距 ο 節R a 帶 2m附 於上 J1 別 分 向 方山 橫之 與成 向形 方所 縱 ， , 槽 即溝 亦之 谷 與 Μ 〇 m 山 圖1Π1, 面寬且 側開 ， 分掘狀 部h)圓 為tc之 材 母 成 形 而 凸 凹 之 Μ 2 有 設 度 深 之 Η 谷 與 Μ 擊 噴 一了 /1 進 面 凸 m-- 理 處 凹濃 之於 材漬 母 浸 此下 〇 溫 1常 於 後 然 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 後粗 時均 小平 24線 中 心 酸中 硫的 之面 ¾表 17之 度定 測 所 時 此 ο 燥 乾 洗 水 出 取 為 約 形 所 此 如 將 下 以 板 靶 從 中 置 裝 膜 成 之 Ac0 板濺 理行 處進 為所 稱内 板槽 金空 合 真 鋁於 之 成 外 以 板 基 之 的 目 為 作 向 飛 亦 因 料 材 膜 成 之 鍍 濺 所 此身 由本 常板 通着 , 附 板於 着着 附附 防許 置容 設不 乃但 邊 ， 周 着 之附 板之 靶身 於本 故板 , 着 着附 附防 而於 處許 之容 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 板 範 鉅 的 置 裝 膜 成 •之 膜 薄 T 成 形 鍍 濺 藉 〇 上 位板 部基 他璃 其玻 之於 外 以 為上 作板 面着 凸附 凹防 以 - 並數 -J ， 板之 着鍍 附濺 防加 為增 作複 Α 反 板着 理隨 處 。 述側 上之 以板 ，IE 上钽 邊向 周 面 s 象 6 現 ，~ 5 落力 厚脫應 成離離 形剝剝 使生.¾ 即發一分 ,&\ 會 但物凸 , 積 凹 加堆之 增着 A 也附板 度II理 厚之處 之大於 物很設 積為傺 堆成此 着力 ， 附應測 鉅離推 而 進 剝據 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 6 SQ4207 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明（ 7 ) 1 I 其 表 面 所 形 成 之 任 一 表 面 處 理 層 例 如 白 己 不 動 態 化 層 可 使 1 [ I 剝 離 應 力 降 低 與 缓 和 所 致 0 1 [比較例] 1 I 請 1 I 與 上 述 做 一 比 較 f 如 圖 4 所 示 9 對 實 施 例 1 所 使 用 之 先 閱 1 I 1 I 鋁 合 金 (A 5 0 5 2 ) 平 板 11 的 平 面 進 行 噴 擊 ί 於 其 上 熔 射 鋁 而 背 1 I 之 1 以 形 成 厚 0 . 3〜0 .4 mm 之 熔 射 鋁 膜 12者 作 為 防 附 箸 板 而 使 用 注 意 古 1 I 於 實 施 例 1 之 成 膜 裝 置 内 0 又 1 圖 4 係 擴 大 約 100倍而繪 事 項 再 1 1 填 I 出 之 部 分 斷 面 圖 0 配 設 成 以 熔 射 A 1 面 作 為 面 向 钽 靶 板 之 側 寫 本 頁 1 而 進 行 濺 射 後 f 在 |旦 附 着 堆 積 物 之 厚 約 0 . 5 m ΙΠ的時點， 作 1 為 母 材 之 鋁 合 金 平 板 與 熔 射 A 1 膜 之 間 産 生 剝 離 〇 1 又 t 對 於 賁 施 例 1 與 比 較 例 之 防 附 着 板 t 比 較 氣 體 釋 出 速 度 而 得 到 如 示 於 圖 3 之 結 果 0 亦 即 > 橫 軸 為 測 定 溫 度 訂 i » 縱 軸 為 氣 體 放 出 速 度 t 於 表 示 實 施 例 1 之 〇 參 與 表 示 1 bb 較 例 之 □ % 分 別 測 定 2 次 t 實 施 例 1 之 防 附 着 板 與 比 1 I 較' 例 之 防 附 着 板 比 較 > 氣 體 釋 出 速 度 為 從 1 / 10 至 1 / 20左 右 1 * 除 顯 示 成 膜 裝 置 用 構 成 組 件 優 異 以 外 9 亦 表 示 表 面 形 成 级 任 — 者 之 表 面 處 理 層 0 i 1 育 m 例 2 1 1 準 備 與 實 施 例 1 作 成 者 同 樣 之 處 理 板 A , 安裝作成實 1 I 施 例 1 之 成 膜 裝 置 的 構 成 組 件 而 進 行 Mo 的 濺 鍍 增 加 反 祝 1 1 批 數 而 於 遮 板 (s h u 11 e r )上附著堆積厚5 6 m m之Μ 0亦可強 1 1 I 固 附 着 9 附 着 堆 積 物 並 未 剝 離 脱 落 0 1 1 實 旃 例 3 1 1 以 丄山 m 銑 刀 (e n d mi 1 1 )機械加工鋁合金（ A 50 5 2 )之平板（ 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 _B7 五、發明説明（8 ) 縱15cmx横2〇Cmx厚5mm)的一面，而設成如圖2所示之凹 凸。圖2之A為其部分平面圖，圖2之B為部分側面圖。 亦即，縱方向與橫方向於2mm節距挖開幅寬lmm之溝槽而設 成凹凸，於凹凸之角部不帶圓弧者作為母材2。對其凹凸 面進行噴擊處理，然後，於常溫下浸漬濃度1 7 %之硫酸2 4 小時，取出，水洗，乾燥。以具有此凹凸之鋁合金平板作 為處理板B。 藉濺鍍於玻璃基板形成作^透明電極之ITO(絪錫氧化 物）的薄膜之成膜裝置中，在ITO靶板的周邊以上述處理板 B作為防附着板而配設成使凹凸面朝向ITO靶板側，以進 行I T 0之濺鍍。增加反複濺鍍之批數I T 0附着堆積物之厚 為5〜6 m m ,但，看不出其剝離脱落。 因ITtUbTa或Mo本質上剝離應力較小，故即使以凹凸 之角部未形成圓弧之鋁合金平板作為母材亦不會使附着堆 積物剝離脱落。如此，依照附着堆積物之剝離應力大小b f \ 變更母材表面之凹凸形狀。 莆旃例4 將實施例1作成之處理板A,及其作成時設有凹凸之 母材的凹凸面作為外側，而將横方向之長邊彎曲加工呈曲 率半徑150mm者之凹凸面與實施例1相同地進行噴擊，並 準備浸漬於硫酸之處理板A ',以及與處理板A '相反地以凹 凸面做為内側而經彎曲加工之處理板A ”，分別安裝於進行 CVD之成膜裝置内壁面上的一部分。 亦即，使SiH4(單砂院raonosilane)氣體與氣氣（〇2)反 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 8 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -----„-----------^--.--„--： — 訂---1 .-----、--------------- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（9 ) 應，而於Si (矽）基板上形成Si〇2(矽氧化物）薄膜之成膜裝 置中，處理板A、A’、A”之任一者Si〇2附着堆積物亦會固 着而不會産生剝離脫落，並可使用於成膜裝置之内壁。 奮旆例5 配設實施例1作成之處理板A而形成可使A1真空蒸鍍 於滾筒狀PP(聚丙烯）膜之成膜裝置的坩堝周邊防附着板。 藉此防附着板可防止在習知防附着板所産生之真空蒸鍍中 從防附着板剝離A 1附着堆積物而落入坩堝中之問題。 管掄例fi 準備一以如實施例1所使用之鋁合金（A 5052)(如圖 1所示）之平板作為母材而令其凹凸表面經噴擊者，於常 溫下分別浸漬於濃度2 0 %之磷酸，5 %之草酸，3 %之鉻酸 後，水洗，乾燥。上述3種酸任一者均須浸漬1週以上， 再使用成為實施例1中之成膜裝置的防附着板，可看出同 於浸漬在實施例1中之17 %硫酸的防附着板，成膜中能防 止附着之成膜材料鉅的剝離。 以上說明有關本發明之各實施例，但，當然，本發明 不限定於此，依本發明之技術思想可有各種變形。 例如，各實施例中雖以鋁合金作為母材，但此亦可為 鋁，又，亦可為被覆於鐵材之鋁或鋁合金。 又，各實施例中，係於鋁合金平板之一面，在縱方向 、横方向均以2mm節距挖掘寬lrom、深2mm之溝槽而設置凹 凸以形成母材，但，此凹凸傜使附着堆積物之剝離應力分 散者，其形狀或大小只要依照附着堆積之成膜材料本質上 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 9 --------{-裝 I.--.--Γ11 訂一.-----f 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、* 發明説明（ 10) 1 1 剝 離 應 力 大 小 來 決 定 卽 可 ， 不 可 一 概 而 定 0 又 f 剝 離 應 力 1 1 之 大 小 比 例 於 附 着 堆 積 物 之 厚 度 $ 故 9 本 質 上 剝 離 應 力 小 I 之 成 膜 材 料 只 很 薄 地 附 着 堆 積 的 成 膜 装 置 用 構 成 組 件 中 » /—V 1 I 請 1 I 亦 可 成 為 平 面 狀 之 母 材 〇 上 述 之 實 施 例 傺 使 用 端 銑 刀 作 機 先 閲 1 I 1 | 械 加 工 而 形 成 凹 凸 9 但 由 放 電 加 工 或 溶 熔 锻 造 形 成 凹 凸 亦 背 1 I 之 1 可 〇 注 意 1 | 事 1 又 » 於 各 實 施 例 中 » 成 膜 裝 置 用 構 成 組 件 之 作 成 像 就 項 再 1 填 由 鋁 或 鋁 合 金 構 成 之 母 材 表 面 進 行 噴 擊 » 此 噴 擊 處 理 % 謀 寫 頁 1 求 表 面 積 之 增 大 f 雖 可 提 高 附 着 堆 積 物 之 固 着 9 但 亦 可 依 成 膜 材 料 之 種 類 附 着 堆 積 物 之 厚 度 而 進 行 玻 璃 珠 噴 擊 ( 丨. ε 1 e s S be ad S b 1 as t ) 或 其 他 方 法 亦 可 t 又 > 視 情 況 可 省 j 略 噴 擊 處 理 0 訂 | 又 > 於 各 實 施 例 中 > 成 膜 裝 置 用 構 成 組 件 之 製 造 時 > 乃 將 由 鋁 或 鋁 合 金 所 構 成 之 母 材 在 常 溫 下 浸 漬 於 論 m 度 17 % 1 1 I 之 硫 酸 中 $ 但 t 使 用 於 浸 漬 之 硫 酸 除 λ» m 硫 酸 (濃度9 0 %以 1 1 上 )以外， 只要為經稀釋之硫酸即可。 成膜裝置用構成組 丨 件 製 造 時 較 佳 之 硫 酸 濃 度 傜 依 浸 漬 溫 度 與 浸 漬 時 間 而 定 > 1 1 但 » 以 1 5 % 25 % 之 濃 度 範 圍 為 佳 0 25 % 以 上 恐 有 母 材 即 1 I 鋁 或 鋁 合 金 溶 化 之 虞 1 5 % 以 下 處 理 時 間 變 長 故 ^ητ m 實 用 1 I 性 0 又 i 於 各 實 施 例 中 t 傺 使 由 鋁 合 金 構 成 之 母 材 浸 漬 於 1 1 1 1 硫 酸 1 磷 酸 $ 草 酸 y 鉻 酸 之 任 一 者 中 > 藉 由 此 等 浸 漬 若 欲 1 1 於 鋁 合 金 母 材 之 表 面 形 成 白 已 不 動 態 化 層 t 可 添 加 用 以 提 1 1 高 此 等 酸 之 氣 化 性 的 氧 化 材 例 如 過 錳 酸 鉀 等 以 有 效 發 揮 作 1 1 本紙張尺度適用中國國家榇準（CNS〉A4規格（210X297公釐） 1 〇 A7 B7 施例中，在一面上設有凹凸，對此面進行 ~/Α·硫酸中，依需要，亦可於兩面上設置凹凸而 進行噴擊並浸漬於硫酸中。 而且，依各實施例，傺安裝一可進行濺鍍，CVD,真 空蒸鍍者作為成膜裝置，但，於此等以外之氣相成長的全 部成膜裝置中，亦可得到相同效果。 又依各實施例，偽安裝剝離應力大之Ta, Mo,剝離應 力小之IT0,與母材同種之/Π作為成膜材料，但，此等以 外之全部成膜材料亦有效，例如W - T i条或W - S i条，Μ 〇 - S ί (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 条 果 效 之 明 發 成 産 , 所 件落 組脱 成離 構剝 用其 置由 裝起 膜引 成 會 之不 明亦 發 ， 本 厚 依很 若積 一 I , 堆 述着 所附 上使 如料 材 膜 次 ， 下量 至産 淨生 清之 行置 進裝 而膜 轉成 蓮 台 置 1 裝每 膜 ， 成化 止間 停期 . 長 故可 , 隔 生間 發之 粒淨 微清 之行 生進 •言 ί ! 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 製 ， 行而 進進 來 〇 染性 污賴 之信 起高 引提 粒 ， 微率 無産 以品 因製 , 之 又品 。製 大膜 增成 産 高 生提 使可 可故 即 . 亦造 縮 。 可用 , 費 故設' > 配 業少 作減 定可 固也 釘 I 鉚間 以時 或止 接停 焊的 點置 行裝 進膜 箔成 電之 解設 電配 如以 須用 不短 明 說 單 簡 之 面 圖 為 A 凸 凹 的 板 平 金 合 鋁 之 1A 例 施 實 於 設 示 表 係 11 圔 凸 凹 的 板 平 金 合 鋁 〇 之 圖 3 面例 側施 分實 部於 為設 B 示 , 表 圖偽 面 2 平圖 分 RM 音

A 為

1i 1X 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（210Χ297公釐） ^04207 a? B7 五、發明説明（1¾ 部分平面圖，B為部分側面圖。 爾3傺有關實施例1及比較例之防附着板的氣體釋出 速度圖。 圖4傜習知例之1種，作為比較例之防附着板的部分 斷面圖。 [符號之說明] 1 具有帶圓弧之凹凸的母材 2 具有不帶圓弧之凹凸的母材 11 鋁合金平板 12 A 1熔射膜 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）

Claims (1)

1. 附」 件 fer· H3 85-.- f'' 第84 1 0 428 0號專利申請案 申請專利範圓修正本 一種成膜裝置 合金所構成， 下之凹凸的鋁 件僳預先浸潰 ,成膜中附着 一種成膜裝置 在製造由鋁或 用構成組件， 或由表面設有 或鋁合金所構 於硫酸，磷酸 堆積的成膜材 用構成組件之 鋁合金所構成 或，由表面設有大小數毫米 鋁合金所構成的成膜裝置用 25¾之硫酸、磷酸、草酸、 件；在常溫用硫酸浸漬24小 (85年12月31日） 其特擻在於：俗由鋁或鋁 大小數毫米（《 « )或毫米以 成，該成膜裝置用構成組 ，草酸，輅酸之任一者中 料不會剝離脱落。 製造方法，其特激在於： 之成膜裝置用構成組件， 或毫米以下之凹凸的鋁或 構成組件時，使用濃度3〜 鉻酸之任一酸浸漬該等組 時，或在常溫用磷酸、草 酸或絡酸浸潰1星期以上 經濟部中央標準局員工福利委Μ會印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4规格（210X297公董)