KR970007320A - 반도체 차압(差壓) 측정장치 - Google Patents

반도체 차압(差壓) 측정장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 마이크로 가공기술을 이용하여 반도체 기판에 마련된 2개의 측정다이어프램 및 2개의 검지소자 및 이들 2센서의 출력 사이의 차를 계산하는 계산회로를 포함하여 구성되는 반도체 차압측정장치에 관한 것이며 : 2개의 측정 다이어프램 각각에 대해서는, 측정 압력전달용 연통구멍이 각각 마련되어 있어서, 이들 2개의 측정 다이어프램이 차압에 의하여 반대 위상으로 작용하게 되며; 상기 2개의 센서는 해당 측정 다이어프램상에 마련되며 각 측정 다이어프램에 인가되는 차압에 의하여 발생된 각 측정 다이어프램의 변위 또는 스트레인을 측정하게 된다.
이들 2개의 측정 다이어프램의 변위 또는 스트레인에 있어서의 차이를 측정함으로써 정상압력오류 및 온도오류를 없앨 수 있으며, 따라서 온도 및 정상압력특성이 우수한 반도체 차압측정장치를 제공할 수 있다.
또한, 계산회로는 2개의 측정 다이어프램의 각각에 위치하는 적어도 한개의 제1센서 및 하나의 제2센서를 이용한 브리지회로로 단순히 구성될 수 있으므로, 제조단가의 감소를 가져올 수 있다.

Description

반도체 차압(差壓) 측정장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 현재 일반적으로 사용되는 종래의 차압 측정장치의 구성예를 나타내는 도면, 제2도는 제1도의 요부의 상세를 나타내는 도면, 제5도는 본 발명의 일 실시예의 요부의 구성을 나타내는 도면, 제6도는 제5도에 나타낸 장치용의 실체적인 구성의 요부의 상세를 기술하는 도면, 제11도는 제5도에서 나타낸 장치의 계산회로의 요부를 예시하는 도면.

Claims (7)

  1. 측정 다이어프램의 대향하는 측에 측정셀이 마련된 반도체 차압측정장치로서; (1) 반도체기판의 한쪽면 근방에 마련된 제1측정셀 및 상기 제1측정셀의 동일 기판 표면상에 형성된 제1측정 다이어프램과; (2) 상기 제1측정셀에 대하여 상기 제1측정 다이어프램의 반대면 상의 상기 기판의 표면상에 마련된 제1오목부와; (3) 상기 반도체 기판의 표면 근방에 마련된 제2측정셀 및 상기 제2측정셀의 동일 기판 표면상에 형성된 제2측정 다이어프램과; (4) 상기 제2측정셀에 대하여 상기 제2측정 다이어프램의 반대면상의 상기 기판의 표면상에 마련된 제2오목부와; (5) 그의 표면이 상기 반도체 기판의 상기 표면과 접촉하며, 상기 제1오목부를 사용한 제3측정셀 및 상기 제2오목부를 사용한 제4측정셀을 형성하는 지지기판과; (6) 상기 반도체 기판내에 마련되며, 그의 한쪽 끝단에는 하나의 측정 압력이 도입되고 그의 다른쪽 끝단은 상기 제3 및 제2측정셀이 연이어 통하는 제1연통구멍과; (7) 상기 반도체 기판에 마련되며, 그의 한쪽 끝단에는 다른 측정압력이 도입되고, 그의 다른쪽 끝단은 상기 제4 및 제1측정셀과 연이어 통하는 제2연통구멍과; (8) 피측정 차압에 의하여 제1측정 다이어프램내에서 발생된 스트레인 또는 변위를 검지하는 제1센서와; (9) 상기 피측정 차압에 의하여 제2측정 다이어프램내에서 발생된 스트레인 또는 변위를 검지하는 제2센서; 및 (10) 피측정 차압에 대응하는 출력으로서 상기 제1센서와 상기 제2센서의 출력 사이의 차를 계산하는 계산회로를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 차압 측정장치.
  2. 제1항에 있어서, 스트레인 게이지가 상기 제1 및 제2센서로서 사용되는 것을 특징으로 하는 반도체 차압 측정장치.
  3. 제1항에 있어서, 진동 스트레인 센서가 상기 제1 및 제2센서로서 사용되는 것을 특징으로 하는 반도체 차압 측정장치.
  4. 제1항에 있어서, 용량 센서가 상기 제1 및 제2센서로서 사용되는 것을 특징으로 하는 반도체 차압 측정장치.
  5. 제1항에 있어서, 계산회로는, 적어도 한개의 상기 제1센서 및 상기 제2센서로 포함하도록 구성되는 브리지 회로를 포함하여 구성되며, 상기 브리지회로의 인접한 가지에 제1 및 제2센서를 배치함으로써 상기 피측정 차압에 대응하는 출력전기신호를 얻도록 배치되는 것을 특징으로 하는 반도체 차압 측정장치.
  6. 제5항에 있어서, 제3 및 제4센서가 상기 반도체 기판상의 상기 제1 및 제2측정 다이어프램 근처에서 상호간에 대칭으로 마련되며; 상기 제1 및 제2센서를 각각 상기 브리지 회로의 2개의 가지에 각각 배치하고, 상기 2개의 가지의 단자를 상기 브리지의 전원공급단자에 접속하고, 상기 제3 및 제4센서를 상기 브리지 회로의 다른 2개의 가지에 각각 배치하고, 상기 2개의 다른 가지를 상기 브리지회로의 다른 전원공급단자에 접속하므로써, 상기 피측정 차압에 대응하는 출력 전기신호를 얻도록 배치되는 차압검지수단을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 차압 측정장치.
  7. 제5항에 있어서, 상기 제1 및 제2센서를 각각 상기 브리지 회로의 2개의 가지에 각각 배치하고, 상기 2개의 가지의 단자를 상기 브리지의 전원공급단자에 접속하고, 2개의 저항소자를 상기 브리지 회로의 다른 2개의 가지에 각각 배치하고, 상기 2개의 다른 가지를 상기 브리지회로의 다른 전원공급단자에 접속하므로써, 상기 피측정 차압에 대응하는 출력 전기신호를 얻도록 배치되는 차압검지수단을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 차압 측정장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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