JP6285880B2 - ポンプ装置 - Google Patents

Description

本発明は、ポンプ装置に関し、特に、流体を加圧し、複数のノズルの中から選択されたノズルから噴出するポンプ装置の制御に関する。

複数のノズルが選択装置を介してポンプと接続され、上記ポンプが吐き出した流体を選択装置が選択したノズルから噴出するポンプ装置がある。このようなポンプ装置は、例えば特許文献１に示す洗浄装置に用いられている。特許文献１の洗浄装置には、選択装置であるタレット装置に複数のノズルが配設されている。そして、ポンプが吐き出した流体を、選択装置が選択した一つのノズルから噴出する。

容積式ポンプの吐出し圧力は、容積式ポンプの回転速度（単位時間当たりの回転数）、ノズルの噴出形状及びノズルの孔径により定まる。そして、選択するノズルを切り替えた場合には、そのポンプの吐出し圧力と吐出し流量との関係を示す曲線に従い、ノズルに応じた圧力で噴射する。

特開平８−９０３６５号公報

ポンプ装置を用いて、洗浄、はつり、バリ取りその他の作業を行う場合には、ポンプの吐出し流量又は吐出し圧力と得られる効果とが密接に関係する。したがって、複数のノズルを用いて複数の作業を行う場合には、その作業毎に最適な吐出し圧力又は吐出し流量を選択することが望ましい。
第一には、本発明は、複数のノズルの中から選択されたノズルから噴射するポンプ装置の吐出し圧力又は吐出し流量を、選択されたノズル毎に設定した値に保つことを課題とする。

ノズルは噴出する流体によって徐々に摩耗し、孔径の拡大、噴射形状の悪化を招く。洗浄能力、バリ取り能力は、吐出し圧力、噴射形状、吐出し流量の影響を受けるため、摩耗したノズルは交換される。従来のポンプ装置は、ポンプの吐出し口にリリーフ弁を設け、このリリーフ弁により吐出し圧力を一定に保つように構成されていた。そして、吐出し圧力が低下した場合には、このリリーフ弁のリリーフ圧を調整し、リリーフ弁の締め切りによっても所定の吐出し圧力を保持できない場合、ノズルを交換していた。しかし、その交換時期が予想できなかった。
第二には、本発明は、ノズルの摩耗状況を確認し、ノズル交換の適期を報知することを課題とする。

上記課題に鑑みて、本発明は、流体を加圧し、複数のノズルの中から選択された前記ノズルから噴出するポンプ装置であって、前記流体を吐き出す吐出し口を有する容積式ポンプと、前記容積式ポンプを駆動する回転速度可変の駆動装置と、前記流体の入口と複数の出口とを有し前記入口と複数の前記出口のうちのいずれか一つとを連通させる選択装置と、前記吐出し口と前記入口とを連通する吐出し配管と、前記出口に連通する前記ノズルと、前記駆動装置の前記回転速度を制御する制御部と、前記回転速度の制御に用いられる制御パラメータ、及び前記容積式ポンプの吐出し圧力又は吐出し流量である吐出し特性の目標値を、複数の前記ノズルの各々に対応して記憶する記憶装置と、前記吐出し配管に備えられ、前記容積式ポンプの前記吐出し特性を計測するセンサと、を備え、前記制御部は、前記選択装置によって選択された前記ノズルに対応する前記制御パラメータを用いて、前記吐出し特性が前記目標値に一致するように前記吐出し特性をフィードバックして前記駆動装置の前記回転速度を制御する。
上記構成によれば、吐出し特性をフィードバックしてポンプの回転速度を制御し、ポンプの吐出し圧力又は吐出し流量をノズル毎に設定された目標値に一致させることができる。

本発明は、好ましくは、前記吐出し配管から分岐する配管に設けられる排出弁を備え、前記制御部は、前記排出弁が開弁するとき、又は前記選択装置による前記ノズルの選択がないときに、前記駆動装置の前記回転速度を予め設定されたアイドリング回転速度に保つ。
上記構成によれば、排出弁が開弁するとき、又は選択装置によるノズルの選択がないときに、容積式ポンプが揚圧した流体を排出弁から排出し、その間における容積式ポンプの回転速度をアイドリング回転速度にする。このアイドリング回転速度として、ノズルを選択したときの回転速度より低い回転速度を選択しておけば、ノズルから流体を噴出しないときのポンプの消費電力を低減できる。

本発明は、好ましくは、前記駆動装置へ供給する交流電力の周波数を変換する周波数変換装置を備え、前記駆動装置は交流電動機であり、前記制御部は、前記吐出し特性と前記目標値との偏差に基づき、前記周波数変換装置が供給する前記交流電力の前記周波数をＰＩＤ制御する。ここで、制御パラメータは、ノズルの種別及びノズルの孔径（基準孔径）に対応する比例係数、積分係数、及び微分係数を含む。
上記構成によれば、簡便な構成で応答性の良いフィードバック制御を実現できる。

本発明において、好ましくは、容積式ポンプは歯車ポンプ又はピストンポンプであり、駆動装置は永久磁石型同期電動機である。
上記構成によれば、永久磁石型同期電動機は、電源の周波数に対して回転速度の追従性が良いため、より応答性の高いポンプ装置を得ることができる。また、永久磁石型同期電動機は、エネルギ効率が高いため、より機械効率の高いポンプ装置を得ることができる。

本発明は、好ましくは、前記ノズルに関する警告を発する警告装置を備え、前記駆動装置の前記回転速度が、前記選択装置によって選択された前記ノズルに対して予め設定された上限回転速度を超えるか又は前記上限回転速度以上のときに、前記警告装置は、前記選択装置によって選択された前記ノズルに関する前記警告を発する。
上記構成によれば、ノズルの摩耗量に応じて適宜警告を発し、又はノズルの交換を促すことができる。すなわち、ノズルの摩耗状況を確認し、ノズル交換の適期を報知することができる。ここで、警告装置は、警報発生器、警報表示装置、外部への警報信号発振器その他の警告手段を備える装置をいう。

本発明は、好ましくは、情報を表示する表示装置を備え、前記記憶装置は、前記駆動装置の前記回転速度と前記ノズルの孔径とを関係付ける関係情報を前記ノズル毎に記憶し、前記制御部は、前記駆動装置の前記回転速度を取得し、取得した回転速度に相当する前記ノズルの前記孔径を前記関係情報に基づいて推定し、前記表示装置に表示させる。
上記構成によれば、流体の噴出に伴ってノズルが摩耗し、徐々にノズルの孔径が拡大するところ、ユーザは現在のノズルの孔径の推定値を確認することができる。すなわち、ノズルの摩耗状況を確認し、ノズル交換の適期を報知することができる。そのため、ユーザは、ノズルを交換する計画を予め策定し、洗浄等の作業品質の低下を予防することができる。

本発明において、好ましくは、前記制御部は、前記吐出し特性が前記目標値に一致するように前記吐出し特性をフィードバックして前記駆動装置の前記回転速度を制御するフィードバック制御とともに、前記目標値に応じて前記駆動装置の前記回転速度を制御するフィードフォワード制御を行う。
上記構成によれば、フィードフォワード制御は、操作初期での吐出し特性の応答遅れの解消を行う。また、フィードフォワード制御は、例えば容積式ポンプの起動時や使用するノズルの切替え時における過渡状態において、吐出し特性を目標値に一致させるように補償する。

本発明において、好ましくは、前記目標値は、予め設定された洗浄の順序に応じて変化する。
上記構成によれば、例えば数値制御プログラムにプログラムされた洗浄の順序に応じて、目標値を適宜変更した場合においても、追従性の良い吐出し特性の調整が可能である。

本発明において、好ましくは、前記制御パラメータは、前記ノズルの種別、前記ノズルの基準孔径、及び前記目標値に基づいて取得されて、前記記憶装置に記憶される。
上記構成によれば、選択装置の各出口に接続するノズルの種別や孔径を変更した場合であっても、ノズルの種別、ノズルの基準孔径、目標値を設定するだけで制御可能なポンプ装置を提供することができる。

本発明によれば、複数のノズルの中から選択されたノズルから噴射するポンプ装置の吐出し圧力又は吐出し流量を、選択されたノズル毎に設定した値に保つことができる。

実施形態のポンプ装置を示す概略図である。 実施形態のポンプ装置の制御装置を示す概略図である。 実施形態のポンプ装置の制御方法を示すブロック線図である。 実施形態のポンプ装置の制御パラメータを示す。 実施形態のポンプ装置の制御方法を示すフローチャートである。 実施形態の第１変形例のポンプ装置の制御パラメータを示す。（ａ）はツール番号に対する目標圧力を、（ｂ）は目標圧力に対する上限周波数及び下限周波数を、（ｃ）はＰＩＤ制御の制御パラメータを示す。 実施形態の第２変形例のポンプ装置の制御パラメータを示す。（ａ）はツール番号に対する設定値を、（ｂ）はノズルの種別に対する制御パラメータの関数を、（ｃ）はツール番号に対するＰＩＤ制御の制御パラメータを示す。

以下、図１ないし図５に従って、発明を実施する形態について詳細に説明する。

[実施形態]
（構成）
図１は、本発明の実施形態のポンプ装置１０を示す。
図１に示すように、ポンプ装置１０は、流体Ｆを加圧し、複数のノズル２７の中から選択されたノズル２７から噴出する。流体Ｆはタンク装置１１に貯留されている。ここで、流体Ｆは水又は洗浄剤、防腐剤、防錆剤その他の添加物を含む水溶液である。タンク装置１１は２槽式のろ過装置を備えたタンク装置である。タンク装置１１は洗浄機、切削装置に慣用されているため、その詳細な説明を省略する。

ポンプ装置１０は容積式ポンプを備えている。本実施形態では、容積式ポンプは、複数のプランジャを備え、プランジャが往復することで、流体Ｆを吸入口１４から吸い込み、吐出し口１５から吐き出すピストンポンプ１３である。ピストンポンプ１３を使用することで、吐出し圧力（吐出し特性）を高く設定することができる。このため、ポンプ装置１０は、機械部品の洗浄もしくはバリ取り加工、重合缶もしくはコンテナーの洗浄、塗装の剥離、又はコンクリートのはつりに好適に利用できる。

容積式ポンプを使用することにより、流体Ｆを噴出するノズル２７の孔径と容積式ポンプの回転速度Ｎ［ｍｉｎ^−１］とに応じて、吐出し圧力Ｐ［ＭＰａ］が定まる。そして、回転速度Ｎが上昇するにつれて吐出し圧力Ｐが上昇し、ノズル２７の孔径が拡大するにつれて吐出し圧力Ｐが低下する作用が生ずる。

なお、ピストンポンプ１３に替えて、歯車ポンプその他の容積式ポンプを使用することができる。本実施形態のポンプ装置１０は、ピストンポンプ１３を１台備えているが、複数台の容積式ポンプを備えても良い。

ポンプ装置１０は、容積式ポンプを駆動する回転速度可変の駆動装置と、駆動装置へ供給する交流電力の周波数を変換する周波数変換装置とを備えている。本実施形態では、容積式ポンプとしてのピストンポンプ１３の駆動装置は、永久磁石型同期電動機１６である。また、本実施形態では、周波数変換装置はインバータ１７である。インバータ１７は、交流電源から任意の周波数をもつ交流電力を発生させる装置である。ポンプ装置１０がインバータ１７と永久磁石型同期電動機１６とを備えているため、ピストンポンプ１３の回転速度の応答が速くなる。そして、ピストンポンプ１３の回転速度を制御するための構成を安価かつ簡便に得られる。

なお、永久磁石型同期電動機１６に替えて、電磁石同期電動機その他の交流同期電動機、若しくは直流同期電動機又は誘導電動機を用いることができる。インバータ１７及び永久磁石型同期電動機１６に替えて、ステッピングモータ又はサーボモータを利用することができる。ステッピングモータ又はサーボモータを用いた場合には、インバータ１７を使用しないため、インバータ１７の制御遅れが解消され、より速い応答が可能になる。

ポンプ装置１０は、流体Ｆの入口２６と複数の出口１８とを有する選択装置を備えている。この選択装置は、入口２６と複数の出口１８のうちのいずれか一つとを連通させる。本実施形態では、選択装置は、タレット装置２５である。タレット装置２５はサーボモータ３０により、ノズル２７が取り付けられる複数のタレット面の中から一つのタレット面を割り出す。タレット装置２５はＸＹＺ軸を含む直交軸移動装置３２で数値制御される。タレット装置２５には各タレット面に対応してレバー操作型のバルブ２８がそれぞれ設けられている。割り出されたタレット面に対応して設けられたバルブ２８のレバーは、固定されたカムフォロア２９により、押される。すると、タレット装置２５の入口２６から供給された流体Ｆが、出口１８を経て、割り出されたタレット面に取り付けられたノズル２７から噴射される。

なお、選択装置としてのタレット装置２５におけるタレット面の割出しには、サーボモータ３０に替えて、ローラギヤカム、パラレルカムその他のインデックスカム装置を利用できる。選択装置は、ノズル２７の数と同数のバルブ２８を有し、それぞれのバルブ２８の流入口が選択装置の入口２６と結合されている様々な形態を取ることができる。例えば、選択装置は、制御装置４３の指令に応じてそれぞれのバルブ２８を開閉しても良いし、バルブ２８を直列に配し、回転するカムシャフトで開弁するバルブ２８を選択しても良い。後者の選択装置としては、例えば特許第３８１２８７９号公報に記載の装置が利用できる。

吐出し配管１９は、ピストンポンプ１３の吐出し口１５とタレット装置２５の入口２６とを連通する。

圧力センサ２１は、吐出し配管１９に設けられ、ピストンポンプ１３の吐出し圧力Ｐを計測し、制御装置４３へ出力する。

安全弁２３は、吐出し配管１９から分岐する配管に設けられ、吐出し圧力Ｐが所定の圧力Ｐ_Ｓを超過するとタンク装置１１へ流体Ｆを逃がし、吐出し圧力Ｐを圧力Ｐ_Ｓ以下に保持する。圧力Ｐ_Ｓは、常時使用する吐出し圧力Ｐよりも若干高く、かつ、ピストンポンプ１３、吐出し配管１９、圧力センサ２１、タレット装置２５の耐圧強度（圧力値）よりも低く設定される。

排出弁２２は、吐出し配管１９から分岐する配管に設けられる。排出弁２２の流路の有効断面積はノズル２７と比較して非常に大きい。排出弁２２の流路の有効断面積が大きいため、排出弁２２が開弁したときに、吐出し配管１９内の圧力は急激に低下する。ピストンポンプ１３が吐き出した流体Ｆは、排出弁２２が開弁するときに、その全量が排出弁２２を通ってタンク装置１１に戻る。

洗浄弁２４は、吐出し配管１９の排出弁２２との分岐点の下流側に設けられる。洗浄弁２４は、排出弁２２を閉弁するときに開弁し、排出弁２２を開弁するときに閉弁する。そして、この流体Ｆは、洗浄弁２４が開弁するときに、その全量がタレット装置２５へ供給される。
なお、洗浄弁２４は、設置されることが望ましいが、必ずしも必須ではない。

また、ポンプ装置１０は制御装置４３を備えている。制御装置４３は、圧力センサ２１が検知した吐出し圧力Ｐに応じてインバータ１７を介して、ピストンポンプ１３の吐出し圧力Ｐを目標値（以下、「目標圧力Ｐ_０」ともいう。）に一致させるように制御する。

図２は、制御装置４３の構成を示す。図２に示すように、制御装置４３は、ＣＰＵ４５、入力装置４６、警告装置４７、表示装置４８、入力ポート４９、出力ポート５０、記憶装置５１を備え、これらをバスで接続している。制御装置４３は、数値制御装置を含む。ＣＰＵ４５は、駆動装置としての永久磁石型同期電動機１６の回転速度を制御する制御部としての機能を有する。入力装置４６はキーボード、テンキー、マウス等、直接データを入力する装置である。警告装置４７は、アラームを音声で報知するスピーカもしくは警報を表示する装置である。表示装置４８は、圧力、制御パラメータ、設定値等の情報を表示する装置であり、液晶パネルが利用できる。入力装置４６、警告装置４７、表示装置４８を一つのタッチパネルとして構成しても良い。入力ポート４９はサーボモータ３０、圧力センサ２１その他の付属装置から発信された信号を受信する。出力ポート５０は、インバータ１７、サーボモータ３０、直交軸移動装置３２その他の構成要素へ信号を発信する。記憶装置５１はストレージであり、各ノズル２７に対する制御パラメータ、伝達関数、数値制御プログラムその他のデータを記憶する。制御パラメータの詳細は後述する。制御パラメータ、伝達関数は入力装置４６又は入力ポート４９を介して入力され、記憶装置５１に収納される。制御装置４３は、記憶装置５１に記憶されている制御パラメータ、伝達関数を利用して、吐出し圧力Ｐをフィードバックしてピストンポンプ１３へ供給する交流電力の周波数を制御する。後述するように、本実施形態では、フィードバック制御にＰＩＤ制御を用いる。

図３は、制御系のブロック線図を示す。永久磁石型同期電動機１６の回転速度Ｎ、すなわちピストンポンプ１３の回転速度Ｎは、ピストンポンプ１３の負荷と周波数ｆとにより定められる。従って、制御装置４３は、吐出し圧力Ｐをフィードバックしてピストンポンプ１３の回転速度Ｎを制御する。ＣＰＵ４５は、選択したツール番号ｎに対応する目標圧力Ｐ_０を記憶装置５１に記憶されている情報から決定する。ＣＰＵ４５は、出力ポート５０を介してインバータ１７へ、圧力Ｐ_ＯＵＴを指令する。

ノズル２７から流体Ｆを噴射するときに、ノズル２７の孔径とピストンポンプ１３の回転速度に応じて吐出し配管１９内の圧力Ｐ（ピストンポンプ１３の吐出し圧力Ｐ）が上昇する。この圧力Ｐは圧力センサ２１により検知され、入力ポート４９を介して制御装置４３のＣＰＵ４５へ送信される。ＣＰＵ４５は、この現在の圧力Ｐと目標圧力Ｐ_０との差分Ｐ_ＤＥＦを演算する。ＰＩＤ補償は、この差分Ｐ_ＤＥＦを０にするよう演算を行う。フィードバック補償はノズル毎に定められた比例係数Ｋ_Ｐ、積分時間Ｔ_Ｉ、微分時間Ｔ_Ｄに基づいてＰＩＤ補償を行う。

制御対象は、インバータ１７、ピストンポンプ１３を駆動する永久磁石型同期電動機１６、及びタレット装置２５が選択するツール番号ｎのノズル２７である。インバータ１７は、圧力Ｐ_ＯＵＴを周波数ｆ［ｓ^−１］に変換する。インバータ１７が圧力Ｐ_ＯＵＴを受けて、周波数ｆに変換する伝達関数は、定数Ｃ_１で表される。

周波数ｆの交流電力により、ピストンポンプ１３が駆動する。ピストンポンプ１３の回転速度Ｎは周波数ｆで定まる。すなわち、本実施形態のポンプ装置１０においては、周波数ｆを制御することによって、ピストンポンプ１３の回転速度Ｎを制御している。ピストンポンプ１３の回転速度Ｎとノズル２７の孔径で表される開口度合いとにより、吐出し圧力Ｐが定まる。ピストンポンプ１３がインバータ１７の生成する周波数ｆの交流電力で回転し、ピストンポンプ１３が流体Ｆを加圧し、その流体Ｆが選択されたノズル２７から噴出する。交流電力の周波数ｆと発生する吐出し圧力Ｐとの関係を表す伝達関数は、ピストンポンプ１３の回転速度Ｎに対する配管抵抗を示す定数Ｃ_２で表すことができる。

ここで、Ｃ_１、Ｃ_２は、ノズルの種別、ノズルの基準孔径ｄ_０、目標圧力Ｐ_０によって定められる。ＰＩＤ補償及びフィードフォワード補償の伝達関数をそれぞれＧ_１、Ｇ_Ｆとすると、制御系の伝達関数は式１で表される。ノズルの基準孔径ｄ_０は、設計値である初期孔径である。

ここで、Ｇ_１は式２で表される。

フィードフォワード制御は、目標圧力Ｐ_０に対して行われ、制御対象の圧力不感帯領域の補償、すなわち、操作初期での圧力の応答遅れの解消を行う。また、フィードフォワード制御は、例えばピストンポンプ１３の起動時や使用するノズル２７の切替え時における過渡状態において、目標値に一致させるように補償する。

図４を参照して、表６０は、記憶装置５１に記憶される制御パラメータ等のデータの構成例を示す。本実施形態では、ツール番号ｎはタレット装置２５のタレット面毎に付けられたタレット番号に対応する。そして、ツール番号ｎには、取り付けられるノズル２７の種別、基準孔径ｄ_０が決まっており、取り付けられるノズル２７に対応する目標圧力Ｐ_０も予め定められている構成を想定している。

表６０は、列６２のツール番号ｎに対する、制御パラメータ等のデータの値を示す。列６４は、ツール番号ｎに対応する目標圧力Ｐ_０［ＭＰａ］を示す。列６４に数字が入力されていれば、その数字を目標圧力Ｐ_０とする。列６４に特定の文字（例えばｘ）が入力されていれば、そのツール番号ｎにノズル２７が設けられていないことを示す。列６５は、ツール番号ｎに対応するＰＩＤ制御のパラメータである比例係数Ｋ_Ｐを示す。列６６は、ツール番号ｎに対応する積分時間Ｔ_Ｉを示す。列６７はツール番号ｎに対応する微分時間Ｔ_Ｄを示す。列６８は伝達関数である定数Ｃ_１を示す。列６９は、ツール番号ｎに対応する上限周波数ｆ_ＭＡＸ［ｓ^−１］を、列６１は、ツール番号ｎに対応する下限周波数ｆ_ＭＩＮ［ｓ^−１］を示す。列６３は、現在の周波数ｆを引数とする、現在のノズルの孔径の推定値である換算孔径ｄを演算する関数Ｆｄ１（ｆ），Ｆｄ２（ｆ），・・・を示す。ＣＰＵ４５は、周波数ｆをインバータ１７から受け取り、その周波数ｆと列６３の関数とに基づいて換算孔径ｄを推定演算する。周波数ｆはある程度の幅をもって細かく振動するため、換算孔径ｄの算出値も振動する。そこで、推定値である換算孔径ｄは、移動平均を取って振動分を吸収することが望ましい。

なお、永久磁石型同期電動機１６及びインバータ１７に替えてステッピングモータ又はサーボモータを使用する場合には、周波数に関するデータに替えて、回転速度に関するデータを用いることは言うまでもない。勿論、制御装置４３は、ポンプ装置１０全体を制御する第１の制御装置（例えば数値制御装置）と、ＰＩＤ制御及びインバータ１７への指令を行う第２の制御装置（例えばシーケンサ）とに分割して構成することができる。
また、インバータ１７が圧力Ｐ_ＯＵＴの入力に応じて周波数ｆを出力することに替えて、制御装置４３のＣＰＵ４５は、圧力Ｐ_ＯＵＴを一旦電流値ｉに変換し、インバータ１７は電流値ｉの入力に応じて周波数ｆを出力できる。
列６４の特定の文字（例えばｘ）の入力に替えて、ツール番号ｎに対してノズル２７が取り付けられているかどうかを示す列を別途設けても良い。このとき、その列には、例えば、ノズル２７が取り付けられている場合には１が、ノズル２７が取り付けられていない場合には０が入力される。
更に、列６９、列６１、又は列６３を適宜省いても良い。列６３が設けられている場合、警告装置４７は、換算孔径ｄに基づいて警告を発することができるため、周波数ｆの正常範囲を規定する列６１、６９は不要である。また、ノズル２７の孔は使用に従って拡大するため、周波数ｆはそれに伴い上昇する。このため、列６１は通常の場合省いても良い。また、周波数ｆに対して警告を発しない構成とする場合、列６１、列６９は設けることを要しない。

図５は、上述のように構成されたポンプ装置１０の制御方法を示す。図５に示すフローチャートの内容は、プログラムとして記憶装置５１に記憶される。制御装置４３のＣＰＵ４５は、直交軸移動装置３２の数値制御プログラムに従って、タレット装置２５を用いて複数のノズル２７の中から噴射するノズル２７をツール番号ｎで選択する（Ｓ１）。ノズル２７から流体Ｆを噴射するときは、制御装置４３のＣＰＵ４５は、排出弁２２を閉弁し、洗浄弁２４を開弁する。ＣＰＵ４５は、排出弁２２が閉弁しているか否かを判断する（Ｓ２）。排出弁２２が開弁している場合（Ｓ２でＮｏ）、後述のステップＳ１２へ進む。
なお、ポンプ装置１０が洗浄弁２４を備えている場合、ステップＳ２は、洗浄弁２４が開弁しているか否かの判断に置換えても良い。

排出弁２２が閉弁している場合（Ｓ２でＹｅｓ）、ＣＰＵ４５は、サーボモータ３０の出力信号から、選択されたノズル２７に対応する番号である、ツール番号ｎを認識する（Ｓ３）。ＣＰＵ４５は、表６０（図４参照）に基づいて、選択したツール番号ｎにノズルが設けられているかを判断する（Ｓ４）。選択したツール番号ｎにノズルが設けられている場合（Ｓ４でＹｅｓ）、ＣＰＵ４５は、認識したツール番号ｎに適合する制御パラメータを表６０から取得する（Ｓ５）。ＣＰＵ４５は、表６０に基づいて、ピストンポンプ１３の吐出し圧力Ｐの目標値である目標圧力Ｐ_０を決定する（Ｓ６）。ＣＰＵ４５は、出力ポート５０からインバータ１７に圧力Ｐ_ＯＵＴを指令する（Ｓ７）。インバータ１７は圧力Ｐ_ＯＵＴに基づいてピストンポンプ１３に周波数ｆの交流電力を送る（Ｓ８）。ピストンポンプ１３は、永久磁石型同期電動機１６によって駆動されて所定の回転速度Ｎで回転する（Ｓ９）。ピストンポンプ１３は流体Ｆを吸入口１４から吸い込み、加圧して吐出し口１５から吐き出す。加圧された流体Ｆは吐出し配管１９、タレット装置２５を介してツール番号ｎのノズル２７から噴出する。圧力センサ２１は、吐出し配管１９内の流体Ｆの圧力Ｐを計測する。この圧力Ｐは、ピストンポンプ１３の吐出し圧力Ｐに相当する。圧力Ｐの計測値は、圧力センサ２１から入力ポート４９を介して制御装置４３へ入力される（Ｓ１０）。ステップＳ１１では、ポンプ装置１０の停止指示があったか否かが判断される。ポンプ装置１０の停止指示がない場合（Ｓ１１でＮｏ）、ＣＰＵ４５は、計測された圧力Ｐと目標圧力Ｐ_０との差分Ｐ_ＤＥＦを演算し、差分Ｐ_ＤＥＦに応じて修正された値である圧力Ｐ_ＯＵＴを表６０（図４参照）から得られた各係数と伝達関数に応じて算出する。ＣＰＵ４５は、その修正値である圧力Ｐ_ＯＵＴをインバータ１７に指令する（Ｓ７）。

制御装置４３のＣＰＵ４５は、計測された吐出し圧力Ｐをフィードバックして、ピストンポンプ１３の回転速度Ｎを制御することにより、ノズル２７の摩耗度合いにかかわらず、ピストンポンプ１３の吐出し圧力Ｐを目標圧力Ｐ_０に一致させることができる。

ステップＳ２において排出弁２２が開弁しているときは（Ｓ２でＮｏ）、制御装置４３のＣＰＵ４５は、予め設定されて入力された周波数であるアイドリング周波数ｆ_ＩＤＬの交流電力の出力をインバータ１７に指令し、アイドリング周波数ｆ_ＩＤＬに対応したアイドリング回転速度Ｎ_ＩＤＬでピストンポンプ１３が回転する（Ｓ１２）。このとき、制御装置４３のＣＰＵ４５は、計測された吐出し圧力Ｐに応じた周波数ｆのフィードバック制御を行わない。
ここで、ポンプ装置１０が洗浄弁２４を備えている場合、制御装置４３のＣＰＵ４５は、洗浄弁２４の閉弁に先立って、排出弁２２を開弁する。
ステップＳ４において、選択したツール番号ｎにノズルが設けられていないと判断された場合も（Ｓ４でＮｏ）、ＣＰＵ４５は、同様にステップＳ１２を実行する。

警告装置４７は、インバータ１７から出力する交流電力の周波数ｆが下限周波数ｆ_ＭＩＮ（表６０の列６１、図４参照）を下回るか若しくは下限周波数ｆ_ＭＩＮ以下の場合、又は上限周波数ｆ_ＭＡＸ（列６９参照）を超過するか若しくは上限周波数ｆ_ＭＡＸ以上の場合に、警告を発する。

なお、以上の実施形態によれば、ピストンポンプ１３の駆動用に、インバータ１７及び永久磁石型同期電動機１６を用いたため、制御量が、供給する交流電力の周波数ｆであり、制御パラメータとして周波数ｆに対する値を用いた。しかしながら、ピストンポンプ１３の駆動用にサーボモータ、ステッピングモータを使用する場合には、制御量が回転速度であり、制御パラメータが回転速度に対する値に置き換えられる。この場合、定数である伝達関数Ｃ_１は、圧力を受けて回転速度に相当する電源パルス列を発生するサーボアンプを表現する。

以上の構成による、本実施形態のポンプ装置１０は、流体Ｆを加圧し、複数のノズル２７の中から選択されたノズル２７から噴出する。ポンプ装置１０は、流体を吐き出す吐出し口１５を有する容積式ポンプとしてのピストンポンプ１３と、ピストンポンプ１３を駆動する回転速度可変の駆動装置としての永久磁石型同期電動機１６と、を備える。また、ポンプ装置１０は、流体Ｆの入口２６と複数の出口１８とを有し入口２６と複数の出口１８のうちのいずれか一つとを連通させる選択装置としてのタレット装置２５と、吐出し口１５と入口２６とを連通する吐出し配管１９と、出口１８に連通する前記ノズル２７と、を備える。また、ポンプ装置１０は、駆動装置としての永久磁石型同期電動機１６の回転速度Ｎを制御する制御部としてのＣＰＵ４５と、永久磁石型同期電動機１６の回転速度Ｎの制御に用いられる制御パラメータ（Ｋ_Ｐ、Ｔ_Ｉ、Ｔ_Ｄ等）、及びピストンポンプ１３の吐出し圧力Ｐの目標値である目標圧力Ｐ_０を、複数のノズル２７の各々に対応して記憶する記憶装置５１と、吐出し配管１９に備えられ、ピストンポンプ１３の吐出し圧力Ｐを計測する圧力センサ２１と、を備える。制御装置４３のＣＰＵ４５は、タレット装置２５によって選択されたノズル２７に対応する制御パラメータを用いて、吐出し圧力Ｐが目標圧力Ｐ_０に一致するように、吐出し圧力Ｐをフィードバックして永久磁石型同期電動機１６の回転速度Ｎを制御する。

また、ポンプ装置１０は、吐出し配管１９から分岐する配管に設けられる排出弁２２を備え、制御装置４３のＣＰＵ４５は、排出弁２２が開弁するとき、又はタレット装置２５によるノズル２７の選択がないときに、永久磁石型同期電動機１６の回転速度Ｎを予め設定されたアイドリング回転速度Ｎ_ＩＤＬに対応するアイドリング周波数ｆ_ＩＤＬに保つ。

また、ポンプ装置１０は、永久磁石型同期電動機１６へ供給する交流電力の周波数ｆを変換するインバータ１７（周波数変換装置）を備え、ピストンポンプ１３を駆動する駆動装置は永久磁石型同期電動機１６（交流電動機）であり、制御装置４３のＣＰＵ４５は、吐出し圧力Ｐと目標圧力Ｐ_０との偏差Ｐ_ＤＥＦに基づき、インバータ１７が永久磁石型同期電動機１６へ供給する交流電力の周波数ｆをＰＩＤ制御する。
また、ポンプ装置１０に備えられる容積式ポンプはピストンポンプ１３であり、ピストンポンプ１３を駆動する駆動装置は永久磁石型同期電動機１６である。

また、ポンプ装置１０は、ノズル２７に関する警告を発する警告装置４７を備え、永久磁石型同期電動機１６の回転速度Ｎに対応する周波数ｆが、タレット装置２５によって選択されたノズル２７に対して予め設定され永久磁石型同期電動機１６の上限回転速度に対応する上限周波数ｆ_ＭＡＸを超えるか又は上限周波数ｆ_ＭＡＸ以上のときに、警告装置４７は、タレット装置２５によって選択されたノズル２７に関する警告を発する。

また、ポンプ装置１０は、情報を表示する表示装置４８を備え、記憶装置５１は、永久磁石型同期電動機１６の回転速度Ｎに対応する周波数ｆとノズル２７の孔径とを関係付ける関係情報である関数Ｆｄ１（ｆ）、Ｆｄ２（ｆ）、・・・をノズル２７毎に記憶する。そして、制御装置４３のＣＰＵ４５は、永久磁石型同期電動機１６の回転速度Ｎに対応する周波数ｆを取得し、取得した周波数ｆに相当するノズル２７の孔径を関数Ｆｄ１（ｆ）、Ｆｄ２（ｆ）、・・・に基づいて推定し、換算孔径ｄとして、表示装置４８に表示させる。

また、制御装置４３のＣＰＵ４５は、吐出し圧力Ｐが目標圧力Ｐ_０に一致するように吐出し圧力Ｐをフィードバックして永久磁石型同期電動機１６の回転速度Ｎに対応する周波数ｆを制御するフィードバック制御とともに、目標圧力Ｐ_０に応じて永久磁石型同期電動機１６の回転速度Ｎに対応する周波数ｆを制御するフィードフォワード制御を行う。

（効果）
本実施形態のポンプ装置１０は、ノズル２７が使用に伴い摩耗した場合にも、ノズル２７の摩耗量に関わらず、吐出し圧力Ｐを一定に保つことができる。フィードバック制御にＰＩＤ制御を利用するため、ピストンポンプ１３の吐出し圧力Ｐが目標圧力Ｐ_０に収束する時間が短くなる効果を有する。そして、ＰＩＤ制御を使用するため、複雑系であり関数化が困難なポンプ装置１０の圧力応答に対して、簡便で収束性の高いフィードバック制御が可能となる。

ツール番号ｎに応じて異なる目標圧力Ｐ_０を設定し、ノズル毎に適切な吐出し圧力Ｐで流体Ｆを噴出するため、ノズル２７毎の作業を最適化できる。例えば、ツール番号１のノズル２７を使用するときに、その設定圧力をポンプ最高圧力付近として被洗浄物のバリ取りを行い、ツール番号３のノズル２７を用いて被洗浄物の水中洗浄を行うときに、ポンプ装置１０は、吐出し圧力Ｐを、その作業で最大の洗浄効果が期待できる圧力とすることができる。

ポンプ装置１０は、従来技術の圧力調整弁（リリーフ弁）に替えて安全弁２３を備え、吐出し圧力Ｐをピストンポンプ１３の回転速度Ｎで調整する。このため、ピストンポンプ１３が吐き出した流体Ｆの全量をノズル２７から吐出する。従来技術のような圧力調整弁からの排出がなくなるため、使用するエネルギが小さくなる。

ノズル２７は使用により摩耗するところ、ポンプ装置１０は、ピストンポンプ１３の回転速度Ｎに対応する供給電源（交流電力）の周波数ｆを常時監視するため、周波数ｆと上限周波数ｆ_ＭＡＸとを比較してノズル２７の摩耗警報を発することができる。このため、ノズル２７の摩耗量に応じて適宜警告を発し、又はノズル２７の交換を促すことができる。すなわち、ノズル２７の摩耗状況を確認し、ノズル交換の適期を報知することができる。

ポンプ装置１０は、フィードフォワード制御を行うことで、排出弁２２を閉弁し、洗浄弁２４を開弁し、ノズル開閉弁であるバルブ２８が開弁したときから、ピストンポンプ１３が吐き出した流体Ｆの圧力（吐出し圧力）Ｐが上昇を始める。圧力Ｐが上昇し、目標圧力Ｐ_０に達するまでの時間を短縮できる。過渡状態、例えばノズル２７を切り替えた後、吐出し圧力Ｐが安定するまでの時間は、洗浄、バリ取り、剥離その他の作業に利用できない。しかし、上述の作用により、ポンプ装置１０を用いた洗浄装置では、作業以外の時間（作業に利用できない時間）を短縮できる。

ポンプ装置１０はフィードフォワード補償を行うため、操作初期での吐出し圧力Ｐの応答遅れを解消することができる。また、例えばピストンポンプ１３の起動時や使用するノズル２７の切替え時における過渡状態において目標値に一致させることができる。

ポンプ装置１０は、ノズル２７の摩耗量を予測し、表示装置４８に表示させることができる。すなわち、ノズル２７の摩耗状況を確認し、ノズル交換の適期を報知することができる。ポンプ装置１０の管理者は、ノズル２７の摩耗量に応じてノズル２７を交換する計画を立案することができる。ノズル２７の摩耗量を予測し、提示することは、本実施形態によって初めて可能になった。ノズル２７の摩耗は、ノズル孔をいびつに変形させる。したがって、摩耗が進むと噴流が乱れ、洗浄効果が低下する。ポンプ装置１０は、換算孔径ｄを表示するため、管理者は、換算孔径ｄの増加傾向に伴って、適切にノズル２７を交換できる。管理者は、ノズル交換時期を調整することにより、洗浄効果を高く保持することができる。

（第１変形例）
本変形例は、ツール番号ｎに取付けられるノズルの種類、ノズルの基準孔径ｄ_０が決まっている点で前記した実施形態と同様であるが、その圧力を洗浄プログラム中で自由に変更できる場合の制御パラメータの構成を提供する点で前記した実施形態と相違する。

図６（ａ）を参照して、表５５は、ツール番号ｎのノズル２７に対する目標圧力Ｐ_０を示す。列７１はツール番号ｎを示す。列７２は、ツール番号ｎに対するノズル２７の目標圧力Ｐ_０を示す。ツール番号ｎにノズル２７が付されていない場合、列７２には特定の文字列（例えばｘ）を入力する。ＣＰＵ４５は、列７２の記載内容により、選択されているツール番号ｎにノズル２７が付されているか否か、及びそのノズル２７における目標圧力Ｐ_０を読み込む。

図６（ｂ）を参照して、表５６は、ツール番号ｎ毎に設けられる。表５６は、各ノズル２７の目標圧力Ｐ_０（列７３参照）に対する下限周波数ｆ_ＭＩＮ、上限周波数ｆ_ＭＡＸをそれぞれ列７５、列７６に示す。ノズル２７の種別及び基準孔径ｄ_０によって、目標圧力Ｐ_０毎の周波数ｆの正常範囲が異なる。表５６に、ツール番号ｎに対する、目標圧力Ｐ_０毎の正常範囲が入力されることで、目標圧力Ｐ_０が例えばプログラムによって洗浄作業に応じて変更された場合にも、柔軟に圧力制御を行うことができる。

図６（ｃ）を参照して、表５７は、ツール番号ｎ毎に設けられる。列７７はデータの種類を表し、列７８はデータの値を表す。表５７は、それぞれのツール番号ｎに対する比例係数Ｋ_Ｐ、積分時間Ｔ_Ｉ、微分時間Ｔ_Ｄ、伝達関数Ｃ_１を示す。ＰＩＤパラメータ、周波数変換に係る伝達関数Ｃ_１は、ノズル２７毎に異なる値を取ることが精度向上の観点から望ましい。表５７は、ノズル２７毎にそれぞれのパラメータ（データ）を保持することで、ツール番号ｎに対応する適切な制御パラメータを利用できる。

第１変形例では、目標圧力Ｐ_０は、予め設定された洗浄の順序に応じて変化する。
このように構成すれば、ノズル毎の目標圧力Ｐ_０は、入力装置４６又は入力ポート４９からの入力に替えて、数値制御装置の数値制御プログラムからの入力が利用できる。ノズル２７毎の制御パラメータ、及び正常周波数範囲を備えているため、ツール番号ｎに対して適切なパラメータが採択できる。ツール番号ｎに設けられているノズル２７が定められている場合には、そのノズル２７毎に、目標圧力Ｐ_０に応じた制御パラメータを選択できるため、応答性の高い圧力制御を得ることができる。したがって、数値制御プログラムにプログラムされた洗浄の順序に応じて、目標圧力Ｐ_０を適宜変更した場合においても、追従性の良い圧力調整が可能である。制御方法等は前述の実施形態と同じであるため、その詳細な説明を省略する。

（第２変形例）
第２変形例では、制御パラメータは、ノズル２７の種別、ノズル２７の基準孔径ｄ_０、及び目標圧力Ｐ_０に基づいて取得されて、記憶装置５１に記憶される。
第２変形例は、ツール番号ｎに対して、ノズル２７の種別や孔径を変更した場合にも、ノズル２７の種別、ノズル２７の基準孔径ｄ_０、目標圧力Ｐ_０を設定するだけで制御可能なポンプ装置１０を提供する。なお、上記の実施形態と同一の構成については、同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。

図７は、本変形例に係る制御パラメータを示す。図７（ａ）を参照して、記憶装置５１は、各種設定値を表９６内に記憶する。表９６は、列８１のツール番号ｎに対するノズル２７の種別を列８２に、基準孔径ｄ_０［ｍｍ］を列８３に、目標圧力Ｐ_０［ＭＰａ］を列８４に収めている。ユーザは、この表９６を、タレット装置２５に取り付けたノズル２７のデータとして入力する。

図７（ｂ）を参照して、記憶装置５１は、予め使用が想定される種々のノズル２７に対応する制御パラメータを取得するための関数を表９７に準備している。列８５は、ノズル２７の種別である。ノズル２７の種別は、下向きノズル、回転ノズル、横向きノズル、スプレーランスノズル等の、ノズルの形状及び噴射方向によって分類される。列８７は、ノズル２７の種別毎の基準孔径ｄ_０、目標圧力Ｐ_０を引数とする比例係数Ｋ_Ｐの関数Ｆ_１ＫＰ、Ｆ_２ＫＰ、・・・を納めている。列８８は、基準孔径ｄ_０、目標圧力Ｐ_０を引数とする積分時間Ｔ_Ｉの関数Ｆ_１ＴＩ、Ｆ_２ＴＩ、・・・を納めている。列８９は、基準孔径ｄ_０、目標圧力Ｐ_０を引数とする微分時間Ｔ_Ｄの関数Ｆ_１ＴＤ、Ｆ_２ＴＤ、・・・を納めている。列８６は、基準孔径ｄ_０、目標圧力Ｐ_０を引数とする伝達関数Ｃ_１の関数Ｆ_１Ｃ１、Ｆ_２Ｃ１、・・・を納めている。列９１は、周波数ｆ、吐出し圧力Ｐを引数とする換算孔径ｄの関数Ｆ_ｄｎ１、Ｆ_ｄｎ２、・・・を納めている。

ＣＰＵ４５は、表９６内に入力されたノズル２７の種別に基づいて表９７の行を選択する。次いでＣＰＵ４５は、表９６に入力された基準孔径ｄ_０、目標圧力Ｐ_０を、選択した行に収められているそれぞれの関数に入力して、制御パラメータである比例係数Ｋ_Ｐ、積分時間Ｔ_Ｉ、微分時間Ｔ_Ｄ、伝達関数Ｃ_１を算出して取得する。

図７(ｃ)を参照して、表９８は、ツール番号ｎに対する各種制御パラメータの一覧表である。列９０はツール番号ｎを、列９２は比例係数Ｋ_Ｐを、列９３は積分時間Ｔ_Ｉを、列９４は微分時間Ｔ_Ｄを、列９９は伝達関数Ｃ_１をそれぞれ示している。ＣＰＵ４５は、ツール番号ｎに対して算出された比例係数Ｋ_Ｐ、積分時間Ｔ_Ｉ、微分時間Ｔ_Ｄ、伝達関数Ｃ_１のそれぞれの値を表９８に入力する。

制御装置４３のＣＰＵ４５は、表９８に入力された数値に基づいてポンプ装置１０を制御する。制御方法は上述の実施形態と同様であるため、その詳細な記載を省略する。

ＣＰＵ４５は、指令周波数ｆに対応する換算孔径ｄを列９１（図７（ｂ）の表９７参照）の関数に基づいて演算する。ここで演算した換算孔径ｄを表示装置４８に表示する。換算孔径ｄが基準孔径ｄ_０の例えば１１０％に達した場合に、ＣＰＵ４５は、警告装置４７から警告を発する。当然、この倍率は適宜変更できる。

なお、上述の実施形態のパラメータ構成、演算工程を変形してポンプ装置１０を構成することができる。例えば、上限周波数ｆ_ＭＡＸ、下限周波数ｆ_ＭＩＮは、換算孔径ｄの演算を可能とするシステムにおいては、省いても良い。そもそもノズル摩耗の警告を不要とする場合には、これらの機能を全て省くことができる。逆に、より追従性を高く追及する場合には、表５７（図６（ｃ）参照）において、列７８に、目標圧力Ｐ_０と、ノズル２７の現在の孔径の推定値である換算孔径ｄとを引数とする関数を与えることができる。このようなシステムにおいては、ノズル２７の現在の孔径の推定値である換算孔径ｄと目標圧力Ｐ_０とに対して、より適切なパラメータを利用して制御できる。

また、前記した実施形態では、ＣＰＵ４５は、吐出し特性としての吐出し圧力Ｐが目標圧力Ｐ_０に一致するように、吐出し圧力Ｐをフィードバックして永久磁石型同期電動機１６の回転速度Ｎを制御するように構成されているが、本発明はこれに限定されるものではない。容積式ポンプの吐出し圧力と吐出し流量とは所定の関係にあることから、吐出し特性として、吐出し流量が用いられてもよい。すなわち、ＣＰＵ４５は、選択されたノズル２７に対応する制御パラメータを用いて、吐出し流量が目標値に一致するように、吐出し流量をフィードバックして永久磁石型同期電動機１６の回転速度Ｎを制御するように構成されてもよい。

１０ ポンプ装置
１３ ピストンポンプ（容積式ポンプ）
１５ 吐出し口
１６ 永久磁石型同期電動機（駆動装置）
１７ インバータ（周波数変換装置）
１８ 出口
１９ 吐出し配管
２１ 圧力センサ
２２ 排出弁
２５ タレット装置（選択装置）
２６ 入口
２７ ノズル
４３ 制御装置
４５ ＣＰＵ（制御部）
４７ 警告装置
４８ 表示装置
５１ 記憶装置
Ｆ 流体
ｄ 換算孔径
ｆ 周波数
ｎ ノズル番号
Ｐ 吐出し圧力
Ｋ_Ｐ 比例係数
Ｔ_Ｉ 積分時間
Ｔ_Ｄ 微分時間

Claims (9)

1. 流体を加圧し、複数のノズルの中から選択された前記ノズルから噴出するポンプ装置であって、
   前記流体を吐き出す吐出し口を有する容積式ポンプと、
   前記容積式ポンプを駆動する回転速度可変の駆動装置と、
   前記流体の入口と複数の出口とを有し前記入口と複数の前記出口のうちのいずれか一つとを連通させる選択装置と、
   前記吐出し口と前記入口とを連通する吐出し配管と、
   前記出口に連通する前記ノズルと、
   前記駆動装置の前記回転速度を制御する制御部と、
   前記回転速度の制御に用いられる制御パラメータ、及び前記容積式ポンプの吐出し圧力又は吐出し流量である吐出し特性の目標値を、複数の前記ノズルの各々に対応して記憶する記憶装置と、
   前記吐出し配管に備えられ、前記容積式ポンプの前記吐出し特性を計測するセンサと、を備え、
   前記制御部は、前記選択装置によって選択された前記ノズルに対応する前記制御パラメータを用いて、前記吐出し特性が前記目標値に一致するように前記吐出し特性をフィードバックして前記駆動装置の前記回転速度を制御することを特徴とするポンプ装置。
2. 請求項１に記載のポンプ装置であって、
   前記吐出し配管から分岐する配管に設けられる排出弁を備え、
   前記制御部は、前記排出弁が開弁するとき、又は前記選択装置による前記ノズルの選択がないときに、前記駆動装置の前記回転速度を予め設定されたアイドリング回転速度に保つことを特徴とするポンプ装置。
3. 請求項１または請求項２に記載のポンプ装置であって、
   前記駆動装置へ供給する交流電力の周波数を変換する周波数変換装置を備え、
   前記駆動装置は交流電動機であり、
   前記制御部は、前記吐出し特性と前記目標値との偏差に基づき、前記周波数変換装置が供給する前記交流電力の前記周波数をＰＩＤ制御することを特徴とするポンプ装置。
4. 請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のポンプ装置であって、
   前記容積式ポンプは歯車ポンプ又はピストンポンプであり、
   前記駆動装置は永久磁石型同期電動機であることを特徴とするポンプ装置。
5. 請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のポンプ装置であって、
   前記ノズルに関する警告を発する警告装置を備え、
   前記駆動装置の前記回転速度が、前記選択装置によって選択された前記ノズルに対して予め設定された上限回転速度を超えるか又は前記上限回転速度以上のときに、前記警告装置は、前記選択装置によって選択された前記ノズルに関する前記警告を発することを特徴とするポンプ装置。
6. 請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のポンプ装置であって、
   情報を表示する表示装置を備え、
   前記記憶装置は、前記駆動装置の前記回転速度と前記ノズルの孔径とを関係付ける関係情報を前記ノズル毎に記憶し、
   前記制御部は、前記駆動装置の前記回転速度を取得し、取得した回転速度に相当する前記ノズルの前記孔径を前記関係情報に基づいて推定し、前記表示装置に表示させることを特徴とするポンプ装置。
7. 請求項１から請求項６のいずれか一項に記載のポンプ装置であって、
   前記制御部は、前記吐出し特性が前記目標値に一致するように前記吐出し特性をフィードバックして前記駆動装置の前記回転速度を制御するフィードバック制御とともに、前記目標値に応じて前記駆動装置の前記回転速度を制御するフィードフォワード制御を行うことを特徴とするポンプ装置。
8. 請求項１から請求項７のいずれか一項に記載のポンプ装置であって、
   前記目標値は、予め設定された洗浄の順序に応じて変化することを特徴とするポンプ装置。
9. 請求項１から請求項８のいずれか一項に記載のポンプ装置であって、
   前記制御パラメータは、前記ノズルの種別、前記ノズルの基準孔径、及び前記目標値に基づいて取得されて、前記記憶装置に記憶されることを特徴とするポンプ装置。

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