經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 A7 B7 五、發明説明（3 ) 首先，本發明像有關一種半導體差K測量裝置，其靜 壓及溫度特性十分優異。 其次，本發明係有關一種半導體差壓测量裝置，其具 有優良之靜壓和溫度待性，以及可提供一種低成本之差壓 偵測工具。 第1圖偽迄今一般所用一傳統式差壓測量裝置之組態 的範例，以及偽在已公佈之專利申請案第S59-56137號（ 1 9 8 4 )之第1圖中。 在第1圖中，凸緣2和凸緣3俱緊密配合地組合在一 起，並且你焊接固定在外殼1之兩側。一待測壓力PH高壓 流體的入口埠5,和一待測壓力PL之低壓流體的入口埠4 像分別設在兩凸緣2和3内。 在外殼1中，形成有一壓力测董室6,以及在此壓力 測量室6内，設有中央膜M7和矽膜片8。此等膜片7和 8係分別固定在壓力測量室6之壁上，故兩等膜片7和8 可將壓力測量室6—分為二。 該壓力測量室6面對中央膜M7之壁，形成有均力板 6A和6B。該中央膜片7之周緣偽焊接在外殼1上面。整個 矽膜片8僳由一單獨之矽晶基質構成。 選擇硼等雜質擴散至該矽晶基質之一側上面，並加工 該基質之另一側，將其整個侧面蝕刻成一内凹膜，而形成 四個應變計80。此四個應變計80之運作方式是，當該矽晶 膜由於差壓ΛΡ而撓曲時，上述四個計表中有兩個會受到 張力，其他兩個則會受到壓縮力。此等四個應變計傺連接 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 A ! 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 3 38 138 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（4 ) 形成一惠斯登電橋，以及其電阻之變化將可偵渊為該差壓 △ P中之變化。 一些引線81係各以其一端連接至窸變計80之接線。數 字82像顯示引線81之另一端該連接之氣密端子。支座9像 設有氣密端子，以及矽膜片8僳以低熔點玻璃等黏合方法 ,黏合在該支座9之壓力測量室6的端面上。 壓力入口室1 0和1 1 ,係分別形成外殼1與凸緣2間及 外殼1與凸緣3間。在此等壓力入口室10和11内，分別設 有液髏阻隔膜12和13,以及在外殻1面對此等液體阻隔膜 12和13之壁上面，形成有與該等液體阻隔膜12和13相類似 之均力板10A和1 1 A。 該等液髅阻隔膜12和13與對應均力板10A和11A所形成 之間隔，偽經由連通孔14和15連接至壓力測量室6。該等 液體阻隔膜12和13間之間隔，像填有類似矽酮油等液體 102與103。此等填充液體可經由連通孔16和17,到達矽膜 片8之頂面和底面。熵充液龌101和102偽由中央膜片7和 矽膜H8加以分開，但其在設計上像使此兩液醱醱積大致 相等。 以上之組態中，如果壓力係由高壓侧施加，則作用在 液體阻隔膜13上面之壓力，將可藉填充液醱102傳遞至矽 膜H8;而如果壓力係由低壓侧施加，則作用在液體阻隔 膜12上面之壓力，將可藉填充液體101傳遞至矽膜片8。 結果，矽膜H8將會依據該等高壓與低壓侧間之壓力 差而撓曲。此撓曲作用將以電氣方式由應變計80引出，並 I 訂 . A I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 4 38 138 299479 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明（5 ) .1 k±s» 兀 成 上 述 差 壓 之 測 量 0 然 而 f 此 裝 置 會 受 靜 壓 之 影 m 而 造 1 1 I 成 一 靜 壓 誤 差 0 1 1 I 為 補 償 此 靜 壓 誤 差 » 在 第 2 圖 中 所 示 矽 膜 Η 8 之 薄 壁 1 I 請 1 I 部 分 8a 和 厚 壁 部 分 8b上 面 * 設 有 擴 散 應 變 計 Gd和 G s 〇 薄 壁 先 閱 1 I 1 | 部 分 8 a 上 面 之 應 變 計 Gd 9 可 偵 測 薄 壁 部 分 8a 由 於 差 壓 Δ P 背 ιέ 1 I 之 1 所 致 之 變 形 〇 當 靜 壓 力 S p 加 至 整 個 偵 測 器 時 * 厚 壁 部 分 8b 注 意 1 事 1 上 面 之 應 變 計 Gs » 籍 感 測 該 等 矽 膜 片 8 與 支 座 9 間 之 變 形 項 再 1 填 差 所 致 矽 膜 片 8 之 變 形 便 可 偵 測 該 靜 壓 力 Sp 之 值 0 寫 本 袈 頁 1 在 此 一 情 況 下 t 該 等 應 變 計 Gd和 Gs 由 於 差 壓 Δ P所致 1 之 輸 出 變 化 » 係 顯 示 在 第 3 圖 中 9 以 及 該 等 應 變 計 Gd和 G s 1 1 由 於 靜 壓 力 Sp 所 致 之 輸 出 變 化 » 像 顯 示 在 第 4 圖 中 0 亦 即 1 1 1 如 果 加 有 差 壓 Δ P， 則不但應變計G d之輸出變化， 應變 訂 1 計 G s 之 輸 出 也 將 會 有 變 化 Ο 1 I 基 於 此 一 理 由 1 所 加 之 差 壓 Δ P偽使用下列可闞明其 1 1 關 偽 之 方 程 式 (1)〇 1 1 △ P = Σ n i = 0 Σ j = 0K 1 J X D d 1 X Ge J (1 ) 1 在 此 一 情 況 下 正 如 該 等 應 變 計 Gd和 Gs 之 輸 出 密 切 相 1 1 關 * 因 而 彼 等 輸 出 之 分 離 不 佳 » 其 所 存 在 之 問 題 是 t 需 要 1 1 較 高 级 數 (η ,ffl )之修正計算， 以及修正後尚無法得到夠高 1 1 之 4Gb 稍 確 度 因 此 9 其 靜 壓 力 特 性 不 佳 〇 | 本 發 明 之 巨 的 旨 在 解 決 此 等 問 題 9 以 及 提 供 一 種 具 有 1 1. 良 好 靜 壓 力 和 溫 度 特 性 之 差 壓 測 量 裝 置 〇 1 1 | 第 1 圖 偽 迄 今 一 般 所 用 一 傳 統 式 差 壓 測 量 裝 置 之 組 態 1 1 I 範 例 的 例 示 圖 9 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )八4規格（210X297公釐） 5 38138 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明（6 ) 1 第 2 (BI 圖 俗 一 可 例 不 第 1 圖 之 主 要 部 分 之 細 節 的 繪 圖 * 1 1 I 第 3 圖 像 一 可 説 明 第 1 圖 中 所 示 裝 置 之 運 作 的 曲 線 圖 1 1 | 9 請 1 I 第 4 1^51 國 偽 另 一 可 說 明 第 1 ΠΒΙ 画 中 所 示 裝 置 之 運 作 的 曲 線 先 閱 1 I 讀 1 圖 9 背 1 I 之 1 第 5 圖 % 一 可 例 示 本 發 明 之 一 實 施 例 其 主 要 部 分 之 注 意 1 事 1 組 態 的 繪 圖 9 項 再 1 導 入 第 6 圖 % 一 可 說 明 有 蘭 第 5 圖 中 所 示 之 裝 置 ， 其 真 實 舄 裝 頁 1 組 態 中 主 要 部 分 之 細 節 的 繪 圖 » 1 第 7 圖 係 一 沿 第 6 圖 中 之 Α- A線所截之横斷面圖； 1 1 第 8 Η 一 沿 第 6 [^51 圖 中 之 Β - B線所截之横斷面圖； 1 1 第 9 团 画 像 —* 沿 第 6 圖 中 之 C - C線所截之横斷面圖； 訂 1 第 10 圖 係 一 可 例 示 第 5 圖 中 所 示 之 裝 置 其 主 要 部 分 1 I 之 細 節 的 繪 Ιβ·! 圖 1 I 第 11 圖 顯 示 一 可 例 示 第 5 面 圈 中 所 示 之 裝 置 9 其 計 算 電 1 1 路 之 主 要 部 分 的 繪 圖 1 第 1 2 圖 % 一 可 說 明 第 5 ΠηΠ 圃 中 所 示 裝 置 之 運 作 的 曲 線 1ST m 1 1 1 9 第 1 3 靨 % 另 一 可 說 明 第 5 1^51 圖 中 所 示 裝 置 之 蓮 作 的 曲 線 1 1 1 圆 9 | 第 1 4 圖 傜 一 可 例 示 本 發 明 之 另 一 實 施 例 » 其 主 要 部 分 1 Γ 之 組 態 的 繪 圖 9 1 1 | 第 1 5圖 傲 一 可 例 示 本 發 明 第 三 實 施 例 9 其 主 要 部 分 之 1 1 組 態 的 繪 圖 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 6 38138 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 7 ) 1 第 1 6圖 係 一 可 例 示 本 發 明 第 四 實 施 例 9 其 主 要 部 分 之 1 I 組 態 的 播圈 $ 1 I 第 1 7圖 係 一 可 說 明 第 1 6圖 中 所 例 之 實 施 例 内 » 其 主 要 請 1 1 部 分 之 細節 的 繪 rst 圖 ； 先 閱 讀 1 1 第 1 8圖 像 一 可 說 明 有 關 第 17圖 中 所 示 之 部 分 > 其 計 算 背 之 注 意 事 項 再 填 寫 本 頁 1 1 電 路 之 主要 部 分 的 繪 圖 1 I 第 19圖傜 一 可 說 明 第 1 6圈 中 所 示 實 施 例 之 運 作 的 繪 _ 1 入 > 袈 1 第20圔 係 另 一 可 説 明 第 1 6圖 中 所 示 實 施 例 之 運 作 的 繪 1 I 圖 • 1 1 I 第21圖 涤 再 一 可 說 明 第 1 6圖 中 所 示 實 施 例 之 運 作 的 繪 1 1 圖 9 訂 1 第22圖偽 一 可 例 示 本 發 明 第 五 實 施 例 » 其 主 要 部 分 之 1 1 組 態 的 繪圖 f 1 1 第23圖 % 一 可 說 明 有 蘭 第 22圖 中 所 示 之 實 施 例 9 其 計 1 算 電 路 之主 要 部 分 的 繪 圖 1 I 第 2 4圖 像 一 可 例 示 本 發 明 第 - 實 施 例 $ 其 主 要 部 分 之 1 1 I 組 態 的 繪圖 » 1 1 1 第25園 係 一 可 說 明 有 關 第24圖 中 所 示 之 實 施 例 ， 其 計 1 1 算 電 路 之主 要 部 分 的 繪 圖 9 1 第26圖 偽 一 可 例 示 本 發 明 第 七 實 施 例 * 其 主 要 部 分 之 1 組 態 的 繪圖 而 1 I 第 27圖 一 可 說 明 有 關 第 26圖 中 所 示 之 實 施 例 9 其 計 1 1 算 電 路 之主 要 部 分 的 繪 圖 > 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 7 38138 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明（8 ) 1 第 5 圖 例 示 本 發 明 之 一 實 施 例 t 其 主 要 部分 之組 態 1 I 0 第 6 _ 係 說 明 有 關 第 5 圖 中 所 示 之 裝 置 9 其 真實 組態 之 1 1 1 主 要 部 分 的 細 節 Ο 第 7 _ 偽 一 沿 第 6 圖 中 之 A - A線所截之 r--S 請 1 1 I 横 斷 面 圖 〇 第 8 圖 僳 一 沿 第 6 圖 中 之 B - B線所截之横斷面 先 閱 讀 1 1 ISI 圖 〇 第 9 睡 圈 傜 一 沿 第 6 圖 中 之 C- C線所截之橫斷面圖。 背 之 注 意 事 1 1 I 在 此 等 繪 圖 中 » 如 第 1 圖 中 相 同 符 號 之 組 態， 像表 示 1 1 相 同 之 功 能 〇 在 下 文 中 將 僅 說 明 不 同 於 第 1 圖之 部分 0 項 再 填 1 入 第 一 測 量 室 2 1包 含 一 極 小 之 間 隙 9 其 設 於矽 基座 22 寫 本 袈 I 内 1 並 且 在 該 矽 基 座 之 一 側 22 a上面形成- -第- -测量膜2 3 1 1 I 〇 該 矽 基 座 22之 一 側 22 a表面上， 位於第- -測量膜23之對 1 1 I 側 > 設 有 一 極 淺 之 第 一 凹 面 24 0 1 1 訂 1 第 二 測 量 室25包 含 一 極 小 之 待 殊 間 隙 ， 其 像設 於矽 基 座 22内 且 形 成 具 有 與 第 一 测 量 膜 2 3相 同 之 有 效 面積 的第 二 1 1 測 量 模 26 〇 該 矽 基 座 22之 一 側 2 2 a表面上， 位於第二測量 1 I 膜26之對 側 9 設 有 一 極 淺 之 第 二 凹 面 27 〇 1 支 座 28在 設 置 上 俗 使 其 ~ 側 28 a , 能與矽基座22之- 1 I 側 22a形成接觸， 以及能形成第- ·*凹面24和第三測量室29, 1 1 並 且 可 形 成 第 二 凹 面 27和 第 四 測 量 室 3 1 〇 1 1 而 且 > 第 一 第 二 第 三 和 第 四 測 量 室 2U 25n 29 1 1 和 3 1 » 在 過 量 壓 力 積 留 方 向 上 製 有 一 極 小 之間 隙， 以 1 1 便 在 施 加 遇 量 壓 力 畤 9 避 免 測 量 膜 因 上 述 積 留 之作 用而 破 1 f 裂 Ο 舉 例 而 f 該 間 隙 大 約 為 1 μ ffl 〇 在第5 圖中，上述積 1 I 留 方 向 上 之 間 隙 為 使 本 發 明 易 於 瞭 解 而 加 以 極 度放 大〇 1 1 1 數字32顯示 設 於 矽 基 座 22内 之 第 一 連 通 孔 ,以 及其 一 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 8 38 138 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明（9 ) 1 側 上 面 之 测 曇 壓 力 PH ， 傜 白 此 孔 之 一 端 導 入 * 而 其 另 一 端 1 1 I 則 像 與 第 三 測 量 室 29和 第 二 測 量 室 25連 通 0 數字33顯 示 設 1 1 I 於 矽 基 座 22内 之 第 二 連 通 孔 » 以 及 其 另 __. 倒 上 面 之 測 量 壓 ^-V 1 I 請 1 I 力 PL » 係 白 此 孔 之 —> 端 導 入 9 而 其 另 一 端 則 偽 與 第 四 測 量 先 閱 1 I 讀· 1 | 室 3 1和 第 一 測 量 室 21連通 〇 背 ώ 1 I 之 1 在 第 5 國 中 » 此 等 連 通 孔 之 連 接 9 偽 以 不 同 於 實 物 之 注 意 1 1 事 1 方 式 表 示 > 俾 幫 助 瞭 解 第 一 連 通 孔 32與該 等 第 三 測 量 室 29 項 再 1 蜂 和 第 二 測 量 室 25之 連 接 關 係 9 或 第 二 連 通 孔33與該 等 第 四 本 -ΖΓ 袈 I 測 量 室 31和 第 一 測 量 室 21之連接 關 僳 0 實 際 上 9 彼 等 連 接 貝 '—✓ 1 1 I 之 關 係 如 第 6 至 9 圖 中 所 示 〇 1 1 數字34顯示 上 述 可 偵 測 第 測 量 膜23内 所 産 生 之 應 變 I 1 的 第 —· 感 測 器 負 以 及 在 此 一 情 況 下 « 其 偽 使 用 剪 應 變 偵 測 訂 1 元 件 〇 數字35顯示 上 述 可 偵 測 第 二 測 量 膜26内 所 産 生 之 應 1 變 的 第 二 感 測 器 9 以 及 在 此 一 情 況 下 » 其 傜 使 用 剪 應 變 偵 1 I 测 元 件 0 1 以 上 各 像 使 用 剪 應 變 偵 测 元 件 之 第 一 感 测 器34和第 二 1 I 感 m 器 35 » 偽 如 第 1 0圖 中 所 示 f 分 別 位 於 第 一 測量膜2 3和 1 1 第 二 測 量膜26上 面 〇 1 1 數 字36顯示 一 計 算 電 路 9 其 如 第 1 1圖 中 所 示 9 可 計 算 1 1 第 一 感 m 器 34之 输 出 與 第 二 感 測 器 35之 輸 出 間 的 差 值 0 在 | 第 1 1圖 中 t 數 字 361顯示- -可供應電颸給該等第- -感測器 1 f 34和 第 二 感 測 器 35之 電 源 供 應 器 » 數 宇 362和363顯 示 兩 可 I 1 I 分 別 將 該 等 第 一 感 器 3 4和 第 二 感 測 器 35之 輪 出 加 以 放 大 1 1 1 的 放 大 器 » 以 及 數 字 3 6 4顯示- -可將該等放大器362和363 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 9 38138 299479 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 五、 發明説明（1 〇 ) 1 之 输 出 中 的 差 值 加 以 放 大 的 差 動 放 大 器 0 1 I 數 字37顯示 一 可 將 測 量 壓 力 PH導 入 第 一 連 通 孔 32之 壓 1 1 I 力 入 P 孔 〇 數 字 38顯 示 一 可 將 測 量 壓 力 PL導 入 第 二 連 通 孔 請 先 閱 讀 背 之 1 1 I 33之 壓 力 入 P 孔 〇 1 1 I 在 以 上 之 組 態 中 参 該 高 壓 侧 测 量 壓 力 PH % 經 由 第 —. 1 1 連 通 孔 32 供 應 至 第 三 LB|| Wi 量 室 29和第 二 測 量 室 25 〇 該 低 壓 注 意 事 1 1 側 測 量 壓 力 PL 偽 經 由 第 二 連 通 孔 33 » 供 應 至 該 等 第 四 测 項 再 1 Jk 量 室 3 1和 第 ~* 測 量 室 2 1 0 本 頁 ，衣 I 依 據 該 等 高 壓 側 壓 力 PHD 低 壓 側 壓 力 PL間 之 壓 力 差 * 1 1 I 該 等 第 一 測 量 膜 23和 第 二 測 量膜26將 會 撓 曲 並 産 生 應 變 0 1 1 I 此 等 應 變 將 可 以 電 氣 方 式 由 第 一 感 測 元 件34和第 二 感 測 元 1 1 訂 1 件 35加 以 測 置 0 使 用 計 算 電 路 36 » 計 算 第 一 感 m 器 34之 输 出 和 第 二 感 1 1 測 器 35之 輪 出 » 便 可 測 得 該 差 壓 0 1 | 換 —a-. 之 ， 該 等 第 一 測 量膜23和 第 二 测 量 膜 26 由 於 彼 1 等 有 效 面 積 幾 乎 相 同 ， 將 會 沿 幾 相 反 之 方 向 變 形 0 第 —* 感 1 I 測 器 元 件 34之 計 表 输 出 G 1 9 和 第 二 感 測 器 元件35之計表輪 1 1 出 G2 將 如 第 1 2圖 中 所 示 f 可 相 對 於 差 壓 Δ P = P Η -Ρ L而輸 1 1 出 «S* 兀 全 反 相 之 輸 出 值 » 然 而 ， 如 果 施 加 靜 壓 力 S ρ =Ρ Η = Pl I 1 1 則 第 一 測 量 膜 23之 變 形 • 將 會 等 於 第 二 測 量 膜26之 變 形 * 1 1 以 及 彼 等 之 輸 出 將 會 如 第 1 3圖 所 示 幾 乎 相 等 〇 1 [ 如 果 使 第 一 感 測 器 元 件 34之 計 表 輸 出 G 1 和 第 二 感 測 1 I 器 元 件 35之 計 表 輸 出 G 2 • 如 同 下 列 方 程 式 (2 )中- -樣加以 1 1 I 相 減 t 則 將 可 得 到 一 正 比 差 壓 Δ P之输出， 使其成為- -變 1 1 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（210X297公釐） 10 38 138 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（n ) 化量兩倍於各自输出之變化量的輸出U。 如果使第一感測器元件34之計表输出Gi,和第二感測 器元件35之計表輸出G2,如同在下列方程式（3)中一樣加 以相加，則可得到一僅随靜壓力S p變化而不受差壓△ P影 播之输出V。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 此 輪 出 V 可 用作 一 靜壓 力 信 OJn 彌 〇 此 靜 壓 力信 號 可 用作 高 精 密 之 計 算 9 諸如 由 於靜 壓 力 所 致 靈 敏 度 變化 之 修 正作 用 0 Δ Ρ = ϋ = G ϊ -G 2 (2) S p =V = G 1 + G 2 ( 3) 誠 如 以 上 所 述， 有 效面 積 相 同 之 第 一 測 量膜 2 3和 26 , 能 以 半 導 醞 m 加 工技 術 ,精 確 地 形 成 於 一 矽 基座 22上 面， 以 及 該 等 第 一 測 量膜 23和第 二 測 量 膜 26 * 在 組態 上 係 使用 該 等 連 通 孔 3 2和 33 , 彼 此在 相 反 方 向 上 作 用 〇 其 結 果 是 (1 )可得- -有闋第- -應變偵測元件34之輸出， 與第二 應 嫌 寶 偵 «Hi 測 元 件 35之輪 出 的相 減 值 信 號 9 而 成 為一 僅 對 差壓 △ P有極高整敏度之信號。 (2 :)而且， 其輸出中之速度變化i :靈 敏 度 ),像兩倍於 單 獨 元 件 之 輸 出 者。 (3) ϊ η ί 1 - -有關聋 % - -應！ Ψ ί 貞ϋ η 7 ΐ i 牛34之幸 _出， ί SI 5 % 二 應 變 偵 測 元 件 35 >之輸 出 的相 加 值 信 號 » 而 成 為一 僅 對 靜壓 力 S F ，有 極 高 整 敏 度之 信 ty& 嫌。 (4 [)因此， 單單相減運算或相加蓮算便可提供高度精 本紙張尺度適用中國國家標準（c摩規格（210'x騰釐） 38138 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( 12 ) 1 # 確 之 差 壓 信 P上 m △ P或靜壓力信號S P 〇 1 | (5)由左 >在方程式（4) 所 示之 計算 中， 該 等 差 壓 信 QM m 1 I Δ P與靜壓力信號S P間， 就較高精確度而言， 僅有少量之 諸 1 1 先 1 相 互 影 礬 9 採 用 少 量之 計 算 级數 (n , m )便已足夠。 閱 讀 1 1 (6)除靜壓力S P外之其他特性，例如溫度特性， 亦可 背 1 1 偵 測 | 藉 該 等 第 應 變 偵 測元 件 34之輸 出， 與第 二 應 變 兀 件 意 事 1 35之 輸 出 的 相 減 值 而加 以 消 除， 故能 提供 優 異 之 溫 度 特 性 項 再 ύ 1 〇 寫 本 袈 頁 1 第 1 4圖 僳 例 示 本發 明 之 S — 實施 例， 其 主 要 部 分 之 組 1 1 態 〇 1 1 I 在 此 一 實 施 例 中， 傷 使 用其 自然 頻率 可 隨 應 變 之 改 變 1 1 訂 而 變 化 的 振 動 樑 41 和42 9 作 為該 等第 一感 測 器 34和 第 二 感 1 測 器 35 〇 此 實 施 例 所具 有 之 優黏 是， 能夠 使 用 頻 率 倍 號 作 1 1 為 m 量 信 號 0 1 1 該 差 壓 Δ P之信號僳如下文所示加以計算。 丄 令 有 關 差 m Δ P所産生高低壓之信號中的改變量分別 1 1 為 f Η 和 f L » 並 且 令 有關 靜 壓 力Sp 所産 生高 壓 和 低 壓 之 信 號 1 1 I 中 的 改 變 量 分 別 為 f H S 和 f L £ 0 1 1 1 誠 如 前 文 所 述 ,正 如 第 一測 量膜 2 3和 第 二 測 量 膜 26係 1 1 以 相 反 相 位 運 作 9 該差 壓 Δ P之輸出信號， 可如下文所示， 1 藉 計 算 來 白 振 動 樑 4 1和 42之 信號 中之 差值 而 得 到 ： 1 1 差 壓 Δ P = Ph-Pl 1 | =κ .(f Η 0 - f L 0 ) (4 [) 1 I 此 處 it 10 c =總高壓側輸出信號之改變量， 1 1 本紙張尺度適用中關家標準（CNS ) Μ規格（2獻歸们 38138 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（1 3 ) fLO =總低壓側輸出信號之改變量，以及 K = 一常數。 由於 fHO=fH+fHS (5) fLO=-fL+fLS (6)
以及其視為fHS = fLS 差壓△ P = K[fΗ- ( _f L) ] (7) 第15_像一可例示本發明第三實施例，其主要部分之 組態的繪圖。 在此一實施例中，面對該等第一測量膜23和第二測量 膜26,以同心圓方式安排在支座28之表面28a上的兩組電 極51、52和53、54係分別用作該等第一感測器34和第二感 測器35。此安排方式所具有之優點是，可使用電容信號作 為該等測量信號。 該差壓信號ΔΡ可如下文所示加以計算。令差壓AP在 該等電極51、52與第一測量膜23間所産生之電容信號，和 該等電極53、54與第二測量膜26間所産生之電容信號，分 別為Chi、Ch2、Cli、和CL2,以及令靜壓力Sp所産生之信 號，分別為Chsi、CHS2、Clsi、和CLS2。由於該等測量膜 23和26如前文所述，係以相反相位蓮作，有關之輪出 信號可藉下文所示之計算得到。 該等測量膜23和26之位移，S ho和S l〇像表示為： - J. ^ 旁 、vd (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) δ ho = K (Ch2-Chl) (8) δ L0=K(Cl2-Cli) (9) 該等位移δ H0和δ L0復被分割成差壓和靜壓力成分： 13 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 38138 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（14 ) δ ΗΟ=δ Η+δ HS (10) δ LO= - δ L+δ LS (11) 所以，方程式（8 )和（9 )間之差值將構成該差壓信號， 以及方程式（8)和（9)間之和值將構成該靜壓力信號。
差壓△ P
-5 HO-δ LO =K{(Ch2-Chi)-(Cl2-Cli)} (12) 結果，在本發明依據申請專利範圍第1項中， (1) 藉計算第一應變偵測元件之輸出與第二應變偵測 元件之輸出的差所得之信號，可成為一僅對差壓有極高鋈 敏度之信號； (2) 而且，其輸出中之速度變化（菝敏度）將加倍； (3) 藉計算第一應變偵測元件之輸出與第二應變偵測 元件之輸出的和所得之信號，可成為一僅對靜壓力有極高 靈敏度之信號； (4) 因此，單單其相減值或相加值，便可提供高度精 確之差壓信號或靜壓力信號。 (5) 由於在該等差壓信號與靜壓力信號間，僅有少量 之交互影鬱，如果有必要時少量之計算级數便可得到較高 之精確度；以及 (6) 除靜壓力外之其他特性，例如溫度特性，亦可藉 該等第一應變偵測元件之輸出，與第二應變偵測元件之輸 出的計算差值而加以消除，故能提供優異之溫度待性。 而且，本發明依據申請專利範圍第2項所具有之優點 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ~ ΓΓ777 14 3 ο 1 〇 8 m n I vn^ n i··^^ ϋ·^ fa ^^^^1 a^m #—^1· I 、 ^ 穿 ’ν'口 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、， 發明説明（I5 ) 1 ·. 量 9 可 使 用 類 比 信 號 作 為 測 量 信 OJb m 〇 本 發 明 依 據 申 m 專 利 1 I 範 圍 第 3 項 所 具 有 之 優 點 是 9 可 使 用 頻 率 信 號 作 為 測 量 信 1 1 1 號 0 本 發 明 依 據 請 專 利 範 圍 第 4 項 所 具 有 之 優 點 是 » 可 ^-V 1 1 請 I 使 用 電 容 信 號 作 為 測 量 信 號 Ο 先 閱 1 I 1 | 總 結 上 文 ， 本 發 明 依 據 申 請 專 利 範 圍 第 1、 2 3和4 背 ιέ 1 I 之 1 項 9 能 夠 實 現 其 靜 壓 力 和 溫 度 待 性 均 十 分 優 異 之 半 導 體 差 注 意 1 1 1 壓 測 量 裝 置 0 項 1 導 另 一 方 面 9 第 11 圔 中 所 示 之 計 算 電 路 36 9 至 少 需 要 放 寫 本 袈 頁 1 大 器 362和363及 差 動 放 大 器 36 4 , 此將使得其計算電路十 1 I 分 繁 雜 而 昇 高 其 製 造 成 本 〇 1 1 第 1 6 圖 偽 一 可 例 示 本 發 明 第 四 實 施 例 t 其 主 要 部 分 之 1 1 組 態 的 繪 圖 〇 第 1 7 |〇| 國 像 第 16 面 國 中 所 例 示 之 實 施 例 内 » 其 測 訂 1 量 膜 之 平 面 t 並 且 說 明 第 16 圖 中 之 主 要 部 分 的 細 節 0 第 18 1 1 圖 像 一 可 說 明 有 蘭 第 1 7 國 中 所 示 之 部 分 9 其 計 算 電 路 之 主 1 I 要 部 分 的 繪 圖 0 在 此 諸 圖 中 9 該 等 具 有 如 第 5 圖 中 相 同 符 1 —«S, 號 之 組 件 t 係 表 示 相 同 之 功 能 〇 在 以 下 之 說 明 中 9 將 僅 解 1 I 釋 不 同 於 第 5 圖 |τΓΤ| 中 之 部 分 〇 1 1 在 第 16 圖 中 9 數 字 61 和 62係 表 示 該 等 可 偵 測 第 一 測 量 I 1 膜 23 内 所 産 生 之 應 變 的 第 一 感 測 器 1 和 第 一 感 測 器 2 , 以 1 1 及 係 如 第 17 圖 中 所 示 9 沿 一 垂 直 於 第 一 測 量 膜 23之 方 向 » | 而 安 排 貼 在 其 側 邊 上 面 〇 在 此 一 情 況 下 t 該 等 應 變 計 表 偽 1 | 用 作 該 等 感 測 器 Ο 1 1 I 數 字 63和 64像 表 示 該 等 可 偵 測 第 二 Jiiii m 量 膜 26 内 所 産 生 1 1 I 之 應 變 的 第 二 感 測 器 1 和 第 二 感 測 器 2 , 以及係如第1 7圖 1 1 15 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 38138 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 __B7五、發明説明（16 ) 中所示，沿一垂直於第二測量膜26之方向，而安排阽在其 側邊上面。在此一情況下，該等應變計表係用作該等感測 器。 數字65係一計算電路，其組態如第18圖中所示，可藉 計算該等第一感測器61和62所成之輸出，與該等第二感測 器63和6 4所成之輸出間的差值，而得到能與上述待測量之 差壓相對應之電氣輸出信號。 數字651係一設於計算電路65内之電橋，此電橋651所 具有之組態，可如第18圖中所示，使該等第一感測器61和 62連接在彼此相對之臂中，以及使該等第二感測器63和64 連接在彼此相對之其他臂中。此意謂第一感測器1,61、第 二感測器1,63、第一感测器2 ,62、和第二感测器2,64,在 第18圖中偽繞順時鐘方向而安排在電橋651之各臂中。 數字652偽表示一電源供應器，其可提供電壓於一連 接至感測器61和63之電源供應端子，與一連接至感測器62 和64之另一電源供應端子間。 數字653偽表示一放大器，其可將一連接感測器61和 64之輸出端子，與另一連接至感測器63和62之輪出端子間 I I I - - - «II m 1 Ηκ I ^^1 I ^^1 K ^-/ 1 .¾. 、言 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 和 3 6 器 測 感 二 第 與 2 6 和 11 6 器 〇 測 大感 放一 以第 加等 出該 輸 的 度 溫 就 但 變 應 1 同 之 壓 差 測所 待於 一 基 關可 有 ， 得 使 性 稱 對 之 置 位 排 安 測 偵 可 言第 而和 力 6 壓1, 靜器 和測 化感 變一 第 器 测 感 〇 一 變 第應 及之 以同 • 相 變一 應另 一 測 同偵 測夠 偵能 夠 ， bb 4 _ 6 , 2 63器 1,測 器感 測 二 感第 二 和 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 38138 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 17 ) 1 • 所 以 9 在 如 第 18 圖 中 所 示 之 連 接 方 式 中 » 即 使 加 有 溫 1 I I 度 變 化 或 靜 壓 力 • 如 果 該 等 第 —- 感 測 器 1 , 61 和 第 二 感 測 器 1 1 I 1 , 63有 改 變 t 電 橋 65 1之输出將不會有變化。 同理， 如果 請 1 1 1 該 等 第 一 感 測 器 2 , 6 2和 第 二 感 測 器 2 , 64有 改 變 9 電 橋 65 1 閱 讀 1 1 之 输 出 也 將 不 會 有 變 化 〇 背 1 I 之 1 I 在 此 組 態 中 » 有 一 高 壓 m 測 量 壓 力 Ρη » 可 經 由 第 —· 注 意 1 1 事 1 連 通 孔 32 t 加 至 該 等 第 三 測 量 室 29和 第 二 测 量 室 25 中 0 有 項 再 1 填 一 低 壓 側 測 量 壓 力 Pl • 可 經 由 第 二 連 通 孔 33 加 至 該 等 第 爲 本 百 裝 I 四 測 量 室 31和 第 一 測 量 室 21 中 0 1 1 1 誠 如 第 19 圖 中 所 示 » 該 等 第 一 測 量 膜 23和 第 二 測 量 膜 1 1 | 26 可 對 m 該 等 高 壓 側 測 量 壓 力 P Η 與 低 壓 側 測 置 壓 力 Pl 間 1 1 訂 1 之 壓 力 差 而 撓 曲 並 産 生 應 變 〇 此 等 應 變 量 將 可 以 電 氣 方 式 > 受 到 該 等 第 一 感 測 器 61和 62與 第 二 感 測 器 6 3和 64的 偵 1 1 測 〇 1 1 計 算 電 路 65可 使 用 電 橋 651 , 計算該等第- -感測器61 丄 和 62之 輪 出 » 與 第 二 感 m 器 63和 64之 輸 出 間 的 差 值 9 並 且 1 I 輸 出 一 對 應 於 待 測 差 壓 輸 出 信 號 以 及 同 時 降 低 由 於 靜 壓 1 1 I 力 和 溫 度 所 致 之 誤 差 〇 亦 W 参 在 該 等 第 一 感 測 器 6 1 和 62與 1 1 第 二 感 测 器 63和 64 中 9 彼 等 之 電 阻 變 化 率 △ R/R , 就靜壓 1 1 力 和 溫 度 而 i 如 第 20圖 中 所 示 幾 近 相 等 0 因 此 t 只 要 有 1 颺 該 等 第 一 感 測 器 6 1 和 62中 之 差 壓 的 霄 阻 變 化 率 Δ R/ 'R , 1 ί 與 該 等 第 二 感 測 器 63和 64者 相 同 但 相 位 相 反 電 橋 輸 出 1 1 Ob之 電 阻 變 化 率 Δ R/ Ίί便會變得很小 >所J 電橋輸> il Ob 1 1 之 電 阻 變 化 率 Δ R/R , 將會如第21圖| ί所示變得很大 ，因 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 17 38138 A7 B7 經濟部中央樣準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 18 ) 1 此 I 僅 測 量 電 橋 65 1之輸出， 便能夠降低由於靜壓力和溫 1 1 I 度 所 致 之 誤 差 〇 1 1 結 果 9 使 用 分 別 設 置 在 兩 测 量 膜 23和 26上 面 、 並 藉 上 1 I 請 1 I 述 待 測 差 壓 而 連 接 成 相 位 相 反 之 第 一 感 測 器 61 和 62與 第 二 先 閱 1 I 讀 1 | 感 測 器 63和 64 » 組 合 而 成 電 橋 65 1 , 便可使計算電路65簡 背 1 | 之 1 化 f 並 降 低 其 製 造 成 本 〇 實 際 上 * 計 算 電 路 36 中 需 要 三 個 注 意 1 事 1 放 大 器 f 而 計 算 電 路 65 中 中 則 僅 需 要 一 個 放 大 器 0 項 再 丄 第 22 圖 俗 一 可 例 示 本 發 明 第 五 實 施 例 9 其 主 要 部 分 之 寫 袈 1 1 組 態 的 繪 圖 0 在 此 —- 實 施 例 中 t 數 字 7 1 和 72係 表 示 該 等 可 1 偵 測 第 一 測 量 膜 23 内 所 産 生 之 應 變 的 第 一 感 測 器 1 和 第 一 1 1 感 測 器 2 , 以及傑如第22圖中所示， 沿- -與第- -測量膜23 1 1 成 水 平 之 方 向 9 而 安 排 貼 在 其 側 邊 上 面 0 訂 1 數 宇 7 3和 74係 表 示 該 等 可 偵 測 第 二 測 量 膜 26 内 所 産 生 1 | 之 應 變 的 第 二 感 測 器 1 和 第 二 感 測 器 2 , 以及僳如第22圖 1 I 中 所 示 沿 一 與 第 二 測 量 膜 26成 水 平 之 方 向 » 而 安 排 貼 在 1 1 其 侧 邊 上 面 〇 1 數 字 75像 一 計 算 電 路 ， 其 組 態 如 第 23圖 中 所 示 » 可 藉 1 1 計 算 該 等 第 一 感 測 器 71 和 72所 成 之 輸 出 i 與 該 等 第 二 感 測 1 1 器 7 3和 7 4所 成 之 輸 出 間 的 差 值 9 而 得 到 能 與 上 述 待 測 量 之 1 1 差 壓 相 對 應 之 電 氣 輸 出 信 號 0 1 I 數 宇 75 1係- -設於計算電路75内之電橋， 此電橋751 所 1 1 ] 具 有 之 組 態 f 可 如 第 2 3 面 圖 中 所 示 ί 使 該 等 第 一 感 測 器 7 1 和 1 1 1 72 連 接 在 彼 此 相 對 之 臂 中 9 以 及 使 該 等 第 二 感 測 器 7 3和 74 1 1 連 接 在 彼 此 相 對 之 其 他 臂 中 0 此 意 謂 第 一 感 測 器 1 , 7 1 第 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 18 38138 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 19 ) 1 • 二 感 測 器 1 , 73 第 —^ 感 測 器 2 , 72 和 第一 感測 器 2 , 74 t 在 1 1 第 23 圖 中 % 繞 順 時 鐘 方 向 而 安 排 在 電 橋751之各臂中。 1 1 數 字 7 5 2傲表示_ -電源供應器， 其可提供電壓於電橋 1 I 請 1 I 751 中- -連接至感測器7 1和73之電源供應端子， 與~ -連接 龙 閱 1 1 讀 1 1 至 感 測 器 7 2和 74之 另 一 電 源 供 m 端 子 間。 背 1 1 之 1 數 字 7 5 3偽表不一 -放大器， 其可將電橋751 中 一 連 接 感 1 1 測 器 7 1 和 74之 輪 出 端 子 t 與 另 一 連 接 至感 測器 73和 72之 輸 項 1 填 .我 出 端 子 間 的 輸 出 加 以 放 大 0 在 以 上 之 組態 中， 其 運 作 及 效 寫 本 装 果 偽 與 第 16 圖 中 所 例 示 之 實 施 例 的 相 同。 頁 1 1 第 24 圖 像 一 可 例 示 本 發 明 第 實 施例 ,其 主 要 部 分 之 1 1 組 態 的 綸 EBQ 圖 0 在 此 一 實 施 例 中 數 字 8 1和 82係 表 示 該 等 可 1 I 偵 測 第 一 測 量 膜 23 内 所 産 生 之 應 變 的 第一 感測 器 1 和 第 一 訂 I 感 測 器 2 , 以及係如第24圖中所示， 平行於第- -測量膜23 1 1 1 之 一 側 9 而 安 排 接 近 於 第 —' 測 量 膜 23之中 央。 1 1 1 數 字 83和 84换 表 示 該 可 偵 測 第 二 測量 膜26 内 所 産 生 之 1 1 應 變 的 第 二 感 MMI 拥 器 1 和 第 二 感 測 器 2 , 以及係如第24圖中 1 所 示 t 平 行 於 第 二 測 量 膜 26之 - 側 邊 ,而 安排 接 近 第 二 量 1 1 膜 26 之 中 央 〇 在 此 一 情 況 下 f 矽 基 座 22係 採用 一 (1 10)圓 1 I 晶 片 0 此 僳 由 於 如 果 使 用 — (1 1 0 )圖晶片， 即使是在第- 1 I 測 量 膜 23之 中 央 及 第 二 測 量 膜 26 之 中 央， 彼等 應 變 計 亦 很 1 I 靈 敏 〇 1 1 數 字 85像 計 算 電 路 » 其 組 態 如 第25圖中 所 示 9 可 藉 1 I 計 算 該 等 第 一 感 測 器 81 和 8 2所 成 之 輸 出， 與該 等 第 二 感 測 1 1 器 8 3和 8 4所 成 之 輸 出 間 的 差 值 » 而 得 到能 與上 述 待 測 量 之 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21 OX 297公釐） i g 3 8 13 8 299479 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（2〇 ) 差壓相對應之電氣輸出信號。 數宇851係一設於計算電路85内之電橋，此電橋851所 具有之組態，可如第25圖中所示，使該等第一感測器81和 82連接在彼此相對之臂中，以及使該等第二感測器83和84 連接在彼此相對之其他臂中。此意謂第一感測器1,81、第 二感測器1,83、第一感測器2,82、和第二感測器2,84，在 第25圖中傜繞順時鐘方向而安排在電橋851之各臂中。 數字852俗表示一電源供應器，其可提供電壓於電橋 851中一連接至感测器81和83之電源供應端子，與一連接 至感測器82和84之另一電源供應端子間。 數字853係表示一放大器，其可將電橋851中一連接感 測器81和84之輸出端子，與另一連接至感測器83和82之输 出端子間的輸出加以放大。在以上之組態中，其蓮作及效 果你與第16圖中所例示之實施例的相同。 第26圖像一可例示本發明第七實施例，其主要部分之 組態的繪圖。在此一實施例中，數字91偽表示一可偵測第 一測董膜23内因待测差壓而産生之應變的第一感測器，以 及此第一感測器91俱如第26圖中所示，安排沿著第一測量 膜23之垂直側邊。 數字93係表示一可偵測第二测量膜26内因待测差壓而 産生之應變的第二感測器，以及此第二感測器93係如第26 圖中所示，安排沿箸第二測量膜26之垂直侧邊。 數字92和94偽如第26圖中所示，表示兩設在矽基座22 上面、對稱分佈在該等第一和第二測量膜23和26附近之第 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 袈· '11 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 20 38 138 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 38 138 A7 B7 五、發明説明（2 1 ) 三和第四感測器。 數字95係一計算霉路，其組態如第27圖中所示，可藉 計算第一感測器91所成之輸出，與第二感測器93所成之輸 出間的差值，而得到能與上述待測量之差壓相對應之電氣 輸出信號。該等第三和第四感測器92和94在設置上，可有 效地得到該等靜壓力和溫度之補償作用。 數字951偽一設於計算電路95内之電橋，此電橋951所 具有之組態，可如第27圖中所示，使該等第一感測器91和 第三感測器92連接在彼此相對之臂中，以及使該等第二感 測器93和第四感測器94連接在彼此相對之其他臂中。此意 諝第一感測器91、第二感測器93、第三感測器92、和第四 感測器94,在第27圈中僳繞順時鐘方向而安排在電橋951 之各臂中。 數字952傜表示一電源供應器，其可提供電壓於電橋 951中一連接至第一感測器91和第二感測器93之電源供應 端子，與一連接至第三感測器92和第四感測器94之另一電 源供應端子間。 數字953像表示一放大器，其可將電橋951中一連接第 一感測器91和第四感測器94之輸出端子，與另一連接至第 二感測器93和第三感測器92之輸出端子間的輸出加以放大 。在以上之組態中，其蓮作及效果係與第16圖中所例示之 實施例的相同。 而且，在以上之實施例中，其解釋電橋651、751、或 851係分別由第一感測器61和62、71和72、或81和82，以 2 1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 年
-、1T A7 B7 經濟、部中央標準局員工消費合作社印製 五、 發明説明（2 2 ) V 1 及 第 二 感 測 器 6 3和 64 、 7 3和 74 、 或 83和 84所 構 成 〇 然 而 1 1 I 其 並 非 僅 限 於 如 第 26 圖 中 所 示 之 組 態 〇 簡 之 9 將 至 少 一 1 1 個 第 一 感 測 器 和 至 少 一 値 第 二 感 測 器 f 安 排 在 相 鄰 之 臂 中 1 I 請 1 I 便 足 以 組 成 —* 可 作 為 差 壓 偵 測 工 具 之 電 橋 f 而 得 到 能 與 先 閱 1 I 讀 1 I 上 述 待 測 量 之 差 壓 相 對 應 之 電 氣 輸 出 信 OM m 0 亦 即 » 該 電 橋 背 ι6 1 1 之 1 之 另 兩 臂 可 由 —* 般 之 電 阻 元 件 組 成 〇 意 1 華 1 此 外 » 在 以 上 之 實 施 例 中 其 解 釋 偽 使 用 矽 基 座 22 〇 項 再 1 填 然 而 » 其 並 非 僅 限 於 此 而 已 9 故 舉 例 而 、-· 其 可 使 用 砷 化 寫 本 裝 1 鎵 基 質 或 m 化 矽 基 質 0 總 之 ί 該 裝 置 可 形 成 在 任 一 半 導 體 頁 1 1 上 面 0 1 1 雖 然 其 在 以 上 之 實 施 例 中 解 釋 » 第 二 测 量 膜 26俱 與 第 1 1 一 測 量 膜 23具 有 相 同 之 有 效 面 積 9 其 像 有 利 但 非 僅 受 限 於 訂 I 此 0 舉 例 而 言 • 如 果 第 —- 測 量 膜 23之 厚 度 不 同 於 第 二 測 量 1 I 膜 26者 9 其 便 不 須 要 有 相 同 之 有 效 面 積 〇 如 果 兩 测 量 膜 之 1 I 有 效 面 積 不 同 > 彼 等 是 否 使 用 修 正 像 數 加 以 修 正 便 無 蘭 緊 1 1 要 〇 簡 之 9 有 兩 測 量 膜 2 3和 26便 已 足 夠 〇 1 誠 如 以 上 所 述 t 本 發 明 依 據 申 請 專 利 範 圍 第 5 至 7 項 1 1 t 可 在 — 較 簡 單 之 方 式 下 構 成 該 計 算 電 路 * 以 及 可 使 用 一 1 1 第 一 感 測 器 和 第 二 感 測 器 9 設 於 各 兩 測 量 膜 上 面 > 而 組 1 | 織 成 一 電 橋 9 以 便 能 降 低 其 製 造 成 本 > 該 兩 測 量 膜 在 形 成 I 上 可 因 一 待 測 差 壓 而 以 相 反 之 相 位 蓮 作 0 因 此 9 本 發 明 依 1 ! I 據 串 請 專 利 範 圍 第 5, 6和 7 項 » 可 實 現 一 靜 壓 力 和 溫 度 特 1 1 I 性 十 分 優 異 之 半 導 體 差 壓 測 量 裝 置 9 以 及 可 提 供 一 低 成 本 1 1 之 差 壓 偵 測 工 具 〇 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 2 2 3 8 1 3 8