TW202313821A - 具有全氟化熱塑性填料之氟彈性體 - Google Patents

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Abstract

說明一種含有至少25重量百分比之全氟化熱塑性填料的氟彈性體。全氟化熱塑性填料包含具有10至250奈米之第一d50粒徑的第一全氟化熱塑性填料、以及具有5至500微米之第二d50粒徑的第二全氟化熱塑性填料。第一熱塑性填料可獲得自乳膠，而第二熱塑性填料可獲得作為乾燥粉末。亦說明製作此等材料之方法及由其等製備之固化物品。

Description

具有全氟化熱塑性填料之氟彈性體
本揭露係關於含有全氟化熱塑性填料之氟彈性體。該等填料具有一多峰粒徑分布，從而允許更高的裝載位準及改良性質。亦描述由此類組成物製備之物品。
簡言之，在一態樣中，本揭露提供一種組成物，其包含可固化氟彈性體及全氟化熱塑性填料，以該全氟彈性體與該等全氟化熱塑性填料之總重量計，該全氟化熱塑性填料為至少25重量%；其中，該等全氟化熱塑性填料包含第一全氟化熱塑性填料以及第二全氟化熱塑性填料，該第一全氟化熱塑性填料具有根據乳膠尺寸測定程序測量為10至250奈米之第一d50粒徑，該第二全氟化熱塑性填料具有根據粉末尺寸測定程序測量為5至500微米米之第二d50粒徑。
在其他態樣中，本揭露提供製備此類組成物之方法及由此類組成物製備之固化物品。
本揭露之上述發明內容並非意欲說明本發明之各實施例。本發明的一或多個實施例的細節也會在以下說明中提出。經由實施方式及申請專利範圍，本發明之其他特徵、目的、以及優點將顯而易見。
氟彈性體，尤其是全氟彈性體，提供對半導體產業而言極重要的潔淨度且不會造成汙染，同時在侵蝕性介質中維持密封之功能性。需要對「濕式」製程化學(亦即，酸、鹼、胺基剝離劑等)具有耐受性的應用包括蝕刻、沖洗、清潔、剝除及鍍銅。需要對「乾式」製程化學(例如，氣體、反應性電漿、用於腔室清潔之電漿等)具有耐受性的應用包括蝕刻、灰化、化學氣相沉積、高密度電漿化學氣相沉積及電漿增強化學氣相沉積。需要熱耐受性的應用包括低壓化學氣相沉積(LPCVD)、氧化、擴散爐、照射退火及快速熱處理(RTP)。(S.Wang and J.M.Legare,Journal of Fluorine Chemistry 122(2003)113-119)。
當氟彈性體組成物包括半結晶氟塑膠粒子填料時，例如聚四氟乙烯(PTFE)或全氟烷氧基烷烴(PFA)之微米粒子或奈米粒子，會有良好物理特性、良好電漿耐受性及極佳純度。對半導體應用而言，此類系統亦有助於避免金屬微粒和汙染，其改善程度比具有無機填料(例如金屬氧化物)之氟彈性體還高。許多研究已嘗試增加氟彈 性體化合物中之PFA含量，以進一步改良其特性，例如電漿耐受性；然而，由於可加工性差及不良的壓縮永久變形抗性，例如，在測試期間出現O型環撕裂或斷裂，PFA的填充量已被限制至以氟彈性體與PFA的重量計約20重量%。
令人驚訝地，本發明人發現藉由結合PFA乳膠摻合物及乾式PFA研磨摻合物技術，可達成含有大於25重量%(例如至少30重量%或甚至至少35重量%)之PFA的氟彈性體組成物。
概括來說，本揭露案之組成物包含未固化氟彈性體，有時稱之為膠(gum)。未固化氟彈性體並無特別之限制，並且同時包括高度氟化彈性體(包括全氟彈性體)及部分氟化彈性體。
如本文中所使用，「高度氟化(highly fluorinated)」聚合物係一種聚合物，其聚合物主鏈之至少90莫耳%，例如至少95或甚至至少99莫耳%的氫原子已被氟原子置換。在一些實施例中，其聚合物主鏈之0至20莫耳%，例如5至15莫耳%之氫原子可經氯原子置換。在一些實施例中，此等高度氟化聚合物可包括一或多個含氫端基團或側接基團，其不被視為聚合物主鏈之部分。
在一些實施例中，該高度氟化彈性體係四氟乙烯(TFE)及一或多種全氟化共單體之共聚物。在一些實施例中，至少一種全氟化共單體係全氟烷基乙烯基醚(PAVE)，包括全氟烷基烷氧基乙烯基醚。適合之PAVE包括全氟甲基乙烯基醚(PMVE)、全氟乙基乙烯基醚(PEVE)、及全氟丙基乙烯基醚(PPVE-1及PPVE-2)。例示性的全氟烷基烷氧基乙烯基醚包括全氟-3-甲氧基丙基乙烯基醚、 CF2=CFOCF2OCF3、CF2=CFOCF2O CF2CF3、CF2=CFOCF2OCF2CF2OCF3、CF2=CFOCF2CF2OCF2OCF2OCF3、CF2=CFOCF2CF2OCF2OCF2OCF3，及CF2=CFOCF2CF2OCF2OCF2OCF2OCF2OCF3。在一些實施例中，至少一種全氟化共單體係全氟烷基烯丙基醚(PAAE)，包括全氟烷基烷氧基烯丙基醚。適合的PAAE包括全氟甲基烯丙基醚(MA-1)、全氟乙基烯丙基醚(MA-2)、及全氟丙基烯丙基醚(MA-3)。
在一些實施例中，至少一種全氟化共單體係除TFE以外之全氟化α-烯烴，諸如六氟丙烯(HFP)。額外可選用、且可以少量方式定向(orient)的共單體，包括部分氟化α烯烴(例如，CH2=CF2，VDF)、含有F及Cl之烯烴，例如三氟氯乙烯，以及非氟化α烯烴，例如乙烯或丙烯。
在一些實施例中，高度氟化彈性體係為全氟化彈性體(有時稱為FFKM)，亦即，至少99莫耳%或甚至100莫耳%之聚合物主鏈之氫原子已被氟或氯原子取代，較佳為氟原子。若存在氯原子，則其包含不大於20莫耳%，例如以聚合物主鏈上之氟原子與氯原子之總莫耳數計不大於10莫耳%。在一些實施例中，以聚合物主鏈上之氟及氯原子之總莫耳數計，該全氟化彈性體所包含之氯原子係不大於5mol%，例如是不大於1莫耳%，或甚至不大於0.01莫耳%。
在一些實施例中，氟彈性體是部分氟化彈性體，有時稱為FKM。根據ASTM D1418-17，FKM種類包括類型1、2、3、4、5及6。部分氟化彈性體包括低溫氟彈性體，其玻璃轉移溫度(Tg)為自- 20℃至-40℃、-50℃、-60℃甚至-70℃。在一些實施例中，全氟彈性體為四氟乙烯(TFE)與至少一種部分氟化共單體(例如二氟亞乙烯(CH2=CF2,VDF)或氟乙烯(CH2=CHF))之共聚物。在一些實施例中，亦可存在額外的全氟化共單體如C3至C8全氟化α-烯烴(例如六氟丙烯(HFP))。在一些實施例中，全氟化共單體可包括全氟烷基或全氟烷氧基乙烯基醚，諸如全氟烷基乙烯基醚(PAVE)，包括全氟烷基烷氧基乙烯基及烯丙基醚，諸如以上所述者。在一些實施例中，可使用額外之部分氟化共單體。在一些實施例中，亦可使用非氟化共單體，諸如乙烯或丙烯。在一些實施例中，部分氟化彈性體包含：5mol%至95mol%的衍生自TFE、HFP及/或三氟氯乙烯(CTFE)的交互聚合單元；5mol%至90mol%的衍生自VDF、乙烯及/或丙烯的交互聚合單元；及至多40mol%的衍生自乙烯基醚的交互聚合單元。
一般而言，可固化氟彈性體會包括固化部位基團，例如選自Br、I、C≡N及其組合之固化部位基團。在一些實施例中，可藉由使用與TFE及全氟烷基醚共聚合之固化部位單體，來引入固化部位基團。在一些實施例中，可固化全氟彈性體包含0.5至莫耳%(例如1至3，或甚至1至2莫耳%)之固化部位單體。
一般而言，PFA為以下之全氟化熱塑性共聚物：至少98莫耳%之四氟乙烯、及至多2莫耳%之至少一種全氟化烷基或烷氧基醚，亦即，全氟化烷基乙烯基醚、全氟化烷氧基乙烯基醚、全氟化烷基烯丙基醚，或全氟化烷氧基烯丙基醚。在一些實施例中，該PFA熱塑性塑膠包含至少0.5例如至少0.8mol%之一或多種全氟烷基或烷 氧基醚。例示性的全氟烷基醚包括全氟烷基乙烯基醚類，例如PMVE、PEVE及PPVE；以及全氟烷基烯丙基醚(perfluoroalkyl allyl ether)，例如全氟甲基烯丙基醚(perfluoromethyl ally ether)(MA-1)、全氟乙基烯丙基醚(perfluoroethyl ally ether)(MA-2)、全氟丙基烯丙基醚(perfluoropropyl ally ether)(MA-3)及其組合。
PFA可取得為水溶液乳膠及乾燥粉末。典型的PFA水溶液乳膠中之PFA粒徑不大於250奈米，例如不大於200nm，或甚至不大於150nm。在一些實施例中，PFA水溶液乳膠中之PFA粒徑為至少10、例如至少20、或甚至至少30nm。在一些實施例中，PFA水溶液乳膠中之PFA粒徑為10至250nm，例如20至200nm，或甚至30至150nm。
相較之下，典型乾燥粉末狀之PFA粒徑明顯較大，例如至少5微米、至少10微米，或甚至至少20微米。在一些實施例中，乾燥粉末狀之PFA粒徑不大於1000微米，例如不大於750、500、250或甚至150微米。在一些實施例中，乾燥粉末狀之PFA粒徑為5至500微米，例如10至250，或甚至20至150微米。
本揭露之組成物在可固化全氟彈性體中具有多峰粒徑分布之全氟化熱塑性填料。分布中之第一峰值對應於較小填料粒子之中值重量平均直徑，而第二峰值對應於較大填料粒子之中值重量平均直徑。
一般而言，第一峰值係至少10、例如至少20、或甚至至少30nm；且不大於250、例如不大於200、或甚至不大於150 nm。在一些實施例中，第一峰值係介於10與250nm之間，例如介於20與200之間，或甚至介於30與150nm之間。此種粒徑可自全氟化熱塑性填料(例如PFA)之乳膠分散液獲得。
在一些實施例中，第二峰值係至少5、例如至少10、或甚至至少20微米；且不大於1000、例如不大於750、或甚至不大於500微米。在一些實施例中，第二峰值係介於5與500之間、例如介於10與250之間、或甚至介於20與150微米之間。此種粒徑可自全氟化熱塑性填料(例如PFA)之乾燥粉末獲得。
在一些實施例中，該等組成物係使用獲取自乳膠之較小粒徑及獲取自乾燥粉末之較大粒徑來加以製備。藉由組合此等方法，全氟化熱塑性填料之總裝載可超過20wt.%，也就是典型乳膠摻合組成物之限制。在一些實施例中，以全氟彈性體及全氟化熱塑性填料之總重量計，該等組成物包含至少25wt.%，例如至少30或甚至至少35wt.%之全氟化熱塑性填料。在一些實施例中，以全氟彈性體及全氟化熱塑性填料之總重量計，該等組成物包含至多50wt.%，例如至多55或甚至至多60wt.%之全氟化熱塑性填料。舉例而言，在一些實施例中，以全氟彈性體及全氟化熱塑性填料之總重量計，該組成物包含25至60，例如30至55，或甚至35至55wt.%之全氟化熱塑性填料。
在一些實施例中，以全氟彈性體及全氟化熱塑性填料之總重量計，該組成物含有至多20wt.%之第一全氟化熱塑性填料，其具有對應於第一峰值之粒徑分布。在一些實施例中，該組成物包含至 少15wt.%之第一全氟化熱塑性填料，例如15至20wt.%之第一全氟化熱塑性填料。
在一些實施例中，以全氟彈性體及全氟化熱塑性填料之總重量計，該組成物含有至少10wt.%，例如至少15，或甚至至少20wt.%之第二全氟化熱塑性填料，其具有對應於第二峰值之粒徑分布。在一些實施例中，該組成物包含至少10至25wt.%的第二全氟化熱塑性填料，例如15至25wt.%的第二全氟化熱塑性填料。
在一些實施例中，以全氟化熱塑性填料之總重量計，全氟化熱塑性填料之總量包含30至70重量%之第一全氟化熱塑性填料及30至70重量%之第二全氟化熱塑性填料。舉例而言，在一些實施例中，以全氟化熱塑性填料之總重量計，全氟化熱塑性填料包含40至60重量%之第一全氟化熱塑性填料及40至60重量%之第二全氟化熱塑性填料。
在一些實施例中，該等組成物可含有額外之熱塑性填料。然而，在一些實施例中，熱塑性填料之總量包含至少80重量%，例如90、至少95、或甚至100重量%之第一及第二熱塑性填料。
本揭露之組成物可由多種方法製備。在一些實施例中，可固化全氟彈性體之第一乳膠與第一全氟塑性填料之第二乳膠進行摻合，以形成一摻合乳膠，其同時含有可固化全氟彈性體及第一全氟塑性填料。接著，可利用已知方法處理摻合乳膠以移除水分，例如可利用一或多個凝聚及乾燥之步驟，以形成含有可固化全氟彈性體及第一全氟塑性填料之組成物的第一部分。
然後，第二全氟塑性填料之乾燥粉末可與該第一部分進行乾式摻合，例如研磨之方式，以形成含有可固化全氟彈性體、及第一及第二全氟塑性填料兩者之最終組成物。
在前述處理步驟之一者期間，可添加全氟彈性體之固化劑。然而，在一些實施例中，固化劑一直到使用之前才添加，並且可使用已知方法與組成物進行摻合。可基於可固化全氟彈性體之性質(例如，存在之固化部位)及所需固化方法及條件，來選擇固化劑。
可固化組成物可根據已知之技術進行處理，包括擠製、壓塑成型、射出成型及根據習知技術進行固化。固化物品，包括密封件O型環，可由本揭露案之組成物製備而成。
實例。以下實例使用之材料概述於表1中。
Figure 111126093-A0202-12-0009-1
Figure 111126093-A0202-12-0010-2
乳膠尺寸測定程序。乳膠粒徑係依據DIN ISO 13321：2004-10之程序，使用Malvern Zetasizer Nano S(Malvern,Worcestershire,UK)透過動態光散射法加以測定。平均粒徑是以d50記述。在量測之前，用0.01mol/L的NaCl溶液稀釋從聚合得出的聚合物乳膠。在所有情況下量測溫度皆為25℃。
粉末尺寸測定程序。乾燥粉末粒徑測定(d50)係依據ISO 13320(2009)，使用Malvern Mastersizer 3000(Malvern,Worcestershire,UK)透過動態光散射法加以測定。
孟納黏度方法。孟納黏度值係採用類似於ASTM D 1646-06類型A之方法，藉由MV2000儀器(可購自Alpha Technologies,Ohio)使用大型轉子(ML 1+10)，在121℃下加以量測。結果以孟納單位加以記述。
固化流變學根據ASTM D 5289-93a在177℃或188℃、12或15分鐘經過時間、及0.5弧度下使用未經固化之混配樣本、使用由Alpha technologies,Akron,OH以商標名稱PPA 2000銷售之流 變儀進行固化流變學測試。量測在未獲得穩定或最大扭矩(MH)之指定時期期間所得到之最小扭矩(ML)及最高扭矩。亦量測扭矩在ML以上增加2個單位所需之時間(ts'2)、扭矩達到等於ML+0.1(MH-ML)之值所需之時間(t10)、扭矩達到等於ML+0.5(MH-ML)之值所需之時間(t50)、及扭矩達到ML+0.9(MH-ML)所需之時間(t90)。
熔融流動指數(MFI)。熔融流動指數(MFI)(以g/10 min加以記錄)係根據DIN EN ISO 1133-1：2012-03，於支撐重量為2.16、5.0、或21.6kg之條件下進行量測。MFI係以直徑2.1mm及長度8.0mm的標準擠出模具量得。除非另有指明，否則施加372℃的溫度。
玻璃轉移溫度(Tg)。玻璃轉移溫度(Tg)之量測係依據ASTM D3418之程序，使用TA Instruments Q200(取自TA Instruments,New Castle,Del.)，以微差掃描熱量法(DSC)進行量測。量測條件：-80℃至50℃，每分鐘10℃。
全氟彈性體樣品之固化。O型環(214,AMS AS 568)或薄板(7.62cm×15.24cm，厚度2mm)，在188℃下模製10分鐘。利用以下步驟之固化程序，使加壓固化之O型環或薄板進行後固化。第一步驟之固化始於室溫，並且在2小時內升溫至250℃。將溫度保持在250℃達7小時。第二步驟之固化始於250℃，並且在2小時內升溫至300℃。將溫度保持在300℃達2小時。第三步驟之固化始於300℃，並且在0.25小時內升溫至325℃。將溫度保持在325℃達 0.25小時。之後，冷卻步驟始於325℃，並且在2小時內冷卻至室溫。
部分氟化彈性體樣品之固化。O型環(214,AMS AS 568)或薄板(7.62cm×15.24cm，厚度2mm)，在177℃下模製15分鐘。接著使加壓固化之O型環或薄板在230℃下，後固化4小時。
壓縮永久變形程序。根據ASTM D 395-03方法B及ASTM D 1414-94，以25%初始撓曲測試經後固化之O型環於200℃或300℃進行壓縮永久變形70小時。結果係以百分比記述。
電漿耐受性測試程序。將後固化後之O型環，使用Trion Phamtam III(可購自Trion,Clear Water,FL,US)進行電漿耐受性測試。將該O形環之一半放置在電漿腔室中介於RF電極之間的中心，且在150sccm之氧或NF3之氣流中進行電漿輻照。壓力為100mTorr，及RIE(反應性離子蝕刻)的RF功率為300W。靜電夾盤(ESC)之溫度設定在200℃。暴露於電漿下30分鐘後，測量重量損失並利用以下公式進行計算。
Figure 111126093-A0202-12-0012-3
物理特性依據ASTM D 412，利用沖孔模具切割那些經後固化的片材以取得樣本，使這些樣本依據ASTM D 412測試斷裂抗拉強度、斷裂拉伸長度，及100%伸長率之模數。依據ISO 7619-1，使用型號A-2蕭氏硬度計，量測蕭氏A硬度。將可固化組成物之後固 化片材(程序參見上文)用於物理特性測定。在測試之前讓所有樣品回復到環境溫度。
由全氟彈性體(ELAST-A)製備之樣品。
部分1。將ELAST-A乳膠與PFA-1乳膠摻合，以產生含有全氟彈性體對全氟化熱塑性塑膠之重量比為80/20的摻合乳膠。將摻合乳膠使用5wt.%之HNO3水溶液進行凝聚，再用去離子水清洗，並在烘箱115℃下乾燥16小時以形成「部分1」，用以製備以下實例。
實例1(EX-1)係由100公克之部分1及15公克的PFA-2、0.63公克催化劑A及0.21公克催化劑B組合而成，並於雙輥碾磨機上研磨此組成物。所得組成物歸納於表2。
實例2(EX-2)係以相同方式製備，除了PFA-2是使用25公克以外。所得組成物歸納於表2。
部分2。將PFE-A乳膠使用5wt.%之HNO3水溶液進行凝聚，再用去離子水清洗，並在烘箱115℃下乾燥16小時以形成「部分2」，用以製備以下比較例。
比較例1(CE-1)係由100公克之部分2及30公克的PFA-2、0.63公克的催化劑及0.21公克催化劑B組合而成，並於雙輥碾磨機上研磨此組成物。所得組成物歸納於表2。
Figure 111126093-A0202-12-0013-4
Figure 111126093-A0202-12-0014-5
由部分氟化彈性體(ELAST-B)製備之樣品。
部分3。將ELAST-B乳膠與PFA-1乳膠摻合，以產生含有部分氟化彈性體對全氟熱塑性塑膠之重量比為80/20的摻合乳膠。將摻合乳膠使用1.25wt.%之MgCl2水溶液進行凝聚，再用去離 子水清洗，並在烘箱115℃下乾燥16小時以形成「部分3」，用以製備以下實例。
實例3(EX-3)由100公克的部分3與25克的PFA-2、3公克的助劑((1,3,5-三烯丙基-1,3,5-三
Figure 111126093-A0202-12-0015-10
-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮，純度：98%，可購自Nippon Kasei,Tokyo Japan))、及1公克過氧化物固化劑((2,5-二甲基-2,5-二(三級丁基過氧基)-己烷(DBPH)，純度：90%，可購自Sigma-Aldrich,Milwaukee,WI,USA))組合而製備，並於雙輥碾磨機上研磨此組成物。所得組成物歸納於表3。
實例4(EX-4)係以相同方式製備，除了PFA-3是使用25公克以外。所得組成物歸納於表3。
實例5(EX-5)係以相同方式製備，除了PFA-2是使用60公克以外。所得組成物歸納於表3。
實例6(EX-6)係以相同方式製備，除了PFA-3是使用60公克以外。所得組成物歸納於表3。
比較例2(CE-2)係以相同方式製備，除了未使用PFA以外。所得組成物歸納於表3。
Figure 111126093-A0202-12-0015-6
Figure 111126093-A0202-12-0016-7
由部分氟化彈性體(ELAST-C)製備之樣品。
部分4。將ELAST-C乳膠與PFA-1乳膠摻合，以產生含有部分氟化彈性體對全氟熱塑性塑膠之重量比為80/20的摻合乳膠。將摻合乳膠使用1.25wt.%之MgCl2水溶液進行凝聚，再用去離子水清洗，並在烘箱115℃下乾燥16小時以形成「部分4」，用以製備以下實例。
實例7(EX-7)由100公克的部分4與25克的PFA-3、3公克的助劑((1,3,5-三烯丙基-1,3,5-三
Figure 111126093-A0202-12-0017-11
-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮，純度：98%，可購自Nippon Kasei,Tokyo Japan))、及1公克過氧化物固化劑((2,5-二甲基-2,5-二(三級丁基過氧基)-己烷(DBPH)，純度：90%，可購自Sigma-Aldrich,Milwaukee,WI,USA))組合而製備，並於雙輥碾磨機上研磨此組成物。所得組成物歸納於表4。
實例8(EX-8)係以相同方式製備，除了PFA-3是使用60公克以外。所得組成物歸納於表4。
比較例3(CE-3)係以相同方式製備，除了未使用PFA-3以外。所得組成物歸納於表4。
部分5。將ELAST-C乳膠與PFA-1乳膠摻合，以產生含有部分氟化彈性體對全氟熱塑性塑膠之重量比為64/36的摻合乳膠。將摻合乳膠使用1.25wt.%之MgCl2水溶液進行凝聚，再用去離子水清洗，並在烘箱115℃下乾燥16小時以形成「部分5」，用以製備以下實例。
實例9(EX-9)由100公克的部分5與25克的PFA-3、3公克的助劑((1,3,5-三烯丙基-1,3,5-三
Figure 111126093-A0202-12-0017-12
-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮，純度：98%，可購自Nippon Kasei,Tokyo Japan))、及1公克過氧化物固化劑((2,5-二甲基-2,5-二(三級丁基過氧基)-己烷(DBPH)，純度：90%，可購自Sigma-Aldrich,Milwaukee,WI,USA))組合而製備，並於雙輥碾磨機上研磨此組成物。所得組成物歸納於表4。
比較例4(CE-4)係以相同方式製備，除了未使用PFA-3以外。所得組成物歸納於表4。
Figure 111126093-A0202-12-0018-8
如這些實例所示，藉由使用PFA粒徑之雙峰分布，可以納入具有更高量的PFA，而不需犧牲機械特性，同時亦避免壓縮永久變形的失敗模式。此種較高量之PFA亦顯著改良NF3電漿，如表5之歸納結果。在此表中，對於各組實例，比較例之電漿耐受性係設定為「基礎(base)」。接著，降低百分比係計算為(基礎電漿重量損失-實例電漿重量損失值)/(基礎電漿重量損失)。
Figure 111126093-A0202-12-0019-9
在以下申請專利範圍中，乳膠尺寸測定程序及粉末尺寸測定程序係指實例章節所敘述之方法。

Claims (24)

  1. 一種組成物，其包含可固化氟彈性體及全氟化熱塑性填料，以該氟彈性體與該等全氟化熱塑性填料之總重量計，該全氟化熱塑性填料為至少25重量%；其中，該等全氟化熱塑性填料包含第一全氟化熱塑性填料以及第二全氟化熱塑性填料，該第一全氟化熱塑性填料具有根據乳膠尺寸測定程序測量為10至250奈米之第一d50粒徑，該第二全氟化熱塑性填料具有根據粉末尺寸測定程序測量為5至500微米之第二d50粒徑。
  2. 如請求項1之組成物，其中以該等全氟化熱塑性填料的總重量計，該等全氟化熱塑性填料包含30至70重量%之該第一全氟化熱塑性填料及30至70重量%之該第二全氟化熱塑性填料。
  3. 如請求項2之組成物，其中以該等全氟化熱塑性填料之總重量計，該等全氟化熱塑性填料包含40至60重量%之該第一全氟化熱塑性填料及40至60重量%之該第二全氟化熱塑性填料。
  4. 如請求項1之組成物，其包含30至60重量%之該等全氟化熱塑性填料。
  5. 如請求項4之組成物，其包含35至55重量%之該等全氟化熱塑性填料。
  6. 如請求項1之組成物，其中該第一d50粒徑不大於150奈米。
  7. 如請求項6之組成物，其中該第一d50粒徑為至少30奈米。
  8. 如請求項1之組成物，其中該第二d50粒徑為至少10微米。
  9. 如請求項8之組成物，其中該第二d50粒徑係介於20微米與150微米之間。
  10. 如請求項1之組成物，其中該第一全氟化熱塑性填料包含至少99莫耳%之四氟乙烯及至少0.5莫耳%之至少一種全氟化烷基醚。
  11. 如請求項10之組成物，其中該第一全氟化熱塑性填料之該至少一種全氟化烷基烯丙基醚包含至少一種全氟化烷基乙烯基醚，其可選地選自由PMVE、PEVE、PPVE及其組合所組成之群組。
  12. 如請求項10之組成物，其中該第一全氟化熱塑性填料之該至少一種全氟化烷基烯丙基醚包含至少一種全氟化烷基烯丙基醚，可選地，其中該全氟化烷基烯丙基醚為PMAE。
  13. 如請求項1之組成物，其中該第二全氟化熱塑性填料包含至少99莫耳%之四氟乙烯及至少0.5莫耳%之至少一種全氟化烷基醚。
  14. 如請求項13之組成物，該第二全氟化熱塑性填料之該至少一種 全氟化烷基烯丙基醚包含至少一種全氟化烷基乙烯基醚，其可選地選自由PMVE、PEVE、PPVE及其組合所組成之群組。
  15. 如請求項13之組成物，其中該第二全氟化熱塑性填料之該至少一種全氟化烷基烯丙基醚包含至少一種全氟化烷基烯丙基醚，可選地，其中該全氟化烷基烯丙基醚為PMAE。
  16. 如請求項1之組成物，其中該可固化氟彈性體為全氟彈性體。
  17. 如請求項16之組成物，其中該全氟彈性體為一共聚物，其包含60至70莫耳%之四氟乙烯、30至40莫耳%之全氟烷基乙烯基醚與全氟烷基烯丙基醚中之至少一者、以及0.5至3莫耳%之固化部位單體。
  18. 如請求項1之組成物，其中該可固化氟彈性體為部分氟化彈性體。
  19. 如請求項18之組成物，其中該部分氟化彈性體為以下之共聚物：四氟乙烯、六氟丙烯、二氟亞乙烯、及固化部位單體。
  20. 如請求項18之組成物，其中該部分氟化彈性體為以下之共聚物：烷基乙烯基醚與烷氧基乙烯基醚中之至少一者、四氟乙烯、二氟亞乙烯、及固化部位單體。
  21. 一種固化組成物，其包含如請求項1至20中任一項之組成物，其 中該可固化氟彈性體已被固化。
  22. 一種包含如請求項21之固化組成物之物品。
  23. 如請求項22之物品，其中該物品係O型環。
  24. 一種製備如請求項1至20中任一項之組成物之方法，其包含：摻合包含該可固化氟彈性體之第一乳膠與包含該第一全氟化熱塑性填料之第二乳膠以形成乳膠摻合物；凝聚及乾燥該乳膠摻合物以形成該組成物之第一部分；將該第二全氟化熱塑性填料研磨至該第一部分中以形成該組成物。
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