TW202338654A - 指示用程式、程式組以及描繪系統 - Google Patents
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Abstract
描繪系統7係具備設計用終端2、描繪裝置1、中間記憶部3以及指示用終端4。設計用終端2係用於圖案的設計資料之設計。描繪裝置1係根據設計用終端2所設計的設計資料來對基板上的感光材料進行圖案描繪。中間記憶部3係記憶設計用終端2所設計的設計資料。指示用終端4係用於對描繪裝置1指示描繪處理。在描繪系統7中實施下述工序：在指示用終端4中執行指示用程式，藉此從中間記憶部3獲取用於描繪的一個設計資料；根據該一個設計資料作成表示描繪裝置1應執行的描繪處理的內容之描繪指示資訊；以及從指示用終端4將該描繪指示資訊發送至描繪裝置1。藉此，能提高圖案描繪的效率。
Description
本發明係關於一種對基板進行描繪的描繪系統、在該描繪系統中使用的指示用程式以及程式組。
[相關申請案的參照]
本申請案係主張2022年3月24日申請的日本專利申請案JP2022-047871的優先權的利益，且日本專利申請案JP2022-047871的全部揭示皆併入本申請案中。
以往，藉由對半導體基板、印刷基板或者用於有機EL(electroluminescence；電致發光)顯示裝置或液晶顯示裝置用的玻璃基板等(以下稱為「基板」)所形成的感光材料照射光從而描繪圖案(pattern)。
在日本特開2015-153213號公報(文獻1)中，揭示了該圖案描繪的處理的一例。在文獻1的圖案描繪系統中，首先，作成以向量格式記述的圖案的設計資料，之後將該設計資料轉換為柵格(raster)格式的描繪資料。並且，在描繪裝置中，根據該描繪資料對基板上的感光材料照射光從而描繪圖案。
而且，在圖案描繪的處理中，在設計資料的作成處理與從設計資料向描繪資料的轉換處理之間實施選擇描繪中使用的描繪裝置或者根據設計資料設定描繪參數等操作。描繪參數係表示例如根據基板上的感光材料的種類等而確定的描繪裝置應執行的描繪處理的內容。
然而，如上所述，當依序經過設計資料的作成處理、描繪裝置的選擇處理與描繪參數的設定處理以及從設計資料向描繪資料的轉換處理來描繪圖案時，任何處理都可能成為瓶頸，使得圖案描繪的效率下降。
本發明係著眼於一種描繪系統中使用的指示用程式，目的在於提高圖案描繪的效率。
本發明的較佳的一形態中之描繪系統係使用指示用程式，並具備：設計用終端，係用於圖案的設計資料之設計；描繪裝置，係根據前述設計用終端所設計的設計資料對基板上的感光材料進行圖案描繪；中間記憶部，係與前述設計用終端可通訊地連接，且記憶前述設計用終端所設計的設計資料；以及指示用終端，係與前述中間記憶部以及前述描繪裝置可通訊地連接，且用於對前述描繪裝置指示描繪處理。藉由使前述指示用終端執行前述指示用程式，從而實施：工序a，係從前述中間記憶部獲取用於描繪的一個設計資料；工序b，係根據一個前述設計資料作成表示前述描繪裝置應執行的描繪處理的內容之描繪指示資訊；以及工序c，係從前述指示用終端將前述描繪指示資訊發送至前述描繪裝置。
根據上述指示用程式，能提高圖案描繪的效率。
較佳為，前述描繪系統係具備：複數個描繪裝置，係包含前述描繪裝置。於前述指示用終端預先記憶著參數資訊，前述參數資訊係表示描繪裝置以及感光材料的複數個組合與分別對應於複數個前述組合的複數個描繪參數的關係。藉由使前述指示用終端執行前述指示用程式，從而實施：工序d，係在前述工序b之前，從複數個前述描繪裝置中選擇預定要在前述工序c中被發送前述描繪指示資訊的一個描繪裝置；工序e，係在前述工序d與前述工序b之間，從前述參數資訊提取一個描繪參數，一個前述描繪參數係與要由一個前述描繪裝置進行描繪之預定的基板上的感光材料即使用感光材料以及一個前述描繪裝置對應。在前述工序b中，使在前述工序e中提取的一個前述描繪參數包含在前述描繪指示資訊中。
較佳為，表示前述使用感光材料的資訊係包含在前述工序a中從前述中間記憶部獲取的一個前述設計資料中。
較佳為，在複數個前述描繪裝置中的一個描繪裝置中，當獲取了與新的感光材料對應的新的描繪參數時，前述新的描繪參數係被發送至前述指示用終端，且與一個前述描繪裝置以及前述新的感光材料對應地包含在前述參數資訊中。
本發明亦著眼於一種用於描繪系統中的程式組。本發明的較佳的一形態的描繪系統係使用程式組，並具備：設計用終端，係用於圖案的設計資料之設計；描繪裝置，係根據前述設計用終端所設計的設計資料對基板上的感光材料進行圖案描繪；中間記憶部，係與前述設計用終端可通訊地連接，且記憶前述設計用終端所設計的設計資料；以及指示用終端，係與前述中間記憶部以及前述描繪裝置可通訊地連接，且用於對前述描繪裝置指示描繪處理。前述程式組係具備：設計用程式，係用於供前述設計用終端設計出設計資料；以及前述指示用程式。
本發明亦著眼於一種用於對基板描繪圖案的描繪系統。本發明的較佳的一形態的描繪系統係具備：設計用終端，係用於圖案的設計資料之設計；描繪裝置，係根據前述設計用終端所設計的設計資料對基板上的感光材料進行圖案描繪；中間記憶部，係與前述設計用終端可通訊地連接，且記憶前述設計用終端所設計的設計資料；以及指示用終端，係與前述中間記憶部以及前述描繪裝置可通訊地連接，且用於對前述描繪裝置指示描繪處理。前述指示用終端係從前述中間記憶部獲取用於描繪的一個設計資料，根據一個前述設計資料作成表示前述描繪裝置應執行的描繪處理的內容之描繪指示資訊，並將描繪指示資訊發送至前述描繪裝置。
關於上述目的、其他目的、特徵、形態以及優點，係藉由根據以下參照隨附圖式對本發明所作的詳細說明而明瞭。
圖1係表示本發明的一實施形態中的描繪系統7的構成的圖。描繪系統7為用以對基板進行圖案描繪之系統。
描繪系統7係具備描繪裝置1、設計用終端2、中間記憶部3以及指示用終端4。描繪裝置1為直接描繪裝置，用以將經過空間調變的大致光束狀的光照射至基板上的感光材料，使該光的照射區域在基板上掃描，藉此進行圖案描繪。在圖1所示的例子中，描繪系統7係具備複數個描繪裝置1。設計用終端2係用於該圖案的設計資料之設計。設計資料係例如為向量格式的CAD(computer aided design；電腦輔助設計)資料。中間記憶部3係暫時記憶設計用終端2所設計的設計資料。中間記憶部3中通常記憶有複數個設計資料。
指示用終端4係用於對描繪裝置1指示描繪處理。具體而言，指示用終端4係從中間記憶部3獲取要用於描繪圖案之預定的一個設計資料，並且從上述複數個描繪裝置1選擇要用於描繪圖案之預定的一個描繪裝置1。接著，指示用終端4係根據該一個設計資料作成表示該一個描繪裝置1應執行的描繪處理的內容之描繪指示資訊。之後，指示用終端4係將該描繪指示資訊與上述一個設計資料一同發送至所選擇的上述一個描繪裝置1。關於描繪指示資訊的詳細情況將於下文敘述。該一個描繪裝置1係根據設計用終端2所設計的上述一個設計資料以及指示用終端4所作成的上述描繪指示資訊對基板9進行描繪。
在描繪系統7中，設計用終端2、中間記憶部3以及指示用終端4係利用例如通常的電腦。在圖1所示的例子中，指示用終端4係設置在設計部門81，設計部門81係進行圖案設計的業務。另一方面，指示用終端4以及描繪裝置1係設置在製造部門82，製造部門82係對基板進行描繪圖案的業務。在圖1中，以二點鏈線表示設計部門81以及製造部門82。製造部門82係例如位於與設計部門81不同的建築內。中間記憶部3係可設置在設計部門81，亦可設置在製造部門82，還可設置在設計部門81以及製造部門82以外的場所。中間記憶部3係與設計用終端2以及指示用終端4以有線或者無線的方式可通訊地連接。指示用終端4係與中間記憶部3以及描繪裝置1以有線或者無線的方式可通訊地連接。再者，設計用終端2、中間記憶部3、指示用終端4以及描繪裝置1的設置場所亦可適當變更。
圖2係表示一台描繪裝置1的立體圖。其他的描繪裝置1的構造亦與圖2所示的構造大致相同。圖2中，將彼此正交的三個方向作為X方向、Y方向以及Z方向並以箭頭表示。圖2所示的例子中，X方向以及Y方向係彼此垂直的水平方向，Z方向係鉛直方向。
描繪裝置1係具備台(stage)121、台移動機構122、描繪部14、資料生成裝置15以及控制部16。台121為大致平板狀的基板保持部，用以在描繪部14的下方(亦即(-Z)側)從下側保持處於水平狀態的基板9。基板9係例如為當俯視時呈大致矩形狀的板狀部件。基板9係例如為印刷配線基板。台121係例如為真空夾具，用以吸附基板9的下表面並進行保持。台121亦可具有真空夾具以外的構造。載置於台121上的基板9的上表面91係與Z方向大致垂直，且與X方向以及Y方向大致平行。
台移動機構122為移動機構，用以使台121相對於描繪部14在水平方向(亦即與基板9的上表面91大致平行的方向)相對性地移動。台移動機構122係具備第一移動機構123以及第二移動機構124。第二移動機構124係使台121沿導軌在X方向上線性移動。第一移動機構123係使台121與第二移動機構124一同沿導軌在Y方向上線性移動。第一移動機構123以及第二移動機構124的驅動源係例如為線性伺服馬達或者在滾珠螺桿上安裝馬達而成。第一移動機構123以及第二移動機構124的構造亦可實施各種變更。
在描繪裝置1中亦可設置台旋轉機構，用以使台121以沿Z方向延伸的旋轉軸為中心而旋轉。而且，亦可在描繪裝置1設置台升降機構，用以使台121在Z方向上移動。作為台旋轉機構，例如可利用伺服馬達。作為台升降機構，例如可利用線性伺服馬達。台旋轉機構以及台升降機構的構造亦可實施各種變更。
描繪部14係具備排列在X方向以及Y方向上的複數個(圖2所示的例子中為五個)的描繪頭141。各描繪頭141係具備省略圖示的光源、光學系統以及空間光調變元件。各描繪頭141係藉由跨及台121以及台移動機構122而設置的攝像頭支撐部140而支撐在台121以及台移動機構122的上方。再者，描繪部14的描繪頭141的數量可為一個，亦可為複數個。
在描繪裝置1中，一邊從描繪部14的複數個描繪頭141將經過調變(亦即經過空間光調變)的光照射至基板9的上表面91上，一邊利用台移動機構122使基板9在Y方向上移動。藉此，複數個描繪頭141發出的光的照射區域係在基板9上沿Y方向掃描，從而對基板9進行圖案描繪。以下的說明中，Y方向亦稱為「掃描方向」。台移動機構122為掃描機構，用以使各描繪頭141發出的光的照射區域在基板9上沿掃描方向移動。
在描繪裝置1中，對基板9的描繪係以所謂單程(single pass)(單向(one pass))方式進行。具體而言，利用台移動機構122使台121在Y方向上相對於複數個描繪頭141相對移動，複數個描繪頭141發出的光的照射區域係在基板9的上表面91上沿Y方向(亦即掃描方向)進行掃描一次。藉此，完成對基板9的描繪。再者，在描繪裝置1中，亦可採用使台121反復在Y方向移動以及在X方向步階移動(step shift)的多程(multi pass)方式來對基板9進行描繪。再者，當描繪裝置1中實施多程方式的描繪時，Y方向為主掃描方向，X方向為副掃描方向。而且，台移動機構122的第一移動機構123為主掃描機構，用以使台121沿主掃描方向移動；第二移動機構124為副掃描機構，用以使台121沿副掃描方向移動。
資料生成裝置15係將從指示用終端4(參照圖1)發送的向量格式的設計資料予以轉換並生成柵格格式的描繪資料。而且，在資料生成裝置15中，當生成描繪資料時，根據要描繪圖案之預定的基板9的變形等而進行應變校正。在描繪系統7中，資料生成裝置15係利用例如通常的電腦。
控制部16係根據資料生成裝置15所生成的描繪資料以及指示用終端4所作成的描繪指示資訊而控制台移動機構122以及描繪部14等，且對基板9執行圖案描繪。描繪指示資訊為包含描繪條件(以下亦稱為「描繪參數」)之資訊，該描繪條件係例如設定為：當配合供描繪圖案的基板9上的感光材料的種類以及用於進行圖案描繪之預定的描繪裝置1所固有的特性等由該描繪裝置1對該感光材料描繪圖案時，能較佳地執行描繪處理。描繪參數係例如包含從各描繪頭141射出的光的強度等。而且，當各描繪頭141設有射出波長彼此不同的光的複數個光源時，描繪指示資訊係包含例如從該複數個光源射出的光的強度比等。在描繪系統7中，作為控制部16係例如使用通常的電腦。
圖3係表示設計用終端2的構成的圖。設計用終端2為通常的電腦，具備處理器201、記憶體202、輸入輸出部203以及匯流排204。匯流排204為訊號電路，用以連接處理器201、記憶體202以及輸入輸出部203。記憶體202係記憶各種資訊。記憶體202係例如將記憶媒體208中預先記憶的設計用程式209讀出並進行記憶。記憶媒體208例如為USB(universal serial bus；通用序列匯流排)記憶體、CD-ROM(Compactdisc Read-Only Memory；唯讀光碟記憶體)。設計用程式209係包含具有多種CAD資料編輯功能的CAM(computer-aided manufacturing；電腦輔助製造)軟體。
處理器201係根據記憶體202中記憶的設計用程式209等，利用記憶體202等執行各種處理(例如數值計算、圖像處理)。輸入輸出部203係具備：鍵盤205以及滑鼠206，係接受操作人員所作的輸入；以及顯示器207，係顯示出來自處理器201的輸出等。操作人員係利用設計用終端2上執行的CAM軟體等，作成上述向量格式的設計資料。該設計資料係經由設計用終端2的輸入輸出部203等而發送至中間記憶部3(參照圖1)，且存儲於中間記憶部3。如上所述，在中間記憶部3中記憶有設計用終端2所作成的複數個設計資料。
圖4係表示指示用終端4的構成的圖。指示用終端4為通常的電腦，具備處理器401、記憶體402、輸入輸出部403以及匯流排404。匯流排404為訊號電路，用以連接處理器401、記憶體402以及輸入輸出部403。記憶體402係記憶各種資訊。記憶體402係例如將記憶媒體408中預先記憶的指示用程式409讀出並進行記憶。記憶媒體408係例如為USB記憶體、CD-ROM。以下的說明中，亦可將指示用程式409、供設計用終端2設計出設計資料的上述設計用程式209一併稱為「程式組」。
處理器401係根據記憶體402中記憶的指示用程式409等，利用記憶體402等執行各種處理(例如數值計算、圖像處理)。輸入輸出部403係具備：鍵盤405以及滑鼠406，係接受操作人員所作的輸入；以及顯示器407，係顯示出來自處理器401的輸出等。操作人員係利用指示用終端4執行的指示用程式409所提供的功能對上述描繪裝置1指示描繪處理。
圖5係表示藉由在指示用終端4中執行指示用程式409而實現的功能的塊圖。圖5中，亦表示出指示用終端4以外的構成。指示用終端4係具備記憶部41、裝置選擇部42、資訊作成部43以及指示輸出部44。
記憶部41係主要由記憶體402(參照圖4)實現，記憶與描繪系統7中的圖案描繪相關的各種資訊。記憶部41係記憶例如中間記憶部3中記憶的複數個設計資料中的被操作人員選擇之一個設計資料(以下亦稱為「被選擇設計資料」)。而且，記憶部41係記憶用於對描繪裝置1進行指示的參數資訊411。
圖6係表示參數資訊411的具體例的圖。參數資訊411係表示描繪裝置1以及感光材料的複數個組合與分別與該複數個組合對應的複數個描繪參數的關係之資料庫。圖6所示的例子中，左起第1行(column)的各欄中記載著描繪裝置1的識別符，左起第2行的各欄中記載著感光材料的種類。而且，左起第3行的各欄中記載著與該欄左側所記載的描繪裝置1的識別符以及感光材料的種類的組合對應之描繪參數。描繪裝置1的識別符係指用以從其他的描繪裝置1識別出該描繪裝置1之名稱、符號或者數值。描繪參數係包含例如從與該識別符對應的描繪裝置1中的各描繪頭141所射出的光的強度以及從描繪頭141中的波長不同的複數個光源射出的光的強度比等。再者，圖6所示的例子中，參數資訊411係以表格格式表示，但並不限於此。參數資訊411亦可以表格格式以外的格式記憶在記憶部41。
裝置選擇部42係主要由處理器401(參照圖4)實現，且從複數個描繪裝置1中選擇要用於描繪圖案之預定的一個描繪裝置1。裝置選擇部42對一個描繪裝置1的選擇係例如藉由操作人員經輸入輸出部403進行輸入而實施。或者，裝置選擇部42對一個描繪裝置1的選擇亦可根據監視複數個描繪裝置1的工作狀態之監視系統的輸出而自動實施。具體而言，利用該監視系統指定出當前正執行的圖案描繪最早結束的一個描繪裝置1，且將該描繪裝置1的識別號等發送至指示用終端4。裝置選擇部42係選擇藉由該識別號等特定的一台描繪裝置1作為要用於描繪圖案之預定的描繪裝置1。
資訊作成部43係主要由處理器401實現，且從上述參數資訊411提取一個描繪參數。具體而言，資訊作成部43係從圖6所示的參數資訊411的複數個描繪參數提取一個描繪參數，該一個描繪參數係與裝置選擇部42所選擇的一個描繪裝置1(以下亦稱為「被選擇描繪裝置1」)的識別符以及要供被選擇描繪裝置1進行描繪之預定的基板9上的感光材料(以下亦稱為「使用感光材料」)的種類對應。表示使用感光材料的種類的資訊(例如使用感光材料的名稱等)係例如包含在記憶部41所記憶的被選擇設計資料中。再者，表示使用感光材料的種類的資訊亦可藉由操作人員經輸入輸出部403輸入。資訊作成部43係作成包含從參數資訊411提取的上述一個描繪參數的描繪指示資訊。描繪指示資訊中亦可包含描繪參數以外的各種資訊。該描繪參數以外的資訊係例如為設計資料中所含的資訊以及／或者根據該設計資料作成的資訊等。
指示輸出部44係主要由處理器401實現，且將資訊作成部43所作成的上述描繪指示資訊與上述被選擇設計資料一同經輸入輸出部403而發送至被選擇描繪裝置1。
在被選擇描繪裝置1中，藉由資料生成裝置15(參照圖2)轉換向量格式的被選擇設計資料且生成柵格格式的描繪資料。並且，藉由控制部16，根據該描繪資料以及上述描繪指示資訊而控制台移動機構122以及描繪部14等對基板9進行圖案描繪。在該圖案的描繪中，由於應用適於被選擇描繪裝置1以及使用感光材料的描繪參數，因此能實現較佳的圖案描繪。
圖7係表示指示用終端4的處理流程的流程圖。在指示用終端4中執行上述指示用程式409，藉此首先從中間記憶部3(參照圖1)獲取用於描繪圖案的一個設計資料(亦即被選擇設計資料)並存儲於記憶部41(步驟S11)。接著，藉由裝置選擇部42(參照圖5)，從複數個描繪裝置1中選擇要用於描繪圖案之預定的一個描繪裝置1(亦即被選擇描繪裝置1)(步驟S12)。再者，步驟S12係可與步驟S11並行地進行，亦可在步驟S11之後進行。
步驟S12結束後，藉由資訊作成部43(參照圖5)從參數資訊411提取出一個描繪參數，該一個描繪參數係與被選擇描繪裝置1的識別符以及被選擇設計資料中所含的使用感光材料的種類對應(步驟S13)。步驟S13結束後，藉由資訊作成部43作成包含步驟S13中提取的一個描繪參數的描繪指示資訊(步驟S14)。亦即，步驟S14中，描繪指示資訊係根據被選擇描繪裝置1以及被選擇設計資料而作成。之後，藉由指示輸出部44(參照圖5)，從指示用終端4將描繪指示資訊以及被選擇設計資料發送至被選擇描繪裝置1 (步驟S15)。如上所述，在被選擇描繪裝置1中，根據描繪指示資訊以及被選擇設計資料較佳地描繪圖案。
在描繪系統7中，當以不包含在參數資訊411中的感光材料與描繪裝置1的組合來進行圖案描繪時，在對產品用的基板9進行圖案描繪之前，由該描繪裝置1對試驗用的基板9進行圖案描繪，獲取與上述組合對應的新的描繪參數。具體而言，在該描繪裝置1中，一邊變更從各描繪頭141射出的光的強度以及從描繪頭141中波長不同的複數個光源射出的光的強度比等，一邊對試驗用的基板9反復描繪圖案，獲取合適的光的強度、強度比。
在描繪裝置1中，當獲取與新的感光材料對應的新的描繪參數後，如圖5中箭頭所示，從描繪裝置1將該新的描繪參數發送至指示用終端4。例如，在描繪裝置1中設置用於發送新的描繪參數的發送按鈕，由操作人員操作該發送按鈕，藉此將描繪裝置1中設定的上述光的強度、強度比等作為新的描繪參數發送至指示用終端4。在指示用終端4中，描繪裝置1所發送的該新的描繪參數係與該描繪裝置1以及新的感光材料對應地追加至記憶部41所記憶的參數資訊411中。再者，上述新的描繪參數並無須一定要從描繪裝置1發送至指示用終端4，亦可由操作人員手動將該新的描繪參數追加至參數資訊411中。
如以上所說明般，描繪系統7係具備設計用終端2、描繪裝置1、中間記憶部3以及指示用終端4。設計用終端2係用於圖案的設計資料之設計。描繪裝置1係根據設計用終端2所設計的設計資料而對基板9上的感光材料進行圖案描繪。中間記憶部3係與設計用終端2可通訊地連接，且記憶設計用終端2所設計的設計資料。指示用終端4係與中間記憶部3以及描繪裝置1可通訊地連接，且用於對描繪裝置1指示描繪處理。
指示用程式409係用於上述描繪系統7中。在描繪系統7中實施下述工序：由指示用終端4執行指示用程式409，藉此從中間記憶部3獲取用於描繪的一個設計資料(亦即被選擇設計資料)(步驟S11)；根據該一個設計資料作成表示描繪裝置1應執行的描繪處理的內容之描繪指示資訊(步驟S14)；以及從指示用終端4將該描繪指示資訊發送至描繪裝置1(步驟S15)。
如此，在指示用終端4中，根據中間記憶部3中記憶的設計資料而作成描繪指示資訊，藉此能與設計用終端2中設計資料的設計獨立地執行描繪指示資訊的作成。因此，不管設計用終端2中設計資料的設計進展如何，皆能推進描繪指示資訊的作成，且能將所作成的描繪指示資訊發送至描繪裝置1。結果，能提高描繪系統7中圖案描繪的效率。而且，在描繪系統7中，由於指示用終端4不進行設計資料的編輯等，因此指示用程式409中無需包含價格較高的上述CAM軟體。因此，能降低描繪系統7的導入成本。
如上所述，描繪系統7中使用的程式組係包含上述指示用程式409以及設計用程式209，設計用程式209係供設計用終端2進行設計資料之設計。藉此，如上所述，能提高描繪系統7中圖案描繪的效率。而且，亦能降低描繪系統7的導入成本。
較佳為，描繪系統7係具有：複數個描繪裝置1，係包含上述描繪裝置1。而且較佳為，於指示用終端4中預先記憶有參數資訊411，該參數資訊411係表示描繪裝置1以及感光材料的複數個組合與分別對應於該複數個組合的複數個描繪參數的關係。並且較佳為，在指示用終端4中執行指示用程式409，藉此在步驟S14之前實施下述工序：從複數個描繪裝置1中選擇要在步驟S15中被發送描繪指示資訊之預定的一個描繪裝置1(亦即被選擇描繪裝置1)(步驟S12)；以及在步驟S12與步驟S14之間，從參數資訊411提取一個描繪參數，該一個描繪參數係與預定要供該一個描繪裝置1進行描繪的基板9上的感光材料即使用感光材料以及該一個描繪裝置對應(步驟S13)。進而較佳為，在步驟S14中，使步驟S13中提取的該一個描繪參數包含在描繪指示資訊中。
藉此，能使合適的描繪參數包含在描繪指示資訊中的操作簡化，從而縮短該操作所需的時間，並且還能提高操作的準確性。而且，在上述描繪系統7中，步驟S13中描繪參數的提取以及步驟S14中描繪指示資訊的作成係由資訊作成部43自動進行。藉此，與由操作人員手動實施步驟S13至步驟S14的情況不同，能防止發生人為失誤，從而提高描繪指示資訊的準確性。
如上所述，較佳為，步驟S11中從中間記憶部3獲取的上述一個設計資料中含有表示上述使用感光材料的資訊。藉此，即便使用感光材料的特性等變更，只要指示用終端4中配合使用感光材料的變更後的特性等而修正與參數資訊411中所含的該使用感光材料對應的描繪參數，便能使描繪裝置1實現較佳的圖案描繪。該情況下，由於在設計用終端2中不會產生用於變更使用感光材料的特性等而進行的操作，因此能進一步提高描繪系統7中圖案描繪的效率。
如上所述，較佳為，在複數個描繪裝置1中的一個描繪裝置1中，當獲得與新的感光材料對應的新的描繪參數時，該新的描繪參數係被發送至指示用終端4，且與該一個描繪裝置1以及該新的感光材料對應地包含在參數資訊411中。藉此，能使參數資訊411的更新簡化。結果，能進一步提高描繪系統7中圖案描繪的效率。
如上所述，用以對基板9進行圖案描繪之描繪系統7係具備設計用終端2、描繪裝置1、中間記憶部3以及指示用終端4。設計用終端2係用於圖案的設計資料之設計。描繪裝置1係根據設計用終端2所設計的設計資料而對基板9上的感光材料進行圖案描繪。中間記憶部3係與設計用終端2可通訊地連接，且記憶設計用終端2所設計的設計資料。指示用終端4係與中間記憶部3以及描繪裝置1可通訊地連接，且用於對描繪裝置1指示描繪處理。指示用終端4係從中間記憶部3獲取用於描繪的一個設計資料(亦即被選擇設計資料)，且根據該一個設計資料作成表示描繪裝置1應執行的描繪處理的內容之描繪指示資訊，且將該描繪指示資訊發送至描繪裝置1。藉此，與上述同樣，能提高描繪系統7中圖案描繪的效率。而且，亦能降低描繪系統7的導入成本。
在上述指示用程式409、程式組以及描繪裝置1中可實施各種變更。
例如，在步驟S13中從參數資訊411提取描繪參數時，不一定需要由資訊作成部43自動進行，亦可由操作人員目視參數資訊411，手動選擇一個描繪參數而從參數資訊411中提取。
在描繪系統7中，設計用終端2、中間記憶部3以及指示用終端4的設置位置亦可進行各種變更。例如，設計用終端2、中間記憶部3以及指示用終端4亦可設在一個部門。
描繪系統7中所設的描繪裝置1的數量亦可為一台。該情況下，指示用終端4中記憶的參數資訊411為表示複數個感光材料與複數個描繪參數的對應關係之資訊。而且，描繪系統7係可具備複數個設計用終端2，亦可具備複數個指示用終端4。
在描繪系統7中，中間記憶部3中記憶的設計資料的數量可為一個，亦可為兩個以上。
上述程式組亦可在後期導入至不具備該程式組的既有的描繪系統中。而且，指示用程式409亦可在後期導入至導入有設計用程式209的既有的描繪系統中。
基板9並未限定於印刷配線基板。在描繪裝置1中，亦可對例如半導體基板、液晶顯示裝置或者有機EL顯示裝置等的平板顯示裝置用的玻璃基板、光罩用的玻璃基板、太陽電池面板用的基板等進行描繪。
上述實施形態以及各變形例中的構成可在不相互矛盾的條件下適當組合。
以上已詳細描述並說明了發明，但所作的說明僅為例示，並不具限定性。因此，可在不脫離本發明範圍的情況下採用各種變形或者形態。
1:描繪裝置(被選擇描繪裝置)
2:設計用終端
3:中間記憶部
4:指示用終端
7:描繪系統
9:基板
14:描繪部
15:資料生成裝置
16:控制部
41:記憶部
42:裝置選擇部
43:資訊作成部
44:指示輸出部
81:設計部門
82:製造部門
91:上表面
121:台
122:台移動機構
123:第一移動機構
124:第二移動機構
140:攝像頭支撐部
141:描繪頭
201,401:處理器
202,402:記憶體
203,403:輸入輸出部
204,404:匯流排
205,405:鍵盤
206,406:滑鼠
207,407:顯示器
208,408:記憶媒體
209:設計用程式
409:指示用程式
411:參數資訊
S11至S15:步驟
[圖1]係表示一實施形態中的描繪系統的構成的圖。
[圖2]係表示描繪裝置的立體圖。
[圖3]係表示設計用終端的構成的圖。
[圖4]係表示指示用終端的構成的圖。
[圖5]係表示指示用終端的功能的塊圖。
[圖6]係表示參數資訊的具體例的圖。
[圖7]係表示指示用終端的處理流程的流程圖。
1:描繪裝置(被選擇描繪裝置)
2:設計用終端
3:中間記憶部
4:指示用終端
7:描繪系統
81:設計部門
82:製造部門
Claims (6)
- 一種指示用程式，係用於描繪系統中，前述描繪系統係具備：設計用終端，係用於圖案的設計資料之設計；描繪裝置，係根據前述設計用終端所設計的設計資料對基板上的感光材料進行圖案描繪；中間記憶部，係與前述設計用終端可通訊地連接，且記憶前述設計用終端所設計的設計資料；以及指示用終端，係與前述中間記憶部以及前述描繪裝置可通訊地連接，且用於對前述描繪裝置指示描繪處理； 前述指示用程式係藉由使前述指示用終端執行前述指示用程式從而實施： 工序a，係從前述中間記憶部獲取用於描繪的一個設計資料； 工序b，係根據一個前述設計資料作成表示前述描繪裝置應執行的描繪處理的內容之描繪指示資訊；以及 工序c，係從前述指示用終端將前述描繪指示資訊發送至前述描繪裝置。
- 如請求項1所記載的指示用程式，其中前述描繪系統係具備：複數個描繪裝置，係包含前述描繪裝置； 於前述指示用終端中預先記憶著參數資訊，前述參數資訊係表示描繪裝置以及感光材料的複數個組合與分別對應於複數個前述組合的複數個描繪參數的關係； 藉由使前述指示用終端執行前述指示用程式，從而實施： 工序d，係在前述工序b之前，從複數個前述描繪裝置中選擇要在前述工序c中被發送前述描繪指示資訊之預定的一個描繪裝置；以及 工序e，係在前述工序d與前述工序b之間，從前述參數資訊提取一個描繪參數，一個前述描繪參數係與要由一個前述描繪裝置進行描繪之預定的基板上的感光材料即使用感光材料以及一個前述描繪裝置對應； 在前述工序b中，使前述工序e中提取的一個前述描繪參數包含在前述描繪指示資訊中。
- 如請求項2所記載的指示用程式，其中表示前述使用感光材料之資訊係包含在前述工序a中從前述中間記憶部獲取的一個前述設計資料中。
- 如請求項2所記載的指示用程式，其中在複數個前述描繪裝置中的一個描繪裝置中，當獲取了與新的感光材料對應的新的描繪參數時，前述新的描繪參數係被發送至前述指示用終端，且與一個前述描繪裝置以及前述新的感光材料對應地包含在前述參數資訊中。
- 一種程式組，係用於描繪系統中，前述描繪系統係具備：設計用終端，係用於圖案的設計資料之設計；描繪裝置，係根據前述設計用終端所設計的設計資料對基板上的感光材料進行圖案描繪；中間記憶部，係與前述設計用終端可通訊地連接，且記憶前述設計用終端所設計的設計資料；以及指示用終端，係與前述中間記憶部以及前述描繪裝置可通訊地連接，且用於對前述描繪裝置指示描繪處理； 前述程式組係具備： 設計用程式，係用於供前述設計用終端設計出設計資料；以及 如請求項1至4中任一項所記載的指示用程式。
- 一種描繪系統，係對基板進行圖案描繪，前述描繪系統係具備： 設計用終端，係用於圖案的設計資料之設計； 描繪裝置，係根據前述設計用終端所設計的設計資料對基板上的感光材料進行圖案描繪； 中間記憶部，係與前述設計用終端可通訊地連接，且記憶前述設計用終端所設計的設計資料；以及 指示用終端，係與前述中間記憶部以及前述描繪裝置可通訊地連接，且用於對前述描繪裝置指示描繪處理； 前述指示用終端係從前述中間記憶部獲取用於描繪的一個設計資料，根據一個前述設計資料作成表示前述描繪裝置應執行的描繪處理的內容之描繪指示資訊，並將前述描繪指示資訊發送至前述描繪裝置。
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