TW202247958A - 用於在真空室內傳送基板的基板傳送機器人 - Google Patents

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Abstract

一種用於在真空室內傳送基板的基板傳送機器人，包括：傳送臂平臺，形成有第1結合孔、第2結合孔及第3結合孔，在前方區域固定結合有包括用於連杆結合的第1葉片和第2葉片的連杆連接件，引入至第1下部空間的底部支撐體的支撐軸固定結合於第1卡止件；第1傳送臂部，包括第1_1傳送連杆臂、第1_2傳送連杆臂、第1共用連杆臂、第1_1輔助連杆臂、第1_2輔助連杆臂、第1_3輔助連杆臂及第1末端執行器；以及第2傳送臂部，包括第2_1傳送連杆臂、第2_2傳送連杆臂、第2共用連杆臂、第2_1輔助連杆臂、第2_2輔助連杆臂、第2_3輔助連杆臂及第2末端執行器。

Description

用於在真空室內傳送基板的基板傳送機器人
本發明涉及一種基板傳送機器人，更具體地，涉及一種用於在基板處理裝置內的真空室中傳送基板的基板傳送機器人。
通常，半導體元件用晶片、顯示裝置用玻璃基板，或薄膜太陽能電池用玻璃基板等基板通過在基板上執行各種工藝來製造。此時，基板裝載於為每個工藝提供所需最佳條件的基板處理裝置後被處理。
目前，為了提高生産率，能夠批量處理基板的集群（cluster）式基板處理裝置已被研發和使用。
集群式基板處理裝置包括存儲基板的負載鎖定室、用於傳送基板的傳送室、以及用於執行每個工藝的多個工藝室。
另外，用於傳送基板的基板傳送機器人設置於真空狀態的傳送室，從而可以實施將基板從負載鎖定室傳送至傳送室，將基板從傳送室傳送至負載鎖定室，在傳送室之間傳送基板，或者傳送基板以將其引入和引出工藝室。
近年來，為了應對基板的大型化，提高基板的處理能力，以及應對高重量的基板，正在對高剛性基板傳送機器人進行研究。
另外，為了提高相對於製造裝置設置面積的效率，在能夠保持高真空的狀態下，需要更小型的基板傳送機器人。
為了應對這種需求，提出了一種基板傳送機器人，其將臂本身形成為連杆結構，並密封構成每個連杆的臂（arm）內部，且在每個臂的內部設置驅動電機和減速機。
但是，如上該的現有基板傳送機器人以密封結構形成連杆臂結合的臂平台並在內部設置驅動電機，用於旋轉每個連杆臂的減速機設置於每個連杆臂的內部。
因此，現有的基板傳送機器人存在因在臂平台設置驅動電機而需要較大地形成臂平台的問題。
另外，由於現有的基板傳送機器人需要在臂平台設置驅動電機，並在每個連杆臂設置減速機，因此在設置和維護方面存在困難。
即，當基板傳送機器人的驅動發生問題時，為了維護，需要分解臂平台和每個連杆臂來確認驅動電機和減速機是否發生故障，因此存在維護需要較長時間的問題。
現有技術文獻
專利文獻
（專利文獻1）KR10-2011-0052454 A
解決的技術問題
本發明旨在解決所有上述問題。
本發明的另一目的在於提供一種基板傳送機器人，其可以從根本上阻止真空室內發生微粒。
本發明的另一目的在於提供一種更小型的基板傳送機器人，以提高相對於製造裝置設置面積的效率。
本發明的另一目的在於提供一種基板傳送機器人，其在真空室內具有真空密封結構。
技術方案
本發明的特徵用於實現上述本發明的目的和後述本發明的特徵效果，其結構如下。
根據本發明的一實施例，提供一種用於在真空室內傳送基板的基板傳送機器人，其中該基板傳送機器人包括：傳送臂平台，其形成有位於第1中央區域的第1結合孔、位於第1一前端區域的第2結合孔以及位於第1另一前端區域的第3結合孔，其中，該第1結合孔被第1卡止件分為第1上部空間和第1下部空間，該第1上部空間被第1蓋子密封，該第1卡止件形成有第1通孔，該第1通孔對應于在底部支撐體的傳送機器人結合部形成的支撐軸的中空；該第2結合孔被第2卡止件分為第2上部空間和第2下部空間，該第2下部空間被第2蓋子密封，該第2卡止件形成有第2通孔；該第3結合孔被第3卡止件分為第3上部空間和第3下部空間，該第3下部空間被第3蓋子密封，該第3卡止件形成有第3通孔，在前方區域固定結合有包括用於連杆結合的第1葉片和第2葉片的連杆連接件，該前方是該基板傳送機器人為了將該基板傳送至與該真空室結合的工藝室而配置的狀態下該工藝室所處的方向，引入至該第1下部空間的該底部支撐體的該支撐軸固定結合於該第1卡止件；第1傳送臂部，其包括第1_1傳送連杆臂、第1_2傳送連杆臂、第1共用連杆臂、第1_1輔助連杆臂、第1_2輔助連杆臂、第1_3輔助連杆臂以及第1末端執行器，在該第1_1傳送連杆臂的密封的內部空間中設有第1傳送驅動電機和第1減速機，該第1減速機與該第1傳送驅動電機聯動從而將轉速降至1/2，在第1_1一前端區域密封地設置有第1_1驅動軸以及與該第1_1驅動軸聯動的第1_1輸出軸，該第1_1驅動軸與該第1減速機聯動且形成有中空，在第1_1另一前端區域密封地設置有第1_2驅動軸以及與該第1_2驅動軸聯動的第1_2輸出軸，該第1_2驅動軸與該第1傳送驅動電機聯動且形成有中空，該第1_1輸出軸引入至該傳送臂平台的該第2上部空間中並固定結合於與該第2卡止件固定結合的第1連接件；該第1_2傳送連杆臂的第1_2一前端區域通過第1固定結合軸固定結合於該第1_1傳送連杆臂的該第1_2輸出軸；該第1共用連杆臂的第2中央區域可旋轉地結合於該第1固定結合軸；該第1_1輔助連杆臂平行於該第1_1傳送連杆臂，第1_4一前端區域可旋轉地結合於該傳送臂平台的該連杆連接件的該第1葉片，第1_4另一前端區域可旋轉地結合於該第1共用連杆臂的第1_3一前端區域；該第1_2輔助連杆臂平行於該第1_2傳送連杆臂，第1_5一前端區域可旋轉地結合於該第1共用連杆臂的第1_3另一前端區域；該第1_3輔助連杆臂平行於該第1共用連杆臂，第1_6一前端區域可旋轉地結合於該第1_2輔助連杆臂的第1_5另一前端區域，第1_6另一前端區域可旋轉地結合於該第1_2傳送連杆臂的第1_2另一前端區域；該第1末端執行器固定於該第1_3輔助連杆臂的該第1_6另一前端區域支撐該基板；以及第2傳送臂部，其包括第2_1傳送連杆臂、第2_2傳送連杆臂、第2共用連杆臂、第2_1輔助連杆臂、第2_2輔助連杆臂、第2_3輔助連杆臂以及第2末端執行器，在該第2_1傳送連杆臂的密封的內部空間中設有第2傳送驅動電機和第2減速機，該第2減速機與該第2傳送驅動電機聯動從而將轉速降至1/2，在該第2_1傳送連杆臂的第2_1一前端區域密封地設置有第2_1驅動軸以及與該第2_1驅動軸聯動的第2_1輸出軸，該第2_1驅動軸與該第2減速機聯動且形成有中空，在第2_1另一前端區域密封地設置有第2_2驅動軸以及與該第2_2驅動軸聯動的第2_2輸出軸，該第2_2驅動軸與該第2傳送驅動電機聯動且形成有中空，該第2_1輸出軸引入至該傳送臂平台的該第3上部空間中且固定結合於與該第3卡止件固定結合的第2連接件；該第2_2傳送連杆臂的第2_2一前端區域通過第2固定結合軸固定結合於該第2_1傳送連杆臂的該第2_2輸出軸；該第2共用連杆臂的第3中央區域可旋轉地結合於該第2固定結合軸；該第2_1輔助連杆臂平行於該第2_1傳送連杆臂，第2_4一前端區域可旋轉地結合於該傳送臂平台的該連杆連接件的該第2葉片，第2_4另一前端區域可旋轉地結合於該第2共用連杆臂的第2_3一前端區域；該第2_2輔助連杆臂平行於該第2_2傳送連杆臂，第2_5一前端區域可旋轉地結合於該第2共用連杆臂的第2_3另一前端區域；該第2_3輔助連杆臂平行於該第2共用連杆臂，第2_6一前端區域可旋轉地結合於該第2_2輔助連杆臂的第2_5另一前端區域，第2_6另一前端區域可旋轉地結合於該第2_2傳送連杆臂的第2_2另一前端區域；該第2末端執行器固定於該第2_3輔助連杆臂的該第2_6另一前端區域支撐該基板。
該第1傳送臂部的該第1_1傳送連杆臂的該第1_1另一前端區域可以位於該傳送臂平台的前方區域，該第2傳送臂部的該第2_1傳送連杆臂的該第2_1另一前端區域可以位於該傳送臂平台的後方區域。
通過使該第2固定結合軸的高度高於該第1固定結合軸的高度，以使得該第1末端執行器和該第2末端執行器在同一路徑上位於不同高度。
該第2共用連杆臂可以包括中空管，該中空管對應於該第2固定結合軸的高度且形成有引入該第2固定結合軸的中空，包括該第2_3一前端區域的第3葉片固定結合於該中空管的下部區域，包括該第2_3另一前端區域的第4葉片固定結合於該中空管的上部區域，該第2_3一前端區域和該第2_3另一前端區域可以以該中空管的中心軸為基準彼此對稱。
該傳送臂平台可以進一步包括第1布線孔和第2布線孔，該第1布線孔連接該第1上部空間和該第2下部空間，該第2布線孔連接該第1上部空間和該第3下部空間。
該傳送臂平台可以進一步包括第1_1布線孔、第1_2布線孔、第2_1布線孔、第2_2布線孔、第1密封蓋子以及第2密封蓋子，該第1_1布線孔和該第1_2布線孔在該傳送臂平台主體的一側面分別連接該第1上部空間；該第2_1布線孔在該傳送臂平台的主體的一側面連接該第2下部空間；該第2_2布線孔在該傳送臂平台的主體的一側面連接該第3下部空間；該第1密封蓋子在該傳送臂平台的主體的一側面密封該第1_1布線孔和該第2_1布線孔，該第2密封蓋子在該傳送臂平台的主體的一側面密封該第1_2布線孔和該第2_2布線孔。
該基板傳送機器人可以進一步包括第1布線和第2布線，該第1布線用於該第1傳送驅動電機的運行，該第2布線用於該第2傳送驅動電機的運行，該第1布線可以通過該支撐軸、該第1_1驅動軸各自的中空引入至該第1傳送驅動電機以相對於該真空室的內部空間保持密封，該第2布線可以通過該支撐軸、該第2_1驅動軸各自的中空引入至該第2傳送驅動電機以相對於該真空室的內部空間保持密封。
有益效果
本發明通過在一個連杆臂內集合構成用於傳送基板的驅動系統，可以提供小型化的基板傳送機器人。
另外，本發明能夠在設有驅動系統的一個連杆臂中對驅動系統進行維護，因此可以縮短維護時間。
另外，本發明具有與真空室完全密封的結構，因此可以從根本上防止微粒的發生。
以下本發明的詳細描述參考圖式，該圖式示意性示出可以實施本發明的特定實施例，以闡明本發明的目的、技術方案和優點。對這些實施例進行了充分詳細的描述，以使普通技術人員能夠實施本發明。
以下本發明的詳細描述為能夠實施本發明的具體實施例，其參考圖式。對這些實施例進行了充分詳細的描述，以使所屬領域的技術人員能夠實施本發明。應當理解，本發明的各種實施例不同但無需相互排斥。例如，在不超出本發明的技術構思與範圍的前提下，本說明書中描述的特定形狀、結構以及特性能夠通過其它實施例實現。另外，應當理解，在不超出本發明的技術構思與範圍的前提下，公開的每個實施例中各構成要素的位置或配置可以被改變。因此，後述的詳細描述並不具有限定含義，只要能夠進行適當的描述，本發明的範圍僅由與其請求項該等同的所有範圍以及所附請求項而限定。圖式中類似的圖式標記在多個方面指代相同或類似的功能。
為了使所屬領域的技術人員能夠容易地實施本發明，下面將參考圖式的詳細描述本發明的較佳實施例。
圖1和圖2為根據本發明一實施例的用於在真空室內傳送基板的基板傳送機器人的示意圖。
參考圖1和圖2，基板傳送機器人1000可以包括傳送臂平台200、第1傳送臂部300以及第2傳送臂部400，傳送臂平台200與形成於傳送機器人結合部的支撐軸101結合，第1傳送臂部300、第2傳送臂部400與傳送臂平台200結合，用於支撐基板的第1末端執行器500和第2末端執行器600分別結合於第1傳送臂部300、第2傳送臂部400。
由此，當基板傳送機器人1000位於真空室內的設定位置，並且第1末端執行器500或第2末端執行器600因底部支撐體100的上下運動而位於基板的裝載或卸載位置時，第1末端執行器500或第2末端執行器600可以通過第1傳送臂部300或第2傳送臂部400的運行來裝載或卸載基板。
此時，底部支撐體100可以包括升降部，其使基板傳送機器人1000上下運動和旋轉運動，基板傳送機器人1000的上下位置可以由升降部的運行來調節，由此基板傳送機器人1000可以在工藝室等中位於裝載或卸載基板適當的高度。
另外，底部支撐體100可以進一步包括行走機器人，其結合於升降部上方並且可以使上方被支撐的基板傳送機器人1000向設定方向行走。此時，行走機器人可以使針對形成於升降驅動軸的中空的密封在內部進行，並且可以使由升降驅動軸中空的內部線連接至支撐基板傳送機器人100的支撐軸。
首先，傳送臂平台200可以結合于底部支撐體100。
此時，參考圖3a和圖3b，傳送臂平台200可以包括第1結合孔210、第2結合孔220以及第3結合孔230，第1結合孔210形成於第1中央區域，第2結合孔220形成於第1一前端區域，第3結合孔230形成於第1另一前端區域。
第1結合孔210被第1卡止件分為第1上部空間210_1和第1下部空間210_2，第1上部空間210_1可以被第1蓋子240密封，第1卡止件的第1中央區域形成第1通孔，第1通孔對應于底部支撐體100的支撐軸101的中空。
另外，第2結合孔220被第2卡止件分為第2上部空間211_1和第2下部空間211_2，第2下部空間211_2可以被第2蓋子250密封，第2卡止件的第1一前端區域形成有第2通孔。
另外，第3結合孔230被第3卡止件分為第3上部空間212_1和第3下部空間212_2，第3下部空間212_2可以被第3蓋子260密封，第3卡止件的第1另一前端區域形成第3通孔。
另外，傳送臂平台200可以在前方區域與連杆連接件290固定結合，連杆連接件290包括用於連杆結合的第1葉片291和第2葉片292。此時，前方可以是當基板傳送機器人1000為將基板傳送至與真空室結合的工藝室而定位時，工藝室所處的方向。
另外，傳送臂平台200可以結合於底部支撐體100，具體地，通過使底部支撐體100的支撐軸101引入至第1結合孔210的第1下部空間210_2，可以使支撐軸101固定結合於第1卡止件。此時，在將支撐軸101固定結合於第1卡止件時，可以通過增加O型環、墊圈等密封件來提高固定結合區域的密封性能。增加O型環、墊圈等密封件的構成可同樣適用於後述的其它結合部，因此將在後面的描述中不再贅述。
由此，由支撐軸101所致的外部環境可以在第1結合孔210中，從真空室內部的真空環境密封。
另一方面，布線孔可以形成於傳送臂平台200，布線孔用於將通過底部支撐體100的支撐軸101中空引入的布線引入至第1傳送臂部300和第2傳送臂部400。
即，可以形成第1_1布線孔h11和第1_2布線孔h12，其在傳送臂平台200主體的一側面分別連接第1上部空間210_1；可以形成第2_1布線孔h21和第2_2布線孔h22，第2_1布線孔h21在傳送臂平台200主體的一側面連接第2下部空間211_2，第2_2布線孔h22在傳送臂平台200主體的一側面連接第3下部空間212_2。
另外，為了密封布線孔，可以設置第1密封蓋子270和第2密封蓋子280，第1密封蓋子270在傳送臂平台200主體的一側面密封第1_1布線孔h11和第2_1布線孔h21，第2密封蓋子280在傳送臂平台200主體的一側面密封第1_2布線孔h12和第2_2布線孔h22。
另外，參考圖3c，布線孔也可以形成於傳送臂平台200的內部，布線孔用於將通過底部支撐體100的支撐軸101中空引入的布線引入至第1傳送臂部300和第2傳送臂部400。
即，通過在傳送臂平台200的內部形成第1布線孔h30和第2布線孔h40，可以在沒有另外的密封件的情況下，使傳送臂平台200在內部實現密封，第1布線孔h30連接第1上部空間210_1和第2下部空間211_2，第2布線孔h40連接第1上部空間210_1和第3下部空間212_2。
其次，第1傳送臂部300的第1_1傳送連杆臂310可以結合於傳送臂平台200的第2結合孔220，第2傳送臂部400的第2_1傳送連杆臂410可以結合於傳送臂平台200的第3結合孔230。
此時，參考圖4，第1傳送臂部300的第1_1傳送連杆臂310具有密封的內部空間，第1傳送驅動電機311和第1減速機312可以設置於密封的內部空間，第1減速機312與第1傳送驅動電機311聯動從而將轉速降至1/2。
另外，在第1_1傳送連杆臂310的第1_1一前端區域密封地設置第1_1驅動軸313以及與其聯動的第1_1輸出軸314，第1_1驅動軸313與第1減速機312聯動且形成中空；在第1_1傳送連杆臂310的第1_1另一前端區域密封地設置第1_2驅動軸316以及與其聯動的第1_2輸出軸317，第1_2驅動軸316與第1傳送驅動電機311聯動且形成中空。此時，第1傳送驅動電機311與第1減速機312之間的聯動，第1減速機312與第1_1驅動軸313之間的聯動，以及第1傳送驅動電機311與第1_2驅動軸316之間的聯動可分別以滑輪方式進行，但本發明不限於此，也可以利用齒輪方式等用於傳遞旋轉力的各種方式。另外，第1_1驅動軸313和第1_1輸出軸314，第1_2驅動軸316和第1_2輸出軸317也可以分別形成為具有相同減速比的減速機。另外，第1_1輸出軸314和第1_2輸出軸317的旋轉方向可以彼此相反。
另外，第1_1輸出軸314可以引入至傳送臂平台200的第2結合孔220的第2上部空間211_1中，從而固定結合於第2卡止件，第1_1輸出軸314設置於第1傳送臂部300的第1_1傳送連杆臂310的第1_1一前端區域。
此時，第1連接件315可用於第1_1輸出軸314和第2卡止件的結合，第1連接件315為管狀軸且具有從傳送臂平台200和第1_1傳送連杆臂310結合之處延伸至等同於第1_1輸出軸314和第2卡止件之間距離的長度，第1連接件315的兩端可以分別固定結合於第1_1輸出軸314和第2卡止件。
另外，第1_2傳送連杆臂320的第1_2一前端區域可以固定結合於第1傳送臂部300的第1_1傳送連杆臂310的第1_2輸出軸317。
此時，參考圖5，第1固定結合軸318可用於第1_2輸出軸317和第1_2一前端區域的結合，第1固定結合軸318為管狀軸且具有從第1_1傳送連杆臂310和第1_2傳送連杆臂320結合之處延伸至等同於第1_2輸出軸317和第1_2一前端區域的結合區域之間距離的長度，第1固定結合軸318的兩端可以分別固定結合於第1_2輸出軸317和第1_2一前端區域的結合區域。
另外，第1共用連杆臂330可以設置於第1_2輸出軸317和第1_2一前端區域的結合區域。
即，第1共用連杆臂330的第2中央區域能夠可旋轉地結合於第1固定結合軸318，第1固定結合軸318結合第1_2輸出軸317和第1_2一前端區域。
另外，第1傳送臂部300可以包括第1_1輔助連杆臂340，第1_1輔助連杆臂340平行於第1_1傳送連杆臂310，第1_4一前端區域能夠可旋轉地結合於傳送臂平台200的連杆連接件290的第1葉片291，第1_4另一前端區域能夠可旋轉地結合於第1共用連杆臂330的第1_3一前端區域。
另外，第1傳送臂部300可以包括第1_2輔助連杆臂350，第1_2輔助連杆臂350平行於第1_2傳送連杆臂320，第1_5一前端區域能夠可旋轉地結合於第1共用連杆臂330的第1_3另一前端區域。
另外，第1傳送臂部300可以包括第1_3輔助連杆臂360，第1_3輔助連杆臂360平行於第1共用連杆臂330，第1_6一前端區域能夠可旋轉地結合於第1_2輔助連杆臂350的第1_5另一前端區域，第1_6另一前端區域能夠可旋轉地結合於第1_2傳送連杆臂320的第1_2另一前端區域。
另外，第1傳送臂部300可以包括第1末端執行器500，第1末端執行器500可以固定於第1_3輔助連杆臂360的第1_6另一前端區域，從而支撐基板。
如上該構成的第1傳送臂部300可以根據第1傳送驅動電機311的運行，使得第1末端執行器500能夠借助每個傳送臂和輔助臂而在直線上前後移動，進而可以通過第1末端執行器500在設定的位置裝載或卸載基板。
另一方面，第2傳送臂部400能夠與第1傳送臂部300類似地構成，並且可以圍繞傳送臂平台200的中央區域彼此對稱地設置於傳送臂平台200。
即，第2傳送臂部400的第2_1傳送連杆臂410具有密封的內部空間，第2傳送驅動電機和第2減速機可以設置於密封的內部空間，第2減速機與第2傳送驅動電機聯動從而將轉速降至1/2。
另外，在第2_1傳送連杆臂410的第2_1一前端區域密封地設置第2_1驅動軸以及與其聯動的第2_1輸出軸，第2_1驅動軸與第2減速機聯動且形成中空；在第2_1傳送連杆臂410的第2_1另一前端區域密封地設置第2_2驅動軸以及與其聯動的第2_2輸出軸，第2_2驅動軸與第2傳送驅動電機聯動且形成中空。此時，第2傳送驅動電機與第2減速機之間的聯動，第2減速機與第2_1驅動軸之間的聯動，以及第2傳送驅動電機與第2_2驅動軸之間的聯動可分別以滑輪方式進行，但本發明不限於此，也可以利用齒輪方式等用於傳遞旋轉力的各種方式。另外，第2_1驅動軸和第2_1輸出軸、第2_2驅動軸和第2_2輸出軸也可以分別形成為具有相同減速比的減速機。另外，第2_1輸出軸和第2_2輸出軸的旋轉方向可以彼此相反。
另外，第2_1輸出軸可以引入至傳送臂平台200的第3結合孔230的第3上部空間212_1中，從而固定結合於第3卡止件，第2_1輸出軸設置於第2傳送臂部400的第2_1傳送連杆臂410的第2_1一前端區域。
此時，第2連接件可用於第2_1輸出軸和第3卡止件的結合，第2連接件為管狀軸且具有從傳送臂平台200和第2_1傳送連杆臂410結合之處延伸至等同於第2_1輸出軸和第3卡止件之間距離的長度，第2連接件的兩端可以分別固定結合於第2_1輸出軸和第3卡止件。
另外，第2_2傳送連杆臂420的第2_2一前端區域可以固定結合於第2傳送臂部400的第2_1傳送連杆臂410的第2_2輸出軸。
此時，第2固定結合軸可用於第2_2輸出軸和第2_2一前端區域的結合，第2固定結合軸為管狀軸且具有從第2_1傳送連杆臂410和第2_2傳送連杆臂420結合之處延伸至等同於第2_2輸出軸和第2_2一前端區域的結合區域之間距離的長度，第2固定結合軸的兩端可以分別固定結合於第2_2輸出軸和第2_2一前端區域的結合區域。
另外，第2共用連杆臂430可以設置於第2_2輸出軸和第2_2一前端區域的結合區域。
即，第2共用連杆臂430的第3中央區域能夠可旋轉地結合於第2固定結合軸，第2固定結合軸結合第2_2輸出軸和第2_2一前端區域。
另外，第2傳送臂部400可以包括第2_1輔助連杆臂440，第2_1輔助連杆臂440平行於第2_1傳送連杆臂410，第2_4一前端區域能夠可旋轉地結合於傳送臂平台200的連杆連接件290的第2葉片292，第2_4另一前端區域能夠可旋轉地結合於第2共用連杆臂430的第2_3一前端區域。
另外，第2傳送臂部400可以包括第2_2輔助連杆臂450，第2_2輔助連杆臂450平行於第2_2傳送連杆臂420，第2_5一前端區域能夠可旋轉地結合於第2共用連杆臂430的第2_3另一前端區域。
另外，第2傳送臂部400可以包括第2_3輔助連杆臂460，第2_3輔助連杆臂460平行於第2共用連杆臂430，第2_6一前端區域能夠可旋轉地結合於第2_2輔助連杆臂450的第2_5另一前端區域，第2_6另一前端區域能夠可旋轉地結合於第2_2傳送連杆臂420的第4_2另一前端區域。
另外，第2傳送臂部400可以包括第2末端執行器600，第2末端執行器600可固定於第2_3輔助連杆臂460的第2_6另一前端區域，從而支撐基板。
如上該構成的第2傳送臂部400可以根據第2傳送驅動電機的運行，使得第2末端執行器600能夠借助每個傳送臂和輔助臂而在直線上前後移動，進而可以通過第2末端執行器600在設定的位置裝載或卸載基板。
此時，可以使第1傳送臂部300的第1_1傳送連杆臂310的第1_1另一前端區域，以及第2傳送臂部400的第2_1傳送連杆臂410的第2_1另一前端區域相同地位於傳送臂平台200的前方區域或後方區域。
另外，與此不同，也可以使第1傳送臂部300的第1_1傳送連杆臂310的第1_1另一前端區域位於傳送臂平台200的前方區域，並使第2傳送臂部400的第2_1傳送連杆臂410的第2_1另一前端區域位於傳送臂平台200的後方區域。
另外，通過使第2固定結合軸的高度高於第1固定結合軸318的高度，可以使第1傳送臂部300的第1末端執行器500和第2傳送臂部400的第2末端執行器600位於同一路徑上的不同高度，第2固定結合軸連接第2傳送臂部400的第2_1傳送連杆臂410和第2_2傳送連杆臂420，第1固定結合軸318連接第1傳送臂部300的第1_1傳送連杆臂310和第1_2傳送連杆臂320。
另外，第2固定結合軸連接第2傳送臂部400的第2_1傳送連杆臂410和第2_2傳送連杆臂420，第2共用連杆臂430能夠可旋轉地結合於第2固定結合軸並且可以包括中空管，中空管對應於第2固定結合軸的高度並形成引入第2固定結合軸的中空，包括第2_3一前端區域的第3葉片可以固定結合於該中空管的下部區域，包括第2_3另一前端區域的第4葉片可以固定結合於該中空管的上部區域，第2_3一前端區域和第2_3另一前端區域可以形成為以該中空管的中心軸為基準彼此對稱。
另外，第1布線和第2布線分別配置於基板傳送機器人1000內部密封的空間，第1布線用於第1傳送驅動電機311的運行，第2布線用於第2傳送驅動電機的運行。
此時，第1布線可以通過底部支撐體100的支撐軸101、第1_1驅動軸313各自的中空引入至第1傳送驅動電機311，以從真空室的內部空間密封，第2布線可以通過底部支撐體100的支撐軸101、第2_1驅動軸各自的中空引入至第2傳送驅動電機，以從真空室的內部空間密封。另一方面，第1布線和第2布線通過形成於傳送臂平台200的布線孔，可以從支撐軸101分別分支到第1傳送臂部300和第2傳送臂部400。
以上描述了基板的傳送，但在基板上執行工藝所需的光罩的傳送也可以同樣適用。
以上通過具體構成要素等特定事項和有限的實施例以及圖式描述了本發明，但這僅是為了助於全面理解本發明，本發明並不受其限制，本發明所屬領域的技術人員可以根據上述描述進行各種修改和變換。
因此，本發明的技術構思不應受限於上述描述的實施例，請求項以及與請求項等效或等同的修改均屬於本發明的技術構思範疇。
1000:基板傳送機器人 100:底部支撐體 101:支撐軸 200:傳送臂平台 210:第1結合孔 210_1:第1上部空間 210_2:第1下部空間 211_1:第2上部空間 211_2:第2下部空間 212_1:第3上部空間 212_2:第3下部空間 220:第2結合孔 230:第3結合孔 240:第1蓋子 250:第2蓋子 260:第3蓋子 270:第1密封蓋子 280:第2密封蓋子 290:連杆連接件 291:第1葉片 292:第2葉片 300:第1傳送臂部 310:第1_1傳送連杆臂 311:第1傳送驅動電機 312:第1減速機 313:第1_1驅動軸 314:第1_1輸出軸 315:第1連接件 316:第1_2驅動軸 317:第1_2輸出軸 318:第1固定結合軸 320:第1_2傳送連杆臂 330:第1共用連杆臂 340:第1_1輔助連杆臂 350:第1_2輔助連杆臂 360:第1_3輔助連杆臂 400:第2傳送臂部 410:第2_1傳送連杆臂 420:第2_2傳送連杆臂 430:第2共用連杆臂 440:第2_1輔助連杆臂 450:第2_2輔助連杆臂 460:第2_3輔助連杆臂 500:第1末端執行器 600:第2末端執行 H11:第1_1布線孔 H12:第1_2布線孔 H21:第2_1布線孔 H22:第2_2布線孔 H30:第1布線孔 H40:第2布線孔
用於描述本發明實施例的以下圖式僅為本發明實施例的一部分，並且本發明所屬領域中具有通常知識者（以下稱為“普通技術人員”）可以基於這些圖式獲得其他式，而無需進行任何創造性工作。 圖1和圖2為根據本發明一實施例的基板傳送機器人的示意圖。 圖3a至圖3c為根據本發明一實施例的基板傳送機器人的傳送臂平台的示意圖。 圖4為根據本發明一實施例的基板傳送機器人的第1_1傳送連杆臂的示意圖。 圖5為根據本發明一實施例的基板傳送機器人的第1_1傳送連杆臂與第1_2傳送連杆臂連接部分的示意圖。
100:底部支撐體
101:支撐軸
200:傳送臂平台
300:第1傳送臂部
310:第1_1傳送連杆臂
320:第1_2傳送連杆臂
330:第1共用連杆臂
340:第1_1輔助連杆臂
350:第1_2輔助連杆臂
400:第2傳送臂部
500:第1末端執行器
600:第2末端執行器
1000:基板傳送機器人

Claims (7)

  1. 一種用於在真空室內傳送基板的基板傳送機器人，其中該基板傳送機器人包括： 傳送臂平台，形成有位於第1中央區域的第1結合孔、位於第1一前端區域的第2結合孔以及位於第1另一前端區域的第3結合孔，其中，該第1結合孔被第1卡止件分為第1上部空間和第1下部空間，該第1上部空間被第1蓋子密封，該第1卡止件形成有第1通孔，該第1通孔對應于在底部支撐體的傳送機器人結合部形成的支撐軸的中空；該第2結合孔被第2卡止件分為第2上部空間和第2下部空間，該第2下部空間被第2蓋子密封，該第2卡止件形成有第2通孔；該第3結合孔被第3卡止件分為第3上部空間和第3下部空間，該第3下部空間被第3蓋子密封，該第3卡止件形成有第3通孔，在前方區域固定結合有包括用於連杆結合的第1葉片和第2葉片的連杆連接件，該前方是該基板傳送機器人為了將該基板傳送至與該真空室結合的工藝室而配置的狀態下該工藝室所處的方向，引入至該第1下部空間的該底部支撐體的該支撐軸固定結合于該第1卡止件； 第1傳送臂部，包括第1_1傳送連杆臂、第1_2傳送連杆臂、第1共用連杆臂、第1_1輔助連杆臂、第1_2輔助連杆臂、第1_3輔助連杆臂以及第1末端執行器，在該第1_1傳送連杆臂的密封的內部空間中設有第1傳送驅動電機和第1減速機，該第1減速機與該第1傳送驅動電機聯動從而將轉速降至1/2，在第1_1一前端區域密封地設置有第1_1驅動軸以及與該第1_1驅動軸聯動的第1_1輸出軸，該第1_1驅動軸與該第1減速機聯動且形成有中空，在第1_1另一前端區域密封地設置有第1_2驅動軸以及與該第1_2驅動軸聯動的第1_2輸出軸，該第1_2驅動軸與該第1傳送驅動電機聯動且形成有中空，該第1_1輸出軸引入至該傳送臂平台的該第2上部空間中並固定結合于與該第2卡止件固定結合的第1連接件；該第1_2傳送連杆臂的第1_2一前端區域通過第1固定結合軸固定結合于該第1_1傳送連杆臂的該第1_2輸出軸；該第1共用連杆臂的第2中央區域可旋轉地結合于該第1固定結合軸；該第1_1輔助連杆臂平行于該第1_1傳送連杆臂，第1_4一前端區域可旋轉地結合于該傳送臂平台的該連杆連接件的該第1葉片，第1_4另一前端區域可旋轉地結合于該第1共用連杆臂的第1_3一前端區域；該第1_2輔助連杆臂平行于該第1_2傳送連杆臂，第1_5一前端區域可旋轉地結合于該第1共用連杆臂的第1_3另一前端區域；該第1_3輔助連杆臂平行于該第1共用連杆臂，第1_6一前端區域可旋轉地結合于該第1_2輔助連杆臂的第1_5另一前端區域，第1_6另一前端區域可旋轉地結合于該第1_2傳送連杆臂的第1_2另一前端區域；該第1末端執行器固定于該第1_3輔助連杆臂的該第1_6另一前端區域支撐該基板；以及 第2傳送臂部，包括第2_1傳送連杆臂、第2_2傳送連杆臂、第2共用連杆臂、第2_1輔助連杆臂、第2_2輔助連杆臂、第2_3輔助連杆臂以及第2末端執行器，在該第2_1傳送連杆臂的密封的內部空間中設有第2傳送驅動電機和第2減速機，該第2減速機與該第2傳送驅動電機聯動從而將轉速降至1/2，在該第2_1傳送連杆臂的第2_1一前端區域密封地設置有第2_1驅動軸以及與該第2_1驅動軸聯動的第2_1輸出軸，該第2_1驅動軸與該第2減速機聯動且形成有中空，在第2_1另一前端區域密封地設置有第2_2驅動軸以及與該第2_2驅動軸聯動的第2_2輸出軸，該第2_2驅動軸與該第2傳送驅動電機聯動且形成有中空，該第2_1輸出軸引入至該傳送臂平台的該第3上部空間中且固定結合于與該第3卡止件固定結合的第2連接件；該第2_2傳送連杆臂的第2_2一前端區域通過第2固定結合軸固定結合于該第2_1傳送連杆臂的該第2_2輸出軸；該第2共用連杆臂的第3中央區域可旋轉地結合于該第2固定結合軸；該第2_1輔助連杆臂平行于該第2_1傳送連杆臂，第2_4一前端區域可旋轉地結合于該傳送臂平台的該連杆連接件的該第2葉片，第2_4另一前端區域可旋轉地結合于該第2共用連杆臂的第2_3一前端區域；該第2_2輔助連杆臂平行于該第2_2傳送連杆臂，第2_5一前端區域可旋轉地結合于該第2共用連杆臂的第2_3另一前端區域；該第2_3輔助連杆臂平行于該第2共用連杆臂，第2_6一前端區域可旋轉地結合于該第2_2輔助連杆臂的第2_5另一前端區域，第2_6另一前端區域可旋轉地結合于該第2_2傳送連杆臂的第2_2另一前端區域；該第2末端執行器固定于該第2_3輔助連杆臂的該第2_6另一前端區域支撐該基板。
  2. 根據請求項1所述的基板傳送機器人，其中： 該第1傳送臂部的該第1_1傳送連杆臂的該第1_1另一前端區域位於該傳送臂平台的前方區域，該第2傳送臂部的該第2_1傳送連杆臂的該第2_1另一前端區域位於該傳送臂平台的後方區域。
  3. 根據請求項1所述的基板傳送機器人，其中： 通過使該第2固定結合軸的高度高于該第1固定結合軸的高度，以使得該第1末端執行器和該第2末端執行器在同一路徑上位於不同高度。
  4. 根據請求項1所述的基板傳送機器人，其中： 該第2共用連杆臂包括中空管，該中空管對應于該第2固定結合軸的高度且形成有引入該第2固定結合軸的中空，包括該第2_3一前端區域的第3葉片固定結合于該中空管的下部區域，包括該第2_3另一前端區域的第4葉片固定結合于該中空管的上部區域，該第2_3一前端區域和該第2_3另一前端區域以該中空管的中心軸為基准彼此對稱。
  5. 根據請求項1所述的基板傳送機器人，其中： 該傳送臂平台進一步包括第1布線孔和第2布線孔，該第1布線孔連接該第1上部空間和該第2下部空間，該第2布線孔連接該第1上部空間和該第3下部空間。
  6. 根據請求項1所述的基板傳送機器人，其中： 該傳送臂平台進一步包括第1_1布線孔、第1_2布線孔、第2_1布線孔、第2_2布線孔、第1密封蓋子以及第2密封蓋子，該第1_1布線孔和該第1_2布線孔在該傳送臂平台主體的一側面分別連接該第1上部空間；該第2_1布線孔在該傳送臂平台的主體的一側面連接該第2下部空間；該第2_2布線孔在該傳送臂平台的主體的一側面連接該第3下部空間；該第1密封蓋子在該傳送臂平台的主體的一側面密封該第1_1布線孔和該第2_1布線孔，該第2密封蓋子在該傳送臂平台的主體的一側面密封該第1_2布線孔和該第2_2布線孔。
  7. 根據請求項1所述的基板傳送機器人，其中： 進一步包括第1布線和第2布線，該第1布線用於該第1傳送驅動電機的運行，該第2布線用於該第2傳送驅動電機的運行， 該第1布線通過該支撐軸、該第1_1驅動軸各自的中空引入至該第1傳送驅動電機以相對于該真空室的內部空間保持密封， 該第2布線通過該支撐軸、該第2_1驅動軸各自的中空引入至該第2傳送驅動電機以針對該真空室的內部空間保持密封。
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