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經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（/ ) 〈發明之詳细說明〉 <產業上之利用範哺> 本發明係有闞一種晶粒接合装置、帶接合裝置等之接 合装置上之晶粒推頂裝置之調整装置者。 <習知之技術> 例如，晶粒接合装置*係具有：保持有卡脫自如之下 述半専體試料之晶圓之晶圓保持器；固定有前述晶圓保持 器·並可向XY方向驅動之XY移動裝置；配設於前述晶 画保持器之上方之吸附嘖嘴；配設於前述晶圓保持器之下 方之晶粒推頂裝置。被設在前述晶圆保持器上之半導《試 料，係將黏著有晶粒之晶圓墊，貼附於晶圚上所成者。又 ，晶粒推頂裝置係具有吸附晶園墊用之吸附«，及配設於 此吸附體內，在Μ該吸附體吸附晶圓墊之狀態，將晶圓上 之晶粒推頂出之推頂針。 在此，Μ推頂針推頂晶圓墊上之晶粒，而將被推頂上 之晶粒，Μ吸附噴嘴吸附並移送。又，此種晶粒接合裝置 ，例如有特公平3_40 50 2號公報及特公平3 — 54 8 5 8號公報所揭示者。 惟，在晶粒接合裝置、帶接合裝置等之接合装置上’ 為變更品種，而在前述半導體試料之一批内之最先之半導 體試料晶粒被拾起（p i ck up)前，須實行Μ下之 調整作業。半導體試料之#圆安装於晶圓保持器之狀 態下，調整使推頂針位於欲推頂之晶粒之下方’而決定晶 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 丨裝· 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2I0X297公釐〉 經濟部中失標準局負工消费合作社印装 A7 B7_ 五、發明説明（>) 起之原點。因習知之晶粒推頂装置之本«係以嫘拴固 定於基板上，故必須調鬆嫘栓方可將晶粒推頂裝置之本體 移動而實行前述調整作業。 <發明欲解決之課題> 因晶粒推頂裝置係位於晶圓保持器之下方，故調鬆螺 栓使晶粒推頂装置之本«移動而調整之作業*具有相當之 難度。又，將推頂針置於小晶粒之中心之作桊，係為微調 作業，故須要甚多之調整時間。 本發明之目的在於提供一種作業性佳，且可迅速實行 調整作業之晶粒推頂裝置之調整装置。 <解決課題之手段> 為達到上述目的，本發明之構成為：一種晶粒推頂装 s之調整裝童，其特激在於具有：自接合装置之前面側向 裡側之Y方向延伸*於前述裡側具有支軸之X方向調整板 ;W可在前述Y方向移動之方式，載置於前述X方向調整 板上之Y方向調整板；固定於此Y方向調整板上之晶粒推 頂装置；設於接合裝置之前面側，K前述支軸為中心，將 前述X方向調整板向X方向搖動* Μ調整前述晶粒推頂裝 置之X方向位置之X方向調整手段；設於接合装置之前面 側’使前述Υ方向調整板向Υ方向移動，以調整前述晶粒 推頂裝置之γ方向位置之γ方向調整手段；設於接合裝置 側，將前述X方向調整板固定於裝置固定部上之X β向調整板固定手段；設於接合裝置之前面側，將前述γ -4 - 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS ) Α4规格（210Χ297公釐） --------^ —裝-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（今） 方向調整板固定於前述X方向調整板上之Y方向調整板固 定手段。 <作用> 調鬆X方向調整板固定手段，MX方向調整手段將X 方向調整板以裡側之支袖為中心而搖動時· Y方向調整板 及晶粒推頂裝置亦一同搖動，而可調整晶粒推頂裝置之X 方向位置。調鬆Y方向調整板固定手段* KY方向調整手 段將Y方向調整板向Y方向移動時，即可調整晶粒推頂裝 置之Y方向。 <實施例> 以下，以第一圈至第七圔說明本發明之一實施例。如 第一圖及第二圖所示，在晶粒接合裝置、帶接合裝置等之 接合裝置之基板1上，在接合裝置之前面俚及裡側，固定 有支持板2、3。支持板2、3上*載置有X方向調整板 4，支持板2及X方向調整板4上•嵌插有支袖5，Μ將 X方向調整板4支承為可在水平方向上回轉。支袖5 * Μ 強簧6向下方蓄勢*以使X方向調整板4壓接於支持板2 上。支持板3上之X方向調整板4之部份上，形成有延伸 於X方向上之長孔4 a。長孔4 a内插設有固定螺絲7， X方向調整板4係以固定嫘絲7固定於支持板3上。X方 向調整板4之前面側，如第一圆至第三圖（特別是第三匾 )所示•固定有向下方突出之梢8。對應該梢8，在前述 支持板3之部份上·固定有伸展於X方向上之螺絲保持器 本紙浪尺度適用中困國家標隼（CNS ) A4说格（210X297公釐〉 nn nn —^1— ί I - -*··n ^^1 -1-1 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 298669 at Β7 五、發明説明（f) 9，揉絲保持器9上，支承有回轉自如之X方向調整嫘絲 10 «X方向諝整嫘躱10上嫘合有鏍母1 1 ，嫘母1 1 内插入有前述梢8之前端。 如第一圖及第二圖所示，前述X方向調整板4上，載 置有Y方向調整板1 5 · Y方向調整板1 5 ·係Μ回轉自 如地支承於X方向調整板4上之Υ方向引導輥子1 6 ·使 兩側面被引導，而可在Υ方向上滑動。Υ方向調整板1 5 上，形成有延伸於Υ方向上之兩個長孔1 5a、1 5b， 對應畏孔1 5 a之X方向調整板4之部份上，固定有自Υ 方向調整板1 5向上方突出之蠼粬1 7。嫘軸1 7上，嫘 合有彈簧壓片1 8 * Υ方向調整板1 5與强簧壓片1 8間 配設有螺旋彈簧1 9。亦即，Υ方向調整板1 5Μ螺旋强 簧1 9之蓄勢力，歷接於X方向調整板4上。前述長孔1 5b插入有固定螺绦20之螺紋部》Υ方向調整板1 5Μ 固定螺绦2 0固定於X方向調整板4上。 對應於Y方向調整板15之前面傷之X方向調整板4 上，如第一圖、第二圖及第四圔（特別是第四麵）所示， 插入有回轉自如之偏心輸2 1之小徑部2 1 a。偏心袖2 1在其小徑部2 1 a上，係具有自該小徑部2 1 a偏心出 偏心董e之大徑部2 1 b，及在大徑部2 1 b上·自該大 徑部21bK小徑自Y方向調整板15向上方突出之操作 軸部2 1 c。在Y方向調整板1 5之下面，形成有延伸於 Y方向之長孔1 5c · Μ使其X方向抵接於偏心袖2 1之 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS〉Α4規格（210Χ297公釐） --------一—裝-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（夕） 大徑部21b，而Y方向調整板15之上面，Μ較偏心袖 2 1之大徑部2 1 b為小徑，而較操作袖部2 1 c為大徑 之方式，形成有軸孔1 5d。又，前述偏心袖2 1之操作 軸部2 1 c上，固定有Y方向調整推把22。 前述Y方向調整板1 5上固定有晶粒推頂裝置30。 以下，以第五圖至第七圖說明晶粒推頂装置30之構造。 Y方向調整板1 5上，固定有c字狀之吸附體保持本《3 1 ，吸附體保持本體3 1上*介Μ軸承32，插嵌有可上 下動之中空吸附體保持器33。吸附體保持器33之上皤 部，固定有上面設有吸附孔及推頂針之吸附«34。又· 吸附雜34内，以圖未示之真空手段霣行真空吸引。吸附 體保持器3 3之下端部固定有上下動保持器3 5，上下動 保持器35上，垂直固定有具引導部之引導件36。引導 件3 6，係滑動自如地插嵌於垂直固定於吸附《保持本髓 31上之軌道37上。 吸附體保持器33下方之吸附體保持本S3 1上*固 定有凸輪袖保持器40·凸輪軸保持器40上介Μ袖承4 2支承有回轉自如之凸輪袖4 1。凸輪軸41上*固定有 吸附體上下動用凸輪4 3及同步皮帶輪44。吸附《上下 動用凸輪4 3之上方之上下動保持器3 5之部份上•支承 有回轉自如之輥子45，上下動保持器3 5以强簧46向 下方蓄勢，Κ將輥子4 5®接於吸附81上下動用凸輪4 3 上。前述Υ方向調整板1 5上，介以馬達支持板47固定 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ^^^1 n^i —ml utar t n (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 五、發明説明（i) A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 之 4 油 頂頂釉 5 下 6 轉固 6。 固 1 板推 推下他 埸 84 無推推動 3 上把回部子面 ，7 持之，上之。之 4 輪 及。•下器針推兩嫡輥下 ο 達支如 5 針4如料 逹帶 658 上持頂型有下於之 7 馬達自 7 頂 7 自試 馬皮 555 針保推 L 承之接 4 板用馬轉子推把轉 « 用步 承軸器頂動於。支 5 抵 6 持動。回輥於推回導 動同 袖動持推下伸 1 上 5 端子支下 2 有之接與成半 下述 珠下保，上延 62 軸下輥達上 7 承如壓部合新 上前 滾上針又述有把 6 動之於馬針輪支自 5 端结用 體與 Μ 針頂。前承推釉下 6 接Μ頂凸上轉 7 他 7 使 附 9 介頂推 9。 支型子上 6 抵介推用 3 回子之 7 而 吸 4 ，推有 56 上 L 輥針棒 5,-動 7 有輥 1 件更 , 輪 上之定針 60 之，頂觭 6 上 1 下軸承使 6 元變 8帶 3 如固頂棒 6 如 2 推接器 57 上支支 Μ 把结種 4 皮。3 自，推觸軸自 6。，持 1 達針，端勢推連品 達步 ο 器動端有接支轉抽 45保板馬頂 3 一蓄述之因 馬同 5 持下上定有，回子 66 件整用推 7 之所前度。 用之帶保上之固定 ο 之輥、器導調動有軸46 。 長用 動定皮體有 5 上固 6 方有 3 持引向下定支 77 上整作 下固步附嵌 58 側軸下定 6 保而方上固有把簧 2 調明 上所同吸插軸 5 端支之固子件 ，Υ 針上定推彌 7 可說 體上有述 7 動器下有 5 端輥導面述頂袖固。被輪以次 附袖掛其 5 下持之定 5 一 之引上前推出上 44 凸，其 吸出搭 承上保 5 固釉之如有之 有输 077 用部 有输上 袖針針 5 上動 1 自定 3 定之 7 把把動端 --------ί I裝------訂-----1線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙浪尺度逋用中國國家標準（CNS ) Α4规格（2.10Χ297公釐） 經濟部中央標準局員工消费合作社印裝 298669 A7 B7 五、發明説明（·/) 合，須實行晶粒推頂裝置3 0之位置調整。此調整*係將 半導體試料之晶画安装於匾未示之晶圓保持器而實行。如 第一圖至第四圓所示1 X方向之調整，係調鬆固定螺絲7 ，而轉動X方向調整蠼絲10而實行。轉動X方向調整燦 絲1 0後，X方向調整板4M支抽5為中心搖動。X方向 調整板4上固定有Y方向調整板1 5，又· Y方向調整板 1 5上固定有晶粒推頂装置3 0，故Y方向調整板1 5與 晶粒推頂装置3 0亦與X方向調整板4 一同以支袖5為中 心搖動。藉此，吸附體30與推頂針59亦向X方向作動 *故可將推頂針5 9調整至推頂晶粒之X方向上之最佳位 置。 Y方向之調整，係調鬆固定螺絲20 *而轉動Y方向 調整推把22而實行。轉動Y方向調整推把22後，偏心 軸2 1之大徑部2 1 b偏心且回轉，而押壓Y方向調整板 1 5之長孔1 5 c之Y方向之側面。蘋此· Y方向調整板 1 5被Y方向引導轎子1 6所引導而朗Y方向動。Y方向 調整板1 5上因固定有晶粒推頂裝置3 0，故可將推頂針 59調整至推頂晶粒之Y方向之最佳位置。如前述，於調 整完前述X及Y方向後，鎖緊固定螺絲7及2 0。 其次，以第五圖至第t晒說明晶粒推頂裝置3 0之作 用。半導體試料之晶画被自動或手動地安装於晶圆保持器 上，欲拾起之晶粒被定位於推頂針5 9之上方後，首先* 起動吸附II上下動用馬達48。藉此，介以同步皮帶輪4 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 丨裝· 訂 經濟部中央楳準局員工消费合作社印製 A7 B7 五、發明説明（》） 9、同步皮箝5 0及同步皮帶輪44，使凸輪_4 1回轉 *而吸附體上下動用凸輪4 3自第五圖之狀態變成第六II 之狀態，以吸附β上下動用凸輪4 3輥子4 5被推向上方 。輥子4 5係安装於上下動保持器3 5上，上下動保持器 35被固定於吸附體保持器33上•又·吸附髓保持器3 3上固定有吸附髏34，故吸附體34上昇•而抵接於晶 圓墊之裡面，而吸附晶讕墊。又，同時，圃未示之吸附嗔 嘴之吸附部降下吸附哦嘴至與晶粒間保持些微間隙之處。 如前述，吸附體34上昇時•使推頂針59上下動之 推把6 1之支軸6 0因被安裝於上下動保持器3 5上，故 如前述，上下動保持器35上昇時•支袖60亦上昇，而 吸附埋34與推頂針5 9亦一起上昇。亦即•吸附體34 雖上下動•但推頂針59相對於吸附體34則為不動*因 此，即使吸附體34上下動，推頂針5 9亦不會自吸附通 34之上面突出或縮入。 其次，起動推頂針上下動用馬達7 1 ，使推頂針上下 動用凸輪72回轉。藉此，如第七圓所示，輥子75被壓 下，推把74Μ支軸73為中心向順時針方向轉動，而連 结元件7 7向右方動，推把6 1 Μ支袖6 0為中心向順時 針方向轉動*輥子63、64上昇。輥子63、64上昇 後，引導件保持器65、推頂針上下動袖55、推頂針保 持器58及推頂針59上昇。亦即，推頂針59推頂晶粒 ，而被推頂之晶粒被吸附啧嘴所吸附。 -1 0 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 丨裝. 訂 .丨線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（q) 又，推頂針上下動用凸輪7 2回轉時，此次與前者相 反.輥子75上昇。藉此，與前述動作相反，推頂針59 下降。又，吸附髓上下動用馬達4 8向前述方向之相反方 向回轉，藉由相反之作動，吸附艚34與推頂針5 9以不 改變相對位置之方式下降。其次•晶圓保持器被驅動，使 半導體試料之下一晶粒被定位於拾起位置•而後實行前述 動作。 如此·調鬆固定螺躲7並轉動X方向調整嫘絲1 0時 ，可諝整晶粒推頂裝置30之X方向位置。又，調鬆固定 螺絲20並回轉Y方向調整推把22時，可調整晶粒推頂 装置30之Y方向位置。此時*因固定螺躱7、20、X 方向調整螺絲10及Y方向調整推把22係位於接合裝置 之前面側，故可容易地實行晶粒推頂裝置30之位置調整 作業·且作業性較佳。又，因可藉X方向調整鏍躲1 0及 Y方向調整推把2 2實行調整，故可在短時間内作微調。 <發明之效果> 依本發明，因具有：自接合装置之前面側向裡側之Y 方向延伸，於前述裡側具有支軸之X方向調整板；以可在 前述Y方向移動之方式，載置於前述X方向調整板上之Y 方向調整板；固定於此γ方向調整板上之晶粒推頂裝置； 設於接合裝置之前面側，κ前述支袖為中心，將前述X方 向調整板向X方向搖動，以調整前述晶粒推頂装置之X方 向位置之X方向調整手段；設於接合裝置之前面側，使前 -1 1- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） --------1. i 裝-- (請先M讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 經濟部中央標準扃員工消费合作社印装 A7 B7 五、發明説明（丨(7 ) 述Y方向調整板向Y方向移動·K調整前述晶粒推頂装置 之Y方向位置之Y方向調整手段；設於接合装置之前面側 ，將前述X方向調整板固定於裝置固定部上之X方向諝整 板固定手段；設於接合装置之前面側，將前述γ方向調整 板固定於前述X方向調整板上之Y方向調整板固定手段， 故作業性佳，且可迅速實行調整。 <鼷示之簡單說明> 第一圔為本發明之晶粒推頂裝置之調整裝置之一實施例之 上視園。 第二圖為第一圔之右側視鼷。 第三圖為第一匾之A—A斷面圔。 第四圖為第一圖之B—B躕面圈。 第五圓為晶粒推頂裝置之一實施例（a)斷面側視圔（b )斷面正視圖。 第六圖為吸附體上昇狀態之部份斷面側視圖。 第七圖為推頂針上昇狀態之斷面側視圈。 <符號之說明> 2、3 支持板 4 X方向調整板 5 支軸 7 固定螺絲 8 梢 9 X方向調整螺絲保持器 -1 2- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ~ — (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) U — 裝·

•ST A7 B7 五、發明説明（I 1 ) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 1 0 X 方 向 調 整 螺 絲 1 1 螺 母 1 5 Y 方 向 調 整 板 1 6 Υ 方 向 引 導 輥 子 2 0 固 定 螺 後 2 1 偏 心 軸 2 1 a 小 徑 部 2 lb 大 徑 部 2 1 c 操 作 袖 部 2 2 Υ 方 向 調 整 推 把 3 0 晶 粒 推 頂 裝 置 3 3 吸 附 體 保 持 器 3 4 吸 附 體 3 5 上 下 動 保 持 器 4 3 吸 附 體 上 下 動 用 凸 輪 4 4 同 步 皮 帶 輪 4 5 輥 子 4 8 吸 附 體 上 下 動 用 馬 達 4 9 同 步 皮 帶 輪 5 0 同 步 皮 帶 5 5 推 頂 針 上 下 動 袖 5 9 推 頂 針 6 0 支 軸 -13- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 五、發明説明（l>) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 6 1 推 把 6 3、6 4 輥 子 7 1 推 頂 針 上 下 動 用 馬 達 7 2 推 頂 針 上 下 動 用 凸 輪 7 4 推 把 7 5 輥 子 7 7 連 结 元 件 -14- --------^—裝-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-1T 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公嫠）

Claims (1)

1. A8 B8 C8 D8 々、申請專利範圍 1 · 一種晶粒推頂裝置之調塱裝置，其特徽在於具有：自 接合装置之接近澜向裡俩之γ方向延伸*於前述裡側具有 支袖之X方向調整板；以可在前述Y方向移動之方式，載 置於前述X方向調整板上之Y方向調整板；固定於此Y方 向調整板上之晶粒推頂裝置；設於接合装置之接近側，以 前述支袖為中心·將前述X方向調整板在X方向搖動* Μ 調整前述晶粒推頂装置之X方向位置之X方向調整手段； 設於接合装置之接近側，使前述Υ方向調整板在Υ方向移 動*以調整前述晶粒推頂裝置之Υ方向位置之Υ方向調整 手段；設於接合裝置之接近側，將前述X方向調整板固定 於装置固定部上之X方向調整板固定手段；設於接合裝置 之接近側，將前述Υ方向調整板固定於前述X方向調整板 上之Υ方向調整板固定手段。 --------i ·裝------訂------^ ^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）