TW202243795A - 磨削輪用治具及磨削輪用罩殼 - Google Patents

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日商迪思科股份有限公司
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Abstract

[課題]提供一種在將磨削輪裝設於安裝座時可從安裝座的下方插入螺栓之磨削輪用治具。 [解決手段]提供一種磨削輪用治具，是在將磨削輪裝設到已安裝於主軸的下端部之圓板狀的安裝座的下表面側時使用，前述磨削輪具有配置於圓環狀的基台的一面側之環狀的磨石部，磨削輪用治具具備：有底圓筒狀的磨石容置部，容置環狀的磨石部；圓環狀的基台容置部，位於在磨石容置部的高度方向上和磨石容置部的底部為相反之側，且具有比磨石容置部的外徑更大的外徑，並可容置基台的至少一部分；及圓筒狀的複數個螺栓容置部，分別設置在基台容置部的底部，且可容置螺栓的頭部，各螺栓容置部在底部具有可供緊固工具插入螺栓的頭部之開口。

Description

磨削輪用治具及磨削輪用罩殼
本發明是有關於一種在已安裝於主軸的下端部之圓板狀的安裝座的下表面側裝設磨削輪時所使用之磨削輪用治具、與容置磨削輪之磨削輪罩殼。
在磨削矽晶圓等之被加工物時，可使用磨削裝置。磨削裝置具備包含圓柱狀的主軸之磨削單元。主軸是例如配置成大致平行於鉛直方向，且在主軸的下端部固定有圓板狀的安裝座(輪座)。可於安裝座的下表面側裝設圓環狀的磨削輪。
在磨削被加工物的背面側(亦即和形成有器件之正面為相反之側)的整體時所使用之常規的磨削裝置中，會將具有圓環狀的基台(輪基台)之常規的磨削輪裝設於上述之安裝座。
在安裝座的外周部，沿著安裝座的圓周方向設置有複數個貫通孔，且在常規的磨削輪的基台的一面側(亦即，和設置有磨削磨石之另一面為相反之側)的外周部，以對應於各貫通孔的方式沿著基台的圓周方向設置有複數個螺孔。
將常規的磨削輪裝設於安裝座時，是從安裝座的上方將螺栓插入到安裝座的各貫通孔，且將各螺栓的下端部緊固於磨削輪的螺孔。又，從磨削輪取下安裝座時，是從安裝座的上方取下各螺栓。
已知在對安裝座裝卸這種常規的磨削輪時，會為了保護磨削磨石等，而使用治具，前述治具具有可被覆磨削輪的側部及下部的整體之環狀的凹部(參照例如專利文獻1)。
然而，已知有以下磨削：雖然會對被加工物的背面側中的和設置在被加工物的正面側之器件區域對應之圓形的預定區域進行磨削，但對背面側的外周部不進行磨削而保留，藉此在背面側形成圓板狀的凹部之稱為TAIKO(註冊商標)之磨削。於進行此磨削時，所使用的是和常規的磨削裝置不同之專用的磨削裝置。
在該專用的磨削裝置中，於安裝座的下表面側的外周部，沿著安裝座的圓周方向設置有複數個螺孔。又，裝設於安裝座的磨削輪之基台(輪基台)具有圓環狀的凸緣，且在凸緣的下表面側的外周部沿著凸緣的圓周方向設置有複數個貫通孔。
在凸緣的下表面側，在比複數個貫通孔更靠近凸緣的中心側，以和凸緣大致同心狀的方式固定有直徑比凸緣更小之圓環狀之磨石被裝設部。在磨石被裝設部的下表面側，沿著基台的圓周方向配置有各自為段(segment)狀的複數個磨削磨石。
在將這種磨削輪裝設到安裝座時，首先是將磨削輪配置在安裝座的下方，並將凸緣的貫通孔與安裝座的螺孔進行對位。在此狀態下，從凸緣的下表面側將螺栓往安裝座插入，並將各個螺栓緊固於安裝座的螺孔。 先前技術文獻 專利文獻
專利文獻1：日本特開2011-121128號公報
發明欲解決之課題
但是，若和常規的磨削輪用的治具同樣地，使用覆蓋磨削輪的側部及下部的整體之治具時，即使欲從安裝座的下方對貫通孔及螺孔插入螺栓，螺栓的插入也會被治具遮蔽。
另一方面，在不使用治具的情況下，會有作業人員的手觸碰到磨削磨石而讓作業人員受傷之可能性、或因工具的接觸而使磨石損傷之可能性。又，也有附著於磨削磨石等之磨削屑掉落而污染磨削裝置的內部之可能性。
本發明是有鑒於所述之問題點而作成的發明，目的在於提供一種在將磨削輪裝設於安裝座時可從安裝座的下方插入螺栓之磨削輪用治具。 用以解決課題之手段
根據本發明的一個態樣，可提供一種磨削輪用治具，是在將磨削輪裝設到已安裝於主軸的下端部之圓板狀的安裝座的下表面側時使用，前述磨削輪具有配置在圓環狀的基台的一面側之環狀的磨石部，該磨削輪用治具具備：有底圓筒狀的磨石容置部，容置該環狀的磨石部；圓環狀的基台容置部，位於在該磨石容置部的高度方向上和該磨石容置部的底部為相反之側，且具有比該磨石容置部的外徑更大的外徑，並可容置該基台的至少一部分；及圓筒狀的複數個螺栓容置部，分別設置在該基台容置部的底部，且可容置螺栓的頭部，各螺栓容置部在底部具有可供緊固工具插入該螺栓的頭部之開口。
較佳的是，在使已容置在該基台容置部之該基台接觸於該安裝座的下表面時，該基台容置部的側部的內周側面會和該安裝座的外周側面接觸。
根據本發明的其他之態樣，可提供一種磨削輪用罩殼，容置磨削輪，前述磨削輪具有配置在圓環狀的基台的一面側之環狀的磨石部，前述磨削輪用罩殼具備磨削輪用治具與蓋部，前述磨削輪用治具具備：有底圓筒狀的磨石容置部，容置該環狀的磨石部；圓環狀的基台容置部，位於在該磨石容置部的高度方向上和該磨石容置部的底部為相反之側，且具有比該磨石容置部的外徑更大的外徑，並可容置該基台的至少一部分；及圓筒狀的複數個螺栓容置部，分別設置在該基台容置部的底部，且可容置螺栓的頭部，各螺栓容置部在底部具有可供緊固工具插入該螺栓的頭部之開口，前述蓋部會將該基台容置部的開口堵塞。 發明效果
本發明的一個態樣的磨削輪用治具具有容置環狀的磨石部之磨石容置部。圓環狀的基台容置部位於在磨石容置部的高度方向上和磨石容置部的底部為相反之側。基台容置部具有比磨石容置部的外徑更大的外徑，並可容置基台的至少一部分。
在此基台容置部的底部設置有各自為圓筒狀的複數個螺栓容置部。各螺栓容置部在底部具有可供緊固工具插入螺栓的頭部之插入孔。因此，可以藉由在已將磨削輪容置於磨削輪用治具的狀態下，從安裝座的下方將螺栓插入基台的貫通孔，並將螺栓緊固於安裝座的螺孔，而將磨削輪裝設於安裝座。
此外，由於磨石部被磨石容置部所容置，因此可以在裝卸作業時，防止作業人員的接觸到磨石部、由工具所造成之磨石部的損傷、來自磨石部或基台之磨削屑的掉落等。
用以實施發明之形態
參照附加圖式，說明本發明的一個態樣之實施形態。首先，說明裝設磨削輪10之磨削單元2。圖1是磨削單元2的側面圖。再者，圖1所示之Z軸方向是例如和鉛直方向平行。
磨削單元2是在對圓板狀的被加工物11(參照圖2(A))的背面11b側進行磨削時使用。圖2(A)是被加工物11的立體圖。被加工物11是例如圓板狀的矽晶圓。在被加工物11的正面11a側呈格子狀地設定有複數條分割預定線13。
在以複數條分割預定線13所區劃出之各區域形成有IC(積體電路，Integrated Circuit)等的器件15。在形成有複數個器件15之器件區域15a的周圍存在有未形成有器件15且大致平坦之外周剩餘區域15b。
磨削單元2可在磨削被加工物11的背面11b側的和器件區域15a對應之圓形區域而形成凹部11c(參照圖2(B))時使用。圖2(B)是磨削後之被加工物11的剖面圖。
回到圖1，磨削單元2具有圓筒狀的主軸殼體4。主軸殼體4是藉由滾珠螺桿式的磨削進給單元(未圖示)而可沿著Z軸方向移動。在主軸殼體4，以可旋轉的方式容置有圓柱狀的主軸6的一部分。
在主軸6的上端部設置有馬達等的旋轉驅動源(未圖示)。主軸6的下端部6a已突出到比主軸殼體4的底部更下方，且在此下端部6a安裝有圓板狀的安裝座8的上表面8a側的中央部。
於安裝座8的下表面8b側，沿著安裝座8的圓周方向大致等間隔地設置有複數個螺孔8c。在本實施形態中，沿著安裝座8的圓周方向設置有4個螺孔8c。不過，在圖1中是顯示3個螺孔8c。
可於安裝座8的下表面8b側裝設圓環狀的磨削輪10。磨削輪10是以鋁合金、不鏽鋼等金屬材料所形成。磨削輪10具有和安裝座8的外徑大致相同直徑之圓環狀的凸緣12。
在凸緣12的外周部形成有複數個貫通孔12c，前述貫通孔12c是從凸緣12的上表面12a貫通到下表面12b。複數個貫通孔12c是沿著凸緣12的圓周方向大致等間隔地分開。
在本實施形態中，沿著凸緣12的圓周方向設置有4個貫通孔12c。不過，在圖1中是顯示3個貫通孔12c。於將凸緣12對安裝座8配置成螺孔8c和貫通孔12c以一對一方式對應之後，可將螺栓14的軸部14a插入貫通孔12c，且將軸部14a緊固於螺孔8c。
再者，在貫通孔12c的下表面12b側形成有可容置螺栓14的頭部14b之柱坑部12d。本實施形態的螺栓14是在頭部14b形成有六角承窩之附六角承窩螺栓。又，軸部14a的外徑為5mm。
在凸緣12的下表面12b側，在比凸緣12的外周更內側，固定有以和凸緣12相同之金屬材料所形成之圓環狀的磨石被裝設部16。磨石被裝設部16具有比凸緣12更小的外徑，且和凸緣12配置成大致同心狀。
磨石被裝設部16的上表面16a側已固定於凸緣12的下表面12b側。在本說明書中，是將磨石被裝設部16以及凸緣12合併稱為基台(輪基台)17。
在磨石被裝設部16的下表面(一面)16b側，沿著磨石被裝設部16的圓周方向呈環狀地配置有各自為段(segment)狀的複數個磨削磨石(磨石部)18。再者，環狀的磨石部亦可為1個圓環狀(所謂的連續(continuous)型)的磨削磨石。
如圖1所示，將磨削輪10裝設於安裝座8時，首先是將磨削輪10配置在安裝座8的下方，並對凸緣12的貫通孔12c與安裝座8的螺孔8c進行對位。
在此狀態下，將螺栓14從凸緣12的下表面12b側插入貫通孔12c，且將各螺栓14緊固於安裝座8的螺孔8c。在本實施形態中，可在將磨削輪10裝設於安裝座8時，使用可從安裝座8的下方插入螺栓14之治具(磨削輪用治具)20(參照圖3(A))。
圖3(A)是治具20的上部側的立體圖。本實施形態的治具20雖然是以具有透光性之樹脂所形成，但治具20亦可用透明的樹脂來形成，亦可用不具有透光性之樹脂或其他材料來形成。本實施形態之治具20雖然可以用例如3D印表機來製作，然而也可以用3D印表機以外之裝置來製作。
治具20具有有底圓筒狀的磨石容置部22。本實施形態的磨石容置部22的圓筒的外徑為102mm，治具20的高度方向20a(亦即，基台容置部24的高度方向)上的磨石容置部22的長度為37mm。
磨石容置部22是藉由覆蓋各磨削磨石18的外周側面18a以及下表面18b(參照圖1)的整體，而容置複數個磨削磨石18。在磨石容置部22的底部22a側，以朝磨石容置部22的徑方向的中心側凹陷的態樣形成有大致半圓柱狀的凹部22b。
在本實施形態中，沿著磨石容置部22的圓周方向以大致等間隔形成有4個凹部22b。不過，凹部22b的數量並不限定於4個。再者，在已將磨削輪10容置於治具20的狀態下，磨削磨石18的下表面18b不會接觸於凹部22b的上表面22c(參照圖6)。
凹部22b是在以下之目的下設置：在作業人員以手把持治具20時，容易進行治具20的操作處理。例如，藉由凹部22b而變得易於進行治具20的移動或旋轉。
在治具20的高度方向20a上，在位於和底部22a為相反之側的頂部連結有圓環狀的基台容置部24，前述基台容置部24具有比磨石容置部22的外徑更大的外徑。基台容置部24具有連接於磨石容置部22的頂部的外側之圓環狀的底部24a。
在底部24a的外周部，以沿著高度方向20a突出的方式設置有圓環狀的側部24b。側部24b以及底部24a各自具有和磨石容置部22大致相同的厚度。
基台容置部24的頂部側是形成為開口24c。本實施形態的基台容置部24的外徑為124mm，高度方向20a上的基台容置部24的長度為20mm。
在基台容置部24的底部24a，沿著基台容置部24的圓周方向以大致等間隔分別設置有圓筒狀的複數個螺栓容置部26。在本實施形態中，雖然設置有4個螺栓容置部26，但是螺栓容置部26的數量亦可因應於螺孔8c的數量來合宜變更。
在平面視角觀看治具20的情況下，1個螺栓容置部26是位於2個凹部22b之間。螺栓容置部26包含和螺栓14的頭部14b的外徑大致相同直徑之圓柱狀的凹部。各螺栓容置部26之底部26a比基台容置部24的底部24a更朝磨石容置部22的底部22a側突出。
如圖3(B)所示，當頭部14b被螺栓容置部26的底部26a所支撐，且將頭部14b的整體容置在螺栓容置部26時，軸部14a會從螺栓容置部26朝高度方向20a突出。圖3(B)是圖3(A)的一點鏈線區域的放大圖，且顯示已將螺栓14容置於螺栓容置部26之狀態。
在螺栓容置部26的底部26a形成有圓形的開口26b(參照圖4(A)及圖4(B))。例如，可透過開口26b將六角扳手(緊固工具)30(參照圖7)插入螺栓14的頭部14b的六角承窩。
在本實施形態的頭部14b雖然形成有六角承窩，但在頭部14b形成有十字孔或方形孔來取代六角承窩的情況下，可因應於孔的形狀來合宜選擇緊固工具。
圖4(A)是治具20的下部側的立體圖，圖4(B)是圖4(A)的一點鏈線區域的放大圖。再者，在圖4(B)中，為了方便，是以頭部14b接觸於底部26a的狀態來顯示已容置於螺栓容置部26之螺栓14。
磨削輪10是以已將螺栓14插入磨削輪10的凸緣12中的各貫通孔12c的狀態來容置於治具20。圖5是已容置於治具20之磨削輪10的下方立體圖。
如圖5所示，當將磨削輪10容置於治具20時，凸緣12的下表面12b會被基台容置部24的底部24a所支撐，且螺栓14的頭部14b會被螺栓容置部26的底部26a所支撐。
此時，如圖6所示，凸緣12的上表面12a不會從開口24c突出。又，凸緣12的外周側面接觸於基台容置部24的側部24b的內周側面24d(參照圖7)。
圖6是已容置於治具20之磨削輪10的上方立體圖。再者，如圖6所示，已將螺栓14容置於螺栓容置部26時，螺栓14的軸部14a不會從上表面12a突出。
其次，說明將已容置於治具20之磨削輪10裝設於安裝座8的順序。首先，當作業人員將治具20把持於手上，且將方向調整成螺孔8c與貫通孔12c以一對一方式對應之後，使治具20上升，來使凸緣12的上表面12a接觸於安裝座8的下表面8b。
此時，由於側部24b的內周側面24d的上部會接觸於安裝座8的外周側面8d，因此可以容易地將磨削輪10的旋轉中心與安裝座8的旋轉中心對位。又，可以藉由在側面觀看安裝座8的狀態下讓螺栓容置部26的位置對齊於螺孔8c，而容易地將螺栓14與螺孔8c對位。
接著，藉由對開口26b插入六角扳手30，並將各螺栓14緊固於螺孔8c，而將磨削輪10裝設於安裝座8(參照圖7)。圖7是顯示將磨削輪10裝設到安裝座8之情形的局部剖面側面圖。再者，在磨削輪10的裝設後，將治具20從磨削輪10取下。
在本實施形態中，可以藉由在已將磨削輪10容置於治具20的狀態下，將螺栓14從安裝座8的下方緊固於螺孔8c，而將磨削輪10裝設到安裝座8。
此外，由於複數個磨削磨石18已被磨石容置部22所容置，因此可以防止在磨削輪10的裝卸作業時之作業人員的接觸到磨削磨石18、由工具所造成之磨削磨石18的損傷、來自磨削磨石18或基台17之磨削屑的掉落等。
順道一提，在磨削輪10的取下時，是進行和裝設時相反的順序。亦即，在已將治具20從下方裝設於磨削輪10的狀態下，將各螺栓14取下。之後，在已將磨削輪10容置於治具20的狀態下，將磨削輪10從安裝座8取下。
如圖8所示，從安裝座8取下之磨削輪10是以容置於以治具20、圓板狀的蓋部32所構成之罩殼(磨削輪用罩殼)34的狀態被保管。圖8是罩殼34的局部剖面側面圖。
本實施形態之蓋部32雖然是以和治具20相同的材料所形成，但蓋部32亦可用和治具20不同的材料來形成。蓋部32在內側具有圓板狀的凹部32a。
由於凹部32a的直徑32b與基台容置部24的側部24b的外徑大致相同，因此蓋部32可嵌合於基台容置部24的上部側，以將基台容置部24的開口24c堵塞。藉由以蓋部32來堵塞開口24c，可以將磨削輪10與複數個螺栓14一體地容置於罩殼34內。
在凹部32a沿著蓋部32的圓周方向配置有分別以樹脂來形成且各自為圓柱狀的複數個間隔件32c。在本實施形態中，是將4個間隔件32c沿著蓋部32的圓周方向以大致等間隔來配置。不過，在圖8中是顯示3個間隔件32c。
各間隔件32c的高度(厚度)是和已將磨削輪10容置於治具20時之自開口24c到上表面12a的深度36(參照圖6)對應。本實施形態的間隔件32c的直徑比凸緣12的貫通孔12c更大，以免間隔件32c嵌入貫通孔12c。
藉由設置間隔件32c，可以抑制已容置於罩殼34之磨削輪10在罩殼34內的移動。再者，可取代圓柱狀的間隔件32c，而將1個環狀的間隔件(未圖示)呈和蓋部32同心狀地設置，亦可將複數個圓弧狀的間隔件(未圖示)沿著蓋部32的圓周方向來設置。
順道一提，對磨削輪10而言，會因應於被加工物11的直徑而存在複數個不同直徑的磨削輪。又，可因應於磨削輪10的直徑而使用不同直徑的治具20。因此，僅在將磨削輪10裝卸於安裝座8時使用治具20的情況下，會產生每次都需要尋找和磨削輪10的直徑相應之治具20的情況。
但是，如上述，若將磨削輪10容置於罩殼34內，由於只要將蓋部32取下，即可以使用具有和磨削輪10相應之直徑的治具20來將磨削輪10裝設到安裝座8，因此具有治具20的管理變得較容易之優點。此外，也有可以防止螺栓14的丟失之優點。
再者，亦可在蓋部32的內周側面與側部24b的外周側面設置用於藉由旋轉來固定蓋部32與基台容置部24之如螺旋帽(screw cap)的卡合機構(未圖示)。又，亦可取代卡合機構而設置其他的固定機構。
其次，說明第2實施形態。圖9是第2實施形態之治具(磨削輪用治具)40的側面圖。以下，主要是說明治具40與治具20的相異點。
治具40的螺栓容置部26的凹部之深度比第1實施形態的螺栓容置部26更淺。因此，已容置於第2實施形態的螺栓容置部26之螺栓14，其軸部14a的前端部會從凸緣12的上表面12a突出。
在基台容置部24的側部24b形成有各自為矩形狀的複數個缺口24e。由於各缺口24e是配置在對應於螺栓容置部26的位置，因此作業人員可以從治具40的側邊目視辨識從上表面12a突出之軸部14a的前端部。
治具40是在將磨削輪10相對於安裝座8旋轉來裝設時使用。在第2實施形態中所使用之安裝座8在比螺孔8c更靠近下表面8b側包含圓弧狀的長溝8e，前述長溝8e具有和螺孔8c大致相同寬度(參照圖10(A)至圖10(C))。
圖10(A)是第2實施形態的安裝座8的側面圖，圖10(B)是第2實施形態的安裝座8的局部剖面側面圖，圖10(C)是第2實施形態的安裝座8的下表面圖。
在外周側面8d當中，在對應於長溝8e的一端部之預定的位置附加有標記8f。標記8f是藉由例如雷射加工來刻印。長溝8e的另一端部的上部設置有上述之螺孔8c。
對此安裝座8裝設磨削輪10時，是作業人員調整容置有磨削輪10的治具40之方向，以讓標記8f與螺栓14的軸部14a的前端對應，並且使治具40上升。
圖11(A)是顯示已使磨削輪10相對於安裝座8上升成使凸緣12的上表面12a接觸於安裝座8的下表面8b之情形的圖。再者，雖然此時會使用治具40，但在圖11(A)中，為了方便說明，而省略了治具40。
使磨削輪10上升時，由於治具40中的側部24b的內周側面24d的上部會接觸於安裝座8的外周側面8d，因此可以容易地將磨削輪10的旋轉中心與安裝座8的旋轉中心對位。
當凸緣12的上表面12a接觸於安裝座8的下表面8b時，軸部14a會嵌合於長溝8e。之後，如圖11(B)所示，使磨削輪10和治具40一起朝預定方向旋轉，而將螺栓14配置到螺孔8c的下方。
圖11(B)是顯示使磨削輪10相對於安裝座8旋轉，直到螺栓14位於螺孔8c的正下方為止之情形的圖。再者，在圖11(B)中，為了方便而省略了治具40。使磨削輪10旋轉後，和圖7同樣地，使用六角扳手30將各個螺栓14緊固於螺孔8c。
在第2實施形態中，也可以藉由在已將磨削輪10容置於治具40的狀態下，從安裝座8的下方將螺栓14緊固於安裝座8的螺孔8c，而將磨削輪10裝設於安裝座8。
此外，由於複數個磨削磨石18已被磨石容置部22所容置，因此可以防止在磨削輪10的裝卸作業時之作業人員的接觸到磨削磨石18、由工具所造成之磨削磨石18的損傷、來自磨削磨石18或基台17之磨削屑的掉落等。
另外，上述實施形態之構造、方法等，只要在不脫離本發明之目的之範圍內，均可合宜變更來實施。例如，也可以藉由第2實施形態的治具40與蓋部32來構成磨削輪10用的罩殼。
2:磨削單元 4:主軸殼體 6:主軸 6a:下端部 8:安裝座 8a,12a,16a,22c:上表面 8b,12b,18b:下表面 8c:螺孔 8d:外周側面 8e:長溝 8f:標記 10:磨削輪 11:被加工物 11a:正面 11b:背面 11c,22b,32a:凹部 12:凸緣 12c:貫通孔 12d:柱坑部 13:分割預定線 14:螺栓 14a:軸部 14b:頭部 15:器件 15a:器件區域 15b:外周剩餘區域 16:磨石被裝設部 16b:下表面(一面) 17:基台 18:磨削磨石 18a:外周側面 20,40:治具(磨削輪用治具) 20a:高度方向 22:磨石容置部 22a,24a,26a:底部 24:基台容置部 24b:側部 24c,26b:開口 24d:內周側面 24e:缺口 26:螺栓容置部 30:六角扳手(緊固工具) 32:蓋部 32b:直徑 32c:間隔件 34:罩殼(磨削輪用罩殼) 36:深度 Z:方向
圖1是磨削單元的側面圖。 圖2(A)是被加工物的立體圖，圖2(B)是磨削後之被加工物的剖面圖。 圖3(A)是治具的上部側的立體圖，圖3(B)是圖3(A)的一點鏈線區域的放大圖。 圖4(A)是治具的下部側的立體圖，圖4(B)是圖4(A)的一點鏈線區域的放大圖。 圖5是已容置於治具之磨削輪的下方立體圖。 圖6是已容置於治具之磨削輪的上方立體圖。 圖7是顯示將磨削輪裝設到安裝座之情形的局部剖面側面圖。 圖8是罩殼的局部剖面側面圖。 圖9是第2實施形態之治具的側面圖。 圖10(A)是安裝座的側面圖，圖10(B)是安裝座的局部剖面側面圖，圖10(C)是安裝座的下表面圖。 圖11(A)是顯示使磨削輪上升之情形的圖，圖11(B)是顯示使磨削輪旋轉之情形的圖。
14:螺栓
14a:軸部
14b:頭部
20:治具(磨削輪用治具)
20a:高度方向
22:磨石容置部
22a,24a,26a:底部
22b:凹部
22c:上表面
24:基台容置部
24b:側部
24c:開口
24d:內周側面
26:螺栓容置部

Claims (3)

  1. 一種磨削輪用治具，是在將磨削輪裝設到已安裝於主軸的下端部之圓板狀的安裝座的下表面側時使用，前述磨削輪具有配置在圓環狀的基台的一面側之環狀的磨石部，前述磨削輪用治具的特徵在於： 該磨削輪用治具具備： 有底圓筒狀的磨石容置部，容置該環狀的磨石部； 圓環狀的基台容置部，位於在該磨石容置部的高度方向上和該磨石容置部的底部為相反之側，且具有比該磨石容置部的外徑更大的外徑，並可容置該基台的至少一部分；及 圓筒狀的複數個螺栓容置部，分別設置在該基台容置部的底部，且可容置螺栓的頭部， 各螺栓容置部在底部具有可供緊固工具插入該螺栓的頭部之開口。
  2. 如請求項1之磨削輪用治具，其中在已使容置於該基台容置部之該基台接觸於該安裝座的下表面時，該基台容置部的側部的內周側面會和該安裝座的外周側面接觸。
  3. 一種磨削輪用罩殼，容置磨削輪，前述磨削輪具有配置在圓環狀的基台的一面側之環狀的磨石部，前述磨削輪用罩殼的特徵在於具備磨削輪用治具與蓋部， 前述磨削輪用治具具備： 有底圓筒狀的磨石容置部，容置該環狀的磨石部； 圓環狀的基台容置部，位於在該磨石容置部的高度方向上和該磨石容置部的底部為相反之側，且具有比該磨石容置部的外徑更大的外徑，並可容置該基台的至少一部分；及 圓筒狀的複數個螺栓容置部，分別設置在該基台容置部的底部，且可容置螺栓的頭部， 各螺栓容置部在底部具有可供緊固工具插入該螺栓的頭部之開口， 前述蓋部會將該基台容置部的開口堵塞。
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