TW202242392A - 檢查裝置 - Google Patents

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TW202242392A
TW202242392A TW111110204A TW111110204A TW202242392A TW 202242392 A TW202242392 A TW 202242392A TW 111110204 A TW111110204 A TW 111110204A TW 111110204 A TW111110204 A TW 111110204A TW 202242392 A TW202242392 A TW 202242392A
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大西史朗
杉本巖生
小﨑修司
藤岡修司
鈴川正紘
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日商日立造船股份有限公司
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Abstract

檢查裝置（1）檢測片材狀或板狀的具有透光性的對象物（9）的缺陷。缺陷檢測部的輪廓獲取部獲取在拍攝圖像中，在第一方向的多個檢查位置沿第二方向呈直線狀延伸的多個檢查區域中的多個亮度輪廓。週期性缺陷判別部對於所述多個亮度輪廓分別檢測週期性亮度變動。週期性缺陷判別部在週期相同的週期性亮度變動在所述多個亮度輪廓中共同存在的情況下，判斷為存在第一週期性缺陷，在與存在於所述多個亮度輪廓中的一個亮度輪廓的週期性亮度變動為相同週期的週期性亮度變動不存在於其他亮度輪廓的情況下，判斷為存在第二週期性缺陷。藉此，可自動判別且檢測缺陷的種類。

Description

檢查裝置
本發明是有關於一種對片材狀或板狀的具有透光性的對象物的缺陷進行檢測的檢查裝置。 [相關申請案的參照] 本申請案主張來自在2021年4月22日申請的日本專利申請案JP2021-072442的優先權的權益，所述申請案的所有揭示被併入本申請案中。
以往，已知有一種連續地製造片材狀或板狀構件的技術。例如，日本專利特開2010-46798號公報（文獻1）的輥成形裝置中，從模具（die）擠出的熔融樹脂由輥夾著並連續地受到搬送，從而連續地成形出片材狀構件。
另一方面，亦提出有對連續地製造出的片材狀構件進行檢查的各種技術。例如，日本專利特開2007-211092號公報（文獻2）的檢查方法中，在光源與螢幕（screen）之間將片材狀的薄膜相對於螢幕而傾斜地配置，藉由配置於薄膜側方的攝影機來拍攝被投影至螢幕的像，藉此，對因薄膜表面的平緩的波狀凹凸而產生的薄膜的厚度不均進行檢查。而且，日本專利特開2019-191112號公報（文獻3）的測定方法中，藉由變更相對於螢幕而傾斜地配置的片材狀的對象物的傾斜角度並反覆進行圖像獲取，從而獲取被用於對象物的檢查的多個圖像。日本專利特開2003-172707號公報（文獻4）的檢查裝置中，從附有抗反射膜的偏光薄膜的鉛垂上方照射光，並藉由配置於螢幕的鉛垂下方的攝影機來拍攝被投影至配置於偏光薄膜的鉛垂下方的螢幕上的像，藉此來檢測抗反射膜的劃痕。
此外，文獻2的檢查方法中，為了避免攝影機映入螢幕，是以攝影機的光軸相對於螢幕的法線方向而傾斜來方式來傾斜地配置攝影機。因此，根據螢幕上的位置，與攝影機的距離不同，因而在由攝影機所拍攝的圖像中產生變形，從而難以高精度地檢測厚度不均。文獻3的測定方法中，攝影機亦相對於螢幕的法線方向而傾斜地配置。
另一方面，文獻4中，與文獻2及文獻3不同，偏光薄膜與螢幕是平行地配置，且未設有傾斜配置偏光薄膜的機構等。而且，即便使偏光薄膜相對於螢幕而傾斜，但由於根據偏光薄膜上的位置，與螢幕的距離亦不同，因此投影至螢幕的圖像仍會產生變形，從而難以高精度地檢測劃痕。
而且，近年來，如上所述的片材狀構件亦被用於液晶畫面的表面基板等的光學用途。在光學用途的片材狀構件中，尤其要求降低片材狀構件的製造時的缺陷。因此，在片材狀構件的製造裝置中，需要用於降低缺陷的高精度調整。另一方面，在片材狀構件的製造時，不僅會產生所述的厚度不均或劃痕，還可能會產生各種缺陷。片材狀構件的製造裝置中，根據該些缺陷的種類，調整部位或調整方法有所不同。因此，為了高效率地調整片材狀構件的製造裝置，必須判別片材狀構件中的缺陷的種類。
本發明是面向對片材狀或板狀的具有透光性的對象物的缺陷進行檢測的檢查裝置，目的在於自動判別並檢測缺陷的種類。
本發明的較佳的一形態的檢查裝置包括：對象物保持部，保持對象物；輔助構件保持部，與所述對象物平行地保持片材狀或板狀的拍攝輔助構件；照明部，將觀察光照射至所述對象物；拍攝部，夾著所述拍攝輔助構件而與所述對象物配置於相反側，具有與所述對象物的法線方向平行的光軸，拍攝藉由透射過所述對象物的所述觀察光而形成於所述拍攝輔助構件上的像，以獲取拍攝圖像；以及缺陷檢測部，基於所述拍攝圖像來檢測所述對象物的缺陷。能夠由所述缺陷檢測部來檢測的缺陷包含：第一週期性缺陷，為在所述對象物上沿著第一方向呈直線狀延伸，並且在與所述第一方向垂直的第二方向上週期性地排列的多個條紋；以及非條紋狀的第二週期性缺陷，在所述對象物上沿所述第二方向週期性地排列。所述缺陷檢測部包括：輪廓獲取部，在所述拍攝圖像中，在所述第一方向的多個檢查位置，設定與所述第二方向平行且分別呈直線狀延伸的多個檢查區域，獲取所述多個檢查區域各自中的所述第二方向的亮度變化即多個亮度輪廓；以及週期性缺陷判別部，對於所述多個亮度輪廓分別檢測週期性亮度變動，若週期相同的週期性亮度變動共同存在於所述多個亮度輪廓，則判斷為存在第一週期性缺陷，若與存在於所述多個亮度輪廓中的一個亮度輪廓的週期性亮度變動為相同週期的週期性亮度變動不存在於其他亮度輪廓，則判斷為存在第二週期性缺陷。
所述檢查裝置中，可自動判別且檢測缺陷的種類。
較佳的是，能夠由所述缺陷檢測部來檢測的缺陷更包含非週期性缺陷，所述非週期性缺陷為所述對象物的表面上的劃痕或附著物、或者混入至所述對象物的內部的混入物。所述缺陷檢測部更包括非週期性缺陷判別部，所述非週期性缺陷判別部在所述多個亮度輪廓中的至少一個亮度輪廓中檢測非週期性亮度變動，將所述非週期性亮度變動判斷為非週期性缺陷。
較佳的是，所述檢查裝置更包括：旋轉機構，在維持所述照明部的光軸方向上的所述對象物與所述拍攝輔助構件之間的距離、以及所述拍攝部的光軸方向上的所述拍攝輔助構件與所述拍攝部之間的距離的狀態下，使所述對象物、所述拍攝輔助構件以及所述拍攝部以與所述照明部的光軸垂直的旋轉軸為中心而相對於所述照明部的所述光軸來相對地旋轉，以變更所述照明部的所述光軸與所述對象物的法線方向所成的角度即測定角度；以及控制部，藉由控制所述拍攝部以及所述旋轉機構，從而在所述測定角度被設為規定的第一測定角度的狀態下獲取所述拍攝圖像，以供所述週期性缺陷判別部所進行的缺陷檢測用，且在所述測定角度被設為與所述第一測定角度不同的規定的第二測定角度的狀態下獲取所述拍攝圖像，以供所述非週期性缺陷判別部所進行的缺陷檢測用。
較佳的是，所述檢查裝置更包括：移動機構，在維持所述拍攝部的光軸方向上的所述拍攝輔助構件與所述拍攝部之間的距離的狀態下，使所述拍攝輔助構件以及所述拍攝部相對於所述對象物而朝所述照明部的光軸方向相對移動，以變更所述照明部的光軸方向上的所述拍攝輔助構件與所述對象物之間的距離即投影距離；以及控制部，藉由控制所述拍攝部以及所述移動機構，從而獲取所述投影距離不同的多個拍攝圖像。所述非週期性缺陷包含：第一非週期性缺陷，為所述對象物的表面上的劃痕或附著物；以及第二非週期性缺陷，為混入至所述對象物的內部的混入物。所述輪廓獲取部在所述多個拍攝圖像的各個中，在所述第一方向的規定的檢查位置，設定與所述第二方向平行且呈直線狀延伸的檢查區域，獲取所述檢查區域中的所述第二方向的亮度變化即亮度輪廓。所述缺陷檢測部更包括評價值計算部，所述評價值計算部在所述多個拍攝圖像中的一個拍攝圖像的所述亮度輪廓中檢測非週期性亮度變動，在所述多個拍攝圖像中分別求出所述非週期性亮度變動的評價值。所述非週期性缺陷判別部對於所述非週期性亮度變動，在表示所述多個拍攝圖像中的評價值的變動程度的評價值變動指數為規定的臨限值以下的情況下，判斷為所述第一非週期性缺陷，在所述評價值變動指數大於所述臨限值的情況下，判斷為所述第二非週期性缺陷。
較佳的是，所述檢查裝置更包括：旋轉機構，在維持所述照明部的光軸方向上的所述對象物與所述拍攝輔助構件之間的距離、以及所述拍攝部的光軸方向上的所述拍攝輔助構件與所述拍攝部之間的距離的狀態下，使所述對象物、所述拍攝輔助構件以及所述拍攝部以與所述照明部的光軸垂直的旋轉軸為中心而相對於所述照明部的所述光軸來相對地旋轉，以變更所述照明部的所述光軸與所述對象物的法線方向所成的角度即測定角度。藉由所述控制部來控制所述拍攝部、所述移動機構以及所述旋轉機構，從而在多個測定角度下分別獲取所述投影距離不同的多個拍攝圖像。藉由所述輪廓獲取部，對於所述多個測定角度分別從所述多個拍攝圖像獲取多個亮度輪廓。藉由所述評價值計算部，對於所述多個測定角度分別從所述多個拍攝圖像求出所述非週期性亮度變動的多個評價值。所述評價值變動指數亦基於所述多個測定角度各自的所述多個評價值的變動來求出。
較佳的是，所述非週期性缺陷包含：第一非週期性缺陷，為所述對象物的表面上的劃痕或附著物；以及第二非週期性缺陷，為混入至所述對象物的內部的混入物。所述非週期性亮度變動包含：下波峰，為朝下的波峰；以及第一上波峰及第二上波峰，為在所述下波峰的兩側鄰接的朝上的波峰。將所述至少一個亮度輪廓中的亮度變動的朝上的半振幅以及朝下的半振幅分別設為a1以及a2，將所述第一上波峰與背景亮度a0的亮度差設為b，將所述第二上波峰與所述背景亮度a0的亮度差設為c。所述非週期性缺陷判別部在所述非週期性亮度變動中的b及c為表示a1及a2中的較大者的Max（a1、a2）以下的情況下，將與所述非週期性亮度變動對應的非週期性缺陷判斷為所述第一非週期性缺陷，在b及c中的至少一者大於Max（a1、a2）的情況下，將與所述非週期性亮度變動對應的非週期性缺陷判斷為所述第二非週期性缺陷。
本發明的較佳的一形態的檢查裝置包括：對象物保持部，保持對象物；輔助構件保持部，與所述對象物平行地保持片材狀或板狀的拍攝輔助構件；照明部，將觀察光照射至所述對象物；拍攝部，夾著所述拍攝輔助構件而與所述對象物配置於相反側，具有與所述對象物的法線方向平行的光軸，拍攝藉由透射過所述對象物的所述觀察光而形成於所述拍攝輔助構件上的像，以獲取拍攝圖像；移動機構，在維持所述拍攝部的光軸方向上的所述拍攝輔助構件與所述拍攝部之間的距離的狀態下，使所述拍攝輔助構件以及所述拍攝部相對於所述對象物而朝所述照明部的光軸方向相對移動，以變更所述照明部的光軸方向上的所述拍攝輔助構件與所述對象物之間的距離即投影距離；缺陷檢測部，基於所述拍攝圖像來檢測所述對象物的缺陷；以及控制部，藉由控制所述拍攝部以及所述移動機構，從而獲取所述投影距離不同的多個拍攝圖像。能夠由所述缺陷檢測部來檢測的缺陷包含：第一非週期性缺陷，為所述對象物的表面上的劃痕或附著物；以及第二非週期性缺陷，為混入至所述對象物的內部的混入物。所述缺陷檢測部包括：輪廓獲取部，在所述多個拍攝圖像的各個中，在第一方向的規定的檢查位置，設定與跟所述第一方向垂直的第二方向平行且呈直線狀延伸的檢查區域，獲取所述檢查區域中的所述第二方向的亮度變化即亮度輪廓；評價值計算部，在所述多個拍攝圖像中的一個拍攝圖像的所述亮度輪廓中檢測非週期性亮度變動，在所述多個拍攝圖像中分別求出所述非週期性亮度變動的評價值；以及非週期性缺陷判別部，對於所述非週期性亮度變動，在表示所述多個拍攝圖像中的評價值的變動程度的評價值變動指數為規定的臨限值以下的情況下，判斷為第一非週期性缺陷，在所述評價值變動指數大於所述臨限值的情況下，判斷為第二非週期性缺陷。所述檢查裝置中，可自動判別且檢測缺陷的種類。
較佳的是，所述檢查裝置更包括：旋轉機構，在維持所述照明部的光軸方向上的所述對象物與所述拍攝輔助構件之間的距離、以及所述拍攝部的光軸方向上的所述拍攝輔助構件與所述拍攝部之間的距離的狀態下，使所述對象物、所述拍攝輔助構件以及所述拍攝部以與所述照明部的光軸垂直的旋轉軸為中心而相對於所述照明部的所述光軸來相對地旋轉，以變更所述照明部的所述光軸與所述對象物的法線方向所成的角度即測定角度。藉由所述控制部來控制所述拍攝部、所述移動機構以及所述旋轉機構，從而在多個測定角度下分別獲取所述投影距離不同的多個拍攝圖像。藉由所述輪廓獲取部，對於所述多個測定角度分別從所述多個拍攝圖像獲取多個亮度輪廓。藉由所述評價值計算部，對於所述多個測定角度分別從所述多個拍攝圖像求出所述非週期性亮度變動的多個評價值。所述評價值變動指數亦基於所述多個測定角度各自的所述多個評價值的變動來求出。
本發明的較佳的一形態的檢查裝置包括：對象物保持部，保持對象物；輔助構件保持部，與所述對象物平行地保持片材狀或板狀的拍攝輔助構件；照明部，將觀察光照射至所述對象物；拍攝部，夾著所述拍攝輔助構件而與所述對象物配置於相反側，具有與所述對象物的法線方向平行的光軸，拍攝藉由透射過所述對象物的所述觀察光而形成於所述拍攝輔助構件上的像，以獲取拍攝圖像；旋轉機構，在維持所述照明部的光軸方向上的所述對象物與所述拍攝輔助構件之間的距離、以及所述拍攝部的光軸方向上的所述拍攝輔助構件與所述拍攝部之間的距離的狀態下，使所述對象物、所述拍攝輔助構件以及所述拍攝部以與所述照明部的光軸垂直的旋轉軸為中心而相對於所述照明部的所述光軸來相對地旋轉，以變更所述照明部的所述光軸與所述對象物的法線方向所成的角度即測定角度；以及缺陷檢測部，基於所述拍攝圖像來檢測所述對象物的缺陷。所述檢查裝置中，可自動判別且檢測缺陷的種類。
較佳的是，所述檢查裝置更包括：移動機構，在維持所述拍攝部的光軸方向上的所述拍攝輔助構件與所述拍攝部之間的距離的狀態下，使所述拍攝輔助構件以及所述拍攝部相對於所述對象物而朝所述照明部的光軸方向相對移動，以變更所述照明部的光軸方向上的所述拍攝輔助構件與所述對象物之間的距離即投影距離。
較佳的是，所述照明部包括：光源部；以及透鏡，將來自所述光源部的光轉換為作為平行光的所述觀察光而照射至所述對象物。所述照明部的光軸方向上的所述透鏡與所述拍攝輔助構件之間的距離為所述透鏡的焦距的一半以上。
所述目的以及其他目的、特徵、形態以及優點可根據以下參照隨附的圖式所進行的本發明的詳細說明而明確。
圖1是表示本發明的一實施形態的檢查裝置1的正面圖。檢查裝置1包括圖像獲取裝置11以及電腦12。圖2是圖像獲取裝置11的平面圖。圖1以及圖2中，為了便於說明，表示了X方向、Y方向以及Z方向。X方向、Y方向以及Z方向彼此垂直。圖1以及圖2所示的示例中，X方向以及Y方向為水平方向，Z方向為鉛垂方向，但並不限定於此。
作為檢查對象的對象物9是沿規定的搬送方向連續地受到搬送並製造的片材狀或板狀的具有透光性的構件。對象物9例如是由熱塑性樹脂所形成。對象物9例如可利用作為液晶畫面的表面基板或智慧電話的第五代行動通訊技術（5th Generation Mobile Communication Technology，5G）支援零件等的光學薄膜、或汽車的窗玻璃的替代品。對象物9的材料以及用途可進行各種變更。本實施形態中，對象物9為實質上透明的構件，但只要是具有透光性者，則亦可為半透明的構件。對象物9例如從與主面垂直的方向觀察為大致矩形狀。對象物9的兩主面是彼此大致平行的大致平面。所謂對象物9的主面，是指對象物9所具有的最大的面。
如圖1以及圖2所示，圖像獲取裝置11包括對象物保持部21、照明部22、拍攝輔助構件23、拍攝部24、輔助構件保持部26、旋轉機構27以及移動機構28。
對象物保持部21保持對象物9。圖1以及圖2所示的示例中，對象物保持部21是與Z方向大致平行地延伸的大致圓柱狀的構件。對象物9是以主面相對於XY平面為垂直的方式，由對象物保持部21從下側予以保持。換言之，對象物9的法線方向（即，與對象物9的主面垂直的方向）與XY平面平行。所謂XY平面，是指相對於X方向以及Y方向而平行的預先規定的假想的一個面。由對象物保持部21所保持的對象物9中，與後述的對象物9的製造時的搬送方向對應的方向相對於XY平面為平行。
照明部22包括光源221、光出射部222以及透鏡223。圖2中，省略了光源221的圖示。圖1所示的示例中，照明部22的光軸J1與X方向平行（即，相對於YZ平面而垂直）。圖1所示的示例中，照明部22的光軸J1通過對象物9的主面的大致中心。光源221例如為發光二極管（Light Emitting Diode，LED）。作為光源221，亦可使用LED以外者。由光源221所生成的光經由光纖被導向光出射部222。光出射部222從針孔出射光。即，光出射部222為點光源。光源221與光出射部222亦可成為一個單元。以下的說明中，光源221以及光出射部222亦總稱為「光源部220」。從光出射部222出射的光由透鏡223轉換為平行光而照射至對象物9。以下的說明中，從照明部22照射至對象物9的光亦稱為「觀察光71」。圖1所示的示例中，光出射部222、透鏡223以及對象物保持部21被安裝於一個框架31而相對地固定。而且，透鏡223是其中一個透鏡面為平面，另一個透鏡面為凸面的平凸透鏡。透鏡223是在使作為平面的透鏡面朝向光源部220並且使作為凸面的透鏡面朝向對象物9的狀態下配置於光軸J1上。再者，透鏡223的形狀以及配置等可進行各種變更。
拍攝輔助構件23是片材狀或板狀的具有透光性的構件。拍攝輔助構件23例如為擴散薄膜。作為拍攝輔助構件23，亦可使用擴散薄膜以外者。拍攝輔助構件23例如從與主面垂直的方向觀察時為與對象物9大致相同大小的大致矩形狀。拍攝輔助構件23既可大於對象物9，亦可小於對象物9。而且，拍攝輔助構件23的形狀可進行各種變更。拍攝輔助構件23的兩主面是彼此大致平行的大致平面。所謂拍攝輔助構件23的主面，是指拍攝輔助構件23所具有的最大的面。
輔助構件保持部26保持拍攝輔助構件23。圖1以及圖2所示的示例中，輔助構件保持部26是與Z方向大致平行地延伸的大致圓柱狀的構件。拍攝輔助構件23是以主面相對於XY平面而垂直的方式由輔助構件保持部26從下側予以保持。輔助構件保持部26是與對象物9平行地保持拍攝輔助構件23。換言之，拍攝輔助構件23是以主面與對象物9的主面為平行的方式而由輔助構件保持部26予以保持。圖1以及圖2所示的示例中，拍攝輔助構件23被配置於Z方向的與對象物9大致相同的位置，沿著對象物9的法線方向觀察時與對象物9的大致整體重合。
拍攝部24是夾著拍攝輔助構件23而與對象物9配置於相反側。圖1所示的示例中，對象物9、拍攝輔助構件23以及拍攝部24從（-X）側朝向（+X）方向依序排列。而且，照明部22被配置於對象物9的（-X）側。拍攝部24的光軸J2與XY平面平行，且與對象物9的法線方向平行。圖1所示的示例中，拍攝部24的光軸J2通過拍攝輔助構件23的主面的大致中心以及對象物9的主面的大致中心。拍攝部24例如是包括互補金屬氧化物半導體（Complementary Metal Oxide Semiconductor，CMOS）或電荷耦合元件（Charge Coupled Device，CCD）的工業用數位攝影機。拍攝部24例如是可獲取二次元圖像的區域攝影機（area camera）。拍攝部24亦可為其他種類的攝影機。
圖像獲取裝置11中，藉由照明部22，從（-X）側對於對象物9照射觀察光71。透射過對象物9的觀察光71被導向拍攝輔助構件23，並被投影至拍攝輔助構件23上。拍攝部24從拍攝輔助構件23的（+X）側拍攝形成於拍攝輔助構件23上的像，以獲取拍攝圖像。換言之，拍攝部24獲取透射過拍攝輔助構件23的對象物9的透射像來作為拍攝圖像。若準確地表達，則拍攝部24獲取表示被投影至拍攝輔助構件23的對象物9的像的資料。
圖1所示的示例中，拍攝部24以及輔助構件保持部26被安裝於一個框架32，拍攝部24相對於輔助構件保持部26以及拍攝輔助構件23的相對位置被固定。因此，拍攝部24的光軸J2所延伸的方向（以下亦稱作「拍攝部24的光軸方向」）上的拍攝輔助構件23與拍攝部24之間的距離L2被維持為固定。
旋轉機構27以沿Z方向延伸的旋轉軸J3為中心，而使對象物9與對象物保持部21一同旋轉。再者，對象物保持部21在框架31上旋轉，框架31不旋轉。圖3是表示藉由旋轉機構27來使對象物9旋轉了規定角度的狀態的平面圖。圖3所示的示例中，對象物9從圖2所示的狀態繞逆時針方向旋轉了約30°。旋轉軸J3在俯視時通過對象物保持部21的大致中心。旋轉軸J3在沿著對象物9的法線方向觀察時通過對象物9的主面的大致中心。而且，旋轉軸J3在對象物9上與照明部22的光軸J1垂直地交叉。以下的說明中，俯視（即，沿著旋轉軸J3觀察的狀態）時的照明部22的光軸J1與對象物9的法線方向所成的角度θ亦稱作「測定角度θ」。旋轉機構27是變更測定角度θ的機構。
而且，旋轉機構27以沿Z方向延伸的旋轉軸J4為中心而使框架32旋轉，藉此，使拍攝輔助構件23、輔助構件保持部26以及拍攝部24一體地旋轉。旋轉軸J4在俯視時通過輔助構件保持部26的大致中心。旋轉軸J3與旋轉軸J4彼此平行。旋轉軸J4在沿著拍攝輔助構件23的法線方向觀察時，通過拍攝輔助構件23的主面的大致中心。而且，旋轉軸J4在拍攝輔助構件23上，與照明部22的光軸J1以及拍攝部24的光軸J2垂直地交叉。
圖像獲取裝置11中，旋轉機構27對於對象物9及拍攝輔助構件23的旋轉方向及旋轉角度相同。因此，對象物9與拍攝輔助構件23無論所述的測定角度θ的大小如何，均彼此平行。而且，俯視（即，沿著旋轉軸J4觀察的狀態）時的拍攝輔助構件23的法線方向與照明部22的光軸J1所成的角度等於測定角度θ。
如上所述，拍攝部24相對於輔助構件保持部26而相對地固定。因此，當拍攝輔助構件23以及輔助構件保持部26藉由旋轉機構27而旋轉時，拍攝部24亦一同旋轉。拍攝部24的光軸J2不論測定角度θ的大小如何，均在旋轉軸J4上與照明部22的光軸J1交叉。俯視（即，沿著旋轉軸J4觀察的狀態）時的拍攝部24的光軸J2與照明部22的光軸J1所成的角度等於測定角度θ。而且，不論測定角度θ的大小如何，拍攝部24的光軸方向上的拍攝輔助構件23與拍攝部24之間的距離L2均為固定。
圖1所示的示例中，旋轉機構27包括馬達271以及皮帶272。馬達271是被安裝於對象物保持部21下方的旋轉馬達。皮帶272是與對象物保持部21以及輔助構件保持部26的側面接觸的環狀構件。當馬達271旋轉時，連接於馬達271的對象物保持部21旋轉。而且，藉由作用於對象物保持部21與皮帶272之間的摩擦力，皮帶272亦旋轉，對象物保持部21的旋轉被傳遞至輔助構件保持部26，輔助構件保持部26亦旋轉與對象物保持部21相同的角度。
移動機構28使拍攝輔助構件23以及拍攝部24沿X方向（即，照明部22的光軸方向）移動。圖4是表示拍攝輔助構件23以及拍攝部24藉由移動機構28而從圖3所示的位置朝（+X）方向移動的狀態的平面圖。圖4所示的示例中，移動機構28藉由使輔助構件保持部26朝X方向移動，從而使拍攝輔助構件23以及輔助構件保持部26與經由框架32而固定於輔助構件保持部26的拍攝部24一體地移動。藉此，X方向上的對象物9與拍攝輔助構件23之間的距離L1（以下亦稱作「投影距離L1」）受到變更。投影距離L1為旋轉軸J3與旋轉軸J4之間的X方向的距離。移動機構28例如包括線性馬達或氣缸。
如上所述，圖像獲取裝置11中，輔助構件保持部26以及拍攝部24藉由移動機構28而一體地移動，因此所述移動是在將拍攝部24的光軸方向上的拍攝輔助構件23與拍攝部24之間的距離L2（參照圖3）維持為固定的狀態下進行。當輔助構件保持部26藉由移動機構28而朝X方向移動時，例如旋轉機構27的皮帶272伸縮，藉此，拍攝輔助構件23以及輔助構件保持部26維持同步於對象物9以及對象物保持部21的旋轉而旋轉相同角度的狀態。而且，旋轉機構27對於對象物9、拍攝輔助構件23以及拍攝部24的旋轉是在將X方向上的對象物9與拍攝輔助構件23之間的距離（即，投影距離L1）以及拍攝部24的光軸方向上的拍攝輔助構件23與拍攝部24之間的距離L2維持為固定的狀態下進行。再者，旋轉機構27以及移動機構28的結構無須限定於所述示例，可進行各種變更。
圖像獲取裝置11中，若將X方向（即，照明部22的光軸方向）上的透鏡223與拍攝輔助構件23之間的距離設為L3（參照圖1以及圖2），則距離L3較佳為透鏡223的焦距的一半以上。藉此，可抑制光源221的副實像藉由透鏡223而投影至拍攝輔助構件23上的現象，從而抑制所述副實像包含於由拍攝部24所獲取的拍攝圖像中的情況。所述副實像是從照明部22出射的觀察光71被對象物9反射而再入射至透鏡223，並被透鏡223的光源部220側的透鏡面反射而較透鏡223在（+X）側成像者。本實施形態中，被對象物9反射而再入射至透鏡223的光為大致平行光，因此所述副實像是較透鏡223而在（+X）側成像於透鏡223的焦距的大致一半的位置。再者，詳細而言，所述距離L3是在光軸J1上成為透鏡223的焦距的基準的點、與光軸J1上的拍攝輔助構件23的位置（上述例中為旋轉軸J4）之間的距離。
圖5是表示電腦12的結構的圖。電腦12是包括處理器101、記憶體102、輸入/輸出部103以及匯流排104的通常的電腦系統。匯流排104是連接處理器101、記憶體102以及輸入/輸出部103的訊號電路。記憶體102記憶程式以及各種資訊。處理器101藉由記憶於記憶體102中的程式等，利用記憶體102等並執行各種處理（例如數值計算或圖像處理）。輸入/輸出部103包括受理來自操作者的輸入的鍵盤105及滑鼠106、與顯示來自處理器101的輸出等的顯示器107。
圖6是表示藉由電腦12而實現的功能的方塊圖。圖6所示的示例中，藉由電腦12來實現記憶部41、控制部42、缺陷檢測部43。缺陷檢測部43包括輪廓獲取部44、週期性缺陷判別部45、非週期性缺陷判別部46以及評價值計算部47。記憶部41主要是藉由記憶體102來實現，記憶由拍攝部24所獲取的拍攝圖像等。控制部42主要藉由處理器101來實現，對拍攝部24、旋轉機構27以及移動機構28進行控制。藉由控制部42來控制拍攝部24、旋轉機構27及/或移動機構28，藉此來獲取測定角度θ及/或投影距離L1不同的多個拍攝圖像。缺陷檢測部43主要是藉由處理器101來實現，基於由拍攝部24所獲取的拍攝圖像，如後所述般檢測對象物9的缺陷。
圖7是表示製造對象物9的製造裝置8的圖。製造裝置8是所謂的擠出成形裝置。製造裝置8包括料斗81、擠出機82、齒輪泵83、模具84以及成形輥85a～成形輥85c。成形輥85a～成形輥85c各自的外徑例如為200 mm～500 mm。
製造裝置8中，從料斗81供給的樹脂顆粒或樹脂粉末（即，對象物9的材料）在擠出機82內被熔融，熔融樹脂藉由齒輪泵83被送出至模具84。然後，從模具84的下端呈膜狀掉落而被供給至旋轉的成形輥85a與成形輥85b之間。從模具84的供給的熔融樹脂在成形輥85a與成形輥85b之間受到夾壓並冷卻，而成形為規定厚度的片材構件90（即，連續的對象物9）並捲繞於成形輥85b的表面。片材構件90通過成形輥85b與成形輥85c之間而被拉出。製造裝置8中，沿著成形輥85b、成形輥85c的外側面中的與片材構件90接觸的區域的方向、以及離開成形輥85c的片材構件90受到搬送的方向為片材構件90的搬送方向（即，所述對象物9的搬送方向）。圖7中，以標註了符號91的箭頭來表示所述搬送方向。所述對象物9是將片材構件90的一部分切出而成者。
圖8是表示對象物9的圖。圖8中，對表示與圖7中的搬送方向91對應的方向的箭頭標註了符號91。以下的說明中，與搬送方向91對應的對象物9上的方向亦稱作「搬送方向91」。而且，與對象物9的主面平行且與搬送方向91垂直的方向亦稱作寬度方向92。圖1以及圖2中，寬度方向92垂直於XY平面。
對象物9的缺陷主要是在製造裝置8的製造過程中產生。對象物9的缺陷可分類為在所述搬送方向91上週期性地出現的缺陷即週期性缺陷與不具有週期性的非週期性缺陷。
週期性缺陷包含條帶狀的第一週期性缺陷，所述條帶狀的第一週期性缺陷是在對象物9上沿搬送方向91週期性地排列的多個條紋。圖9是由拍攝部24拍攝對象物9上的多個條紋所得的圖像。多個條紋在對象物9上於沿著寬度方向92的方向上呈大致直線狀延伸。各條紋亦可理解為寬度方向92上的長度較搬送方向91上的寬度為長的大致帶狀。各條紋沿著寬度方向92實質上不中斷地連續延伸。圖9所示的示例中，各條紋沿著寬度方向92縱斷所述圖像。多個條紋的週期（即，鄰接的兩條條紋之間在搬送方向91上的距離）比成形輥85b的外側面的周長小。例如，多個條紋的週期為成形輥85b的外側面的周長的0.1%～5%。所述多個條紋例如是因成形輥85a～成形輥85c的旋轉速度的差異等偏離適當的範圍而產生。
多個條紋既可與寬度方向92平行地延伸，亦可沿相對於寬度方向傾斜一定程度的方向延伸。多個條紋所延伸的方向與寬度方向92所成的角度例如為0°～10°。多個條紋既可嚴格地沿直線狀延伸，亦可稍許彎曲且呈大致直線狀地延伸。多個條紋既可在搬送方向91上嚴格地以相同的週期而出現，亦可以包含少許偏離的大致相同的週期而出現。若將所述寬度方向92以及搬送方向91分別稱作「第一方向」以及「第二方向」，則多個條紋在對象物9上沿著第一方向呈大致直線狀地延伸，並且在與第一方向垂直的第二方向上週期性地排列。
所述週期性缺陷更包含與作為第一週期性缺陷的多個條紋不同的、非條紋狀的第二週期性缺陷。第二週期性缺陷與第一週期性缺陷大致同樣地，在對象物9上沿搬送方向91週期性地排列。一般而言，第二週期性缺陷在搬送方向91上的週期存在較第一週期性缺陷在搬送方向91上的週期為大的傾向，但亦可小於第一週期性缺陷的所述週期，還可為大致相同。第二週期性缺陷在搬送方向91上的週期例如為成形輥85b的外側面的周長的0.5%～100%。所述「非條紋狀」是指並非沿著寬度方向92長長地（例如長至縱斷圖像的程度）延伸，而是實質上為非直線狀的形狀。第二週期性缺陷中所含的各缺陷例如為大致橢圓形狀或大致矩形狀。第二週期性缺陷例如包含因在成形輥85b的外側面違反意圖而存在的凹凸形狀（例如劃痕或異物）被轉印至片材構件90的主面而產生的缺陷（以下亦稱作「轉印缺陷」）。例如，在成形輥85b的外側面上存在的所述凹凸形狀為一個的情況下，轉印缺陷的週期與成形輥85b的外側面的周長大致相同。
而且，第二週期性缺陷亦包含在片材構件90從成形輥85b等的外側面剝離時，在成形輥85b等的外側面上的一部分未被適當剝離的情況下所產生的缺陷（以下亦稱作「剝離痕」）。第二週期性缺陷亦包含因片材構件90的冷卻不良而產生的缺陷。所述冷卻不良造成的缺陷包含所謂的「冷卻不均」以及「厚度不均」。冷卻不均是在相對較厚的片材構件90受到冷卻時，有可能因片材構件90的表面附近與內部的冷卻速度的差異而產生的外觀不良。具體而言，在片材構件90的表面附近受到冷卻而固化的狀態下，片材構件90的內部尚未固化而仍為熔融狀態的情況下，有時會因所述狀態的差異而產生冷卻不均。而且，因片材構件90的熔融狀態的內部的熱導致已暫時固化的表面附近再次熔融，從而造成片材構件90的厚度變得不均等的缺陷為厚度不均。圖10是由拍攝部24來拍攝對象物9上的冷卻不均所得的圖像。
而且，第二週期性缺陷亦包含在熔融樹脂從模具84掉落至成形輥85a與成形輥85b之間時，因風等的外界干擾或成形輥85a、成形輥85b上的熔融樹脂的滯留等，導致熔融樹脂被供給至偏離所期望的掉落位置的位置而進行不適當的夾壓的情況下所產生的缺陷（以下亦稱作「掉落偏離缺陷」）。第二週期性缺陷亦包含因由齒輪泵83的齒輪的咬合引起的熔融樹脂的週期性脈動而產生的缺陷（以下亦稱作「泵痕」）、以及因藉由擠出機82內的螺桿進行的混煉時產生的熔融樹脂的黏度差而引起的片材構件90的厚度的週期性變動（以下亦稱作「流痕」）。
所述非週期性缺陷包含：第一非週期性缺陷，為形成於對象物9的表面上的劃痕或附著於所述表面的異物（即附著物）；以及第二非週期性缺陷，為混入至對象物9內部的異物（即混入物）。再者，混入物既可整體存在於對象物9的內部，亦可一部分從對象物9的表面露出。圖11是由拍攝部24來拍攝對象物9表面上的劃痕（即，第一非週期性缺陷）所得的圖像。圖11中，以虛線的圓來包圍劃痕。第一非週期性缺陷是因在製造裝置8中使片材構件90成形後，或者，在已利用製造裝置8而成形的片材構件90的搬送等中，片材構件90的表面與某些物體接觸，或者空氣中的異物附著於所述表面等而產生。第二非週期性缺陷是因在製造裝置8中的片材構件90的製造中，空氣中的異物等混入至熔融樹脂等而產生。
接下來說明檢查裝置1對於對象物9的缺陷檢測流程。圖12是表示檢測對象物9的第一週期性缺陷、第二週期性缺陷以及非週期性缺陷時的缺陷檢測流程的一例的圖。
圖1所示的檢查裝置1中，首先，藉由控制部42（參照圖6）來控制旋轉機構27以及移動機構28，從而拍攝輔助構件23、輔助構件保持部26以及拍攝部24旋轉以及移動，以成為規定的測定角度θ以及投影距離L1。接下來，從照明部22對於對象物9照射觀察光71，進行拍攝部24對拍攝圖像的獲取（步驟S11）。所述拍攝圖像從拍攝部24被送至電腦12，並保存於記憶部41（參照圖6）中。
繼而，如圖13所示，在拍攝圖像95中，在與對象物9的寬度方向92對應的方向（以下亦簡稱作「寬度方向92」）的多個檢查位置，藉由輪廓獲取部44（參照圖6）來分別設定多個檢查區域96。圖13中，顯示了拍攝圖像95的輪廓以及檢查區域96，但省略了拍攝圖像95中所含的缺陷等的圖示。各檢查區域96是在拍攝圖像95中，沿與對象物9的搬送方向91對應的方向（以下亦簡稱作「搬送方向91」）呈直線狀延伸的矩形帶狀的區域。較佳的是，各檢查區域96是遍及拍攝圖像95的搬送方向91的全長而設。各檢查區域96的寬度方向92的寬度比搬送方向91的長度小，例如為拍攝圖像95的寬度方向92的寬度的0.003%～0.1%。多個檢查區域96在寬度方向92上彼此隔開地配置。圖13所示的示例中，在拍攝圖像95的寬度方向92的兩端部以及中央部配置有三個檢查區域96。較佳的是，所述三個檢查區域96在寬度方向92上大致等間隔地排列。再者，多個檢查區域96的數量可在2以上的範圍進行各種變更。而且，各檢查區域96的寬度方向92的寬度亦可小於拍攝圖像95的寬度方向92的寬度的0.003%，還可大於0.1%。多個檢查區域96未必需要彼此隔開地配置，亦可在寬度方向92上連續地配置。
接下來，藉由輪廓獲取部44，對於多個檢查區域96分別獲取亮度輪廓（步驟S12）。所謂亮度輪廓，是指各檢查區域96中的搬送方向91的亮度變化。圖14是對於如圖9所示的圖像般存在多個條紋的拍攝圖像95，將三個檢查區域96中的亮度輪廓上下排列而示意性地表示者。圖14中的橫軸表示搬送方向91上的位置，縱軸表示亮度。圖14中表示各檢查區域96的亮度輪廓的一部分。在後述的同樣的圖式中亦相同。
缺陷檢測部43中，藉由週期性缺陷判別部45（參照圖6），從各檢查區域96的亮度輪廓中檢測週期性亮度變動（步驟S13）。所謂週期性亮度變動，如圖14中所示，表示在搬送方向91上週期性地出現亮度的波峰97的狀態。週期性亮度變動是藉由對亮度輪廓進行傅立葉變換等的頻率分析而檢測。週期性亮度變動的檢測亦可藉由其他方法來進行。再者，步驟S13中，若各檢查區域96的亮度輪廓不存在相對較大的亮度變動（例如從亮度輪廓的平均亮度偏離了規定的良品臨限值以上的波峰），則判斷對象物9為良品。
當在步驟S13中檢測出週期性亮度變動時，求出各檢查區域96中的週期性亮度變動的週期（即，最大值側或最小值側的鄰接的波峰97間的距離）。所述週期的算出亦藉由所述的頻率分析或者其他方法來進行。如圖14所示，若有週期相同的週期性亮度變動共同存在於多個亮度輪廓，則週期性缺陷判別部45判斷為對象物9中存在第一週期性缺陷（即，多個條紋）（步驟S14、步驟S15）。所述的週期性亮度變動的週期相同的狀態是指：從多個亮度輪廓中檢測出的週期性亮度變動的週期包含在誤差15%以下的範圍內的狀態。
另一方面，若多個檢查區域96的亮度輪廓如圖15所示，與存在於一個亮度輪廓的週期性亮度變動為相同週期的週期性亮度變動不存在於其他亮度輪廓（即，若多個亮度輪廓未共同具有週期相同的週期性亮度變動），則週期性缺陷判別部45判斷為對象物9中存在第二週期性缺陷（步驟S14、步驟S16）。
再者，缺陷檢測部43中，若在步驟S13中求出的週期性亮度變動的週期相對較大（例如大於成形輥85b的外側面的周長的5%），則週期性缺陷判別部45亦可不論步驟S14的結果如何而判斷為存在第二週期性缺陷而非第一週期性缺陷。
當週期性缺陷的檢測結束時，進行缺陷檢測部43對非週期性缺陷的檢測。具體而言，在所述拍攝圖像95的各亮度輪廓中，相對較大的亮度變動（例如從亮度輪廓的平均亮度偏離了規定的臨限值以上的波峰）中的除了所述週期性亮度變動以外的部分被非週期性缺陷判別部46（參照圖6）檢測為非週期性亮度變動（步驟S17）。接下來，所述非週期性亮度變動被非週期性缺陷判別部46判斷為非週期性缺陷（步驟S18）。再者，步驟S17～步驟S18中，不需要使用拍攝圖像95的多個檢查區域96中的所有的亮度輪廓，亦可使用多個亮度輪廓中的至少一個亮度輪廓，從所述一個亮度輪廓中檢測非週期性缺陷。或者，亦可對拍攝圖像95設定與所述的多個檢查區域96不同的檢查區域96，使用所述不同的檢查區域96的亮度輪廓來檢測非週期性缺陷。
所述說明中，步驟S13～步驟S16中的週期性缺陷的檢測中所使用的拍攝圖像95與步驟S17～步驟S18中的非週期性缺陷的檢測中所使用的拍攝圖像95為相同，但亦可不同。
例如，亦可為，在步驟S11中，分別獲取週期性缺陷檢測用的拍攝圖像95與非週期性缺陷檢測用的拍攝圖像95，在步驟S12中，獲取各拍攝圖像95的檢查區域96的亮度輪廓。較佳的是，藉由控制部42來控制拍攝部24以及旋轉機構27，藉此，在測定角度θ被設為規定的第一測定角度的狀態下獲取週期性缺陷檢測用的拍攝圖像95，且在測定角度θ被設為規定的第二測定角度的狀態下獲取非週期性缺陷檢測用的拍攝圖像95。第二測定角度是與第一測定角度不同的角度。較佳的是，第一測定角度大於第二測定角度。藉由加大第一測定角度，從而在拍攝圖像95中，多個條紋與條紋以外的區域的濃淡差變大，因此可高精度地檢測多個條紋。例如，第一測定角度為30°～80°，第二測定角度為0°～60°。
圖16是表示檢測對象物9的第一非週期性缺陷以及第二非週期性缺陷時的缺陷檢測流程的一例的圖。圖1所示的檢查裝置1中，與所述步驟S11大致同樣地進行拍攝圖像95（參照圖13）的獲取。接下來，藉由控制部42來控制移動機構28而變更了投影距離L1後，進行拍攝部24對拍攝圖像95的獲取。將投影距離L1的變更以及拍攝圖像95的獲取反覆進行規定次數，藉此，獲取投影距離L1不同的多個拍攝圖像95（步驟S21）。所述多個拍攝圖像95從拍攝部24被送至電腦12，並保存於記憶部41（參照圖6）中。在步驟S21中，例如獲取投影距離L1為30 mm、50 mm、100 mm、150 mm、200 mm、250 mm、300 mm以及350 mm時的拍攝圖像95。再者，投影距離L1可進行各種變更，多個拍攝圖像95的數量亦可在2以上的範圍進行各種變更。
繼而，藉由輪廓獲取部44，在各拍攝圖像95中設定所述檢查區域96。以下的說明中，設對各拍攝圖像95設定的檢查區域96的數量為一個來進行說明，但亦可對各拍攝圖像95設定多個檢查區域96。輪廓獲取部44獲取各拍攝圖像95的檢查區域96中的亮度輪廓（步驟S22）。
缺陷檢測部43中，藉由評價值計算部47（參照圖6），在一個拍攝圖像95的亮度輪廓中檢測非週期性亮度變動（步驟S23）。所述非週期性亮度變動對應於對象物9上的非週期性缺陷（即，第一非週期性缺陷或第二非週期性缺陷）。在亮度輪廓中包含所述週期性亮度變動的情況下，非週期性亮度變動的檢測例如是藉由下述方式來進行，即，在從所述亮度輪廓中去除了週期性亮度變動後，從剩餘的亮度變動中檢測相對較大的亮度變動（例如，從亮度輪廓的平均亮度偏離了規定的臨限值以上的波峰）。圖17是示意性地表示存在一個非週期性亮度變動的亮度輪廓的圖。再者，在步驟S23中，若檢查區域96的亮度輪廓不存在相對較大的亮度變動，則判斷對象物9為良品。
若與非週期性亮度變動對應的非週期性缺陷是作為對象物9表面上的劃痕或附著物的第一非週期性缺陷，則第一非週期性缺陷會使觀察光71發生漫反射，因此觀察光71幾乎不會入射至拍攝輔助構件23上的與第一非週期性缺陷對應的區域。因此，與第一非週期性缺陷對應的非週期性亮度變動成為較周圍的部位暗的顏色的點狀或線狀（即，為黑的點或黑的線，以下亦稱作「黑點等」）。即便投影距離L1發生變更，與第一非週期性缺陷對應的非週期性亮度變動亦幾乎不會大幅變動。
另一方面，若與非週期性亮度變動對應的非週期性缺陷為作為對象物9內部的混入物的第二非週期性缺陷，則包含第二非週期性缺陷的樹脂層會使觀察光71發生鏡面反射，因此在拍攝輔助構件23上的與第二非週期性缺陷對應的區域的周圍，經鏡面反射的光增強。因此，與第二非週期性缺陷對應的非週期性亮度變動在所述的黑點等與周圍的區域之間，具有較所述周圍的區域明亮的大致環狀的區域。對於與第二非週期性缺陷對應的非週期性亮度變動，當投影距離L1變大時，所述的鏡面反射後的光會大幅展開，因此黑點等將變大，所述大致環狀的明亮區域亦變大。
評價值計算部47算出所述非週期性亮度變動的評價值。而且，評價值計算部47在所述一個拍攝圖像95以外的拍攝圖像95的亮度輪廓中，檢測與所述非週期性亮度變動對應的非週期性亮度變動，並算出所檢測出的非週期性亮度變動的評價值。換言之，評價值計算部47在所述的多個拍攝圖像95中分別求出非週期性亮度變動的評價值（步驟S24）。
所述評價值例如是將圖17中與所述黑點等對應的朝下的波峰971與在所述波峰971的兩側鄰接的朝上的波峰972、波峰973各自之差即A以及B中的較大者除以波峰972與波峰973之間的距離W所得的值。即，所述評價值是作為Max（A、B）/W而求出。
再者，在步驟S24中求出的評價值並不限於藉由所述的式（Max（A、B）/W）而求出者，只要具有以下的特徵中的至少一個，則可進行各種變更。所述評價值的一個特徵為：隨著所述的朝下的波峰971與朝上的波峰972、波峰973之差即Max（A、B）變大而評價值變大。所述評價值的另一特徵為：隨著所述的波峰972與波峰973之間的距離W變大而評價值變小。例如，所述評價值亦可為（Max（A、B）） 2/W 2。或者，所述評價值亦可為Max（A、B）。
非週期性缺陷判別部46（參照圖6）求出表示多個拍攝圖像95中的評價值的變動程度的評價值變動指數（步驟S25）。所述評價值變動指數例如是將投影距離L1不同的多個拍攝圖像95中的非週期性亮度變動的評價值如圖18所示般按照投影距離L1小的順序予以排列，並作為鄰接的各兩個評價值的差值（即，鄰接的各兩個評價值之差的絕對值）的算術平均而求出。在步驟S25中求出的評價值變動指數只要具有下述特徵，則可進行各種變更，所述特徵為：隨著相對於投影距離L1的變動的、評價值的變動程度變大，而所述評價值變動指數變大，隨著相對於投影距離L1的變動的、評價值的變動程度變小，而所述評價值變動指數變小。
如上所述，若非週期性缺陷為作為對象物9表面上的劃痕或附著物的第一非週期性缺陷，則即便投影距離L1發生變更，亮度輪廓中的非週期性亮度變動亦幾乎不會發生變動。另一方面，若非週期性缺陷為作為對象物9內部的混入物的第二非週期性缺陷，則當投影距離L1發生變更時，亮度輪廓中的非週期性亮度變動會相對較大地變動。在非週期性缺陷判別部46中，若亮度輪廓中的非週期性亮度變動的評價值變動指數為規定的臨限值以下，則判斷與所述非週期性亮度變動對應的非週期性缺陷為第一非週期性缺陷（步驟S26、步驟S27）。而且，若亮度輪廓中的非週期性亮度變動的評價值變動指數大於所述臨限值，則判斷與所述非週期性亮度變動對應的非週期性缺陷為第二非週期性缺陷（步驟S26、步驟S28）。所述臨限值是基於存在第一非週期性缺陷以及第二非週期性缺陷的對象物9的拍攝圖像95等來預先決定並記憶於記憶部41中。
所述步驟S21中，是在測定角度θ被固定為一個角度的狀態下，獲取與多個投影距離L1對應的多個拍攝圖像95，但測定角度θ亦可變更，亦可獲取與多個測定角度θ對應的多個拍攝圖像95。若非週期性缺陷為作為對象物9表面上的劃痕或附著物的第一非週期性缺陷，則當測定角度θ發生變更時，與所述非週期性缺陷對應的非週期性亮度變動會相對較大地變動。另一方面，若非週期性缺陷為作為對象物9內部的混入物的第二非週期性缺陷，則即便測定角度θ發生變更，與所述非週期性缺陷對應的非週期性亮度變動亦幾乎不會大幅變動。
在變更測定角度θ而獲取拍攝圖像95時，例如在測定角度θ為0°的狀態下變更投影距離L1來獲取多個拍攝圖像95，在測定角度θ被變更為30°後，變更投影距離L1來獲取多個拍攝圖像95。而且，在測定角度θ被變更為60°後，變更投影距離L1來獲取多個拍攝圖像95，進而，在測定角度θ被變更為80°度後，變更投影距離L1來獲取多個拍攝圖像95。換言之，對於測定角度θ=0°、30°、60°以及80°的各狀態，獲取投影距離L1不同的多個拍攝圖像95。再者，測定角度θ的大小可在0°以上且小於90°的範圍內進行各種變更，多個拍攝圖像95的數量可在2以上的範圍內進行各種變更。
此時，在步驟S22中，對於多個測定角度θ的各個，從投影距離L1不同的多個拍攝圖像95中獲取多個亮度輪廓。而且，在步驟S23～步驟S24中，對於多個測定角度θ的各個，從投影距離L1不同的多個拍攝圖像95求出非週期性亮度變動的多個評價值。
在步驟S25中，評價值變動指數是基於各測定角度θ下的多個評價值的變動而求出。具體而言，首先，對於多個測定角度θ的各個，將利用與所述評價值變動指數相同的方法而求出的值設為「臨時變動指數」。並且，獲取將與多個測定角度θ對應的多個臨時變動指數中的最小的臨時變動指數除以最大的臨時變動指數所得的值來作為評價值變動指數。
在步驟S26、步驟S27中，若所述評價值變動指數為規定的臨限值以下（即，若相對於測定角度θ的變化的、非週期性亮度變動的變化相對較大），則判斷與所述非週期性亮度變動對應的非週期性缺陷為第一非週期性缺陷。而且，若亮度輪廓中的非週期性亮度變動的評價值變動指數大於所述臨限值（即，若相對於測定角度θ的變化的、非週期性亮度變動的變化相對較小），則判斷與所述非週期性亮度變動對應的非週期性缺陷為第二非週期性缺陷。在步驟S21中變更投影距離L1以及測定角度θ時的所述臨限值與在步驟S21中僅變更投影距離L1而不變更測定角度θ時的臨限值不同。
檢查裝置1中，既可如上所述般進行步驟S11～步驟S18（即，第一週期性缺陷與第二週期性缺陷的判別、以及非週期性缺陷的檢測），亦可僅進行步驟S11～步驟S16（即，第一週期性缺陷與第二週期性缺陷的判別）。而且，檢查裝置1中，亦可取代步驟S11～步驟S18中的步驟S17～步驟S18（即，非週期性缺陷的檢測）而進行步驟S21～步驟S27（即，第一非週期性缺陷與第二非週期性缺陷的判別）。此時，步驟S11～步驟S16與步驟S21～步驟S27無論哪個先進行皆可。
如以上所說明般，檢查裝置1對片材狀或板狀的具有透光性的對象物9的缺陷進行檢測。檢查裝置1包括對象物保持部21、輔助構件保持部26、照明部22、拍攝部24以及缺陷檢測部43。對象物保持部21保持對象物9。輔助構件保持部26與對象物9平行地保持片材狀或板狀的拍攝輔助構件23。照明部22將觀察光71照射至對象物9。拍攝部24夾著拍攝輔助構件23而與對象物9配置於相反側。拍攝部24具有與對象物9的法線方向平行的光軸J2，對藉由透射過對象物9的觀察光71而形成於拍攝輔助構件23上的像進行拍攝，以獲取拍攝圖像95。缺陷檢測部43基於拍攝圖像95來檢測對象物9的缺陷。
可由缺陷檢測部43來檢測的缺陷包含第一週期性缺陷與第二週期性缺陷。第一週期性缺陷是在對象物9上沿著第一方向（所述示例中為寬度方向92）呈直線狀延伸，並且在與所述第一方向垂直的第二方向（所述示例中為搬送方向91）上週期性地排列的多個條紋。第二週期性缺陷是在對象物9上沿第二方向週期性地排列的非條紋狀的缺陷。
缺陷檢測部43包括輪廓獲取部44與週期性缺陷判別部45。輪廓獲取部44在拍攝圖像95中，在第一方向的多個檢查位置設定與第二方向平行且分別呈直線狀延伸的多個檢查區域96。輪廓獲取部44獲取多個檢查區域96各自中的第二方向的亮度變化即多個亮度輪廓。週期性缺陷判別部45對於所述多個亮度輪廓分別檢測週期性亮度變動。並且，週期性缺陷判別部45在週期相同的週期性亮度變動共同存在於多個亮度輪廓的情況下，判斷為存在第一週期性缺陷，在與存在於所述多個亮度輪廓中的一個亮度輪廓的週期性亮度變動為相同週期的週期性亮度變動不存在於其他亮度輪廓的情況下，判斷為存在第二週期性缺陷。
所述檢查裝置1中，對於對象物9的週期性缺陷，可自動判別且檢測週期性缺陷的種類。其結果，可根據週期性缺陷的種類來準確且高效地進行對象物9的製造裝置8（參照圖7）等的調整。例如，在檢測出多個條紋即第一週期性缺陷以作為對象物9的缺陷的情況下，在製造裝置8中，藉由調整成形輥85a～成形輥85c的旋轉速度的差異等，可降低或防止第一週期性缺陷。
如上所述，較佳的是，可由缺陷檢測部43來檢測的缺陷更包含非週期性缺陷，所述非週期性缺陷為對象物9的表面上的劃痕或附著物、或者混入至對象物9內部的混入物。較佳的是，缺陷檢測部43更包括非週期性缺陷判別部46，所述非週期性缺陷判別部46在所述多個亮度輪廓中的至少一個亮度輪廓檢測非週期性亮度變動，將所述非週期性亮度變動判斷為非週期性缺陷。藉此，除了所述的第一週期性缺陷以及第二週期性缺陷的判別以外，亦可自動檢測對象物9的非週期性缺陷。其結果，可更高精度地進行對象物9的缺陷檢查。
如上所述，較佳的是，檢查裝置1更包括旋轉機構27與控制部42。旋轉機構27在維持照明部22的光軸方向上的對象物9與拍攝輔助構件23之間的距離（即，投影距離L1）、以及拍攝部24的光軸方向上的拍攝輔助構件23與拍攝部24之間的距離的狀態下，使對象物9、拍攝輔助構件23以及拍攝部24以與照明部22的光軸J1垂直的旋轉軸J3、旋轉軸J4為中心而相對於照明部22的光軸J1來相對地旋轉，以變更照明部22的光軸J1與對象物9的法線方向所成的角度即測定角度θ。控制部42藉由控制拍攝部24以及旋轉機構27，從而在測定角度θ被設為規定的第一測定角度的狀態下獲取拍攝圖像95，以供週期性缺陷判別部45所進行的缺陷檢測用，且在測定角度θ被設為與所述第一測定角度不同的規定的第二測定角度的狀態下獲取拍攝圖像95，以供非週期性缺陷判別部46所進行的缺陷檢測用。
如此，基於以適合於週期性缺陷的特性的第一測定角度所獲取的拍攝圖像95來檢測週期性缺陷，基於以適合於非週期性缺陷的特性的第二測定角度所獲取的拍攝圖像95來檢測非週期性缺陷，藉此，可高精度地檢測週期性缺陷以及非週期性缺陷這兩者。
再者，檢查裝置1中，控制部42亦可對拍攝部24以及移動機構28進行控制，藉此，在投影距離L1被設為規定的第一投影距離的狀態下獲取拍攝圖像95，以供週期性缺陷判別部45所進行的缺陷檢測用，在投影距離L1被設為與所述第一投影距離不同的規定的第二投影距離的狀態下獲取拍攝圖像95，以供非週期性缺陷判別部46所進行的缺陷檢測用。此時，亦可高精度地檢測週期性缺陷以及非週期性缺陷這兩者。
如上所述，較佳的是，檢查裝置1更包括移動機構28與控制部42。移動機構28在維持拍攝部24的光軸方向上的拍攝輔助構件23與拍攝部24之間的距離的狀態下，使拍攝輔助構件23以及拍攝部24相對於對象物9而朝照明部22的光軸方向相對移動，以變更照明部22的光軸方向上的拍攝輔助構件23與對象物9之間的距離即投影距離L1。控制部42對拍攝部24以及移動機構28進行控制，藉此來獲取投影距離L1不同的多個拍攝圖像95。非週期性缺陷包含：第一非週期性缺陷，為對象物9的表面上的劃痕或附著物；以及第二非週期性缺陷，為混入至對象物9內部的混入物。
較佳的是，輪廓獲取部44在多個拍攝圖像95的各個中，在第一方向的規定的檢查位置，設定與第二方向平行且呈直線狀延伸的檢查區域96，獲取所述檢查區域96中的第二方向的亮度變化即亮度輪廓。較佳的是，缺陷檢測部43更包括評價值計算部47。評價值計算部47在多個拍攝圖像95中的一個拍攝圖像95的亮度輪廓中檢測非週期性亮度變動，在多個拍攝圖像95中分別求出所述非週期性亮度變動的評價值。較佳的是，非週期性缺陷判別部46對於非週期性亮度變動，在表示多個拍攝圖像95中的評價值的變動程度的評價值變動指數為規定的臨限值以下的情況下，判斷為第一非週期性缺陷，在所述評價值變動指數大於所述臨限值的情況下，判斷為第二非週期性缺陷。藉此，對於對象物9的非週期性缺陷，可自動判別且檢測非週期性缺陷的種類。
更佳的是，檢查裝置1更包括旋轉機構27。旋轉機構27在維持照明部22的光軸方向上的對象物9與拍攝輔助構件23之間的距離（即，投影距離L1）、以及拍攝部24的光軸方向上的拍攝輔助構件23與拍攝部24之間的距離的狀態下，使對象物9、拍攝輔助構件23以及拍攝部24以與照明部22的光軸J1垂直的旋轉軸J3、旋轉軸J4為中心而相對於照明部22的光軸J1相對地旋轉，以變更照明部22的光軸J1與對象物9的法線方向所成的角度即測定角度θ。較佳的是，藉由控制部42來控制拍攝部24、移動機構28以及旋轉機構27，從而在多個測定角度θ下分別獲取投影距離L1不同的多個拍攝圖像95。並且，藉由輪廓獲取部44，對於多個測定角度θ分別從所述多個拍攝圖像95獲取多個亮度輪廓。而且，藉由評價值計算部47，對於多個測定角度θ分別從所述多個拍攝圖像95求出非週期性亮度變動的多個評價值。並且，較佳的是，評價值變動指數亦基於多個測定角度θ各自的多個評價值的變動來求出。藉此，可高精度地進行非週期性缺陷的種類的自動判別。
檢查裝置1中，未必需要進行所述的步驟S11～步驟S18（即，第一週期性缺陷與第二週期性缺陷的判別、以及非週期性缺陷的檢測），亦可僅進行步驟S21～步驟S27（即，第一非週期性缺陷與第二非週期性缺陷的判別）。
此時，對片材狀或板狀的具有透光性的對象物9的缺陷進行檢測的檢查裝置1包括對象物保持部21、輔助構件保持部26、照明部22、拍攝部24、移動機構28、缺陷檢測部43以及控制部42。對象物保持部21保持對象物9。輔助構件保持部26與對象物9平行地保持片材狀或板狀的拍攝輔助構件23。照明部22將觀察光71照射至對象物9。拍攝部24夾著拍攝輔助構件23而與對象物9配置於相反側。拍攝部24具有與對象物9的法線方向平行的光軸J2，對藉由透射過對象物9的觀察光71而形成於拍攝輔助構件23上的像進行拍攝，以獲取拍攝圖像95。移動機構28在維持拍攝部24的光軸方向上的拍攝輔助構件23與拍攝部24之間的距離的狀態下，使拍攝輔助構件23以及拍攝部24相對於對象物9而朝照明部22的光軸方向相對移動，以變更照明部22的光軸方向上的拍攝輔助構件23與對象物9之間的距離即投影距離L1。缺陷檢測部43基於拍攝圖像95來檢測對象物9的缺陷。控制部42藉由控制拍攝部24以及移動機構28，從而獲取投影距離L1不同的多個拍攝圖像95。
可由缺陷檢測部43來檢測的缺陷包含：第一非週期性缺陷，為對象物9的表面上的劃痕或附著物；以及第二非週期性缺陷，為混入至對象物9內部的混入物。
缺陷檢測部43包括輪廓獲取部44、評價值計算部47以及非週期性缺陷判別部46。輪廓獲取部44在多個拍攝圖像95的各個中，在第一方向（所述示例中為寬度方向92）的規定的檢查位置，設定與跟第一方向垂直的第二方向（所述示例中為搬送方向91）平行且呈直線狀延伸的檢查區域96。輪廓獲取部44獲取檢查區域96中的第二方向的亮度變化即亮度輪廓。評價值計算部47在多個拍攝圖像95中的一個拍攝圖像95的亮度輪廓中檢測非週期性亮度變動，在多個拍攝圖像95中分別求出所述非週期性亮度變動的評價值。非週期性缺陷判別部46對於所述非週期性亮度變動，在表示多個拍攝圖像95中的評價值的變動程度的評價值變動指數為規定的臨限值以下的情況下，判斷為第一非週期性缺陷，在所述評價值變動指數大於所述臨限值的情況下，判斷為第二非週期性缺陷。藉此，對於對象物9的非週期性缺陷，可自動判別且檢測非週期性缺陷的種類。其結果，可根據非週期性缺陷的種類來高效地進行對象物9的製造裝置8（參照圖7）等的調整或對象物9的不良品的去除。
如上所述，較佳的是，檢查裝置1更包括旋轉機構27。旋轉機構27在維持照明部22的光軸方向上的對象物9與拍攝輔助構件23之間的距離（即，投影距離L1）、以及拍攝部24的光軸方向上的拍攝輔助構件23與拍攝部24之間的距離的狀態下，使對象物9、拍攝輔助構件23以及拍攝部24以與照明部22的光軸J1垂直的旋轉軸J3、旋轉軸J4為中心而相對於照明部22的光軸J1來相對地旋轉，以變更照明部22的光軸J1與對象物9的法線方向所成的角度即測定角度θ。較佳的是，藉由控制部42來控制拍攝部24、移動機構28以及旋轉機構27，從而在多個測定角度θ下分別獲取投影距離L1不同的多個拍攝圖像95。並且，藉由輪廓獲取部44，對於多個測定角度θ分別從所述多個拍攝圖像95獲取多個亮度輪廓。而且，藉由評價值計算部47，對於多個測定角度θ分別從所述多個拍攝圖像95求出非週期性亮度變動的多個評價值。並且，較佳的是，評價值變動指數亦基於多個測定角度θ各自的多個評價值的變動來求出。藉此，可高精度地進行非週期性缺陷的種類的自動判別。
檢查裝置1中，可進行所述的步驟S11～步驟S18以及步驟S21～步驟S27所示的檢查以外的各種缺陷檢查。此時，對片材狀或板狀的具有透光性的對象物9的缺陷進行檢測的檢查裝置1包括對象物保持部21、輔助構件保持部26、照明部22、拍攝部24、旋轉機構27以及缺陷檢測部43。對象物保持部21保持對象物9。輔助構件保持部26與對象物9平行地保持片材狀或板狀的拍攝輔助構件23。照明部22將觀察光71照射至對象物9。拍攝部24夾著拍攝輔助構件23而與對象物9配置於相反側。拍攝部24具有與對象物9的法線方向平行的光軸J2，對藉由透射過對象物9的觀察光71而形成於拍攝輔助構件23上的像進行拍攝，以獲取拍攝圖像95。旋轉機構27在維持照明部22的光軸方向上的對象物9與拍攝輔助構件23之間的距離（即，投影距離L1）、以及拍攝部24的光軸方向上的拍攝輔助構件23與拍攝部24之間的距離的狀態下，使對象物9、拍攝輔助構件23以及拍攝部24以與照明部22的光軸J1垂直的旋轉軸J3、旋轉軸J4為中心而相對於照明部22的光軸J1來相對地旋轉，以變更照明部22的光軸J1與對象物9的法線方向所成的角度即測定角度θ。缺陷檢測部43基於拍攝圖像95來檢測對象物9的缺陷。藉此，能夠以分別適合於欲檢測的各個種類的缺陷的測定角度θ來獲取拍攝圖像95。其結果，可高精度地檢測各個種類的缺陷。
如上所述，較佳的是，檢查裝置1更包括移動機構28。移動機構28在維持拍攝部24的光軸方向上的拍攝輔助構件23以及拍攝部24之間的距離的狀態下，使拍攝輔助構件23以及拍攝部24相對於對象物9而朝照明部22的光軸方向相對移動，以變更照明部22的光軸方向上的拍攝輔助構件23與對象物9之間的距離即投影距離L1。藉此，能夠以分別適合於欲檢測的各個種類的缺陷的投影距離L1來獲取拍攝圖像95。其結果，可更高精度地檢測各個種類的缺陷。
對象物9的第一非週期性缺陷以及第二非週期性缺陷的檢測方法並不限定於所述的步驟S21～步驟S27所示的示例，而可進行各種變更。以下，對在存在圖19A及圖19B所示的非週期性亮度變動的亮度輪廓中，判斷所述非週期性亮度變動是第一非週期性缺陷以及第二非週期性缺陷中的哪一種的、其他檢測方法的示例進行說明。
圖19A以及圖19B所示的亮度輪廓中，非週期性亮度變動包含：與所述的黑點等對應的朝下的波峰即下波峰971、以及在下波峰971的兩側鄰接的朝上的波峰即第一上波峰972及第二上波峰973。檢查裝置1中，藉由非週期性缺陷判別部46（參照圖6）來獲取背景亮度a0。圖19A以及圖19B中的背景亮度a0分別為圖19A以及圖19B所例示的亮度輪廓中的亮度變動的平均（即，平均亮度）。而且，非週期性缺陷判別部46獲取所述亮度輪廓中的亮度變動的朝上的半振幅a1以及朝下的半振幅a2。背景亮度a0是從所述亮度輪廓中去除了非週期性亮度變動的整個區域的平均亮度。而且，半振幅a1、半振幅a2分別為從所述亮度輪廓中去除了非週期性亮度變動的整個區域中的朝上的半振幅及朝下的半振幅的平均。再者，在亮度輪廓中非週期性亮度變動所占的比例相對較小的情況下，背景亮度a0以及半振幅a1、半振幅a2亦可分別作為所述亮度輪廓的包含非週期性亮度變動的整個區域中的平均而求出。繼而，藉由非週期性缺陷判別部46來獲取第一上波峰972與背景亮度a0的亮度差b，且獲取第二上波峰973與背景亮度a0的亮度差c。再者，亮度差b、亮度差c分別為絕對值（即，0以上）。
如上所述，在非週期性缺陷為第二非週期性缺陷的情況下，在非週期性亮度變動中，在所述的黑點等與周圍的區域之間，存在較所述周圍的區域明亮的大致環狀的區域。另一方面，在非週期性缺陷為第一非週期性缺陷的情況下，黑點等的周圍不怎麼明亮。基於所述特徵，在非週期性缺陷判別部46中，如圖19A所示，若亮度差b以及亮度差c為表示半振幅a1以及半振幅a2中的較大者的Max（a1、a2）以下，則判斷與所述非週期性亮度變動對應的非週期性缺陷為第一非週期性缺陷。而且，如圖19B所示，若亮度差b以及亮度差c中的至少一者大於Max（a1、a2），則判斷與所述非週期性亮度變動對應的非週期性缺陷為第二非週期性缺陷。藉此，對於對象物9的非週期性缺陷，可自動高精度地判別且檢測非週期性缺陷的種類。
再者，下波峰971的波峰亮度值亦可為背景亮度a0以上，但基於高精度地判別非週期性缺陷的種類這一觀點，較佳為小於背景亮度。即，若將下波峰971與第一上波峰972的亮度差設為B，將下波峰971與第二上波峰973的亮度差設為C，則較佳的是（b/B）以及（c/C）中的至少一者小於1，更佳的是兩者均小於1。
再者，作為所述的背景亮度a0，亦可使用與跟存在非週期性亮度變動的所述亮度輪廓對應的檢查區域96鄰接的其他檢查區域96中的亮度輪廓的平均亮度。而且，亦可將已確認了不存在非週期性亮度變動的其他檢查區域96中的亮度輪廓的平均亮度設為背景亮度a0。或者，亦可將過去所獲取的良品的對象物9中的亮度輪廓的平均亮度設為背景亮度a0。
如上所述，較佳的是，檢查裝置1中，照明部22包括光源部220與透鏡223，透鏡223將來自光源部220的光轉換為作為平行光的觀察光71並照射至對象物9。而且，較佳的是，照明部22的光軸方向（所述示例中為X方向）上的透鏡223與拍攝輔助構件23之間的距離L3為透鏡223的焦距的一半以上。藉此，可抑制光源221的副實像被透鏡223投影至拍攝輔助構件23上的現象，從而可抑制所述副實像被包含於由拍攝部24所獲取的拍攝圖像中的情況。其結果，可更高精度地檢測各個種類的缺陷。再者，基於抑制所述副實像被投影至拍攝輔助構件23上的觀點，較佳的是，在透鏡223的透鏡面設有抗反射膜。
所述的檢查裝置1中可進行各種變更。
例如，旋轉機構27以及移動機構28的結構並不限定於所述者，而可進行各種變更。
旋轉軸J3、旋轉軸J4只要垂直於照明部22的光軸J1，則未必需要沿Z方向延伸，例如亦可沿Y方向延伸。旋轉機構27只要可使拍攝輔助構件23以及拍攝部24相對於照明部22的光軸J1而相對地旋轉即可，例如亦可使照明部22、對象物9以及對象物保持部21在維持彼此的相對位置的狀態下旋轉。移動機構28只要可使拍攝輔助構件23以及拍攝部24相對於對象物9而朝照明部22的光軸方向（即，X方向）相對移動即可，例如亦可使照明部22、對象物9以及對象物保持部21在維持彼此的相對位置的狀態下沿X方向移動。
所述的示例中，在步驟S13中，若在檢查區域96的亮度輪廓中不存在相對較大的亮度變動，則判斷對象物9為良品，但對象物9的良否判斷亦可藉由其他的方法來進行。例如，首先以規定的測定角度θ（例如為30°，以下亦稱作「參照角度」）來拍攝預先經確認為良品的對象物（以下亦稱作「參照對象物」），將所獲取的拍攝圖像作為參照圖像而預先保存於記憶部41中。而且，將參照圖像的檢查區域中的亮度輪廓亦作為參照輪廓而預先記憶於記憶部41中。假設在參照圖像中存在有容許範圍內的濃度差的多個條紋。繼而，以與所述相同的測定角度θ（即，參照角度）來拍攝作為缺陷檢查對象的對象物9，求出所獲取的拍攝圖像95的檢查區域96中的亮度輪廓。繼而，對拍攝圖像95的亮度輪廓與參照圖像的亮度輪廓（即，參照輪廓）進行比較，且變更測定角度θ並反覆進行拍攝圖像95以及亮度輪廓的獲取，直至與兩亮度輪廓的條紋對應的朝上的波峰與朝下的波峰之差（即，條紋的濃度差）變得大致相同為止。並且，求出在拍攝圖像95的亮度輪廓與參照輪廓中條紋的濃度差變得大致相同的對象物9的測定角度θ，若所述測定角度θ為參照角度以上，則判斷為良品，若小於參照角度，則判斷為存在第一週期性缺陷（即，容許範圍外的多個條紋）。
或者，亦可使用預先經確認為良品的對象物的多個圖像等來製作教學資料，藉由使用所述教學資料的機器學習來生成學習完畢模型，藉由所述學習完畢模型來進行第一週期性缺陷等的檢測或缺陷種類的判別。
觀察光71未必需要為平行光，例如亦可為擴散光。再者，在使用擴散光來作為觀察光71的情況下，當投影距離L1發生變化時，作為拍攝圖像95而獲取的對象物9上的區域的大小發生變化，觀察光71中的入射至拍攝部24的光量亦發生變化。因此，在基於拍攝圖像95的缺陷檢測之前，根據所述區域大小的變化以及所述光量的變化來修正拍攝圖像95。例如，在加大投影距離L1的情況下，進行縮小拍攝圖像95且加強拍攝圖像95的明暗差的修正。
所述說明中，設檢查裝置1為獨立於製造裝置8的裝置來進行了說明，但並不限定於此。例如，亦可在由製造裝置8所製造的片材構件90的搬送路徑上，將作為連續構件的片材構件90的各部位作為對象物9來進行所述對象物9的缺陷檢查。即，檢查裝置1的結構亦可在片材構件90的製造線中被利用於線內（in line）檢查。
圖20是表示被利用於線內檢查的檢查裝置1a的結構的一例的正面圖。檢查裝置1a中，對象物保持部21a是保持片材構件90而沿搬送方向91搬送的搬送輥。照明部22a被配置於片材構件90的上方（即，（+Z）側），拍攝輔助構件23a、輔助構件保持部26a、拍攝部24a被配置於片材構件90的下方（即，（-Z）側）。旋轉機構27a以沿Y方向延伸的旋轉軸J5為中心而使照明部22如兩點鏈線所示般旋轉。此時，拍攝輔助構件23a、輔助構件保持部26a以及拍攝部24a根據需要而沿X方向滑動，以使得能夠接收來自照明部22a的觀察光71。移動機構28a使拍攝輔助構件23a、輔助構件保持部26a以及拍攝部24a如兩點鏈線所示般沿Z方向移動。此時，拍攝輔助構件23a、輔助構件保持部26a以及拍攝部24a亦根據需要而沿X方向滑動，以使得能夠接收來自照明部22a的觀察光71。
在檢查裝置1a中，亦與所述同樣地，對於對象物9（即，片材構件90的各部位）的週期性缺陷以及非週期性缺陷，可自動判別且檢測缺陷的種類。檢查裝置1a中，亦可根據所檢測出的缺陷的種類來從電腦12a向製造裝置8（參照圖7）發送調整資訊，從而自動進行製造裝置8的調整以降低所述缺陷。例如，在檢測出第一週期性缺陷的情況下，根據第一週期性缺陷的週期等的特性來自動調整成形輥85a～成形輥85c的負載等。而且，在檢測出第二週期性缺陷的剝離痕的情況下，自動調整成形輥85a～成形輥85c的溫度或片材構件的張力等。在檢測出第二週期性缺陷的掉落偏離缺陷（亦被稱作「前端碰觸缺陷」）的情況下，自動調整模具84與成形輥85a、成形輥85b之間的距離。
所述實施形態以及各變形例中的結構可在不會相互矛盾的範圍內進行適當組合。
詳細地描述說明了發明，但已述的說明為例示性而非限定性者。因此可以說，只要不脫離本發明的範圍，則可實現多種變形或形態。
1、1a:檢查裝置 8:製造裝置 9:對象物 11:圖像獲取裝置 12、12a:電腦 21、21a:對象物保持部 22、22a:照明部 23、23a:拍攝輔助構件 24、24a:拍攝部 26、26a:輔助構件保持部 27、27a:旋轉機構 28、28a:移動機構 31、32:框架 41:記憶部 42:控制部 43:缺陷檢測部 44:輪廓獲取部 45:週期性缺陷判別部 46:非週期性缺陷判別部 47:評價值計算部 71:觀察光 81:料斗 82:擠出機 83:齒輪泵 84:模具 85a～85c:成形輥 90:片材構件 91:搬送方向 92:寬度方向 95:拍攝圖像 96:檢查區域 97、971、972、973:波峰 101:處理器 102:記憶體 103:輸入/輸出部 104:匯流排 105:鍵盤 106:滑鼠 107:顯示器 220:光源部 221:光源 222:光出射部 223:透鏡 271:馬達 272:皮帶 a0:背景亮度 a1、a2:半振幅 b、B、c、C:亮度差 J1:（照明部的）光軸 J2:（拍攝部的）光軸 J3、J4、J5:旋轉軸 L1:投影距離 L2、L3:距離 S11～S18、S21～S27:步驟 W:距離 θ:測定角度
圖1是一實施形態的檢查裝置的正面圖。 圖2是圖像獲取裝置的平面圖。 圖3是圖像獲取裝置的平面圖。 圖4是圖像獲取裝置的平面圖。 圖5是表示電腦的結構的圖。 圖6是表示通過電腦而實現的功能的方塊圖。 圖7是表示製造裝置的圖。 圖8是表示對象物的圖。 圖9是對象物的圖像。 圖10是對象物的圖像。 圖11是對象物的圖像。 圖12是表示缺陷檢測的流程的圖。 圖13是表示拍攝圖像以及檢查區域的圖。 圖14是表示亮度輪廓的圖。 圖15是表示亮度輪廓的圖。 圖16是表示缺陷檢測的流程的圖。 圖17是表示亮度輪廓的圖。 圖18是表示評價值的圖。 圖19A是表示亮度輪廓的圖。 圖19B是表示亮度輪廓的圖。 圖20是另一檢查裝置的正面圖。
1:檢查裝置
9:對象物
11:圖像獲取裝置
12:電腦
21:對象物保持部
22:照明部
23:拍攝輔助構件
24:拍攝部
26:輔助構件保持部
27:旋轉機構
28:移動機構
31、32:框架
71:觀察光
220:光源部
221:光源
222:光出射部
223:透鏡
271:馬達
272:皮帶
J1:(照明部的)光軸
J2:(拍攝部的)光軸
J3、J4:旋轉軸
L2、L3:距離

Claims (11)

  1. 一種檢查裝置，對片材狀或板狀的具有透光性的對象物的缺陷進行檢測，所述檢查裝置包括： 對象物保持部，保持對象物； 輔助構件保持部，與所述對象物平行地保持片材狀或板狀的拍攝輔助構件； 照明部，將觀察光照射至所述對象物； 拍攝部，夾著所述拍攝輔助構件而與所述對象物配置於相反側，具有與所述對象物的法線方向平行的光軸，拍攝藉由透射過所述對象物的所述觀察光而形成於所述拍攝輔助構件上的像，以獲取拍攝圖像；以及 缺陷檢測部，基於所述拍攝圖像來檢測所述對象物的缺陷， 能夠由所述缺陷檢測部來檢測的缺陷包含： 第一週期性缺陷，為在所述對象物上沿著第一方向呈直線狀延伸，並且在與所述第一方向垂直的第二方向上週期性地排列的多個條紋；以及 非條紋狀的第二週期性缺陷，在所述對象物上沿所述第二方向週期性地排列， 所述缺陷檢測部包括： 輪廓獲取部，在所述拍攝圖像中，在所述第一方向的多個檢查位置，設定與所述第二方向平行且分別呈直線狀延伸的多個檢查區域，獲取所述多個檢查區域各自中的所述第二方向的亮度變化即多個亮度輪廓；以及 週期性缺陷判別部，對於所述多個亮度輪廓分別檢測週期性亮度變動，若週期相同的週期性亮度變動共同存在於所述多個亮度輪廓，則判斷為存在第一週期性缺陷，若與存在於所述多個亮度輪廓中的一個亮度輪廓的週期性亮度變動為相同週期的週期性亮度變動不存在於其他亮度輪廓，則判斷為存在第二週期性缺陷。
  2. 如請求項1所述的檢查裝置，其中 能夠由所述缺陷檢測部來檢測的缺陷更包含非週期性缺陷，所述非週期性缺陷為所述對象物的表面上的劃痕或附著物、或者混入至所述對象物的內部的混入物， 所述缺陷檢測部更包括非週期性缺陷判別部，所述非週期性缺陷判別部在所述多個亮度輪廓中的至少一個亮度輪廓中檢測非週期性亮度變動，將所述非週期性亮度變動判斷為非週期性缺陷。
  3. 如請求項2所述的檢查裝置，更包括： 旋轉機構，在維持所述照明部的光軸方向上的所述對象物與所述拍攝輔助構件之間的距離、以及所述拍攝部的光軸方向上的所述拍攝輔助構件與所述拍攝部之間的距離的狀態下，使所述對象物、所述拍攝輔助構件以及所述拍攝部以與所述照明部的光軸垂直的旋轉軸為中心而相對於所述照明部的所述光軸來相對地旋轉，以變更所述照明部的所述光軸與所述對象物的法線方向所成的角度即測定角度；以及 控制部，藉由控制所述拍攝部以及所述旋轉機構，從而在所述測定角度被設為規定的第一測定角度的狀態下獲取所述拍攝圖像，以供所述週期性缺陷判別部所進行的缺陷檢測用，且在所述測定角度被設為與所述第一測定角度不同的規定的第二測定角度的狀態下獲取所述拍攝圖像，以供所述非週期性缺陷判別部所進行的缺陷檢測用。
  4. 如請求項2所述的檢查裝置，更包括： 移動機構，在維持所述拍攝部的光軸方向上的所述拍攝輔助構件與所述拍攝部之間的距離的狀態下，使所述拍攝輔助構件以及所述拍攝部相對於所述對象物而朝所述照明部的光軸方向相對移動，以變更所述照明部的光軸方向上的所述拍攝輔助構件與所述對象物之間的距離即投影距離；以及 控制部，藉由控制所述拍攝部以及所述移動機構，從而獲取所述投影距離不同的多個拍攝圖像， 所述非週期性缺陷包含： 第一非週期性缺陷，為所述對象物的表面上的劃痕或附著物；以及 第二非週期性缺陷，為混入至所述對象物的內部的混入物， 所述輪廓獲取部在所述多個拍攝圖像的各個中，在所述第一方向的規定的檢查位置，設定與所述第二方向平行且呈直線狀延伸的檢查區域，獲取所述檢查區域中的所述第二方向的亮度變化即亮度輪廓， 所述缺陷檢測部更包括評價值計算部，所述評價值計算部在所述多個拍攝圖像中的一個拍攝圖像的所述亮度輪廓中檢測非週期性亮度變動，在所述多個拍攝圖像中分別求出所述非週期性亮度變動的評價值， 所述非週期性缺陷判別部對於所述非週期性亮度變動，在表示所述多個拍攝圖像中的評價值的變動程度的評價值變動指數為規定的臨限值以下的情況下，判斷為所述第一非週期性缺陷，在所述評價值變動指數大於所述臨限值的情況下，判斷為所述第二非週期性缺陷。
  5. 如請求項4所述的檢查裝置，更包括： 旋轉機構，在維持所述照明部的光軸方向上的所述對象物與所述拍攝輔助構件之間的距離、以及所述拍攝部的光軸方向上的所述拍攝輔助構件與所述拍攝部之間的距離的狀態下，使所述對象物、所述拍攝輔助構件以及所述拍攝部以與所述照明部的光軸垂直的旋轉軸為中心而相對於所述照明部的所述光軸來相對地旋轉，以變更所述照明部的所述光軸與所述對象物的法線方向所成的角度即測定角度， 藉由所述控制部來控制所述拍攝部、所述移動機構以及所述旋轉機構，從而在多個測定角度下分別獲取所述投影距離不同的多個拍攝圖像， 藉由所述輪廓獲取部，對於所述多個測定角度分別從所述多個拍攝圖像獲取多個亮度輪廓， 藉由所述評價值計算部，對於所述多個測定角度分別從所述多個拍攝圖像求出所述非週期性亮度變動的多個評價值， 所述評價值變動指數亦基於所述多個測定角度各自的所述多個評價值的變動來求出。
  6. 如請求項2所述的檢查裝置，其中 所述非週期性缺陷包含： 第一非週期性缺陷，為所述對象物的表面上的劃痕或附著物；以及 第二非週期性缺陷，為混入至所述對象物的內部的混入物， 所述非週期性亮度變動包含： 下波峰，為朝下的波峰；以及 第一上波峰及第二上波峰，為在所述下波峰的兩側鄰接的朝上的波峰， 將所述至少一個亮度輪廓中的亮度變動的朝上的半振幅以及朝下的半振幅分別設為a1以及a2，將所述第一上波峰與背景亮度a0的亮度差設為b，將所述第二上波峰與所述背景亮度a0的亮度差設為c， 所述非週期性缺陷判別部在所述非週期性亮度變動中的b及c為表示a1及a2中的較大者的Max（a1、a2）以下的情況下，將與所述非週期性亮度變動對應的非週期性缺陷判斷為所述第一非週期性缺陷，在b及c中的至少一者大於Max（a1、a2）的情況下，將與所述非週期性亮度變動對應的非週期性缺陷判斷為所述第二非週期性缺陷。
  7. 一種檢查裝置，對片材狀或板狀的具有透光性的對象物的缺陷進行檢測，所述檢查裝置包括： 對象物保持部，保持對象物； 輔助構件保持部，與所述對象物平行地保持片材狀或板狀的拍攝輔助構件； 照明部，將觀察光照射至所述對象物； 拍攝部，夾著所述拍攝輔助構件而與所述對象物配置於相反側，具有與所述對象物的法線方向平行的光軸，拍攝藉由透射過所述對象物的所述觀察光而形成於所述拍攝輔助構件上的像，以獲取拍攝圖像； 移動機構，在維持所述拍攝部的光軸方向上的所述拍攝輔助構件與所述拍攝部之間的距離的狀態下，使所述拍攝輔助構件以及所述拍攝部相對於所述對象物而朝所述照明部的光軸方向相對移動，以變更所述照明部的光軸方向上的所述拍攝輔助構件與所述對象物之間的距離即投影距離； 缺陷檢測部，基於所述拍攝圖像來檢測所述對象物的缺陷；以及 控制部，藉由控制所述拍攝部以及所述移動機構，從而獲取所述投影距離不同的多個拍攝圖像， 能夠由所述缺陷檢測部來檢測的缺陷包含： 第一非週期性缺陷，為所述對象物的表面上的劃痕或附著物；以及 第二非週期性缺陷，為混入至所述對象物的內部的混入物， 所述缺陷檢測部包括： 輪廓獲取部，在所述多個拍攝圖像的各個中，在第一方向的規定的檢查位置，設定與跟所述第一方向垂直的第二方向平行且呈直線狀延伸的檢查區域，獲取所述檢查區域中的所述第二方向的亮度變化即亮度輪廓； 評價值計算部，在所述多個拍攝圖像中的一個拍攝圖像的所述亮度輪廓中檢測非週期性亮度變動，在所述多個拍攝圖像中分別求出所述非週期性亮度變動的評價值；以及 非週期性缺陷判別部，對於所述非週期性亮度變動，在表示所述多個拍攝圖像中的評價值的變動程度的評價值變動指數為規定的臨限值以下的情況下，判斷為第一非週期性缺陷，在所述評價值變動指數大於所述臨限值的情況下，判斷為第二非週期性缺陷。
  8. 如請求項7所述的檢查裝置，更包括： 旋轉機構，在維持所述照明部的光軸方向上的所述對象物與所述拍攝輔助構件之間的距離、以及所述拍攝部的光軸方向上的所述拍攝輔助構件與所述拍攝部之間的距離的狀態下，使所述對象物、所述拍攝輔助構件以及所述拍攝部以與所述照明部的光軸垂直的旋轉軸為中心而相對於所述照明部的所述光軸來相對地旋轉，以變更所述照明部的所述光軸與所述對象物的法線方向所成的角度即測定角度， 藉由所述控制部來控制所述拍攝部、所述移動機構以及所述旋轉機構，從而在多個測定角度下分別獲取所述投影距離不同的多個拍攝圖像， 藉由所述輪廓獲取部，對於所述多個測定角度分別從所述多個拍攝圖像獲取多個亮度輪廓， 藉由所述評價值計算部，對於所述多個測定角度分別從所述多個拍攝圖像求出所述非週期性亮度變動的多個評價值， 所述評價值變動指數亦基於所述多個測定角度各自的所述多個評價值的變動來求出。
  9. 一種檢查裝置，對片材狀或板狀的具有透光性的對象物的缺陷進行檢測，所述檢查裝置包括： 對象物保持部，保持對象物； 輔助構件保持部，與所述對象物平行地保持片材狀或板狀的拍攝輔助構件； 照明部，將觀察光照射至所述對象物； 拍攝部，夾著所述拍攝輔助構件而與所述對象物配置於相反側，具有與所述對象物的法線方向平行的光軸，拍攝藉由透射過所述對象物的所述觀察光而形成於所述拍攝輔助構件上的像，以獲取拍攝圖像； 旋轉機構，在維持所述照明部的光軸方向上的所述對象物與所述拍攝輔助構件之間的距離、以及所述拍攝部的光軸方向上的所述拍攝輔助構件與所述拍攝部之間的距離的狀態下，使所述對象物、所述拍攝輔助構件以及所述拍攝部以與所述照明部的光軸垂直的旋轉軸為中心而相對於所述照明部的所述光軸來相對地旋轉，以變更所述照明部的所述光軸與所述對象物的法線方向所成的角度即測定角度；以及 缺陷檢測部，基於所述拍攝圖像來檢測所述對象物的缺陷。
  10. 如請求項9所述的檢查裝置，更包括： 移動機構，在維持所述拍攝部的光軸方向上的所述拍攝輔助構件與所述拍攝部之間的距離的狀態下，使所述拍攝輔助構件以及所述拍攝部相對於所述對象物而朝所述照明部的光軸方向相對移動，以變更所述照明部的光軸方向上的所述拍攝輔助構件與所述對象物之間的距離即投影距離。
  11. 如請求項1至請求項10中任一項所述的檢查裝置，其中 所述照明部包括： 光源部；以及 透鏡，將來自所述光源部的光轉換為作為平行光的所述觀察光而照射至所述對象物， 所述照明部的光軸方向上的所述透鏡與所述拍攝輔助構件之間的距離為所述透鏡的焦距的一半以上。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117491391B (zh) * 2023-12-29 2024-03-15 登景(天津)科技有限公司 基于芯片计算的玻璃基板光三维健康检测方法及设备

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5761550U (zh) * 1980-09-17 1982-04-12
JPH0723211U (ja) * 1993-10-04 1995-04-25 三菱樹脂株式会社 透明プラスチック板の検査装置
JP2001201429A (ja) * 2000-01-18 2001-07-27 Mitsubishi Chemicals Corp 検査基体の欠陥検査方法および装置
JP2003172707A (ja) 2001-12-05 2003-06-20 Shibuya Kogyo Co Ltd 反射防止膜を付した物品の検査方法とその装置
GB0307345D0 (en) * 2003-03-29 2003-05-07 Pilkington Plc Glazing inspection
JP4779506B2 (ja) * 2005-08-30 2011-09-28 大日本印刷株式会社 カラーフィルター用の基板およびその検査方法、検査装置
JP4960638B2 (ja) 2006-02-08 2012-06-27 積水化学工業株式会社 透明フィルムの検査方法
KR100838655B1 (ko) * 2006-10-27 2008-06-16 (주)쎄미시스코 유리기판의 품질 검사장치 및 그 검사방법
JP5253038B2 (ja) 2008-08-19 2013-07-31 日立造船株式会社 シート・フィルムのロール成形装置およびロール成形方法
TWI497061B (zh) * 2009-04-30 2015-08-21 Corning Inc 用以偵測玻璃板中的缺陷之方法及設備
SG183894A1 (en) * 2010-03-10 2012-10-30 3M Innovative Properties Co Application-specific repeat defect detection in web manufacturing processes
JP2012078144A (ja) * 2010-09-30 2012-04-19 Kaneka Corp 透明体シート状物の表面欠陥検査装置
JP6244260B2 (ja) * 2014-05-08 2017-12-06 株式会社神戸製鋼所 欠陥分析装置及び欠陥分析方法
US20190033229A1 (en) * 2016-02-05 2019-01-31 Toray Industries, Inc. Inspection device for sheet object, and inspection method for sheet object
JP7076280B2 (ja) 2018-04-27 2022-05-27 日立造船株式会社 測定方法および測定装置

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