TW202410995A - 放電加工機及放電加工方法 - Google Patents
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Abstract
本發明提供一種放電加工機及其放電加工方法，能夠抑制對放電加工產生不良影響，並且減少消耗能量。本發明的放電加工機包括：迴圈泵，將污液槽內的加工液壓送至篩檢程式；噴流泵，將清液槽內的所述加工液向噴流噴嘴壓送；送液泵，將所述清液槽內的所述加工液向所述加工槽壓送；及泵控制裝置，對所述迴圈泵、所述噴流泵及所述送液泵進行變頻器控制。所述泵控制裝置包括：噴流泵控制部，構成為設定所述噴流泵的變頻器頻率；及送液泵控制部，構成為獲得經變頻器控制的所述噴流泵的所述流量，並基於經變頻器控制的所述噴流泵的流量設定所述送液泵的變頻器頻率。
Description
本發明涉及一種放電加工機及放電加工方法。
在放電加工機中，將被加工物收容於加工槽內。被加工物與加工電極（以下簡稱為電極）相向配置。在被加工物與電極之間形成微小的加工間隙。放電加工機使電極與被加工物相對移動，並且對加工間隙施加加工電壓，使加工間隙產生放電，利用放電能量將被加工物加工成所需的形狀。放電加工機包括供給箱，所述供給箱包括貯存潔淨的加工液的清液槽、及貯存經污染的加工液的污液槽。
放電加工機構成為在加工中能夠從噴流噴嘴向加工間隙噴出加工液。作為放電加工機的一種的線放電加工機構成為：在加工中能夠從隔著被加工物而上下設置的一對噴流噴嘴與作為電極的線電極同軸地向加工間隙噴出加工液。由噴流噴嘴向加工間隙供給的加工液高效且有效地使加工間隙的絕緣度恢復，將加工間隙冷卻，並將加工屑從加工間隙中排除。在將被加工物浸漬於加工液中進行加工時，從清液槽向加工槽供給潔淨的加工液，在加工中加工槽充滿加工液。由此，在加工中，經由噴流噴嘴或直接向加工槽供給潔淨的加工液，並且將經污染的加工液從加工槽排出至污液槽。
送液泵將潔淨的加工液從清液槽向加工槽供給。送液泵可向冷卻裝置或純水器等裝置供給加工液，在將加工液調整為所需的狀態後使其返回至清液槽。噴流泵將潔淨的加工液從清液槽向噴流噴嘴供給。迴圈泵將貯存於污液槽中的經污染的加工液向篩檢程式供給。篩檢程式在從加工液去除加工屑或污泥後將其排出至清液槽。
日本專利申請案公開平04-176517號公報公開了一種加工液過濾裝置，所述加工液過濾裝置對向篩檢程式供給加工液的泵進行變頻器控制。
[發明所要解決的問題]
近年來，作為可持續的開發目標（SDGs）的一環，業界正積極地致力於節能。在謀求放電加工機的節能化方面，考慮對泵進行變頻器控制。
如上文所述，放電加工機包括送液泵、噴流泵、迴圈泵這三種泵。噴流泵向噴流噴嘴供給加工液，因此會直接影響到加工性能。通過在噴流泵中進行變頻器控制，能夠設定為適合於加工的噴流壓及流量。另一方面，若分開對各泵進行變頻器控制，則有對放電加工產生不良影響之虞。例如，在噴流泵的流量降低時，若減少送液泵的流量，則存在加工槽內的液面低於下限的可能性。若加工槽內的加工液不足，則存在對加工的品質造成不良影響的可能性。而且，若迴圈泵的流量小於送液泵的流量及噴流泵的流量的和，則存在清液槽內的液面低於下限的可能性。若清液槽內的加工液不足，則有錯誤導致發生停止、或泵發生故障之虞。因此，以往通常對噴流泵進行變頻器控制，另一方面，將送液泵及迴圈泵固定為商用頻率。此時，送液泵及迴圈泵以必要以上的能量運行。而且，在送液泵及迴圈泵以必要以上的程度運行時，加工液的溫度容易上升，因此需要更多能量來冷卻加工液。
本公開是鑒於這種情況而完成，其目的在於提供一種不會對放電加工產生不良影響、並且減少了消耗能量的放電加工機及放電加工方法。
[解決問題的技術手段]
根據本公開，提供一種放電加工機，所述放電加工機包括：加工槽，收容被加工物；噴流噴嘴，向由所述被加工物與工具電極所形成的加工間隙噴出加工液；污液槽，貯存從所述加工槽排出的所述加工液；篩檢程式，對所述加工液進行過濾；迴圈泵，將所述污液槽內的所述加工液以與變頻器頻率相對應的流量壓送至所述篩檢程式；清液槽，貯存經所述篩檢程式過濾的所述加工液；噴流泵，將所述清液槽內的所述加工液以與變頻器頻率相對應的流量向所述噴流噴嘴壓送；送液泵，將所述清液槽內的所述加工液以與變頻器頻率相對應的流量向所述加工槽壓送；及泵控制裝置，對所述噴流泵、所述送液泵及所述迴圈泵進行變頻器控制，所述泵控制裝置包括：噴流泵控制部，構成為設定所述噴流泵的所述變頻器頻率；及送液泵控制部，構成為獲得經變頻器控制的所述噴流泵的所述流量，並基於經變頻器控制的所述噴流泵的所述流量設定所述送液泵的所述變頻器頻率。
而且，根據本公開，提供一種放電加工機的放電加工方法，所述放電加工機包括：加工槽，收容被加工物；噴流噴嘴，向由所述被加工物與工具電極所形成的加工間隙噴出加工液；污液槽，貯存從所述加工槽排出的所述加工液；篩檢程式，對所述加工液進行過濾；迴圈泵，將所述污液槽內的所述加工液以與變頻器頻率相對應的流量壓送至所述篩檢程式；清液槽，貯存經所述篩檢程式過濾的所述加工液；噴流泵，將所述清液槽內的所述加工液以與變頻器頻率相對應的流量向所述噴流噴嘴壓送；及送液泵，將所述清液槽內的所述加工液以與變頻器頻率相對應的流量向所述加工槽壓送，所述放電加工方法中，設定所述噴流泵的所述變頻器頻率，獲得經變頻器控制的所述噴流泵的所述流量，基於經變頻器控制的所述噴流泵的所述流量，設定所述送液泵的所述變頻器頻率。
[發明的效果]
在本公開的放電加工機或放電加工方法中，首先對噴流泵進行變頻器控制。其次根據噴流泵的流量，對送液泵進行變頻器控制。由此，能夠在不會對放電加工造成不良影響的範圍內，將送液泵的流量適配化。這樣，考慮其他泵的流量而進行綜合性的變頻器控制，因此能夠抑制對放電加工產生不良影響，並且減少消耗能量。
以下，使用圖式對本發明的實施方式進行說明。以下所說明的各種變形例可分別任意組合而實施。
本實施方式的放電加工機為使用作為線狀電極的線電極E的線放電加工機1。但本公開可應用於使用作為具有與所需的形狀互補的形狀的電極的成形電極的雕模放電加工機，也可以應用於使用作為管狀電極的管電極的細孔放電加工機。
作為放電加工機所使用的加工液F，大致分為以純水作為主成分的水系加工液、及以油作為主成分的油系加工液。在本公開中，加工液F可為水系加工液，也可為油系加工液。在本實施方式中，加工液F為水系加工液。
如圖1所示，本實施方式的線放電加工機1包括加工槽2、污液槽3、清液槽4、噴流泵5、噴流噴嘴51、送液泵6、冷卻裝置61、純水器62、迴圈泵7、篩檢程式71、及壓力感測器72。包括污液槽3及清液槽4的供給箱鄰接於包括加工槽2的線放電加工機1的主體而設置。在本實施方式中，污液槽3及清液槽4分別包括一個槽，但也可以包括多個槽。
線放電加工機1包括泵控制裝置8、及數值控制裝置9作為控制裝置。泵控制裝置8及數值控制裝置9可一體構成，也可以獨立地構成。控制裝置可將硬體與軟體任意組合而構成，例如包括中央處理器（central processing unit，CPU）、隨機存取記憶體（random access memory，RAM）、唯讀記憶體（read only memory，ROM）、輔助儲存裝置、輸出輸入介面。
加工槽2收容成為放電加工的對象的被加工物W。在加工槽2中，隔著被加工物W設置上側導引組件及下側導引組件。上側導引元件及下側導引組件分別收容線導件及噴流噴嘴51。一對線導件隔著被加工物W上下設置，將線電極E定位並進行引導。一對噴流噴嘴51向在被加工物W與線電極E之間形成的加工間隙噴出加工液F。線電極E及被加工物W構成為能夠相對移動，在放電加工中，被加工物W在形成加工間隙的狀態下與線電極E相向配置。電源裝置（未圖示）經由線電極E及被加工物W向加工間隙供給規定的加工電壓，使加工間隙產生放電。通過放電所伴隨的放電能量將被加工物W的一部分去除，來進行加工。
污液槽3貯存從加工槽2排出的經污染的加工液F。經污染的加工液F包含放電加工產生的加工屑或污泥。在本實施方式中，污液槽3配置於加工槽2的下方，在加工槽2與污液槽3之間設置包括排水閥的排水管路。在將加工液F貯存於加工槽2時，關閉排水閥迅速進行貯存。在放電加工時打開排水閥，由此使加工槽2內的經污染的加工液F自由掉落，而排出至污液槽3。由此，與利用泵將加工槽2內的加工液F汲起排出相比，能夠減少能量，並且能夠縮短將加工液F從加工槽2全部排出所需的時間。但也可以視需要設置包括將加工槽2內的加工液F汲起的泵的排出管路來代替排水管路。而且，也可以構成為設置排水管路與排出管路兩者，適當切換管路將加工液F回收至污液槽3。
迴圈泵7壓送污液槽3內的經污染的加工液F並供給至篩檢程式71。篩檢程式71對經污染的加工液F進行過濾，將加工液F中的加工屑或污泥之類的雜質去除，而將其淨化成潔淨的加工液F。由此進行加工液F的再利用。經篩檢程式71過濾的潔淨的加工液F被送至清液槽4。即，迴圈泵7經由篩檢程式71將加工液F從污液槽3供給至清液槽4。在本實施方式中，設置壓力感測器72來測定加工液F對篩檢程式71施加的壓力。壓力感測器72設置於能夠測定篩檢程式71的加工液F的壓力的位置即可，例如可安裝於迴圈泵7與篩檢程式71之間的管路。在圖1中，圖示出兩個篩檢程式71，但設置一個以上篩檢程式71即可。
清液槽4貯存潔淨的加工液F。將清液槽4內的潔淨的加工液F送至加工槽2，在潔淨的加工液F中進行放電加工。
噴流泵5從清液槽4壓送潔淨的加工液F，將其供給至噴流噴嘴51。如下文所述，噴流噴嘴51的流量可通過變更噴流泵5的變頻器頻率而變化。
送液泵6從清液槽4壓送潔淨的加工液F，將其供給至加工槽2。並且，送液泵6也向冷卻裝置61及純水器62供給潔淨的加工液F。冷卻裝置61將在內部流通的加工液F冷卻。純水器62包含離子交換樹脂，對在內部流通的加工液F的比電阻值進行調整。純水器62在使用水系加工液作為加工液F的情況下設置。通過送液泵6送至冷卻裝置61的加工液F在因放電加工或各泵的運行而上升的溫度降低後返回清液槽4。通過送液泵6送至純水器62的加工液F在因放電加工而降低的電阻值被調整後返回清液槽4。這樣，送液泵6向加工槽2供給潔淨的加工液F，並且使用冷卻裝置61及純水器62將加工液F的溫度及比電阻值調整為適合於放電加工的狀態。此外，可在送液泵6與加工槽2之間的配管、送液泵6與冷卻裝置61之間的配管、送液泵6與純水器62之間的配管分別設置閥，而構成為能夠選擇性地切換流路。
泵控制裝置8進行與各泵相關的控制。如圖2所示，泵控制裝置8包括噴流泵控制部85、送液泵控制部86及迴圈泵控制部87。噴流泵控制部85、送液泵控制部86及迴圈泵控制部87分別對噴流泵5、送液泵6及迴圈泵7進行變頻器控制。在本實施方式中，噴流泵控制部85、送液泵控制部86、迴圈泵控制部87分別包括可變電壓可變頻率（Variable Voltage Variable Frequency，VVVF）變頻器電路等變頻器電路，對應於所設定的頻率來適當調整輸出電壓值。
本實施方式的噴流泵控制部85從數值控制裝置9獲得加工條件，基於加工條件設定噴流泵5的變頻器頻率對噴流泵5進行變頻器控制，並且算出噴流泵5的流量。本實施方式的送液泵控制部86從噴流泵控制部85獲得噴流泵5的流量，基於噴流泵5的流量設定送液泵6的變頻器頻率對送液泵6進行變頻器控制，並且算出送液泵6的流量。本實施方式的迴圈泵控制部87從噴流泵控制部85獲得噴流泵5的流量，從送液泵控制部86獲得送液泵6的流量，基於噴流泵5的流量及送液泵6的流量設定迴圈泵7的變頻器頻率對迴圈泵7進行變頻器控制，並且算出迴圈泵7的流量。
此處，參照圖3對各泵的變頻器控制進行詳細說明。首先，噴流泵控制部85從數值控制裝置9獲得加工條件（S1），基於加工條件設定噴流泵5的變頻器頻率（S2）。由此，噴流噴嘴51的流量變化為與加工的狀態相應的合適的值。從數值控制裝置9獲得的加工條件可直接指定變頻器頻率，也可以為算出變頻器頻率所需的其他加工條件的參數。算出變頻器頻率所需的加工條件可包括接通時間（即脈衝寬度）、斷開時間、伺服基準電壓、輸送速度、電壓值、噴流噴嘴51與被加工物W的密接情況。加工條件因各加工工序而異，因此根據各加工工序變更噴流泵5的流量。加工條件可通過適應控制在加工中變更。例如，於在加工中被加工物W的板厚改變時，可根據板厚的變化變更加工條件。於在加工中變更加工條件時，噴流泵控制部85以根據加工條件的變更改變噴流泵5的流量的方式進行控制。
在如以上那樣進行噴流泵5的變頻器控制後，本實施方式的噴流泵控制部85獲得噴流泵5的變頻器電流值。由此，噴流泵控制部85能夠掌握噴流泵5的變頻器頻率及變頻器電流值。可根據變頻器頻率及變頻器電流值推定泵的功率。這樣，噴流泵控制部85算出噴流泵5的功率、甚至噴流泵5的流量（S3）。
在進行噴流泵5的變頻器控制後，送液泵控制部86從噴流泵控制部85獲得噴流泵5的流量（S4），基於噴流泵5的流量設定送液泵6的變頻器頻率（S5）。本申請人發現，可通過噴流泵5的流量推定送液泵6的恰當的流量。送液泵控制部86基於噴流泵5的流量算出送液泵6的恰當的流量，並變更送液泵6的變頻器頻率。這樣，送液泵控制部86在不對放電加工造成不良影響的範圍內進行控制，使得送液泵6的流量變少。具體而言，送液泵控制部86在噴流泵5的流量相對較多時，減少送液泵6的變頻器頻率，在噴流泵5的流量相對較少時，增加送液泵6的變頻器頻率。
如圖4所示，本實施方式的送液泵控制部86以與噴流泵5的流量成比例的方式變更送液泵6的變頻器頻率。但在送液泵6的可設定的頻率存在上限值及下限值的情況下，在上限值及下限值的範圍內設定變頻器頻率。
在如以上那樣進行送液泵6的變頻器控制後，本實施方式的送液泵控制部86獲得送液泵6的變頻器電流值。由此，送液泵控制部86能夠掌握送液泵6的變頻器頻率及變頻器電流值。這樣，送液泵控制部86算出送液泵6的功率、甚至送液泵6的流量（S6）。
在送液泵6的控制中，在特定條件下，可優先進行其他控制方法代替上述變頻器控制。
例如，在打開線放電加工機1的電源後規定期間（例如30分鐘）內，可優先進行用來將加工液F的溫度保持為恰當溫度的控制。在室溫高而需要降低加工液F的溫度的情況下，在規定期間內，送液泵控制部86進行控制使送液泵6以最大流量運行，將大量加工液F供給至冷卻裝置61，由此降低加工液F的溫度。在室溫低而需要提高加工液F的溫度的情況下，在規定期間內，送液泵控制部86關閉通向冷卻裝置61的管路後，進行控制使送液泵6以最大流量運行，從而提高加工液F的溫度。在經過規定期間經過後或加工液F達到所需的溫度的時點轉變為上述變頻器控制。
例如，在待機運轉中、即未實施放電加工期間，送液泵控制部86可以如下方式進行控制：降低送液泵6的變頻器頻率，抑制消耗電力，並且將加工液F的比電阻及溫度保持為一定。
在進行噴流泵5及送液泵6的變頻器控制後，迴圈泵控制部87從噴流泵控制部85獲得噴流泵5的流量，並且從送液泵控制部86獲得送液泵6的流量（S7），求出噴流泵5的流量及送液泵6的流量的合計值，並基於所述合計值設定迴圈泵7的變頻器頻率（S8）。在將清液槽4內的加工液F的量保持為一定以上時，迴圈泵7的流量為所消耗的加工液F的量、即噴流泵5的流量及送液泵6的流量的合計值以上即可。本實施方式的迴圈泵控制部87以成為比噴流泵5的流量及送液泵6的流量的合計值略多的流量的方式變更迴圈泵7的變頻器頻率。這樣，迴圈泵控制部87在不會對放電加工造成不良影響的範圍內，進行控制以使迴圈泵7的流量變少。
例如，迴圈泵控制部87可以迴圈泵7的流量比噴流泵5的流量及送液泵6的流量的合計值多約10%的方式設定迴圈泵7的變頻器頻率。但在迴圈泵7的可設定的頻率存在上限值及下限值的情況下，在上限值及下限值的範圍內設定變頻器頻率。
在上述迴圈泵7的變頻器控制後，可對迴圈泵7的變頻器頻率進行修正。迴圈泵7的流量不僅受到迴圈泵7的變頻器頻率的影響，而且也受到篩檢程式71的狀態的影響。在篩檢程式71相對較新時，與篩檢程式71相對較舊時相比，即使迴圈泵7的變頻器頻率相同，也存在流量變得過量的情況。因此，可通過事先製作篩檢程式71的壓力與流量的關係式，而由迴圈泵控制部87基於壓力感測器72的計測值算出實際的迴圈泵7的流量（S9）。然後，迴圈泵控制部87在迴圈泵7的實際流量大於恰當的流量時，在不小於噴流泵5的流量及送液泵6的流量的合計值的範圍內進行降低迴圈泵7的變頻器頻率的修正（S10）。
可基於迴圈泵7的流量掌握篩檢程式71的更換時期。篩檢程式71隨著使用會積聚雜質，導致過濾效率變差。通過事先對迴圈泵控制部87的變頻器頻率設定迴圈泵7的流量的閾值，在迴圈泵7的流量小於閾值時，可判定為需要更換篩檢程式71。迴圈泵控制部87可直接或經由數值控制裝置9發出要求更換篩檢程式71的警告。由此，能夠防止在篩檢程式71的過濾效率變差的狀態下繼續運轉。
根據本公開，可考慮其他泵的流量進行綜合性的變頻器控制，因此與對各泵獨立地進行變頻器控制相比，不易對放電加工造成不良影響。由於根據噴流泵5的流量進行送液泵6的變頻器控制，故而可防止加工槽2內的加工液F的量不足的情況。由於根據噴流泵5及送液泵6的流量進行迴圈泵7的變頻器控制，故而可防止清液槽4內的加工液F的量不足的情況。這樣，能夠同時實現消耗能量的減少與穩定的加工。優選基於迴圈泵7的流量修正迴圈泵7的變頻器頻率，因此能夠更有效地減少消耗能量。
本公開並不限定與實施方式的結構，可在不脫離本發明的技術思想的範圍內進行各種變形或應用。以下，例示本公開的變形例。
在本實施方式中，噴流泵控制部85根據噴流泵5的變頻器頻率及變頻器電流值算出噴流泵5的流量。送液泵控制部86根據送液泵6的變頻器頻率及變頻器電流值算出送液泵6的流量。迴圈泵控制部87根據壓力感測器72所檢測到的篩檢程式71內的壓力、即由迴圈泵7輸送的加工液F的壓力算出迴圈泵7的流量。在想要獲得更準確的流量的情況下，也可以取而代之，設置測定各泵的流量的流量計，直接測定泵的流量。而且，作為更簡單的方法，迴圈泵控制部87可根據迴圈泵7的變頻器頻率及變頻器電流值算出迴圈泵7的流量。
測定或算出流量的方法可考慮所要求的準確性或成本等而任意組合。即，泵控制裝置8在獲得噴流泵5的流量時，可根據噴流泵5的變頻器頻率及噴流泵5的變頻器電流值算出噴流泵5的流量而獲得，也可以根據由壓力感測器所測定的由噴流泵5輸送的加工液的壓力算出噴流泵5的流量而獲得，也可以獲得由流量計所測定的由噴流泵5輸送的加工液的流量。泵控制裝置8在獲得送液泵6的流量時，可根據送液泵6的變頻器頻率及送液泵6的變頻器電流值算出送液泵6的流量而獲得，也可以根據由壓力感測器所測定的由送液泵6輸送的加工液的壓力算出送液泵6的流量而獲得，也可以獲得由流量計所測定的由送液泵6輸送的加工液的流量。泵控制裝置8在獲得迴圈泵7的流量時，可根據迴圈泵7的變頻器頻率及迴圈泵7的變頻器電流值算出迴圈泵7的流量而獲得，也可以根據由壓力感測器72所測定的由迴圈泵7輸送的加工液的壓力算出迴圈泵7的流量而獲得，也可以獲得由流量計所測定的由迴圈泵7輸送的加工液的流量。
在本實施方式中，迴圈泵控制部87基於噴流泵5的流量及送液泵6的流量的合計值設定迴圈泵7的變頻器頻率。也可以取而代之，在進行噴流泵5的變頻器控制後，由迴圈泵控制部87僅基於噴流泵5的流量設定迴圈泵7的變頻器頻率。即，迴圈泵控制部87可在噴流泵5的流量相對較多時，增加迴圈泵7的變頻器頻率，在噴流泵5的流量相對較少時，減少迴圈泵7的變頻器頻率。根據本變形例，雖然準確性較差，但能夠更簡便地進行迴圈泵7的變頻器控制。
1:線放電加工機
2:加工槽
3:污液槽
4:清液槽
5:噴流泵
6:送液泵
7:迴圈泵
8:泵控制裝置
9:數值控制裝置
51:噴流噴嘴
61:冷卻裝置
62:純水器
71:篩檢程式
72:壓力感測器
85:噴流泵控制部
86:送液泵控制部
87:迴圈泵控制部
E:線電極
F:加工液
S1～S10:步驟
W:被加工物
圖1是本實施方式的線放電加工機的概略圖。
圖2是表示本實施方式的泵控制裝置的框圖。
圖3是本實施方式的放電加工方法的流程圖。
圖4是表示本實施方式的噴流泵的流量與送液泵及迴圈泵的變頻器頻率的關係的曲線圖。
S1~S10:步驟
Claims (18)
- 一種放電加工機，包括： 加工槽，收容被加工物； 噴流噴嘴，向由所述被加工物與工具電極所形成的加工間隙噴出加工液； 污液槽，貯存從所述加工槽排出的所述加工液； 篩檢程式，對所述加工液進行過濾； 迴圈泵，將所述污液槽內的所述加工液以與變頻器頻率相對應的流量壓送至所述篩檢程式； 清液槽，貯存經所述篩檢程式過濾的所述加工液； 噴流泵，將所述清液槽內的所述加工液以與變頻器頻率相對應的流量向所述噴流噴嘴壓送； 送液泵，將所述清液槽內的所述加工液以與變頻器頻率相對應的流量向所述加工槽壓送；及 泵控制裝置，對所述噴流泵、所述送液泵及所述迴圈泵進行變頻器控制， 所述泵控制裝置包括： 噴流泵控制部，構成為設定所述噴流泵的所述變頻器頻率；及 送液泵控制部，構成為獲得經變頻器控制的所述噴流泵的所述流量，並基於經變頻器控制的所述噴流泵的所述流量設定所述送液泵的所述變頻器頻率。
- 如請求項1所述的放電加工機，其中 所述送液泵控制部構成為：在所述噴流泵的所述流量相對較多時，以所述送液泵的流量相對減少的方式設定所述送液泵的所述變頻器頻率，在所述噴流泵的所述流量相對較少時，以所述送液泵的流量相對增加的方式設定所述送液泵的所述變頻器頻率。
- 如請求項1所述的放電加工機，其中 所述泵控制裝置還包括迴圈泵控制部，所述迴圈泵控制部構成為：獲得經變頻器控制的所述噴流泵的所述流量及經變頻器控制的所述送液泵的所述流量，並基於經變頻器控制的所述噴流泵的所述流量及經變頻器控制的所述送液泵的所述流量的合計值設定所述迴圈泵的所述變頻器頻率。
- 如請求項3所述的放電加工機，其中 所述迴圈泵控制部構成為：以所述迴圈泵的所述流量成為所述合計值以上的方式，設定所述迴圈泵的所述變頻器頻率。
- 如請求項4所述的放電加工機，其中 所述迴圈泵控制部構成為：獲得經變頻器控制的所述迴圈泵的所述流量，在所述迴圈泵的所述流量大於恰當的流量時，在所述迴圈泵的流量成為所述合計值以上的範圍內，降低所述迴圈泵的所述變頻器頻率。
- 如請求項3所述的放電加工機，其中 所述迴圈泵控制部構成為：獲得經變頻器控制的所述迴圈泵的所述流量，在所述迴圈泵的所述流量小於閾值時，判定為需要更換所述篩檢程式。
- 如請求項1所述的放電加工機，其中 所述泵控制裝置 根據所述噴流泵的所述變頻器頻率及所述噴流泵的變頻器電流值算出所述噴流泵的所述流量而獲得， 根據由壓力感測器所測定的由所述噴流泵輸送的所述加工液的壓力算出所述噴流泵的所述流量而獲得、或 獲得由流量計所測定的由所述噴流泵輸送的所述加工液的流量。
- 如請求項1所述的放電加工機，其中 所述泵控制裝置 根據所述送液泵的所述變頻器頻率及所述送液泵的變頻器電流值算出所述送液泵的所述流量而獲得， 根據由壓力感測器所測定的由所述送液泵輸送的所述加工液的壓力算出所述送液泵的所述流量而獲得、或 獲得由流量計所測定的由所述送液泵輸送的所述加工液的流量。
- 如請求項1所述的放電加工機，其中 所述泵控制裝置 根據所述迴圈泵的所述變頻器頻率及所述迴圈泵的變頻器電流值算出所述迴圈泵的所述流量而獲得， 根據由壓力感測器所測定的由所述迴圈泵輸送的所述加工液的壓力算出所述迴圈泵的所述流量而獲得、或 獲得由流量計所測定的由所述迴圈泵輸送的所述加工液的流量。
- 如請求項1所述的放電加工機，其還包括： 冷卻裝置，將所述加工液冷卻並向所述清液槽排出， 所述送液泵將所述清液槽內的所述加工液向所述冷卻裝置壓送。
- 如請求項1所述的放電加工機，其還包括： 純水器，調整所述加工液的比電阻並向所述清液槽排出， 所述送液泵將所述清液槽內的所述加工液向所述純水器壓送。
- 如請求項1所述的放電加工機，其中 所述工具電極為線電極。
- 一種放電加工方法，為放電加工機的放電加工方法，所述放電加工機包括： 加工槽，收容被加工物；噴流噴嘴，向由所述被加工物與工具電極所形成的加工間隙噴出加工液；污液槽，貯存從所述加工槽排出的所述加工液；篩檢程式，對所述加工液進行過濾；迴圈泵，將所述污液槽內的所述加工液以與變頻器頻率相對應的流量壓送至所述篩檢程式；清液槽，貯存經所述篩檢程式過濾的所述加工液；噴流泵，將所述清液槽內的所述加工液以與變頻器頻率相對應的流量向所述噴流噴嘴壓送；及送液泵，將所述清液槽內的所述加工液以與變頻器頻率相對應的流量向所述加工槽壓送， 所述放電加工方法中， 設定所述噴流泵的所述變頻器頻率， 獲得經變頻器控制的所述噴流泵的所述流量， 基於經變頻器控制的所述噴流泵的所述流量，設定所述送液泵的所述變頻器頻率。
- 如請求項13所述的放電加工方法，其中 在所述噴流泵的所述流量相對較多時，以所述送液泵的流量相對減少的方式設定所述送液泵的所述變頻器頻率，在所述噴流泵的所述流量相對較少時，以所述送液泵的流量相對增加的方式設定所述送液泵的所述變頻器頻率。
- 如請求項13所述的放電加工方法，其中 獲得經變頻器控制的所述噴流泵的所述流量及經變頻器控制的所述送液泵的所述流量， 並基於經變頻器控制的所述噴流泵的所述流量及經變頻器控制的所述送液泵的所述流量的合計值設定所述迴圈泵的所述變頻器頻率。
- 如請求項15所述的放電加工方法，其中 以所述迴圈泵的所述流量成為所述合計值以上的方式，設定所述迴圈泵的所述變頻器頻率。
- 如請求項16所述的放電加工方法，其中 獲得經變頻器控制的所述迴圈泵的所述流量， 在所述迴圈泵的所述流量大於恰當的流量時，在所述迴圈泵的流量成為所述合計值以上的範圍內，降低所述迴圈泵的所述變頻器頻率。
- 如請求項15所述的放電加工方法，其中 獲得經變頻器控制的所述迴圈泵的所述流量， 在所述迴圈泵的所述流量小於閾值時，判定為需要更換所述篩檢程式。
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