TW298611B - - Google Patents
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Description
298611 _B7_五、發明説明(p ) 本發明乃關於如申請專利範園第1項引文之所述的 一種清潔室設備。 在已知的清潔室設備上,在清潔空氣抵達設計成軸流 式之通風機前,由清潔室底板流出之清潔空氣穿過一個預 濾男,一個與其相連的蓋片裝置,傳熱器及一個滑環形滅 ν/Χ—«* , X— —· 音器。在壓力側裝置另一個環形滅音器。由於這樣的設計 ,-一- Λ ,在設備運作時出現較高的壓力損失。因此軸流式通風機 . _ —~ ——- 設計成具有高穿越速度之中懕或者高壓之通風機。因此另 外裝置一相當長的此通風機後,至少使得一部份 的高動力的壓力變成可使用的靜止壓力。在預濾器處壓力 流失約150到180巴。類似的壓力流失因為兩個滑環 形滅音器而產生。通風 機所要克服的該設備的靜壓力損失連同懸浮物過溥器的壓 力損失加起來,典型的值約在500巴到700巴。為了 此壓力範圍特別装置軸流式通風機,其结構上具有約3 0 0至4 0 0巴之高動力壓力部份,而這些高動力颳力部份 藉著一個連接在後方的能將部份壓力回收成可使 用靜止的壓力。除了通晷機_擴與器及器上的投資 費用高外,此已知的结構還需要較高操作費用。因此用已 知之清潔室設備並不能符合經濟效益工作。 本發明之目的即在設計此類的清潔室設備,使得在工 作時壓力之流失维持在晟小,並且能符合經濟效益地工作 〇 -3- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐)
I A7 B7 乂 五、發明説明 (i-) 1 1 1 AW 付 合 木 發 明 之 此 類 清 潔 室 設 備 的 百 的 係 藉 甲 請 專 利 範 1 1 I 圍 第 1 項 之 特 徵 而 告 達 到 0 1 1 I 在 本 發 明 中 之 清 潔 室 設 備 上 9 由 清 潔 室 流 出 之 清 潔 室 請 先 1 1 氣 特 別 未 經 過 m 流 到 通 風 機 0 在 清 潔 室 及 通 風 機 之 間 的 氣 閲 背 Γ 流 範 圍 需 要 預 m 器 ! 〇 同 樣 地 也 可 不 必 在 加 壓 側 及 吸 側 装 面 之 注 1 滑 環 形 滅 音 器 ο 因 此 在 氣 流 範 圍 中 由 於 附 加 裝 備 引 起 的 壓 意 事 1 項 1 力 損 失 可 K 大 大 地 減 少 〇 基 本 上 此 壓 力 損 失 乃 由 於 清 潔 室 再 4 1 的 蓋 頂 部 份 之 浮 游 物 質 過 m 器 引 起 的 〇 由 於 極 小 的 鹰 力 流 % 本 頁 裝 1 失 為 了 低 壓 之 空 氣 轉 換 而 設 置 之 袖 流 式 通 風 機 具 有 大 的 1 I 氣 流 横 切 面 及 約 2 0 巴 到 7 0 巴 較 小 的 動 力 功 力 部 份 即 可 1 1 I Μ ( 也 就 是 即 使 沒 有 後 接 之 擴 散 器 時 ) 由 動 力 壓 力 部 1 1 份 引 起 之 額 外 能 量 非 常 小 0 通 風 機 所 要 克 服 之 靜 止 壓 力 差 訂 1 在 清 潔 室 中 當 一 垂 直 排 氣 流 為 〇 4 5 m / S 時 藉 著 本 1 I 發 明 之 裝 置 可 降 至 1 2 0 巴 到 2 5 0 巴 〇 為 低 壓 設 計 之 軸 1 1 I 向 通 風 機 可 Μ 被 調 整 到 靜 止 鹰 力 差 在 3 〇 〇 巴 左 右 0 此 種 1 1 结 構 的— 處 a 機 特別 便 宜 而 且 產 生 的 雜 音 相 對 比 較小 0 清 線 1 潔 室 中 的 噪 音 能 在 不 同 花 費 的 滑 環 形 滅 音 器 的 狀 況 下 用 1 1 本 發 明 的 簡 單 措 施 維 持 在 較 低 的 程 度 0 本 發 明 之 清 潔 Μ 設 1 1 1 備 之 特 徵 在 減 少 投 資 費 用 及 操 作 費 用 0 1 1 本 發 明 之 其 他 特 徵 白 其 他 的 申 請 專 利 範 園 項 描 述 及 1 1 圖 示 中 表 明 0 1 I 藉 著 圖 示 中 之 設 計 實 例 來 進 一 步 閫 明 本 發 明 〇 圖 示 如 1 1 下 一 4- 1 1 1 1 1 本紙浪尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) B7五、發明説明(j) 圖1 ,依本發明之清潔室設備的第一個實施例, 圖2,相當於圖1之描述,為依本發明之清潔室設備 的第二個實施例, 圖3,相當於圖1之描述,為依本發明之清潔室設備 的第三個實施例* 圖4,相當於圖1之描述,為依本發明之清潔室設備 的第四個實施例。 圖1表示清潔室設備之横切面,此設備至少有一清潔 —室1。此清潔雩被一股清潔空氣流垂直穿過。清潔室1之 蓋子2乃由彼此相鄰的漶器單元3形成,這些'滅器單元以 相鄰行列前後相鄰排列,並以已知方法形成,清潔空氣穿 過濾器單元向下f入清潔室1中。逋器單元3K已知之方 式網柵形裝置在清潔室1的蓋子範圍。 清潔室1有雙重底..板5.,清潔空氣穿過此底板從清潔 室1向F流出。雙重底板5藉著支tt 6亥撐在一基座7.上 ---------^------’-IT------.^ (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 清潔空氣均勻地穿過清潔室1 ,並向下穿過雙重底板 5流進一 8,清潔空氣從此回流室至少穿過一個 軸向通風機9被抽走。此通風機装置在面對清潔室1密封 一·--- 的副室1 0中。如圖1中氣流箭頭所示,被吸取的清潔空 氣被運送至一個氣1 1 ,此室位於«器單元3的上郜 範圍。清潔空氣再從這裡流到各個濟器單元3。清潔空氣 以所述之方式在清潔室設備中循環流動。在副室1 0中只 本紙浪尺度適用中國國家梂準(CNS ) A4说格(210X297公釐) A7 B7 _ 月説明(f) 有一個氣流蓋片裝置1 2與軸向通風機9串聯,此裝置在 副室1 0中延伸穿過清潔空氣流動路線之全高及全長。為 了能夠在多個縱向於建築物方向裝置的通風機中切斷各個 通風機,使得沒有任何氣流能朝著原流動方向向釉吸面流 去,氣流閥装置1 2非常必需。在通風機工作時完全開啟 的氣流閥裝置1 2座在一底板13_.,此底板與基座7之上 部相隔裝置。在清潔室1雙重底板5之下部有一隔板1 4 位於副室1 0底板1 3高處,此隔板氣密地封閉,有時用 來使穿過雙重底板5湧入的清潔空氣轉向。在隔板1 4及 底板1 3之下部有一地下室1 5,儀器,機器及其他類似 的能裝置在此室中。 依照清潔室1之寬度及長度而定,Μ —定距離相鄰或 前後装置多個軸向通風機。因而使清潔空氣能穿過全長及 全高導流入濾器單元3上部之氣流室1 1 。氣流室1 1可 以位於很高之位置,而能進行維修保養滹器單元3。 在軸向通風櫬9及雙重底板5之間沒有預濾器及/或 者滅器,使得在氣流範圍内出現最少的壓力流失,基本上 壓力流失只由於濾器單元3之浮游物質滹器4而產生。在 清潔空氣之氣流速度約0 · 45m/s時壓力流失之级數 約80壓1 20巴。因此此清潔潔室設備之特徵在:所需 能量相當少並相當少的操作費用。軸向通風機9是為低壓 範圍而備的,其可達靜止壓力差約3 0 0巴。在此種壓力 範圍,軸向通風機9其特徵在:有大的氣流横切面,因而 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4洗格(210X297公釐) 11 n 訂 n n 备 (請先閎讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 s年卒_矢黎Λί-η55霣、u肖乍土 ΐ & 五、發明説明 (^) 1 1 I 零 流 速 度 較 小 約 6 到 1 1 m / S 設 備 費 用 非 常 經 濟 因. 1 1 1 流 小 其 動 力 壓 力 部 份 亦 小 且 產 生 的 雜 音 很 小 0 因 1 I 此 不 需 要 或 者 a 需 要 很 小 的 額 外 滅 音 装 置 〇 根 據 圖 1 之 清 請 先 1 1 y 聞 | )3 潔 室 設 備 由 於 非 常 小 的 壓 力 流 失 其 特 徵 在 结 構 簡 單 讀 背 1 並 且 設 計 非 常 合 乎 經 濟 效 益 〇 之 注 1 I ...-·......— 向 意 1 | 圖 2 之 清 潔 室 設 備 與 圖 1 之 賁 例 不 同 的 地 方 是 在 軸 事 項 1 | 通 風 機 9 前 後 装 置 滅 音 器 1 6 及 1 7 0 此 兩 個 滅 音 器 1 6 再 填 1 寫 士 裝 及 1 7 裝 置 在 副 室 1 0 中 〇 如 1 J· 刖 面 的 設 計 實 例 軸 向 通 風 尽 頁 I 機 9 装 置 在 一 個 隔 板 1 8 中 此 隔 板 分 隔 副 室 1 0 0 軸 向 1 1 通 風 機 9 很 容 易 安 裝 在 隔 板 1 8 上 〇 1 I 在 軸 向 通 風 機 9 的 抽 吸 範 ISWt 圍 的 滅 器 1 6 藉 著 彼 此 相 1 訂 鄰 互 隔 — 間 隔 排 列 的 板 1 9 到 2 1 而 構 成 此 板 有 利 地 延 1 伸 過 副 室 1 0 的 全 度 範 圍 0 板 1 9 到 2 1 乃 適 當 的—消…音 物 1 1 質 構成 最 好 由 材 料 或 者 用 消 音 作 用 的 材 料 構 成 0 滅 器 1 I 1 6 舉 例 而 _ — 亦 可 用 膜 片 吸 收 器 來 代 替 0 平 板 1 9 到 2 1 線 0 在 清 潔 空 氣 之 流 向 的 長 度 不 同 〇 位 於 最 接 近 氣 流 蓋 片 裝 1 置 1 2 之 平 板 2 1 乃 三 個 平 板 中 最 短 的 0 相 鄰 的 滅 音 平 板 1 1 2 〇 比 平 板 2 1 長 但 是 比 平 板 1 9 短 〇 滅 音 平 板 2 1 各 1 | 2 0 之 間 的 距 離 小 於 滅 平 板 2 0 及 1 9 之 間 的 距 離 〇 長 1 I 度 的 階 梯 變 化 平 板 厚 度 及 不 滅 音 平 板 1 9 2 1 之 間 的 1 1 不 同 的 距 離 的 設 定 方 式 使 得 在 軸 向 通 風 機 9 的 抽 吸 範 圍 1 1 清 m 空 氣 均 勻 地 被 抽 吸 且 能 均 勻 地 滅 音 〇 滅 音 平 板 1 9 到 1 I 2 1 彼 此 平 行 排 列 9 並 且 Μ 垂 7- 直 方 向 延 伸 0 面 對 軸 向 通 風 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家揉隼(CNS)A4说格(2i〇x297公釐) A7 B7 五、τχ、明説明(L· ) 1 1 1 慨 9 之 平 板 1 9 到 2 1 的 末 端 邊 位 於 同 一 高 度 Ο 平 板 功 能 1 1 I 不 只 滅 音 同 時 亦 是 清 潔 空 氣 流 之 導 管 〇 因 此 » 可 Μ 保 證 1 I 清 潔 空 氣 能 最 適 宜 地 從 軸 向 通 風 機 9 被 抽 吸 〇 在 滅 音 平 板 請 £ 1 1 閱 I 1 9 、 2 0 和 2 0 2 1 之 間 各 形 成 一 氣 流 通 道 2 2 和 2 讀 背 | 面 I 3 Ο 此 外 在 平 板 1 9 及 副 室 1 0 之 相 鄰 側 面 2 6 之 間 在 之 注 1 平 板 2 1 和 副 室 1 0 之 相 鄰 側 面 2 7 之 間 亦 形 成 氣 流 通 道 意 事 項 1 I 2 4 及 2 5 0 越 過 氣 流 閥 装 置 1 2 至 少 接 近 水 平 湧 流 的 再 填 1 1 窝 士 裝 清 潔 空 氣 在 湧 人 後 Μ 9 0 〇 轉 向 並 且 穿 Λ W. 趣 氣 流 通 道 2 2 尽 頁 1 到 2 5. 平 均 分 配 地 流 向 軸 向 通 風 機 9 〇 1 1 在 軸 向 通 風 機 9 後 面 氣 流 範 圍 中 滅 音 器 1 7 不 只 是 1 | 滅 9 亦 作 為 清 潔 空 氣 之 氣 流 導 引 装 置 0 滅 器 1 7 乃 由 1 訂 三 個 彼 此 平 行 的 滅 音· 平 板 2 8 至 3 0 所 組 成 其 在 清 潔 空 1 氣 流 動 方 向 之 長 度 不 同 0 平 板 2 8 和 2 9 之 間 的 距 離 大 於 1 1 平 板 2 9 和 3 0 之 間 的 距 離 〇 在 平 板 2 8 和 氣 流 室 1 1 之 1 1 相 鄰 的 蓋 子 3 1 之 間 形 成 .一 個 氣 流 通 道 3 2 〇 藉 著 平 板 2 1 線 8 和 2 9 形 成 另 一 個 氣 流 通 道 3 3 0 平 板 2 9 各 3 0 隔 成 1 第 二 個 氣 流 通 道 4 2 Ο 第 四 個 流 通 道 3 4 形 成 於 平 板 3 1 1 0 各 副 室 1 0 中 相 鄰 的 面 3 5 之 間 0 平 行 於 面 3 5 的 平 板 1 1 3 0 長 度 最 短 而 相 鄰 於 蓋 子 3 1 之 平 板 2 8 的 長 度 最 長 1 I 0 平 板 2 8 到 3 0 之 長 度 9 其 厚 度 和 其 彼 此 距 離 及 與 蓋 子 1 1 | 3 1 和 面 3 5 之 距 離 使 得 清 潔 空 氣 均 匀 的 分 配 方 式 流 1 1 入 氣 流 室 1 1 t 並 且 能 達 到 均 勻 的 滅 音 〇 面 對 氣 流 室 1 1 1 1 之 平 板 2 8 到 3 0 的 端 部 位 於 8 ~ 同 高 度 〇 滅 平 板 2 8 到 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210Χ297公釐) A7 __B7__ 五、發明説明q ) 3 0可Μ由適當的滅音物質構成,特別是由無嗔射氣體物 質,並且加上適當的物質。如圖2所示,平板28到30 水平装置,並且滅音器1 6的平板1 9到20成直角。在 滅音平板28至30處清潔空氣90。轉向。 如圖1中的設計實例,清潔室設備之蓋子3 位於接 近與軸向通風櫬9之流出方向成直角處。其好處在:在蓋 子3 1處有一部份轚音反應回到軸向通風機9,而不Μ清 潔室1之方向反應。因此達到一個額外的滅音效果。 滅音器1 7的平板28到30能Μ水平方向,繼續朝 氣流室1 1延伸,Μ便達到較大的滅音效果,平板28到 3 0再度穿過副室1 〇之整個寬度。它們與清潔室設備之 垂直的側面2 6之間有距離。 圖2之設計實例的特徵在:此裝置有一簡單的结構設 計。其工作時雜音非常少,並且壓力流失少,如圖1之設 計實例,基本上壓力流失是由過漶通風機單元3的浮游物 質濾器4產生的。如前面設計實例,因為壓力損失少,軸 向通風機9能夠充分運送清潔空氣。軸向通風機9運作非 常安靜,因此不需要或者只需要很少的滅音裝置。因此_ 向通風機9之軸長小,故所需之裝配空間不大。圖2之設 計實巧所弓I賴的操作費用相當少,並且所需之能量亦小。 因此用此清潔室設備來工作合經濟效益。 在其他的設計實例(沒有描述)上,在軸向通風機9 的抽吸範圍中沒有滅音器1 6設備。在此例中,軸向通風 本紙張尺度適用中國國家榡芈(CNS ) Α4说格(210Χ297公釐) -----------^------、玎------# (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 -___B7 五、發明説明(V) 機9後面的氣流範圍内只設置滅音器1 7。這種清潔室設 備在製造上此圖2中的設計實例更合經濟效益。 基本上圖3的設計實例與圖2的設計實例有相同的設 計。不同的地方是:圖^的實例中,清潔室設備之副室1 、 0的側牆塗有滅f質’因而可達到最高的滅音效果。副 室1 0之底板1 3在氣流閥裝置1 2及垂直側牆26之間 塗有滅音材料3 6 °側牆2 6在覆層3 6及軸向通風機9 之間同漾也有滅音覆層37。在副室1 〇之隔板1 8與清 潔室設備之蓋子3 1之間的側牆具有另一滅音覆層38。 蓋子3 1在覆層38和分隔副室丨〇對面之清潔室i的垂 直牆3 9之間的範圍同樣具有一滅音覆層4 0。此牆3 9 形成副室1 〇之位於側牆2 6對面的界牆,此牆從蓋子延 伸到清潔室設備之基座7。為了清潔空氣湧入氣流室i 1 並且從回流室8,牆3 8具有相對的穿孔。 最後,在副室1 0中與側牆26有距離,並與之平行 的牆2 7具有一滅音覆層4 1 。此覆層從隔板1 8延伸過 牆2 7的全高及全寬範圍。如前面的設計實例上,距蓋子 3 1 —段距離牆3 5與牆2 7垂直相連,同時此牆3 5具 有一滅音覆層43。 由於滅音覆層36到38 * 40,41 ,43可寧到 、較高U音效果,此與滅音器1 6與1 7連接使得清潔室 .................λ,' 設備在工作時雜音最小。因為圖3的設計實例在其他方面 與圖2之設計實例相同,其他的參閱圖2實例之描述。 -10* ---------^------tT------A (請先«讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家橾準(CMS ) A4规格(210X297公釐) . A7298611 _B7_五、發明説明(q ) 在所描述之設計型上,軸向通風機9裝置在清潔室設 備的一端邊。在適當大的清潔室1上*可能在清潔室設備 之對立側牆上裝置一個具有軸向通風機及可能之滅音器的 副室。清潔室設備可以有多個清潔室1。滅音器16及1 7亦可能只有兩個或者多於3個平板,依據當時安装的條 件而定。 圖4描述一個清潔室設備之設計型,其蓋子3 1在氣 流室1 1之範圍有一滅音覆層44。此塗層44可Μ由適 當的滅音材料所製成。蓋子3 1也可Μ具有一個或者多個 隔板吸收器,瑄些吸收器可作為滅音部份來用。蓋子3 1 在氣流室1 1之範..IJOLU®平1舖上覆層„44。因此 可達到最佳的滅音,在位於下面的清潔室1中只有極少雜 音出現。此滅音部份亦可K與蓋子3 1 —段距離而掛在氣 流室1 1中。因此可達到極佳的滅音。為了讓清潔空氣流 入穿過,在各個或者所有滅音部份之間設定距離。此實例 之其他部份設計與圖3之設計實例相同。 清潔室設備可Μ同時符合圖1及圄2之設計。 清潔室設餚亦可Κ與所描述之設計實例不同*基本上 只要氣流室1 1的蓋子3 1 ,即所謭的全部的蓋子都有滅 音材料之塗層及隔板吸收器,使全部能達到最高滅音效果 ---------^------.玎------0 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -11- 本紙張尺度適用中國困家樣準(CNS ) Α4说格(210Χ297公釐)
Claims (1)
- A8 B8 C8 D8 渺广月/日申請專 流其中 通風 流通 其特 機抽吸, 道,潸潔 徵在: 該通風機 板( 均勻 清潔 距相 2 8〜3 滅音作用 空氣流動 鄰之板( 2 .如申 平板(2 3 .如申 具有一個清潔室之清潔室設備,清潔空氣穿 空氣流穿過清潔室之底板’並且至少被一個 此通風機將清潔空氣31導穿過至少一個氣 空氣流穿過蓋子範圍的滤器而進入清潔室, (9)後方接著一個滅音器(17),由平 0)構成·其平板(28〜30)為了造成 ,在各空氣流室中互相隔著不同距離,且在 方向具不同長度,且其中最短的板(:30) 2 9 )的距雛最小。 請專利範圍第1項之清潔室設備,其中在: 8至30)之厚度不同。 請專利範圍第1或第2項之清潔室設備,其 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) '可 中: 平板(28到30)與軸向通風機(9)之轴向成垂 直 中: 4 ·如申請專利範圍第1或第2項之淸潔室設備,其 平板(28到30)乃由滅音材料製成。 5 ·如申請專利範圍第1或第2項之清潔室設傲,其 中: 平板(2 8到3 0)各由至少一涸隔板吸收器所樽成 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐) A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 〇 6 ·如申請專利範圍第1或第2項之清潔室設備,其 ......ί!:(:......-..........玎 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 中: 平板(28至30)面對氣流通道(1 1)之端邊的 高度一樣。 7·如申謫專利範圍第1項或第2項之清潔室設備, 其中: 至少有一滅音器(16)接在軸向通風機(9)之前 〇 8 ·如申請專利範圍第7項的濟潔室設備,其中: 該滅音器宜由至少兩個彼此相距且平行的平板(19 至2 1 )形成。 9 .如申請專利範圍第8項的清潔室,其中: 平板(19〜21)與通風機(9)對準。 1 0 ·如申請專利範圍第8項之濟潔室設備,其中·· 平板(1 9到2 1 )沿清潔空氣流向長度各不相同。 1 1 ·如申請專利範圍第8項之清潔室設備,其中: 平板(19到21)厚度各不相同。 1 2 ·如申請專利範圍第8項之潸潔室設備,其中: 平板(19到21)由滅音材料製成。 1 3 ·如申請專利範圃第8項之清潔室設備,其中: 平板(19至2 1)各由至少一個膜片吸收器所構成 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210Χ 297公釐) A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 1 4 ·如申請專利範圍第8項之清潔室設備•其中: 平板(19到2 1)朝向通風櫬(9)之末端位於相 同高度。 1 5 ·如申請專利範圍第1項之清潔室設備,其中: 該通風機前方至少設有一蓋片装置(12)。 1 6 ·如申請專利範圍第1項之濟潔室設備,其中: 通風機(9)裝在清潔室裝置之副室(10)中。 1 7 ·如申請專利範圃第1項之濟潔室設備,其中: 在軸向通風機(9)之壓力側隔一段距離,大約垂直 於清潔空氣之流向處有一個聲音反射器(3 1)與之對立 *特別是一個蓋子。 18·如申請專利範圍第1項或第2項之清潔室設備 ,其中: I 氣流室(1 1)對通風櫬(9)的軸交成一角度,且 宜圼直角。 19·如申請專利範圍第1項或第2項之淸潔室設備 ,其中: 氣流室(10)之牆(13,26,27·31)在 袖向通風機(9)之範圓至少部份具有一個滅音裝置,特 別具有一滅音覆層(36至38,40,41 ,43) ° 20 ·如申請專利範圍第1 9項之清潔室設備*其中 滅音装置由至少一隔板吸收器組成。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4规格(210 X 297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) .可 ABCD 六、申請專利範圍 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 21♦如申請専利範圓第1項或第2項之濟潔室設備 ,此設備至少具有一個濟潔室•清潔空氣穿逢其中,其且 至少被一個通風機抽吸,通風機引導清潔空氣穿過一個氣 流過一個氣流通道,清潔空氣穿過此通道向下滲透通躉子 範圍的滹器流入濟潔室,其中: 在氣流室(1 1)中至少裝置一個滅音裝置(44) 〇 22 *如申請專利範園第2 1項之濟潔室設備,其中 在: 滅音装置(44)安装在氣流室(1 1)之蓬子(3 1 )上0 2 3 *如申請專利範園第2 1項之清潔室設備,其中 滅音裝置(44)與蓋子(31)之間隔有一段距鐮 〇 24 ♦如申請專利範圍第2 1項之清潔室設備,其中 滅音裝置(44)是一種由滅音材料製成之塗層。 25 ·如申請專利範圍第2 1之濟潔室設備,其中: 滅音裝置由至少一個膜片吸收器構成。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X 297公釐)
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4328995A DE4328995C2 (de) | 1993-08-28 | 1993-08-28 | Reinraumanlage |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW298611B true TW298611B (zh) | 1997-02-21 |
Family
ID=6496261
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW083107839A TW298611B (zh) | 1993-08-28 | 1994-08-26 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5518451A (zh) |
EP (1) | EP0641977B1 (zh) |
KR (1) | KR100326609B1 (zh) |
DE (2) | DE4328995C2 (zh) |
ES (1) | ES2115120T3 (zh) |
TW (1) | TW298611B (zh) |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100252215B1 (ko) * | 1997-05-02 | 2000-04-15 | 윤종용 | 클린룸 계측장치 상태 모니터링 시스템 및 그를 이용한 모니터링 방법 |
JP2002542450A (ja) | 1999-04-28 | 2002-12-10 | ストラトテック コーポレーション | 調節可能なクリーンエアフロー環境 |
US7083515B2 (en) * | 1999-09-07 | 2006-08-01 | Speedfam-Ipec Corporation | Clean room facility and construction method |
US6574937B1 (en) * | 1999-09-07 | 2003-06-10 | Speedfam-Ipec Corporation | Clean room and method |
US11024527B2 (en) | 2005-06-18 | 2021-06-01 | Frederick A. Flitsch | Methods and apparatus for novel fabricators with Cleanspace |
US7513822B2 (en) * | 2005-06-18 | 2009-04-07 | Flitsch Frederick A | Method and apparatus for a cleanspace fabricator |
US10651063B2 (en) | 2005-06-18 | 2020-05-12 | Frederick A. Flitsch | Methods of prototyping and manufacturing with cleanspace fabricators |
US9339900B2 (en) | 2005-08-18 | 2016-05-17 | Futrfab, Inc. | Apparatus to support a cleanspace fabricator |
US9457442B2 (en) * | 2005-06-18 | 2016-10-04 | Futrfab, Inc. | Method and apparatus to support process tool modules in a cleanspace fabricator |
US10627809B2 (en) | 2005-06-18 | 2020-04-21 | Frederick A. Flitsch | Multilevel fabricators |
US9059227B2 (en) | 2005-06-18 | 2015-06-16 | Futrfab, Inc. | Methods and apparatus for vertically orienting substrate processing tools in a clean space |
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US9631825B2 (en) | 2012-12-18 | 2017-04-25 | Nortek Air Solutions, Llc | Air filter assembly |
CN111457530A (zh) * | 2020-04-01 | 2020-07-28 | 北京联合大学 | 洁净室内移动污染源污染气隐藏式快速清除系统 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH0650193B2 (ja) * | 1988-12-01 | 1994-06-29 | 日立プラント建設株式会社 | クリーンルームの床下ダクト構造 |
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-
1993
- 1993-08-28 DE DE4328995A patent/DE4328995C2/de not_active Expired - Fee Related
-
1994
- 1994-08-24 ES ES94113182T patent/ES2115120T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1994-08-24 EP EP94113182A patent/EP0641977B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1994-08-24 DE DE59405568T patent/DE59405568D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1994-08-26 US US08/297,444 patent/US5518451A/en not_active Expired - Fee Related
- 1994-08-26 TW TW083107839A patent/TW298611B/zh active
- 1994-08-29 KR KR1019940021345A patent/KR100326609B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0641977A1 (de) | 1995-03-08 |
DE4328995C2 (de) | 1997-01-23 |
DE59405568D1 (de) | 1998-05-07 |
KR950006370A (ko) | 1995-03-20 |
ES2115120T3 (es) | 1998-06-16 |
DE4328995A1 (de) | 1995-03-02 |
US5518451A (en) | 1996-05-21 |
KR100326609B1 (ko) | 2002-08-27 |
EP0641977B1 (de) | 1998-04-01 |
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